JPH06347701A - Optical scanning type image input device - Google Patents
Optical scanning type image input deviceInfo
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- JPH06347701A JPH06347701A JP5163797A JP16379793A JPH06347701A JP H06347701 A JPH06347701 A JP H06347701A JP 5163797 A JP5163797 A JP 5163797A JP 16379793 A JP16379793 A JP 16379793A JP H06347701 A JPH06347701 A JP H06347701A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ズーム変換して走査範囲が変更しても、試料
の走査面のレーザビームの単位面積当たりの照射エネル
ギーが変動しない光走査型画像入力装置に装備される自
動調光装置。
【構成】 光源1から射出した照射光LBは、光量変更
手段2により光量が変更され、走査手段6により試料を
走査する。走査範囲変更手段11により走査範囲は可変
であるが、試料8を照射する光の光量は光量検出手段4
で検出し、走査範囲の大きさの変更に拘わらず制御手段
12により一定に維持され調光される。
(57) [Abstract] [Purpose] Even if the scanning range is changed by zoom conversion, the irradiation energy per unit area of the laser beam on the scanning surface of the sample does not fluctuate. Light equipment. [Structure] The irradiation light LB emitted from the light source 1 has its light quantity changed by the light quantity changing means 2, and the scanning means 6 scans the sample. Although the scanning range can be changed by the scanning range changing means 11, the light quantity of the light irradiating the sample 8 is determined by the light quantity detecting means 4.
The control means 12 maintains a constant light control regardless of the change in the size of the scanning range.
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は自動調光装置に関するも
のである。更に詳しくは光走査型画像入力装置に装備さ
れ走査範囲の変更に伴う照射光の光量を自動的に調整す
る自動調光装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an automatic light control device. More specifically, the present invention relates to an automatic light control device which is provided in an optical scanning type image input device and which automatically adjusts the amount of irradiation light according to a change in scanning range.
【0002】[0002]
【従来の技術】近時、レーザ走査顕微鏡のように試料を
レーザビームで走査し、走査光に対応して試料での反射
光、又は透過光、或いは励起された蛍光を捕捉して画像
を形成する光走査型画像入力装置が使用されている。又
プリンタのようにレーザビームの走査により試料自体を
加工する描画装置もある。2. Description of the Related Art Recently, a sample is scanned with a laser beam like a laser scanning microscope, and reflected light or transmitted light from the sample or excited fluorescence is captured in accordance with the scanning light to form an image. The optical scanning type image input device is used. There is also a drawing device that processes the sample itself by scanning with a laser beam like a printer.
【0003】この種の装置で、試料面を走査するレーザ
ビームの走査範囲は一般に可変であって、二次元の走査
範囲は、X軸方向とY軸方向とにそれぞれ所謂ズーム変
換といわれる倍率変換が行われ、変動する。図3に示す
ように、試料の最大の走査範囲を水平のX軸方向と垂直
のY軸方向とにそれぞれ長さAと長さBとの矩形とし、
変換率をX軸方向とY軸方向とにそれぞれαとβとする
と、所定の走査範囲は長さA′と長さB′との矩形であ
り、A′=A/α及びB′=B/βとなる。例えば、ビ
デオレートで画像を形成する場合などのように、二次元
の走査範囲(1フレーム)の走査時間が常に一定である
場合には、一定強度のレーザビームであると、レーザビ
ームの単位面積当たりの照射エネルギーの量は走査範囲
の面積に反比例する。ズーム変換し、変換倍率が大きく
なると大きくなる。ここに変換倍率は変換率αと変換率
βとの積α×βである。In this type of apparatus, the scanning range of the laser beam for scanning the sample surface is generally variable, and the two-dimensional scanning range is a magnification conversion called so-called zoom conversion in each of the X-axis direction and the Y-axis direction. Is done and fluctuates. As shown in FIG. 3, the maximum scanning range of the sample is a rectangle of length A and length B in the horizontal X-axis direction and the vertical Y-axis direction, respectively.
