JPH076952B2 - 超音波顕微鏡 - Google Patents
超音波顕微鏡Info
- Publication number
- JPH076952B2 JPH076952B2 JP60194132A JP19413285A JPH076952B2 JP H076952 B2 JPH076952 B2 JP H076952B2 JP 60194132 A JP60194132 A JP 60194132A JP 19413285 A JP19413285 A JP 19413285A JP H076952 B2 JPH076952 B2 JP H076952B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic lens
- stop position
- ultrasonic
- ultrasonic microscope
- microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は超音波顕微鏡に関する。
従来、音響レンズを加振器によりＸ方向に微小に振動さ
せると共に、試料を載置したＸ−ＹステージをＹ方向に
移動させることにより試料を二次元的に走査してその超
音波像を得るようにした超音波顕微鏡は種々提案されて
いる。
せると共に、試料を載置したＸ−ＹステージをＹ方向に
移動させることにより試料を二次元的に走査してその超
音波像を得るようにした超音波顕微鏡は種々提案されて
いる。
しかしながら、従来の超音波顕微鏡にあっては、ステー
ジのＸおよびＹ方向の停止位置は正確に制御できるが、
音響レンズのＸ方向の停止位置は、その振動が高速であ
ると共に、一般には音響レンズが弾性部材を介してＸ方
向に移動可能に固定部に取り付けられているため、加振
駆動の停止時における慣性力によって一定位置とはなら
なかった。このため、Ｘ−Ｙステージおよび音響レンズ
をＸおよびＹ方向と直交するＺ方向に相対的に移動させ
て、走査によって得られた超音波像から所望の位置にお
けるV(Z)曲線を得るにあたっては、その位置出しを精度
良く行うことができず、所望の位置に正確に対応するV
(Z)曲線を得ることが困難であった。
ジのＸおよびＹ方向の停止位置は正確に制御できるが、
音響レンズのＸ方向の停止位置は、その振動が高速であ
ると共に、一般には音響レンズが弾性部材を介してＸ方
向に移動可能に固定部に取り付けられているため、加振
駆動の停止時における慣性力によって一定位置とはなら
なかった。このため、Ｘ−Ｙステージおよび音響レンズ
をＸおよびＹ方向と直交するＺ方向に相対的に移動させ
て、走査によって得られた超音波像から所望の位置にお
けるV(Z)曲線を得るにあたっては、その位置出しを精度
良く行うことができず、所望の位置に正確に対応するV
(Z)曲線を得ることが困難であった。
この発明は、このような従来の問題点に着目してなされ
たもので、音響レンズを加振器による加振方向の所望の
設定位置に正確に停止できるように適切に構成した超音
波顕微鏡を提供することを目的とするものである。
たもので、音響レンズを加振器による加振方向の所望の
設定位置に正確に停止できるように適切に構成した超音
波顕微鏡を提供することを目的とするものである。
上記目的を達成するため、この発明では、音響レンズ
を、その超音波軸と直交する平面内における所定の一軸
方向に加振器により加振させるようにした超音波顕微鏡
において、 前記音響レンズの加振方向の所望の停止位置を設定する
停止位置設定手段と、この停止位置設定手段により設定
された停止位置に前記音響レンズを停止させる停止手段
と、 を備える。
を、その超音波軸と直交する平面内における所定の一軸
方向に加振器により加振させるようにした超音波顕微鏡
において、 前記音響レンズの加振方向の所望の停止位置を設定する
停止位置設定手段と、この停止位置設定手段により設定
された停止位置に前記音響レンズを停止させる停止手段
と、 を備える。
第１図はこの発明の第１実施例の要部を示す図である。
音響レンズ１は保持部材２に保持し、この保持部材２を
加振器３に連結して走査制御装置４の制御の下にＸ方向
に加振させる。この実施例では、保持部材２にLED等の
発光素子５を設けると共に、この発光素子５からの光を
受光し得るように図示しない固定部材にＸ方向に延在し
てPSDやラインセンサ等の受光素子６を設け、その出力
を走査制御装置４に供給する。また、音響レンズ１の所
望の停止位置はＸ座標指定回路７で設定し、その位置情
報を走査制御装置４に供給する。
音響レンズ１は保持部材２に保持し、この保持部材２を
加振器３に連結して走査制御装置４の制御の下にＸ方向
