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JPH073365B2 - 顕微分光装置 - Google Patents

顕微分光装置

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Publication number
JPH073365B2
JPH073365B2 JP63140733A JP14073388A JPH073365B2 JP H073365 B2 JPH073365 B2 JP H073365B2 JP 63140733 A JP63140733 A JP 63140733A JP 14073388 A JP14073388 A JP 14073388A JP H073365 B2 JPH073365 B2 JP H073365B2
Authority
JP
Japan
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light
calibration
measurement
spectroscopic
optical system
Prior art date
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Application number
JP63140733A
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English (en)
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JPH01308930A (ja
Inventor
尚久 林
成章 藤原
Original Assignee
大日本クスリーン製造株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 大日本クスリーン製造株式会社 filed Critical 大日本クスリーン製造株式会社
Priority to JP63140733A priority Critical patent/JPH073365B2/ja
Priority to US07/361,406 priority patent/US5048960A/en
Priority to EP89110378A priority patent/EP0345773B1/en
Priority to DE68921249T priority patent/DE68921249T2/de
Publication of JPH01308930A publication Critical patent/JPH01308930A/ja
Publication of JPH073365B2 publication Critical patent/JPH073365B2/ja
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/27—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands using photo-electric detection ; circuits for computing concentration
    • G01N21/274—Calibration, base line adjustment, drift correction
    • G—PHYSICS
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    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/2823—Imaging spectrometer
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Description

【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は、顕微鏡に取り付けられた分光装置によって測
定試料の微小領域からの反射光や透過光のスペクトルを
検出する、いわゆる顕微分光装置に関する。
＜従来の技術＞ 第３図は、従来の顕微分光装置の概略構成図である。
図中、符号10は照明光学系であり、この照明光学系10
は、照明光を発する光源11、コンデンサレンズ12、15、
開口絞り13、視野絞り14などから構成されている。
符号20は顕微鏡光学系であり、この顕微鏡光学系20は、
