JPH07174975A - Illuminating system magnification switching device for microscope - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、各種検鏡法に対応する
ように、照明系の倍率を適宜選択的に切換可能な顕微鏡
の照明系倍率切換装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a microscope illumination system magnification switching device capable of selectively selectively switching the magnification of an illumination system so as to correspond to various spectroscopic methods.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、顕微鏡の観察法は、サンプルの形
態や研究目的に応じて種々選択的に使い分けられてい
る。例えば、医学や生物の分野において、生体組織や細
胞上で蛍光標識が施されたタンパクや遺伝子等を検出し
て、他の物質との位置関係を調べるために、落射蛍光検
鏡法が適用されている。この場合、位相差検鏡法や微分
干渉検鏡法を組み合わせることによって、上記タンパク
や遺伝子等が細胞構造のどの部位に存在するのかが確認
されている。2. Description of the Related Art Conventionally, microscope observation methods have been selectively used depending on the form of a sample and the purpose of research. For example, in the fields of medicine and biology, epifluorescence microscopy is applied to detect proteins and genes that are fluorescently labeled on living tissues and cells, and to investigate the positional relationship with other substances. ing. In this case, it has been confirmed in which part of the cell structure the above-mentioned protein, gene or the like exists by combining the phase-contrast microscopy method and the differential interference microscopy method.
【０００３】一方、工業分野において、例えば半導体の
検査を例に採ると、ＩＣパターン欠陥検査では、落射明
視野検鏡法や落射暗視野検鏡法又は落射微分干渉検鏡法
が用いられており、また、ＩＣパターン上のごみを同定
するために落射蛍光検鏡法が用いられている。On the other hand, in the industrial field, for example, in the case of semiconductor inspection, the IC pattern defect inspection uses the epi-illumination bright-field spectroscopic method, the epi-illumination dark-field spectroscopic method, or the epi-illumination differential interference spectroscopic method. Also, epifluorescence microscopy is used to identify dust on IC patterns.
【０００４】このように顕微鏡の落射検鏡法は、その目
的に応じて種々使い分けられているが、特に、研究用顕
微鏡では、透過照明との組み合わせも含めて、種々の落
射検鏡法への切り換えが迅速且つ円滑に行われることが
要求されている。As described above, the episcopy method of a microscope is variously used according to its purpose. In particular, in a research microscope, various episcopy methods including a combination with transmitted illumination are available. It is required that the switching be performed quickly and smoothly.
【０００５】一般的に、落射蛍光検鏡法では、紫外波長
領域から可視波長領域に亘る分光特性を有する超高圧水
銀灯やキセノンショートアークランプ等の高輝度光源が
用いられている。一方、落射明視野検鏡法や落射暗視野
検鏡法又は落射微分干渉検鏡法では、可視波長領域から
赤外波長領域に亘る分光特性を有するハロゲンランプ等
が用いられている。In general, the epifluorescence spectroscopic method uses a high-intensity light source such as an ultra-high pressure mercury lamp or a xenon short arc lamp having a spectral characteristic ranging from the ultraviolet wavelength region to the visible wavelength region. On the other hand, in the epi-illumination bright-field spectroscopic method, the epi-illumination dark-field spectroscopic method, or the epi-illumination differential interference spectroscopic method, a halogen lamp or the like having a spectral characteristic ranging from the visible wavelength region to the infrared wavelength region is used.
【０００６】前者のランプは、アーク光源であり、発光
部位が非常に小さいのに対し、後者のランプは、ある特
性の発光領域を有している。この場合、照明斑が少なく
高効率な照明を確保するためには、夫々のランプに適し
た投影倍率に基づいて落射照明光学系を構成する必要が
ある。[0006] The former lamp is an arc light source and has a very small light emitting portion, whereas the latter lamp has a light emitting region having a certain characteristic. In this case, in order to secure highly efficient illumination with few illumination spots, it is necessary to configure the epi-illumination optical system based on the projection magnification suitable for each lamp.
