JPH078909A

JPH078909A - 超音波振動子の駆動装置

Info

Publication number: JPH078909A
Application number: JP5156927A
Authority: JP
Inventors: Toshiharu Tsubata; 敏晴津幡; Tomoki Funakubo; 朋樹舟窪; Yoshihisa Taniguchi; 芳久谷口; Koji Ouchi; 孝司大内
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1993-06-28
Filing date: 1993-06-28
Publication date: 1995-01-13

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明は、常に駆動周波数が機械的共振周波
数の近傍にある超音波振動子の駆動装置を提供するにあ
る。【構成】パルサ１０からの信号が振動子５に圧電素子
８を介して供給されると、音波に変換され、振動子に上
記圧電素子８に対向して設けられている圧電素子９で再
び信号に変換される。この間の時間が音波伝播時間とし
て計測され、この音波伝播時間に基づいて、振動子を駆
動する駆動信号の周波数が決定され、これによって振動
子の共振周波数変動を自動的に追尾する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、超音波振動子の駆動
装置、詳しくは弾性体と、該弾性体に設けられた電気ー
機械エネルギー変換素子とからなり、上記電気ー機械エ
ネルギー変換素子に駆動信号が印加されることにより超
音波振動を発生させる超音波振動子の駆動装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】圧電素子等の電気ー機械エネルギー変換
素子を駆動源とする超音波アクチュエータや超音波モー
タは既に周知であり、弾性体に固定した２つの圧電素子
を駆動源とし、該弾性体に縦振動および屈曲振動を発生
させて、これらの振動を合成し超音波楕円振動を起こす
超音波振動子（超音波振動子をこの明細書中では、単に
振動子と称する）と、この振動子の一部に押圧され、振
動子に対して相対的に移動する被駆動部材とを有する超
音波リニアモータを、本出願人は、先に提案（特願平４
ー３２１０９６号）した。

【０００３】これは図１４に示すように、弾性体１００
に二つの積層圧電素子１０１，１０２を保持部材１０
３，１０４，１０５により固定し、また、弾性体１００
の下面の両端部に摺動部材１０６，１０７を接着により
固定して振動子を構成している。

【０００４】この振動子を図１５に示すように、リニア
ガイド１０８、ガイドレール１０９、、保持枠１１０、
ビス１１１、押圧力調整ねじ１１２、バネ１１３、振動
子保持部材１１４により、左右方向に直線移動可能なよ
うに保持しながら、摺動板１１５に振動子の摺動部材１
０６、１０７が摩擦接触するように押圧されてリニアモ
ータが構成されている。

【０００５】この振動子の寸法を適当に調節して、積層
圧電素子１０１，１０２に交番電圧を印加すると、図１
６に示す縦共振振動と、図１７に示す屈曲共振振動が同
時に発生する。２つの積層圧電素子１０１，１０２に印
加する電圧の位相差を適当に調整すると、縦振動と屈曲
振動が合成されて屈曲振動の腹位置に楕円振動が発生す
る。この楕円振動部に固定した摺動部材１０６，１０
７、摺動板１１５の間に駆動力が発生する。

【０００６】このリニアモータの駆動方法は次ぎの通り
である。即ち、積層圧電素子に振動子の縦振動と屈曲振
動の共振周波数と一致する１０Ｖｐ−ｐ程度の交番電圧
を印加し、この際、２つの積層圧電素子に印加する交番
電圧の位相差を、一方の圧電素子に対し他方を、＋９０
度と−９０度とすることにより、リニアモータの移動方
向が反転するというものである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記リニア
モータは、その振動子の、積層圧電素子に１０Ｖｐ−ｐ
程度の交番電圧を印加すると、弾性体の内部摩擦による
発熱が大きく、５０〜６０℃程度に達してしまう。弾性
体の温度が変化すると、図１８のグラフに示すように振
動子の共振周波数が変化し、これにより、図１９のグラ
フに示すように、アクチュエータの速度最大となる駆動
周波数が変化し、アクチュエータの速度ムラが発生する
という問題点がある。

