JPH0682877B2 - Laser oscillator - Google Patents
Laser oscillatorInfo
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- JPH0682877B2 JPH0682877B2 JP63325262A JP32526288A JPH0682877B2 JP H0682877 B2 JPH0682877 B2 JP H0682877B2 JP 63325262 A JP63325262 A JP 63325262A JP 32526288 A JP32526288 A JP 32526288A JP H0682877 B2 JPH0682877 B2 JP H0682877B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、レーザ発振器に係り、特にレーザ発振器か
ら出力されるレーザ光のビームモードの制御に関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser oscillator, and more particularly to control of a beam mode of laser light output from the laser oscillator.
第３図は従来のレーザ発振器の構成を示す平面図であ
る。図において、（１）は真空容器を構成するレーザ発
振器の筐体で、A,Bはそれぞれ筐体（１）の前部及び後
部である。また、（２），（３）はレーザ発振器内に設
けられた上部電極及び下部電極である。（４），（５）
は筐体（１）の後部Ｂに設けられた全反射鏡及び内部折
返し用反射鏡であり、（６），（７）は筐体（１）の後
部Ｂの全反射鏡（４）及び内部折返し用反射鏡（５）に
対向して前部Ａに設けられた内部折返し用反射鏡及び部
分反射鏡である。なお、（10）はこれらの鏡（４），
（５），（６），（７）により共振されたレーザビーム
である。（８）は全反射鏡（４）と内部折返し用反射鏡
（５）の前面に一体となって取付けられた後部アパーチ
ャで、レーザビーム（10）の通過路に合わせて穴部（8
a），（8b）が設けられており、この穴部（8a），（8
b）の穴径は必要とするモード次数に合わせて決定され
る。（9a）は筐体（１）の前部Ａ側に設けられ、レーザ
ビームモードを選択する回転方式のビームモード切換装
置、（９）はビームモード切換装置（9a）、内部折返し
用反射鏡（６）及び部分反射鏡（７）の筐体である。ま
た、矢印（イ）は、共振されたレーザビーム（10）が部
分反射鏡（７）から外部に射出される方向を示してい
る。（11）は下部電極（３）側に設けられた軸流送風機
である。FIG. 3 is a plan view showing the structure of a conventional laser oscillator. In the figure, (1) is a casing of a laser oscillator that constitutes a vacuum container, and A and B are the front and rear portions of the casing (1), respectively. Further, (2) and (3) are an upper electrode and a lower electrode provided in the laser oscillator. (4), (5)
Is a total reflection mirror and an internal folding reflection mirror provided on the rear portion B of the housing (1), and (6) and (7) are total reflection mirror (4) and the inside of the rear portion B of the housing (1). An internal folding reflecting mirror and a partial reflecting mirror provided in the front portion A so as to face the folding reflecting mirror (5). In addition, (10) is these mirrors (4),
It is a laser beam resonated by (5), (6) and (7). (8) is a rear aperture that is integrally attached to the front surfaces of the total reflection mirror (4) and the internal reflection reflector (5), and has a hole (8) according to the passage of the laser beam (10).
a) and (8b) are provided, and these holes (8a) and (8
The hole diameter in b) is determined according to the required mode order. (9a) is a rotation mode beam mode switching device provided on the front side A side of the casing (1) for selecting a laser beam mode, (9) is a beam mode switching device (9a), and an internal folding reflector ( 6) and the housing of the partial reflector (7). The arrow (a) indicates the direction in which the resonated laser beam (10) is emitted from the partial reflecting mirror (7) to the outside. (11) is an axial blower provided on the lower electrode (3) side.
なお、レーザ発振器のビームモードを切換える理由は、
レーザ発振器のビームモード次数を変えられるようにす
れば、１台のレーザ発振器でワークの切断，焼入れ，溶
接等が可能となり多目的に使用できるからである。The reason for switching the beam mode of the laser oscillator is
This is because if the beam mode order of the laser oscillator can be changed, cutting, quenching, welding, etc. of the work can be performed with one laser oscillator, and it can be used for multiple purposes.
