JPH06180396A - Synchrotron radiation mask unit for undulator - Google Patents
Synchrotron radiation mask unit for undulatorInfo
- Publication number
- JPH06180396A JPH06180396A JP4333295A JP33329592A JPH06180396A JP H06180396 A JPH06180396 A JP H06180396A JP 4333295 A JP4333295 A JP 4333295A JP 33329592 A JP33329592 A JP 33329592A JP H06180396 A JPH06180396 A JP H06180396A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- undulator
- mask
- pair
- vertical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 230000005469 synchrotron radiation Effects 0.000 title claims description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 41
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 7
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 13
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 5
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 アンジュレーターから高エネルギー状態のS
OR光が出射してきても光学素子への熱負荷を低減させ
ることが可能なアンジュレーター用放射光マスク装置を
提供することを目的とする。
【構成】 放射光Sの水平方向の一部を遮断するために
一対の水平マスク板14a、14bが進出退出自在に配
置されている。あた、放射光Sの鉛直方向の一部を遮断
するために一対の垂直マスク板15a、15bが進出退
出自在に配設されている。また、一対の水平マスク板1
4a、14bは、放射光Sを遮断する照射面17が放射
光Sの光軸Pを通過する鉛直面に対して所定の角度θ1
で傾斜配置されている。また、一対の垂直マスク板15
a、15bは、放射光Sを遮断する照射面18が放射光
Sの光軸Pを通過する水平面に対して所定の角度θ2で
傾斜配置されている。
(57) [Abstract] [Purpose] S of high energy state from undulator
An object of the present invention is to provide a radiation light mask device for an undulator that can reduce the heat load on the optical element even when the OR light is emitted. [Structure] A pair of horizontal mask plates 14a and 14b are arranged so as to advance and retreat in order to block a part of the emitted light S in the horizontal direction. A pair of vertical mask plates 15a and 15b are arranged so as to advance and retreat in order to block a part of the emitted light S in the vertical direction. Also, a pair of horizontal mask plates 1
Reference numerals 4a and 14b denote a predetermined angle θ1 with respect to a vertical plane where the irradiation surface 17 that blocks the emitted light S passes through the optical axis P of the emitted light S.
It is arranged at an inclination. In addition, a pair of vertical mask plates 15
The a and 15b are arranged so that the irradiation surface 18 that blocks the emitted light S is inclined at a predetermined angle θ2 with respect to the horizontal plane that passes through the optical axis P of the emitted light S.
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、電子ビームを周期磁場
で偏向させることにより放射光(SOR光)を取り出す
アンジュレータの下流側に配設されるアンジュレーター
用放射光マスク装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a radiation light mask device for an undulator arranged downstream of an undulator for extracting radiation light (SOR light) by deflecting an electron beam with a periodic magnetic field.
【0002】[0002]
【従来の技術】図5は、アンジュレーター1の基本構成
を示すものである。図中符号2は、電子ビームの軌道で
あり、この軌道2に沿って光速に近い速度をもつ電子ビ
ームが通過するようになっている。また、軌道2を挟ん
でその上下には、上下で対をなす棒状の永久磁石3、3
が対向配置されている。それら対の永久磁石3、3は、
軌道2の長手方向に沿って多数並べられて設けられてい
るとともに、それらの極性は周期的に変化している。2. Description of the Related Art FIG. 5 shows a basic structure of an undulator 1. Reference numeral 2 in the figure is the trajectory of the electron beam, and the electron beam having a velocity close to the speed of light passes along the trajectory 2. Moreover, the rod-shaped permanent magnets 3 and 3 which are paired up and down are provided above and below the track 2.
Are opposed to each other. The permanent magnets 3 and 3 of the pair are
A large number of them are arranged along the longitudinal direction of the track 2, and their polarities change periodically.