When the conversion rates are α and β in the X-axis direction and the Y-axis direction, respectively, the predetermined scanning range is a rectangle of length A ′ and length B ′, and A ′ = A / α and B ′ = B. / Β. For example, when the scanning time in the two-dimensional scanning range (one frame) is always constant, as in the case of forming an image at the video rate, the unit area of the laser beam is a constant intensity laser beam. The amount of irradiation energy per hit is inversely proportional to the area of the scanning range. It becomes larger when zoom conversion is performed and the conversion magnification increases. Here, the conversion rate is the product of the conversion rate α and the conversion rate β, α × β.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、1例としてレ
ーザビームを試料に照射し、励起された蛍光を捕捉して
画像を形成する場合についてみると、先ず励起光強度を
その走査範囲で適正に調整して画像形成を行うが、その
後ズーム変換して走査範囲を小さくすると単位面積当た
りの照射エネルギーが過大になることがある。単位面積
当たりの照射エネルギーが過大になるとダメージが発生
する。ダメージは光の照射により試料を損傷し、励起さ
れた蛍光の強度が経時的に変化して減衰することであ
る。単位面積当たりの照射エネルギーが過大であると、
図4に示すように蛍光強度が経時的に減衰する。しかし
単位面積当たりの照射エネルギーが適正な大きさである
と、図5に示すように蛍光強度は経時的に一定に維持さ
れる。このように、走査範囲が変化するのに伴い単位面
積当たりの照射エネルギーが変化し、それが過大になる
と試料にダメージを与え、画像を形成する間に試料を損
傷することが起こり、あるいは蛍光強度が変動したり減
少して良質な画像が得られないと言う問題があった。However, as an example, when a sample is irradiated with a laser beam to capture excited fluorescence to form an image, first, the excitation light intensity is properly adjusted in the scanning range. Although the image formation is performed after adjustment, if the scanning range is reduced by zoom conversion after that, the irradiation energy per unit area may become excessive. Damage occurs when the irradiation energy per unit area becomes too large. The damage means that the sample is damaged by the irradiation of light, and the intensity of the excited fluorescence changes with time and is attenuated. If the irradiation energy per unit area is too large,
As shown in FIG. 4, the fluorescence intensity decays over time. However, if the irradiation energy per unit area is an appropriate magnitude, the fluorescence intensity is maintained constant over time, as shown in FIG. Thus, as the scanning range changes, the irradiation energy per unit area changes, and if it becomes too large, it may damage the sample and damage the sample during image formation, or the fluorescence intensity However, there was a problem that a good quality image could not be obtained due to fluctuation or decrease.
【0005】本発明は上記の課題に鑑み、ズーム変換し
て走査範囲が変更しても、試料の走査面のレーザビーム
の単位面積当たりの照射エネルギーが変動しない光走査
型画像入力装置に装備される自動調光装置を提供するこ
とを目的とする。In view of the above problems, the present invention is provided in an optical scanning type image input apparatus in which the irradiation energy per unit area of the laser beam on the scanning surface of the sample does not change even if the scanning range is changed by zoom conversion. The object is to provide an automatic light control device.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、照射光を射出
する光源と、試料を前記照射光で走査する走査手段と、
前記試料の走査範囲を変更する走査範囲変更手段とを有
する光走査型画像入力装置において、前記照射光の光量
を変更する光量変更手段と、前記試料上の単位面積当た
りの照射光量が前記走査範囲の大きさの変更に拘わらず
一定に維持されるように、前記走査範囲変更手段に連動
して前記光量変更手段を制御する制御手段とを有するこ
とを特徴とするものである。According to the present invention, there is provided a light source for emitting irradiation light, and a scanning means for scanning a sample with the irradiation light.
In an optical scanning type image input device having a scanning range changing means for changing the scanning range of the sample, a light amount changing means for changing the light amount of the irradiation light, and an irradiation light amount per unit area on the sample is the scanning range. Control means for controlling the light amount changing means in conjunction with the scanning range changing means so that the light quantity changing means maintains a constant value regardless of the change in the size.
【0007】前記光量変更手段により変更された前記試
料上の単位面積当たりの照射光量を検出する光量検出手
段を有することが望ましい。It is desirable to have a light amount detecting means for detecting the irradiation light amount per unit area on the sample changed by the light amount changing means.
【0008】前記照射光量は、前記制御手段により前記
走査範囲の大きさに反比例して変更するように制御され
ることが望ましい。It is desirable that the irradiation light amount be controlled by the control means so as to be changed in inverse proportion to the size of the scanning range.
