JPH0816527B2

JPH0816527B2 - 酸素を除去した有毒気体溶出物の燃焼のための方法および装置

Info

Publication number: JPH0816527B2
Application number: JP2512876A
Authority: JP
Inventors: セルジュカルパンチェ
Original assignee: ソシエテジェネラルプールレテクニクヌーベルエスジェーエヌ
Priority date: 1989-09-04
Filing date: 1990-09-04
Publication date: 1996-02-21
Anticipated expiration: 2011-02-21
Also published as: DE69018059T2; EP0441942A1; EP0441942B1; FR2651561B1; DE69018059D1; CA2039727C; US5169605A; WO1991003685A1; CA2039727A1; FR2651561A1; JPH04502957A

Description

【発明の詳細な説明】この発明は、酸素を除去した有毒気体溶出物の燃焼に
よる消滅のための方法および装置に関するものである。

このような溶出物の除去の問題は、特に、集積回路製
造工場において発生している。集積回路製造工場におい
ては、材料のドーピングのために、水素化砒素（アルシ
ン）、および／または、水素化燐（ホスフィン）、およ
び／または、水素化シリコン（シラン）・・が使用され
ている。

上記ガスは、有毒であるので、これらを含むガス流
は、大気中に放出する前に必ず清浄に処理しなければな
らない。

従来の公知の処理方法として、上記ガスを燃焼させる
方法がある。この方法により、燃焼生成物は、有毒でな
くなるか、または、容易に除去（例えば、酸化砒素につ
いては濾過による）し得るものとなる。

No.2 612 606によって公告されたフランス特許FR87 0
3 729（以下、「先行技術」という）には、このような
方法および関連する装置が開示されている。上記フラン
ス特許によれば、燃焼ガス供給管に囲まれた中央導管を
通じて、溶出物を燃焼帯に導く。燃焼ガス供給管自体
も、燃焼支援空気を供給する３本の環状導管によって囲
まれている。バーナーへの酸化物の付着を防止するため
に、燃焼帯を押し戻すように、バーナーの前方に、層状
の流れを、できるだけ長く維持するようにする。この目
的のために、ガスの流量および流速を制御する。また、
同じ目的のために、燃焼ガスの流れが、燃焼支援ガスに
関して溶出物を保護するためのシールドを形成するよう
になっている。

しかしながら、先行技術においては、溶出物を燃焼帯
に供給するための中央導管は、燃焼支援ガスを供給する
ための、同心円状に配置された３本の環状導管によって
囲まれているため、中央導管から供給された溶出物の周
囲を、燃焼支援ガスが、円筒状に層流状態で流れ、従っ
て、溶出物と燃焼支援ガスとの十分な混合が行われず、
溶出物の不完全燃焼が生じ、その結果、有毒な溶出物が
そのまま大気中に放出される虞れがあった。また、先行
技術においては、不完全燃焼した溶出物が、燃焼帯内に
滞留し、このように滞留した溶出物が爆発する虞れがあ
った。

この発明において、出願人は、先行技術とは逆に、激
しい乱流を生じさせるような燃焼方法を提案する。

即ち、この発明の目的は、可燃ガスおよび１次燃焼支
援ガスの供給を受ける内部円錐部からなる炎中におけ
る、酸素を除去した有毒気体溶出物を安全且つ効率的に
燃焼させ、特に、有毒気体溶出物の不完全燃焼を防止
し、しかも、燃焼帯内におけるガスの滞留を回避し、燃
焼帯内における有毒気体溶出物の滞留に起因する爆発事
故を未然に防止し、しかも、バーナーにおける目詰りを
防止することにある。この発明の方法は、減圧下で実施
される。この方法においては、前記気体溶出物および２
次燃焼支援ガスを、前記内部円錐部のレベルで別々に導
入する。前記２次燃焼支援ガスは、燃焼支援ガスの過
剰、温度の維持、および、前記内部円錐部のレベルでの
乱流ガス体の生成のために十分な流量および流速で、前
記内部円錐部の軸に向けられた少なくとも１本のジエッ
トの形で導入される。有毒な気体溶出物は、前記乱流ガ
ス体中に導入される。