【０００８】また、温度以外にも振動子に与える機械的
負荷により、共振周波数が変化し最適な駆動周波数が決
定できないという不具合もある。

【０００９】本発明の目的は、このような振動子の駆動
装置の欠点を除去し、振動子の機械的共振周波数が温
度、および機械的負荷条件等により変動しても常に駆動
周波数が機械的共振周波数の近傍にある超音波振動子の
駆動装置を提供するにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、弾性体と、該
弾性体に設けられた電気ー機械エネルギー変換素子とか
らなり、上記電気ー機械エネルギー変換素子に駆動信号
が印加されることにより超音波振動を発生させる超音波
振動子の駆動装置において、上記超音波振動子の音波伝
播時間を計測する計測手段と、この計測手段の出力によ
り上記駆動信号の周波数を決定する周波数決定手段とを
具備することを特徴としている。

【００１１】

【作用】振動子における音波伝播時間が計測される。こ
の音波伝播時間に基づいて、電気ー機械エネルギ変換素
子の駆動信号の周波数が決定され、この決定された周波
数の交番電圧を発振する発振器により振動子に印加す
る。電気ー機械エネルギ変換素子の共振周波数が変化し
ても駆動周波数は常に追従される。

【００１２】

【実施例】以下、図１乃至図５を参照して本発明の第１
実施例を説明する。図１に示すように、発振器１の一方
の出力は、他方の出力に対し±９０度の位相差をもたせ
る移相器２と電力増幅器４を介して圧電素子７に供給さ
れる。発振器１の他方の出力は電力増幅器３を介して圧
電素子６に供給される。圧電素子６，７およびこれを有
する振動子５からなる超音波アクチュエータに関して
は、従来技術で説明したものと同様な構成であり公知で
あるので重複した説明を省略する。

【００１３】上記振動子５の一側面には圧電素子８が接
着されており、パルサ１０から出力された高周波パルス
が上記圧電素子８に供給される。このパルサ１０には図
示しないトリガ信号形成手段からトリガ信号ＴＲＧが供
給されている。また、このトリガ信号ＴＲＧは後述する
フリップフロップ１５のＳ端子にも供給される。

【００１４】上記パルサ１０は、図４に示す回路図のよ
うに構成されている。即ち、入力端子ＩＮ間にはダイオ
ードＤ１が接続されていて、入力端子ＩＮの一方はサイ
リスタＳ１のゲート端子に接続され、入力端子ＩＮの他
方はアースされている。

【００１５】サイリスタＳ１のアノード側は抵抗Ｒ１を
介して電源Ｖｃｃに接続されており、いる。また、サイ
リスタＳ１のアノード側にはキャパシタＣ１の一端が接
続されている。キャパシタＣ１の他端とアース間にはイ
ンダクタンスＬ１、抵抗Ｒ２が並列に接続され、出力端
子Ｏｕｔに接続されている。

【００１６】図１に戻って、振動子５の他側面にも圧電
素子９が接着されており、この圧電素子９の出力電圧は
アースと圧電素子９の間に接続されてなるインダクタン
ス１１を介してコンパレータ１２の＋側端子に供給され
る。コンパレータ１２の−側端子には、直流定電圧源１
３が接続されている。この直流定電圧源１３はコンパレ
ータ１２におけるＬｏｗ／Ｈｉｇｈの論理信号を形成す
るためのしきい値ＶTHを設定するためのものである。コ
ンパレータ１２の出力はＯＲゲート１４の一方の入力端
子に供給され、ＯＲゲート１４の他方の入力端子にはリ
セット信号ＲＳＴが供給される。

【００１７】また、上記インダクタンス１１と圧電素子
９とは、図５に示すように、バンドパスフィルタを構成
している。即ち、機械振動は定電圧源３５、圧電素子９
は、この機械振動を電気信号に変換するトランス３６と
内部損失である抵抗３７および圧電素子の構造に由来す
るキャパシタ３８に等価的に表現される。そこで、圧電
素子９のキャパシタ３８に並列にインダクタンス１１を
接続すれば、この並列共振周波数のみが通過するバンド
パスフィルタとなる。