【０００７】このため、後者のランプを適用した場合に
おいて投影倍率が適切になるように落射照明光学系を構
成した上で、前者のアーク光源を使用する際には、落射
照明光学系にランプの投影倍率を上げるためのコンバー
ターレンズを付加することによって、落射蛍光検鏡法に
対応させている。Therefore, when the latter lamp is applied, the epi-illumination optical system is constructed so that the projection magnification becomes appropriate, and when the former arc light source is used, the epi-illumination optical system is equipped with a lamp. By adding a converter lens to increase the projection magnification, it is compatible with epi-illumination fluorescence microscopy.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】上述した顕微鏡におい
て、例えば半導体上の非常に微細なごみを検出する場
合、明るい照明が必要となるため、高輝度光源である超
高圧水銀灯を適用した状態で、落射明暗視野検鏡法を行
った後、続いて、落射蛍光検鏡法に切り換えて、ごみか
ら発生する蛍光を分光測光することによって、ごみの同
定が行われている。In the microscope described above, for example, when detecting extremely fine dust on a semiconductor, bright illumination is required. Therefore, the epi-illumination is performed in a state where an ultra-high pressure mercury lamp, which is a high-intensity light source, is applied. After performing the light-dark field spectroscopic method, the dust is subsequently identified by switching to the epifluorescence spectroscopic method and spectrophotometrically measuring the fluorescence generated from the dust.
【０００９】しかしながら、このような検鏡方法におい
て、落射暗視野検鏡法を行う場合、上記コンバーターレ
ンズが介在していると、暗視野対物レンズの外周の照明
系に充分な明るさの光を導光することが困難になってし
まうという問題が生じる。このため、落射照明光学系中
から上記コンバーターレンズをその都度取り外さなけれ
ばならず、検鏡効率が低下してしまうといった問題が発
生する。However, in such a spectroscopic method, when the epi-illumination dark field spectroscopic method is performed, if the converter lens is interposed, light of sufficient brightness is provided to the illumination system on the outer periphery of the dark field objective lens. There arises a problem that it becomes difficult to guide light. For this reason, the converter lens must be removed from the epi-illumination optical system each time, which causes a problem that the speculum efficiency decreases.
【００１０】また、上記ショートアーク光源とハロゲン
ランプのようなフィラメント光源とをダイクロイックミ
ラーやハーフミラー等を介して合成することによって、
紫外波長領域から可視波長領域に亘る広い波長領域の光
を顕微鏡の照明光として用いる場合でも、上記コンバー
ターレンズが落射照明光学系中に介在していると、２つ
の光源に夫々対応できるような落射照明光学系の切り換
えが困難になってしまうという問題が生じる。By combining the short arc light source and the filament light source such as a halogen lamp through a dichroic mirror or a half mirror,
Even when light in a wide wavelength range from the ultraviolet wavelength range to the visible wavelength range is used as the illumination light of the microscope, if the converter lens is interposed in the epi-illumination optical system, it can correspond to two light sources respectively. There is a problem that switching of the illumination optical system becomes difficult.
【００１１】これに対して、上記コンバーターレンズを
使用しない例として、例えば実公昭５５−２４５６６号
公報には、異なる種類の光源が着脱自在に構成された顕
微鏡が開示されている。この顕微鏡は、上記光源を適宜
選択することによって、種々の検鏡法に対応できるよう
に構成されている。しかしながら、使用目的に応じて上
記光源をその都度取り換えなければならず、手間がかか
るため検鏡効率が低下してしまうという問題がある。On the other hand, as an example in which the converter lens is not used, for example, Japanese Utility Model Publication No. 55-24566 discloses a microscope in which different types of light sources are detachably configured. This microscope is configured so as to be compatible with various spectroscopic methods by appropriately selecting the light source. However, the light source has to be replaced each time depending on the purpose of use, which is troublesome, and there is a problem that the speculum efficiency decreases.