次に、アパーチャの径が大きくなるとレーザ発振器の発
振効率が大となり、逆に径が小さくなると発振効率が小
となる性質があることを考慮しつつ、ビームモードの切
換えについて説明する。第４図は第３図に示した筐体
（９）を拡大した断面図であり、ビームモード切換装置
の一例を示している。図において、（20）は筐体（９）
内の内部折返し用反射鏡（６），部分反射鏡（７）の前
部に水平に設けられた回転方式のセレクトシャフトで、
（21）はセレクトシャフト（20）の中央部に設けられ、
セレクトシャフト（20）の回転とともに回転するアパー
チャである。（22a），（22b）はアパーチャ（21）に設
けられ、レーザビーム（10）が通過する光軸方向に平行
な第１の左穴部、第１の右穴部〔本例ではダブルモード
のレーザビームを選択〕で、左穴部（22a）の穴径が右
穴部（22b）の穴径よりも大きくなるように形成されて
いる。（23a），（23b）は左穴部（22a），右穴部（22
b）と直交するように設けられた第２の左穴部，第２の
右穴部〔本例ではシングルモードのレーザビームを選
択〕で、それぞれが対応する左穴部（22a），右穴部（2
2b）よりも小さい穴径となっている。（24）はセレクト
シャフト（20）の右端部に設けられ、セレクトシャフト
（20）を90度回転させる外部レバーである。（25a），
（25b）はセレクトシャフト（20）を筐体（９）の両側
で支持する軸受箱、（26a），（26b）は軸受箱（25
a），（25b）の両外側に設けられた軸受外箱である。
（27a），（27b）は軸受外箱（26a），（26b）に設けら
れ、アパーチャ（21）を冷却する冷却装置で、冷却水は
（ロ）方向から入りセレクトシャフト（20）内を通って
アパーチャ（21）を冷却し、（ハ）方向から排出され
る。（28a），（28b）はセレクトシャフト（20）と軸受
箱（25a），（25b）の間に設けられたベアリングであ
る。Next, switching between the beam modes will be described, taking into consideration the fact that the oscillation efficiency of the laser oscillator increases as the diameter of the aperture increases, and conversely, the oscillation efficiency decreases as the diameter decreases. FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of the housing (9) shown in FIG. 3, showing an example of the beam mode switching device. In the figure, (20) is a housing (9)
It is a rotary select shaft horizontally installed in front of the internal reflection mirror (6) and the partial reflection mirror (7).
(21) is provided in the center of the select shaft (20),
An aperture that rotates with the rotation of the select shaft (20). (22a) and (22b) are provided in the aperture (21) and are parallel to the optical axis direction through which the laser beam (10) passes. The first left hole and the first right hole [in this example, the double mode Select Laser Beam], the hole diameter of the left hole portion (22a) is larger than that of the right hole portion (22b). (23a) and (23b) are left hole (22a) and right hole (22
In the second left hole portion and the second right hole portion which are provided so as to be orthogonal to b), a left hole portion (22a) and a right hole corresponding to the second left hole portion (in this example, a single mode laser beam is selected). Department (2
The hole diameter is smaller than 2b). (24) is an external lever that is provided at the right end of the select shaft (20) and rotates the select shaft (20) by 90 degrees. (25a),
(25b) is a bearing box that supports the select shaft (20) on both sides of the housing (9), and (26a) and (26b) are bearing boxes (25
It is a bearing outer box provided on both outsides of a) and (25b).
(27a) and (27b) are cooling devices that are provided in the outer casings (26a) and (26b) for cooling the aperture (21). Cooling water enters from the (b) direction and passes through the select shaft (20). Cools the aperture (21) and is discharged from the direction (C). (28a) and (28b) are bearings provided between the select shaft (20) and the bearing housings (25a) and (25b).
なお、第３図に示す筐体（１）の後部Ｂ〔全反射鏡
（４）側〕に設けられた後部アパーチャ（８）の穴部
（8a），（8b）の穴径は、第４図に示したビームモード
切換装置（9a）のアパーチャ（21）の穴部のうち穴径の
大きい方〔第４図では第１の左穴部（22a）〕の径、す
なわちビームモード次数の大きい方の径に合わせてい
る。In addition, the hole diameters of the holes (8a) and (8b) of the rear aperture (8) provided on the rear portion B (total reflection mirror (4) side) of the housing (1) shown in FIG. Of the holes in the aperture (21) of the beam mode switching device (9a) shown in the figure, the one with the larger hole diameter [the first left hole (22a) in FIG. 4], that is, the larger beam mode order It is adapted to the diameter of one side.