【0009】前記照射光の照射により励起されて前記試
料から発光する蛍光の強度を測定する蛍光強度測定手段
を具備することが望ましい。It is desirable to provide a fluorescence intensity measuring means for measuring the intensity of fluorescence emitted from the sample upon being excited by the irradiation of the irradiation light.
【0010】[0010]
【作用】光源から射出した照射光は、光量変更手段によ
り光量が変更され、走査手段により試料を走査する。走
査範囲変更手段により走査範囲は可変であるが、試料を
照射する光の光量は光量検出手段で検出され、制御手段
により走査範囲の大きさの変更に拘わらず一定に維持さ
れる。The amount of irradiation light emitted from the light source is changed by the light amount changing means, and the sample is scanned by the scanning means. Although the scanning range can be changed by the scanning range changing means, the light amount of the light irradiating the sample is detected by the light amount detecting means and is kept constant by the control means regardless of the change of the size of the scanning range.
【0011】[0011]
【実施例】本発明の一実施例を図1及び図2により説明
する。図1はレーザ走査顕微鏡に係る実施例の光学配置
を示す。レーザ光源1の射出端に対峙して光量変換器2
が設けられている。光量変換器2は回転角に応じて透過
率がリニアもしくは対数的に変化するニュウトラルデン
シティフィルタである。印加電圧に応じて透過率が変化
する液晶フィルタのようなものでもよい。光量変換器2
の次には、光量変換器2を透過したレーザビームLBを
分割するためにのハーフミラー3が設けられている。ハ
ーフミラー3で反射したレーザビームLBは光量検出器
4で受光されて光量が検出され、ハーフミラー3を透過
したレーザビームLBは、ダイクロイックミラー5を透
過して光走査機構6に向かう。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 shows an optical arrangement of an embodiment relating to a laser scanning microscope. A light quantity converter 2 facing the exit end of the laser light source 1
Is provided. The light quantity converter 2 is a neutral density filter whose transmittance changes linearly or logarithmically depending on the rotation angle. It may be a liquid crystal filter whose transmittance changes according to the applied voltage. Light intensity converter 2
Next, a half mirror 3 for splitting the laser beam LB transmitted through the light quantity converter 2 is provided. The laser beam LB reflected by the half mirror 3 is received by the light amount detector 4 and its light amount is detected, and the laser beam LB transmitted through the half mirror 3 passes through the dichroic mirror 5 and travels toward the optical scanning mechanism 6.
【0012】光走査機構6は、例えばガルバノミラーや
共振型のガルバノミラー等の振動ミラーによって構成さ
れている。共振型のガルバノミラーの場合には、正弦波
状の交流電圧を印加することによって、振動ミラーは図
の矢印で示すように回転して振動し、その振幅は印加交
流電圧の大きさにより決まる。振動ミラーは2軸に回転
する。対物レンズ7は、光走査機構6で反射したレーザ
ビームLBを集光レンズとして試料8上に集光する。レ
ーザビームLBによって励起された試料8からの蛍光
は、対物レンズ7を介して光走査機構6に入射し、再度
反射した後にダイクロイックミラー5で反射し、観察光
学系(不図示)に入射する。観察光学系(不図示)には
蛍光強度を検出する光量検出器9が設けられている。The optical scanning mechanism 6 is composed of a vibrating mirror such as a galvanometer mirror or a resonance type galvanometer mirror. In the case of a resonance type galvanometer mirror, by applying a sinusoidal AC voltage, the vibrating mirror rotates and vibrates as shown by the arrow in the figure, and its amplitude is determined by the magnitude of the applied AC voltage. The vibrating mirror rotates about two axes. The objective lens 7 focuses the laser beam LB reflected by the optical scanning mechanism 6 on the sample 8 as a focusing lens. The fluorescence from the sample 8 excited by the laser beam LB enters the optical scanning mechanism 6 via the objective lens 7, is reflected again, is then reflected by the dichroic mirror 5, and is incident on the observation optical system (not shown). The observation optical system (not shown) is provided with a light amount detector 9 for detecting fluorescence intensity.
