JPH0689285A - 工程管理システム - Google Patents
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- JPH0689285A JPH0689285A JP26426592A JP26426592A JPH0689285A JP H0689285 A JPH0689285 A JP H0689285A JP 26426592 A JP26426592 A JP 26426592A JP 26426592 A JP26426592 A JP 26426592A JP H0689285 A JPH0689285 A JP H0689285A
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
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-
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- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 生産過程における不良の内容及び不良数をリ
アルタイムで管理できる工程管理システムを提供する。 【構成】 複数のクリーンルームC1ないしCnに設置
された生産ラインS1ないしS4における各工程の検査
箇所に、それぞれ複数の検査項目毎の不良入力スイッチ
を備えた検査入力装置N11ないしN43を設け、各ク
リーンルームC1ないしCn毎に、各工程毎の前記各検
査入力装置N11ないしN43の入力信号を取り込み集
計するローカルコンピュータLCを設置すると共に、各
ローカルコンピュータLCと管理室6に設置されたメイ
ンコンピュータMCとを結合してコンピュータネットワ
ークRANを構成し、メインコンピュータMCにおいて
各生産ラインS1ないしS4における検査結果をリアル
タイムで管理する。
アルタイムで管理できる工程管理システムを提供する。 【構成】 複数のクリーンルームC1ないしCnに設置
された生産ラインS1ないしS4における各工程の検査
箇所に、それぞれ複数の検査項目毎の不良入力スイッチ
を備えた検査入力装置N11ないしN43を設け、各ク
リーンルームC1ないしCn毎に、各工程毎の前記各検
査入力装置N11ないしN43の入力信号を取り込み集
計するローカルコンピュータLCを設置すると共に、各
ローカルコンピュータLCと管理室6に設置されたメイ
ンコンピュータMCとを結合してコンピュータネットワ
ークRANを構成し、メインコンピュータMCにおいて
各生産ラインS1ないしS4における検査結果をリアル
タイムで管理する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、複数の製造室に設置さ
れたモータ等の生産ラインにおける各工程の良、不良を
検査して生産管理を行う工程管理システムに関する。
れたモータ等の生産ラインにおける各工程の良、不良を
検査して生産管理を行う工程管理システムに関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、複数の部品を順次組み立てて完
成される製品の生産システムでは、生産ラインに含まれ
る複数の工程毎に検査ポイントを設定し、部材不良や工
程不良等を個々に検査して生産過程における良、不良を
検出し、製品の質を高めるようにしている。
成される製品の生産システムでは、生産ラインに含まれ
る複数の工程毎に検査ポイントを設定し、部材不良や工
程不良等を個々に検査して生産過程における良、不良を
検出し、製品の質を高めるようにしている。
【0003】例えば、ハードディスク装置に用いられる
スピンドルモータでは、安定した高速回転の仕様が求め
られるだけでなく、モータ内部からのダスト(ガス)の
流出や異常音の発生のない高い品質の製品が要求されて
いる。
スピンドルモータでは、安定した高速回転の仕様が求め
られるだけでなく、モータ内部からのダスト(ガス)の
流出や異常音の発生のない高い品質の製品が要求されて
いる。
【0004】このため、前記スピンドルモータの生産に
おいては、特にクリーンルームで行われ、個々の部品の
検査のみならず、組立過程における検査も厳格に実施さ
れている。
おいては、特にクリーンルームで行われ、個々の部品の
検査のみならず、組立過程における検査も厳格に実施さ
れている。
