JPH0677301B2 - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘツドの製造方法Info
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- JPH0677301B2 JPH0677301B2 JP13370286A JP13370286A JPH0677301B2 JP H0677301 B2 JPH0677301 B2 JP H0677301B2 JP 13370286 A JP13370286 A JP 13370286A JP 13370286 A JP13370286 A JP 13370286A JP H0677301 B2 JPH0677301 B2 JP H0677301B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、フロッピーディスク等の磁気ディスクに対し
て電磁変換素子部を接触させた状態で記録・再生を行う
磁気ヘッドの製造方法に関し、詳細には負圧溝の形成方
法に関する。
て電磁変換素子部を接触させた状態で記録・再生を行う
磁気ヘッドの製造方法に関し、詳細には負圧溝の形成方
法に関する。
本発明は、記録再生用磁気ギャップと消去用磁気ギャッ
プを有する電磁変換素子部にマスク材が接合一体化さ
れ、かつ磁気ディスク対接面に負圧溝が形成されてなる
磁気ヘッドを製造するに際し、 予め、マスク材に溝を設けこの溝内に非磁性材充填し、
次に、得られたマスク材を上記電磁変換素子部に合体
し、その後、磁気ディスク対接面を研磨して上記非磁性
材を露出させ、さらに、露出した非磁性材をエッチング
により除去して負圧溝とすることにより、 上記負圧溝を精度良く、容易に、かつ歩留まり良く形成
しようとするものである。
プを有する電磁変換素子部にマスク材が接合一体化さ
れ、かつ磁気ディスク対接面に負圧溝が形成されてなる
磁気ヘッドを製造するに際し、 予め、マスク材に溝を設けこの溝内に非磁性材充填し、
次に、得られたマスク材を上記電磁変換素子部に合体
し、その後、磁気ディスク対接面を研磨して上記非磁性
材を露出させ、さらに、露出した非磁性材をエッチング
により除去して負圧溝とすることにより、 上記負圧溝を精度良く、容易に、かつ歩留まり良く形成
しようとするものである。
フロッピーディスク等の円盤状の磁気ディスクは、取扱
いが比較的簡単で、しかも大容量の信号が記録できるこ
とから、各種コンピューター，ワードプロセッサ等の外
部記憶装置としての使用範囲が拡大されつつある。
いが比較的簡単で、しかも大容量の信号が記録できるこ
とから、各種コンピューター，ワードプロセッサ等の外
部記憶装置としての使用範囲が拡大されつつある。
上記フロッピーディスクの駆動装置には、ディスクへの
情報の書込みや、ディスクからの情報の読出しを行う電
磁変換素子部に、スライダと称されるマスク材を接合一
体化した構造の磁気ヘッドが搭載されている。
情報の書込みや、ディスクからの情報の読出しを行う電
磁変換素子部に、スライダと称されるマスク材を接合一
体化した構造の磁気ヘッドが搭載されている。
一般に上記マスク材は、電磁変換素子部の耐摩耗性等を
確保する目的の他、磁気ヘッドと磁気ディスクとの当た
り特性を確保する作用を有している。
確保する目的の他、磁気ヘッドと磁気ディスクとの当た
り特性を確保する作用を有している。
すなわち、上記マスク材のディスク対接面には、フロッ
ピーディスクの走行方向に負圧溝と称される略コ字状の
溝が切欠かれており、ディスクの回転とともに上記溝に
負圧、すなわち磁気ヘッドをディスクに引き付ける力が
生じ、ディスクと電磁変換素子部との当たり（摺接）を
確保している。特に、フロッピーディスクの大容量化
（高密度記録化）を図るには、上述の当たり特性を確保
することは極めて重要な要件であり、従って精度良く負
圧溝を形成する必要がある。
ピーディスクの走行方向に負圧溝と称される略コ字状の
溝が切欠かれており、ディスクの回転とともに上記溝に
負圧、すなわち磁気ヘッドをディスクに引き付ける力が
生じ、ディスクと電磁変換素子部との当たり（摺接）を