従って、この発明は、酸素が除去された有毒気体溶出
物の燃焼のための方法からなっている。これらの溶出物
自体は、爆発性を有していない。しかしながら、酸素が
介在すると、爆発性を有する場合がある。

溶出物は、不純物を含むベクトルガスによって構成さ
れている。前記ベクトルガスは、水素、窒素・・・また
はガス混合物であってもよい。空気および酸素は明白に
除外される。

この発明の方法に従って燃焼されるべき前記気体溶出
物は、上述したように、電子産業における溶出物であっ
てもよい。このような溶出物は、水素化物、特にホスフ
ィン、アルシン・・・および／または、シラン・・・お
よび／または、特に、B,P,As,Te,Se,Cl,F原子を含むそ
の他の化合物を含有している。

前記気体溶出物は、原子力産業のものであってもよ
い。この場合、問題となる可能性があるのは、熱分解の
放射性ガス、および／または、トリチウムを含有する放
射性ガスである。

炎の内部円錐部は、燃焼帯の先端部に位置され、燃焼
ガス（例えば天然ガス）および燃焼支援ガス（例えば空
気）の供給を受ける従来型のバーナーから得られる。こ
の燃焼支援ガスは、本出願明細書においては、他の燃焼
支援ガスの流れと区別するために、１次燃焼支援ガスと
呼ばれる。１次燃焼支援ガスの流量は、僅かに過剰（約
10％）の燃焼支援ガスを用いて確実に行うように調整す
るのが有利である。

この発明によれば、２次燃焼支援ガスを、有毒溶出物
の燃焼に必要な量に関して過剰な量の燃焼支援ガスを供
給するのに十分な流量で、且つ、内部円錐部のレベルで
乱流ガス体を発生させるのに十分な流速で、内部円錐部
に向けてジエット状に送り込む。乱流ガス体は、有毒気
体溶出物と２次燃焼支援ガスとの十分な混合を可能にす
る。

２次燃焼支援ガスは、例えば、空気である。

２次燃焼支援ガスの流量および流速に応じて、内部円
錐部の外観は変化する。即ち、内部円錐部の色が変化
し、その形状が乱れれば、渦流が発生したものと判断さ
れる。このようになれば、ガス体が乱流になったという
ことができる。この現象は、当業者には知られている。

また、２次燃焼支援ガスの流量および流速は、燃焼帯
における温度の維持と、燃焼支援ガスの過剰を確保する
ように決定することも必要である。

流速は、毎秒数十メートルまで上昇させてもよい。

２次燃焼支援ガスは、前記内部円錐部の軸に向けて、
一本またはそれ以上のジェットの形で導入される。これ
らのジェットは、内部円錐部の軸に向けて収束せしめて
もよく、または、前記内部円錐部を中心とする燃焼支援
ガスの渦流運動を生じさせるような方向としてもよい。
この場合には、ジェットの方向も乱流の発生に役立つ。

この発明の方法は、燃焼帯の外部の気圧（大気圧）に
関して、減圧した圧力で実施される。このような減圧に
よって、燃焼後のガスを燃焼帯から急速に排出すること
ができ、しかもガスのポケットの形成を防止することが
でき、ガスが外部に向かって分散することを避けること
ができる。更に、これによって、この方法が実施されて
いる装置から出るガスの抽出が容易になる。

この減圧は、0.5から6mbar（または50から600Pa）の
範囲内である。

２次燃焼支援ガスは、下記を発生させる２個の異なっ
た回路を経由して供給されることが望ましい。

− 乱流ガス体および所望の燃焼温度を得るのに十分な
不変の流量および流速を有する少なくとも１本の固定ジ
ェット。

− 温度を維持するための、流量可変な少なくとも１本
の別のジェット。これ等のジェットによって、過剰な燃
焼ガスの供給も確保される。

可変（２次）燃焼支援ガスの流れは、ガス体を冷却
し、必要に応じて、燃焼帯の温度を低下させることを可
能にする。この流れが存在しないと、温度が上昇し、温
度の上昇は、可燃ガス/1次燃焼支援ガスの流量を調節す
ることによって加速することができる。