【００１２】本発明は、このような問題点を解決するた
めになされており、その目的は、使用目的に応じた各種
落射検鏡法及び各種光源に対応して、各種光源を取り外
すことなく迅速且つ確実に、最適な落射照明系への切換
可能な顕微鏡の照明系倍率切換装置を提供することにあ
る。The present invention has been made to solve such a problem, and its purpose is to respond to various episcopy methods and various light sources according to the purpose of use, and to quickly without removing various light sources. Another object of the present invention is to provide an illumination system magnification switching device for a microscope, which can surely switch to an optimum epi-illumination system.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明の顕微鏡の照明系倍率切換装置は、明
暗視野観察及び蛍光観察が可能な落射投光管と、この落
射投光管に対して挿脱されるように顕微鏡の鏡体に着脱
可能なフレームと、このフレーム内に設けられ、上記落
射投光管を介して形成される照明光路中に挿入すること
によって照明系の倍率を上げるコンバーターレンズと、
このコンバーターレンズを上記照明光路に対して挿脱さ
せるように、上記コンバーターレンズを支持した状態で
上記フレーム内を摺動自在に構成されたレンズ枠と、こ
のレンズ枠を摺動させて上記コンバーターレンズを上記
照明光路に対して挿脱させる操作レバーとを備える。In order to achieve such an object, an illumination system magnification switching device of a microscope of the present invention is an epi-illumination tube capable of bright and dark field observation and fluorescence observation, and the epi-illumination projection device. A frame that can be attached to and detached from the microscope body of the microscope so that it can be inserted into and removed from the tube, and by being inserted into the illumination optical path formed through the epi-illumination tube, the illumination system With a converter lens to increase the magnification,
A lens frame configured to be slidable in the frame while supporting the converter lens so that the converter lens can be inserted into and removed from the illumination optical path, and the converter lens can be slid in the lens frame. And an operating lever that inserts and removes the light into and from the illumination optical path.
【００１４】[0014]
【作用】本発明によれば、操作レバーを介してレンズ枠
を摺動して、コンバーターレンズを照明光路に対して挿
脱させることによって、使用目的に応じた各種落射検鏡
法及び各種光源に対応して照明系の倍率が切り換えられ
る。According to the present invention, by sliding the lens frame through the operation lever to insert and remove the converter lens with respect to the illumination optical path, various episcopy methods and various light sources according to the purpose of use can be obtained. The magnification of the illumination system is switched correspondingly.
【００１５】[0015]
【実施例】以下、本発明の第１の実施例に係る顕微鏡の
照明系倍率切換装置について、図１及び図２を参照して
説明する。図１及び図２に示すように、本実施例の顕微
鏡の照明系倍率切換装置は、明暗視野観察及び蛍光観察
が可能な落射投光管２と、この落射投光管２に対して挿
脱されるように顕微鏡４の鏡体６に着脱可能なフレーム
８と、このフレーム８内に設けられ、上記落射投光管２
を介して形成される照明光路１０中に挿入することによ
って照明系の倍率を上げるコンバーターレンズ１２と、
このコンバーターレンズ１２を上記照明光路１０に対し
て挿脱させるように、コンバーターレンズ１２を支持し
た状態でフレーム８内を摺動自在に構成されたレンズ枠
１４と、このレンズ枠１４を摺動させて上記コンバータ
ーレンズ１２を上記照明光路１０に対して挿脱させる操
作レバー１６とを備えている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An illumination system magnification switching device for a microscope according to a first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. As shown in FIGS. 1 and 2, an illumination system magnification switching device for a microscope according to the present embodiment includes an epi-illumination tube 2 capable of bright and dark field observation and fluorescence observation, and an insertion / removal device for the epi-illumination tube 2. As described above, a frame 8 that is attachable to and detachable from the mirror body 6 of the microscope 4, and the epi-illumination tube 2 provided in the frame 8
A converter lens 12 for increasing the magnification of the illumination system by inserting it in the illumination optical path 10 formed via
A lens frame 14 configured to be slidable inside the frame 8 while the converter lens 12 is supported and the lens frame 14 are slid so that the converter lens 12 can be inserted into and removed from the illumination optical path 10. And an operating lever 16 for inserting and removing the converter lens 12 with respect to the illumination optical path 10.
【００１６】フレーム８は、顕微鏡４の鏡体６に対して
着脱可能であって、ビス１８によって鏡体６に固定可能
に構成されている。このフレーム８をビス１８によって
鏡体６に固定させることによって、フレーム８は、落射
投光管２内に挿入配置されることになる。The frame 8 is attachable to and detachable from the mirror body 6 of the microscope 4, and can be fixed to the mirror body 6 with screws 18. By fixing the frame 8 to the mirror body 6 with the screw 18, the frame 8 is inserted and arranged in the epi-illumination tube 2.
