JPH07123098B2 - セラミック積層体の製造方法および装置 - Google Patents
セラミック積層体の製造方法および装置Info
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- JPH07123098B2 JPH07123098B2 JP2186502A JP18650290A JPH07123098B2 JP H07123098 B2 JPH07123098 B2 JP H07123098B2 JP 2186502 A JP2186502 A JP 2186502A JP 18650290 A JP18650290 A JP 18650290A JP H07123098 B2 JPH07123098 B2 JP H07123098B2
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- C07D231/04—Heterocyclic compounds containing 1,2-diazole or hydrogenated 1,2-diazole rings not condensed with other rings having no double bonds between ring members or between ring members and non-ring members
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- H01G4/30—Stacked capacitors
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、セラミック積層体の製造方法および装置に
関するものである。
関するものである。
［従来の技術］ たとえば、積層セラミックコンデンサ、積層インダク
タ、多層回路基板のような積層型セラミック電子部品を
製造しようとするとき、生のセラミックシートが積重ね
られたセラミック積層体を製造する場面に遭遇する。た
とえば、積層セラミックコンデンサのためのセラミック
積層体を得るには、次のような製造方法または装置が用
いられていた。
タ、多層回路基板のような積層型セラミック電子部品を
製造しようとするとき、生のセラミックシートが積重ね
られたセラミック積層体を製造する場面に遭遇する。た
とえば、積層セラミックコンデンサのためのセラミック
積層体を得るには、次のような製造方法または装置が用
いられていた。
第10図に示すように、予め用意されたマザーセラミック
シートが、「シート引き出し」ステーション１から「電
極印刷・カッティング」ステーション２にまで引出さ
れ、このステーション２において、マザーセラミックシ
ートの打抜きと同時に電極の印刷が行なわれる。打抜か
れた後のマザーセラミークシートは、スクラップシート
として排出される。他方、電極印刷されかつ打抜かれた
セラミックシートは、「乾燥」ステーション３において
乾燥された後、「シート保管」４で示すように、保管さ
れる。
シートが、「シート引き出し」ステーション１から「電
極印刷・カッティング」ステーション２にまで引出さ
れ、このステーション２において、マザーセラミックシ
ートの打抜きと同時に電極の印刷が行なわれる。打抜か
れた後のマザーセラミークシートは、スクラップシート
として排出される。他方、電極印刷されかつ打抜かれた
セラミックシートは、「乾燥」ステーション３において
乾燥された後、「シート保管」４で示すように、保管さ
れる。
保管されたセラミックシートは、得ようとする積層セラ
ミックコンデンサに要求される静電容量等の特性に応じ
て選び出され、積重ねた後、セラミックシートの端面を
基準にして揃え、積重ね治具に挿入し、プレス加工が施
される。
ミックコンデンサに要求される静電容量等の特性に応じ
て選び出され、積重ねた後、セラミックシートの端面を
基準にして揃え、積重ね治具に挿入し、プレス加工が施
される。
しかしながら、上述のような方式には、次のような問題
点があった。
点があった。
（１） 打抜かれたセラミックシートを保管するため
に、広いスペースが必要である。
に、広いスペースが必要である。
（２） 電極印刷とカッティングとは、機械的な位置決
め機構を用いて同時に行なわれるため、同一種類の電極
パターン内での電極位置のばらつきは少ないが、パター
ン交換を行なった場合、異なる種類のパターン間での電
極位置のばらつきが生じやすい。
め機構を用いて同時に行なわれるため、同一種類の電極
パターン内での電極位置のばらつきは少ないが、パター
ン交換を行なった場合、異なる種類のパターン間での電
極位置のばらつきが生じやすい。
（３） 電極パターンの交換時において、電極パターン
とカッティング位置との位置合わせに時間がかかる。
とカッティング位置との位置合わせに時間がかかる。
（４） セラミックシートの端面を基準にして揃えるた
め、（２）で生じた電極位置のばらつきが、揃えた後に
おいても残り、得られた積層セラミックコンデンサの静
電容量のばらつきをもたらす。また、このような電極位
置のばらつきは、揃える作業自体によっても生じ得る。
め、（２）で生じた電極位置のばらつきが、揃えた後に
おいても残り、得られた積層セラミックコンデンサの静
電容量のばらつきをもたらす。また、このような電極位
置のばらつきは、揃える作業自体によっても生じ得る。
（５） セラミックシートに静電気が発生する場合や、
セラミックシートの厚みが薄い場合には、揃えることが
困難である。
セラミックシートの厚みが薄い場合には、揃えることが
困難である。
（６） セラミックシートを揃えた後、積重ね治具に挿
入するときにも、セラミックシート相互の位置ずれが発
生し得る。
入するときにも、セラミックシート相互の位置ずれが発
生し得る。