この発明においては、有毒気体溶出物をジェット状に
（１本またはそれ以上のジェットで）導入して乱流ガス
体を形成するだけで十分である。２次燃焼支援ガスの流
入部に関して、溶出物ジェットの到着場所はあまり重要
ではなく、ガス体上に乱流が形成されるだけで十分であ
る。

各有毒溶出物の性質が異なる場合は、内部円錐部のレ
ベルで別個のジェットを導入してもよく、または、導入
する前に混合してもよい。

有毒溶出物は、断続的に導入してもよい。２次燃焼支
援ガスの流量は、一般に、燃焼帯における温度の測定に
よって決定される。この発明の方法は、流量および流速
が制御されていない溶出物の処理を可能にするという利
点を有している。この場合、燃焼を可能にするには、燃
焼支援ガスの流量および流速を調節するだけで十分であ
る。

燃焼帯の温度は、上述した有毒ガスの処理のため、一
般に900℃以上である。この温度は、この発明の方法が
実施される装置全体−即ち、反応が終了する燃焼後続体
も加えて完全な全体となることのできる燃焼帯−での有
毒ガスの少なくとも99％の消滅を達成し得るように選択
する。

いずれの場合にも、当業界の熟練者によって、限界温
度よりも高い温度が選ばれる。限界温度とは、燃焼帯に
おいてガス混合物の爆発性が生じる温度である。混合物
がどのようなものであっても、当業界は、限界温度を約
800℃に設定する。

処理すべき溶出物がない場合は、燃焼帯の中に存在す
るガスの爆発性発生温度をよりも僅かに高い温度に装置
を置くことが有利である。

燃焼反応を継続させるためには、燃焼帯から発生する
ガスを、耐火物のライニングを含む燃焼後続帯に向けて
送るのが有利である。このライニングは、燃焼帯中の燃
焼温度よりも高い温度にするのが有利である。このライ
ニングによって、ガスの濾過および装置内での熱量分布
の改善が行われる。

燃焼後続帯も、同様に減圧下にあることは言うまでも
ない（でき得れば0.5から6mbarの範囲内）。

燃焼後続帯の頂部（ライニングを含む底部と相対する
部分）に、燃焼後続帯における燃焼支援ガスの過剰を確
保するように、３次燃焼支援ガス（一般に空気）の小さ
な流れをもたらす漏出部を設けることが賢明である場合
がある。

燃焼支援ガスの流量および流速は、上述した有毒溶出
物に対して適用する場合については、燃焼後続帯におい
て、900〜1200℃、好ましくは約1000℃の温度が得られ
るように調節する。

残留有毒物の量および適用される廃棄基準に応じて、
排ガスは直接大気中に放出してもよく、または、処理し
てもよい。

この発明は、上述し方法を実施するための、酸素を除
去した有毒気体溶出物の燃焼のための装置に関するもの
である。この発明の装置は、下記からなっている。

− トンネルまたは燃焼帯。その底部は、トンネル状に
開き、同一軸を有する円盤状の壁面で構成されている。
可燃ガスおよび１次燃焼支援ガスの供給を受けるバーナ
ー。バーナーは、内部円錐部がトンネルの底部近くに位
置するように、軸上に配置されている。

− 前記トンネルの底部のレベルに２次燃焼支援ガスを
供給するための少なくとも１本の管。この管は、前記燃
焼支援ガスが、ジェットとして内部円錐部に向けられる
ような方向に向けられている。

− 前記トンネルの底部のレベルに有毒気体溶出物を供
給するための少なくとも１本の管。この管は、溶出物が
内部円錐部の軸に向かって収束するジェットとなるよう
な方向に向けられている。

