JPH06176871A - Organic EL element - Google Patents
Organic EL elementInfo
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- JPH06176871A JPH06176871A JP4325791A JP32579192A JPH06176871A JP H06176871 A JPH06176871 A JP H06176871A JP 4325791 A JP4325791 A JP 4325791A JP 32579192 A JP32579192 A JP 32579192A JP H06176871 A JPH06176871 A JP H06176871A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】化学的安定性の高い陰極を備えた新規な有機E
L素子を提供する。
【構成】Au,Cu,PtおよびNiから選ばれる少な
くとも1種の第1金属と仕事関数4.2eV以下の第2
金属とを含む蒸着膜を陰極として備えたことを特徴とす
る有機EL素子。(57) [Abstract] [Purpose] A novel organic E with a highly chemically stable cathode.
Provide an L element. [Structure] At least one first metal selected from Au, Cu, Pt, and Ni and a second metal having a work function of 4.2 eV or less.
An organic EL device comprising a vapor-deposited film containing a metal as a cathode.
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、表示素子や発光素子等
として利用される有機EL素子(エレクトロルミネッセ
ンス素子)に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic EL element (electroluminescence element) used as a display element, a light emitting element or the like.
【0002】[0002]
【従来の技術】有機EL素子は、互いに対向する一対の
電極の間に有機発光体の薄膜(発光層)を少なくとも介
在させることにより構成される。この有機EL素子にお
いては、陰極から直接または電子注入層を介して発光層
へ注入された電子と、陽極から直接または正孔注入層を
介して発光層へ注入された正孔とが発光層内で再結合す
ることにより発光が生じる。2. Description of the Related Art An organic EL device is constructed by interposing at least a thin film (light emitting layer) of an organic light emitting body between a pair of electrodes facing each other. In this organic EL device, the electrons injected from the cathode directly into the light emitting layer via the electron injection layer and the holes injected from the anode directly into the light emitting layer via the hole injection layer are in the light emitting layer. Light is emitted by recombination at.
【0003】このような発光機構に基づく有機EL素子
の発光特性を向上させるための手段としては、有機発光
体材料の選択あるいは改良、発光層の膜質の改良、陰極
材料の選択あるいは改良等が知られている。これらのう
ち、陰極材料の選択あるいは改良によるものは、一般に
は発光層への電子注入効率を高めて発光特性を向上させ
ようとするものである。そして、このために、仕事関数
の小さい電気伝導性の種々の金属、合金あるいは金属間
化合物等を陰極材料として用いることが試みられてい
る。As means for improving the light emitting characteristics of an organic EL device based on such a light emitting mechanism, selection or improvement of organic light emitting material, improvement of film quality of light emitting layer, selection or improvement of cathode material, etc. are known. Has been. Among these, the selection or improvement of the cathode material generally aims to improve the emission characteristics by increasing the efficiency of electron injection into the light emitting layer. For this reason, it has been attempted to use various electrically conductive metals, alloys, intermetallic compounds and the like having a low work function as cathode materials.
【0004】例えば、米国特許第3,173,050号
明細書や同第3,382,394号明細書には、アルカ
リ金属、例えばNa−K合金を陰極に用いた有機EL素
子が開示されている。これらの明細書に開示されている
有機EL素子は、量子効率が高い(RCA Review vol.30,
P322)という点では好ましいものであるが、アルカリ金
属やアルカリ金属同士の合金は活性が高く化学的に不安
定であるために実用的でない。For example, US Pat. Nos. 3,173,050 and 3,382,394 disclose organic EL devices using an alkali metal such as Na--K alloy for the cathode. There is. The organic EL devices disclosed in these specifications have high quantum efficiency (RCA Review vol.30,
P322) is preferable, but alkali metals and alloys of alkali metals are not practical because they are highly active and chemically unstable.