確保している。特に、フロッピーディスクの大容量化
（高密度記録化）を図るには、上述の当たり特性を確保
することは極めて重要な要件であり、従って精度良く負
圧溝を形成する必要がある。
ところで従来、上記負圧溝は、記録再生用磁気ギャップ
と消去用磁気ギャップを有する電磁変換素子部の両側に
マスク材を合体した後、マスク材に対してディスク走行
方向（トラック幅方向と直交する方向）に砥石加工等の
機械的手段を用いて形成している。
と消去用磁気ギャップを有する電磁変換素子部の両側に
マスク材を合体した後、マスク材に対してディスク走行
方向（トラック幅方向と直交する方向）に砥石加工等の
機械的手段を用いて形成している。
しかしながら、従来のように機械的手段で負圧溝を形成
した場合には、上記負圧溝のエッヂにカケが生じ易く、
さらにはこの溝深さにバラツキが生じ易く、加工精度，
生産性，歩留まりの点で大きな問題となっている。した
がって、磁気ディスクの高密度記録化に伴い、これらの
改善が強く望まれている。
した場合には、上記負圧溝のエッヂにカケが生じ易く、
さらにはこの溝深さにバラツキが生じ易く、加工精度，
生産性，歩留まりの点で大きな問題となっている。した
がって、磁気ディスクの高密度記録化に伴い、これらの
改善が強く望まれている。
そこで本発明は、上述の実情に鑑みて提案されたもので
あり、磁気ヘッドの負圧溝を精度良く、容易に、かつ歩
留まり良く形成できる磁気ヘッドの製造方法を提供する
ことを目的とする。
あり、磁気ヘッドの負圧溝を精度良く、容易に、かつ歩
留まり良く形成できる磁気ヘッドの製造方法を提供する
ことを目的とする。
上述の目的を達成するために、本発明の磁気ヘッド製造
方法は、記録再生用磁気ギャップと消去用磁気ギャップ
を有する電磁変換素子部にマスク材が接合一体化され、
かつ磁気ディスク対接面に負圧溝が形成されてなる磁気
ヘッドを製造するに際し、予め、マスク材に溝を設けこ
の溝内に非磁性材を充填し、次に、得られたマスク材を
上記電磁変換素子部に合体し、その後、磁気ディスク対
接面を研磨して上記非磁性材を露出させ、さらに、露出
した非磁性材をエッチングにより除去して負圧溝とした
ことを特徴とするものである。
方法は、記録再生用磁気ギャップと消去用磁気ギャップ
を有する電磁変換素子部にマスク材が接合一体化され、
かつ磁気ディスク対接面に負圧溝が形成されてなる磁気
ヘッドを製造するに際し、予め、マスク材に溝を設けこ
の溝内に非磁性材を充填し、次に、得られたマスク材を
上記電磁変換素子部に合体し、その後、磁気ディスク対
接面を研磨して上記非磁性材を露出させ、さらに、露出
した非磁性材をエッチングにより除去して負圧溝とした
ことを特徴とするものである。
〔作用〕 このように、予めマスク材に形成された溝内に充填した
非磁性材をエッチングにて除去し負圧溝を形成している
ことより、上記負圧溝を形成する際にこの溝のエッジ部
に機械的応力が作用しなくなるので、負圧溝にカケを生
じる心配はない。
非磁性材をエッチングにて除去し負圧溝を形成している
ことより、上記負圧溝を形成する際にこの溝のエッジ部
に機械的応力が作用しなくなるので、負圧溝にカケを生
じる心配はない。
また、エッチング時間等の条件を適宜設定することによ
り、容易に溝深さや加工精度を確保できる。
り、容易に溝深さや加工精度を確保できる。
以下、本発明の一実施例を図面を参照しながら説明す
る。
る。
本実施例により磁気ヘッドを製造するには、先ず、第１
図に示すように、チタン酸カリウムやチタン酸バリウム
等のセラミックスよりなり、断面略Ｌ字状の非磁性材を
用意し、この非磁性材に対して例えば回転砥石加工等の
機械的手段にて第１の溝（２），第２の溝（３）及び第
３の溝（４）を形成し、マスク材（１）を得る。
図に示すように、チタン酸カリウムやチタン酸バリウム
等のセラミックスよりなり、断面略Ｌ字状の非磁性材を
用意し、この非磁性材に対して例えば回転砥石加工等の
機械的手段にて第１の溝（２），第２の溝（３）及び第
３の溝（４）を形成し、マスク材（１）を得る。
上記各溝（２），（３），（４）は、上記マスク材