− トンネル中に減圧を生じさせるガス抽出装置。

この発明の装置は、底部が円錐状の壁面で構成された
燃焼トンネルからなっている。この壁面は、一般に、装
置を外部から断熱するような、十分な厚さを有する耐火
物で構成されている。

円錐状の底部には、バーナー用の凹部が設けられてい
る。バーナーは、可燃ガスを導入するための管と、１次
燃焼支援ガスを導入するための管とからなっている。

これは、例えば、トンネルの底部に作られたタップ・
ホールであってもよく、ここにバーナーが開いており、
この場合の内部円錐部は、タップ・ホール中で形成され
る。

別の実施態様では、バーナーは２本の同芯管からなっ
ている。可燃ガスを供給する管は、トンネルの円錐状の
底部に関して凹部を形成しており、内部円錐部が形成さ
れる前に、可燃ガスと１次燃焼支援ガスとの混合が容易
に行われるようになっており、内部円錐部の基底部は、
ほぼ燃焼トンネルの円錐状の底部のレベルとなる。

これらの管には、流量を調整するための手段が設けら
れている。流量は、装置内の温度の測定によって決定す
ることが望ましい。

２次燃焼支援ガスおよび有毒溶出物の導入部は、燃焼
トンネルの円錐状の壁面上に開いている。

２次燃焼支援ガスは、円錐状壁面の厚さ全体にわたっ
て壁面を横切る１本またはそれ以上の管を介して供給さ
れる。これらの管の寸法は、ガスがジェット状に放出さ
れるような寸法である。これらの管には、ジェットによ
って覆われる表面を大きくするために、スロットを設け
てもよい。

複数の管、例えば、３本または４本の管を、円錐状壁
面の周辺上に等間隔で配置すれば、更に有利な実施態様
となる。各場合に応じて、各ジェットがほぼ同一点で内
部円錐部の軸に向かって収束するように管を配置する
か、または、導入される燃焼支援ガスの回転運動を生じ
させるように、円錐部壁面の周辺上で各管を同一角度で
傾斜させる。

溶出物を供給する管も、円錐状壁面を横切っており、
溶出物のジェットをほぼ同一点で内部円錐部の軸の方向
に向けるように配置される。複数の管は、円錐状壁面の
周辺部全体にわたって等間隔に分布して配置することが
望ましい。

その流量および流速が不変のジェットおよびその流量
および流速が可変のジェットのために使用される、２次
燃焼支援ガスのための複数本の管を各タイプのジェット
を、それぞれ、他のジェットとは独立した方向に向けて
設けることが望ましい。

実施態様を示すと、管は、壁によって２つの部分に分
けられ、この場合のジェットは、ほぼ同一の点に向けら
れる。

燃焼トンネルの寸法は、処理すべき生成物、使用する
燃焼温度および滞留時間などに応じて当業者が決定す
る。

装置内で減圧を得るために、ガス抽出管上には、例え
ば、抽出ファンなどの装置が取り付けられる。

有利な装置として、燃焼トンネルの次に燃焼後続帯が
続いている装置が挙げられる。燃焼後続帯も、耐火物製
の壁面からなり、その軸は、燃焼トンネルの軸に対して
ある角度をなしているのが有利である。燃焼後続帯の底
部には、耐火物製のライニングが設けられており、横方
向管によって、このライニングを横切ったガスが放出さ
れる。

燃焼後続帯の頂部（頂部は底部と向かい合っている）
には、取り入れ用蝶形弁を配置してもよく、これによっ
て、（３次）燃焼支援ガスを燃焼後続帯の底部に向けて
通過させることができる。蝶形弁は、予期しない過圧を
補償するための膨張弁として使用すると有利である。

次に、この発明を、図面を参照しながら説明する。

第１図Ａおよび第１図Ｂに、この発明の装置の好まし
い実施態様を示す。

第２図A,第２図Ｂおよび第３図Ａは、バーナーおよび
ガス用の管を備えたトンネルの底部の断面図（燃焼トン
ネルの軸方向に見たところ）である。第３図Ｂは、第１
図ＢにおけるＦ方向の断面図である。