上記のように構成したビームモード切換機構の作用を説
明すれば次の通りである。上部電極（２）及び下部電極
（３）間で励起されたレーザビーム（10）は、全反射鏡
（４）、内部折返し用反射鏡（６），（５）、部分反射
鏡（７）間で共振される。このときレーザビーム（10）
は、後部アパーチャ（８）に設けられた各々の穴部（8
a），（8b）の穴径及びビームモード切換装置（9a）で
切り換えられた前部アパーチャ（21）の穴径によりモー
ド（次数）を制限される。即ち、この共振されたレーザ
ビーム（10）は、後部アパーチャ（８）の穴部（8a），
（8b）、アパーチャ（21）の第１の左穴部（22a）、第
１の右穴部（22b）を通過し、ここでマルチモードのビ
ームモードが選択され、レーザビーム（10）の一部は部
分反射鏡（７）を通って（イ）方向に射出される。The operation of the beam mode switching mechanism configured as described above will be described below. The laser beam (10) excited between the upper electrode (2) and the lower electrode (3) is between the total reflection mirror (4), the internal folding reflection mirrors (6) and (5), and the partial reflection mirror (7). Is resonated with. At this time laser beam (10)
Are holes (8) in the rear aperture (8).
The mode (order) is limited by the hole diameters of a) and (8b) and the hole diameter of the front aperture (21) switched by the beam mode switching device (9a). That is, the resonated laser beam (10) is transmitted through the hole (8a) of the rear aperture (8),
(8b), the first left hole (22a) and the first right hole (22b) of the aperture (21), where the multimode beam mode is selected and one of the laser beams (10) The part passes through the partial reflecting mirror (7) and is emitted in the direction (a).
次にシングルモードのビームモードを選択したい場合
は、まずレーザビーム（10）の発生を停止させ、次に第
５図〔第４図のＣ−Ｃ断面図〕に示す外部レバー（24）
を矢印（ニ）方向に90度回転させ、（24a）の位置に停
止させる。この回転にともなって第１の左穴部（22a）
〔第１の右穴部（22b）〕及び第２の左穴部（23a）〔第
２の右穴部（23b）〕も（ニ）方向に90度回転し、第２
の左穴部（23a）〔第２の右穴部（23b）〕がレーザビー
ム（10）の光軸上に停止する。この状態で再度上部電極
（２）及び下部電極（３）間のレーザ媒質を励起してレ
ーザビームを発生させると、レーザビームは先の場合と
同様に全反射鏡（４）、内部折返し用反射鏡（６），
（５）、部分反射鏡（７）間で共振され、第５図に示す
矢印（イ）方向に進行する。このとき第２の左穴部（23
a）〔第２の右穴部（23b）〕の穴径によりレーザビーム
（10）のビームモードがシングルビームに限定され、そ
の後矢印（イ）方向に射出される。Next, when it is desired to select the beam mode of the single mode, the generation of the laser beam (10) is stopped first, and then the external lever (24) shown in FIG. 5 [C-C sectional view of FIG. 4].
Rotate by 90 degrees in the direction of arrow (d) and stop at the position of (24a). With this rotation, the first left hole (22a)
The [first right hole part (22b)] and the second left hole part (23a) [second right hole part (23b)] also rotate 90 degrees in the (d) direction, and the second
Left hole (23a) [second right hole (23b)] of the laser beam stops on the optical axis of the laser beam (10). In this state, when the laser medium between the upper electrode (2) and the lower electrode (3) is excited again to generate a laser beam, the laser beam is reflected by the total reflection mirror (4) and the internal folding reflection as in the previous case. Mirror (6),
(5) Resonates between the partial reflecting mirrors (7) and travels in the direction of arrow (a) shown in FIG. At this time, the second left hole (23
a) Due to the hole diameter of the [second right hole portion (23b)], the beam mode of the laser beam (10) is limited to the single beam, and then the laser beam is emitted in the direction of arrow (a).
