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JPH0725682Y2 - Disk inspection device - Google Patents

Disk inspection device

Info

Publication number
JPH0725682Y2
JPH0725682Y2 JP1817189U JP1817189U JPH0725682Y2 JP H0725682 Y2 JPH0725682 Y2 JP H0725682Y2 JP 1817189 U JP1817189 U JP 1817189U JP 1817189 U JP1817189 U JP 1817189U JP H0725682 Y2 JPH0725682 Y2 JP H0725682Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
focus
disc
back surface
disk
optical pickup
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP1817189U
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH02109240U (en
Inventor
一 恩田
Original Assignee
エヌティエヌ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by エヌティエヌ株式会社 filed Critical エヌティエヌ株式会社
Priority to JP1817189U priority Critical patent/JPH0725682Y2/en
Publication of JPH02109240U publication Critical patent/JPH02109240U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0725682Y2 publication Critical patent/JPH0725682Y2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この考案はディスク検査装置に関し、特に、光ピックア
ップを用いて、ディスク面に光ビームの焦点が合うよう
にフォーカスサーボをかけ、ディスクの表面の欠陥など
を検査するようなディスク検査装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial field of application] The present invention relates to a disc inspection apparatus, and in particular, an optical pickup is used to apply focus servo so that a light beam is focused on the disc surface, The present invention relates to a disk inspection device for inspecting defects and the like.

[従来の技術および考案が解決しようとする課題] 光ディスクは、周知のごとく、ディスク表面に微小なピ
ットが正確に配列されたものであり、そのピットの有無
やピットの長さを光ピックアップで検出し、信号として
読出すものである。このような光ディスクは製造段階に
おいて、材質の欠陥,傷,ごみなどの付着物の検査が行
なわれる。
[Problems to be Solved by Conventional Techniques and Inventions] As is well known, an optical disc is one in which minute pits are accurately arranged on the disc surface, and the presence or absence of the pits and the length of the pits are detected by an optical pickup. However, it is read out as a signal. Such optical discs are inspected for defects such as material defects, scratches, and dust at the manufacturing stage.

第6図は従来のディスク検査装置におけるディスクと光
ピックアップとの関係を示す図である。第6図におい
て、検査の対象となる光ディスク1はプラスチックまた
はガラスからなるディスク基板(サブストレート)から
なる。この光ディスク1はスピンドルモータ2によって
回転させられる。そして、信号が記録された光ディスク
1の信号面に対して、光ディスク1の下側から基板越し
に光ピックアップ4から対物レンズ3を介してレーザ光
が照射されて焦点合わせが行なわれ、信号面で反射され
た光ビームが光ピックアップ4で受光され、信号が読取
られて、光ディスク1の信号面に欠陥があるか否かが判
別される。
FIG. 6 is a diagram showing a relationship between a disc and an optical pickup in a conventional disc inspection apparatus. In FIG. 6, the optical disk 1 to be inspected is composed of a disk substrate (substrate) made of plastic or glass. This optical disk 1 is rotated by a spindle motor 2. Then, the signal surface of the optical disc 1 on which a signal is recorded is irradiated with laser light from the optical pickup 4 through the objective lens 3 from the lower side of the optical disc 1 through the substrate, and focusing is performed. The reflected light beam is received by the optical pickup 4, the signal is read, and it is determined whether or not the signal surface of the optical disc 1 is defective.

光ディスク1の裏面に照射される光ビームの直径は、た
とえば1mm程度であり、それが信号面で1μmmの微小ス
ポットに絞られる。このため、光ディスクの裏面にごみ
などが付着していても、光ビームは裏面側で拡がってい
るため、ごみなどによって反射光が遮られることがな
く、正確に信号を読取ることができるという特徴があ
る。
The diameter of the light beam with which the back surface of the optical disc 1 is irradiated is, for example, about 1 mm, which is narrowed to a minute spot of 1 μmm on the signal surface. Therefore, even if dust or the like adheres to the back surface of the optical disc, the light beam spreads on the back surface side, so that the reflected light is not blocked by dust and the signal can be read accurately. is there.

また、上述の光ディスク1に限ることなく、最近では磁
気ディスクとしてガラスをサブストレートとし、その上
に磁気を塗布したものも用いられている。このようなガ
ラスのサブストレートは、透明または半透明であり、上
述のように、その表面に光ビームスポットを合焦させて
欠陥を検出することが可能である。
Further, not only the above-mentioned optical disk 1, but also a magnetic disk in which glass is used as a substrate and magnetism is applied on the substrate is used recently. Such a glass substrate is transparent or semi-transparent, and as described above, it is possible to focus a light beam spot on the surface and detect a defect.