第１図Ａには、軸（Ｄ）を有する燃焼トンネル１、お
よび、これに続く燃焼トンネル１に直角に配置された燃
焼後続帯２からなる装置が示されている。

トンネル１の底部は、トンネル上に開いている円錐状
壁面３によって構成されている。底部を備えたトンネル
は、断熱を確保するために、厚い耐火煉瓦（またはその
他の材料）４によってとり囲まれている。

トンネルの底部中には、軸（Ｄ）に沿って、円錐状壁
面の厚さ全体にわたって凹部が設けられている。凹部の
中には、バーナー５が埋め込まれている。バーナー５
は、可燃ガス（天然ガス）を導入するための導管６およ
び１次燃焼支援ガス（空気）を供給する導管７からなっ
ている。内部円錐部８は、トンネルの底部で形成されて
いる。

内部円錐部の基底部は、第１図Ａにおいては、円錐状
壁面の円錐部の底部にあり、第１図Ｂにおいては、円錐
部の底部中に配置された凹部上に設けられたタップ・ホ
ール中にある。

管９および10は。円錐状壁面を横切って、それぞれ２
次燃焼支援ガス（空気）および有毒溶出物を供給する。

第１図Ａおよび第２図Ａに示した例では、３本の管９
および３本の管10が設けられている。３本の管９は、そ
の延長軸が点Ａにおいて、また３本の管10は、その延長
軸が点Ｂにおいて、トンネルの軸（Ｄ）上に収束するよ
うに配置されている。点Ｂは、点Ａを越えた側に位置し
ている。

これに対して、第１図Ｂでは、管９は、点A1および点
A2に収束し、管10は、点Ｂに収束し、そして、点A1およ
び点A2は、点Ｂを越えた側に位置している。

第２図Ａの断面図に示すこの発明の実施態様によれ
ば、２次燃焼支援ガスを供給する管９は、スロット状で
あり、一方、管10は円形である。

第３図Ａは、その変形例を示すもので、管９は、仕切
り壁11によって、２つの部分に分けられている。バーナ
ーに近い方の部分12には、その流量および流速が不変の
ジェットの２次燃焼支援ガスが循環しており、他方の部
分13には、その流量および流速が可変のジェットの２次
燃焼支援ガスが循環している。これら２つの部分は、別
々の管を介してガスの供給を受けている。ガスの流量お
よび流速を調整するための適当な手段が、供給管に設け
られている。

第１図Ｂは、それぞれその流量および流速が可変のジ
ェットおよびその流量および流速が不変のジェットによ
る２次燃焼支援ガスを供給する別の管9Aおよび9Bを示し
たものである。

第２図Ｂは、内部円錐部を中心として２次燃焼支援ガ
スがその流量および流速が不変のジェットで回転運動を
生じさせるように傾斜させた管9Bの断面図を示したもの
である。

管10は、例えば、それぞれ性質の異なる有毒溶出物を
供給する３本の管10A,10B,10Cの３つのグループに分け
られている。これらのクループの管は、円錐状壁面の周
辺上に等間隔で配置されている。

第１図Ａによれば、燃焼トンネル１から出たガスは、
燃焼後続帯２において方向を変える。燃焼後続帯２は、
その底部にライニング14（例えば、シリコン・カーバイ
ド製のもの）を有し、タッピングドア15を経て排気する
ことでき、ドア16を通して供給を受けることができる。
ドア16は、蝶形弁17からなっていてもよく、この蝶形弁
を介して、３次燃焼支援ガス（空気）が導入され、ライ
ニングに向かう燃焼ガスに巻き込まれる。ライニングを
通過したガスは、管18を介して装置から排出される。