【0005】従来、前記スピンドルモータ等の製造にお
いては、生産ラインに含まれる複数の工程毎にあるいは
主要な工程毎に検査ポイントを設定し、この各検査ポイ
ントにおいて部材不良や工程不良を検査し、不良品が有
ればそれを抜き出して予め用意した不良箱に入れるよう
にしていた。
いては、生産ラインに含まれる複数の工程毎にあるいは
主要な工程毎に検査ポイントを設定し、この各検査ポイ
ントにおいて部材不良や工程不良を検査し、不良品が有
ればそれを抜き出して予め用意した不良箱に入れるよう
にしていた。
【0006】そして、後ほど、この各検査ポイント毎の
不良箱に納めた不良品の不良数を記録し、全体を集計し
て工程の管理を行っていた。
不良箱に納めた不良品の不良数を記録し、全体を集計し
て工程の管理を行っていた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
たような工程管理システムでは、製品の不良数の集計に
時間がかかり、例えば生産終了後にならないと全体の不
良数を把握することができないといった不都合がある。
たような工程管理システムでは、製品の不良数の集計に
時間がかかり、例えば生産終了後にならないと全体の不
良数を把握することができないといった不都合がある。
【0008】その上、製品の不良の具合によっては、簡
単な手直しや部品の分解で再利用できるものがあるにも
かかわらず、各検査ポイントの不良箱に納めた不良品は
それがどのような不良なのかわからず、これらを再検査
するか廃棄せざるを得ず、多くの無駄を生じていた。
単な手直しや部品の分解で再利用できるものがあるにも
かかわらず、各検査ポイントの不良箱に納めた不良品は
それがどのような不良なのかわからず、これらを再検査
するか廃棄せざるを得ず、多くの無駄を生じていた。
【0009】本発明は、従来の技術の有するこのような
問題点に留意してなされたものであり、その目的とする
ところは、生産過程における不良の内容及び不良数をリ
アルタイムで管理でき、不良品及び良品並びに部品の管
理を確実かつ迅速に行うことが可能な工程管理システム
を提供することにある。
問題点に留意してなされたものであり、その目的とする
ところは、生産過程における不良の内容及び不良数をリ
アルタイムで管理でき、不良品及び良品並びに部品の管
理を確実かつ迅速に行うことが可能な工程管理システム
を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の工程管理システムにおいては、複数の製造
室に設置された生産ラインにおける各工程の検査箇所に
それぞれ、複数の検査項目毎の不良入力スイッチを備え
た検査入力装置を設け、各製造室毎に、各工程毎の前記
各検査入力装置の入力信号を取り込み集計するローカル
コンピュータを設置すると共に、各ローカルコンピュー
タと管理室に設置されたメインコンピュータとを結合し
てコンピュータネットワークを構成し、メインコンピュ
ータにおいて各生産ラインにおける検査結果をリアルタ
イムで管理することを特徴とするものである。
に、本発明の工程管理システムにおいては、複数の製造
室に設置された生産ラインにおける各工程の検査箇所に
それぞれ、複数の検査項目毎の不良入力スイッチを備え
た検査入力装置を設け、各製造室毎に、各工程毎の前記
各検査入力装置の入力信号を取り込み集計するローカル
コンピュータを設置すると共に、各ローカルコンピュー
タと管理室に設置されたメインコンピュータとを結合し
てコンピュータネットワークを構成し、メインコンピュ
ータにおいて各生産ラインにおける検査結果をリアルタ
イムで管理することを特徴とするものである。
【0011】そして、生産ラインにおける先頭工程位置
に、部品の投入数カウンタを設置し、生産ラインにおけ
る最終工程位置に、製品の完成数カウンタを設置し、生
産実績及び部品在庫をリアルタイムで管理することが望
ましい。
に、部品の投入数カウンタを設置し、生産ラインにおけ
る最終工程位置に、製品の完成数カウンタを設置し、生
産実績及び部品在庫をリアルタイムで管理することが望
ましい。
【0012】
【作用】前述した構成の工程管理システムにあっては、
生産ラインにおける各工程の検査箇所で部材あるいは組
立品の不良を検出した場合、検査入力装置によりその不
良に応じた不良項目の不良入力スイッチを操作すると、
この入力信号がローカルコンピュータに取り込まれ、不
良項目毎に集計されると共に、コンピュータネットワー
