JPH0729531A

JPH0729531A - 蛍光表示管

Info

Publication number: JPH0729531A
Application number: JP5171710A
Authority: JP
Inventors: Yoshinari Okamoto; 喜成岡本; Yoshihisa Tsuruoka; 誠久鶴岡; Haruhisa Hirakawa; 治久平川; Eiji Sato; 栄治佐藤
Original assignee: Futaba Corp
Current assignee: Futaba Corp
Priority date: 1993-07-12
Filing date: 1993-07-12
Publication date: 1995-01-31
Also published as: US5543685A

Abstract

(57)【要約】【目的】前面発光形の蛍光表示管において、透光性の陽
極導体を変形なく均一に形成でき、該陽極導体を形成す
るときにカラーフィルタがエッチングの影響を受けない
ようにする。【構成】透光性の陽極基板２の上に帯状のフィルタＲ，
Ｇ，Ｂがある。各フィルタの上には透光性・絶縁性・耐
エッチング性を有する保護膜３がある。保護膜の上に
は、透光性の陽極導体４と蛍光体層６からなる帯状の陽
極７が各フィルタごとに設けられる。フィルタに凹凸が
あっても、陽極導体は表面がほぼ平坦な保護膜の上に均
一に形成される。フィルタは保護膜の下にあるので、陽
極導体をエッチングで形成してもフィルタがエッチング
液で侵されることはない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フィルタを備えた蛍光
表示管に関する。

【０００２】

【従来の技術】カラーフィルタを用いてフルカラー表示
を行う蛍光表示管が知られている。図２はかかる蛍光表
示管１００の部分拡大図であり、表示部が設けられた陽
極基板１０１の近傍の構造を示している。

【０００３】この蛍光表示管１００は気密構造の外囲器
を有している。外囲器の一部を構成する絶縁性で透光性
の陽極基板１０１の内面には、Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ
（青）の各色からなる３種類の帯状のカラーフィルタ１
０２，１０３，１０４が順に繰り返して隙間なく配設さ
れている。各カラーフィルタの上には、透光性で帯状の
陽極導体１０５がそれぞれ配設されている。各陽極導体
１０５の上には、帯状の蛍光体層１０６がそれぞれ形成
されている。すなわち、帯状の蛍光体層１０６は帯状の
前記陽極導体１０５とともに、所定間隔を置いて互いに
平行な多数の帯状の陽極１０７を構成している。蛍光体
の種類は共通で、例えば緑色を中心とした発光スペクト
ルを有するＺｎＯ：Ｚｎ蛍光体が用いられる。

【０００４】そして図示はしないが、ストライプ状の前
記各陽極１０７の上方には、所定構造の制御電極や電子
を放出する陰極が設けられて、該陽極１０７とともに駆
動マトリクスが構成されている。このような構成の蛍光
表示管１００をマトリクス駆動すると、帯状の各陽極１
０７内において、選択された部分の蛍光体から発せられ
た緑色の光は、各カラーフィルタ１０２，１０３，１０
４及び陽極基板１０１を通過して各カラーフィルタの色
に観察される。

【０００５】前述したカラーフィルタを形成する場合、
従来はフリットガラス粉末に特定色の顔料を混ぜたカラ
ーフィルタ材料を必要な各色ごとに用意していた。そし
てカラーフィルタの各色ごとに各カラーフィルタ材料を
陽極基板１０１上に印刷して乾燥させ、全色のカラーフ
ィルタ材料を印刷・乾燥させた後で一括して焼成してい
た。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】前述したように、カラ
ーフィルタは無機材料を主成分とするカラーフィルタ材
料を焼成して形成するので、陽極基板の上で平坦になり
にくく、表面に相当の凹凸が生じる場合が多かった。

【０００７】このため、カラーフィルタの上に細い陽極
導体を例えば１ｍｍ幅といった微細なピッチで均一に形
成するのは極めて困難であり、さらに各陽極導体の抵抗
を均一にすることは難しかった。ＩＴＯ膜を利用する場
合には陽極導体が非常に薄くなるので、特にカラーフィ
ルタの凹凸に影響されやすく、抵抗値が大きく変わって
しまう。また、陽極導体としてアルミニウム薄膜を利用
しても、カラーフィルタの凹凸に影響されて抵抗値が高
くなったり、断線してしまうことがあった。

【０００８】また、前記陽極導体はエッチングによって
ストライプ状に形成することができるが、エッチングに
用いる薬品によってカラーフィルタが劣化し、凹凸がで
きたり溶けて断線したりするという問題があった。