顕微鏡対物レンズ21、照明光学系10からの照明光を顕微
鏡光学系20の光路に重ね合わせる半透明鏡23、結像レン
ズ24などから構成されている。なお、図中、22は瞳位置
を示している。
この顕微鏡光学系20によって、測定試料Ｓが反射鏡30の
近傍に拡大結像される。反射鏡30には、顕微鏡光学系20
の結像位置と一致するところに、ピンホール31があけら
れている。
光源11から出射された照明光は、半透明鏡23によって測
定試料Ｓに向けて反射され、対物レンズ21を介して測定
試料Ｓに照射される。測定試料Ｓで反射された反射光
（観察光）は、顕微鏡光学系20および反射鏡30のピンホ
ール31を介して分光ユニット40に取り込まれる。
分光ユニット40は、ピンホール31と共役な測定試料Ｓ上
の点からの観察光を分光する測定用分光手段としての回
折格子41と、回折格子41からの分光スペクトルを検出す
る測定用光検出手段としての光検出器42とから構成され
ている。回折格子41としては、例えば分光スペクトルを
平面上に結像するフラットフィールド型回折格子が用い
られる。また、光検出器42としては例えば、フォトダイ
オードアレイやCCD（charge coupled device）などが用
いられる。この他、掃引機構付の回折格子や、光電増倍
管のような光検出器によって分光ユニット40が構成され
ることもある。
符号50はモニター用光学系であり、反射鏡30の近傍に結
像された測定試料Ｓの拡大像をリレーレンズ51によって
結像位置52に結像させて、測定試料Ｓの測定位置の確認
や焦点合わせに用いられる。
測定試料Ｓに照射された光は、その試料面で反射される
ときに、その反射光に試料面の情報を取り込む。具体的
には、測定試料Ｓが基板上に透明な薄膜が形成されたも
のである場合、薄膜の上面および下面（基板との境界
面）からの反射光が互いに干渉し、その干渉の度合いが
基板および薄膜の屈折率や膜厚ならびに光の波長に依存
するので、上述した分光ユニット40によって観察光の分
光スペクトルを調べることにより、基板上の薄膜の膜厚
などを非破壊、非接触で測定することができる。そのた
め、この種の顕微分光装置は膜厚測定装置などに広く応
用されている。
＜発明が解決しようとする課題＞ ところで、上述した観察光の分光スペクトル分布は、種
々の因子によって影響を受ける。このような因子とし
て、照明光学系10や顕微鏡光学系20の分光透過率特性や
損失、回折格子41の分光特性、光検出器42の分光感度特
性などが例示される。
以下、このような因子による誤差を較正する手法につい
て、顕微分光装置を膜厚測定装置に利用した場合を例に
とって説明する。
一般に、干渉式膜厚測定装置では、測定試料Ｓの分光ス
ペクトルの測定結果Ｓ（λ）から膜厚測定を直接求める
のではなく、例えば、シリコン基板や、アルミニウムが
被着れた基板等のように、分光スペクトルＢ（λ）が既
知である試料（以下、基準試料と称する）の分光スペク
トルを測定し、その測定結果Ｂ′（λ）を基に、被測定
試料Ｓの分光スペクトルの測定結果Ｓ′（λ）を補正し
て、被測定試料Ｓの分光スペクトルＳ（λ）を求める。
すなわち、被測定試料Ｓの分光スペクトルの測定結果
Ｓ′（λ）に補正係数として、 Ｂ（λ）/B′（λ）を乗算する補正を行ってから、膜厚
を算出している。なお、Ｓ′（λ）およびＢ′（λ）は
ともに、上述した各因子の影響を受けているので、上記
乗算処理によって両データに含まれる因子の影響が相殺
される。
ところで、上述したような因子は、環境の変化にほとん
ど影響されず一定であるので、基準試料の分光スペクト
ルＢ（λ）の実測値Ｂ′（λ）を最初に一度測定してお
けば充分である。
しかしながら、観察光の分光スペクトルは、上述の因子
以外に、例えば周囲温度（光源の温度）に伴って変化す
る光源11の色温度の変動、即ち分光放射率特性の変動に
よる影響を受ける。このような影響まで取り除いて精度
のよい測定をするためには、基準試料の分光スペクトル
Ｂ（λ）の実測値Ｂ′（λ）を頻繁に測定して、これを
更新しなければならない。
そのために、従来の顕微分光装置は、顕微分光装置の試
料台に測定試料と基準試料とを頻繁に載せ換えて、基準
試料の分光スペクトルを検出していたから、試料の載せ
換え作業がたいへん煩わしく、その結果、作業効率を低
下させるという問題点があった。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、光源の分光放射率特性の変動に起因する誤差を較正
するのに必要なデータを容易に得ることができる顕微分