【0005】このため、アルカリ金属以外の金属を用い
て陰極を形成する種々の提案がなされている。例えば、
米国特許第4,539,507号明細書には陰極にIn
を用いた有機EL素子が開示されており、特開平3−2
31970号公報にはMg−In合金を陰極に用いた有
機EL素子が開示されている。また、欧州特許第027
8757号明細書には、アルカリ金属以外の複数の金属
を含有する層からなり、かつこれらの金属のうちの少な
くとも1種の金属の仕事関数が4eV以下である層から
なる陰極(具体的には、Mg−Ag電極のように、Mg
と、Ag、In、Sn、Sb、Te、Mnのいずれかと
からなるMg系電極等)を備えた有機EL素子が開示さ
れているが、これらの有機EL素子も陰極の経時的化学
安定性が十分ではない。Therefore, various proposals have been made to form the cathode by using a metal other than the alkali metal. For example,
In US Pat. No. 4,539,507, In is used for the cathode.
There is disclosed an organic EL device using the method described in Japanese Patent Laid-Open No. 3-2.
Japanese Patent No. 31970 discloses an organic EL element using a Mg-In alloy as a cathode. Also, European Patent No. 027
No. 8757 describes a cathode composed of a layer containing a plurality of metals other than alkali metals, and a layer having a work function of at least one of these metals of 4 eV or less (specifically, , Mg-Ag electrode, like Mg
And an Mg-based electrode made of any one of Ag, In, Sn, Sb, Te, and Mn) are disclosed. However, these organic EL elements also have the chemical stability of the cathode over time. Not enough.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上述したように、電子
注入性の金属を用いて陰極を形成する種々の提案がなさ
れているが、これらの陰極は経時的化学安定性が低いと
いう欠点があった。したがって本発明の目的は、経時的
化学安定性の高い陰極を備えた新たな有機EL素子を提
供することにある。As described above, various proposals have been made for forming a cathode by using an electron-injecting metal, but these cathodes have the drawback of low chemical stability over time. It was Therefore, an object of the present invention is to provide a new organic EL device having a cathode having high chemical stability over time.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の有機EL素子は、Au,Cu,PtおよびNiから
選ばれる少なくとも1種の第1金属と、仕事関数4.2
eV以下の第2金属とを含む蒸着膜を陰極として備えた
ことを特徴とするものである。An organic EL device of the present invention which achieves the above object comprises an at least one first metal selected from Au, Cu, Pt and Ni, and a work function of 4.2.
It is characterized in that a vapor deposition film containing a second metal of eV or less is provided as a cathode.
【0008】以下、本発明を詳細に説明する。本発明の
有機EL素子における陰極は、上述したように、Au,
Cu,PtおよびNiから選ばれる少なくとも1種の第
1金属と仕事関数4.2eV以下の第2金属とを含む蒸
着膜からなる。ここで、仕事関数4.2eV以下の第2
金属の具体例としては、In、Cd、Mn、Ti、T
a、Zr、La、Ca、Li、Ba、Na、Mg、C
d、K、Y、Ybなどが挙げられる。また、電子注入性
向上の面から特に仕事関数4.0eV以下の金属が好ま
しく、その具体例としては、上で列挙したLa、Ca、
Li、Ba、Na、Mg、Gd、K、Y、Yb等が挙げ
られる。第1金属と第2金属とを含む蒸着膜の成膜方法
は特に限定されるものではないが、具体例としては、抵
抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、高周波誘導加熱法、
分子線エピタキシー法、ホットウォール蒸着法、イオン
プレーティング法、クラスターイオンビーム法、2極ス
パッタ法、2極マグネトロンスパッタ法、3極および4
極プラズマスパッタ法、イオンビームスパッタ法等の方
法を用いた合金の直接蒸着法や多元同時蒸着法が挙げら
れる。所望の組成の陰極を効率良く製造するうえから
は、多元同時蒸着法を適用することが特に好ましい。The present invention will be described in detail below. As described above, the cathode in the organic EL device of the present invention is Au,
It is composed of a deposited film containing at least one first metal selected from Cu, Pt and Ni and a second metal having a work function of 4.2 eV or less. Here, the second work function of 4.2 eV or less
Specific examples of the metal include In, Cd, Mn, Ti and T.