ここで、各反射鏡（４），（７）間におけるシングルモ
ードのビーム発振について第６図で説明する。図におい
て、（29）はアパーチャ（21）の穴部（23a），（23b）
の径によって定まるシングルモードのビーム外径を表わ
す線である。部分反射鏡（７）の点（ｃ）で反射した光
は、アパーチャ（21）のエッジ（Ｅ）による回折によ
り、シングルモードのビーム外径線（29）より拡散した
光となって、励起空間（30）で光の強度Ｉ（w/cm2）が
増幅されつつ全反射鏡（４）の点（ｄ）に至る。そし
て、この回折光はさらに全反射鏡（４）で反射され、再
び増幅されながらアパーチャ（21）の点（ｅ）に至るこ
とになる。このときの回折光による光強度は図の斜線で
示すようになる。Here, the single-mode beam oscillation between the reflecting mirrors (4) and (7) will be described with reference to FIG. In the figure, (29) is the holes (23a) and (23b) of the aperture (21).
It is a line that represents the outer diameter of a single mode beam that is determined by the diameter of the beam. The light reflected at the point (c) of the partial reflection mirror (7) becomes the light diffused from the beam outer diameter line (29) of the single mode due to the diffraction by the edge (E) of the aperture (21), and becomes the excitation space. The light intensity I (w / cm 2 ) is amplified at (30) and reaches the point (d) of the total reflection mirror (4). Then, this diffracted light is further reflected by the total reflection mirror (4) and reaches the point (e) of the aperture (21) while being amplified again. The light intensity of the diffracted light at this time is shown by the diagonal lines in the figure.
ところで、マルチモードのビーム発振時においては、励
起空間（30）を通過する回折光の量は、シングルモード
の場合に比べて少ない。By the way, during multi-mode beam oscillation, the amount of diffracted light passing through the excitation space (30) is smaller than in the case of single mode.
なお、第７図はシングルモードおよびマルチモードでの
光軸に垂直な断面におけるレーザ光の強度分布状態を示
す図である。FIG. 7 is a diagram showing the intensity distribution state of laser light in a cross section perpendicular to the optical axis in single mode and multimode.
従来のレーザ発振器は以上のように構成されているの
で、シングルモードのビーム発振時においては、第６図
の斜線で示す回折光のパワーをアパーチャ（21）が全て
受けるため、大きな熱的負荷が発生することになる。こ
の結果、アパーチャ（21）がシングルモードとマルチモ
ードのビームモード切換機構を備えていても、実質的に
は相方を有効に利用することができないという問題点が
あった。Since the conventional laser oscillator is configured as described above, at the time of single-mode beam oscillation, the aperture (21) receives all the power of the diffracted light shown by the slanted lines in FIG. 6, which causes a large thermal load. Will occur. As a result, even if the aperture (21) is equipped with a single mode and multimode beam mode switching mechanism, there is a problem in that the counterparts cannot be effectively utilized.
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、シングルモード時のアパーチャの熱的負荷を
軽減するとともに、シングルモードおよびマルチモード
のいづれにも使用可能なレーザ発振器を得ることを目的
とする。The present invention has been made to solve the above problems, and to obtain a laser oscillator that can reduce the thermal load on the aperture in single mode and can be used in both single mode and multimode. With the goal.
この発明に係るレーザ発振器は、光軸上に固定して設け
られたマルチモードアパーチャと、光軸上に挿脱自在に
設けられたシングルモードアパーチャとを備えて成り、
シングルモードのレーザビーム発振時は、マルチモード
アパーチャとシングルモードアパーチャを併用し、マル
チモードのレーザビーム発振時は、シングルモードアパ
ーチャを光軸上から離脱するように構成したものであ
る。The laser oscillator according to the present invention comprises a multi-mode aperture fixedly provided on the optical axis and a single-mode aperture detachably provided on the optical axis,
When a single-mode laser beam is oscillated, a multi-mode aperture and a single-mode aperture are used together, and when a multi-mode laser beam is oscillated, the single-mode aperture is separated from the optical axis.
