JPH0724770A - 吸着挟持機構及びそれを用いた温度試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 チップ部品を確実に保持でき、しかも設置面
積の小型化が可能な吸着挟持機構及びそれを用いた温度
試験装置を提供すること。 【構成】 本装置は、チップ部品１を真空吸着すると共
に挟持する吸着挟持手段４を有する。吸着挟持手段４
は、チップ部品１を真空吸着すると共にその部品１を挟
持するので、真空源が切れた場合でもチップ部品１の保
持が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣ等のチップ部品の
温度試験に好適な吸着挟持機構及びそれを用いた温度試
験装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の温度試験装置は、順次供給され
るチップ部品を恒温室内に移動させ、チップ部品に温度
負荷例えば、−５５乃至１５０℃を与えて、チップ部品
の温度試験を行うものである。

【０００３】従来の温度試験装置は、チップ部品を吸着
するか又はチップ部品をターンテーブル等のプレートや
ブロックに載置して水平に搬送することにより、チップ
部品を恒温室内に移動させていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
温度試験装置は、吸着による場合は、真空源が切れたと
きは、チップ部品が落下するという問題があり、また、
チップ部品をプレートやブロックに載置する場合は、チ
ップ部品の大きさに応じてプレートやブロックの段取換
えが必要であった。また、恒温室内を循環するファンの
風にチップ部品が吹き飛ばされるという問題があった。

【０００５】また、多数のチップ部品を恒温室内で水平
に移動していたため、装置の大きな設置面積を必要と
し、スペース効率が悪いという問題もあった。

【０００６】そこで、本発明は、上記事情に鑑みてなさ
れたものであり、チップ部品を確実に保持でき、しかも
設置面積の小型化が可能な吸着挟持機構及びそれを用い
た温度試験装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１記載の吸着挟持機構は、往復動可能に支持さ
れたスライド軸と、このスライド軸の先端に設けられ、
チップ部品を真空吸着する吸着口と、前記スライド軸の
往復動作に連動して前記チップ部品を挟持又は解放する
チャックとを有することを特徴とするものである。

【０００８】また、請求項２記載の温度試験装置は、順
次供給されるチップ部品を恒温室内に移動させ、前記チ
ップ部品に温度負荷を与える温度試験装置において、前
記チップ部品を真空吸着すると共にその部品を挟持する
吸着挟持手段を有することを特徴とするものである。

【０００９】また、請求項３記載の温度試験装置は、前
記吸着挟持手段は、前記チップ部品を真空吸着する吸着
口を備えると共に、その吸着口に吸着されたチップ部品
を挟持する複数の吸着挟持機構を具備し、これら複数の
吸着挟持機構を垂直面内で回転可能に保持する回転機構
を有することを特徴とするものである。

【００１０】また、請求項４記載の温度試験装置は、前
記吸着挟持機構は、往復動可能に支持されたスライド軸
と、このスライド軸の先端に設けられ、チップ部品を真
空吸着する吸着口と、前記スライド軸の往復動作に連動
して前記チップ部品を挟持又は解放するチャックとを具
備することを特徴とするものである。

【００１１】

【作用】請求項１記載の吸着挟持機構によれば、スライ
ド軸の往復動作に連動してチップ部品を挟持又は解放す
るので、当該機構の小型化，簡素化が可能となる。

【００１２】請求項２記載の温度試験装置によれば、吸
着挟持手段は、チップ部品を真空吸着すると共にその部
品を挟持するので、真空源が切れた場合でもチップ部品
の保持が可能となり、チップ部品が大小異なるものであ
っても、段取換え無しに吸着，挟持を行うことができ
る。

【００１３】請求項３記載の温度試験装置によれば、回
転機構は、複数の吸着挟持機構を垂直面内で回転可能に
保持するので、設置面積の小型化が可能となる。

【００１４】請求項４記載の温度試験装置によれば、ス
ライド軸の往復動作に連動してチップ部品を挟持又は解
放するので、吸着挟持機構の小型化，簡素化が可能とな
る。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳述
する。