【００１７】このフレーム８には、紫外波長領域から可
視波長領域に亘る分光特性を有する超高圧水銀灯２０か
ら発光した照明光を落射投光管２に導光させるため、互
いに対向配置された第１及び第２の開口部８ａ，８ｂが
形成されている。この結果、超高圧水銀灯２０から発光
した照明光は、第１及び第２の開口部８ａ，８ｂを介し
て落射投光管２に導光され、ここに照明光路１０が形成
されることになる。In this frame 8, first illumination lights emitted from an ultra-high pressure mercury lamp 20 having a spectral characteristic ranging from the ultraviolet wavelength region to the visible wavelength region are guided to the epi-illumination projection tube 2 so as to be opposed to each other. And second openings 8a and 8b are formed. As a result, the illumination light emitted from the extra-high pressure mercury lamp 20 is guided to the epi-illumination tube 2 through the first and second openings 8a and 8b, and the illumination optical path 10 is formed there. .
【００１８】本実施例において、上述したフレーム８と
共にコンバーターレンズ１２，レンズ枠１４及び操作レ
バー１６は、コンバーターユニット２２として構成され
ており、具体的には、図１に示すように、コンバーター
ユニット２２は、超高圧水銀灯２０から形成される照明
光路１０中に位置付けられている。In this embodiment, the converter lens 12, the lens frame 14, and the operating lever 16 together with the above-described frame 8 are configured as a converter unit 22, and specifically, as shown in FIG. Are positioned in the illumination light path 10 formed from the extra-high pressure mercury lamp 20.
【００１９】また、操作レバー１６は、その一端がレン
ズ枠１４に固定され且つ他端がフレーム８から突出して
構成されており、操作レバー１６を図中矢印Ｓ方向に移
動させることによって、レンズ枠１４を介してコンバー
ターレンズ１２を照明光路１０に対して挿脱させること
ができる。The operation lever 16 has one end fixed to the lens frame 14 and the other end protruding from the frame 8. By moving the operation lever 16 in the direction of arrow S in the figure, the lens frame is moved. The converter lens 12 can be inserted into and removed from the illumination optical path 10 via 14.
【００２０】本実施例に適用された超高圧水銀灯２０
は、蛍光観察時等において必要とする強い照明光を発光
可能に構成されており、その発光部位は非常に小さく規
定されている。従って、超高圧水銀灯２０から照明光路
１０を介して対物レンズ２４（図１参照）に導光される
照明光は、対物レンズ２４の瞳径を充分に満たすような
照明系を有していない。Ultra-high pressure mercury lamp 20 applied to this embodiment
Is capable of emitting strong illumination light required for fluorescence observation and the like, and its light emitting portion is defined to be extremely small. Therefore, the illumination light guided from the extra-high pressure mercury lamp 20 to the objective lens 24 (see FIG. 1) via the illumination optical path 10 does not have an illumination system that sufficiently fills the pupil diameter of the objective lens 24.
【００２１】そこで、現在、例えば顕微鏡ステージ２６
（図１参照）上の観察標本（図示しない）に対して暗視
野観察が行われている際に、蛍光観察を行う場合、操作
レバー１６を介してコンバーターレンズ１２を照明光路
１０中に挿入配置させる。Therefore, at present, for example, the microscope stage 26
(Refer to FIG. 1) A converter lens 12 is inserted into the illumination optical path 10 via the operation lever 16 when performing fluorescence observation while dark field observation is performed on the observation sample (not shown). Let
【００２２】この結果、超高圧水銀灯２０から発光され
た照明光は、コンバーターレンズ１２によって、対物レ
ンズ２４の瞳径に対応するように、その倍率が上げられ
る。従って、対物レンズ２４に導光された照明光は、こ
の対物レンズ２４の瞳径を充分に満たすような照明系を
有しており、顕微鏡ステージ２６上の観察標本には、よ
り強い照明光が照射されることになる。As a result, the magnification of the illumination light emitted from the extra-high pressure mercury lamp 20 is increased by the converter lens 12 so as to correspond to the pupil diameter of the objective lens 24. Therefore, the illumination light guided to the objective lens 24 has an illumination system that sufficiently fills the pupil diameter of the objective lens 24, and the observation sample on the microscope stage 26 is illuminated with stronger illumination light. It will be irradiated.