a, Zr, La, Ca, Li, Ba, Na, Mg, C
d, K, Y, Yb and the like. From the viewpoint of improving the electron injection property, a metal having a work function of 4.0 eV or less is particularly preferable, and specific examples thereof include La, Ca, and
Examples thereof include Li, Ba, Na, Mg, Gd, K, Y and Yb. The method for forming the vapor deposition film containing the first metal and the second metal is not particularly limited, but specific examples include resistance heating vapor deposition method, electron beam vapor deposition method, high frequency induction heating method,
Molecular beam epitaxy method, hot wall vapor deposition method, ion plating method, cluster ion beam method, two pole sputtering method, two pole magnetron sputtering method, three poles and four
The direct vapor deposition method of alloys and the multi-source simultaneous vapor deposition method using methods such as the polar plasma sputtering method and the ion beam sputtering method can be mentioned. From the viewpoint of efficiently producing a cathode having a desired composition, it is particularly preferable to apply the multi-source simultaneous vapor deposition method.
【0009】上述のようにして成膜される陰極は、少な
くとも1種の第1金属と少なくとも1種の第2金属を含
有していればよいが、陰極における第1金属の割合は9
0〜99.999 at.%であることが好ましい。その理
由は、第1金属の割合が90〜99.999 at.%であ
ると、第1金属が陰極の母体となり、陰極の経時的化学
安定性が向上するからである。特に好ましい第1金属の
割合は、95〜99.99 at.%である。The cathode formed as described above may contain at least one first metal and at least one second metal, but the ratio of the first metal in the cathode is 9
It is preferably 0 to 99.999 at.%. The reason is that when the proportion of the first metal is 90 to 99.999 at.%, The first metal serves as the base material of the cathode, and the chemical stability of the cathode over time is improved. A particularly preferable ratio of the first metal is 95 to 99.99 at.%.
【0010】陰極の組成の制御は、例えば多元同時蒸着
法により成膜する場合は、第1金属の蒸着速度と第2金
属の蒸着速度との比を適宜設定することにより行なうこ
とができる。好ましい蒸着速度は、第1金属の場合1nm
/sec 以上、特に2nm/sec以上であり、第2金属の場
合、0.5nm/sec 以下、特に0.2nm/sec 以下であ
る。なお、第1金属として、2種類以上の金属(例えば
PtとCu)を用いる場合は、第1金属を構成する物質
の蒸着速度の和が1nm/s以上であることが好ましく、
2nm/s以上であることが更に好ましい。また第2金属
として、2種類以上の金属(例えばMgとCa)を用い
る場合、第2金属を構成する物質の蒸着速度の和が0.
5nm/sec 以下であることが好ましく、特に0.2nm/
sec 以下であることが更に好ましい。このように第1金
属の蒸着速度を第2金属の蒸着速度よりも大きくするこ
とにより、多割合の第1金属と少割合の第2金属からな
る蒸着膜を得ることができる。そしてこのようにして第
1金属と第2金属を組合わせることにより、電子注入性
に優れた陰極を得ることができる。このようにして得ら
れた陰極の膜厚は、膜内の導通があれば特に制限はない
が、10〜400nm、特に30〜200nmであるのが
好ましい。The composition of the cathode can be controlled by appropriately setting the ratio of the vapor deposition rate of the first metal and the vapor deposition rate of the second metal when the film is formed by the multi-source simultaneous vapor deposition method, for example. Preferred deposition rate is 1 nm for the first metal
/ Sec or more, especially 2 nm / sec or more, and in the case of the second metal, it is 0.5 nm / sec or less, particularly 0.2 nm / sec or less. When two or more kinds of metals (for example, Pt and Cu) are used as the first metal, it is preferable that the sum of vapor deposition rates of the substances forming the first metal is 1 nm / s or more,
More preferably, it is 2 nm / s or more. When two or more kinds of metals (for example, Mg and Ca) are used as the second metal, the sum of vapor deposition rates of the substances forming the second metal is 0.
It is preferably 5 nm / sec or less, particularly 0.2 nm / sec.