【００１６】図１は本発明の温度試験装置の一実施例を
示す外観斜視図、図２はその概略構成を示す正面図であ
る。

【００１７】本実施例装置は、図１に示すように、チッ
プ部品１の供給ライン２上に配置した箱状の恒温室３を
有し、この恒温室３内に、図２に示すように、チップ部
品１を挟持する複数の吸着挟持機構５と、これら複数の
吸着挟持機構５を垂直面内で回転可能に保持する回転機
構６と、吸着挟持機構５を駆動する後述する駆動機構７
とを配設したものである。

【００１８】図３は吸着挟持機構５，回転機構６及び駆
動機構７を示す側面図、図４及び図５は吸着挟持機構５
の詳細を示す側面図であり、図４は動作前を示し、図５
は動作後を示す。

【００１９】前記吸着挟持機構５は、後述する回転機構
６の回転板６１側に固定されたプレート５０と、このプ
レート５０に設けた穴５０ａに挿通して上下動可能に配
置されたバキュームシャフト（スライド軸）５１と、こ
のバキュームシャフト５１を保持する保持部材５３と、
バキュームシャフト５１を上方向に付勢する第１のスプ
リング５２と、保持部材５３と共にバキュームシャフト
５１の移動を案内するスライドレール５４と、バキュー
ムシャフト５１の往復動作に連動してチップ部品１を挟
持又は解放するリンク機構５５とを備えており、全体が
一つのユニットとして予め組立てられ、このユニット単
位で交換できるように構成されている。

【００２０】このリンク機構５５は、プレート５０に回
動可能に連結された一対のリンク５５０と、これら一対
のリンク５５０の先端側にそれぞれ回動可能に連結され
た一対のチャック５５１と、一対のチャック５５１の後
端側を互いに連結する連結リンク５５２と、この連結リ
ンク５５２を下方向に付勢する第２のスプリング５５３
と、チャック５５１の開き過ぎを防止する一対のストッ
パ５５４とを備えている。

【００２１】バキュームシャフト５１の先端側には、チ
ップ部品１が接触する平坦に形成された当接面５１ａを
備え、チップ部品１のクランプを確実に行うと共にチッ
プ部品１に熱を伝え易いようにしている。また、バキュ
ームシャフト５１の中心には軸方向に沿って吸気孔５１
ｂを形成し、この吸気孔５１ｂを通ってチップ部品１を
吸引できるようにしている。また、吸気孔５１ｂの先端
側にはベローズ（吸着口）５６を設け、チップ部品１の
吸着を確実に行えるようにしている。

【００２２】動作前の吸着挟持機構５は、図４に示すよ
うに、第１のスプリング５２のスプリング力が第２のス
プリング５５３のスプリング力に打ち勝って、第１のス
プリング５２は伸長し、第２のスプリング５５３は圧縮
され、一対のチャック５５１は閉じた状態になってい
る。また、動作後の吸着挟持機構５は、図５に示すよう
に、後述する駆動機構７の支持部材７１が、バキューム
シャフト５１を押し下げ、第１のスプリング５２は圧縮
され、第２のスプリング５５３は伸長して、一対のチャ
ック５５１は、開いた状態になっている。

【００２３】前記回転機構６は、床側に固定された固定
板６０と、この固定板６０に回転可能に回転軸６３によ
り軸支された回転板６１と、この回転板６１を回転させ
るステッピングモータの如き第１のモータ（図６参照）
６２とを備えている。この回転機構６は、第１のモータ
６２により回転板６１を回転させると、複数の吸着挟持
機構５，回転板６１及び回転軸６３の全体が共に回転す
るようになっている。

【００２４】前記駆動機構７は、図２において恒温室３
の中央下部に配置され、図３に示すように、固定板６０
に固定されたスライドレール７０と、このスライドレー
ル７０により上下動可能に支持された支持部材７１と、
支持部材７１を上下方向に移動させてチップ部品１を挟
持するためのステッピングモータの如き第２のモータ
（図６参照）７２と、この第２のモータ７２の回転駆動
力を直線方向に変換してスライドレール７０に伝達する
図示しないラックピニオン機構とを具備し、制御部１２
の制御によって、駆動機構７の対向する位置に移動した
吸着挟持機構５を駆動するようになっている。支持部材
７１の先端側には、真空ポンプ９からパイプ（図示省
略）が接続される吸気孔７１ａを備え、その吸気孔７１
ａの先端側には、例えばＯリング，ベローズ等の弾性部
材７３を設け、吸着動作の際にバキュームシャフト５１
の上端面５１ｃに密着できるようにしている。