このように、第10図に示した方式には、上述のような問
題点があり、したがって、高精度での積重ねの障害とな
っていた。
題点があり、したがって、高精度での積重ねの障害とな
っていた。
上述の方式におけるセラミックシートの取扱いに関する
問題点を解決し得る方式として、未だ公知ではないが、
次のような方式が本件出願人から提案されている。
問題点を解決し得る方式として、未だ公知ではないが、
次のような方式が本件出願人から提案されている。
第11図に示すように、「シート引出し」ステーション５
から、「電極印刷」ステーション６、「乾燥」ステーシ
ョン７、「カッティング・積重ね」ステーション８を経
て、「スクラップシート巻取り」ステーション９に至る
まで、連結されている。「カッティング・積重ね」ステ
ーション８から、セラミック積層体が取出される。この
方式では、「カッティング・積重ね」ステーション８の
前に、「電極印刷」ステーション６および「乾燥」ステ
ーション７が配置されていることが特徴である。
から、「電極印刷」ステーション６、「乾燥」ステーシ
ョン７、「カッティング・積重ね」ステーション８を経
て、「スクラップシート巻取り」ステーション９に至る
まで、連結されている。「カッティング・積重ね」ステ
ーション８から、セラミック積層体が取出される。この
方式では、「カッティング・積重ね」ステーション８の
前に、「電極印刷」ステーション６および「乾燥」ステ
ーション７が配置されていることが特徴である。
しかしながら、上述のような方式には、以下に述べるよ
うな問題点があった。
うな問題点があった。
（１） 電極パターンに関して同一のセラミック積層体
しか製造することができない。
しか製造することができない。
（２） 品種の切換に際しては、印刷パターンの交換、
シートの交換等の段取りに多大な時間を要する。
シートの交換等の段取りに多大な時間を要する。
（３） 装置または製造ラインの長さ以上のリーダシー
トおよびエンドシートが必要となり、材料歩留りの低下
を引き起こしている。
トおよびエンドシートが必要となり、材料歩留りの低下
を引き起こしている。
（４） 工程が連続しているため、印刷不良が発生した
場合、その処理および復帰に対して、繁雑な作業を必要
とする。
場合、その処理および復帰に対して、繁雑な作業を必要
とする。
（５） 特に積層セラミックコンデンサのためのセラミ
ック積層体を得ようとする場合、電極を印刷したシート
と、印刷していないシートとが連続して流れるため、印
刷機を稼働させたり停止させたりする必要がある。それ
ゆえに、印刷条件が一定しないため、印刷精度が損われ
る。
ック積層体を得ようとする場合、電極を印刷したシート
と、印刷していないシートとが連続して流れるため、印
刷機を稼働させたり停止させたりする必要がある。それ
ゆえに、印刷条件が一定しないため、印刷精度が損われ
る。
（６） （１）〜（３）の問題点から、段取り変更回数
の少ない大量生産には向いているが、多種量生産には不
向きである。
の少ない大量生産には向いているが、多種量生産には不
向きである。
［発明が解決しようとする課題］ それゆえに、この発明の目的は、高精度の積重ねが可能
で、多種少量生産に有利で対応できる、セラミック積層
体の製造方法および装置を提供しようとすることであ
る。
で、多種少量生産に有利で対応できる、セラミック積層
体の製造方法および装置を提供しようとすることであ
る。
［課題を解決するための手段］ この発明にかかるセラミック積層体の製造方法は、 複数の電極パターンおよび各電極パターンに対して一定
の位置関係を有する複数の位置合わせ用マークがその長
手方向に分布するように形成された複数種類の長尺のマ
ザーセラミックシートをそれぞれ巻取った複数種類のリ
ールを準備するステップと、 複数種類のリールの各々からマザーセラミックシートを
関連のシートカッティングステージ上にまで引出すステ
ップと、 選ばれたシートカッティングステージ上にあるマザーセ
ラミックシートの一部から位置合わせ用マークを基準に
して電極パターンを含む領域を周囲がカッティング刃で
囲まれたカッティングヘッドにより打抜くステップと、 カッティングヘッドにより打抜かれたセラミックシート
をカッティングヘッドにより積重ね治具にまで搬送しか
つ積重ね治具上でセラミックシートの積重ねを行なうス
テップと、 を備えている。
の位置関係を有する複数の位置合わせ用マークがその長
手方向に分布するように形成された複数種類の長尺のマ
ザーセラミックシートをそれぞれ巻取った複数種類のリ
ールを準備するステップと、 複数種類のリールの各々からマザーセラミックシートを
関連のシートカッティングステージ上にまで引出すステ
ップと、 選ばれたシートカッティングステージ上にあるマザーセ
ラミックシートの一部から位置合わせ用マークを基準に
して電極パターンを含む領域を周囲がカッティング刃で
囲まれたカッティングヘッドにより打抜くステップと、 カッティングヘッドにより打抜かれたセラミックシート
をカッティングヘッドにより積重ね治具にまで搬送しか
つ積重ね治具上でセラミックシートの積重ねを行なうス
テップと、 を備えている。
また、この発明にかかるセラミック積層体の製造装置
は、 複数の電極パターンおよび各電極パターンに対して一定
の位置関係を有する複数の位置合わせ用マークがその長
手方向に分布するように形成された複数種類の長尺のマ
ザーセラミックシートをそれぞれ巻取った複数種類のリ
ールを並列にセットするリール台と、 複数種類のリールの各々から引出されたマザーセラミッ
クシートをそれぞれ位置決めする複数のシートカッティ
ングステージと、 マザーセラミックシートの一部から電極パターンを含む
領域を打抜いて得られたセラミックシートをその上で積
重ねるための積重ね治具と、 シートカッティングステージ上にあるマザーセラミック
シートの位置合わせ用マークの位置を検出するための光