【００１８】再び、図１にもどってＯＲゲート１４の出
力端はフリップフロップ１５のＲ端子に接続されてい
る。このＯＲゲート１４では、コンパレータ１２の出力
とリセット信号ＲＳＴとの間で論理和がとられ、その結
果がフリップフロップ１５のＲ端子に接続されている。

【００１９】ＡＮＤゲート１６の他方の入力端子には、
図示しないクロック信号形成手段からクロック信号ＣＬ
Ｋが供給される。このＡＮＤゲート１６ではフリップフ
ロップ１５の出力とクロック信号ＣＬＫとの間で論理積
が、とられその結果がカウンタ１７に供給される。

【００２０】カウンタ１７では、ＡＮＤゲート１６の出
力パルスの計数がなされる。この計数値はＲＯＭ１８に
アドレスとして供給される。また、この計数値はリセッ
ト信号ＲＳＴによってリセットされる。

【００２１】ＲＯＭ１８から読み出されたデータは図示
しない手段により発生するラッチ信号ＬＴでラッチ１９
にラッチされた後、発振器１に供給される。なお、リセ
ット信号ＲＳＴ、トリガ信号ＴＲＧ、ラッチ信号ＬＴ、
クロック信号ＣＬＫ等のタイミングは、図２のタイミン
グチャートに示されているような順序で生じている。

【００２２】次いで、作用について説明する。まず、フ
リップフロップ１５、カウンタ１７は、図示しない制御
手段からリセット信号ＲＳＴが供給されることによりリ
セットされる。

【００２３】次いで、図２（図３（Ａ））に示されるト
リガ信号ＴＲＧがパルサ１０、フリップフロップ１５に
供給される。トリガ信号ＴＲＧがパルサ１０に供給され
るとこのパルサ１０がトリガされる。トリガ信号ＴＲＧ
がフリップフロップ１５に供給されるとフリップフロッ
プ１５の出力Ｑがハイレベルとなるためにクロック信号
ＣＬＫがＡＮＤゲート１６を通過する。そして、カウン
タ１７ではクロック信号ＣＬＫの計数が開始される。

【００２４】トリガ信号ＴＲＧが図４に示されるパルサ
１０の入力端子ＩＮに供給されると、出力端子ＯＵＴか
らは、図３（Ｂ）に示されるような高周波パルスが出力
され、図１に示す圧電素子８に供給される。

【００２５】高周波パルスは圧電素子８で音波に変換さ
れ、この状態で振動子５を伝播し他側の圧電素子９にて
再び電気信号に変換される。

【００２６】圧電素子９に接続されたインダクタ１１
は、前述した通り圧電素子９と共に、バンドパスフィル
タを構成しており、発振器１による振動子５の駆動周波
電圧と、パルサ１０および圧電素子８により発生する音
波伝播時間計測用周波信号（以下、音波計測信号と称す
る）を分別し、上記音波計測信号を抽出する。

【００２７】バンドパスフィルタを通過した信号の波形
は、図３（Ｃ）のようになり、コンパレータ１２および
定電圧源１３によるしきい値ＶTHにより、図３（Ｄ）に
示す論理信号に変換される。そして図１に示すコンパレ
ータ１２の出力がハイレベルになるとフリップフロップ
１５がリセットされ、カウンタ１７はクロック信号ＣＬ
Ｋの計数を停止する。以上により、回路系の遅延を含む
振動子５の音波伝播時間が計測される。

【００２８】ＲＯＭ１８にはカウンタ１７の計測値と等
しいアドレスに、計測時間から計算された振動子５の共
振周波数と等しい発振周波数の信号を発振器１に発振さ
せるための指示値が記録されている。そして、カウンタ
１７の計測値をアドレスとしたこのデータがラッチ１９
に入力され、十分な時間を経過したのち、ラッチ信号Ｌ
Ｔによりラッチされ発振器１の発振周波数が決定され
る。