It is more preferably sec or less. By setting the vapor deposition rate of the first metal to be higher than the vapor deposition rate of the second metal in this way, a vapor deposition film composed of a large proportion of the first metal and a small proportion of the second metal can be obtained. By thus combining the first metal and the second metal, it is possible to obtain a cathode having an excellent electron injecting property. The film thickness of the cathode thus obtained is not particularly limited as long as there is conduction in the film, but is preferably 10 to 400 nm, and particularly preferably 30 to 200 nm.
【0011】本発明の有機EL素子の構成は、上述した
陰電極を備えた点以外は特に限定されるものではない。
例えば、有機EL素子の構成としては、陽極/発光層
/陰極、陽極/正孔注入層/発光層/陰極、陽極/
発光層/電子注入層/陰極、陽極/正孔注入層/発光
層/電子注入層/陰極、などがあるが、本発明の有機E
L素子はいかなる構成であってもよい。また、本発明の
有機EL素子を製造する場合、陰極以外の材料は特に限
定されるものではなく、種々の材料を用いて種々の方法
により形成することができる。The structure of the organic EL element of the present invention is not particularly limited except that the above-mentioned negative electrode is provided.
For example, the structure of the organic EL element is as follows: anode / light emitting layer / cathode, anode / hole injection layer / light emitting layer / cathode, anode /
Light emitting layer / electron injection layer / cathode, anode / hole injection layer / light emitting layer / electron injection layer / cathode, etc.
The L element may have any configuration. Further, when the organic EL device of the present invention is manufactured, the material other than the cathode is not particularly limited, and it can be formed by various methods using various materials.
【0012】例えば、発光層の材料として使用可能な有
機化合物としては、特に限定はないが、ベンゾチアゾー
ル系、ベンゾイミダゾール系、ベンゾオキサゾール系等
の蛍光増白剤、金属キレート化オキシノイド化合物、ス
チリルベンゼン系化合物等を挙げることができる。[0012] For example, the organic compound that can be used as the material for the light emitting layer is not particularly limited. Examples thereof include system compounds.
【0013】具体的に化合物名を示せば、例えば、特開
昭59−194393号公報に開示されているものが挙
げられる。その代表例としては、2,5−ビス(5,7
−ジ−t−ペンチル−2−ベンゾオキサゾリル)−1,
3,4−チアジアゾール、4,4′−ビス(5,7−t
−ペンチル−2−ベンゾオキサゾリル)スチルベン、
4,4′−ビス[5,7−ジ−(2−メチル−2−ブチ
ル)−2−ベンゾオキサゾリル]スチルベン、2,5−
ビス(5,7−ジ−t−ペンチル−2−ベンゾオキサゾ
リル)チオフェン、2,5−ビス[5−α,α−ジメチ
ルベンジル−2−ベンゾオキサゾリル]チオフェン、
2,5−ビス[5,7−ジ−(2−メチル−2−ブチ
ル)−2−ベンゾオキサゾリル]−3,4−ジフェニル
チオフェン、2,5−ビス(5−メチル−2−ベンゾオ
キサゾリル)チオフェン、4,4′−ビス(2−ベンゾ
オキサゾリル)ビフェニル、5−メチル−2−[2−
[4−(5−メチル−2−ベンゾオキサゾリル)フェニ
ル]ビニル]ベンゾオキサゾール、2−[2−(4−ク
ロロフェニル)ビニル]ナフト[1,2−d]オキサゾ
ール等のベンゾオキサゾール系、2,2′−(p−フェ
ニレンジビニレン)−ビスベンゾチアゾール等のベンゾ
チアゾール系、2−[2−[4−(2−ベンゾイミダゾ
リル)フェニル]ビニル]ベンゾイミダゾール、2−
[2−(4−カルボキシフェニル)ビニル]ベンゾイミ
ダゾール等のベンゾイミダゾール系等の蛍光増白剤が挙
げられる。さらに、他の有用な化合物は、ケミストリー
・オブ・シンセティック・ダイズ1971,628〜6
37頁および640頁に列挙されている。Specific examples of the compound name include those disclosed in JP-A-59-194393. A typical example is 2,5-bis (5,7