【0003】従って、各対の永久磁石3、3間には垂直
方向の磁束が発生するとともにその磁束の向きは交互に
反転したものとなっており、これによって、軌道2を通
過する電子ビームに対しては周期磁場が与えられ、電子
ビームは図示のように磁束と直角な方向すなわち水平方
向に蛇行することになり、その蛇行の際に接線方向に強
い波長のSOR光Sが放射されるのである。Therefore, a magnetic flux in the vertical direction is generated between each pair of permanent magnets 3, 3 and the direction of the magnetic flux is alternately inverted, whereby an electron beam passing through the orbit 2 is formed. On the other hand, a periodic magnetic field is applied, and the electron beam meanders in the direction perpendicular to the magnetic flux, that is, in the horizontal direction as shown in the figure, and the SOR light S having a strong wavelength is radiated in the tangential direction during the meandering. is there.
【0004】このアンジュレーター1で取り出されたS
OR光Sは、図6で示すように、光軸Pに対して略平行
な軸上光S1と、所定の拡がり角σを有する干渉光(一
次、2次及び高次の干渉光)S2とを主な光成分とし、
下流側に配設されたミラー、二結晶分光器やフィルター
で構成される光学素子4に出射していき、光学素子4で
特定の波長とされた後に自由電子レーザー装置5等に利
用されるようになっている。ここで、光学素子4に出射
するSOR光Sは、軸上光S1のみが特定の波長とされ
て自由電子レーザー装置5に利用される。S taken out by the undulator 1
As shown in FIG. 6, the OR light S includes an on-axis light S1 that is substantially parallel to the optical axis P, and an interference light (primary, secondary, and high-order interference light) S2 having a predetermined spread angle σ. As the main light component,
It is emitted to an optical element 4 composed of a mirror, a double-crystal spectroscope, and a filter arranged on the downstream side, and after being made a specific wavelength by the optical element 4, it is used for a free electron laser device 5 or the like. It has become. Here, of the SOR light S emitted to the optical element 4, only the axial light S1 has a specific wavelength and is used for the free electron laser device 5.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年におい
ては、アンジュレーター1から高エネルギーのSOR光
Sが取り出されて光学素子16に入射する場合がある。
しかしながら、アンジュレーター1から高エネルギー状
態のSOR光Sが出射してくると、従来技術では、光学
素子4を構成しているミラー、二結晶分光器等に極めて
大きな熱負荷が加わってしまい、熱的破壊に至ってしま
うおそれがあった。By the way, in recent years, high energy SOR light S may be extracted from the undulator 1 and incident on the optical element 16.
However, when the high energy SOR light S is emitted from the undulator 1, in the conventional technique, an extremely large heat load is applied to the mirror, the double crystal spectroscope, and the like that form the optical element 4, and the heat There was a risk that it would be destroyed.
【0006】本発明は上記の事情に鑑み、アンジュレー
ターから高エネルギー状態のSOR光Sが出射してきて
も光学素子への熱負荷を低減させることが可能なアンジ
ュレーター用放射光マスク装置を提供することを目的と
する。In view of the above circumstances, the present invention provides a radiant light mask device for an undulator capable of reducing the heat load on the optical element even when the high energy SOR light S is emitted from the undulator. The purpose is to
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1記載の
アンジュレーター用放射光マスク装置は、電子ビームを
周期磁場で偏向させることにより放射光が取り出される
アンジュレータとその下流側に位置する光学素子との間
に配設され、アンジュレーターから出射してきた放射光
の一部を遮断するアンジュレーター用放射光マスク装置
であって、放射光の水平方向の一部を遮断するために進
出退出自在に配置された一対の水平マスク板と、放射光
の鉛直方向の一部を遮断するために進出退出自在に配設
された一対の垂直マスク板とが備えられていることを特
徴とする装置である。According to a first aspect of the present invention, there is provided an undulator radiation synchronism mask device for an undulator, wherein an undulator is taken out by deflecting an electron beam with a periodic magnetic field and an optic positioned downstream thereof. A radiant light mask device for an undulator that is placed between the element and that blocks part of the radiant light emitted from the undulator, and can freely move in and out to block part of the radiant light in the horizontal direction. A pair of horizontal mask plates arranged in a vertical direction and a pair of vertical mask plates arranged so as to be capable of advancing and retracting in order to block a part of the emitted light in the vertical direction. is there.