【００２３】このような蛍光観察が行われた後、再び、
通常の暗視野観察を行う場合には、操作レバー１６を操
作して、コンバーターレンズ１２を照明光路１０から外
すことによって、照明系の倍率を下げることができる。After such fluorescence observation is performed, again
When performing normal dark-field observation, the magnification of the illumination system can be reduced by operating the operation lever 16 and removing the converter lens 12 from the illumination optical path 10.
【００２４】このように本実施例の顕微鏡の照明系倍率
切換装置によれば、コンバーターレンズ１２を照明光路
１０に対して挿脱させるだけで、使用目的に応じた各種
落射検鏡法及び各種光源に対応して、各種光源を取り外
すことなく迅速且つ確実に、最適な落射照明系への切り
換えを行うことができる。As described above, according to the illumination system magnification switching device of the microscope of this embodiment, various episcopy methods and various light sources depending on the purpose of use can be obtained only by inserting / removing the converter lens 12 into / from the illumination optical path 10. Accordingly, it is possible to switch to the optimum epi-illumination system quickly and reliably without removing various light sources.
【００２５】なお、本発明は、上述した実施例の構成に
限定されることはなく、超高圧水銀灯２０の代わりに例
えばキセノンショートアークランプを適用することも可
能である。また、フレーム８は、鏡体６に対して着脱可
能に構成されているため、コンバーターレンズ１２が不
要な場合には、他のフレームや光学系を挿入させること
も可能である。The present invention is not limited to the configuration of the above-described embodiment, and it is also possible to apply, for example, a xenon short arc lamp instead of the ultra-high pressure mercury lamp 20. Further, since the frame 8 is configured to be attachable to and detachable from the mirror body 6, it is possible to insert another frame or an optical system when the converter lens 12 is unnecessary.
【００２６】また、上述した実施例では、落射照明の場
合について説明したが、透過照明を行う場合には、図１
に示すように、顕微鏡４の下部側に配置された超高圧水
銀灯２０から形成される照明光路１０ａ中にコンバータ
ーユニット２２を挿入配置させることによって対応する
ことが可能となる。In the above-mentioned embodiment, the case of epi-illumination has been described.
As shown in FIG. 4, it is possible to deal with this by inserting and arranging the converter unit 22 in the illumination optical path 10a formed from the ultra-high pressure mercury lamp 20 arranged on the lower side of the microscope 4.
【００２７】次に、本発明の第２の実施例に係る顕微鏡
の照明系倍率切換装置について、図３を参照して説明す
る。なお、本実施例の説明に際し、第１の実施例と同一
の構成には同一符号を付してその説明を省略する。Next, an illumination system magnification switching device for a microscope according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the description of this embodiment, the same components as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【００２８】図３に示すように、本実施例の顕微鏡の照
明系倍率切換装置には、上記超高圧水銀灯２０の他に、
可視波長領域から赤外波長領域に亘る分光特性を有する
ハロゲンランプ２８が設けられており、ダイクロイック
ミラー３０によって超高圧水銀灯２０とハロゲンランプ
２８との照明切換可能に構成されている。As shown in FIG. 3, in the illumination system magnification switching device of the microscope of this embodiment, in addition to the super high pressure mercury lamp 20 described above,
A halogen lamp 28 having a spectral characteristic ranging from the visible wavelength region to the infrared wavelength region is provided, and the dichroic mirror 30 is configured to switch illumination between the extra-high pressure mercury lamp 20 and the halogen lamp 28.
【００２９】例えば、１つの標本面（図示しない）上に
おいて、紫外波長領域の照明光と赤外波長領域の照明光
とを選択的に照射させる場合、まず、ダイクロイックミ
ラー３０を図中矢印Ｔ方向に回動させて、ダイクロイッ
クミラー３０を図中実線で示す状態に位置決めする。For example, when selectively irradiating the illumination light in the ultraviolet wavelength region and the illumination light in the infrared wavelength region on one sample surface (not shown), first, the dichroic mirror 30 is directed in the direction of arrow T in the figure. Then, the dichroic mirror 30 is positioned in the state shown by the solid line in the figure.