（１）における電磁変換素子部との接合面（1a）に形成
する。そして、上記第２の溝（３）及び第３の溝（４）
は、磁気ディスク対接面に相当する上面（1b）の磁気デ
ィスク走行方向（第１図中Ｘ方向）と略平行となるよう
に上記接合面（1a）の全幅に亘って形成する。また、上
記第１の溝（２）は、上記第２の溝（３）及び第３の溝
（４）と直交するように上記接合面（1a）の略中央部の
全幅に亘って形成する。ここで、上記第１の溝（２）及
び第２の溝（３）が前記負圧溝に相当する溝を構成す
る。なお、上記第２の溝（３）の形成位置は重要であ
り、後述のマスク材（１）と電磁変換素子部とを接合一
体化した後のディスク対接面の研磨により、磁気ヘッド
として設定したデプス長が所定のデプス長となる位置に
設定されるように形成する。
（１）における電磁変換素子部との接合面（1a）に形成
する。そして、上記第２の溝（３）及び第３の溝（４）
は、磁気ディスク対接面に相当する上面（1b）の磁気デ
ィスク走行方向（第１図中Ｘ方向）と略平行となるよう
に上記接合面（1a）の全幅に亘って形成する。また、上
記第１の溝（２）は、上記第２の溝（３）及び第３の溝
（４）と直交するように上記接合面（1a）の略中央部の
全幅に亘って形成する。ここで、上記第１の溝（２）及
び第２の溝（３）が前記負圧溝に相当する溝を構成す
る。なお、上記第２の溝（３）の形成位置は重要であ
り、後述のマスク材（１）と電磁変換素子部とを接合一
体化した後のディスク対接面の研磨により、磁気ヘッド
として設定したデプス長が所定のデプス長となる位置に
設定されるように形成する。
次に、第２図に示すように、上記各溝（２），（３），
（４）内に非磁性材（５）を溶融充填する。上記非磁性
材（５）としては、接着作用を有し且つエッチングによ
り容易に除去できる材料が好ましく、例えばPb、Na、Bi
等を含有するガラスが好適である。但し、上記非磁性材
（５）にはギャップスペーサの材料とのエッチングの選
択比が極めて大きいことが要求されることはいうまでも
ない。
（４）内に非磁性材（５）を溶融充填する。上記非磁性
材（５）としては、接着作用を有し且つエッチングによ
り容易に除去できる材料が好ましく、例えばPb、Na、Bi
等を含有するガラスが好適である。但し、上記非磁性材
（５）にはギャップスペーサの材料とのエッチングの選
択比が極めて大きいことが要求されることはいうまでも
ない。
次いで、第３図（Ａ）及び第３図（Ｂ）示すように、記
録再生用磁気ギャップg1及び消去用磁気ギャップg2を有
するフロントコア（６）を形成し、さらにこのフロント
コア（６）のトラック幅方向両側に一対のマスク材
（１），（１）を接合一体化し、ヘッドチップ部材を作
製する。
録再生用磁気ギャップg1及び消去用磁気ギャップg2を有
するフロントコア（６）を形成し、さらにこのフロント
コア（６）のトラック幅方向両側に一対のマスク材
（１），（１）を接合一体化し、ヘッドチップ部材を作
製する。
したがって、得られるヘッドチップ部材の磁気ディスク
対接面に相当する面には、記録再生用磁気ギャップg1及
び消去用磁気ギャップg2が露出することは勿論のこと、
第１の溝（２）内に充填された非磁性材（５）も露出し
ている。
対接面に相当する面には、記録再生用磁気ギャップg1及
び消去用磁気ギャップg2が露出することは勿論のこと、
第１の溝（２）内に充填された非磁性材（５）も露出し
ている。
ここで、上記接合加工は、フロントコア（６）の両側に
マスク材（１），（１）を接合し、約500℃程度に加熱
することにより容易に合体できる。すなわち、上記加熱
時に各溝（２），（３），（４）内に充填された非磁性
材（５）が溶け出し、接着材として作用するためであ
る。
マスク材（１），（１）を接合し、約500℃程度に加熱
することにより容易に合体できる。すなわち、上記加熱
時に各溝（２），（３），（４）内に充填された非磁性
材（５）が溶け出し、接着材として作用するためであ
る。
また、上記フロントコア（６）は、後に述べるコイル，
バックコアと組み合わされ、ディスクに対して情報を書
込んだり、あるいはディスクから情報を読出しする電磁