【0008】また、請求項2記載のアンジュレーター用
放射光マスク装置は、請求項1記載の装置において、一
対の水平マスク板は、放射光を遮断する照射面が放射光
の光軸を通過する鉛直面に対して所定の角度で傾斜して
配置されていることを特徴とする装置である。According to a second aspect of the present invention, there is provided an undulator synchrotron radiation mask apparatus according to the first aspect of the invention, wherein the pair of horizontal mask plates has an irradiation surface that blocks the radiant light passing through the optical axis of the radiant light. The device is characterized in that it is arranged at a predetermined angle with respect to the vertical plane.
【0009】さらに、請求項3記載のアンジュレーター
用放射光マスク装置は、請求項1または2記載の装置に
おいて、一対の垂直マスク板は、放射光を遮断する照射
面が放射光の光軸を通過する水平面に対して所定の角度
で傾斜して配置されていることを特徴とする装置であ
る。Further, the radiant light mask device for an undulator according to a third aspect is the device according to the first or second aspect, in which the pair of vertical mask plates has an irradiation surface for blocking the radiated light, which has an optical axis of the radiated light. The device is characterized in that it is arranged at a predetermined angle with respect to a horizontal plane passing therethrough.
【0010】[0010]
【作用】本発明の請求項1記載のアンジュレーター用放
射光マスク装置は、アンジュレーターの下流側に配設さ
れることにより、放射光の軌道に向けて進入する一対の
水平マスク板の照射面と、一対の垂直マスク板の照射面
とで放射光の一部(一次、2次及び高次の干渉光)が遮
断されるので、アンジュレーターから高エネルギーの放
射光が出射されても光学素子には必要とされる放射光
(軸上光)のみが出射していき、光学素子の熱的負荷が
低減される。The radiant light mask device for an undulator according to claim 1 of the present invention is disposed on the downstream side of the undulator so that the irradiation surfaces of a pair of horizontal mask plates that enter toward the trajectory of the radiated light. Since a part of the emitted light (first, second and higher order interference light) is blocked by the irradiation surface of the pair of vertical mask plates, even if high energy emitted light is emitted from the undulator, the optical element Only the required radiant light (axial light) is emitted, and the thermal load on the optical element is reduced.
【0011】また、請求項2記載のアンジュレーター用
放射光マスク装置は、一対の水平マスク板の照射面が、
放射光の光軸を通過する鉛直面に対して所定の角度で傾
斜して配置されているので、照射面への放射光の照射面
積が拡大され、高エネルギーの放射光の一部を遮断して
も水平マスク板は低温度状態が保たれる。Further, in the radiant light mask device for an undulator according to a second aspect, the irradiation surfaces of the pair of horizontal mask plates are:
Since it is arranged at a predetermined angle with respect to the vertical plane that passes through the optical axis of the synchrotron radiation, the irradiation area of the synchrotron radiation on the irradiation surface is expanded, and part of the high-energy radiation is blocked. However, the horizontal mask plate is kept at a low temperature.
【0012】さらに、請求項3記載のアンジュレーター
用放射光マスク装置によれば、請求項1または請求項2
記載の一対の垂直マスク板の照射面が、放射光の光軸を
通過する水平面に対して所定の角度で傾斜して配置され
ているため、照射面への放射光の照射面積が拡大され、
高エネルギーの放射光の一部を遮断しても垂直マスク板
は低温度状態が保たれる。Further, according to the radiant light mask device for an undulator described in claim 3, claim 1 or claim 2 is provided.
Irradiation surface of the pair of vertical mask plate described, since the inclined surface is arranged at a predetermined angle with respect to the horizontal plane passing through the optical axis of the emitted light, the irradiation area of the emitted light to the irradiation surface is enlarged,
Even if a part of the high-energy radiant light is blocked, the vertical mask plate maintains a low temperature state.