学センサと、 複数のシートカッティングステージおよび積重ね治具の
それぞれの間を移動可能であり、マザーセラミックシー
トの電極パターンを含む領域を打抜くため周囲がカッテ
ィング刃で囲まれ、かつ打抜かれたセラミックシートを
搬送するカッティングヘッドと、 を備えている。
は、 複数の電極パターンおよび各電極パターンに対して一定
の位置関係を有する複数の位置合わせ用マークがその長
手方向に分布するように形成された複数種類の長尺のマ
ザーセラミックシートをそれぞれ巻取った複数種類のリ
ールを並列にセットするリール台と、 複数種類のリールの各々から引出されたマザーセラミッ
クシートをそれぞれ位置決めする複数のシートカッティ
ングステージと、 マザーセラミックシートの一部から電極パターンを含む
領域を打抜いて得られたセラミックシートをその上で積
重ねるための積重ね治具と、 シートカッティングステージ上にあるマザーセラミック
シートの位置合わせ用マークの位置を検出するための光
学センサと、 複数のシートカッティングステージおよび積重ね治具の
それぞれの間を移動可能であり、マザーセラミックシー
トの電極パターンを含む領域を打抜くため周囲がカッテ
ィング刃で囲まれ、かつ打抜かれたセラミックシートを
搬送するカッティングヘッドと、 を備えている。
［作用］ この発明では、電極パターンが形成されたマザーセラミ
ックシートは、一旦、リールに巻取られる。したがっ
て、電極パターンが形成されたマザーセラミックシート
は、リールに巻かれた状態で保管することができ、ま
た、以後のシートカッティング工程および積重ね工程に
対して、印刷等による電極パターンの形成工程を分割す
ることができる。
ックシートは、一旦、リールに巻取られる。したがっ
て、電極パターンが形成されたマザーセラミックシート
は、リールに巻かれた状態で保管することができ、ま
た、以後のシートカッティング工程および積重ね工程に
対して、印刷等による電極パターンの形成工程を分割す
ることができる。
シートカッティングおよび積重ね工程において、複数種
類のリールをセットし、その状態で、所定のプログラム
に従って任意のリールから任意の枚数のセラミックシー
トを打抜き、これを積重ねることが行なわれる。
類のリールをセットし、その状態で、所定のプログラム
に従って任意のリールから任意の枚数のセラミックシー
トを打抜き、これを積重ねることが行なわれる。
シートカッティング工程では、電極パターンと同時に印
刷されるなどして電極パターンに対して一定の位置関係
を有する位置合わせマークを基準に、打抜くべき位置を
補正しながら、シートカッティングが行なわれる。
刷されるなどして電極パターンに対して一定の位置関係
を有する位置合わせマークを基準に、打抜くべき位置を
補正しながら、シートカッティングが行なわれる。
カッティングヘッドにより、セラミックシートの打抜き
を終えた後、セラミックシートは、そのままカッティン
グヘッドにより搬送され、積重ね治具上で積重ねられ
る。
を終えた後、セラミックシートは、そのままカッティン
グヘッドにより搬送され、積重ね治具上で積重ねられ
る。
［発明の効果］ この発明によれば、電極パターンが形成されたマザーセ
ラミックシートは、一旦、リールに巻取られ、以後のシ
ートカッティングおよび積重ね工程に対して分割される
ことができるので、多種少量生産の場合であっても、電
極パターンが形成されたマザーセラミックシートをまと
めて生産することが可能となり、材料の歩留まりが向上
する。
ラミックシートは、一旦、リールに巻取られ、以後のシ
ートカッティングおよび積重ね工程に対して分割される
ことができるので、多種少量生産の場合であっても、電
極パターンが形成されたマザーセラミックシートをまと
めて生産することが可能となり、材料の歩留まりが向上
する。
また、マザーセラミックシートをリールに巻取った状態
で保管することにより、セラミックシートの取扱いが容
易になり、品種の切換に伴なうマザーセラミックシート
の交換等の段取りに要する時間が短縮される。
で保管することにより、セラミックシートの取扱いが容
易になり、品種の切換に伴なうマザーセラミックシート
の交換等の段取りに要する時間が短縮される。
また、複数種類のマザーセラミックシートをそれぞれ巻
取った複数種類のリールをセットすることにより、異な
る種類の電極パターンを有するセラミックシートを任意
の順序で積重ねることが可能になる。また、使用しない
リール台およびシートカッティングステージに、次ロッ
トのリールおよびマザーセラミックシートをセットする
ことが可能であり、その意味でも、段取り時間が短縮さ
れ、多種少量生産に都合よく対応することができる。
取った複数種類のリールをセットすることにより、異な
る種類の電極パターンを有するセラミックシートを任意
の順序で積重ねることが可能になる。また、使用しない
リール台およびシートカッティングステージに、次ロッ
トのリールおよびマザーセラミックシートをセットする
ことが可能であり、その意味でも、段取り時間が短縮さ
れ、多種少量生産に都合よく対応することができる。
また、電極パターンと一定の位置関係をもって形成され
た位置合わせ用マークを基準としてシートカッティング
を行ない、次いで積重ねを行なうので、シートの端面を
基準として揃える方式では困難であった、静電気が発生
するセラミックシートや厚みが極めて薄いセラミックシ
ートの積重ねが可能となる。また、電極パターンおよび
位置合わせ用マークが印刷により同時に形成される場
合、そのための印刷パターンの位置合わせは、位置合わ
せ用マークがCCDカメラのような光学センサの視野に入
るようにさえ調整すればよいだけであるので、印刷パタ
ーンの交換時間が短縮される。
た位置合わせ用マークを基準としてシートカッティング
を行ない、次いで積重ねを行なうので、シートの端面を