変換素子部を形成するが、上記電磁変換素子部は、通常
のフロッピーディスク駆動装置に搭載されるものであれ
ば如何なるものであっても良く、さらにこの製造方法も
従来公知の製法が採用できる。具体的には、いわゆるト
ンネル・イレーズ・ヘッド（バルク型またはラミネート
型）、いわゆるストラドル・イレーズ・ヘッド等が挙げ
られる。本実施例では、フロントコア（６）として、記
録再生用磁気ギャップg1の後方両側に一対の消去用磁気
ギャップg2を配設してなる、いわゆるトンネル・イレー
ズ・ヘッド（バルク型）に対応するものを用いた。
バックコアと組み合わされ、ディスクに対して情報を書
込んだり、あるいはディスクから情報を読出しする電磁
変換素子部を形成するが、上記電磁変換素子部は、通常
のフロッピーディスク駆動装置に搭載されるものであれ
ば如何なるものであっても良く、さらにこの製造方法も
従来公知の製法が採用できる。具体的には、いわゆるト
ンネル・イレーズ・ヘッド（バルク型またはラミネート
型）、いわゆるストラドル・イレーズ・ヘッド等が挙げ
られる。本実施例では、フロントコア（６）として、記
録再生用磁気ギャップg1の後方両側に一対の消去用磁気
ギャップg2を配設してなる、いわゆるトンネル・イレー
ズ・ヘッド（バルク型）に対応するものを用いた。
上記フロントコア（６）を作製するには、非磁性材（10
a）を介して接合された棒状のセンターコア部（10）の
両側にそれぞれ略Ｌ字状の記録再生コア部（11）及び消
去コア部（12）をギャップスペーサー（図示せず）を介
して突き合わせる。この際、センターコア部（10）と記
録再生コア部（11）の突き合わせ面間には記録再生用磁
気ギャップg1、センターコア（10）と消去コア部（12）
の突き合わせ面間には消去用磁気ギャップg2が形成され
る。
a）を介して接合された棒状のセンターコア部（10）の
両側にそれぞれ略Ｌ字状の記録再生コア部（11）及び消
去コア部（12）をギャップスペーサー（図示せず）を介
して突き合わせる。この際、センターコア部（10）と記
録再生コア部（11）の突き合わせ面間には記録再生用磁
気ギャップg1、センターコア（10）と消去コア部（12）
の突き合わせ面間には消去用磁気ギャップg2が形成され
る。
続いて、第３図（Ｂ）中Ｙ−Ｙ線で示す位置まで研磨を
施し第４図（Ａ）及び第４図（Ｂ）に示すように磁気デ
ィスク対接面（18）を形成する。なお、上記研磨加工
は、第２の溝（３）が磁気ディスク対接面（18）に露出
する範囲内で、しかも磁気ヘッドとして設定したデプス
長が得られるまで行う。
施し第４図（Ａ）及び第４図（Ｂ）に示すように磁気デ
ィスク対接面（18）を形成する。なお、上記研磨加工
は、第２の溝（３）が磁気ディスク対接面（18）に露出
する範囲内で、しかも磁気ヘッドとして設定したデプス
長が得られるまで行う。
したがって、磁気ディスク対接面（18）には、記録再生
用磁気ギャップg1及び消去用磁気ギャップg2の他、第１
の溝（２）及び第３の溝（４）内に充填された非磁性材
（５）が露出している。
用磁気ギャップg1及び消去用磁気ギャップg2の他、第１
の溝（２）及び第３の溝（４）内に充填された非磁性材
（５）が露出している。
次に、第５図（Ａ）及び第５図（Ｂ）に示すように、磁
気ディスク対接面（18）に露出した非磁性材（５）の一
部または全部をエッチングにて除去し負圧溝（19）を形
成する。
気ディスク対接面（18）に露出した非磁性材（５）の一
部または全部をエッチングにて除去し負圧溝（19）を形
成する。
上記エッチング加工においては、各磁気ギャップg1,g2
のギャップスペーサを浸食しないように注意する必要が
ある。具体的な手法としては、例えば、非磁性材（５）
にPb,Na,Biを含有するガラスを使用し、エッチング液に
弱酸を使用した、いわゆるウエットエッチング法が挙げ
られ、この手法によれば上述の目的が達成できることが
確認されている。
のギャップスペーサを浸食しないように注意する必要が
ある。具体的な手法としては、例えば、非磁性材（５）
にPb,Na,Biを含有するガラスを使用し、エッチング液に
弱酸を使用した、いわゆるウエットエッチング法が挙げ