【0013】[0013]
【実施例】以下、本発明のアンジュレーター用放射光マ
スク装置の一実施例について、図1から図4を参照して
説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the undulation radiation mask device of the present invention will be described below with reference to FIGS.
【0014】図1から図3で示すものは、内部にマスク
装置10が備えられているチャンバー11を示すもので
あり、図1は平面視断面図、図2は正面視断面図、図3
は側面図を示す。図中符号12は、SOR光Sの取り出
し窓であり、この取り出し窓12からチャンバー11内
に光軸Pを中心として入射したSOR光Sは、出射窓1
3から光学素子4に向けて出射されるようになってい
る。1 to 3 show a chamber 11 in which a mask device 10 is provided. FIG. 1 is a sectional view in plan view, FIG. 2 is a sectional view in front view, and FIG.
Shows a side view. In the figure, reference numeral 12 is a take-out window for the SOR light S, and the SOR light S that enters the chamber 11 through the take-out window 12 about the optical axis P is the exit window 1.
The light is emitted from 3 toward the optical element 4.
【0015】前記マスク装置10は、チャンバー11の
上流側11aにおいて水平方向に配設されている一対の
水平マスク板14a、14bと、下流側11bにおいて
鉛直方向に配設されている一対の垂直マスク板15a、
15bと、各マスク板14a、14b、15a、15b
をチャンバー11内で進入後退させる駆動部16とで概
略構成されている。The mask device 10 comprises a pair of horizontal mask plates 14a and 14b arranged horizontally on the upstream side 11a of the chamber 11 and a pair of vertical masks arranged vertically on the downstream side 11b. Plate 15a,
15b and each mask plate 14a, 14b, 15a, 15b
And a drive unit 16 for moving the inside of the chamber 11 back and forth.
【0016】水平マスク板14a、14bは、銅(C
u)若しくはタングステン(W)等を材料として、図1
に示すような外観形状に形成されているとともに、SO
R光Sが照射する面17(以下、照射面という。)は、
平滑面となるように形成されている。また、チャンバー
11内の水平マスク板14a、14bの配置状態は、光
軸Pを通過する鉛直面に対して照射面17が所定の角度
θ1で傾斜するように配置されている(図1参照)。The horizontal mask plates 14a and 14b are made of copper (C
u) or tungsten (W) as a material,
In addition to being formed into the external shape as shown in
The surface 17 irradiated with the R light S (hereinafter referred to as an irradiation surface) is
It is formed to have a smooth surface. The horizontal mask plates 14a and 14b in the chamber 11 are arranged so that the irradiation surface 17 is inclined at a predetermined angle θ1 with respect to the vertical plane passing through the optical axis P (see FIG. 1). .
【0017】一方、垂直マスク板15a、15bも、図
2に示すように、水平マスク板14a、14bと同様の
材料で略同一形状に形成され、かつそSOR光が照射す
る面18(以下、照射面という。)も、平滑面となるよ
うに形成されている。また、チャンバー11内の垂直マ
スク板15a、15bの配置状態は、光軸Pを通過する
水平面に対して照射面18が所定の角度θ2で傾斜して
配置されている(図2参照)。On the other hand, as shown in FIG. 2, the vertical mask plates 15a and 15b are also made of a material similar to that of the horizontal mask plates 14a and 14b and have substantially the same shape, and a surface 18 (hereinafter, referred to as "sOR light") is irradiated. The irradiation surface) is also formed to be a smooth surface. The vertical mask plates 15a and 15b in the chamber 11 are arranged such that the irradiation surface 18 is inclined at a predetermined angle θ2 with respect to the horizontal plane passing through the optical axis P (see FIG. 2).