光装置を提供することを目的としている。
＜課題を解決するための手段＞ 本発明は、上記目的を達成するために、次のような構成
をとる。
即ち、請求項（１）に係る顕微分光装置は、照明光を発
する光源と、測定試料からの光（観察光）を取り込む顕
微鏡光学系と、前記顕微鏡光学系を介して取り込まれた
観察光を分光する測定用分光手段と、その分光スペクト
ルを検出する測定用光検出手段とを備えた顕微分光装置
において、 前記照明光を分光する較正用分光手段と、 前記較正用分光手段によって分光された光を検出する較
正用光検出手段とを備え、 前記較正用分光手段は前記測定用分光手段と兼用される
ものであり、 前記較正用光検出手段は前記測定用光検出手段と兼用さ
れるものであり、 前記顕微鏡光学系は照明光を顕微鏡光学系の光路に重ね
合わせる半透明鏡を含み、 かつ、前記半透明鏡を透過した照明光をその半透明鏡に
向けて反射する反射手段と、 照明光を検出する際には前記反射手段による反射を許す
状態になって、その反射光を前記半透明鏡を介して較正
用分光手段（測定用分光手段）に入射させ、観察光を検
出する際には前記反射手段による照明光の反射を許さな
い状態になる第１光学手段と、 照明光を検出する際には較正用分光手段（測定用分光手
段）への観察光の入射を許さない状態になり、観察光を
検出する際には前記入射を許す状態になる第２光学手段
とを備え、 前記半透明鏡と前記反射手段との間に較正用対物レンズ
を設け、この対物レンズの分光透過率および開口数を顕
微鏡光学系の対物レンズと略同じ値に設定し、かつ、前
記反射手段は、分光反射スペクトルが既知であって、較
正用対物レンズの合焦点位置近傍に配置されているもの
である。
また、請求項（２）に係る顕微分光装置は、照明光を発
する光源と、測定試料からの光（観察光）を取り込む顕
微鏡光学系と、前記顕微鏡光学系を介して取り込まれた
観察光を分光する測定用分光手段と、その分光スペクト
ルを検出する測定用光検出手段とを備えた顕微分光装置
において、 前記照明光を分光する較正用分光手段と、 前記較正用分光手段によって分光された光を検出する較
正用光検出手段とを備え、 前記較正用分光手段は前記測定用分光手段と兼用される
ものであり、 前記較正用光検出手段は前記測定用光検出手段に並設さ
れた個別の光検出手段であり、 前記顕微鏡光学系は照明光を顕微鏡光学系の光路に重ね
合わせる半透明鏡を含み、 前記半透明鏡を透過した照明光をその前記半透明鏡に向
けて反射する反射鏡と、 前記反射鏡で反射された照明光を前記測定用分光手段
（較正用分光手段）を介して較正用光検出手段にのみ導
き、かつ、観察光を前記測定用分光手段（較正用分光手
段）を介して測定用光検出手段にのみ導く光学手段とを
備えたものである。
＜作用＞ 請求項（１）に記載の発明によれば、光源の分光放射率
特性の変動を較正する際には、光源からの照明光を較正
用分光手段（測定用分光手段）に入射させて、これを分
光し、その分光スペクトルを較正用光検出手段（測定用
光検出手段）によって検出しているので、この分光スペ
クトルから光源の分光放射率特性の変動を知ることがで
きる。
また、顕微鏡光学系の対物レンズと略同じ値の分光透過
率および開口数を有する対物レンズを、半透明鏡と反射
手段との間に設け、かつ、反射手段を較正用対物レンズ
の合焦点位置近傍に配置しているので、反射手段で反射
された照明光と、観察光とを略同じ光学的条件で検出す
ることができ、反射手段を較正用の基準試料として使用
することができ、測定の最初に基準試料を顕微鏡の使用
台に載せて基準試料のデータを得る手間を省くこともで
き、操作性を一層向上させることも可能である。
また、請求項（２）に記載の発明によれば、光学手段に
より、観察光は測定用分光手段を介して測定用光検出手
段にのみ導かれ、反射手段で反射された照明光は測定用
分光手段（較正用分光手段）を介して、測定用光検出手
段に並設された別個の較正用光検出手段にのみ導かれ
る。したがって、測定用データと同時に較正用データを
得ることができるので、より精度の高い較正用データを
得ることができ、光源変動の較正を正確に行うことが可
能である。
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
なお、以下に示す各図において、従来例に係る第３図に
おいて示した符号と同一の符号は各実施例においても、
その符号が示す部品、部分等と同様のものを指し、ま
た、図示を省略した部分も従来例と同様であるから、そ
の説明は省略する。
第１実施例 第１図は本発明の第１実施例に係る顕微分光装置の要部