-Di-t-pentyl-2-benzoxazolyl) -1,
3,4-thiadiazole, 4,4'-bis (5,7-t
-Pentyl-2-benzoxazolyl) stilbene,
4,4'-bis [5,7-di- (2-methyl-2-butyl) -2-benzoxazolyl] stilbene, 2,5-
Bis (5,7-di-t-pentyl-2-benzoxazolyl) thiophene, 2,5-bis [5-α, α-dimethylbenzyl-2-benzoxazolyl] thiophene,
2,5-bis [5,7-di- (2-methyl-2-butyl) -2-benzoxazolyl] -3,4-diphenylthiophene, 2,5-bis (5-methyl-2-benzo) Oxazolyl) thiophene, 4,4'-bis (2-benzoxazolyl) biphenyl, 5-methyl-2- [2-
Benzoxazole-based compounds such as [4- (5-methyl-2-benzoxazolyl) phenyl] vinyl] benzoxazole and 2- [2- (4-chlorophenyl) vinyl] naphtho [1,2-d] oxazole, 2 , 2 '-(p-phenylenedivinylene) -bisbenzothiazole and other benzothiazoles, 2- [2- [4- (2-benzimidazolyl) phenyl] vinyl] benzimidazole, 2-
Examples include fluorescent whitening agents such as benzimidazole series such as [2- (4-carboxyphenyl) vinyl] benzimidazole. In addition, other useful compounds are Chemistry of Synthetic Soybean 1971, 628-6.
They are listed on pages 37 and 640.
【0014】前記キレート化オキシノイド化合物として
は、例えば特開昭63−295695号公報に開示され
ているものを用いることができる。その代表例として
は、トリス(8−キノリノール)アルミニウム、ビス
(8−キノリノール)マグネシウム、ビス(ベンゾ
[f]−8−キノリノール)亜鉛、ビス(2−メチル−
8−キノリノラート)アルミニウムオキシド、トリス
(8−キノリノール)インジウム、トリス(5−メチル
−8−キノリノール)アルミニウム、8−キノリノール
リチウム、、トリス(5−クロロ−8−キノリノール)
ガリウム、ビス(5−クロロ−8−キノリノール)カル
シウム、ポリ[亜鉛(II)−ビス(8−ヒドロキシ−5
−キノリノニル)メタン]等の8−ヒドロキシキノリン
系金属錯体やジリチウムエピントリジオン等が挙げられ
る。As the chelated oxinoid compound, for example, those disclosed in JP-A-63-295695 can be used. Typical examples thereof are tris (8-quinolinol) aluminum, bis (8-quinolinol) magnesium, bis (benzo [f] -8-quinolinol) zinc, bis (2-methyl-).
8-quinolinolate) aluminum oxide, tris (8-quinolinol) indium, tris (5-methyl-8-quinolinol) aluminum, 8-quinolinol lithium, tris (5-chloro-8-quinolinol)
Gallium, bis (5-chloro-8-quinolinol) calcium, poly [zinc (II) -bis (8-hydroxy-5)
-Quinolinonyl) methane] and the like, 8-hydroxyquinoline-based metal complexes, dilithium epinetridione, and the like.
【0015】また、前記スチリルベンゼン系化合物とし
ては、例えば欧州特許第0319881号明細書や欧州
特許第0373582号明細書に開示されているものを
用いることができる。その代表例としては、1,4−ビ
ス(2−メチルスチリル)ベンゼン、1,4−ビス(3
−メチルスチリル)ベンゼン、1,4−ビス(4−メチ
ルスチリル)ベンゼン、ジスチリルベンゼン、1,4−
ビス(2−エチルスチリル)ベンゼン、1,4−ビス
(3−エチルスチリル)ベンゼン、1,4−ビス(2−
メチルスチリル)−2−メチルベンゼン、1,4−ビス
(2−メチルスチリル)−2−エチルベンゼン等が挙げ
られる。As the styrylbenzene compound, for example, those disclosed in European Patent No. 0319881 and European Patent No. 0373582 can be used. As typical examples thereof, 1,4-bis (2-methylstyryl) benzene and 1,4-bis (3
-Methylstyryl) benzene, 1,4-bis (4-methylstyryl) benzene, distyrylbenzene, 1,4-
Bis (2-ethylstyryl) benzene, 1,4-bis (3-ethylstyryl) benzene, 1,4-bis (2-
Methylstyryl) -2-methylbenzene, 1,4-bis (2-methylstyryl) -2-ethylbenzene and the like can be mentioned.