この発明においては、マルチモードアパーチャとシング
ルモードアパーチャの併用時、シングルモードアパーチ
ャによりビームモードがシングルモードに制限され、マ
ルチモードアパーチャによりシングルモードアパーチャ
への入射ビームのパワーが減少される。また、シングル
モードアパーチャの離脱時、マルチモードアパーチャに
よりビームモードがマルチモードに制限される。In the present invention, when the multimode aperture and the single mode aperture are used together, the beam mode is restricted to the single mode by the single mode aperture, and the power of the incident beam to the single mode aperture is reduced by the multimode aperture. Further, when the single mode aperture is released, the beam mode is limited to the multi mode by the multi mode aperture.
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はレーザ発振器の構成図であり、図において、（12）
はレーザ発振器筐体（１）の前部Ａ側内部に設けられた
マルチモードアパーチャ、（12a），（12b）はマルチモ
ードアパーチャ（12）に設けられたレーザビーム（10）
通過用の穴部、（13）はビームモード切換装置の筐体
（９）内に設けられたシングルモードアパーチャ、（13
a），（13b）はシングルモードアパーチャ（13）に設け
られたレーザビーム（10）通過用の穴部である。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. First
The figure shows the configuration of the laser oscillator. In the figure, (12)
Is a multi-mode aperture provided inside the front side A of the laser oscillator casing (1), and (12a) and (12b) are laser beams (10) provided in the multi-mode aperture (12).
A hole for passage, (13) is a single mode aperture provided in the housing (9) of the beam mode switching device, (13)
Reference numerals a) and (13b) are holes for passing the laser beam (10) provided in the single mode aperture (13).
上記マルチモードアパーチャ（12）は光軸上に固定して
設けられ、シングルモードアパーチャ（13）は光軸上に
挿入離脱自在に設けられている。また、マルチモードア
パーチャ（12）の穴部（12a），（12b）は、シングルモ
ードアパーチャ（13）の穴部（13a），（13b）よりも大
きく形成されており、ビームモードに何ら影響を与えな
い構成となっている。The multimode aperture (12) is fixedly provided on the optical axis, and the single mode aperture (13) is provided so as to be insertable and removable on the optical axis. Further, the holes (12a) and (12b) of the multi-mode aperture (12) are formed larger than the holes (13a) and (13b) of the single-mode aperture (13), and have no influence on the beam mode. It is a structure that does not give.
なお、上記構成以外は、従来のレーザ発振器と同一であ
るので説明を省略する。The configuration other than the above is the same as that of the conventional laser oscillator, and the description thereof is omitted.
次に、ビームモードの切換機構の動作について説明す
る。まず、シングルモードのビームモードを選択する場
合は、シングルモードアパーチャ（13）を光軸上に挿入
固定する。この状態で上部電極（２）および下部電極
（３）間のレーザ媒質を励起してレーザビームを発生さ
せると、レーザビーム（10）は従来と同様に全反射鏡
（４）、内部折返し用反射鏡（６），（５）、部分反射
鏡（７）間で共振され、第１図に示す矢印（イ）方向に
進行する。このとき、シングルモードアパーチャ（13）
の穴部（13a），（13b）の穴径によって、レーザビーム
（10）のビームモードがシングルモードに制限され、そ
の後矢印（イ）方向に射出されるが、このままでは第６
図に斜線で示すような回折光の影響で、シングルアパー
チャ（13）に熱的負荷が生することになって使用上好ま
しくない。そこでこの発明では、予め光軸上に固定され
たマルチモードアパーチャ（12）で、ビームがシングル
モードに限定される前にモード次数を減少させてシング
ルモードアパーチャ（13）に入射させるようにしたもの
である。即ち、第２図から明らかなように、シングルモ
ードアパーチャ（13）の直前にマルチモードアパーチャ
（12）を設けることにより、励起空間（30）で増強され
た回折光は、マルチモードアパーチャ（12）の穴部（12
a），（12b）の穴径とシングルモードアパーチャ（13）
の穴部（13a），（13b）の穴径の差の分のみ（図中の黒
塗部）が、シングルモードアパーチャ（13）に入射する
ことになるため、それによる熱的負荷は非常に少なくな
るのである。Next, the operation of the beam mode switching mechanism will be described. First, when the beam mode of the single mode is selected, the single mode aperture (13) is inserted and fixed on the optical axis. When the laser medium between the upper electrode (2) and the lower electrode (3) is excited in this state to generate a laser beam, the laser beam (10) is reflected by the total reflection mirror (4) and the internal folding reflection as in the conventional case. It resonates between the mirrors (6) and (5) and the partial reflection mirror (7), and travels in the direction of arrow (a) shown in FIG. At this time, single mode aperture (13)
The beam diameter of the laser beam (10) is limited to the single mode by the hole diameters of the hole portions (13a) and (13b), and then the laser beam is emitted in the arrow (a) direction.