の概略構成図である。本実施例は、特に、請求項（１）
に記載の発明に対応している。
本実施例の特徴は次のとおりである。
即ち、本実施例において、照明光の分光スペクトルを分
光する較正用分光手段は、第３図において説明した回折
格子41と兼用されており、また、前記較正用分光手段に
よって分光された光を検出する較正用光検出手段は、第
３図において説明した光検出器42と兼用されている。
また、半透明鏡23を透過した照明光を較正用分光手段と
しての回折格子41に導く光学手段としての反射鏡72を備
え、この反射鏡72と半透明鏡23との間に、対物レンズ71
が配置されている。なお、図中、75は対物レンズ71の瞳
位置である。
反射鏡72は対物レンズ71の合焦点位置に配置されてい
る。また、対物レンズ71の分光透過率および開口数は、
顕微鏡光学系20の対物レンズ21と同じ値になるように構
成されている。
さらに、本実施例は、照明光の分光スペクトルを検出す
際には反射鏡72による反射を許す状態になって、その反
射光を半透明鏡23を介して回折格子41に入射させ、測定
試料Ｓからの反射光（観察光）を検出する際には反射鏡
72による照明光の反射を許さない状態になる第１光学手
段としてのシャッタ73が反射鏡72と半透明鏡23との間に
介在されている。
また、照明光を検出する際には回折格子41への観察光の
入射を許さない状態になり、観察光を検出する際にはそ
の入射を許す状態になる第２光学手段としてのシャッタ
74が半透明鏡23と瞳位置22との間に介在されている。
以下、上述した顕微分光装置を膜厚測定装置に適用した
場合の較正方法について説明する。
まず、測定を始めるにあたって、シャッタ73を遮断状
態に、シャッタ74を開放状態に設定して、前述した基準
試料の分光スペクトルＢ（λ）の実測値Ｂ′（λ）を得
る。
Ｂ′（λ）の測定直後（あるいは直前）に、シャッタ
73を開放状態に、シャッタ74を遮断状態に設定する。そ
うすると、半透明鏡23を透過した照明光が反射鏡72で反
射され、さらに半透明鏡23で上方に向けて反射されて、
分光ユニット40に入射され、照明光の初期分光スペクト
ルR0（λ）が検出される。
次に、シャッタ73を遮断状態に、シャッタ74を開放状
態にして、測定試料Ｓの分光スペクトルＳ′（λ）を測
定する。
分光スペクトルＳ′（λ）の測定直後（あるいは直
前）に、シャッタ73を開放状態に、シャッタ74を遮断状
態にして、照明光の新たな分光スペクトルR1（λ）を測
定する。
R0（λ）とR1（λ）とを比較すれば、光源の変動状態
がわかるので、これにより測定試料Ｓの分光スペクトル
Ｓ′（λ）を補正する。即ち、Ｓ′（λ）に対して、 と補正して、この値をＳ（λ）に置き換えると、光源変
動の影響も除去した、測定試料Ｓの分光スペクトルを得
ることができる。
また、本実施例では、半透明鏡23と反射鏡72の間に、顕
微鏡光学系20の対物レンズ21の分光透過率および開口数
と同じ値の対物レンズ71を設け、反射鏡72を対物レンズ
71の合焦点位置に配置しており、反射鏡72で反射された
照明光と、観察光とが略同じ光学的条件で検出されるの
で、反射鏡72を特に基準試料で構成した場合、次のよう
な利点が得られる。上述と同様にして得られた照明光の
分光スペクトル R1（λ）を、そのままＢ′（λ）として使用（R0（λ）
＝Ｂ′（λ），R1（λ）＝Ｂ′（λ））することができ
るようになり、上述のように測定の最初に基準試料を顕
微鏡の試料台に載せてＢ′（λ）を測定する手間を省く
ことができるので、操作性が一層向上する。つまり、 （λ）をＳ（λ）と置けばよい。
なお、第１実施例を次のように変形実施することも可能
である。
上述の例では第１光学手段としてシャッタ73を用いた
が、これは、測定試料Ｓからの反射光の分光スペクトル
を測定する際に、反射鏡72を光路から退避させるか、あ
るいは、反射鏡72を光軸と平行になるように揺動変位さ
せて照明光を反射させないような構造にしてもよい。
第２実施例 第２図は本発明の第２実施例に係る顕微分光装置の要部
の概略構成図であり、同図（ａ）は分光ユニット周辺の
斜視図、同図（ｂ）は要部光学系の構成図、同図（ｃ）
は本実施例で使用される空間フィルタの斜視図である。
本実施例は、特に、請求項（２）記載の発明に対応して
いる。
同図（ａ）に示すように、本実施例に係る較正用分光手
段は測定用分光手段としての回折格子41と兼用され、ま
た、較正用光検出手段は測定用光検出手段としての光検
出器101に並設された個別の光検出器102によって構成さ