次に、この発明を、実施例に基づいて説明する。

上述した装置において、円筒状の燃焼室は、外径約1,
200mm,内径約400mm,内側長さ約1,600mmを有しており、
燃焼後続室−前記燃焼室に続く−は、シリコン・カーバ
イドの集合体を収容しており、この装置によって、体積
で6,000ppmのアルシン含有ガスを、14Nm³/hの流量で処
理した。

燃焼トンネルの頭部の軸上には、バーナー本体を支持
するバーナー・タップ・ホールおよび空気とガスの導入
口がある。

アルシン含有ベクトル・ガスは、タップ・ホール中を
燃焼トンネルに向かって送られる。ガスは、下記からな
っている。

− 水素:10.2Nm³/h − 窒素: 3.0Nm³/h. 使用した可燃ガスは天然ガスで、流量1.1Nm³/hでバー
ナーの先端に供給され、バーナー中であらかじめ6Nm³/h
の１次空気（１次燃焼支援ガス）と混合される。バーナ
ーの炎の外観のいかんにかかわらず、化学量論上の量に
関して10％の過剰空気を用いて、空気／ガス比を一定に
保った。

バーナーのタップ・ホールを介して、２次燃焼支援ガ
スも流速12m/sで供給される。２次燃焼支援ガスの組成
は、下記の通りであった。

− 燃焼トンネルの乱流掃気のための、一定の流量（33
Nm³/h）および一定の流速（12m/s）の空気。

− 温度維持のための可変流量（０〜35Nm³/h）の空
気。

トンネル内の減圧は、5mbarである。

シリコン・カーバイドのライニングの前で測定した温
度は、1,000℃である。この温度でのフュームの量は、9
0Nm³/hである。

前記フュームは、次いで熱交換器内で1,000℃から700
℃まで冷却され、次いで、大気を用いて４倍（325Nm³/
h）に希釈して、濾過の前に100〜120℃の温度まで冷却
する。濾過は、極めて効率が高く（0.3μｍ程度の粒度
のもの99.99％を除去）、煙道から放出する前に、形成
された固体亜砒酸を除去することを狙ったものである。

このレベルでのアルシン含有量は、体積で僅か0.5ppm
となる。従って、この装置によって得られる清浄歩留り
は、99.966％であり、これは、必要とされる99.95％よ
りも大きい（冷却時における希釈も考慮に入れたも
の）。