【0018】次に、上記構成のマスク装置10がアンジ
ュレーター12の下流側に配設されることにより得られ
る作用効果について説明する。アンジュレーター12で
取り出されたSOR光Sが取り出し窓12を通過してチ
ャンバー11内に入射してくると、駆動部16によりS
OR光Sの軌道Pに向けて水平マスク板14a、14b
が進入することにより、図4に示すように、水平マスク
板14a、14bの照射面17、17がSOR光Sの水
平方向の干渉光S2を遮断する。また、駆動部16によ
りSOR光Sの軌道Pに向けて垂直マスク板15a、1
5bが進入するこよにより、垂直マスク板15a、15
bの照射面18、18がSOR光Sの鉛直方向の干渉光
S2を遮断する。これにより、マスク装置10を通過し
たSOR光Sは、自由電子レーザー装置17等で利用さ
れる軸上光S1のみが光学素子16に出射していく。Next, the function and effect obtained by disposing the mask device 10 having the above-mentioned structure on the downstream side of the undulator 12 will be described. When the SOR light S extracted by the undulator 12 passes through the extraction window 12 and enters the chamber 11, the driving unit 16 causes S
Horizontal mask plates 14a, 14b toward the orbit P of the OR light S
4, the irradiation surfaces 17, 17 of the horizontal mask plates 14a, 14b block the horizontal interference light S2 of the SOR light S, as shown in FIG. In addition, the vertical mask plates 15a, 1a, 1
The vertical mask plates 15a, 15a
The irradiation surfaces 18 and 18 of b block the interference light S2 in the vertical direction of the SOR light S. As a result, of the SOR light S that has passed through the mask device 10, only the on-axis light S1 used in the free electron laser device 17 or the like is emitted to the optical element 16.
【0019】従って、アンジュレーター12から出射さ
れてくるSOR光Sのうち使用されない余分なSOR光
S(干渉光S2)がマスク装置10で遮断され、光学素
子16には自由電子レーザー装置17等で利用されるS
OR光S(軸上光S1)のみが出射していくので、アン
ジュレーター12から高エネルギーのSOR光Sが出射
してきても、光学素子16の熱負荷が低減される。Therefore, of the SOR light S emitted from the undulator 12, the unused SOR light S (interference light S2) that is not used is blocked by the mask device 10, and the optical element 16 is blocked by the free electron laser device 17 or the like. S used
Since only the OR light S (axial light S1) is emitted, even if the high energy SOR light S is emitted from the undulator 12, the thermal load on the optical element 16 is reduced.
【0020】また、水平マスク板14a、14bの照射
面17は、光軸Pを通過する鉛直面に対して角度θ1で
傾斜配置されているので、高エネルギー状態とされたS
OR光Sが照射されても、照射面14aへの照射面積が
拡大し、それにより水平マスク板14a、14bは局所
的に発熱せず低温度状態が保たれる。さらに、垂直マス
ク板15a、15bは、光軸Pを通過する水平面に対し
て照射面18が所定の角度θ2となるように傾斜配置さ
れているので、高エネルギーのSOR光Sが照射されて
も照射面18への照射面積が拡大し、それにより垂直マ
スク板15a、15bは局所的に発熱せず低温度状態が
保たれる。Further, since the irradiation surfaces 17 of the horizontal mask plates 14a and 14b are arranged at an angle of θ1 with respect to the vertical plane passing through the optical axis P, the high energy state S is obtained.
Even if the OR light S is irradiated, the irradiation area on the irradiation surface 14a is expanded, so that the horizontal mask plates 14a and 14b do not generate heat locally and the low temperature state is maintained. Furthermore, since the vertical mask plates 15a and 15b are inclined so that the irradiation surface 18 forms a predetermined angle θ2 with respect to the horizontal plane passing through the optical axis P, even if the high energy SOR light S is irradiated. The irradiation area on the irradiation surface 18 is expanded, so that the vertical mask plates 15a and 15b do not generate heat locally and the low temperature state is maintained.