しかしながら、従来のディスク検査装置では、光ディス
ク1の信号面に光ビームを合焦させて信号面の欠陥を検
出するだけであり、光ディスク1の裏面の欠陥を検査す
ることができない。
However, the conventional disc inspection apparatus only focuses the light beam on the signal surface of the optical disc 1 to detect the defect on the signal face, and cannot inspect the defect on the back surface of the optical disc 1.

それゆえに、この考案の主たる目的は、ディスクの表面
と裏面の欠陥を検査し得るディスク検査装置を提供する
ことである。
Therefore, a main object of the present invention is to provide a disc inspection apparatus capable of inspecting defects on the front surface and the back surface of the disc.

[課題を解決するための手段] この考案は光ピックアップを用いてディスク面に光ビー
ムの焦点が合うようにフォーカスサーボをかけ、ディス
クの表面または裏面の欠陥を検査するためのディスク検
査装置であって、光ビームの焦点がディスクの表面また
は裏面で合うように切換えて光ピックアップを駆動する
ための駆動手段と、光ビームの焦点がディスクの表面ま
たは裏面であったか否かを検知する焦点位置判別手段
と、焦点位置判別手段によって焦点がディスクの表面ま
たは裏面で合ったことが判別されたことに応じて、光ピ
ックアップの出力に基づいてディスクの表面または裏面
の欠陥を判別する欠陥判別手段を備えて構成される。
[Means for Solving the Problems] The present invention is a disk inspection device for inspecting a defect on the front surface or the back surface of a disk by applying a focus servo using an optical pickup so that a light beam is focused on the disk surface. Drive means for driving the optical pickup by switching the focus of the light beam so that the light beam is focused on the front surface or the back surface of the disk, and a focus position determination means for detecting whether the light beam is focused on the front surface or the back surface of the disk. And a defect determination means for determining a defect on the front surface or the back surface of the disk based on the output of the optical pickup when the focus position determination means determines that the focus is achieved on the front surface or the back surface of the disk. Composed.

[作用] この考案に係るディスク検査装置は、ディスクの表面ま
たは裏面で光ビームの焦点が合うように切換えて光ピッ
クアップを駆動し、光ビームの焦点がディスクの表面ま
たは裏面で合ったことを検査したときに、光ピックアッ
プの出力に基づいてディスクの表面または裏面の欠陥を
判別することができる。
[Operation] A disc inspection apparatus according to the present invention switches an optical pickup by switching so that the light beam is focused on the front surface or the back surface of the disc, and inspects that the light beam is focused on the front surface or the back surface of the disc. At this time, it is possible to determine the defect on the front surface or the back surface of the disc based on the output of the optical pickup.

[考案の実施例] 第1図はこの考案の一実施例の構成を示す図である。[Embodiment of the Invention] FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an embodiment of the invention.

第1図において、光ディスク1はスピンドルモータ2に
よって回転駆動される。光ディスク1の裏面には光ピク
アップ4が設けられている。光ピックアップ4は対物レ
ンズ3を上下方向に駆動するためのアクチュエータを構
成する永久磁石5とフォーカスコイル6とを含む。さら
に、フォーカスコイル6の下方には、1/4波長板7とビ
ームスプリッタ8とレンズ9と4分割されたフォトダイ
オード10が配置される。
In FIG. 1, the optical disc 1 is rotationally driven by a spindle motor 2. An optical pickup 4 is provided on the back surface of the optical disc 1. The optical pickup 4 includes a permanent magnet 5 and a focus coil 6 which constitute an actuator for driving the objective lens 3 in the vertical direction. Further, below the focus coil 6, a quarter-wave plate 7, a beam splitter 8, a lens 9, and a photodiode 10 divided into four are arranged.