られ、この手法によれば上述の目的が達成できることが
確認されている。
また、上記負圧溝（19）の溝深さＬは、第１の溝（２）
の深さの範囲内で自由に設定され、エッチング条件を適
宜設定することにより決定される。
の深さの範囲内で自由に設定され、エッチング条件を適
宜設定することにより決定される。
最後にコイル及びバックコアの装着を行う。すなわち、
第６図に示されるように、上記フロントコア（６）の形
状に対応して略コ字状のバックコア（14）を記録再生コ
イル（図示は省略する。），消去コイル（15）内で段重
ねの状態に重ね合わせ、さらに上記記録再生コイル，消
去コイル（15）内でそれぞれ板バネ（16）によって固定
し（図中には消去用コイル側のみ示す。）、電磁変換素
子部（13）を形成し、磁気ヘッドを完成する。
第６図に示されるように、上記フロントコア（６）の形
状に対応して略コ字状のバックコア（14）を記録再生コ
イル（図示は省略する。），消去コイル（15）内で段重
ねの状態に重ね合わせ、さらに上記記録再生コイル，消
去コイル（15）内でそれぞれ板バネ（16）によって固定
し（図中には消去用コイル側のみ示す。）、電磁変換素
子部（13）を形成し、磁気ヘッドを完成する。
以上のようにして作製された磁気ヘッドは、磁気ディス
ク対接面（18）に第１の溝（２）及び第２の溝（３）に
充填された非磁性材（５）の一部または全部が除去され
凹状の負圧溝（19）が露出した構造となり、この負圧溝
（19）がディスクの回転時に磁気ヘッドをディスクに引
付ける作用をする。
ク対接面（18）に第１の溝（２）及び第２の溝（３）に
充填された非磁性材（５）の一部または全部が除去され
凹状の負圧溝（19）が露出した構造となり、この負圧溝
（19）がディスクの回転時に磁気ヘッドをディスクに引
付ける作用をする。
このように、本実施例では、ガラスボンディング技術を
発展させエッチングにて容易に負圧溝（19）を形成して
いるので、この負圧溝（19）形成工程で、負圧溝（19）
のエッヂ部が損傷されることがなくなり、歩留まりが格
段に向上する。また、製造工程が簡略化され、生産性の
大幅な向上が図れる。
発展させエッチングにて容易に負圧溝（19）を形成して
いるので、この負圧溝（19）形成工程で、負圧溝（19）
のエッヂ部が損傷されることがなくなり、歩留まりが格
段に向上する。また、製造工程が簡略化され、生産性の
大幅な向上が図れる。
さらに、上記負圧溝（19）は、エッチング条件を適宜設
定することにより、精度良く加工できる。したがって、
磁気ヘッドと磁気ディスクとの当たり特性が大幅に改善
され、高密度記録用の磁気ヘッドとして好適なものが提
供できる。
定することにより、精度良く加工できる。したがって、
磁気ヘッドと磁気ディスクとの当たり特性が大幅に改善
され、高密度記録用の磁気ヘッドとして好適なものが提
供できる。
なお、本発明は上述の実施例に限定されるものではな
く、本発明の趣旨を逸脱することなく種々の構造が取り
得ることは言うまでもない。
く、本発明の趣旨を逸脱することなく種々の構造が取り
得ることは言うまでもない。
例えば、先の実施例では３本の溝（２），（３），
（４）を形成し、それぞれ溝内に充填した非磁性材
（５）を負圧溝形成用あるいは電磁変換素子部との接合
用として形成したが、第２の溝（３）と第３の溝（４）
とを合体し１本の溝とする等、マスク材（１）に設けら
れる溝の数や形状は種々取り得る。
（４）を形成し、それぞれ溝内に充填した非磁性材
（５）を負圧溝形成用あるいは電磁変換素子部との接合
用として形成したが、第２の溝（３）と第３の溝（４）
とを合体し１本の溝とする等、マスク材（１）に設けら
れる溝の数や形状は種々取り得る。
あるいは、第７図（Ａ）及び第７図（Ｂ）に示すよう
に、記録再生用磁気ギャップg1と消去用磁気ギャップg2
を囲むように負圧溝（29）が構成されてなる磁気ヘッド
の製造方法にも本発明は適用される。
に、記録再生用磁気ギャップg1と消去用磁気ギャップg2
を囲むように負圧溝（29）が構成されてなる磁気ヘッド
の製造方法にも本発明は適用される。