クを介して、メインコンピュータに入力される。
生産ラインにおける各工程の検査箇所で部材あるいは組
立品の不良を検出した場合、検査入力装置によりその不
良に応じた不良項目の不良入力スイッチを操作すると、
この入力信号がローカルコンピュータに取り込まれ、不
良項目毎に集計されると共に、コンピュータネットワー
クを介して、メインコンピュータに入力される。
【0013】メインコンピュータでは、入力された各生
産ラインの各工程毎の不良入力信号をサーバに格納し、
不良項目毎の不良総数を自動的に算出し、不良数のメモ
リ内容を更新する。
産ラインの各工程毎の不良入力信号をサーバに格納し、
不良項目毎の不良総数を自動的に算出し、不良数のメモ
リ内容を更新する。
【0014】これにより、管理室では各生産ラインの個
々の不良数及び不良総数が不良項目毎にリアルタイムで
集計、管理できることになり、不良品の再投入、廃棄の
処理等が迅速に実施できることになる。
々の不良数及び不良総数が不良項目毎にリアルタイムで
集計、管理できることになり、不良品の再投入、廃棄の
処理等が迅速に実施できることになる。
【0015】また、生産ラインにおける先頭工程位置に
部品の投入数カウンタを設置し、生産ラインにおける最
終工程位置に製品の完成数カウンタを設置することによ
り、管理室において生産実績及び部品在庫をリアルタイ
ムで管理することができる。
部品の投入数カウンタを設置し、生産ラインにおける最
終工程位置に製品の完成数カウンタを設置することによ
り、管理室において生産実績及び部品在庫をリアルタイ
ムで管理することができる。
【0016】
【実施例】実施例につき、図1ないし図3を用いて説明
する。図1は本発明の工程管理システムの全体の概略構
成を示したものであり、複数の製造室、例えばスピンド
ルモータの製造の場合は複数(第1ないし第n)のクリ
ーンルームC1ないしCnを有するものに適用したもの
である。
する。図1は本発明の工程管理システムの全体の概略構
成を示したものであり、複数の製造室、例えばスピンド
ルモータの製造の場合は複数(第1ないし第n)のクリ
ーンルームC1ないしCnを有するものに適用したもの
である。
【0017】第1クリーンルームC1においては、図2
に示すように、第1ないし第4の生産ラインS1ないし
S4が配置され、他の各クリーンルームC2ないしCn
においても同様に複数の生産ラインが配置されている。
に示すように、第1ないし第4の生産ラインS1ないし
S4が配置され、他の各クリーンルームC2ないしCn
においても同様に複数の生産ラインが配置されている。
【0018】各生産ラインには、図2でわかるように、
生産ラインS1ないしS4におけるそれぞれの先頭工程
位置に、部品の投入数カウンタT1ないしT4が設置さ
れると共に、生産ラインS1ないしS4におけるそれぞ
れの最終工程位置に、製品の完成数カウンタK1ないし
K4が設置され、さらに各工程の検査箇所にそれぞれ検
査入力装置N11ないしN43が設置されている。
生産ラインS1ないしS4におけるそれぞれの先頭工程
位置に、部品の投入数カウンタT1ないしT4が設置さ
れると共に、生産ラインS1ないしS4におけるそれぞ
れの最終工程位置に、製品の完成数カウンタK1ないし
K4が設置され、さらに各工程の検査箇所にそれぞれ検
査入力装置N11ないしN43が設置されている。
【0019】投入数カウンタT1ないしT4は、トレー
上に配列してパック化された複数の部品をラインに投入
する毎にスイッチ操作することによりカウント値を歩進
させるものであり、ターミナルTAを介してローカルコ
ンピュータLCにカウント値が入力され、部品の投入数
が入力される。
上に配列してパック化された複数の部品をラインに投入
する毎にスイッチ操作することによりカウント値を歩進
させるものであり、ターミナルTAを介してローカルコ
ンピュータLCにカウント値が入力され、部品の投入数
が入力される。
【0020】完成数カウンタK1ないしK4は、各工程
を経て完成された製品をトレー上に配列してパック化す
る毎にスイッチ操作することによりカウント値を歩進さ
せるものであり、ターミナルTAを介してローカルコン
ピュータLCにカウント値が入力され、製品の完成数が
入力される。
を経て完成された製品をトレー上に配列してパック化す
る毎にスイッチ操作することによりカウント値を歩進さ
せるものであり、ターミナルTAを介してローカルコン
ピュータLCにカウント値が入力され、製品の完成数が