基準として揃える方式では困難であった、静電気が発生
するセラミックシートや厚みが極めて薄いセラミックシ
ートの積重ねが可能となる。また、電極パターンおよび
位置合わせ用マークが印刷により同時に形成される場
合、そのための印刷パターンの位置合わせは、位置合わ
せ用マークがCCDカメラのような光学センサの視野に入
るようにさえ調整すればよいだけであるので、印刷パタ
ーンの交換時間が短縮される。
また、位置合わせ用マークを基準として、カッティング
ヘッドによりマザーセラミックシートを打抜き、そのま
ま、カッティングヘッドにより保持されながら積重ね治
具にまで搬送され、そこで積重ねが行なわれるため、シ
ートカッティング後、積重ね治具への挿入までに生じ得
る誤差要因の除去が可能となる。
ヘッドによりマザーセラミックシートを打抜き、そのま
ま、カッティングヘッドにより保持されながら積重ね治
具にまで搬送され、そこで積重ねが行なわれるため、シ
ートカッティング後、積重ね治具への挿入までに生じ得
る誤差要因の除去が可能となる。
したがって、高精度の積重ねが可能となり、たとえば、
高容量の積層セラミックコンデンサの製造が可能とな
る。
高容量の積層セラミックコンデンサの製造が可能とな
る。
また、電極パターンが印刷により形成される場合、印刷
不良が発生しても、そこをスキップして、マザーセラミ
ックシートを移動させればよく、トラブル処理が容易に
なる。
不良が発生しても、そこをスキップして、マザーセラミ
ックシートを移動させればよく、トラブル処理が容易に
なる。
［実施例］ この発明の一実施例が採用された積層セラミックコンデ
ンサのための製造ラインの一例の概要が、第１図に示さ
れている。
ンサのための製造ラインの一例の概要が、第１図に示さ
れている。
第１図を参照して、従来公知の方法によって製造された
長尺のマザーセラミックシートが、「シート引き出し」
ステーション10にセットされ、ここから、「電極印刷」
ステーション11に向かって引出される。用いられるマザ
ーセラミックシートとしては、セラミックグリーンシー
トが適当な補強シートで裏打ちされたものであっても、
セラミックグリーンシート単独のものであってもよい。
長尺のマザーセラミックシートが、「シート引き出し」
ステーション10にセットされ、ここから、「電極印刷」
ステーション11に向かって引出される。用いられるマザ
ーセラミックシートとしては、セラミックグリーンシー
トが適当な補強シートで裏打ちされたものであっても、
セラミックグリーンシート単独のものであってもよい。
「電極印刷」ステーション11において、第２図に示すよ
うに、マザーセラミックシート12上に複数の電極13を含
む電極パターン14が、印刷により形成される。マザーセ
ラミックシート12において、複数の電極パターン14がそ
の長手方向に分布している。また、電極パターン14の印
刷と同時に、各電極パターン14に対して一定の位置関係
を有する位置合わせ用マーク15が印刷により形成され
る。
うに、マザーセラミックシート12上に複数の電極13を含
む電極パターン14が、印刷により形成される。マザーセ
ラミックシート12において、複数の電極パターン14がそ
の長手方向に分布している。また、電極パターン14の印
刷と同時に、各電極パターン14に対して一定の位置関係
を有する位置合わせ用マーク15が印刷により形成され
る。
上述のように印刷された電極パターン14および位置合わ
せ用マーク15は、次いで、「乾燥」ステーション16にお
いて乾燥される。
せ用マーク15は、次いで、「乾燥」ステーション16にお
いて乾燥される。
次いで、「シート巻取り」ステーション17において、マ
ザーセラミックシートは、リールに巻取られる。
ザーセラミックシートは、リールに巻取られる。
このようにして、必要に応じて、複数種類のマザーセラ
ミックシートをそれぞれ巻取った複数種類のリールが準
備される。マザーセラミックシートを巻取ったリール
は、「シート保管」18で示すように、保管される。
ミックシートをそれぞれ巻取った複数種類のリールが準
備される。マザーセラミックシートを巻取ったリール
は、「シート保管」18で示すように、保管される。
「シート保管」18の状態にあった複数種類のリールは、
その中から必要なものが選び出され、「カッティング・
積重ね」ステーション19にセットされる。「カッティン
グ・積重ね」ステーション19では、第２図に示すよう
に、マザーセラミックシート12の一部から電極パターン
14を含む領域20を打抜き、このように打抜かれたセラミ
ックシートが積重ねられる。
その中から必要なものが選び出され、「カッティング・
積重ね」ステーション19にセットされる。「カッティン
グ・積重ね」ステーション19では、第２図に示すよう
に、マザーセラミックシート12の一部から電極パターン
14を含む領域20を打抜き、このように打抜かれたセラミ
ックシートが積重ねられる。
セラミックシートの積重ねによって得られたセラミック
積層体は、次いで、「プレス」ステーション21におい
て、プレスされる。
積層体は、次いで、「プレス」ステーション21におい
て、プレスされる。
上述した「カッティング・積重ね」ステーション19の詳
細を、第３図ないし第９図を参照して説明する。
細を、第３図ないし第９図を参照して説明する。
第３図には、「カッティング・積重ね」ステーション19
において用いられるカッティング・積重ね装置22の全体
が斜視図で示されている。
において用いられるカッティング・積重ね装置22の全体
が斜視図で示されている。
カッティング・積重ね装置22は、第１図に示した「シー
ト保管」18の状態にあった複数種類のリールから選び出
された、たとえば６個のリール23を並列にセットするた
めのリール台24を備える。第３図において、リール23
は、正四角柱状の容器の形態をなすように図示されてい