すなわち、上記磁気ヘッドを製造するには、先ず、非磁
性材（22）を介して接合されたセンターコア部（21）の
両側に記録再生コア部（23）及び消去コア部（24）を突
き合わせ記録再生用磁気ギャップg1及び消去用磁気ギャ
ップg2を有するフロントコア（20）を形成する。したが
って、これら磁気ギャップg1,g2の近傍部は略凸状に突
出した構造となる。
性材（22）を介して接合されたセンターコア部（21）の
両側に記録再生コア部（23）及び消去コア部（24）を突
き合わせ記録再生用磁気ギャップg1及び消去用磁気ギャ
ップg2を有するフロントコア（20）を形成する。したが
って、これら磁気ギャップg1,g2の近傍部は略凸状に突
出した構造となる。
次に、チタン酸カリウム等の粉末セラミックスを圧粉プ
レスの手法にて上記フロントコア（20）に対応した形状
に成形しマスク材（28）を形成すると同時に、先の実施
例と同様の非磁性材（30）を用いて上記マスク材（28）
をフロントコア（20）に接合一体化する。
レスの手法にて上記フロントコア（20）に対応した形状
に成形しマスク材（28）を形成すると同時に、先の実施
例と同様の非磁性材（30）を用いて上記マスク材（28）
をフロントコア（20）に接合一体化する。
さらに、磁気ギャップg1,g2形成面に研磨を施し磁気デ
ィスク対接面（27）を形成した後、先の実施例と同様の
手法にて磁気ディスク対接面に露出した非磁性材（30）
を除去し所定の溝深さの負圧溝（29）を形成する。そし
て、棒状のバックコア（25），（26）に記録再生コイル
（31）と消去コイル（32）を組み込んで、フロントコア
（20）と組付け、電磁変換素子部（33）を形成し、磁気
ヘッドを完成する。
ィスク対接面（27）を形成した後、先の実施例と同様の
手法にて磁気ディスク対接面に露出した非磁性材（30）
を除去し所定の溝深さの負圧溝（29）を形成する。そし
て、棒状のバックコア（25），（26）に記録再生コイル
（31）と消去コイル（32）を組み込んで、フロントコア
（20）と組付け、電磁変換素子部（33）を形成し、磁気
ヘッドを完成する。
この方法によれば、電磁変換素子部（33）とマスク材
（28）とを別体の構成部品として装置本体に接着する必
要がなくヘッドの位置精度が確保できるとともに、磁気
ヘッド以外の構成部品が不要となり、信頼性や材料コス
ト等の点で有利である。
（28）とを別体の構成部品として装置本体に接着する必
要がなくヘッドの位置精度が確保できるとともに、磁気
ヘッド以外の構成部品が不要となり、信頼性や材料コス
ト等の点で有利である。
以上の説明からも明らかなように、本発明によればガラ
スボンディング技術を発展させ、エッチングにて容易に
負圧溝を形成しているので、生産性が向上する。
スボンディング技術を発展させ、エッチングにて容易に
負圧溝を形成しているので、生産性が向上する。
また、エッチング加工で溝を形成していることより、負
圧溝のエッヂ部がカケる等の損傷の心配がなくなるの
で、歩留まりの大幅な向上が図れる。
圧溝のエッヂ部がカケる等の損傷の心配がなくなるの
で、歩留まりの大幅な向上が図れる。
さらに、上記負圧溝の溝深さを容易に設定でき、しかも
精度良く加工できるという利点もあり、従って、高密度
記録化に好適な磁気ヘッドを安価に提供できる。
精度良く加工できるという利点もあり、従って、高密度
記録化に好適な磁気ヘッドを安価に提供できる。
第１図ないし第６図は本発明の磁気ヘッドの製造方法を
その工程順に従って示すもので、第１図はマスク材形成
工程を示す概略斜視図、第２図は非磁性材充填工程を示
す概略斜視図、第３図（Ａ）はフロントコアとマスク材
の接合工程示す概略斜視図、第３図（Ｂ）は第３図
（Ａ）ａ−ａ線における断面図、第４図（Ａ）は研磨工
程を示す概略斜視図、第４図（Ｂ）は第４図（Ａ）ｂ−
ｂ線における断面図、第５図（Ａ）はエッチング工程を
示す概略斜視図、第５図（Ｂ）は第５図（Ａ）ｃ−ｃ線
における断面図、第６図は電磁変換素子部形成行程を示
す断面図である。 第７図（Ａ）は本発明の製造方法により作製される磁気
ヘッドの他の例を示す概略斜視図であり、第７図（Ｂ）