更に、煙道におけるフュームの組成は、ほぼ次の通り
であった。

− 窒素 :80.0％ − 酸素 :18.0％ − 水（水蒸気）: 1.5％ − 炭酸ガス : 0.5％この装置は、特に電子産業から出るガスの清浄に適し
ている。しかも、燃焼温度を所定温度に維持しながら、
燃焼帯に、過剰な量の２次燃焼支援ガスが常に供給さ
れ、そして、燃焼帯内のガスが減圧下に保持されなが
ら、常に撹拌され、このような条件下において、有毒気
体溶出物の燃焼が行われ、その結果、バーナーの目詰り
を生じることなく、有毒な可燃成分を実質的に完全に燃
焼させることができ、更に、酸化窒素またはその他の有
毒ガスの形成も防止することができる。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】可燃ガスおよび１次燃焼支援ガスの供給を
受ける内部円錐部からなる炎中における、酸素を除去し
た有毒気体溶出物の燃焼のための方法であって、減圧下
で実施され、前記有毒気体溶出物および２次燃焼支援ガ
スは、前記内部円錐部のレベルで別々に導入され、前記
２次燃焼支援ガスは、その過剰な量を確保し、所望の燃
焼温度を維持し、そして、前記内部円錐部のレベルにお
ける乱流ガス体を形成するために十分な流量および流速
で、前記内部円錐部の軸に向けられた少なくとも１本の
ジェットの形で導入され、前記有毒気体溶出物は、前記
乱流ガス体中に導入されることを特徴とする、酸素を除
去した有毒気体溶出物の燃焼のための方法。
【請求項２】前記２次燃焼支援ガスは、前記乱流ガス体
および前記所望の燃焼温度を得るのに十分な不変の流量
および流速を有する少なくとも１本のジェットの形、お
よび、前記燃焼温度の安定を可能にする可変流量を有す
る少なくとも１本の別のジェットの形で導入され、前記
ジェットの両方によって、過剰な量の前記２次燃焼支援
ガスの供給が確保されることを特徴とする、請求の範囲
１に記載の方法。
【請求項３】前記２次燃焼支援ガスの流量は、燃焼帯の
温度を測定することによって決定されることを特徴とす
る、請求の範囲１または２に記載の方法。
【請求項４】前記燃焼帯から出るガスは、燃焼後続帯に
向けて送られることを特徴とする、請求の範囲１から３
の何れか１つに記載の方法。
【請求項５】前記燃焼帯および前記燃焼後続帯は、大気
圧に関して、50から600Paの減圧下にあることを特徴と
する、請求の範囲１から４の何れか１つに記載の方法。
【請求項６】前記燃焼後続帯中における前記燃焼支援ガ
スの過剰な量を確保するために、前記燃焼帯から出るガ
ス中に、燃焼支援ガスの追加の流れを、３次燃焼支援ガ
スとして導入することを特徴とする、請求の範囲４また
は５に記載の方法。
【請求項７】前記燃焼後続帯の有効な温度は、900から
1,200℃の範囲であり、好ましくは約1,000℃であること
を特徴とする、請求の範囲４から６の何れか１つに記載
の方法。
【請求項８】処理済の前記有毒気体溶出物は、シラン、
Ｂ、Ｐ、As、Te、Se、ClおよびＦのうちの少なくとも１
つを含有していることを特徴とする、請求の範囲１から
７の何れか１つに記載の方法。
【請求項９】酸素を除去した有毒気体溶出物を燃焼させ
るための装置であって、前記装置は、燃焼トンネル１からなっており、燃焼トン
ネル１の底部には、可燃ガスおよび１次燃焼支援ガスの
供給を受けるバーナー５が設けられており、前記トンネル１の前記底部は、前記トンネル１と同一の
軸Ｄを有する円錐状壁面３によって構成されており、前
記バーナー５は、その炎の内部円錐部の基底部が前記ト
ンネル１の底部付近に位置するように前記軸Ｄ上に配置
されており、そして、前記装置は、更に、２次燃焼支援ガスがジェットの形で
前記内部円錐部に向けられるように、前記トンネル１の
前記底部のレベルに前記２次燃焼支援ガスを供給し、も
って、前記内部円錐部のレベルにおいて乱流ガス体を形
成するための少なくとも１本の管９と、前記有毒気体溶出物が前記内部円錐部の前記軸Ｄに向っ
て、収束するジェットの形で向けられるように、前記ト
ンネル１の前記底部のレベルに前記有毒気体溶出物を供
給するための少なくとも１本の管10と、そして、前記トンネル１中に減圧を生じさせるガス抽出装置とを
含んでいることを特徴とする、酸素を除去した有毒気体
溶出物を燃焼させるための装置。
【請求項１０】前記２次燃焼支援ガスを供給するための
前記管９は、スロット状であることを特徴とする、請求
の範囲９に記載の装置。
【請求項１１】前記装置は、前記２次燃焼支援ガスを供
給するための少なくとも２本の管９を含んでおり、その
一方は、その流速および流量が不変のジェットのために
使用され、そして、その他方は、その流速および流量が
可変のジェットのために使用されることを特徴とする、
請求の範囲９または10に記載の装置。
【請求項１２】前記燃焼トンネル１は、燃焼後続帯２に
よって延長されており、その軸は前記トンネル１の前記
軸Ｄと所定の角度をなし、前記燃焼後続帯２は、その底
部に耐火物ライニング14を備えていることを特徴とす
る、請求の範囲９から11の何れか１つに記載の装置。
【請求項１３】前記燃焼後続帯２の頂部には、蝶形弁17
が配置されていることを特徴とする、請求の範囲12に記
載の装置。