【0021】以上、述べたことから容易に理解できるよ
うに、本実施例のマスク装置10がアンジュレーター1
2の下流側に配設されることにより、SOR光Sの軌道
に向けて進入する水平マスク板14a、14bの照射面
17、17と、垂直マスク板15a、15bの照射面1
8、18とで余分なSOR光S(干渉光S2)を遮断す
るので、アンジュレーター12から高エネルギーのSO
R光Sが出射してきても、自由電子レーザ装置17等に
特定の波長のSOR光を送る光学素子16に対して極め
て大きな熱負荷を与えることがない。As can be easily understood from the above description, the mask device 10 of this embodiment has the undulator 1.
The irradiation surfaces 17 and 17 of the horizontal mask plates 14a and 14b and the irradiation surfaces 1 of the vertical mask plates 15a and 15b, which are arranged on the downstream side of the SOR light S, are introduced toward the orbit of the SOR light S.
Since the extra SOR light S (interference light S2) is blocked by 8 and 18, high energy SO from the undulator 12
Even if the R light S is emitted, an extremely large heat load is not applied to the optical element 16 that sends the SOR light of a specific wavelength to the free electron laser device 17 or the like.
【0022】しかも、アンジュレーター12から高エネ
ルギーのSOR光Sが照射してきても、一対の水平マス
ク板14a、14bの照射面17、17がSOR光Sの
光軸Pを通過する水平面に対して所定の角度θ1で傾斜
配置され、一対の垂直マスク板15a、15bの照射面
18、18がSOR光Sの光軸Pを通過する鉛直面に対
して所定の角度θ2で傾斜配置されているので、照射面
17、18へのSOR光Sの照射面積が拡大されて水平
マスク板14a、14b及び垂直マスク板15a、15
bの低温度状態を保持することができる。Moreover, even when the high energy SOR light S is irradiated from the undulator 12, the irradiation surfaces 17, 17 of the pair of horizontal mask plates 14a, 14b with respect to the horizontal plane passing the optical axis P of the SOR light S. Since the irradiation surfaces 18, 18 of the pair of vertical mask plates 15a, 15b are inclined at a predetermined angle θ1 and are inclined at a predetermined angle θ2 with respect to the vertical plane passing through the optical axis P of the SOR light S, The irradiation area of the SOR light S on the irradiation surfaces 17 and 18 is enlarged so that the horizontal mask plates 14a and 14b and the vertical mask plates 15a and 15 are formed.
The low temperature state of b can be maintained.
【0023】[0023]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項1
記載のアンジュレーター用放射光マスク装置をアンジュ
レーターの下流側に配設することにより、光学素子が必
要とする放射光のみが光学素子に向けて出射していき、
余分な放射光は遮断されるため、アンジュレーターから
高エネルギーの放射光が出射してきても、光学素子の熱
負荷を低減させることができる。As described above, according to the first aspect of the present invention.
By arranging the undulator radiation light mask device described above on the downstream side of the undulator, only the radiation light required by the optical element is emitted toward the optical element,
Since excess radiation is blocked, even if radiation of high energy is emitted from the undulator, it is possible to reduce the heat load on the optical element.
【0024】また、請求項2記載のアンジュレーター用
放射光マスク装置は、一対の水平マスク板の照射面が、
放射光の光軸を通過する鉛直面に対して所定の角度で傾
斜配置されているため、照射面への放射光の照射面積が
拡大され、高エネルギーの放射光の一部を遮断しても水
平マスク板の低温度状態を保持することができる。Further, in the synchrotron radiation mask apparatus for an undulator according to claim 2, the irradiation surfaces of the pair of horizontal mask plates are:
Since it is arranged at a predetermined angle with respect to the vertical plane that passes through the optical axis of the radiated light, the irradiation area of the radiated light on the irradiation surface is expanded, and even if a portion of the high-energy radiated light is blocked. The low temperature state of the horizontal mask plate can be maintained.