に加振させる。この実施例では、保持部材２にLED等の
発光素子５を設けると共に、この発光素子５からの光を
受光し得るように図示しない固定部材にＸ方向に延在し
てPSDやラインセンサ等の受光素子６を設け、その出力
を走査制御装置４に供給する。また、音響レンズ１の所
望の停止位置はＸ座標指定回路７で設定し、その位置情
報を走査制御装置４に供給する。
このようにして、この実施例では走査制御装置４におい
て受光素子６の出力に基づいて音響レンズ１の駆動停止
時における位置を検出すると共に、この停止位置とＸ座
標指定回路７で設定された所望の停止位置とを比較し、
受光素子６の出力から検出される停止位置がＸ座標指定
回路７における所望の停止位置となるよう、走査制御装
置４により加振器３をフィードバック制御する。
て受光素子６の出力に基づいて音響レンズ１の駆動停止
時における位置を検出すると共に、この停止位置とＸ座
標指定回路７で設定された所望の停止位置とを比較し、
受光素子６の出力から検出される停止位置がＸ座標指定
回路７における所望の停止位置となるよう、走査制御装
置４により加振器３をフィードバック制御する。
このようにすれば、音響レンズ１の加振器３による加振
方向（Ｘ方向）での停止位置を、Ｘ座標指定回路７で設
定した所望の停止位置に常に正確に位置決めすることが
できる。なお、この実施例では受光素子６の出力から音
響レンズ１の位置情報を得ることができるので、その位
置やＸ座標指定回路７で設定した所望の停止位置を表示
させるようにすることもできる。
方向（Ｘ方向）での停止位置を、Ｘ座標指定回路７で設
定した所望の停止位置に常に正確に位置決めすることが
できる。なお、この実施例では受光素子６の出力から音
響レンズ１の位置情報を得ることができるので、その位
置やＸ座標指定回路７で設定した所望の停止位置を表示
させるようにすることもできる。
ここで、上述した第１実施例において、停止位置設定手
段は、Ｘ座標指定回路７である。また、停止手段は、少
なくとも加振器３及び走査制御装置４から構成され、詳
しくは、発光素子５及び受光素子６を含むものである。
段は、Ｘ座標指定回路７である。また、停止手段は、少
なくとも加振器３及び走査制御装置４から構成され、詳
しくは、発光素子５及び受光素子６を含むものである。
第２図はこの発明の第２実施例の要部を示す図である。
この実施例では、音響レンズ１を保持する保持部材２に
凹部2aを形成し、この凹部2aにボール11を選択的に係合
させることによって、音響レンズ１を所望の設定位置に
機械的に位置決めするようにしたものである。ボール11
はソレノイド12に連結し、このソレノイド12を走査制御
装置４により駆動制御する。すなわち、走査制御装置４
により加振器３を介して音響レンズ１をＸ方向に加振さ
せる際には、ソレノイド12を付勢または減勢してボール
11を保持部材２の凹部2aから離間させ、加振終了時には
ソレノイド12を減勢または付勢してボール11を保持部材
２に押圧してその凹部2aに係合させることにより音響レ
ンズ１を所望の設定位置に再現性良く、機械的に位置決
めする。
この実施例では、音響レンズ１を保持する保持部材２に
凹部2aを形成し、この凹部2aにボール11を選択的に係合
させることによって、音響レンズ１を所望の設定位置に
機械的に位置決めするようにしたものである。ボール11
はソレノイド12に連結し、このソレノイド12を走査制御
装置４により駆動制御する。すなわち、走査制御装置４
により加振器３を介して音響レンズ１をＸ方向に加振さ
せる際には、ソレノイド12を付勢または減勢してボール
11を保持部材２の凹部2aから離間させ、加振終了時には
ソレノイド12を減勢または付勢してボール11を保持部材
２に押圧してその凹部2aに係合させることにより音響レ
ンズ１を所望の設定位置に再現性良く、機械的に位置決
めする。
ここで、上述した第２実施例において、停止位置設定手
段は、保持部材２に形成された凹部2aである。また、停
止手段は、少なくとも加振器３及び走査制御装置４から
構成され、詳しくは、ボール11及びソレノイド12を含む
ものである。
段は、保持部材２に形成された凹部2aである。また、停
止手段は、少なくとも加振器３及び走査制御装置４から
構成され、詳しくは、ボール11及びソレノイド12を含む
ものである。
なお、この発明は上述した実施例にのみ限定されるもの
ではなく、幾多の変形又は変更が可能である。例えは、
光学顕微鏡を組込み、超音波顕微鏡による超音波像と同
一部分の光学像を得るようにしたものにおいては、音響
レンズの所望の設定位置を光学顕微鏡の光軸上の位置と