【0013】図2は、自動調光回路の構成を示すブロッ
ク図である。操作部10はコントロールパネルやキーボ
ードを含み、試料面8上のレーザビームLBによる走査
範囲を指示する指令信号を出力する。走査範囲変換器1
1は操作部10からの指令信号に応答して、光走査機構
6に印加する交流電圧を制御し、走査範囲を設定する。
CPU12は操作部10からの指令信号を受け、レーザ
ビームLBによる試料面8上における走査範囲の変更が
あった時に、単位面積当たりの光量が一定になるように
光量変換器2に駆動信号を出力し、試料面8に照射され
るレーザビームLBの強度を調節する。さらにCPU1
2は、光量検出器4の出力信号を受けて、レーザ光源1
からのレーザビームLBの光度を検出する。そして光度
が変動したとき変動分を補正するように光量変換器2を
駆動する。FIG. 2 is a block diagram showing the structure of the automatic light control circuit. The operation unit 10 includes a control panel and a keyboard, and outputs a command signal indicating a scanning range of the laser beam LB on the sample surface 8. Scan range converter 1
In response to a command signal from the operation unit 10, 1 controls the AC voltage applied to the optical scanning mechanism 6 to set the scanning range.
The CPU 12 receives a command signal from the operation unit 10 and outputs a drive signal to the light quantity converter 2 so that the light quantity per unit area becomes constant when the scanning range on the sample surface 8 is changed by the laser beam LB. Then, the intensity of the laser beam LB irradiated on the sample surface 8 is adjusted. Further CPU1
2 receives the output signal of the light quantity detector 4 and receives the laser light source 1
The intensity of the laser beam LB from is detected. Then, when the luminous intensity fluctuates, the light quantity converter 2 is driven so as to correct the fluctuation.
【0014】次に動作について説明する。光源1より射
出したレーザビームLBは、光量変換器2、ハーフミラ
ー3及びダイクロイックミラー5を通過した後、走査機
構6に入射する。走査機構6を構成する反射ミラーが振
動し、走査機構6により反射されたレーザビームLBは
対物レンズ7で集光された後、試料8面上を走査する。
走査範囲はX軸方向とY軸方向とそれぞれに操作部10
のコントロールパネル又はキーボードで設定される。Next, the operation will be described. The laser beam LB emitted from the light source 1 passes through the light quantity converter 2, the half mirror 3 and the dichroic mirror 5, and then enters the scanning mechanism 6. The reflection mirror constituting the scanning mechanism 6 vibrates, the laser beam LB reflected by the scanning mechanism 6 is condensed by the objective lens 7, and then scans the surface of the sample 8.
The scanning range is in the X-axis direction and the Y-axis direction, and the operation unit 10
It is set by the control panel or keyboard of.
【0015】試料8からはレーザビームLBによって励
起された蛍光が、対物レンズ7、光走査機構6、ダイク
ロイックミラー5を介して光量検出器9に入射し、蛍光
強度が検出される。予めダメージについての情報がある
試料8であれば、始めから適正な励起光強度に設定し、
蛍光像の観察を行うことができる。しかし情報のない場
合は、先ずレーザビームLBの走査範囲を決め、試料8
の代わりにモニターを使用して、励起光強度が過大であ
って図5に示すようなダメージを受けるか否かを調査
し、図4に示すように蛍光強度が経時的変化しないよう
に調整するか、或いはソフト的に蛍光強度の変化をチェ
ックしながら、励起光強度を調整する必要がある。又こ
の際、初期の走査範囲として図3に示す試料の最大の走
査範囲の長さAと長さBとの矩形を選択するのが望まし
い。これは走査範囲に伴う光量変換器2の調整が減光方
向のみとすることができ、調整し易く又ダメージの虞が
ないからである。The fluorescence excited by the laser beam LB from the sample 8 enters the light quantity detector 9 through the objective lens 7, the optical scanning mechanism 6 and the dichroic mirror 5, and the fluorescence intensity is detected. If the sample 8 has information about damage in advance, set an appropriate excitation light intensity from the beginning,
The fluorescent image can be observed. However, when there is no information, the scanning range of the laser beam LB is first determined, and the sample 8
Instead of the monitor, a monitor is used to investigate whether or not the excitation light intensity is excessive and the damage as shown in FIG. 5 is caused, and as shown in FIG. 4, the fluorescence intensity is adjusted so as not to change with time. Alternatively, it is necessary to adjust the excitation light intensity while softly checking the change in fluorescence intensity. At this time, it is desirable to select a rectangle having the length A and the length B of the maximum scanning range of the sample shown in FIG. 3 as the initial scanning range. This is because the adjustment of the light quantity converter 2 according to the scanning range can be performed only in the dimming direction, and the adjustment is easy and there is no risk of damage.