れている。光検出器101,102は、回折格子41の溝方向に
所要の距離だけ離間されている。
また、本実施例に係る顕微分光装置は、上述した光検出
器101,102に所要の光を取り込むために次のような光学
手段を備えている。
即ち、第３図に示した反射鏡30が設けられる位置に、離
間した二つのピンホール32,33が形成された反射鏡30′
を備えている。
ピンホール32を介して回折格子41に入射した光は、回折
格子41の溝方向には分散されず、単に鏡面反射されて光
検出器101上で結像する。一方、ピンホール33を介して
回折格子41に入射した光は、前記反射光とは反対方向に
鏡面反射されて光検出器102上で結像する。
したがって、例えばピンホール32に観察光のみを入射さ
せ、ピンホール33に照明光のみを入射させるようにすれ
ば、観察光の分光スペクトルを光検出器101によって、
照明光の分光スペクトルを光検出器102によって、それ
ぞれ同時に検出することができる。
しかし、第１図に示したような光学系を使用すると、両
方のピンホール32,33に測定試料Ｓからの反射光および
照明光が区別されずに入射されて不都合である。
そこで、各ピンホール32,33に観察光および照明光をそ
れぞれ個別に入射させるために、本実施例は、第２図
（ｂ）に示すような光学系を備えている。
即ち、半透明鏡23を透過した照明光の光軸に沿って、リ
レーレンズ103,対物レンズ104および反射鏡105をその値
に配置している。そして、リレーレンズ103における、
反射鏡105と共役な位置に第２図（ｃ）に示すような空
間フィルタ106を挿入している。この空間フィルタ106
は、観察光が入射するピンホール32と共役な部分が遮光
状態になるような遮光域107が形成されている。
一方、第２図では図示を省略しているが、半透明鏡23と
顕微鏡光学系20の対物レンズ21との間にも、前述のリレ
ーレンズ103と同様なリレーレンズが設けられており、
このリレーレンズには、照明光が入射するピンホール33
と共役な部分が遮光状態になるような空間フィルタが挿
入されている。
このように構成することにより、観察光のみがピンホー
ル32を介して、また、照明光のみがピンホール33を介し
て、それぞれ回折格子41に入射され、それぞれ個別に光
検出器101,102に結像されることにより、観察光および
照明光の分光スペクトルが同時に検出される。
なお、本実施例は次のように変形実施してもよい。
即ち、上述したようなリレーレンズを設ける代わりに、
反射鏡105および顕微鏡光学系20の光路の一部をそれぞ
れ遮光することによって、ピンホール32に観察光のみ
を、ピンホール33に照明光のみを入射させるように構成
してもよい。
なお、上述の各実施例では、分光手段として回折格子41
を使用したが、これはプリズム等のように、分光機能を
有する他の光学素子で代用してもよい。
＜発明の効果＞ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば次のよ
うな効果を奏する。
請求項（１）に記載の発明によれば、光源の分光放射率
特性の変動を較正する際には、光源からの照明光を較正
用分光手段に入射させて、これを分光し、その分光スペ
クトルを較正用光検出手段によって検出しているので、
従来装置のように、較正のために顕微鏡の試料台に較正
用の基準試料を載置してデータを得る必要がなく、較正
に必要なデータを容易かつ迅速に得ることができる。
また、較正用分光手段を測定用分光手段と兼用し、較正
用光検出手段を測定用光検出手段と兼用しているので、
これを個別に設ける場合に比較して、装置構成が簡略化
されるし、上述のように各手段を兼用すると、測定用の
データと同じ条件で較正用のデータが得られるので、較
正時のデータ処理を行う上で好都合である。
しかも、半透明鏡と反射手段との間に較正用対物レンズ
を設け、この対物レンズの分光透過率および開口数を顕
微鏡光学系の対物レンズと略同じ値に設定し、かつ、前
記反射手段を較正用対物レンズの合焦点位置近傍に配置
しているので、前記反射手段を較正用の基準試料として
使用することができ、測定の最初に基準試料を顕微鏡の
試料台に載せて基準試料のデータを得る手間を省くこと
もでき、操作性を一層向上させることも可能である。
請求項（２）に記載の発明によれば、較正用分光手段が
測定用分光手段と兼用され、較正用光検出手段は前記測
定用光検出手段に並設された個別の光検出手段で構成
し、照明光を前記測定用分光手段（較正用分光手段）を
介して構成用光検出手段にのみ導き、観察光を前記測定