【００２９】以上の動作を周期的に実行することによ
り、絶えず発振器１の発振周波数が更新され、常に振動
子５の共振周波数で超音波アクチュエータが駆動され
る。

【００３０】次に、音波伝播時間により振動子５の共振
周波数が決定できることを実験結果から示す。図６は２
０℃を基準として振動子５の温度により振動伝播時間が
どれだけ変化するかを測定したグラフであり、図７は駆
動用圧電素子６、７の電気端子を並列接続したときの電
気的アドミッタンスより、求めた共振周波数の温度変化
を測定したグラフである。そして、図８は、上記２つの
測定結果より、横軸を共振周波数、縦軸を音波伝播時間
として、その際の変動をプロットしたものである。この
グラフから明らかなように共振周波数と音波伝播時間は
相関があり、音波伝播時間により共振周波数を求めるこ
とができる。なお、図６乃至図８と前述した従来例の図
１８、図１９のグラフとは別個体の測定値であり、デー
タは一致しない。

【００３１】また、上記第１実施例では、図９に示され
るように振動子５の両端間の音波伝播時間を、振動子５
の両側面に接着された圧電素子８、９により計測してい
るが、変形例として図１０に示されるように振動子５中
を往復する音波の伝播時間を、振動子５の一側面に接着
した圧電素子３３を送受信兼用素子としても計測可能で
ある。

【００３２】この第１実施例によれば、リセット信号Ｒ
ＳＴが加えられたときから、リセット信号ＲＳＴが再度
加えられフリップフロップ１５がリセットされカウンタ
１７がクロック信号ＣＬＫの計数を停止するまでの時間
を用いているので、振動子５の共振周波数の変動を自動
的に追尾でき、これによって超音波アクチュエータを最
適かつ安定的に駆動できる。

【００３３】図１１（Ａ），（Ｂ）は本発明の第２実施
例である。図１１（Ａ）は駆動用の積層された圧電素子
４２、４３を有する振動子４１を示したもので、この振
動子４１の駆動回路を図１１（Ｂ）に示す。

【００３４】図１１（Ｂ）に示すように、交番電圧を発
生させる発振器４４の出力が移相器４５、電力増幅器４
６にそれぞれ供給される。移相器２は発振器１の出力に
対して位相を±９０度ずらされた出力を電力増幅器４７
にしている。

【００３５】電力増幅器４６、４７の各出力は、それぞ
れがインダクタンス４８、４９、ＤＣ遮断用のコンデン
サ５０、５２を通り、上記圧電素子４２、４３の各一端
側に供給される。圧電素子４２、４３の各他端側は、Ｄ
Ｃ遮断用のコンデンサ５１、５３を通りアースされてい
る。

【００３６】一方、圧電素子に＋３０Ｖ程度のオフセッ
ト電圧を印加するためにＤＣ電圧源５６がインダクタン
ス５４、５５で交流的に絶縁されて圧電素子４２、４３
に供給される用になっており、この場合、圧電素子４３
側には、ＤＣ電圧源５６を通常のように圧電素子４３に
供給するか、或いは圧電素子４３を短絡するかを切り換
える高速切換スイッチ５７が設けられている。

【００３７】そしてインダクタ４８とコンデンサ５０の
間から取り出された信号は、フィルタ５８にて所望帯域
の信号成分とされ、これが波形整形器５９に供給され
る。波形整形器５９では、所望帯域の信号成分が論理信
号に変換され、該信号は時間計測のためのタイムカウン
タ６０のストップ端子に供給される。このタイムカウン
タ６０のスタート端子からの信号は、上記高速切換スイ
ッチ５７を切り換えるための信号としてＣＰＵ６１から
出力される信号と共に、上記スイッチ５７の制御端子に
供給される。またタイムカウンタ６０により計時された
測定時間はＣＰＵ６１に入力され、ＣＰＵ６１の出力は
発振器４４の周波数設定端子に供給される。このよう
に構成された第２実施例の駆動回路は、次のように動作
する。通常、ＤＣ電圧源５６に接続されている上記高速
切換スイッチ５７をＣＰＵ６１の制御により、極めて短
時間だけ、圧電素子４３を短絡する側に切り換える。即
ち、ＤＣ電圧源５６の＋電極→インダクタ５５→スイッ
チ５７→ＤＣ電圧源５６の−電極のループを形成するよ
うに、スイッチ５７の接続状態を制御する。すると、圧
電素子４３は急速に変形し音波を発生する。これと同時
にタイムカウンタ６０の時間計測が開始される。