【0025】さらに、請求項3記載のアンジュレーター
用放射光マスク装置は、一対の垂直マスク板の照射面
が、放射光の光軸を通過する水平面に対して所定の角度
で傾斜配置されているため、照射面への放射光の照射面
積が拡大され、高エネルギーの放射光の一部を遮断して
も垂直マスク板の低温度状態を保持することができる。Further, in the radiant light mask device for an undulator according to a third aspect of the present invention, the irradiation surfaces of the pair of vertical mask plates are arranged so as to be inclined at a predetermined angle with respect to the horizontal plane passing through the optical axis of the radiated light. Therefore, the irradiation area of the radiated light on the irradiation surface is enlarged, and the low temperature state of the vertical mask plate can be maintained even if a part of the radiated light of high energy is blocked.
【0026】従って、本発明は、アンジュレーターから
高エネルギーの放射光が出射してきても光学素子への熱
負荷が低減され、しかも装置自身の高温発熱も防止する
ことが可能なアンジュレーター用放射光マスク装置を提
供することができる。Therefore, according to the present invention, even if high energy radiation is emitted from the undulator, the heat load on the optical element can be reduced and the high temperature heat of the device itself can be prevented. A mask device can be provided.
【図1】本発明のアンジュレーター用放射光マスク装置
が配設されたチャンバーを示す平面視断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional plan view showing a chamber in which a synchrotron radiation mask apparatus for an undulator of the present invention is arranged.
【図2】チャンバーを示す正面視断面図である。FIG. 2 is a front cross-sectional view showing a chamber.
【図3】チャンバーを示す側面図である。FIG. 3 is a side view showing a chamber.
【図4】アンジュレーターと光学素子の間に配設された
放射光マスク装置が放射光の一部を遮断する状態を示し
た概略図である。FIG. 4 is a schematic view showing a state in which a radiation light mask device arranged between an undulator and an optical element blocks a part of radiation light.
【図5】アンジュレーターの構造を示す概略図である。FIG. 5 is a schematic diagram showing the structure of an undulator.
【図6】従来のアンジュレーターとその下流側に配設さ
れた光学素子を示す概略図である。FIG. 6 is a schematic view showing a conventional undulator and an optical element arranged on the downstream side thereof.
1 アンジュレーター 4 光学素子 10 マスク装置 11 チャンバー 14a、14b 水平マスク板 15a、15b 垂直マスク板 16 駆動部 17 水平マスク板の照射面 18 垂直マスク板の照射面 P 放射光の光軸 S SOR光(放射光) θ1 水平マスク板の傾斜配置角度 θ2 垂直マスク板の傾斜配置角度 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 undulator 4 optical element 10 mask device 11 chambers 14a, 14b horizontal mask plates 15a, 15b vertical mask plate 16 drive unit 17 irradiation surface of horizontal mask plate 18 irradiation surface of vertical mask plate P optical axis of emitted light S SOR light ( Synchrotron radiation) θ1 Horizontal mask plate tilt angle θ2 Vertical mask plate tilt angle
Claims (3)
により放射光が取り出されるアンジュレータとその下流
側に位置する光学素子との間に配設され、該アンジュレ
ーターから出射してきた放射光の一部を遮断するアンジ
ュレーター用放射光マスク装置であって、 放射光の水平方向の一部を遮断するために進出退出自在
に配置された一対の水平マスク板と、放射光の鉛直方向
の一部を遮断するために進出退出自在に配設された一対
の垂直マスク板とが備えられていることを特徴とするア
ンジュレーター用放射光マスク装置。1. A part of radiant light emitted from the undulator, which is disposed between an undulator from which radiant light is extracted by deflecting an electron beam with a periodic magnetic field and an optical element located downstream thereof. This is a synchrotron radiation mask device for undulators that blocks a part of the synchrotron radiation in the horizontal direction. A synchrotron radiation mask device for an undulator, comprising: a pair of vertical mask plates arranged so as to be capable of advancing and retreating in order to shut off.