Due to the influence of the diffracted light as shown by the diagonal lines in the figure, a thermal load is generated on the single aperture (13), which is not preferable for use. Therefore, in the present invention, the multimode aperture (12) fixed on the optical axis in advance is used so that the mode order is reduced and the beam is incident on the single mode aperture (13) before the beam is limited to the single mode. Is. That is, as is apparent from FIG. 2, by providing the multimode aperture (12) immediately before the single mode aperture (13), the diffracted light enhanced in the excitation space (30) can be converted into the multimode aperture (12). Hole (12
a), (12b) hole diameter and single mode aperture (13)
Only the difference between the hole diameters of the holes (13a) and (13b) (black part in the figure) is incident on the single mode aperture (13), so the thermal load due to it is extremely high. It will decrease.
次に、マルチモードのビームモードを選択する場合は、
レーザビーム（10）の発生を停止させた後、シングルモ
ードアパーチャ（13）を光軸上から外す。そして、この
状態から再びレーザ発振すると、レーザビーム（10）
は、マルチモードアパーチャ（12）の穴部（12a），（1
2b）の穴径および後部アパーチャ（８）の穴部（8a），
（8b）の穴径によりモード次数が制限される。即ち、こ
の共振されたレーザビーム（10）は、後部アパーチャ
（８）の穴部（8a），（8b），マルチモードアパーチャ
（12）の穴部（12a），（12b）を通過し、ここでマルチ
モードのビームモードが選択され、レーザビーム（10）
の一部は部分反射鏡（７）から矢印（イ）方向に射出さ
れるのである。Next, if you select the multi-mode beam mode,
After stopping the generation of the laser beam (10), the single mode aperture (13) is removed from the optical axis. Then, when the laser is oscillated again from this state, the laser beam (10)
Are holes (12a), (1 in the multimode aperture (12).
2b) hole diameter and rear aperture (8) hole (8a),
The mode order is limited by the hole diameter in (8b). That is, the resonated laser beam (10) passes through the holes (8a), (8b) of the rear aperture (8) and the holes (12a), (12b) of the multimode aperture (12), Multi-mode beam mode is selected in, laser beam (10)
Is partially emitted from the partial reflecting mirror (7) in the direction of arrow (a).
ところで、上記の説明では折返し型レーザの場合につい
て示したがこの発明は特に折返しレーザ発振器に限られ
るものではなく、また、折返し数に限定されることもな
い。By the way, in the above description, the case of the folded laser is shown, but the present invention is not particularly limited to the folded laser oscillator, and is not limited to the number of folded lasers.
なお、上記実施例では、モードはシングルモードとマル
チモードの切換について示したが、低次と高次のマルチ
モードの切換についても同様の効果を奏する。In the above embodiment, the mode has been described as switching between the single mode and the multi mode, but the same effect can be obtained when switching between the low mode and the high mode.
以上のようにこの発明によれば、マルチモードのビーム
モードを制限するアパーチャを光軸上に固定して設ける
とともに、シングルモードのビームモードを制限するア
パーチャを光軸上に挿脱自在に設け、シングルモードの
レーザビーム発振時に、マルチモードアパーチャとシン
グルモードアパーチャを併用するように構成したので、
シングルモードアパーチャの熱的負荷が大幅に低減で
き、シングルモードアパーチャの長寿命化が図れる。ま
た、マルチモードのレーザビーム発振時には、シングル
モードアパーチャを光軸上から離脱することにより、マ
ルチモードレーザ発振器に容易に転用することができる
という効果がある。As described above, according to the present invention, an aperture for limiting the beam mode of the multimode is fixedly provided on the optical axis, and an aperture for limiting the beam mode of the single mode is provided on the optical axis so that the aperture can be freely inserted and removed. Since it is configured to use the multimode aperture and the single mode aperture together when oscillating a single mode laser beam,
The thermal load on the single-mode aperture can be significantly reduced, and the life of the single-mode aperture can be extended. Further, when the multimode laser beam is oscillated, the single mode aperture is separated from the optical axis, so that the multimode laser oscillator can be easily diverted.