【００３８】この一方の圧電素子４３で発生した音波
は、振動子４１中を伝播し、他方の圧電素子４２に到達
し電気信号に変換される。この電気信号は、インダクタ
ンス４８により電力増幅器４６への伝達は阻止されてフ
イルタ５８に供給される。このフィルタ５８で、電力増
幅器４６からの駆動用信号と分別される。フィルタ５８
を通過した後、波形整形器５９で波形整形されて論理信
号に変換される。この論理信号によりタイムカウンタ６
０の計時動作が停止されて、計測された時間値はＣＰＵ
６１に供給される。ＣＰＵ６１では、時間値から所定の
演算を行い超音波アクチュエータの駆動周波数を決定
し、発振器４４の周波数を変更する。音波伝播時間によ
り振動子４１の共振周波数が決定できることは第１実施
例と同様である。

【００３９】この第２実施例によれば、第１実施例と同
様振動子の共振周波数変動を自動的に追尾でき、超音波
アクチュエータの駆動周波数を振動子の共振周波数と一
致させることができることはいうまでもないが、この第
２実施例の特徴は、振動子励振用の圧電素子４２、４３
を音波伝播時間計測用の送受波素子として兼用してい
る。従って、振動子５に特別な変更を施すこと無く駆動
装置と振動子を接続する電線数を少なくする事ができ
る。

【００４０】図１２および図１３は、本発明を円環上の
超音波モータに適用した場合の本発明の第３実施例であ
る。円環状の超音波モータは、現在最も良く知られてい
る超音波モータで公知である。その構造を図１２を用い
て説明すると、この超音波モータは、円環状のステータ
８１に接着された圧電素子８２に位相差が９０度の２相
の交番電圧を印加することにより、図示しない保持押圧
機構により矢印方向に押圧されると共に回転自在に保持
されたロータ８３を回転させるものである。

【００４１】この種の超音波モータには、図１３に示す
ように、ステータ８１に進行波を発生させるために、そ
の裏面に取り付けられた２相の圧電素子８４、８５の間
に、使用されない部分８６、８７がある。本発明では、
これを利用しこの内の一方に音波伝播時間計測用の送波
素子８８、他方に受波素子８９をそれぞれ取り付け使用
する。なお、この送波素子８８、受波素子８９と駆動用
の圧電素子８４，８５を動作させるための駆動装置と、
具体的な時間計測手段は前記第１実施例と同様であるた
め詳細な説明を省略する。

【００４２】この第３実施例によれば、ステータに接着
された圧電素子の未使用部分を音波伝播時間を、音波伝
播時間計測用手段として使用できるので、上記第１実施
例の効果に加えて、ステータ８１に変更部分が少なく容
易に実現できる。

【００４３】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、常に
駆動周波数が機械的共振周波数に自動的に追尾できる、
これによって、超音波アクチュエータを最適かつ安定的
に駆動できる駆動装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例を示す超音波振動子の駆動
装置のブロック構成図。

