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JPH08164489A - Laser welding quality judgment device - Google Patents

Laser welding quality judgment device

Info

Publication number
JPH08164489A
JPH08164489A JP6308968A JP30896894A JPH08164489A JP H08164489 A JPH08164489 A JP H08164489A JP 6308968 A JP6308968 A JP 6308968A JP 30896894 A JP30896894 A JP 30896894A JP H08164489 A JPH08164489 A JP H08164489A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
plasma
welding quality
work
electric signal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6308968A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yukio Takahashi
幸夫 鷹箸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP6308968A priority Critical patent/JPH08164489A/en
Publication of JPH08164489A publication Critical patent/JPH08164489A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、オンラインで溶け込み状態の溶接品
質を高精度に判定し、この判定に応じてレーザ出力を制
御して溶け込み状態等を均一にする。 【構成】ワーク3上の溶融部に生成されるプラズマPz
の生成状況をプラズマモニタ手段10によりモニター
し、そのプラズマ生成状況に応じた電位差Vsを出力
し、この電位差Vsのレベルに基づいてマイクロプロセ
ッサユニット21bにより溶接部の溶け込み状態の良否
を判定し、さらにこの判定結果に応じてレーザ発振器1
のレーザ出力を制御する。
(57) [Abstract] [Purpose] The present invention determines the welding quality in a melted state online with high accuracy, and controls the laser output according to this determination to make the melted state uniform. [Structure] Plasma Pz generated in a molten portion on the work 3
The plasma monitor means 10 monitors the generation state of the electric field, outputs a potential difference Vs corresponding to the plasma generation state, and determines whether the welded state of the welded portion is good or bad by the microprocessor unit 21b based on the level of the potential difference Vs. Depending on the judgment result, the laser oscillator 1
Control the laser output of.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光をワークに照
射して溶接加工を行うときの溶接部の溶け込み状態の判
定を行い、さらにこの判定結果に基づいてレーザ出力を
制御するレーザ溶接品質判定装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser welding quality for determining a melted state of a welded portion when a work is irradiated with a laser beam and performing a welding process, and further controlling a laser output based on the result of the determination. Regarding a determination device.

【0002】[0002]

【従来の技術】レーザ溶接では、ワークの溶け込み状態
等の溶接品質をモニターする技術として溶接部近傍に配
置したセンサーにより溶接状態をオンラインでモニタリ
ングすることが提案されている。
2. Description of the Related Art In laser welding, it has been proposed to monitor the welding state online by a sensor arranged in the vicinity of the welded portion as a technique for monitoring the welding quality such as the penetration state of a work.

【0003】図9はかかるワークの溶け込み状態等の溶
接品質をモニタリングする装置の構成図である。レーザ
発振器1から出射されたレーザ光Lbは、レンズ2によ
り集光されてワーク3の表面上に焦点を結ぶように照射
される。
FIG. 9 is a block diagram of an apparatus for monitoring the welding quality such as the penetration state of the work. The laser beam Lb emitted from the laser oscillator 1 is condensed by the lens 2 and is irradiated so as to focus on the surface of the work 3.

【0004】このとき、ワーク3は、XYテーブル(不
図示)上に固定され、このXYテーブルの移動に応じて
ワーク3上に溶接加工つまりビードが施される。一方、
溶接部近傍にはセンサーとしてマイクロフォン4が配置
され、このマイクロフォン4により溶接加工に伴って発
生する溶接音が集音されて電気信号に変換出力される。
この電気信号は、A/D変換器5によりディジタル変換
されてコンピュータ6に送られる。
At this time, the work 3 is fixed on an XY table (not shown), and a welding process, that is, a bead is applied to the work 3 in accordance with the movement of the XY table. on the other hand,
A microphone 4 is arranged as a sensor in the vicinity of the welded portion, and the microphone 4 collects the welding sound generated by the welding process and outputs it as an electric signal.
This electric signal is digitally converted by the A / D converter 5 and sent to the computer 6.

【0005】このコンピュータ6は、ディジタル化され
た電気信号と内部メモリに記憶されている溶接音に関す
る基準値とを比較し、その大小及びその変動幅から溶接
状態の良否を判定する。
The computer 6 compares the digitized electric signal with the reference value for the welding sound stored in the internal memory, and judges the quality of the welding state based on its magnitude and its fluctuation range.

【0006】しかしながら、通常、溶接作業が行われる
作業環境は、溶接部の回りにレーザ発振器1をはじめ、
その付帯装置があり、これらの装置から溶接音以外のノ
イズ音が常時発生している。
However, normally, the working environment in which the welding work is performed is to start the laser oscillator 1 around the welded portion,
There are incidental devices, and noises other than welding noise are constantly generated from these devices.

【0007】このため、これらノイズ音も溶接音と共に
マイクロフォン4に集音されて電気信号に変換出力され
るので、ノイズ音と溶接音との混在した電気信号がマイ
クロコンピュータ6に送られる。
Therefore, these noise sounds are also collected together with the welding sound by the microphone 4 and converted into an electric signal for output, so that an electric signal in which the noise sound and the welding sound are mixed is sent to the microcomputer 6.

【0008】従って、マイクロコンピュータ6におい
て、ノイズ音と溶接音との混在した電気信号から溶接音
による信号のみを抽出することは、非常に困難であり、
このために溶接音による溶け込み状態等の溶接品質を判
定する精度が低いものとなっている。
Therefore, it is very difficult for the microcomputer 6 to extract only the signal due to the welding sound from the electric signal in which the noise sound and the welding sound are mixed.
For this reason, the accuracy of determining the welding quality such as the melted state by the welding sound is low.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】以上のように従来の溶
接品質モニター装置においては、ノイズ音と溶接音とが
混在してしまい、この中から溶接音のみを抽出すること
は困難であり、溶け込み状態等の溶接品質を判定する精
度が低くなっている。
As described above, in the conventional welding quality monitor, the noise sound and the welding sound are mixed and it is difficult to extract only the welding sound from the noise sound. The accuracy of determining the welding quality such as the condition is low.