るが、実際には、このような容器の内部にリールが回転
可能に内蔵され、容器の一部に設けられた開口からマザ
ーセラミックシート12が引出されるようにされている。
ト保管」18の状態にあった複数種類のリールから選び出
された、たとえば６個のリール23を並列にセットするた
めのリール台24を備える。第３図において、リール23
は、正四角柱状の容器の形態をなすように図示されてい
るが、実際には、このような容器の内部にリールが回転
可能に内蔵され、容器の一部に設けられた開口からマザ
ーセラミックシート12が引出されるようにされている。
リール23の各々から引出されたマザーセラミックシート
12は、シートカッティングステージ25上にそれぞれ位置
決めされる。シートカッティングステージ25の構造は、
第４図に示されている。
12は、シートカッティングステージ25上にそれぞれ位置
決めされる。シートカッティングステージ25の構造は、
第４図に示されている。
第４図を参照して、シートカッティングステージ25は、
メッシュベルト26をもって構成されたベルトコンベア機
構を含む。メッシュベルト26は、３個のローラ27,28,29
の周囲に巻掛けされた状態で駆動され、それによって、
マザーセラミックシート12を矢印30で示す方向に移動さ
せる。マザーセラミックシート12が水平方向に向く経路
にあるとき、メッシュベルト26を介して吸引装置31がマ
ザーセラミックシート12を真空吸引し、それによって、
マザーセラミックシート12が位置決めされる。シートカ
ッティングステージ25において、後で詳細に説明するよ
うに、マザーセラミックシート12の電極パターン14を含
む領域20（第２図）が打抜かれるが、打抜かれた後のス
クラップシート32は、１回の送り動作ごとに、カッター
33によって短く切断される。
メッシュベルト26をもって構成されたベルトコンベア機
構を含む。メッシュベルト26は、３個のローラ27,28,29
の周囲に巻掛けされた状態で駆動され、それによって、
マザーセラミックシート12を矢印30で示す方向に移動さ
せる。マザーセラミックシート12が水平方向に向く経路
にあるとき、メッシュベルト26を介して吸引装置31がマ
ザーセラミックシート12を真空吸引し、それによって、
マザーセラミックシート12が位置決めされる。シートカ
ッティングステージ25において、後で詳細に説明するよ
うに、マザーセラミックシート12の電極パターン14を含
む領域20（第２図）が打抜かれるが、打抜かれた後のス
クラップシート32は、１回の送り動作ごとに、カッター
33によって短く切断される。
再び第３図を参照して、シートカッティングステージ25
の近傍には、積重ね治具34が配置される。積重ね治具34
は、第５図に拡大されて示されるように、マザーセラミ
ックシート12から電極パターン14を含む領域20を打抜い
て得られたセラミックシート35を所定の枚数だけその上
で積重ねるためのものである。積重ね治具34は、底面壁
およびその上に積重ねられたセラミックシート35を取囲
む枠を備えている。
の近傍には、積重ね治具34が配置される。積重ね治具34
は、第５図に拡大されて示されるように、マザーセラミ
ックシート12から電極パターン14を含む領域20を打抜い
て得られたセラミックシート35を所定の枚数だけその上
で積重ねるためのものである。積重ね治具34は、底面壁
およびその上に積重ねられたセラミックシート35を取囲
む枠を備えている。
積重ね治具34は、第３図に示すように、コンベア36上に
載置される。このコンベア36の上流側には、積重ね治具
34をコンベア36に供給するためのローディング用ラック
37が配置され、コンベア36の下流側には、積重ね治具34
をコンベア36から取出すためのアンローディング用ラッ
ク38が配置される。コンベア36、ローディング用ラック
37およびアンローディング用ラック38が、第６図にも示
されている。
載置される。このコンベア36の上流側には、積重ね治具
34をコンベア36に供給するためのローディング用ラック
37が配置され、コンベア36の下流側には、積重ね治具34
をコンベア36から取出すためのアンローディング用ラッ
ク38が配置される。コンベア36、ローディング用ラック
37およびアンローディング用ラック38が、第６図にも示
されている。
第３図および第６図を参照して、ローディング用ラック
37には、空の、すなわちセラミックシートが挿入されて
いない、複数個の積重ね治具34が各段に載置されてい
る。ローディング用ラック37は、矢印39で示すように、
その各段がコンベア36の上面と順次整列するように変位
される。所定の段がコンベア36の上面と整列したとき、
押出しシリンダ40が矢印41で示す方向に駆動され、それ
によって、空の積重ね治具34は、コンベア36上に押出さ
れる。コンベア36上に置かれた積重ね治具は、コンベア
36の駆動によって矢印42方向に移動され、コンベア36上
の所定の位置まで搬送される。この所定の位置におい
て、積重ね治具34上に対して、第５図に示すようなセラ
ミックシート35の積重ねが行なわれる。
37には、空の、すなわちセラミックシートが挿入されて
いない、複数個の積重ね治具34が各段に載置されてい
る。ローディング用ラック37は、矢印39で示すように、
その各段がコンベア36の上面と順次整列するように変位
される。所定の段がコンベア36の上面と整列したとき、
押出しシリンダ40が矢印41で示す方向に駆動され、それ
によって、空の積重ね治具34は、コンベア36上に押出さ
れる。コンベア36上に置かれた積重ね治具は、コンベア
36の駆動によって矢印42方向に移動され、コンベア36上
の所定の位置まで搬送される。この所定の位置におい
て、積重ね治具34上に対して、第５図に示すようなセラ
ミックシート35の積重ねが行なわれる。
セラミックシート35の積重ねを終えた積重ね治具34は、