【0016】他方、光量変換器2の調整により適正な励
起光強度が得られると、光源1より射出したレーザビー
ムLBの一部はハーフミラー3によって反射され光量検
出器4に入射して光量が検出され、このときの光量Iの
情報は光量検出器4からCPU12に出力され、記憶さ
れる。On the other hand, when an appropriate excitation light intensity is obtained by adjusting the light quantity converter 2, a part of the laser beam LB emitted from the light source 1 is reflected by the half mirror 3 and is incident on the light quantity detector 4, and the light quantity is changed. The information on the detected light quantity I at this time is output from the light quantity detector 4 to the CPU 12 and stored therein.
【0017】次に、操作部10を操作して走査範囲を変
更する。最初に長さAと長さBの矩形の走査範囲を例と
して説明すると、倍率変換率をX軸方向とY軸方向とに
それぞれαとβとした場合、所定の走査範囲は長さA′
と長さB′の矩形であり、A′=A/α及びB′=B/
βとなる。走査範囲の変更の情報はCPU12に出力さ
れ、長さAと長さBの走査範囲のときの光量Iが長さ
A′と長さB′の走査範囲で光量I/α×β に変更す
るように、光量変換器2に駆動信号を出力する。すると
試料面8における励起光強度は一定に保持され、励起光
強度が過大になって試料にダメージを与えることがな
く、又励起光強度が過小になって充分に励起させること
ができず、良質の蛍光像が得られないということがな
い。Next, the operating section 10 is operated to change the scanning range. First, a rectangular scanning range of length A and length B will be described as an example. When the magnification conversion rates are α and β in the X-axis direction and the Y-axis direction, respectively, the predetermined scanning range has a length A ′.
And a rectangle of length B ', where A' = A / α and B '= B /
Beta. The information on the change of the scanning range is output to the CPU 12, and the light amount I in the scanning range of the length A and the length B is changed to the light amount I / α × β in the scanning range of the length A ′ and the length B ′. Thus, the drive signal is output to the light quantity converter 2. Then, the intensity of the excitation light on the sample surface 8 is kept constant, the intensity of the excitation light is not excessive and does not damage the sample, and the intensity of the excitation light is too small to excite the sample sufficiently. There is no problem that the fluorescence image of is not obtained.
【0018】本実施例ではレーザ走査顕微鏡について説
明したが、その他の光走査型画像入力装置及び描画装置
においても同様に自動調光が可能であることはいうまで
もない。Although the laser scanning microscope has been described in this embodiment, it is needless to say that the other light scanning type image input device and drawing device can similarly perform automatic light control.
【0019】[0019]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、光
源から射出した照射光は、光量変更手段により光量が変
更され、走査手段により試料を走査する。走査範囲変更
手段により走査範囲は可変であるが、試料を照射する光
の光量は光量検出手段で検出され、制御手段により走査
範囲の大きさの変更に拘わらず一定に維持されるから、
試料にダメージを与えることがなく、常に良質な画像が
得られる。As described above, according to the present invention, the amount of irradiation light emitted from the light source is changed by the light amount changing means and the sample is scanned by the scanning means. Although the scanning range is variable by the scanning range changing means, the light amount of the light irradiating the sample is detected by the light amount detecting means, and is kept constant regardless of the change in the size of the scanning range by the control means.
A good quality image can always be obtained without damaging the sample.
【図1】本発明の一実施例に係るレーザ走査顕微鏡の光
学配置図。FIG. 1 is an optical layout diagram of a laser scanning microscope according to an embodiment of the present invention.
【図2】本発明の一実施例に係るレーザ走査顕微鏡の自
動調光回路のブロック構成図。FIG. 2 is a block configuration diagram of an automatic light control circuit of a laser scanning microscope according to an embodiment of the present invention.