【００３０】この後、操作レバー１６を図中矢印Ｓ方向
に操作して、コンバーターレンズ１２を照明光路１０中
に挿入配置させる。この結果、超高圧水銀灯２０からダ
イクロイックミラー３０を介して導光された紫外波長領
域の照明光は、コンバーターレンズ１２によって、対物
レンズ２４の瞳径に対応するように、その倍率が上げら
れる。従って、対物レンズ２４（図１参照）に導光され
た照明光は、この対物レンズ２４の瞳径を充分に満たす
ような照明系を有しており、顕微鏡ステージ２６上の観
察標本には、より強い紫外波長領域の照明光が照射され
ることになる。After that, the operating lever 16 is operated in the direction of the arrow S in the drawing to insert the converter lens 12 into the illumination optical path 10. As a result, the magnification of the illumination light in the ultraviolet wavelength range, which is guided from the ultra-high pressure mercury lamp 20 through the dichroic mirror 30, is increased by the converter lens 12 so as to correspond to the pupil diameter of the objective lens 24. Therefore, the illumination light guided to the objective lens 24 (see FIG. 1) has an illumination system that sufficiently fills the pupil diameter of the objective lens 24, and the observation sample on the microscope stage 26 is Illumination light in a stronger ultraviolet wavelength region is emitted.
【００３１】次に、赤外波長領域の照明光を照射させる
場合には、まず、ダイクロイックミラー１２を図中矢印
Ｔ方向に回動させて、ダイクロイックミラー３０を図中
２点鎖線で示す状態に位置決めする。Next, when irradiating the illumination light in the infrared wavelength region, first, the dichroic mirror 12 is rotated in the direction of the arrow T in the figure to bring the dichroic mirror 30 into the state shown by the chain double-dashed line in the figure. Position.
【００３２】この後、操作レバー１６を図中矢印Ｓ方向
に操作して、コンバーターレンズ１２を照明光路１０外
に退避させる。この結果、ハロゲンランプ２８からダイ
クロイックミラー３０を介して導光された赤外波長領域
の照明光は、そのまま照明光路１０に沿って対物レンズ
２４に導光され、観察標本に照射される。Thereafter, the operation lever 16 is operated in the direction of the arrow S in the figure to retract the converter lens 12 to the outside of the illumination optical path 10. As a result, the illumination light in the infrared wavelength region, which is guided from the halogen lamp 28 via the dichroic mirror 30, is guided as it is to the objective lens 24 along the illumination optical path 10 and is applied to the observation sample.
【００３３】このような一連の動作は、操作レバー１６
を介してコンバーターレンズ１２を照明光路１０に挿脱
させることによって、簡単且つ迅速に行うことができ
る。なお、１つの標本面で複数の観察点がある場合、強
い照明光を長時間標本に照射することは標本へのダメー
ジが大きい。そこで、本実施例において、観察点を探す
場合には、ハロゲンランプ２８からの照明光をそのまま
利用し、蛍光観察を行う場合には、コンバーターレンズ
１２を照明光路１０中に挿入して得られる超高圧水銀灯
２０からの照明光を利用することによって、標本へのダ
メージを最小限に抑えることが可能となる。Such a series of operations is performed by the operation lever 16
By inserting and removing the converter lens 12 into and from the illumination optical path 10 via the, it can be performed easily and quickly. When there are a plurality of observation points on one specimen surface, irradiating the specimen with strong illumination light for a long time causes a large damage to the specimen. Therefore, in this embodiment, when searching for an observation point, the illumination light from the halogen lamp 28 is used as it is, and when performing fluorescence observation, it is obtained by inserting the converter lens 12 into the illumination optical path 10. By using the illumination light from the high-pressure mercury lamp 20, it is possible to minimize the damage to the sample.