光マスク装置において、 一対の水平マスク板は、放射光を遮断する照射面が放射
光の光軸を通過する鉛直面に対して所定の角度で傾斜し
て配置されていることを特徴とするアンジュレーター用
放射光マスク装置。2. The radiant light mask device for an undulator according to claim 1, wherein the pair of horizontal mask plates have an irradiation surface that intercepts the radiated light at a predetermined angle with respect to a vertical plane that passes through the optical axis of the radiated light. A synchrotron radiation mask device for undulators, which is arranged at an angle.
ー用放射光マスク装置において、 一対の垂直マスク板は、放射光を遮断する照射面が放射
光の光軸を通過する水平面に対して所定の角度で傾斜し
て配置されていることを特徴とするアンジュレーター用
放射光マスク装置。3. The radiant light mask device for an undulator according to claim 1 or 2, wherein the pair of vertical mask plates has a predetermined irradiation surface for blocking the radiated light with respect to a horizontal plane passing through the optical axis of the radiated light. A synchrotron radiation mask device for an undulator, which is arranged at an angle.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4333295A JPH06180396A (en) | 1992-12-14 | 1992-12-14 | Synchrotron radiation mask unit for undulator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4333295A JPH06180396A (en) | 1992-12-14 | 1992-12-14 | Synchrotron radiation mask unit for undulator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06180396A true JPH06180396A (en) | 1994-06-28 |
Family
ID=18264506
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4333295A Withdrawn JPH06180396A (en) | 1992-12-14 | 1992-12-14 | Synchrotron radiation mask unit for undulator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06180396A (en) |
-
1992
- 1992-12-14 JP JP4333295A patent/JPH06180396A/en not_active Withdrawn
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| NL2001585C2 (en) | DEVICE FOR ESTABLISHING A GAS CURTAIN FOR PLASMA-BASED EUV RADIATION SOURCES. | |
| ES2304987T3 (en) | METHOD AND APPARATUS FOR SEPARATING NON-METALLIC MATERIALS. | |
| US5825847A (en) | Compton backscattered collimated x-ray source | |
| EP1355195B1 (en) | Use of a particle filter with an EUV radiation source | |
| EP0174877B1 (en) | X-ray application system | |
| KR102318041B1 (en) | Method and device for the laser-based working of two-dimensional, crystalline substrates, in particular semiconductor substrates | |
| EP1803538A1 (en) | Brittle material scribing method and scribing apparatus | |
| US6888297B2 (en) | Method and apparatus for debris mitigation for an electrical discharge source | |
| KR20230054859A (en) | Apparatus and method for processing reticle and pellicle assemblies | |
| JPH06180396A (en) | Synchrotron radiation mask unit for undulator | |
| KR100466444B1 (en) | An X-ray lithography device | |
| US6608967B1 (en) | Method and apparatus for fracturing brittle materials by thermal stressing | |
| JPH0439221B2 (en) | ||
| RU2726316C1 (en) | High-brightness source of short-wave radiation based on laser plasma | |
| Fiedorowicz et al. | Generation of nanosecond soft x-ray pulses as a result of interaction of the Nd: glass laser radiation with gas puff targets | |
| WO2015135912A2 (en) | Radiation source | |
| US6912356B2 (en) | Method and apparatus for fracturing brittle materials by thermal stressing | |
| KR20000069043A (en) | Method and apparatus for the laser processing of substrate surfaces | |
| US11367988B2 (en) | Gas laser device | |
| Nikitina et al. | Synchrotron radiation focusing by means of Kumakhov lenses | |
| JPH09302461A (en) | Laser plasma soft X-ray or X-ray laser generator | |
| JP2025536303A (en) | Optical amplifier | |
| US6693989B2 (en) | Ultrabright multikilovolt x-ray source: saturated amplification on noble gas transition arrays from hollow atom states | |
| Paye et al. | Protection of final optics in megajoule-class lasers by steering of UV beams using diffraction gratings | |
| JPH06148396A (en) | Radiation light slit device in particle accelerator |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000307 |