【0010】そこで本発明は、オンラインで溶け込み状
態等の溶接品質を高精度に判定できるレーザ溶接品質判
定装置を提供することを目的とする。又、本発明は、オ
ンラインで溶け込み状態等の溶接品質を高精度に判定
し、この判定に応じてレーザ出力を制御して溶け込み状
態等を均一にできるレーザ溶接品質判定装置を提供する
ことを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide a laser welding quality judging device which can judge the welding quality such as a penetration state on-line with high accuracy. Another object of the present invention is to provide a laser welding quality determination device capable of highly accurately determining the welding quality such as the penetration state online and controlling the laser output according to this determination to make the penetration state uniform. And

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】請求項1によれば、レー
ザ光をワークに照射して溶接加工を行うときの少なくと
も溶接部の溶け込み状態の判定を行うレーザ溶接品質判
定装置において、ワーク上の溶融部に生成されるプラズ
マ生成状況を監視し、このプラズマ生成状況に応じた電
気信号を出力するプラズマモニタ手段と、このプラズマ
モニタ手段から出力された電気信号のレベルに基づいて
少なくとも溶接部の溶け込み状態の良否を判定する判定
手段と、を備えて上記目的を達成しようとするレーザ溶
接品質判定装置である。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a laser welding quality judging device for judging at least a melted state of a welded part when a work is irradiated with a laser beam to perform a welding process. Plasma monitor means for monitoring the plasma generation state generated in the molten portion and outputting an electric signal according to the plasma generation state, and at least welding of the welded portion based on the level of the electric signal output from the plasma monitor means A laser welding quality judging device, which comprises a judging means for judging whether the condition is good or bad and which is intended to achieve the above object.

【0012】請求項2によれば、レーザ発振器から出力
されたレーザ光をワークに照射して溶接加工を行うとき
の少なくとも溶接部の溶け込み状態の判定を行うレーザ
溶接品質判定装置において、ワーク上の溶融部に生成さ
れるプラズマ生成状況を監視し、このプラズマ生成状況
に応じた電気信号を出力するプラズマモニタ手段と、こ
のプラズマモニタ手段から出力された電気信号のレベル
に基づいて少なくとも溶接部の溶け込み状態の良否を判
定する判定手段と、この判定手段による少なくとも溶け
込み状態の良否を判定結果に応じてレーザ発振器のレー
ザ出力を制御するレーザ制御手段と、を備えて上記目的
を達成しようとするしたことを特徴とするレーザ溶接品
質判定装置である。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a laser welding quality judging device for judging at least a melted state of a welded portion when a work is irradiated with a laser beam outputted from a laser oscillator to perform welding. Plasma monitor means for monitoring the plasma generation state generated in the molten portion and outputting an electric signal according to the plasma generation state, and at least welding of the welded portion based on the level of the electric signal output from the plasma monitor means An object of the present invention is to provide the above object by providing a determining means for determining the quality of the state and a laser control means for controlling the laser output of the laser oscillator according to the determination result of at least the quality of the melted state by the determining means. Is a laser welding quality determination device.

【0013】請求項3によれば、プラズマモニタ手段
は、ワーク上方におけるレーザ光の光路上に電極を配置
し、この電極とワーク間のプラズマ空間での抵抗及び励
起電圧の変化に応じた電圧信号を出力する。
According to a third aspect of the present invention, the plasma monitor means has electrodes arranged on the optical path of the laser beam above the work, and a voltage signal corresponding to changes in resistance and excitation voltage in the plasma space between the electrode and the work. Is output.

【0014】請求項4によれば、プラズマモニタ手段
は、少なくともレーザ光の導管として用いる加工ノズル
に対して絶縁体を介してノズルチップを挿入し、このノ
ズルチップとワーク間のプラズマ空間での抵抗及び励起
電圧の変化に応じた電圧信号を出力する。
According to a fourth aspect of the present invention, the plasma monitor means inserts a nozzle tip into at least a processing nozzle used as a conduit for laser light via an insulator, and a resistance in a plasma space between the nozzle tip and the work. And a voltage signal corresponding to a change in the excitation voltage is output.

【0015】請求項5によれば、判定手段は、プラズマ
モニタ手段から出力された電気信号レベルと基準信号で
ある上限及び下限設定値の範囲とを比較して少なくとも
溶接部の溶け込み状態の良否を判定する。
According to the fifth aspect, the judging means compares the electric signal level output from the plasma monitoring means with the range of the upper limit and the lower limit set values which are the reference signals, and judges at least whether the melted state of the welded portion is good or bad. judge.

【0016】請求項6によれば、判定手段は、プラズマ
モニタ手段から出力された電気信号レベルと基準信号で
ある上限及び下限設定値の範囲とを比較し、電気信号レ
ベルが基準信号の範囲を所定期間毎に越える場合、異常
ビート発生を判定する。
According to the sixth aspect of the present invention, the judging means compares the electric signal level output from the plasma monitoring means with the range of the upper and lower limit set values which are the reference signals, and the electric signal level is within the range of the reference signal. If it exceeds every predetermined period, it is determined that an abnormal beat has occurred.

【0017】請求項7によれば、レーザ制御手段は、プ
ラズマモニタ手段から出力された電気信号レベルが基準
信号の範囲内になるようにレーザ発振器のレーザ出力を
フィードバック制御する。
According to the seventh aspect, the laser control means feedback-controls the laser output of the laser oscillator so that the electric signal level output from the plasma monitor means falls within the range of the reference signal.

【0018】[0018]

【作用】請求項1によれば、レーザ光をワークに照射し
て溶接加工を行うとき、ワーク上の溶融部に生成される
プラズマ生成状況をプラズマモニタ手段にて監視してそ
のプラズマ生成状況に応じた電気信号を出力し、この電
気信号のレベルに基づいて判定手段により少なくとも溶
接部の溶け込み状態の良否を判定する。これにより、オ
ンラインで溶け込み状態等の溶接品質を高精度に判定で
きる。
According to the first aspect of the present invention, when the work is irradiated with the laser beam to perform the welding process, the plasma generation means monitors the plasma generation state generated in the melted portion on the work and confirms the plasma generation state. A corresponding electric signal is output, and based on the level of this electric signal, the judging means judges at least whether the melted state of the welded portion is good or bad. As a result, the welding quality such as the penetration state can be determined online with high accuracy.