さらに、ビームスプリッタ8に対向するようにコリメー
トレンズ11とレザダイオード12が設けられる。レーザダ
イオード12で発光されたレーザ光はコリメートレンズ11
によって平行光になり、ビームスプリッタ8に入射され
る。ビームスプリッタ8に入射されたレーザ光は上方に
反射され、1/4波長板7を通過する。このとき、直線偏
光だったレーザ光は円偏光に変換され、対物レンズ3を
介して光ディスク1に照射される。そして、そのレーザ
光の一部は反射されて入射光とは逆回転の円偏光とな
り、これが再び1/4波長板7を通過すると、今度は紙面
に平行な偏波面を有する直線偏光になる。そして、ディ
スク面上で反射されたレーザ光は、今度はビームスプリ
ッタ8を通過し、レンズ9を介してフォトダイオード10
で検知される。
Further, a collimator lens 11 and a laser diode 12 are provided so as to face the beam splitter 8. The laser light emitted from the laser diode 12 is collimated by the collimator lens 11
Is collimated into parallel light and is incident on the beam splitter 8. The laser light incident on the beam splitter 8 is reflected upward and passes through the quarter-wave plate 7. At this time, the linearly polarized laser light is converted into circularly polarized light and is irradiated onto the optical disc 1 through the objective lens 3. Then, a part of the laser light is reflected to become circularly polarized light which is the reverse rotation of the incident light, and when this again passes through the 1/4 wavelength plate 7, it becomes linearly polarized light having a plane of polarization parallel to the paper surface. Then, the laser light reflected on the disk surface passes through the beam splitter 8 this time, and passes through the lens 9 to the photodiode 10.
Detected by.

フォトダイオード10の検出出力はフォーカスエラー検出
回路13に与えられる。フォーカスエラー検出回路13に関
連して焦点位置判別回路14が設けられている。この焦点
位置判別回路14は光ディスク1に照射されたレーザ光が
表面で合焦しているかあるいは裏面で合焦しているかを
判別するものである。フォーカスエラー検出回路13の出
力は加算回路15に与えられ、フォーカスサーチ回路16の
出力と加算される。加算回路15の出力は位相回路17によ
って位相が制御され、駆動回路18に与えられる。駆動回
路18はフォーカスコイル6を制御し、対物レンズ3を光
ディスク1の表面あるいは裏面で合焦させる。
The detection output of the photodiode 10 is given to the focus error detection circuit 13. A focus position determination circuit 14 is provided in association with the focus error detection circuit 13. The focus position discriminating circuit 14 discriminates whether the laser beam applied to the optical disc 1 is focused on the front surface or the rear surface. The output of the focus error detection circuit 13 is given to the adder circuit 15 and added to the output of the focus search circuit 16. The phase of the output of the adder circuit 15 is controlled by the phase circuit 17, and is given to the drive circuit 18. The drive circuit 18 controls the focus coil 6 to focus the objective lens 3 on the front surface or the back surface of the optical disc 1.

第2図ないし第4図はこの考案の一実施例の動作を説明
するために、光ディスクと光ピックアップとの関係を示
した図であり、第5図は焦点誤差信号を示す図である。
2 to 4 are diagrams showing the relationship between the optical disc and the optical pickup for explaining the operation of the embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a diagram showing the focus error signal.

まず、第2図に示すように、光ピックアップ4を光ディ
スク1から下方に下げた状態から、第3図および第4図
に示すように、光ピックアップ4を徐々に上昇させてい
く。すなわち、対物レンズ3の上面と光ディスク1の上
面との間の距離をxとすると、xを大の方向から小の方
向へ光ピックアップ4を移動させる。ここで、第3図に
示すように、レーザ光の焦点が光ディスク1の下面で合
う位置をxLとし、第4図に示すように光ディスク1の上
面で焦点が合う位置をxUとする。すると、変位xに対し
て、焦点誤差信号は、第5図に示すように、x=xL,xU
において、いわゆるSカーブを描く。通常の光ディスク
1を使用する場合には、x=xUにおいて、Sカーブの中
心の零点でフォーカスサーボがかかった状態で用いられ
る。
First, as shown in FIG. 2, the optical pickup 4 is lowered from the optical disk 1, and then the optical pickup 4 is gradually raised as shown in FIGS. 3 and 4. That is, assuming that the distance between the upper surface of the objective lens 3 and the upper surface of the optical disc 1 is x, the optical pickup 4 is moved from the large direction to the small direction. Here, as shown in FIG. 3, the position where the laser light is focused on the lower surface of the optical disc 1 is x L, and the position where the laser light is focused on the upper surface of the optical disc 1 is x U , as shown in FIG. Then, for the displacement x, the focus error signal is x = x L , x U as shown in FIG.
In, draw a so-called S curve. When the normal optical disk 1 is used, the focus servo is applied at the zero point at the center of the S curve when x = x U.