【００３４】このように本実施例の顕微鏡の照明系倍率
切換装置によれば、コンバーターレンズ１２を照明光路
１０に対して挿脱させるだけで、使用目的に応じた各種
落射検鏡法及び各種光源に対応して、各種光源を取り外
すことなく迅速且つ確実に、最適な落射照明系への切り
換えを行うことができる。なお、本実施例も第１の実施
例と同様に、透過照明を行う場合にも適用可能であるこ
とは言うまでもない。As described above, according to the illumination system magnification switching device of the microscope of this embodiment, various episcopy methods and various light sources depending on the purpose of use can be obtained only by inserting / removing the converter lens 12 into / from the illumination optical path 10. Accordingly, it is possible to switch to the optimum epi-illumination system quickly and reliably without removing various light sources. Needless to say, this embodiment is also applicable to the case of performing transillumination, as in the first embodiment.
【００３５】[0035]
【発明の効果】本発明によれば、コンバーターレンズを
照明光路に対して挿脱させるだけで、使用目的に応じた
各種落射検鏡法及び各種光源に対応して、各種光源を取
り外すことなく迅速且つ確実に、最適な落射照明系への
切り換えを行うことができる顕微鏡の照明系倍率切換装
置を提供することが可能となる。According to the present invention, by simply inserting / removing the converter lens with respect to the illumination optical path, various episcopy methods and various light sources according to the purpose of use can be dealt with quickly without removing various light sources. Further, it becomes possible to provide an illumination system magnification switching device for a microscope capable of surely switching to an optimum epi-illumination system.
【図１】本発明の第１の実施例に係る照明系倍率切換装
置が適用された顕微鏡の全体の構成を概略的に示す図。FIG. 1 is a diagram schematically showing an overall configuration of a microscope to which an illumination system magnification switching device according to a first embodiment of the present invention is applied.
【図２】本実施例の顕微鏡の照明系倍率切換装置の構成
を拡大して示す図であって、図１のＡ−Ａ線に沿う拡大
断面図。FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 1 showing an enlarged configuration of an illumination system magnification switching device for a microscope of this embodiment.
【図３】本発明の第２の実施例に係る顕微鏡の照明系倍
率切換装置の構成を拡大して示す拡大断面図。FIG. 3 is an enlarged sectional view showing an enlarged configuration of an illumination system magnification switching device of a microscope according to a second embodiment of the present invention.
２…落射投光管、４…顕微鏡、６…鏡体、８…フレー
ム、１０…照明光路、１２…コンバーターレンズ、１４
…レンズ枠、１６…操作レバー。2 ... Epi-illumination tube, 4 ... Microscope, 6 ... Mirror body, 8 ... Frame, 10 ... Illumination optical path, 12 ... Converter lens, 14
… Lens frame, 16… Operation lever.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川崎 健司 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Kenji Kawasaki 2-43-2 Hatagaya, Shibuya-ku, Tokyo Inside Olympus Optical Co., Ltd.
Claims (1)
投光管と、 この落射投光管に対して挿脱されるように顕微鏡の鏡体
に着脱可能なフレームと、 このフレーム内に設けられ、上記落射投光管を介して形
成される照明光路中に挿入することによって照明系の倍
率を上げるコンバーターレンズと、 このコンバーターレンズを上記照明光路に対して挿脱さ
せるように、上記コンバーターレンズを支持した状態で
上記フレーム内を摺動自在に構成されたレンズ枠と、 このレンズ枠を摺動させて上記コンバーターレンズを上
記照明光路に対して挿脱させる操作レバーとを備えてい
ることを特徴とする顕微鏡の照明系倍率切換装置。1. An epi-illumination tube capable of bright and dark field observation and fluorescence observation, a frame attachable to and detachable from the microscope body of the microscope so as to be inserted into and removed from the epi-illumination tube, and provided in the frame. A converter lens for increasing the magnification of the illumination system by inserting it into the illumination light path formed through the epi-illumination tube, and the converter lens for inserting and removing the converter lens with respect to the illumination light path. A lens frame configured to be slidable in the frame while supporting the lens, and an operation lever that slides the lens frame to insert and remove the converter lens from the illumination optical path. Characteristic microscope illumination system magnification switching device.
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Applications Claiming Priority (1)
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| JP2002031758A (en) * | 2000-07-17 | 2002-01-31 | Olympus Optical Co Ltd | microscope |
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-
1993
- 1993-12-20 JP JP31992693A patent/JP3647056B2/en not_active Expired - Fee Related
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| US9250430B2 (en) | 2010-03-29 | 2016-02-02 | Olympus Corporation | Microscope adapter unit |
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