【０００９】本発明は、前記従来の問題点に鑑みて成さ
れたもので、蛍光体層の発光を透光性の陽極導体とカラ
ーフィルタと透光性の陽極基板を通して観察する形式の
蛍光表示管において、陽極基板上に設けられたフィルタ
の上に透光性の陽極導体を変形なく均一に形成できるよ
うにし、さらに陽極導体を形成するときのエッチングの
影響をフィルタが受けないようにすることを目的として
いる。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の蛍光表示管は、
外囲器と、前記外囲器の一部を構成する透光性を備えた
絶縁性の陽極基板の内面に形成されたフィルタと、前記
フィルタを介して前記陽極基板に設けられた透光性の陽
極導体と、前記陽極導体の上に形成された蛍光体層とを
有し、前記蛍光体層の発光を前記陽極導体と前記フィル
タと前記陽極基板を介して観察する蛍光表示管におい
て、前記フィルタと前記陽極導体の間に透光性を有する
絶縁性の保護膜を設けたことを特徴としている。

【００１１】

【作用】フィルタの表面に凹凸があっても、陽極導体は
フィルタを覆う保護膜の上に設けられるので均一に形成
することができる。また陽極導体を形成する際にエッチ
ングを行っても、フィルタは保護層で覆われているので
エッチング液によって損傷することがない。

【００１２】

【実施例】本発明の一実施例を図１を参照して説明す
る。本実施例は、フルカラーでグラフィック表示を行う
ことのできる蛍光表示管１に関する。

【００１３】本実施例の蛍光表示管１は、絶縁性及び透
光性を有する図１に示す陽極基板２と、絶縁性を有する
図示しない陰極基板とが、図示しない絶縁性のスペーサ
部材を介して一体に封着された箱形の外囲器を有してい
る。外囲器の内部は高真空状態に保持されている。

【００１４】図１に示すように、陽極基板２の内面に
は、カラーフィルタＲ，Ｇ，Ｂがそれぞれ帯状に設けら
れている。カラーフィルタの種類は例えばＲ（赤），Ｇ
（緑），Ｂ（青）の３種類であり、所定の順序で繰り返
して設けられている。

【００１５】前記カラーフィルタを形成するには、まず
複合酸化物系顔料を基体とした無機フィルタ材料と、粘
着物質としてのビークルとを混合して得たペースト状の
カラーフィルタ材料を用意する。このカラーフィルタ材
料をフォトリソ法または印刷法等の手法により前記陽極
基板２の上に帯状に被着形成する。カラーフィルタ材料
の被着は各色毎に行い、その都度乾燥させ、一括して焼
成する。

【００１６】なお、前記カラーフィルタは、前述した無
機フィルタ材料の他、色ガラス・金属コロイド（ラスタ
ー）・金属イオン置換（ステイン）等を用いて形成して
もよい。

【００１７】前記各カラーフィルタＲ，Ｇ，Ｂの上に
は、保護膜３が形成されている。保護膜３は厚さが数千
オングストロームから数μｍの適当な値に設定されてい
る。また、前記カラーフィルタＲ，Ｇ，Ｂの表面に凹凸
があるにもかかわらず、保護膜３の表面は平滑であり、
割れやその他の欠陥もほとんどない。

【００１８】このような均一な保護膜３を形成するため
には、６００℃程度まで耐熱性のある材料として無定形
無機物質を用い、これで保護膜を形成することが好まし
い。そして、その形成方法としては、第１に無定形無機
物質であるＳｉＯ_{2 ,}ＭｇＯ等を電子ビーム蒸着法で成
膜する方法が挙げられる。

【００１９】第２の方法として、例えば無定形無機物質
としてＡｌ₂Ｏ₃を選択した場合を説明する。まず、ア
ルミナゾル原液をエタノールと純水で混合希釈し、１〜
１０ｗｔ％のアルミナゾル溶液に調合する。この溶液
を、スクリーン印刷・スピンコート法・ロールコート法
等の手法によって、前記カラーフィルタ上に０．３〜３
μｍ程度の厚さに成膜する。これを５００〜６００℃で
焼成し、保護膜３を完成させる。

【００２０】無定形無機物質としては、この他、ＴｉＯ
₂も利用できる。また以上例示した各無定形無機物質
は、それぞれ単独で用いることもできるし、２種類以上
を適宜混合して用いることもできる。

【００２１】前記保護膜３の上には、透光性を有する多
数の帯状の陽極導体４が所定間隔を置いてストライプ状
に配設されている。各陽極導体４は、前記各カラーフィ
ルタＲ，Ｇ，Ｂにそれぞれ対応した位置に設けられてい
る。本実施例では、陽極導体４はアルミニウム薄膜から
成り、フォトリソグラフィの手法で形成したマスクを介
して行うエッチングによって形成され、それぞれ微細な
所定パターンの開口部５を有している。このほか陽極導
体はＩＴＯ膜によって構成することもできる。