【図２】上記図１の駆動装置の動作を制御する各信号の
タイミングチャート。

【図３】上記第１実施例の駆動装置における超音波振動
子の入出力信号と信号の計測時間の関連をそれぞれ示す
波形図。

【図４】上記図１の駆動装置におけるパルサの回路図。

【図５】上記第１実施例の駆動装置における圧電素子９
とインダクタンス１１とで構成されるバンドパスフィル
タの等価回路図。

【図６】音波伝播時間と振動子温度の関係を示すグラ
フ。

【図７】共振周波数と振動子温度の関係を示すグラフ。

【図８】音波伝播時間と共振周波数の関係を示すグラ
フ。

【図９】音波伝播時間の測定手段の一例を示す超音波振
動子の概略図。

【図１０】音波伝播時間の測定手段の他の例を示す超音
波振動子の概略図。

【図１１】本発明の第２実施例を示す超音波振動子とそ
の駆動装置のブロック構成図。

【図１２】本発明の第３実施例を示す円環状の超音波モ
ータ斜視図。

【図１３】図１２の超音波モータにおけるステータの背
面図。

【図１４】リニア型の超音波アクチュエータに用いられ
る超音波振動子の一例を示す従来の斜視図。

【図１５】上記図１４の振動子を用いるリニア型の超音
波アクチュエータの側面図。

【図１６】上記超音波振動子の作用を示す斜視図。

【図１７】上記超音波振動子の作用を示す斜視図。

【図１８】共振周波数と振動子温度の関係を示すグラ
フ。

【図１９】駆動周波数とアクチュエータ速度の関係を示
すグラフ。

【符号の説明】

５、４１振動子６、７、８、９、４２、４３圧電素子１０パルサ１４ＯＲゲート１５フリップフロップ１６ＡＮＤゲート１７カウンタ１８ＲＯＭ１９ラッチ６０タイマカウンタ６１ＣＰＵ

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成５年７月２６日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００４

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００４】この振動子を図１５に示すように、リニア
ガイド１０８、ガイドレール１０９、保持枠１１０、ビ
ス１１１、押圧力調整ねじ１１２、バネ１１３、振動子
保持部材１１４により、左右方向に直線移動可能なよう
に保持しながら、摺動板１１５に振動子の摺動部材１０
６、１０７が摩擦接触するように押圧されてリニアモー
タが構成されている。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００６

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００６】このリニアモータの駆動方法は次の通りで
ある。即ち、積層圧電素子に振動子の縦振動と屈曲振動
の共振周波数と一致する１０Ｖｐ−ｐ程度の交番電圧を
印加し、この際、２つの積層圧電素子に印加する交番電
圧の位相差を、一方の圧電素子に対し他方を、＋９０度
と−９０度とすることにより、リニアモータの移動方向
が反転するというものである。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１７

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１７】また、上記インダクタンス１１と圧電素子
９とは、図５に示すように、バンドパスフィルタを構成
している。即ち、機械振動は定電圧源３５、圧電素子９
は、この機械振動を電気信号に変換するトランス３６と
内部損失である抵抗３７および圧電素子の構造に由来す
るキャパシタ３８に等価的に表現される。そこで、圧電
素子９のキャパシタ３８に並列にインダクタンス１１を
接続すれば、常に振動子５の共振周波数とその近傍の周
波数のみが通過するバンドパスフィルタとなる。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３７

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３７】そしてインダクタ４８とコンデンサ５０の
間から取り出された信号は、フィルタ５８にて所望帯域
の信号成分とされ、これが波形整形器５９に供給され
る。波形整形器５９では、所望帯域の信号成分が論理信
号に変換され、該信号は時間計測のためのタイムカウン
タ６０のストップ端子に供給される。このタイムカウン
タ６０のスタート端子からの信号は、上記高速切換スイ
ッチ５７を切り換えるための信号としてＣＰＵ６１から
出力される信号と共に、上記スイッチ５７の制御端子に
供給される。またタイムカウンタ６０により計時された
測定時間はＣＰＵ６１に入力され、ＣＰＵ６１の出力は
発振器４４の周波数設定端子に供給される。このよう
に構成された第２実施例の駆動回路は、次のように動作
する。通常、ＤＣ電圧源５６に接続されている上記高速
切換スイッチ５７をＣＰＵ６１の制御により、極めて短
時間だけ、圧電素子４３を短絡する側に切り換える。即
ち、常時圧電素子４３に定電圧源５６によりオフセット
が加わっているものを、極短時間、圧電素子４３を定電
圧源５６から切り離し、圧電素子４３を短絡させる。す
ると、圧電素子４３は急速に変形し音波を発生する。こ
れと同時にタイムカウンタ６０の時間計測が開始され
る。

【手続補正６】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１８

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１８】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者大内孝司東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号オリンパス光学工業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】弾性体と、該弾性体に設けられた電気ー
機械エネルギー変換素子とからなり、上記電気ー機械エ
ネルギー変換素子に駆動信号が印加されることにより超
音波振動を発生させる超音波振動子の駆動装置におい
て、上記超音波振動子の音波伝播時間を計測する計測手段
と、この計測手段の出力により上記駆動信号の周波数を決定
する周波数決定手段と、、を具備することを特徴とする
超音波振動子の駆動装置。