【0019】請求項2によれば、レーザ光をワークに照
射して溶接加工を行うとき、ワーク上の溶融部に生成さ
れるプラズマ生成状況をプラズマモニタ手段にて監視し
てそのプラズマ生成状況に応じた電気信号を出力し、こ
の電気信号のレベルに基づいて判定手段により少なくと
も溶接部の溶け込み状態の良否を判定し、さらにこの判
定結果に応じてレーザ発振器のレーザ出力をレーザ制御
手段により制御する。これにより、オンラインで溶け込
み状態等の溶接品質を高精度に判定し、レーザ出力を制
御して溶け込み状態等を均一にできる。
According to the second aspect of the present invention, when the work is irradiated with the laser beam to perform the welding process, the plasma generation means monitors the plasma generation state generated in the melted portion on the work and confirms the plasma generation state. According to the level of this electric signal, the judging means judges at least whether the welded state of the welded portion is good or bad, and further controls the laser output of the laser oscillator by the laser control means according to the judgment result. . As a result, the welding quality such as the melted state can be determined with high accuracy online, and the laser output can be controlled to make the melted state uniform.

【0020】請求項3によれば、ワーク上方におけるレ
ーザ光の光路上に配置した電極とワーク間のプラズマ空
間での抵抗及び励起電圧の変化に応じた電圧信号を出力
し、この電気信号のレベルに基づいて少なくとも溶接部
の溶け込み状態の良否を判定し、レーザ発振器のレーザ
出力を制御する。
According to the third aspect of the present invention, a voltage signal is output according to a change in resistance and excitation voltage in the plasma space between the electrode arranged on the optical path of the laser beam above the work and the work, and the level of this electric signal is output. Based on the above, at least the quality of the melted state of the welded portion is determined, and the laser output of the laser oscillator is controlled.

【0021】請求項4によれば、レーザ光の導管として
用いる加工ノズルに対して絶縁体を介して挿入されたノ
ズルチップとワーク間のプラズマ空間での抵抗及び励起
電圧の変化に応じた電圧信号を出力し、この電気信号の
レベルに基づいて少なくとも溶接部の溶け込み状態の良
否を判定し、レーザ発振器のレーザ出力を制御する。
According to a fourth aspect of the present invention, a voltage signal corresponding to changes in resistance and excitation voltage in a plasma space between a nozzle tip and a workpiece inserted through an insulator into a processing nozzle used as a laser beam conduit. Based on the level of the electric signal, the quality of the melted state of at least the welded portion is determined, and the laser output of the laser oscillator is controlled.

【0022】請求項5によれば、プラズマ生成状況に応
じた電気信号レベルと基準信号である上限及び下限設定
値の範囲とを比較して溶接部の溶け込み状態等の良否を
判定する。
According to the fifth aspect, the quality of the welded state of the welded portion is judged by comparing the electric signal level according to the plasma generation state with the range of the upper limit and the lower limit set value as the reference signal.

【0023】請求項6によれば、プラズマ生成状況に応
じた電気信号レベルと基準信号である上限及び下限設定
値の範囲とを比較し、電気信号レベルが基準信号の範囲
を所定期間毎に越える場合、異常ビート、例えばハンピ
ングビートの発生を判定する。
According to the sixth aspect of the present invention, the electric signal level corresponding to the plasma generation state is compared with the range of the upper limit and the lower limit set value which is the reference signal, and the electric signal level exceeds the range of the reference signal every predetermined period. In this case, the occurrence of an abnormal beat, for example, a humping beat is determined.

【0024】請求項7によれば、プラズマ生成状況に応
じた電気信号レベルが基準信号の範囲内になるようにレ
ーザ発振器のレーザ出力をフィードバック制御すること
により、溶け込み状態等が均一となる。
According to the seventh aspect, by performing feedback control of the laser output of the laser oscillator so that the electric signal level according to the plasma generation condition falls within the range of the reference signal, the melted state and the like become uniform.

【0025】[0025]

【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。なお、図9と同一部分には同一部号を付
してその詳しい説明は省略する。図1はレーザ溶接品質
判定装置の構成図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. The same parts as those in FIG. 9 are designated by the same reference numerals and detailed description thereof will be omitted. FIG. 1 is a configuration diagram of a laser welding quality determination device.

【0026】プラズマモニタ手段10は、ワーク3上の
溶融部に生成されるプラズマPzの生成状況をモニター
してそのプラズマ生成状況に応じた電気信号Vsを出力
する機能を有している。
The plasma monitor means 10 has a function of monitoring the generation state of the plasma Pz generated in the molten portion on the work 3 and outputting an electric signal Vs according to the plasma generation state.

【0027】このプラズマモニタ手段10は、ワーク3
上方におけるレーザ光Lbの光路上に電極11を配置
し、この電極11とワーク3間のプラズマ空間での抵抗
及び励起電圧の変化に応じた電気信号Vsを出力するも
のとなっている。
The plasma monitor means 10 is used for the work 3
An electrode 11 is arranged on the optical path of the laser beam Lb above, and an electric signal Vs corresponding to changes in resistance and excitation voltage in a plasma space between the electrode 11 and the work 3 is output.

【0028】このプラズマモニタ手段10の具体的な構
成は、定電圧電源12が備えられ、この定電圧電源12
の出力端子に第1の抵抗13、第2の抵抗14が直列接
続され、これら第1、第2の抵抗13、14の接続点に
電極11が接続されている。なお、第2の抵抗14は、
ワーク13及びアース電位に接続されている。
The specific configuration of the plasma monitor means 10 is provided with a constant voltage power source 12, and the constant voltage power source 12 is provided.
The first resistor 13 and the second resistor 14 are connected in series to the output terminal of the, and the electrode 11 is connected to the connection point of the first and second resistors 13 and 14. The second resistor 14 is
It is connected to the work 13 and the ground potential.