入力される。
【0021】検査入力装置N11ないしN43はそれぞ
れ、部材不良や工程不良を検査し、不良品が有ればその
不良項目を入力するものであり、図3に示すように、装
置本体1に、ごろ、がた、音、平行度、端面振れ、ハブ
高さ、ハブ傷、打痕、落下及びその他の各工程不良毎の
不良入力スイッチ2aないし2jと、すれ、切粉音、デ
ッドポイント、シャフト高さ、ハブ内径小及び加工残り
の各部材不良毎の不良入力スイッチ3aないし3fとを
備えている。
れ、部材不良や工程不良を検査し、不良品が有ればその
不良項目を入力するものであり、図3に示すように、装
置本体1に、ごろ、がた、音、平行度、端面振れ、ハブ
高さ、ハブ傷、打痕、落下及びその他の各工程不良毎の
不良入力スイッチ2aないし2jと、すれ、切粉音、デ
ッドポイント、シャフト高さ、ハブ内径小及び加工残り
の各部材不良毎の不良入力スイッチ3aないし3fとを
備えている。
【0022】そして、各工程の検査箇所において、部材
不良や工程不良があれば、その不良項目に該当する不良
入力スイッチ2aないし2j又は不良入力スイッチ3a
ないし3fを入力操作することにより、ターミナルTA
を介してローカルコンピュータLCに不良項目が入力さ
れる。
不良や工程不良があれば、その不良項目に該当する不良
入力スイッチ2aないし2j又は不良入力スイッチ3a
ないし3fを入力操作することにより、ターミナルTA
を介してローカルコンピュータLCに不良項目が入力さ
れる。
【0023】投入数カウンタT1ないしT4、完成数カ
ウンタK1ないしK4、検査入力装置N11ないしN4
3の各入力信号は、実際には図1に示すように、シーケ
ンサ4で定期的に集収され、ローカルコンピュータLC
に入力される。
ウンタK1ないしK4、検査入力装置N11ないしN4
3の各入力信号は、実際には図1に示すように、シーケ
ンサ4で定期的に集収され、ローカルコンピュータLC
に入力される。
【0024】各クリーンルームC1ないしCnのローカ
ルコンピュータLCは、図1に示すように、リング状の
伝送路5に結合され、製造事務所等の管理室5に設置さ
れたメインコンピュータMC及び管理事務所などの補助
管理室6に設置されたサブコンピュータSCと共にLA
N(ローカル・エリア・ネットワーク)を構成してい
る。
ルコンピュータLCは、図1に示すように、リング状の
伝送路5に結合され、製造事務所等の管理室5に設置さ
れたメインコンピュータMC及び管理事務所などの補助
管理室6に設置されたサブコンピュータSCと共にLA
N(ローカル・エリア・ネットワーク)を構成してい
る。
【0025】各ローカルコンピュータLCは、クリーン
ルームC1ないしCnで収集した投入、完成、不良数な
どのデータを図外のモニタに画面表示し、定期的にある
いは送信要求に応じてこのデータを伝送路5に送信して
いる。
ルームC1ないしCnで収集した投入、完成、不良数な
どのデータを図外のモニタに画面表示し、定期的にある
いは送信要求に応じてこのデータを伝送路5に送信して
いる。
【0026】管理室5のメインコンピュータMCは、各
クリーンルームC1ないしCnのローカルコンピュータ
LCより送信されたデータをサーバ8に格納すると同時
に、このデータを図外のモニタに画面表示し、さらにプ
リンタ9に印字する。
クリーンルームC1ないしCnのローカルコンピュータ
LCより送信されたデータをサーバ8に格納すると同時
に、このデータを図外のモニタに画面表示し、さらにプ
リンタ9に印字する。
【0027】補助管理室6のサブコンピュータSCは、
同様に、各クリーンルームC1ないしCnのローカルコ
ンピュータLCより送信されたデータを図外のモニタに
画面表示し、さらにプリンタ10に印字する。
同様に、各クリーンルームC1ないしCnのローカルコ
ンピュータLCより送信されたデータを図外のモニタに
画面表示し、さらにプリンタ10に印字する。
【0028】このような構成の工程管理システムにあっ
ては、各クリーンルームC1ないしCnのローカルコン
ピュータLCにおいて、各生産ラインの各工程毎の不良
入力信号及び各生産ライン毎の投入数並びに完成数がシ
ーケンサ4でリアルタイムに収集されて入力されると共
に、このデータが伝送路5を介してメインコンピュータ
MC及びサブコンピュータSCに送信される。
ては、各クリーンルームC1ないしCnのローカルコン
ピュータLCにおいて、各生産ラインの各工程毎の不良