【図3】本発明の一実施例に係る試料の走査範囲を示す
図。FIG. 3 is a diagram showing a scanning range of a sample according to an embodiment of the present invention.
【図4】蛍光強度の経時的変化(ダメージ)を示す図。FIG. 4 is a diagram showing a temporal change (damage) in fluorescence intensity.
【図5】蛍光強度の経時的変化(ダメージ)を示す図。FIG. 5 is a diagram showing a temporal change (damage) in fluorescence intensity.
1・・・・レーザ光源 2・・・・光量変換器 3・・・・ハーフミラー 4・・・・光量検出器 5・・・・ダイクロイックミラー 6・・・・光走査機構 7・・・・対物レンズ 8・・・・試料 9・・・・光量検出器 10・・・・操作部 11・・・・走査範囲変換器 12・・・・CPU LB・・・・レーザビーム 1 ... Laser light source 2 Light intensity converter 3 Half mirror 4 Light intensity detector 5 Dichroic mirror 6 Optical scanning mechanism 7 ... Objective lens 8 ・ ・ ・ ・ Sample 9 ・ ・ ・ Light intensity detector 10 ・ ・ ・ ・ Operation part 11 ・ ・ ・ ・ Scanning range converter 12 ・ ・ ・ ・ CPU LB ・ ・ ・ ・ Laser beam
Claims (4)
光で走査する走査手段と、前記試料の走査範囲を変更す
る走査範囲変更手段とを有する光走査型画像入力装置に
おいて、 前記照射光の光量を変更する光量変更手段と、前記試料
上の単位面積当たりの照射光量が前記走査範囲の大きさ
の変更に拘わらず一定に維持されるように、前記走査範
囲変更手段に連動して前記光量変更手段を制御する制御
手段とを有することを特徴とする光走査型画像入力装
置。1. An optical scanning type image input device comprising: a light source for emitting irradiation light; a scanning unit for scanning a sample with the irradiation light; and a scanning range changing unit for changing a scanning range of the sample. Light amount changing means for changing the light amount of the light, and linked with the scanning range changing means so that the irradiation light amount per unit area on the sample is maintained constant regardless of the change of the size of the scanning range. An optical scanning image input device comprising: a control unit that controls the light amount changing unit.
料上の単位面積当たりの照射光量を検出する光量検出手
段を有することを特徴とする請求項1に記載の光走査型
画像入力装置。2. The optical scanning type image input device according to claim 1, further comprising a light amount detection unit for detecting an irradiation light amount per unit area on the sample changed by the light amount changing unit.
走査範囲の大きさに反比例して変更するように制御され
ることを特徴とする請求項1、2又は3に記載の光走査
型画像入力装置。3. The optical scanning image according to claim 1, wherein the irradiation light amount is controlled by the control means so as to be changed in inverse proportion to the size of the scanning range. Input device.
料から発光する蛍光の強度を測定する蛍光強度測定手段
を具備することを特徴とする請求項1、2、3又は4に
記載の光走査型画像入力装置。4. The light according to claim 1, further comprising fluorescence intensity measuring means for measuring the intensity of fluorescence emitted from the sample upon being excited by the irradiation of the irradiation light. Scanning image input device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5163797A JPH06347701A (en) | 1993-06-10 | 1993-06-10 | Optical scanning type image input device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5163797A JPH06347701A (en) | 1993-06-10 | 1993-06-10 | Optical scanning type image input device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06347701A true JPH06347701A (en) | 1994-12-22 |
Family
ID=15780890
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5163797A Pending JPH06347701A (en) | 1993-06-10 | 1993-06-10 | Optical scanning type image input device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06347701A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002090631A (en) * | 2000-09-20 | 2002-03-27 | Olympus Optical Co Ltd | Scanning optical microscope magnification adjustment method and apparatus, and computer-readable recording medium |
| JP2007500880A (en) * | 2003-05-16 | 2007-01-18 | ユニヴェルシテイト ファン アムステルダム | Method and apparatus for forming an image of an object |
| JP2007025646A (en) * | 2005-06-13 | 2007-02-01 | Olympus Corp | Scanning laser microscope apparatus |
-
1993
- 1993-06-10 JP JP5163797A patent/JPH06347701A/en active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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