【0029】通常、レーザ発振器1から出射されたレー
ザ光Lbは、図2に示すように加工ノズル15を通して
ワーク3に照射されている。この加工ノズル15は、レ
ーザ光Lb及びシールドガスの導管として用いられてい
る。この加工ノズル15の先端側には、ノズルチップ1
6が設けられており、これら加工ノズル15とノズルチ
ップ16との間には、絶縁体により形成されたスペーサ
17が挿入されている。
Normally, the laser light Lb emitted from the laser oscillator 1 is applied to the work 3 through the processing nozzle 15 as shown in FIG. The processing nozzle 15 is used as a conduit for the laser light Lb and the shield gas. The nozzle tip 1 is provided on the tip side of the processing nozzle 15.
6 is provided, and a spacer 17 made of an insulator is inserted between the processing nozzle 15 and the nozzle tip 16.

【0030】従って、ノズルチップ16は、加工ノズル
15の電位に対して絶縁され、これが上記電極11とし
て用いられる。しかるに、電極11(ノズルチップ1
6)とワーク3間のプラズマ空間での抵抗及び励起電圧
の変化に応じた電気信号Vsは、第1の抵抗13の両端
間の電位差として出力される。
Therefore, the nozzle tip 16 is insulated from the potential of the processing nozzle 15, and this is used as the electrode 11. However, the electrode 11 (nozzle tip 1
6) and the electric signal Vs corresponding to the change in the excitation voltage and the resistance in the plasma space between the work 3 are output as the potential difference across the first resistor 13.

【0031】この第1の抵抗13の両端には、差動増幅
器18、この差動増幅器18の出力信号から低周波数成
分の電圧信号を抽出するローパスフィルタ19、A/D
変換器20を介して溶接品質判定回路21が接続されて
いる。
A differential amplifier 18, a low-pass filter 19 for extracting a voltage signal of a low frequency component from the output signal of the differential amplifier 18, and an A / D are provided across the first resistor 13.
A welding quality determination circuit 21 is connected via the converter 20.

【0032】この溶接品質判定回路21は、A/D変換
器20からディジタル変換出力された電位差Vsのレベ
ルと基準信号DR である上限及び下限設定値の範囲とを
比較して少なくともワーク3上の溶接部の溶け込み状態
の良否を判定する機能を有している。
This welding quality judging circuit 21 compares the level of the potential difference Vs digitally converted and output from the A / D converter 20 with the range of the upper limit and the lower limit set value which is the reference signal DR, and at least on the work 3. It has the function of determining the quality of the welded state.

【0033】この溶接品質判定回路21は、具体的にメ
モリ21a及びマイクロプロセッサユニット21bから
構成されている。メモリ21aには、レーザ発振器1の
レーザ出力をはじめとする様々な溶接条件で測定された
第1の抵抗13間の電位差Vsに対する基準信号DR の
データが予め記憶されている。
The welding quality judging circuit 21 is specifically composed of a memory 21a and a microprocessor unit 21b. The memory 21a stores in advance the data of the reference signal DR with respect to the potential difference Vs between the first resistors 13 measured under various welding conditions including the laser output of the laser oscillator 1.

【0034】ここで、基準信号DR のデータは、例えば
上限設定値、下限設定値から成る範囲となっており、こ
れら上限設定値及び下限設定値は、任意に設定変更可能
となっている。
Here, the data of the reference signal DR has a range including, for example, an upper limit setting value and a lower limit setting value, and the upper limit setting value and the lower limit setting value can be arbitrarily changed.

【0035】マイクロプロセッサユニット21bは、A
/D変換器20からディジタル変換出力された電位差V
sレベルと基準信号DR である上限及び下限設定値の範
囲とを比較し、電位差Vsレベルが基準信号DR の範囲
を所定期間毎に越える場合、異常ビート例えばハンピン
グビート発生を判定する機能を有している。
The microprocessor unit 21b is A
Potential difference V digitally converted and output from the / D converter 20
It has a function of comparing the s level with the range of the upper and lower limit setting values which are the reference signal DR, and determining the occurrence of an abnormal beat, for example, a humping beat, when the potential difference Vs level exceeds the range of the reference signal DR every predetermined period. are doing.

【0036】又、マイクロプロセッサユニット21b
は、A/D変換器20からディジタル変換出力された電
位差Vsレベルが基準信号DR の範囲内になるようにレ
ーザ発振器1のレーザ出力をフィードバック制御するレ
ーザ制御手段としての機能を有している。
Further, the microprocessor unit 21b
Has a function as a laser control means for feedback controlling the laser output of the laser oscillator 1 so that the potential difference Vs level digitally converted and output from the A / D converter 20 falls within the range of the reference signal DR.

【0037】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。レーザ発振器1からレーザ光Lbが出射
されると、このレーザ光Lbは集光レンズ2により集光
されてワーク3に照射される。
Next, the operation of the apparatus configured as described above will be described. When the laser light Lb is emitted from the laser oscillator 1, the laser light Lb is condensed by the condenser lens 2 and is applied to the work 3.

【0038】このレーザ光Lbの照射によりワーク3は
溶融し、その一部が蒸発して金属蒸気となる。この金属
蒸気は、後続のレーザ光Lbを吸収することでプラズマ
Pzが生成される。
The work 3 is melted by the irradiation of the laser beam Lb, and a part of the work 3 is evaporated to become metal vapor. This metal vapor absorbs the subsequent laser light Lb to generate plasma Pz.

【0039】このプラズマPzは、ワーク3の溶け込み
状態により生成状態が変化し、ワーク3と電極11(ノ
ズルチップ16)との間のプラズマ空間での抵抗及び励
起電圧が変化し、この変化に応じて電極11に接続され
ている第1の抵抗13の両端に生じる電位差Vsが変化
する。
The generation state of this plasma Pz changes depending on the melted state of the work 3, and the resistance and excitation voltage in the plasma space between the work 3 and the electrode 11 (nozzle tip 16) change, and in response to this change. The potential difference Vs generated at both ends of the first resistor 13 connected to the electrode 11 changes.