【００２５】図６は本実施例の制御系を示すブロック図
である。

【００２６】この装置は、恒温室３を一定温度に保つ恒
温部８と、吸気動作を行う真空ポンプ９と、この真空ポ
ンプ９を駆動するポンプ駆動部１０と、前記第１及び第
２のモータ６２，７２を駆動するモータ駆動部１１と、
この装置の各部を制御する制御部１２とを有している。
なお、前記吸着挟持機構５，駆動機構７，真空ポンプ
９，ポンプ駆動部１０及びモータ駆動部１１により、チ
ップ部品１を真空吸着すると共にその部品１を挟持する
吸着挟持手段４を構成する。

【００２７】次に、本実施例の動作を説明する。

【００２８】なお、恒温室３は、恒温部８により試験す
べき一定温度に保たれているとする。

【００２９】温度試験対象のチップ部品１が供給ライン
２上を搬送され、恒温室３の真下に到達すると、モータ
駆動部１１は、制御部１２の制御の下に、駆動機構７の
第２のモータ７２を駆動して、図示しないラックピニオ
ン機構を介して支持部材７１をスライドレール７０に沿
って降下させる。

【００３０】支持部材７１が降下すると、支持部材７１
の先端側に設けられた弾性部材７３が、吸着挟持機構５
のバキュームシャフト５１の上端面５１ｃに当接し、更
に支持部材７１が保持部材５３を降下させる。第１のス
プリング５２は圧縮され、リンク機構５５の第２のスプ
リング５５３は伸長し、連結リンク５５２が下方向に押
されて、一対のチャック５５１は開いた状態になる。

【００３１】一方、バキュームシャフト５１が降下を開
始すると、ポンプ駆動部１０は、制御部１２の制御によ
り、真空ポンプ９を駆動させ、吸気動作を開始する。

【００３２】バキュームシャフト５１が、更に降下し
て、当接面５１ａがチップ部品１の上面に密着すると、
図７に示すように、ベローズ５６は上方向に圧縮されて
チップ部品１の上面に密着し、チップ部品１はバキュー
ムシャフト５１の当接面５１ａに吸着する。

【００３３】次に、モータ駆動部１１は、制御部１２に
制御され、駆動機構７の第２のモータ７２を逆転させ、
図示しないラックピニオン機構を介して支持部材７１を
スライドレール７０に沿って上昇させる。この時、図８
に示すように、第１のスプリング５２は伸長し、第２の
スプリング５５３は圧縮され、連結リンク５５２が上方
向に戻り、一対のチャック５５１は閉じてチップ部品１
をクランプした状態になる。

【００３４】チップ部品１を一対のチャック５５１によ
りクランプすると、ポンプ駆動部１０は、制御部１２の
制御の下に、真空ポンプ９による吸気動作を停止させ
る。

【００３５】次に、モータ駆動部１１は、制御部１２の
制御により、回転板６１を回転させ、チップ部品１をク
ランプした吸着挟持機構５に隣接する吸着挟持機構５を
駆動機構７の対向する位置に移動させ、前述したのと同
様に、チップ部品１の吸着，挟持動作を行う。このよう
にして、順次供給される複数のチップ部品１を恒温室３
内に順次移動させ、複数のチップ部品１に連続的に温度
負荷を与えることができる。回転板６１が一周したとき
逆に、挟持したチップ部品１を供給ライン２の上に戻す
には、吸気動作によりチップ部品１を吸着した状態でバ
キュームシャフト５１を降下させ、第２のスプリング５
５３の伸長と連結リンク５５２の押し下げでチャック５
５１を開いて解放した後、吸気動作を停止させる。