は第７図（Ａ）ｄ−ｄ線にける断面図である。 １……マスク材 2,3,4……溝 ５……非磁性材 ６……電磁変換素子部 18……磁気ディスク対接面 19……負圧溝
その工程順に従って示すもので、第１図はマスク材形成
工程を示す概略斜視図、第２図は非磁性材充填工程を示
す概略斜視図、第３図（Ａ）はフロントコアとマスク材
の接合工程示す概略斜視図、第３図（Ｂ）は第３図
（Ａ）ａ−ａ線における断面図、第４図（Ａ）は研磨工
程を示す概略斜視図、第４図（Ｂ）は第４図（Ａ）ｂ−
ｂ線における断面図、第５図（Ａ）はエッチング工程を
示す概略斜視図、第５図（Ｂ）は第５図（Ａ）ｃ−ｃ線
における断面図、第６図は電磁変換素子部形成行程を示
す断面図である。 第７図（Ａ）は本発明の製造方法により作製される磁気
ヘッドの他の例を示す概略斜視図であり、第７図（Ｂ）
は第７図（Ａ）ｄ−ｄ線にける断面図である。 １……マスク材 2,3,4……溝 ５……非磁性材 ６……電磁変換素子部 18……磁気ディスク対接面 19……負圧溝
Claims (1)
- 【請求項１】記録再生用磁気ギャップと消去用磁気ギャ
ップを有する電磁変換素子部にマスク材が接合一体化さ
れ、かつ磁気ディスク対接面に負圧溝が形成されてなる
磁気ヘッドを製造するに際し、 予め、マスク材に溝を設けこの溝内に非磁性材を充填
し、 次に、得られたマスク材を上記電磁変換素子部に合体
し、 その後、磁気ディスク対接面を研磨して上記非磁性材を
露出させ、 さらに、露出した非磁性材をエッチングにより除去して
負圧溝としたことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13370286A JPH0677301B2 (ja) | 1986-06-11 | 1986-06-11 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13370286A JPH0677301B2 (ja) | 1986-06-11 | 1986-06-11 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62291718A JPS62291718A (ja) | 1987-12-18 |
| JPH0677301B2 true JPH0677301B2 (ja) | 1994-09-28 |
Family
ID=15110890
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13370286A Expired - Fee Related JPH0677301B2 (ja) | 1986-06-11 | 1986-06-11 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0677301B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190000783A (ko) * | 2017-06-23 | 2019-01-03 | 신꼬오덴기 고교 가부시키가이샤 | 기판 고정 장치 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2585340B2 (ja) * | 1988-01-30 | 1997-02-26 | シチズン時計株式会社 | 磁気ヘッドジンバル組立体 |
-
1986
- 1986-06-11 JP JP13370286A patent/JPH0677301B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190000783A (ko) * | 2017-06-23 | 2019-01-03 | 신꼬오덴기 고교 가부시키가이샤 | 기판 고정 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62291718A (ja) | 1987-12-18 |
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