【0040】従って、第1の抵抗13の両端に生じる電
位差Vsが差動増幅器18に出力される。ここで、プラ
ズマPzの生成されていないときと生成されたときとの
電極11の各電位について図3及び図4を参照して説明
する。
Therefore, the potential difference Vs generated across the first resistor 13 is output to the differential amplifier 18. Here, each potential of the electrode 11 when the plasma Pz is not generated and when the plasma Pz is generated will be described with reference to FIGS. 3 and 4.

【0041】プラズマPzの生成されていないときは、
プラズマPzによる励起電圧がないので、図3に示す電
気回路と等価となる。なお、R13、R14は、それぞれ第
1及び第2の抵抗13、14の各抵抗値であり、Vcは
定電圧電源12の出力電圧値である。
When the plasma Pz is not generated,
Since there is no excitation voltage due to the plasma Pz, it is equivalent to the electric circuit shown in FIG. R13 and R14 are resistance values of the first and second resistors 13 and 14, respectively, and Vc is an output voltage value of the constant voltage power supply 12.

【0042】かかる電気回路において、電極11の電位
に相当するE点の電位VE は、定電圧電源12の出力電
圧値Vcを第1及び第2の抵抗13、14により分圧し
た値であり、次式により表される。
In the electric circuit, the electric potential VE at the point E corresponding to the electric potential of the electrode 11 is a value obtained by dividing the output voltage value Vc of the constant voltage power source 12 by the first and second resistors 13 and 14, It is expressed by the following equation.

【0043】 VE ={R14/(R13+R14)}・Vc …(1) 一方、プラズマPzの生成されたときは、図4に示す電
気回路と等価となる。ここで、VpはプラズマPzによ
り生じる励起電圧、Rpはワーク3と電極11との間の
ギャップ抵抗である。
VE = {R14 / (R13 + R14)} Vc (1) On the other hand, when the plasma Pz is generated, it is equivalent to the electric circuit shown in FIG. Here, Vp is an excitation voltage generated by the plasma Pz, and Rp is a gap resistance between the work 3 and the electrode 11.

【0044】これら励起電圧Vp、ギャップ抵抗Rp
は、プラズマPzの生成状況すなわちワーク3の溶け込
み状態によりその値が変化する。かかる電気回路におい
て、E点の電位VE は、 VE =IR ・R14 …(2) IR =(Rp・Vc+R13・Vp) ÷(R13・R14+R13・Rp+R14・Rp) …(3) により表される。IR は、定電圧電源12及びプラズマ
Pzによる励起電圧Vcから流れ込む又は流れ出る電流
である。なお、この電流IR は、重ね合わせの定理を用
いて求められる。
These excitation voltage Vp and gap resistance Rp
Has a value that changes depending on the generation state of the plasma Pz, that is, the melted state of the work 3. In such an electric circuit, the electric potential VE at the point E is represented by VE = IR.R14 (2) IR = (Rp.Vc + R13.Vp) / (R13.R14 + R13.Rp + R14.Rp) (3). IR is a current flowing in or out of the excitation voltage Vc generated by the constant voltage power supply 12 and the plasma Pz. The current IR is obtained using the superposition theorem.

【0045】このようにプラズマPzの生成状況すなわ
ちワーク3の溶け込み状態に応じて変化する第1の抵抗
13の両端間の電位差Vsは差動増幅器18により増幅
される。
As described above, the potential difference Vs across the first resistor 13, which changes according to the generation state of the plasma Pz, that is, the melted state of the work 3, is amplified by the differential amplifier 18.

【0046】図5(a) 及び図6(a) はかかる差動増幅器
18の出力信号を示しており、ワーク3へのビードオン
溶接で溶接条件、すなわちレーザ出力、溶接速度、デフ
ォーカス、ワーク材質・厚さ等のうちレーザ出力のみを
変化させて得られたものである。なお、図5(a) はレー
ザ出力3kW、図6(a) はレーザ出力4kWである。
FIGS. 5 (a) and 6 (a) show the output signal of the differential amplifier 18, and the welding conditions for bead-on welding to the work 3, that is, laser output, welding speed, defocus, work material. -It was obtained by changing only the laser output of the thickness and the like. The laser output is 3 kW in FIG. 5 (a) and the laser output is 4 kW in FIG. 6 (a).

【0047】このような差動増幅器18の各出力信号
は、それぞれローパスフィルタ19により低周波数成分
が抽出され、図5(b) 及び図6(b) に示すようにレーザ
出力の違いにより各出力電圧6.4V、9.0Vとな
る。
Low frequency components of the respective output signals of the differential amplifier 18 are extracted by the low pass filter 19, and the respective output signals are output due to the difference in laser output as shown in FIGS. 5B and 6B. The voltages are 6.4V and 9.0V.

【0048】すなわち、レーザ出力3kWに比べ、レー
ザ出力4kWの方がワーク3の溶け込みが増加し、ワー
ク3から発生する金属蒸気、プラズマPzのサイズ及び
プラズマPz内部の電子密度等が増加する。
That is, as compared with the laser output of 3 kW, the laser output of 4 kW increases the penetration of the work 3, and the metal vapor generated from the work 3, the size of the plasma Pz, the electron density inside the plasma Pz, and the like increase.

【0049】これにより、励起電圧Vpは高くなるが、
電子密度増加によってギャップ抵抗Rpは少なくなる。
このギャップ抵抗Rpの減少によって、ギャップ抵抗R
pと並列接続されている第2の抵抗R14との合成抵抗値
は減少し、定電圧電源12によりE点の電位は低くな
る。これによって、第1の抵抗R13の両端に生じる電位
差Vcは増加する。
As a result, the excitation voltage Vp increases, but
The gap resistance Rp decreases as the electron density increases.
By reducing the gap resistance Rp, the gap resistance R
The combined resistance value of the second resistor R14 connected in parallel with p decreases, and the constant-voltage power supply 12 lowers the potential at point E. As a result, the potential difference Vc across the first resistor R13 increases.