することができる。このようにすれば、光学像の中心位
置でのV(Z)曲線を得ることができる。
ではなく、幾多の変形又は変更が可能である。例えは、
光学顕微鏡を組込み、超音波顕微鏡による超音波像と同
一部分の光学像を得るようにしたものにおいては、音響
レンズの所望の設定位置を光学顕微鏡の光軸上の位置と
することができる。このようにすれば、光学像の中心位
置でのV(Z)曲線を得ることができる。
以上述べたように、この発明によれば音響レンズを加振
器による加振方向の所望の設定位置に正確に停止させる
ことができるので、走査によって得られた超音波像から
所望の位置に正確に対応するV(Z)曲線を容易に得ること
ができる。また、音響レンズの所定の停止位置と、光学
顕微鏡の光軸とを一致させることにより、光学像の中心
位置でのV(Z)曲線を得ることができる。
器による加振方向の所望の設定位置に正確に停止させる
ことができるので、走査によって得られた超音波像から
所望の位置に正確に対応するV(Z)曲線を容易に得ること
ができる。また、音響レンズの所定の停止位置と、光学
顕微鏡の光軸とを一致させることにより、光学像の中心
位置でのV(Z)曲線を得ることができる。
第１図はこの発明の第１実施例の要部を示す図。 第２図は同じく第２実施例の要部を示す図。 １……音響レンズ、２……保持部材 2a……凹部、３……加振器 ４……走査制御装置、５……発光素子 ６……受光素子、７……Ｘ座標指定回路 11……ボール、12……ソレノイド
Claims (1)
- 【請求項１】音響レンズを、その超音波軸と直交する平
面内における所定の一軸方向に加振器により加振させる
ようにした超音波顕微鏡において、 前記音響レンズの加振方向の所望の停止位置を設定する
停止位置設定手段と、 この停止位置設定手段により設定された停止位置に前記
音響レンズを停止させる停止手段と、 を備えることを特徴とする超音波顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60194132A JPH076952B2 (ja) | 1985-09-03 | 1985-09-03 | 超音波顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60194132A JPH076952B2 (ja) | 1985-09-03 | 1985-09-03 | 超音波顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6254157A JPS6254157A (ja) | 1987-03-09 |
| JPH076952B2 true JPH076952B2 (ja) | 1995-01-30 |
Family
ID=16319439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60194132A Expired - Lifetime JPH076952B2 (ja) | 1985-09-03 | 1985-09-03 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH076952B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10155082B2 (en) | 2002-04-10 | 2018-12-18 | Baxter International Inc. | Enhanced signal detection for access disconnection systems |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6097259A (ja) * | 1983-11-02 | 1985-05-31 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波顕微鏡の加振装置 |
| JPS6098362A (ja) * | 1983-11-02 | 1985-06-01 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波顕微鏡の保護装置 |
-
1985
- 1985-09-03 JP JP60194132A patent/JPH076952B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6254157A (ja) | 1987-03-09 |
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