コンベア36の矢印42で示す方向への駆動によって、アン
ローディング用ラック38の直前にまで搬送される。この
位置で、押込み爪43を矢印44方向に動作させる上下シリ
ンダ45が駆動されるとともに、上下シリンダ45を矢印46
方向に移動させる押込みシリンダ47が駆動される。これ
によって、積重ね治具34は、アンローディング用ラック
38の所定の段上に押込まれる。アンローディング用ラッ
ク38は、矢印48で示すように、その各段が、順次、コン
ベア36の上面と整列するように変位される。したがっ
て、アンローディング用ラック38には、セラミックシー
ト35が積重ねられた、複数個の積重ね治具34が収納され
る。アンローディング用ラック38が、積重ね治具34によ
って満たされたとき、このラック38は、装置22から取外
され、積重ね治具34は、ラック38とともに次の工程、す
なわち第１図に示した「プレス」ステーション21にまで
運ばれる。
コンベア36の矢印42で示す方向への駆動によって、アン
ローディング用ラック38の直前にまで搬送される。この
位置で、押込み爪43を矢印44方向に動作させる上下シリ
ンダ45が駆動されるとともに、上下シリンダ45を矢印46
方向に移動させる押込みシリンダ47が駆動される。これ
によって、積重ね治具34は、アンローディング用ラック
38の所定の段上に押込まれる。アンローディング用ラッ
ク38は、矢印48で示すように、その各段が、順次、コン
ベア36の上面と整列するように変位される。したがっ
て、アンローディング用ラック38には、セラミックシー
ト35が積重ねられた、複数個の積重ね治具34が収納され
る。アンローディング用ラック38が、積重ね治具34によ
って満たされたとき、このラック38は、装置22から取外
され、積重ね治具34は、ラック38とともに次の工程、す
なわち第１図に示した「プレス」ステーション21にまで
運ばれる。
第３図を参照して、マザーセラミックシート12の位置合
わせ用マーク15の位置を検出するための光学センサとな
るべきCCDカメラ49,50がシートカッティングステージ25
の上方に配置される。また、マザーセラミックシート12
の電極パターン14を含む領域20（第２図）を打抜くた
め、周囲がカッティング刃51で囲まれたカッティングヘ
ッド52が、CCDカメラ49,50の近傍に配置される。
わせ用マーク15の位置を検出するための光学センサとな
るべきCCDカメラ49,50がシートカッティングステージ25
の上方に配置される。また、マザーセラミックシート12
の電極パターン14を含む領域20（第２図）を打抜くた
め、周囲がカッティング刃51で囲まれたカッティングヘ
ッド52が、CCDカメラ49,50の近傍に配置される。
この実施例では、カッティングヘッド52およびCCDカメ
ラ46,50は、XYθロボット53上に取付けられ、Ｘ、Ｙ、
およびθ方向に移動可能とされている。なお、カッティ
ングヘッド52とCCDカメラ49,50とは、別々の駆動系によ
って移動可能とされてもよい。
ラ46,50は、XYθロボット53上に取付けられ、Ｘ、Ｙ、
およびθ方向に移動可能とされている。なお、カッティ
ングヘッド52とCCDカメラ49,50とは、別々の駆動系によ
って移動可能とされてもよい。
第７図、第８図および第９図には、カッティングヘッド
52およびCCDカメラ49,50の動作が示されている。
52およびCCDカメラ49,50の動作が示されている。
第３図に示すように、複数庫のリール23から、それぞ
れ、マザーセラミックシート12が、関連のシートカッテ
ィングステージ25にまで引出され、固定される。この動
作は、前述したように、第４図に示した構成によって達
成される。第７図に示した状態は、この状態に対応して
いる。
れ、マザーセラミックシート12が、関連のシートカッテ
ィングステージ25にまで引出され、固定される。この動
作は、前述したように、第４図に示した構成によって達
成される。第７図に示した状態は、この状態に対応して
いる。
次に、複数のマザーセラミックシート12のうちから所定
のものが選ばれ、第７図に示すように、XYθロボット53
の駆動により、選ばれたマザーセラミックシート12上の
位置合わせ用マーク15がCCDカメラ49,50の視野内に入る
ように移動される。CCDカメラ49,50は、位置合わせ用マ
ーク15の位置を画像処理する。この画像処理の結果は、
図示しないコンピュータに入力され、それによって、マ
ザーセラミックシート12を打抜くべき位置に関する補正
値が算出される。
のものが選ばれ、第７図に示すように、XYθロボット53
の駆動により、選ばれたマザーセラミックシート12上の
位置合わせ用マーク15がCCDカメラ49,50の視野内に入る
ように移動される。CCDカメラ49,50は、位置合わせ用マ
ーク15の位置を画像処理する。この画像処理の結果は、
図示しないコンピュータに入力され、それによって、マ
ザーセラミックシート12を打抜くべき位置に関する補正
値が算出される。
次いで、第８図に示すように、上述した補正値を加味し
てXYθロボット53が駆動され、カッティングヘッド52が
マザーセラミックシート12に向かって移動される。これ
によって、第２図に示した電極パターン14が形成された
領域20が打抜かれる。打抜かれたセラミークシートは、
カッティング刃51で隠れるため、図示されないが、カッ
ティングヘッド52によって搬送される。このようなカッ
ティングヘッド52による搬送を確実にするため、図示し
ないが、カッティングヘッド52には、セラクシートを真
空吸引する機能が備えられている。
てXYθロボット53が駆動され、カッティングヘッド52が
マザーセラミックシート12に向かって移動される。これ
によって、第２図に示した電極パターン14が形成された
領域20が打抜かれる。打抜かれたセラミークシートは、