これに対して、この考案の一実施例では、光ディスク1
の下面で焦点合わせを行なうために、x=xLの零点で焦
点が合うように制御される。すなわち、光ピックアップ
4を下方から上昇させる場合、最初に発生するSカーブ
(x=xLのとき)でフォーカスサーボがかけられる。こ
の最初に発生するSカーブは第1図に示した焦点位置判
別回路14によって判別され、その判別信号はフォーカス
エラー検出回路13に与えられる。フォーカスエラー検出
回路13は最初のSカーブの零点でフォーカスが合うよう
に、フォーカスエラー検出信号を加算回路15に与える。
On the other hand, in the embodiment of the present invention, the optical disc 1
In order to perform the focusing on the lower surface of, the focus is controlled so as to be in focus at the zero point of x = x L. That is, when the optical pickup 4 is raised from below, the focus servo is applied with the S curve (when x = x L ) that occurs first. This first S curve generated is discriminated by the focus position discriminating circuit 14 shown in FIG. 1, and the discriminating signal is given to the focus error detecting circuit 13. The focus error detection circuit 13 gives a focus error detection signal to the addition circuit 15 so that the focus is achieved at the zero point of the first S curve.

加算回路15はそのエラー信号とフォーカスサーボ回路16
の出力とを加算し、位相回路17および駆動回路18を介し
てフォーカスコイル6に与える。それによって、フォー
カスコイル6は対物レンズ3を駆動し、第3図に示すよ
うに、光ディスク1の下面で合焦するようにする。そし
て、フォトダイオード10の出力に基づいて、傷の検出が
行なわれる。すなわち、フォトダイオード10の出力であ
る光ディスク1からの反射光量信号の大小により傷の有
無が判定される。通常は、傷などがあると反射光が散乱
し、反射光量信号が低下するが、中にはこれを増大させ
るような欠陥も存在する。このデータ信号は図示しない
ウィンドウコンパレータで比較されて欠陥検出が行なわ
れる。
The adder circuit 15 outputs the error signal and the focus servo circuit 16
And the output of the above are added and given to the focus coil 6 via the phase circuit 17 and the drive circuit 18. As a result, the focus coil 6 drives the objective lens 3 to focus on the lower surface of the optical disc 1 as shown in FIG. Then, the flaw is detected based on the output of the photodiode 10. That is, the presence / absence of a scratch is determined by the magnitude of the reflected light amount signal from the optical disc 1 which is the output of the photodiode 10. Usually, when there is a scratch or the like, the reflected light is scattered and the reflected light amount signal is lowered, but there are some defects that increase this. This data signal is compared by a window comparator (not shown) to detect a defect.

上述のごとくして光ディスク1の下面の欠陥の検出が行
なわれるが、光ディスク1の上面の欠陥を検出するよう
にしてもよい。この場合には、フォーカスサーチ回路16
は第4図に示すように、光ディスク1の上面でレーザ光
が合焦するように信号を出力する。それによって、光ピ
ックアップ4がさらに上昇し、光ディスク1の上面で焦
点が合うようにフォーカスサーボ制御される。フォーカ
スエラー検出回路13には2回目のSカーブの信号が出力
されることになる。このとき、焦点位置判別回路14は2
回目のSカーブであることを判別し、フォーカスエラー
検出回路13は2回目のSカーブの零点でフォーカスが合
うようにフォーカスサーボ制御を行なう。そして、フォ
ダイオード10の出力に基づいて、光ディスク1の表面の
傷などの欠陥が判別される。
Although the defect on the lower surface of the optical disk 1 is detected as described above, the defect on the upper surface of the optical disk 1 may be detected. In this case, the focus search circuit 16
Outputs a signal so that the laser beam is focused on the upper surface of the optical disc 1, as shown in FIG. As a result, the optical pickup 4 is further raised, and focus servo control is performed so that the upper surface of the optical disc 1 is in focus. The focus error detection circuit 13 outputs the signal of the second S curve. At this time, the focus position determination circuit 14
The focus error detection circuit 13 determines that it is the S curve of the second time, and performs focus servo control so that the focus is adjusted at the zero point of the S curve of the second time. Then, based on the output of the photodiode 10, a defect such as a scratch on the surface of the optical disc 1 is determined.

なお、上述の実施例では、ピックアップ4を光ディスク
1の下方に配置した場合について説明したが、これに限
ることなく、光ディスク1の上方に設置し、光ディスク
1の表面または裏面の傷などの欠陥を検出するようにし
てもよい。
In the above-described embodiment, the case where the pickup 4 is arranged below the optical disc 1 has been described. However, the present invention is not limited to this, and the pickup 4 may be arranged above the optical disc 1 to prevent defects such as scratches on the front or back surface of the optical disc 1. You may make it detect.