【0050】このように事から第1の抵抗R13の両端に
生じる電位差Vcをモニターすることで、ワーク3の溶
け込み状態、すなわち溶接品質が判定できる。以下、ワ
ーク3の溶接品質の判定処理について説明する。
As described above, by monitoring the potential difference Vc generated across the first resistor R13, it is possible to determine the melted state of the work 3, that is, the welding quality. The process of determining the welding quality of the work 3 will be described below.

【0051】ローパスフィルタ19の出力信号は、A/
D変換器20によりディジタル変換されてマイクロプロ
セッサユニット21bへの入力信号Dsとなる。マイク
ロプロセッサユニット21bは、入力信号Dsを取り込
み、この入力信号Dsすなわち電位差Vsとメモリ21
aに予め記憶されている所定の溶接条件の基準信号DR
である上限及び下限設定値とを比較する。
The output signal of the low-pass filter 19 is A /
The signal is digitally converted by the D converter 20 and becomes an input signal Ds to the microprocessor unit 21b. The microprocessor unit 21b takes in the input signal Ds, and the input signal Ds, that is, the potential difference Vs and the memory 21.
Reference signal DR of predetermined welding condition stored in advance in a
The upper limit and the lower limit set value which are are compared.

【0052】図7はこれら入力信号Dsと基準信号DR
との比較を示しており、入力信号Dsが基準信号DR の
上限設定値及び下限設定値との範囲内にあれば、マイク
ロプロセッサユニット21bは、溶接品質が良として溶
接品質の判定信号Spを「0」レベルとして出力する。
FIG. 7 shows these input signal Ds and reference signal DR.
When the input signal Ds is within the range of the upper limit setting value and the lower limit setting value of the reference signal DR, the microprocessor unit 21b determines that the welding quality is good and outputs the welding quality determination signal Sp Output as 0 level.

【0053】これに対して各期間T1 、T2 のように、
入力信号Dsが基準信号DR の上限設定値及び下限設定
値との範囲を越えれば、マイクロプロセッサユニット2
1bは、溶接品質が不良として判定信号Spを、越えた
方向に応じて「+(プラス)」又は「−(マイナス)」
の符号により区別して出力する。
On the other hand, like the periods T1 and T2,
If the input signal Ds exceeds the range between the upper limit setting value and the lower limit setting value of the reference signal DR, the microprocessor unit 2
1b is "+ (plus)" or "-(minus)" depending on the direction in which the welding quality is poor and the determination signal Sp is exceeded.
Are distinguished and output.

【0054】次に溶接の異常ビート、例えばハンピング
ビート発生の判定について説明する。ハンピングビート
発生時には、ビードの外見に溶解金属の周期的に盛り上
がりが、又その内部の周期的な溶け込み深差の変動を生
じるために、プラズマPzの生成状況は不安定となる。
Next, the determination of the occurrence of abnormal welding beat, for example, humping beat will be described. When a humping beat occurs, the molten metal periodically swells in the appearance of the bead, and the periodical difference in the depth of penetration inside the bead also fluctuates, so that the generation state of the plasma Pz becomes unstable.

【0055】図8(a)(b)はハンピングビート発生時にお
ける差動増幅器18とローパスフィルタ19とで観測さ
れる信号波形を示す。マイクロプロセッサユニット21
bは、入力信号Dsを取り込み、この入力信号Dsと基
準信号DR とを比較してその結果が、判定信号Spに
「0」レベルを基準に所定期間毎に越える場合、すなわ
ち図8(b) に示すような矩形波信号が観測されると、ハ
ンピングビート発生と判定する。
FIGS. 8A and 8B show signal waveforms observed by the differential amplifier 18 and the low-pass filter 19 when a humping beat occurs. Microprocessor unit 21
In FIG. 8B, when the input signal Ds is fetched, the input signal Ds is compared with the reference signal DR, and the result exceeds the judgment signal Sp every "0" level every predetermined period, that is, FIG. 8 (b). When a rectangular wave signal as shown in is observed, it is determined that a humping beat has occurred.

【0056】次にレーザ発振器1のレーザ出力制御につ
いて説明する。マイクロプロセッサユニット21bは、
図7に示すように入力信号Dsが基準信号DR の上限設
定値及び下限設定値との範囲内にあれば、溶接品質の判
定信号Spを「0」レベルとして出力するが、入力信号
Dsが基準信号DR の上限設定値及び下限設定値との範
囲を越えれば、判定信号Spを、越えた方向に応じて
「+(プラス)」又は「−(マイナス)」の符号により
区別して出力する。
Next, the laser output control of the laser oscillator 1 will be described. The microprocessor unit 21b is
As shown in FIG. 7, if the input signal Ds is within the range of the upper limit setting value and the lower limit setting value of the reference signal DR, the welding quality determination signal Sp is output as a "0" level, but the input signal Ds is the reference signal. If the range between the upper limit setting value and the lower limit setting value of the signal DR is exceeded, the determination signal Sp is discriminated and output according to the sign of "+ (plus)" or "-(minus)" depending on the direction in which it is exceeded.

【0057】マイクロプロセッサユニット21bは、こ
の判定信号Spに応じて電位差Vsレベルが基準信号D
R の範囲内になるようにレーザ発振器1のレーザ出力を
フィードバック制御する。
In the microprocessor unit 21b, the potential difference Vs level is set to the reference signal D according to the determination signal Sp.
The laser output of the laser oscillator 1 is feedback-controlled so that it falls within the range of R 2.

【0058】すなわち、判定信号Spが「+(プラ
ス)」であれば、マイクロプロセッサユニット21b
は、レーザ出力を減少し、ワーク3の溶け込みを抑え入
力信号Dsの信号レベルを基準信号DR の上限設定値よ
り下回るようにする。
That is, when the determination signal Sp is "+ (plus)", the microprocessor unit 21b
Reduces the laser output and suppresses the melting of the work 3 so that the signal level of the input signal Ds falls below the upper limit set value of the reference signal DR.