第１図はこの発明の一実施例によるレーザ発振器の構成
図、第２図はこの発明におけるシングルモードのビーム
発振説明図、第３図は従来のレーザ発振器の構成図、第
４図は従来のレーザ発振器のモード切換機構を示す断面
図、第５図は第４図のＣ−Ｃ断面図、第６図は従来のレ
ーザ発振器におけるシングルモードのビーム発振説明
図、第７図は各モードにおけるレーザ光の強度分布の状
態を示す図である。 図において、（４）は全反射鏡、（７）は部分反射鏡、
（10）はレーザビーム、（12）はマルチモードアパーチ
ャ、（13）はシングルモードアパーチャである。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。FIG. 1 is a configuration diagram of a laser oscillator according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an explanatory diagram of single mode beam oscillation in the present invention, FIG. 3 is a configuration diagram of a conventional laser oscillator, and FIG. FIG. 5 is a sectional view showing a mode switching mechanism of the laser oscillator, FIG. 5 is a sectional view taken along line CC of FIG. 4, FIG. 6 is an explanatory view of single mode beam oscillation in the conventional laser oscillator, and FIG. 7 is a laser in each mode. It is a figure which shows the state of intensity distribution of light. In the figure, (4) is a total reflection mirror, (7) is a partial reflection mirror,
(10) is a laser beam, (12) is a multimode aperture, and (13) is a single mode aperture. In the drawings, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts.
Claims (1)
と、上記各反射鏡間の部分反射鏡側の光軸上に固定して
設けられ、ビームモードをマルチモードに制限するマル
チモードアパーチャと、このマルチモードアパーチャと
上記部分反射鏡間の光軸上に挿脱自在に設けられ、ビー
ムモードをシングルモードに制限するシングルモードア
パーチャとを備えて成り、シングルモードのレーザビー
ム発振時は、上記マルチモードアパーチャとシングルモ
ードアパーチャとを併用するとともに、マルチモードの
レーザビーム発振時は、上記シングルモードアパーチャ
を光軸上から離脱することを特徴とするレーザ発振器。1. A multi-mode aperture for fixing a beam mode to a multi-mode, which is fixedly provided on a total reflection mirror and a partial reflection mirror which are arranged opposite to each other and an optical axis on the side of the partial reflection mirror between the respective reflection mirrors. And a multi-mode aperture and a single-mode aperture that is provided on the optical axis between the partial reflecting mirrors so as to be insertable and removable, and limits the beam mode to a single mode.When a single-mode laser beam is oscillated, A laser oscillator characterized in that the multimode aperture and the single mode aperture are used together, and the single mode aperture is separated from the optical axis when a multimode laser beam is oscillated.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63325262A JPH0682877B2 (en) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | Laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63325262A JPH0682877B2 (en) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | Laser oscillator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02170585A JPH02170585A (en) | 1990-07-02 |
| JPH0682877B2 true JPH0682877B2 (en) | 1994-10-19 |
Family
ID=18174849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63325262A Expired - Lifetime JPH0682877B2 (en) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | Laser oscillator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682877B2 (en) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| DE10245617A1 (en) * | 2002-09-30 | 2004-04-08 | Eos Gmbh Electro Optical Systems | Device and method for producing three-dimensional objects in layers |
| AT502565B1 (en) * | 2005-09-22 | 2008-05-15 | Ge Jenbacher Gmbh & Co Ohg | COMBUSTION ENGINE WITH A LASER GENERATION DEVICE |
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| JP2011238792A (en) | 2010-05-11 | 2011-11-24 | Fujifilm Corp | Solid state laser device |
-
1988
- 1988-12-23 JP JP63325262A patent/JPH0682877B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02170585A (en) | 1990-07-02 |
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