カッティング刃51で隠れるため、図示されないが、カッ
ティングヘッド52によって搬送される。このようなカッ
ティングヘッド52による搬送を確実にするため、図示し
ないが、カッティングヘッド52には、セラクシートを真
空吸引する機能が備えられている。
第９図に示すように、カッティングヘッド52は、XYθロ
ボット53の駆動により、コンベア36上に置かれた積重ね
治具34上にセラミックシートを搬送し、積重ね治具34上
において、セラミックシートの積重ねを行なう。
ボット53の駆動により、コンベア36上に置かれた積重ね
治具34上にセラミックシートを搬送し、積重ね治具34上
において、セラミックシートの積重ねを行なう。
以後、上述した動作が繰返され、積重ね治具34上に、任
意のセラミックシートが任意の順序で積重ねられる。
意のセラミックシートが任意の順序で積重ねられる。
なお、積層セラミックコンデンサのためのセラミック積
層体を得ようとする場合、電極パターンが形成されてい
ないセラミックシートも積重ねる必要がある。したがっ
て、好ましくは、第３図に示すように、リール台24上に
セットされるリール23のうちの少なくとも１つ、すなわ
ちリール23（ａ）から引出されるマザーセラミックシー
ト12（ａ）は、電極パターン等が何ら形成されていない
ものとされる。この場合、マザーセラミックシート12
（ａ）に関しては、打抜きの際に正確な位置合わせが不
要であるので、マザーセラミックシート12（ａ）は、単
に一定ピッチで引出されるだけでよい。
層体を得ようとする場合、電極パターンが形成されてい
ないセラミックシートも積重ねる必要がある。したがっ
て、好ましくは、第３図に示すように、リール台24上に
セットされるリール23のうちの少なくとも１つ、すなわ
ちリール23（ａ）から引出されるマザーセラミックシー
ト12（ａ）は、電極パターン等が何ら形成されていない
ものとされる。この場合、マザーセラミックシート12
（ａ）に関しては、打抜きの際に正確な位置合わせが不
要であるので、マザーセラミックシート12（ａ）は、単
に一定ピッチで引出されるだけでよい。
前述したように、積重ね治具34において積重ねられた所
定のセラミックシート35は、第１図に示した「プレス」
ステーション21において、たとえば、静水圧プレスさ
れ、その後、１個の積層セラミックコンデンサのチップ
を得るように、カットされ、次いで、焼成され、さら
に、外部電極が形成されることによって、所望の積層セ
ラミックコンデンサとされる。
定のセラミックシート35は、第１図に示した「プレス」
ステーション21において、たとえば、静水圧プレスさ
れ、その後、１個の積層セラミックコンデンサのチップ
を得るように、カットされ、次いで、焼成され、さら
に、外部電極が形成されることによって、所望の積層セ
ラミックコンデンサとされる。
なお、以上述べた実施例において、リール23は、容器に
収容された状態とされた。このようにすることにより、
マザーセラミックシート12を正常な状態で保管すること
が容易である。しかしながら、このような利点を望まな
いならば、リールは、容器に内蔵されてなくてもよい。
収容された状態とされた。このようにすることにより、
マザーセラミックシート12を正常な状態で保管すること
が容易である。しかしながら、このような利点を望まな
いならば、リールは、容器に内蔵されてなくてもよい。
また、この発明は、積層セラミックコンデンサのための
セラミック積層体の構造だけでなく、その他の積層型セ
ラミック電子部品、たとえば、積層型インダクタ、積層
型LCフィルタ、多層回路基板、等のためのセラミック積
層体の製造にも適用することができる。
セラミック積層体の構造だけでなく、その他の積層型セ
ラミック電子部品、たとえば、積層型インダクタ、積層
型LCフィルタ、多層回路基板、等のためのセラミック積
層体の製造にも適用することができる。
第１図は、この発明の一実施例を含むセラミック積層体
の製造ラインの一例を示すブロック図である。第２図
は、マザーセラミックシート12の一部を示す平面図であ
る。第３図、カッティング・積重ね装置22を示す斜視図
である。第４図は、シートカッティングステージ25に採
用される構成を示す断面図である。第５図は、積重ね治
具34を示す斜視図である。第６図は、コンベア36および
これに関連する構成を示す図解的正面図である。第７図
は、第８図および第９図は、カッティングヘッド52およ
びCCDカメラ49,50の動作を説明するための図解的正面図
である。 第10図および第11図は、この発明にとって興味ある従来
のセラミック積層体の製造ラインをそれぞれ示すブロッ
ク図である。 図において、12はマザーセラミックシート、13は電極、
14は電極パターン、15は位置合わせ用マーク、20は領
域、22はカッティング・積重ね装置、23はリール、24は
リール台、25はシートカッティングステージ、34は積重
ね治具、35はセラミックシート、49,50はCCDカメラ（光
学センサ）、51はカッティング刃、52はカッティングヘ
ッド、53はXYθロボットである。
の製造ラインの一例を示すブロック図である。第２図
は、マザーセラミックシート12の一部を示す平面図であ
る。第３図、カッティング・積重ね装置22を示す斜視図
である。第４図は、シートカッティングステージ25に採
用される構成を示す断面図である。第５図は、積重ね治
具34を示す斜視図である。第６図は、コンベア36および
これに関連する構成を示す図解的正面図である。第７図
は、第８図および第９図は、カッティングヘッド52およ
びCCDカメラ49,50の動作を説明するための図解的正面図
である。 第10図および第11図は、この発明にとって興味ある従来
のセラミック積層体の製造ラインをそれぞれ示すブロッ
ク図である。 図において、12はマザーセラミックシート、13は電極、