【0059】又、判定信号Spが「−(マイナス)」で
あれば、マイクロプロセッサユニット21bは、レーザ
出力を増加し、ワーク3の溶け込みを増加させ入力信号
Dsの信号レベルを基準信号DR の下限設定値より上回
るようにする。
If the determination signal Sp is "-(minus)", the microprocessor unit 21b increases the laser output to increase the penetration of the work 3 and lowers the signal level of the input signal Ds to the lower limit of the reference signal DR. Make sure to exceed the set value.

【0060】従って、マイクロプロセッサユニット21
bは、入力信号Dsの信号レベルを基準信号DR の上限
及び下限設定値の範囲内に収まるように、レーザ発振器
1のレーザ出力を判定信号Spにより制御する。
Therefore, the microprocessor unit 21
b controls the laser output of the laser oscillator 1 by the determination signal Sp so that the signal level of the input signal Ds falls within the range of the upper limit and lower limit set values of the reference signal DR.

【0061】このように上記一実施例においては、ワー
ク3上の溶融部に生成されるプラズマ生成状況をモニタ
ーしてそのプラズマ生成状況に応じた電位差Vsを出力
し、この電位差Vsのレベルに基づいて溶接部の溶け込
み状態の良否を判定するようにしたので、悪条件化での
溶接作業環境にとらわれず、すなわち溶接部の回りのレ
ーザ発振器1をはじめ、その付帯装置からの溶接音以外
のノイズ音に影響されずに、オンラインでワーク3にお
ける溶け込み状態の溶接品質を高精度に判定できる。
As described above, in the above-described embodiment, the plasma generation state generated in the molten portion on the work 3 is monitored, and the potential difference Vs corresponding to the plasma generation state is output, and based on the level of this potential difference Vs. Since the quality of the melted state of the welded part is determined by the judgment, it is not restricted by the welding work environment under adverse conditions, that is, noise other than the welding sound from the laser oscillator 1 around the welded part and its associated equipment. The weld quality of the melted state in the work 3 can be determined with high accuracy online without being affected by the sound.

【0062】このとき電極11とワーク3間のプラズマ
空間での抵抗Rp及び励起電圧Vpの変化に応じた電位
差Vsを出力するようにしたので、プラズマPzにおけ
る抵抗Rp及び励起電圧Vpの変化、つまり溶接部の溶
け込み状態に応じた信号を得ることができ、これから高
精度に溶接品質を判定できる。
At this time, since the potential difference Vs corresponding to the changes in the resistance Rp and the excitation voltage Vp in the plasma space between the electrode 11 and the work 3 is output, the changes in the resistance Rp and the excitation voltage Vp in the plasma Pz, that is, A signal corresponding to the melted state of the welded portion can be obtained, and from this, the welding quality can be determined with high accuracy.

【0063】そのうえ電極11として、加工ノズル15
に対してスペーサ17を介して挿入されたノズルチップ
16を用いるようにしたので、溶接部周辺にセンサ等を
配置する必要がなく溶接品質の判定ができる。
Moreover, as the electrode 11, the processing nozzle 15 is used.
On the other hand, since the nozzle tip 16 inserted through the spacer 17 is used, it is not necessary to dispose a sensor or the like around the welded portion, and the welding quality can be determined.

【0064】又、プラズマ生成状況に応じた電位差Vs
と基準信号DR とを比較し、その得られる波形が矩形波
状であれば、ハンピングビートの発生を判定できる。一
方、溶接部の溶け込み状態の良否を判定し、この判定結
果に応じてレーザ発振器1のレーザ出力を制御するの
で、オンラインでワーク3上の溶け込み状態を均一にで
き、品質の良い溶接加工ができる。
Further, the potential difference Vs corresponding to the plasma generation state
And the reference signal DR are compared, and if the obtained waveform is a rectangular wave, the occurrence of a humping beat can be determined. On the other hand, since the quality of the welded state of the welded portion is determined and the laser output of the laser oscillator 1 is controlled according to the determination result, the welded state on the work 3 can be made uniform online and high quality welding can be performed. .

【0065】[0065]

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、オ
ンラインで溶け込み状態等の溶接品質を高精度に判定で
きるレーザ溶接品質判定装置を提供できる。又、本発明
によれば、オンラインで溶け込み状態等の溶接品質を高
精度に判定し、この判定に応じてレーザ出力を制御して
溶け込み状態等を均一にできるレーザ溶接品質判定装置
を提供できる。
As described above in detail, according to the present invention, it is possible to provide a laser welding quality judging device which can judge the welding quality such as a penetration state online with high accuracy. Further, according to the present invention, it is possible to provide a laser welding quality determination device capable of highly accurately determining a welding quality such as a penetration state online and controlling a laser output according to the determination to make the penetration state uniform.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係わるレーザ溶接品質判定装置の一実
施例を示す構成図。
FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a laser welding quality determination device according to the present invention.

【図2】プラズマ生成状況に応じた電気信号を得るため
の電極を示す構成図。
FIG. 2 is a configuration diagram showing an electrode for obtaining an electric signal according to a plasma generation state.

【図3】プラズマが生成されないときのプラズマモニタ
の電気回路を示す図。
FIG. 3 is a diagram showing an electric circuit of a plasma monitor when plasma is not generated.

【図4】プラズマが生成されたときのプラズマモニタの
電気回路を示す図。
FIG. 4 is a diagram showing an electric circuit of a plasma monitor when plasma is generated.

【図5】プラズマモニタリング時の電気信号の波形図。FIG. 5 is a waveform diagram of an electric signal during plasma monitoring.

【図6】プラズマモニタリング時の電気信号の波形図。FIG. 6 is a waveform diagram of an electric signal during plasma monitoring.

【図7】溶け込み状態の溶接品質を判定作用を示す図。FIG. 7 is a diagram showing a function of determining weld quality in a melted state.

【図8】ハンピングビート発生時の波形図。FIG. 8 is a waveform diagram when a humping beat occurs.