入力信号及び各生産ライン毎の投入数並びに完成数がシ
ーケンサ4でリアルタイムに収集されて入力されると共
に、このデータが伝送路5を介してメインコンピュータ
MC及びサブコンピュータSCに送信される。
【0029】このため、各クリーンルームC1ないしC
nにおいては、各生産ライン毎の投入数並びに完成数が
リアルタイムに把握できると共に、各生産ラインの各工
程毎の不良数及び不良症状をリアルタイムに把握できる
ことになる。
nにおいては、各生産ライン毎の投入数並びに完成数が
リアルタイムに把握できると共に、各生産ラインの各工
程毎の不良数及び不良症状をリアルタイムに把握できる
ことになる。
【0030】さらに、管理室6及び補助管理室7におい
ては、各クリーンルームC1ないしCnにおける各生産
ライン毎の投入数並びに完成数、さらに各生産ラインの
各工程毎の不良数及び不良症状をリアルタイムに把握で
きることになる。
ては、各クリーンルームC1ないしCnにおける各生産
ライン毎の投入数並びに完成数、さらに各生産ラインの
各工程毎の不良数及び不良症状をリアルタイムに把握で
きることになる。
【0031】したがって、不良数及び不良症状の管理に
より、不良分析が速やかに行えると共に、1次不良すな
わち簡単な手直しや部品の分解で再利用できる不良の在
庫管理が速やかに行えると共に、この1次不良在庫の再
投入や不良品の廃棄処理が迅速に実施できることにな
る。
より、不良分析が速やかに行えると共に、1次不良すな
わち簡単な手直しや部品の分解で再利用できる不良の在
庫管理が速やかに行えると共に、この1次不良在庫の再
投入や不良品の廃棄処理が迅速に実施できることにな
る。
【0032】さらに、部品投入数の管理により、部品単
位の在庫管理が行え、製品完成数の管理により、生産実
績管理が行え、生産目標に対する生産計画をよりきめ細
かく立てられるだけでなく、出荷作業の迅速化をも図れ
ることになる。
位の在庫管理が行え、製品完成数の管理により、生産実
績管理が行え、生産目標に対する生産計画をよりきめ細
かく立てられるだけでなく、出荷作業の迅速化をも図れ
ることになる。
【0033】なお、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で変更可能
である。
のではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で変更可能
である。
【0034】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているため、次に記載する効果を奏する。複数の製造室
の各生産ラインにおける各工程の検査箇所で検出した部
材あるいは組立品の不良を、検査入力装置によりその不
良に応じた不良項目の不良入力スイッチの操作により入
力し、この入力信号をローカルコンピュータにおいて不
良項目毎に集計すると共に、コンピュータネットワーク
を介して、管理室のメインコンピュータに入力する構成
としたため、管理室で各生産ラインの個々の不良数及び
不良総数が不良項目毎にリアルタイムで集計、管理でき
ることになり、不良分析により、部品及び工程の不良対
策が図れると共に、1次不良品の再投入、廃棄の処理等
が迅速に実施できるものである。また、生産ラインにお
ける先頭工程位置に部品の投入数カウンタを設置し、生
産ラインにおける最終工程位置に製品の完成数カウンタ
を設置することにより、管理室において生産実績及び部
品在庫をリアルタイムで管理することができる。
ているため、次に記載する効果を奏する。複数の製造室
の各生産ラインにおける各工程の検査箇所で検出した部
材あるいは組立品の不良を、検査入力装置によりその不
良に応じた不良項目の不良入力スイッチの操作により入
力し、この入力信号をローカルコンピュータにおいて不
良項目毎に集計すると共に、コンピュータネットワーク
を介して、管理室のメインコンピュータに入力する構成
としたため、管理室で各生産ラインの個々の不良数及び
不良総数が不良項目毎にリアルタイムで集計、管理でき
ることになり、不良分析により、部品及び工程の不良対
策が図れると共に、1次不良品の再投入、廃棄の処理等
が迅速に実施できるものである。また、生産ラインにお
ける先頭工程位置に部品の投入数カウンタを設置し、生
産ラインにおける最終工程位置に製品の完成数カウンタ
を設置することにより、管理室において生産実績及び部
品在庫をリアルタイムで管理することができる。