14は電極パターン、15は位置合わせ用マーク、20は領
域、22はカッティング・積重ね装置、23はリール、24は
リール台、25はシートカッティングステージ、34は積重
ね治具、35はセラミックシート、49,50はCCDカメラ（光
学センサ）、51はカッティング刃、52はカッティングヘ
ッド、53はXYθロボットである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｈ０１Ｆ 17/00 Ｄ 4230−5Ｅ
Claims (2)
- 【請求項１】複数の電極パターンおよび各電極パターン
に対して一定の位置関係を有する複数の位置合わせ用マ
ークがその長手方向に分布するように形成された複数種
類の長尺のマザーセラミックシートをそれぞれ巻取った
複数種類のリールを準備するステップと、 前記複数種類のリールの各々からマザーセラミックシー
トを関連のシートカッティングステージ上にまでそれぞ
れ引き出すステップと、 選ばれたシートカッティングステージ上にあるマザーセ
ラミックシートの一部から位置合わせ用マークを基準に
して電極パターンを含む領域を周囲がカッテンィング刃
で囲まれたカッティングヘッドにより打抜くステップ
と、 カッティングヘッドにより打抜かれたカッティングシー
トをカッティングヘッドにより積重ね治具にまで搬送し
かつ積重ね治具上でセラミックシートの積重ねを行なう
ステップと、 を備える、セラミック積層体の製造方法。 - 【請求項２】複数の電極パターンおよび各電極パターン
に対して一定の位置関係を有する複数の位置合わせ用マ
ークがその長手方向に分布するように形成された複数種
類の長尺のマザーセラミックシートをそれぞれ巻取った
複数種類のリールを並列にセットするリール台と、 複数種類のリールの各々から引出されたマザーセラミッ
クシートをそれぞれ位置決めする複数のシートカッティ
ングステージと、 マザーセラミックシートの一部から電極パターンを含む
領域を打抜いて得られたセラミックシートをその上で積
重ねるための積重ね治具と、 シートカッティングステージ上にあるマザーセラミック
シートの位置合わせ用マークの位置を検出するための光
学センサと、 複数のシートカッティングステージおよび積重ね治具の
それぞれの間を移動可能であり、マザーセラミックシー
トの電極パターンを含む領域を打抜くため周囲がカッテ
ィング刃で囲まれ、かつ打抜かれたセラミックシートを
搬送するカッティングヘッドと、 を備える、セラミック積層体の製造装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2186502A JPH07123098B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | セラミック積層体の製造方法および装置 |
| DE4119243A DE4119243C2 (de) | 1990-07-13 | 1991-06-11 | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Produkten aus Keramikschichten |
| US07/723,412 US5177841A (en) | 1990-07-13 | 1991-07-01 | Method of manufacturing ceramic layered product |
| SG1995905063A SG26384G (en) | 1990-07-13 | 1991-07-15 | Method of and apparatus for manufacturing ceramic layered product |
| GB9115261A GB2248722B (en) | 1990-07-13 | 1991-07-15 | Method of and apparatus for manufacturing ceramic layered product |
| US07/938,001 US5224250A (en) | 1990-07-13 | 1992-08-28 | Apparatus for manufacturing ceramic capacitors |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2186502A JPH07123098B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | セラミック積層体の製造方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0472709A JPH0472709A (ja) | 1992-03-06 |
| JPH07123098B2 true JPH07123098B2 (ja) | 1995-12-25 |
Family
ID=16189617
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2186502A Expired - Lifetime JPH07123098B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | セラミック積層体の製造方法および装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5177841A (ja) |
| JP (1) | JPH07123098B2 (ja) |
| DE (1) | DE4119243C2 (ja) |
| GB (1) | GB2248722B (ja) |
| SG (1) | SG26384G (ja) |
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