【0016】また、特開平2−252793号公報に開
示されているジスチリルピラジン誘導体も発光層の材料
として用いることができる。その代表例としては、2,
5−ビス(4−メチルスチリル)ピラジン、2,5−ビ
ス(4−エチルスチリル)ピラジン、2,5−ビス[2
−(1−ナフチル)ビニル]ピラジン、2,5−ビス
(4−メトキシスチリル)ピラジン、2,5−ビス[2
−(4−ビフェニル)ビニル]ピラジン、2,5−ビス
[2−(1−ピレニル)ビニル]ピラジン等が挙げられ
る。その他のものとして、例えば欧州特許第03877
15号明細書に開示されているポリフェニル系化合物も
発光層の材料として用いることもできる。The distyrylpyrazine derivative disclosed in JP-A-2-252793 can also be used as a material for the light emitting layer. Typical examples are 2,
5-bis (4-methylstyryl) pyrazine, 2,5-bis (4-ethylstyryl) pyrazine, 2,5-bis [2
-(1-naphthyl) vinyl] pyrazine, 2,5-bis (4-methoxystyryl) pyrazine, 2,5-bis [2
Examples include-(4-biphenyl) vinyl] pyrazine and 2,5-bis [2- (1-pyrenyl) vinyl] pyrazine. Others include, for example, European Patent No. 03877.
The polyphenyl compound disclosed in Japanese Patent No. 15 can also be used as a material for the light emitting layer.
【0017】さらに、上述した蛍光増白剤、金属キレー
ト化オキシノイド化合物、およびスチリルベンゼン系化
合物等以外に、例えば12−フタロペリノン(J.Appl.P
hys., 第27巻,L713(1988年))、1,4−
ジフェニル−1,3−ブタジエン、1,1,4,4−テ
トラフェニル−1,3−ブタジエン(以上、Appl.Phys.
Lett.,第56巻,L799(1990年))、ナフタル
イミド誘導体(特開平2−305886号公報)、ペリ
レン誘導体(特開平2−189890号公報)、オキサ
ジアゾール誘導体(特開平2−216791号公報、ま
たは第38回応用物理学関係連合講演会で浜田らによっ
て開示されたオキサジアゾール誘導体)、アルダジン誘
導体(特開平2−220393号公報)、ピラジリン誘
導体(特開平2−220394号公報)、シクロペンタ
ジエン誘導体(特開平2−289675号公報)、ピロ
ロピロール誘導体(特開平2−296891号公報)、
スチリルアミン誘導体(Appl.Phys.Lett.,第56巻,L
799(1990年))、クマリン系化合物(特開平2
−191694号公報)、国際公開公報WO90/13
148やAppl.Phys.Lett.,vol 58,18,P1982(1991) に記
載されているような高分子化合物等も、発光層の材料と
して用いることができる。Further, in addition to the above-mentioned optical brightener, metal chelated oxinoid compound, styrylbenzene compound, etc., for example, 12-phthaloperinone (J.Appl.P).
hys., 27, L713 (1988)), 1,4-
Diphenyl-1,3-butadiene, 1,1,4,4-tetraphenyl-1,3-butadiene (above, Appl. Phys.