【図1】本発明による工程管理システムの実施例を示す
全体構成図である。
全体構成図である。
【図2】図1の第1クリーンルームの概略構成図であ
る。
る。
【図3】図2の検査入力装置の斜視図である。
C1ないしCn 第1ないし第nクリーンルーム S1ないしS4 第1ないし第4生産ライン N11ないしN43 検査入力装置 LC ローカルコンピュータ MC メインコンピュータ SC サブコンピュータ 2aないし2j 工程不良入力スイッチ 3aないし3f 部材不良入力スイッチ 5 伝送路 6 管理室 7 補助管理室
Claims (2)
- 【請求項1】 複数の製造室に設置された生産ラインに
おける各工程の良、不良を検査して生産管理を行う工程
管理システムであって、 前記各工程の検査箇所にそれぞれ設けられ、複数の検査
項目毎の不良入力スイッチを備えた検査入力装置と、前
記各製造室毎に設置され、前記各工程毎の前記各検査入
力装置の入力信号を取り込み、集計するローカルコンピ
ュータとを備え、 前記各ローカルコンピュータと管理室に設置されたメイ
ンコンピュータとを結合して、コンピュータネットワー
クを構成し、 前記メインコンピュータにおいて前記各生産ラインにお
ける検査結果をリアルタイムで管理することを特徴とす
る工程管理システム。 - 【請求項2】 生産ラインにおける先頭工程位置に、部
品の投入数カウンタが設置され、生産ラインにおける最
終工程位置に、製品の完成数カウンタが設置され、生産
実績及び部品在庫をリアルタイムで管理することを特徴
とする請求項1記載の工程管理システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26426592A JPH0689285A (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | 工程管理システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26426592A JPH0689285A (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | 工程管理システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0689285A true JPH0689285A (ja) | 1994-03-29 |
Family
ID=17400772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26426592A Withdrawn JPH0689285A (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | 工程管理システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0689285A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10161736A (ja) * | 1996-11-26 | 1998-06-19 | Matsushita Electric Works Ltd | 生産管理方法 |
| JPH10177844A (ja) * | 1996-12-19 | 1998-06-30 | Hitachi Ltd | 平面ディスプレイパネルの製造方法およびプラズマディスプレイパネルの製造方法 |
| KR19980034555A (ko) * | 1996-11-07 | 1998-08-05 | 김광호 | 서보 라이터 관리방법 |
| US6629009B1 (en) | 1999-03-15 | 2003-09-30 | Sharp Kabushiki Kaisha | Management system for semiconductor fabrication device |
| JP2019212234A (ja) * | 2018-06-08 | 2019-12-12 | アンリツインフィビス株式会社 | 生産管理システム及び生産管理プログラム |
-
1992
- 1992-09-07 JP JP26426592A patent/JPH0689285A/ja not_active Withdrawn
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