【００３６】このような本実施例によれば、チップ部品
１を真空吸着すると共にその部品１をクランプしている
ので、真空源が切れた場合でもチップ部品１の保持が可
能となり、チップ部品１を確実に保持できるようにな
る。従って、上下逆様の向きでも搬送が可能となり、多
数のチップ部品１を立体的に送ることができる。また、
複数の吸着挟持機構５を垂直面内で回転可能に保持して
いるので、設置面積の小型化が図れる。また、吸着挟持
機構５をバキュームシャフト５１の移動動作に連動して
チップ部品１を挟持又は解放する構成としているので、
吸着挟持機構５の小型化，簡素化が図れる。更に、ター
ンテーブル等のプレートやブロックに載置するのと異な
り、大小異なるチップ部品１に対してクランプすること
ができるので、段取換えを不要にすることができる。

【００３７】なお、本発明は上記実施例に限定されず、
その要旨を変更しない範囲内で種々変形実施できる。

【００３８】

【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、以
下の効果を奏する。

【００３９】請求項１記載の発明によれば、スライド軸
の往復動作に連動してチップ部品を挟持又は解放するの
で、当該機構の小型化，簡素化が図れ、ひいては当該機
構を用いる装置の設置面積の小型化が可能となる。ま
た、チップ部品が大小異なるものであっても吸着，挟持
を行うことができ、従来必要とされていた段取換えを不
要にすることができる。

【００４０】請求項２記載の発明よれば、チップ部品を
真空吸着すると共にその部品を挟持しているので、真空
源が切れた場合でもチップ部品の保持が可能となり、チ
ップ部品を確実に保持できるようになる。また、チップ
部品が大小異なるものであっても吸着，挟持を行うこと
ができ、従来必要とされていた段取換えを不要にするこ
とができる。

【００４１】請求項３記載の発明によれば、複数の吸着
挟持機構を垂直面内で回転可能に保持しているので、設
置面積の小型化が図れる。

【００４２】請求項４記載の発明によれば、吸着挟持機
構をスライド軸の往復動作に連動してチップ部品を挟持
する構成としているので、吸着挟持機構の小型化，簡素
化が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の温度試験装置の一実施例を示す外観斜
視図。

【図２】本実施例の概略構成を示す正面図。

【図３】本実施例の吸着挟持機構，回転機構及び駆動機
構を示す側面図。

【図４】本実施例の吸着挟持機構の動作前の状態を示す
詳細側面図。

【図５】本実施例の吸着挟持機構の動作後の状態を示す
詳細側面図。

【図６】本実施例の制御系を示すブロック図。

【図７】本実施例の動作を説明するための側面図。

【図８】本実施例の動作を説明するための側面図。

【符号の説明】

１ チップ部品 ２ 供給ライン ３ 恒温室 ４ 吸着挟持手段 ５ 吸着挟持機構 ５１ バキュームシャフト（スライド軸） ５５ リンク機構 ５５１ チャック ５６ ベローズ（吸着口） ６ 回転機構 ６１ 回転板 ６３ 回転軸

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 往復動可能に支持されたスライド軸と、
   このスライド軸の先端に設けられ、チップ部品を真空吸
   着する吸着口と、前記スライド軸の往復動作に連動して
   前記チップ部品を挟持又は解放するチャックとを有する
   ことを特徴とする吸着挟持機構。
2. 【請求項２】 順次供給されるチップ部品を恒温室内に
   移動させ、前記チップ部品に温度負荷を与える温度試験
   装置において、前記チップ部品を真空吸着すると共にそ
   の部品を挟持する吸着挟持手段を有することを特徴とす
   る温度試験装置。
3. 【請求項３】 前記吸着挟持手段は、前記チップ部品を
   真空吸着する吸着口を備えると共に、その吸着口に吸着
   されたチップ部品を挟持する複数の吸着挟持機構を具備
   し、これら複数の吸着挟持機構を垂直面内で回転可能に
   保持する回転機構を有することを特徴とする請求項２記
   載の温度試験装置。
4. 【請求項４】 前記吸着挟持機構は、往復動可能に支持
   されたスライド軸と、このスライド軸の先端に設けら
   れ、チップ部品を真空吸着する吸着口と、前記スライド
   軸の往復動作に連動して前記チップ部品を挟持又は解放
   するチャックとを具備することを特徴とする請求項３記
   載の温度試験装置。