用分光手段（較正用分光手段）を介して測定用光検出手
段にのみ導いているので、測定用データと同時に較正用
データを得ることができる。したがって、この実施例に
よれば、より精度の高い較正用データを得ることができ
るので、光源変動の較正を正確に行うことができる。ま
た、較正用分光手段と測定用分光手段とを兼用する結
果、これらの分光手段間の光学的特性の差異が生じない
ので、較正用データを処理する上で好都合である。
【図面の簡単な説明】
第１図、第２図は本発明に係る顕微分光装置の実施例の
説明図であり、第１図は第１実施例の要部概略構成図で
ある。 また、第３図は従来の顕微分光装置の概略構成図であ
る。 Ｓ…測定試料 10…照明光学系 11…光源 20…顕微鏡光学系 21…顕微鏡対物レンズ 23…半透明鏡 30、30′…反射鏡 31,32,33…ピンホール 41…回折格子 42,101,102…光検出器 72,105…反射鏡 73,74…シャッタ 71,104…対物レンズ 103…リレーレンズ 106…空間フィルタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−92318（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−185652（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭55−19366（ＪＰ，Ｂ２)

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】照明光を発する光源と、測定試料からの光
    （観察光）を取り込む顕微鏡光学系と、前記顕微鏡光学
    系を介して取り込まれた観察光を分光する測定用分光手
    段と、その分光スペクトルを検出する測定用光検出手段
    とを備えた顕微分光装置において、 前記照明光を分光する較正用分光手段と、 前記較正用分光手段によって分光された光を検出する較
    正用光検出手段とを備え、 前記較正用分光手段は前記測定用分光手段と兼用される
    ものであり、 前記較正用光検出手段は前記測定用光検出手段と兼用さ
    れるものであり、 前記顕微鏡光学系は照明光を顕微鏡光学系の光路に重ね
    合わせる半透明鏡を含み、 かつ、前記半透明鏡を透過した照明光をその半透明鏡に
    向けて反射する反射手段と、 照明光を検出する際には前記反射手段による反射を許す
    状態になって、その反射光を前記半透明鏡を介して較正
    用分光手段（測定用分光手段）に入射させ、観察光を検
    出する際には前記反射手段による照明光の反射を許さな
    い状態になる第１光学手段と、 照明光を検出する際には較正用分光手段（測定用分光手
    段）への観察光の入射を許さない状態になり、観察光を
    検出する際には前記入射を許す状態になる第２光学手段
    とを備え、 前記半透明鏡と前記反射手段との間に較正用対物レンズ
    を設け、この対物レンズの分光透過率および開口数を顕
    微鏡光学系の対物レンズと略同じ値に設定し、かつ、前
    記反射手段は、分光反射スペクトルが既知であって、較
    正用対物レンズの合焦点位置近傍に配置されていること
    を特徴とする顕微分光装置。
  2. 【請求項２】照明光を発する光源と、測定試料からの光
    （観察光）を取り込む顕微鏡光学系と、前記顕微鏡光学
    系を介して取り込まれた観察光を分光する測定用分光手
    段と、その分光スペクトルを検出する測定用光検出手段
    とを備えた顕微分光装置において、 前記照明光を分光する較正用分光手段と、 前記較正用分光手段によって分光された光を検出する較
    正用光検出手段とを備え、 前記較正用分光手段は前記測定用分光手段と兼用される
    ものであり、 前記較正用光検出手段は前記測定用光検出手段に並設さ
    れた個別の光検出手段であり、 前記顕微鏡光学系は照明光を顕微鏡光学系の光路に重ね
    合わせる半透明鏡を含み、 前記半透明鏡を透過した照明光を前記半透明鏡に向けて
    反射する反射鏡と、 前記反射鏡で反射された照明光を前記測定用分光手段
    （較正用分光手段）を介して較正用光検出手段にのみ導
    き、かつ、観察光を前記測定用分光手段（較正用分光手
    段）を介して測定用光検出手段にのみ導く光学手段とを
    備えたことを特徴とする顕微分光装置。
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