【図9】従来装置の構成図。FIG. 9 is a block diagram of a conventional device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…レーザ発振器、3…ワーク、10…プラズマモニタ
手段、11…電極、12…定電圧電源、13…第1の抵
抗、14…第2の抵抗、16…ノズルチップ、18…差
動増幅器、19…ローパスフィルタ、20…A/D変換
器、21…溶接品質判定回路、21a…メモリ、21b
…マイクロプロセッサユニット。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Laser oscillator, 3 ... Work, 10 ... Plasma monitoring means, 11 ... Electrode, 12 ... Constant voltage power supply, 13 ... 1st resistance, 14 ... 2nd resistance, 16 ... Nozzle chip, 18 ... Differential amplifier, 19 ... Low-pass filter, 20 ... A / D converter, 21 ... Welding quality judgment circuit, 21a ... Memory, 21b
… Microprocessor unit.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 レーザ光をワークに照射して溶接加工を
行うときの少なくとも溶接部の溶け込み状態の判定を行
うレーザ溶接品質判定装置において、 前記ワーク上の溶融部に生成されるプラズマ生成状況を
監視してそのプラズマ生成状況に応じた電気信号を出力
するプラズマモニタ手段と、 このプラズマモニタ手段から出力された電気信号のレベ
ルに基づいて少なくとも前記溶接部の溶け込み状態の良
否を判定する判定手段と、を具備したことを特徴とする
レーザ溶接品質判定装置。
1. A laser welding quality judging device for judging at least a melted state of a welded part when a work is irradiated with a laser beam to perform a welding process. Plasma monitor means for monitoring and outputting an electric signal according to the plasma generation state, and judging means for judging at least whether or not the melted state of the welded portion is good or bad on the basis of the level of the electric signal outputted from the plasma monitor means. A laser-welding quality judging device comprising:
【請求項2】 レーザ発振器から出力されたレーザ光を
ワークに照射して溶接加工を行うときの少なくとも溶接
部の溶け込み状態の判定を行うレーザ溶接品質判定装置
において、 前記ワーク上の溶融部に生成されるプラズマ生成状況を
監視し、このプラズマ生成状況に応じた電気信号を出力
するプラズマモニタ手段と、 このプラズマモニタ手段から出力された電気信号のレベ
ルに基づいて少なくとも前記溶接部の溶け込み状態の良
否を判定する判定手段と、 この判定手段による少なくとも溶け込み状態の良否を判
定結果に応じて前記レーザ発振器のレーザ出力を制御す
るレーザ制御手段と、を具備したことを特徴とするレー
ザ溶接品質判定装置。
2. A laser welding quality judging device for judging at least a melted state of a welded part when irradiating a work with a laser beam outputted from a laser oscillator and performing welding processing. Plasma monitoring means for monitoring the plasma generation status and outputting an electric signal corresponding to the plasma generation status, and at least whether the melted state of the welded portion is good or bad based on the level of the electric signal output from the plasma monitoring means. A laser welding quality determination device comprising: a determination unit that determines whether or not the laser beam is emitted from the laser oscillator according to a determination result of at least whether the melted state is good or not determined by the determination unit.
【請求項3】 プラズマモニタ手段は、ワーク上方にお
けるレーザ光の光路上に電極を配置し、この電極と前記
ワーク間のプラズマ空間での抵抗及び励起電圧の変化に
応じた電圧信号を出力することを特徴とする請求項1又
は2記載のレーザ溶接品質判定装置。
3. The plasma monitor means has electrodes arranged on the optical path of laser light above the work, and outputs a voltage signal according to changes in resistance and excitation voltage in the plasma space between the electrodes and the work. The laser welding quality determination device according to claim 1 or 2.
【請求項4】 プラズマモニタ手段は、少なくともレー
ザ光の導管として用いる加工ノズルに対して絶縁体を介
してノズルチップを挿入し、このノズルチップとワーク
間のプラズマ空間での抵抗及び励起電圧の変化に応じた
電圧信号を出力することを特徴とする請求項1又は2記
載のレーザ溶接品質判定装置。
4. The plasma monitor means inserts a nozzle tip into at least a processing nozzle used as a laser beam conduit via an insulator, and changes in resistance and excitation voltage in a plasma space between the nozzle tip and the work. The laser welding quality judging device according to claim 1 or 2, which outputs a voltage signal according to the above.
【請求項5】 判定手段は、プラズマモニタ手段から出
力された電気信号レベルと基準信号である上限及び下限
設定値の範囲とを比較して少なくとも溶接部の溶け込み
状態の良否を判定することを特徴とする請求項1又は2
記載のレーザ溶接品質判定装置。
5. The judging means compares the electric signal level output from the plasma monitoring means with a range of upper and lower limit set values which are reference signals, and judges at least whether or not the melted state of the welded portion is good or bad. Claim 1 or 2
The laser welding quality determination device described.
【請求項6】 判定手段は、プラズマモニタ手段から出
力された電気信号レベルと基準信号である上限及び下限
設定値の範囲とを比較し、前記電気信号レベルが前記基
準信号の範囲を所定期間毎に越える場合、異常ビート発
生を判定することを特徴とする請求項1又は2記載のレ
ーザ溶接品質判定装置。
6. The judging means compares the electric signal level output from the plasma monitoring means with a range of upper and lower limit set values which are reference signals, and the electric signal level is within the range of the reference signal at predetermined intervals. 3. The laser welding quality judging device according to claim 1, wherein the occurrence of an abnormal beat is judged when it exceeds.
【請求項7】 レーザ制御手段は、プラズマモニタ手段
から出力された電気信号レベルが基準信号の範囲内にな
るようにレーザ発振器のレーザ出力をフィードバック制
御することを特徴とする請求項2記載のレーザ溶接品質
判定装置。
7. The laser according to claim 2, wherein the laser control means feedback-controls the laser output of the laser oscillator so that the electric signal level output from the plasma monitor means falls within the range of the reference signal. Welding quality judgment device.
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