[考案の効果] 以上のように、この考案によれば、光ピックアップを用
いてディスク面に光ビームの焦点が合うようにフォーカ
スサーボをかけるとき、ディスクの表面または裏面で光
ビームの焦点が合うようにフォーカスサーボを切換える
ように構成したので、光ディスクの表面または裏面の欠
陥を容易に検出することが可能となる。
[Advantage of the Invention] As described above, according to the present invention, when the focus servo is applied using the optical pickup so that the light beam is focused on the disk surface, the light beam is focused on the front surface or the back surface of the disk. Since the focus servo is switched as described above, it becomes possible to easily detect a defect on the front surface or the back surface of the optical disk.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図はこの考案の一実施例の構成を示す図である。第
2図ないし第4図はこの考案の一実施例の動作を説明す
るために、光ディスクと光ピックアップとの関係を示し
た図である。第5図は焦点誤差信号を示す図である。第
6図は従来のディスク検査装置における光ディスクと光
ピックアップの関係を示す図である。 図において、1は光ディスク、2はスピンドルモータ、
3は対物レンズ、4は光ピックアップ、5は永久磁石、
6はフォーカスコイル、7は1/4波長板、8はビームス
プリッタ、9はレンズ、10はフォトダイオード、11はコ
リメートレンズ、12はレーザダイオード、13はフォーカ
スエラー検出回路、14は焦点位置判別回路、15は加算回
路、16はフォーカスサーチ回路、17は位相回路、18は駆
動回路を示す。
FIG. 1 is a diagram showing the configuration of an embodiment of the present invention. 2 to 4 are views showing the relationship between the optical disk and the optical pickup in order to explain the operation of the embodiment of the present invention. FIG. 5 is a diagram showing a focus error signal. FIG. 6 is a diagram showing a relationship between an optical disc and an optical pickup in a conventional disc inspection apparatus. In the figure, 1 is an optical disk, 2 is a spindle motor,
3 is an objective lens, 4 is an optical pickup, 5 is a permanent magnet,
6 is a focus coil, 7 is a quarter wavelength plate, 8 is a beam splitter, 9 is a lens, 10 is a photodiode, 11 is a collimating lens, 12 is a laser diode, 13 is a focus error detection circuit, and 14 is a focus position determination circuit. , 15 is an adder circuit, 16 is a focus search circuit, 17 is a phase circuit, and 18 is a drive circuit.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】光ピックアップを用いてディスク面に光ビ
ームの焦点が合うようにフォーカスサーボをかけて、デ
ィスクの表面または裏面の欠陥を検査するようなディス
ク検査装置において、 前記光ビームの焦点が前記ディスクの表面または裏面で
合うように切換えて前記光ピックアップを駆動する駆動
手段、 前記光ビームの焦点が前記ディスクの表面または裏面で
あったか否かを検知する焦点位置判別手段、および 前記焦点位置判別手段によって焦点が前記ディスクの表
面または裏面であったことが判別されたことに応じて、
前記光ピックアップの出力に基づいて、前記ディスクの
表面または裏面の欠陥を判別する欠陥判別手段を備え
た、ディスク検査装置。
1. A disc inspection apparatus for inspecting a defect on a front surface or a back surface of a disc by applying focus servo using an optical pickup so that the light beam is focused on the disc surface. Driving means for driving the optical pickup by switching so as to match the front surface or the back surface of the disk, a focus position determination means for detecting whether or not the focus of the light beam is the front surface or the back surface of the disk, and the focus position determination In response to the determination by the means that the focus was on the front or back surface of the disc,
A disc inspecting apparatus, comprising a defect discriminating means for discriminating a defect on a front surface or a back surface of the disc based on an output of the optical pickup.
JP1817189U 1989-02-18 1989-02-18 Disk inspection device Expired - Lifetime JPH0725682Y2 (en)

Priority Applications (1)

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JP1817189U JPH0725682Y2 (en) 1989-02-18 1989-02-18 Disk inspection device

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Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH02109240U JPH02109240U (en) 1990-08-31
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JP1817189U Expired - Lifetime JPH0725682Y2 (en) 1989-02-18 1989-02-18 Disk inspection device

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JP5406033B2 (en) * 2007-11-12 2014-02-05 パナソニック株式会社 Optical disk device
JP6101481B2 (en) * 2012-12-26 2017-03-22 東レエンジニアリング株式会社 Internal inspection device for workpieces with laminated structure

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JPH02109240U (en) 1990-08-31

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