【００２２】前記各陽極導体４の上には、帯状の蛍光体
層６がそれぞれ形成されている。すなわち、帯状の蛍光
体層６は帯状の前記陽極導体４とともに、所定間隔を置
いて互いに平行な多数の帯状の陽極７を構成している。
蛍光体の種類は共通で、例えば緑色を中心とした幅の広
い発光スペクトルを有するＺｎＯ：Ｚｎ蛍光体が用いら
れる。

【００２３】前記蛍光体層６の形成方法としては、フォ
トリソグラフィ法・印刷法・電着法等、従来の一般的な
製造方法を採用することができる。

【００２４】図示はしないが、前記ストライプ状の前記
陽極７の上方には、所定構造の制御電極や電子を放出す
る陰極等が設けられて、該陽極７とともに駆動マトリク
スが構成されている。

【００２５】このような構成の蛍光表示管１をマトリク
ス駆動し、帯状の各陽極７内において蛍光体層６の選択
した部分に電子を射突させると、対応する陽極導体４に
は陽極電流が流れ、該蛍光体層６から発せられた緑色の
光は、透光性の陽極導体４と、透光性の前記保護膜３
と、各カラーフィルタＲ，Ｇ，Ｂを通過し、さらに透光
性の陽極基板２を経て外囲器外に至り、透過した各カラ
ーフィルタＲ，Ｇ，Ｂの色に観察される。

【００２６】上記の構造によれば、陽極導体４はカラー
フィルタＲ，Ｇ，Ｂ上に均一に形成された保護膜３の上
に設けられるので、たとえ陽極基板２上に形成されたカ
ラーフィルタＲ，Ｇ，Ｂの表面に凹凸があっても、微細
な所定の寸法通りに変形なく均一に形成することができ
る。従って陽極導体４の抵抗値は設計通りになる。

【００２７】また上記の製造工程において、陽極導体４
を形成するためにエッチングを行ったとしても、カラー
フィルタＲ，Ｇ，Ｂは保護膜３に保護されているので、
該カラーフィルタＲ，Ｇ，Ｂがエッチング液によって悪
影響を受ける恐れはない。

【００２８】またカラーフィルタＲ，Ｇ，Ｂは保護膜３
によって保護されているので、傷がつきにくく、蛍光表
示管１の製造工程における加熱工程において熱の影響を
受けて変色してしまうことがない。

【００２９】なお、以上説明した実施例では、保護膜３
を構成する物質として無定形無機物質を幾つか示した
が、これは好ましい具体例であり、本発明における保護
膜の材質がこれらのみに限定されることを示したもので
はない。要するに本発明における保護膜は、透光性と絶
縁性があり、かつ陽極基板上のフィルタを保護しうる機
能を備えた材料から構成されていればよい。

【００３０】

【発明の効果】本発明の蛍光表示管によれば、透光性の
陽極基板上に設けられているフィルタの上に、保護膜を
介して透光性の陽極導体を設けたので、次のような効果
が得られる。

【００３１】（１）たとえ陽極基板上に形成されたカラ
ーフィルタの表面に凹凸があったとしても、カラーフィ
ルタ上に形成された保護膜の表面は均一になるので、そ
の上に設けられる陽極導体も均一に変形なく形成され
る。従って陽極導体の抵抗値は設計通りになり、その均
一性は大幅に改善される。

【００３２】（２）陽極導体を形成するためにエッチン
グを行ったとしても、フィルタは保護膜に保護されてい
るので、該フィルタがエッチング液によって悪影響を受
ける恐れはない。

【００３３】（３）フィルタは保護膜によって保護され
ているので、傷がつきにくく、さらに蛍光表示管の製造
工程における加熱工程において熱の影響を受けて変色し
てしまうことがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である蛍光表示管の陽極基板
付近における部分拡大断面図である。

【図２】従来のカラーフィルタを備えた蛍光表示装置の
陽極基板付近における部分拡大断面図である。

【符号の説明】

Ｒ，Ｇ，Ｂ，フィルタとしてのカラーフィルタ１蛍光表示管２陽極基板３保護膜４陽極導体６蛍光体層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者佐藤栄治千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】外囲器と、前記外囲器の一部を構成する透
光性を備えた絶縁性の陽極基板の内面に形成されたフィ
ルタと、前記フィルタを介して前記陽極基板に設けられ
た透光性の陽極導体と、前記陽極導体の上に形成された
蛍光体層とを有し、前記蛍光体層の発光を前記陽極導体
と前記フィルタと前記陽極基板を介して観察する蛍光表
示管において、前記フィルタと前記陽極導体の間に透光
性を有する絶縁性の保護膜を設けたことを特徴とする蛍
光表示管。