Lett., Volume 56, L799 (1990)), naphthalimide derivative (JP-A-2-305886), perylene derivative (JP-A-2-189890), oxadiazole derivative (JP-A-2-216791). Publication, or the oxadiazole derivative disclosed by Hamada et al. At the 38th Joint Lecture on Applied Physics), aldazine derivative (JP-A-2-220393), pyrazirine derivative (JP-A-2-220394), Cyclopentadiene derivative (JP-A-2-289675), pyrrolopyrrole derivative (JP-A-2-296891),
Styrylamine derivatives (Appl. Phys. Lett., Volume 56, L
799 (1990)), coumarin-based compounds (JP-A-2
-191694), International Publication WO90 / 13.
148 and Appl. Phys. Lett., Vol 58, 18, P1982 (1991) and the like can also be used as a material for the light emitting layer.
【0018】本発明では、特に発光層の材料として、芳
香族ジメチリディン系化合物(欧州特許第038876
8号明細書や特開平3−231970号公報に開示のも
の)を用いることが好ましい。具体例としては、1,4
−フェニレンジメチリディン、4,4′−フェニレンジ
メチリディン、2,5−キシリレンジメチリディン、
2,6−ナフチレンジメチリディン、1,4−ビフェニ
レンジメチリディン、1,4−p−テレフェニレンジメ
チリディン、9,10−アントラセンジイルジメチリデ
ィン、4,4′−ビス(2,2−ジ−t−ブチルフェニ
ルビニル)ビフェニル(以下、DTBPVBiと略記す
る)、4,4′−ビス(2,2−ジフェニルビニル)ビ
フェニル(以下、DPVBiと略記する)等、およびそ
れらの誘導体が挙げられる。In the present invention, an aromatic dimethylidyne compound (European Patent No. 038876) is used as a material for the light emitting layer.
No. 8 and those disclosed in JP-A-3-231970) are preferably used. As a specific example, 1,4
-Phenylenedimethylidene, 4,4'-Phenylenedimethylidene, 2,5-Xylylenedimethylidene,
2,6-naphthylene dimethylidene, 1,4-biphenylene dimethylidene, 1,4-p-terephenylene dimethylidene, 9,10-anthracene diyldimethylidene, 4,4′-bis (2,2) 2-di-t-butylphenylvinyl) biphenyl (hereinafter abbreviated as DTBPVBi), 4,4′-bis (2,2-diphenylvinyl) biphenyl (hereinafter abbreviated as DPVBi), and the like, and derivatives thereof. Can be mentioned.
【0019】上記材料を用いて発光層を形成する方法と
しては、例えば蒸着法、スピンコート法、キャスト法、
LB法等の公知の方法を適用することができる。発光層
は、特に分子堆積膜であることが好ましい。ここで分子
堆積膜とは、気相状態の材料化合物から沈着され形成さ
れた薄膜や、溶液状態または液相状態の材料化合物から
固体化され形成された膜のことであり、通常この分子堆
積膜は、LB法により形成された薄膜(分子累積膜)と
は凝集構造、高次構造の相違や、それに起因する機能的
な相違により区分することができる。また、特開昭57
−51781号公報等に開示されているように、樹脂等
の結着剤と材料化合物とを溶剤に溶かして溶液とした
後、これをスピンコート法等により薄膜化することによ
っても、発光層を形成することができる。As a method for forming a light emitting layer using the above materials, for example, a vapor deposition method, a spin coating method, a casting method,
A known method such as the LB method can be applied. The light emitting layer is preferably a molecular deposition film. Here, the molecular deposition film refers to a thin film formed by depositing a material compound in a vapor phase state or a film formed by solidifying a material compound in a solution state or a liquid phase state, and usually this molecular deposition film. Can be distinguished from the thin film (molecular cumulative film) formed by the LB method based on the difference in agglomeration structure and higher-order structure, and the functional difference resulting therefrom. In addition, JP-A-57
As disclosed in JP-A-51781 and the like, a light emitting layer can also be obtained by dissolving a binder such as a resin and a material compound in a solvent to form a solution, and then thinning the solution by a spin coating method or the like. Can be formed.
【0020】このようにして形成される発光層の膜厚に
ついては特に制限はなく、状況に応じて適宜選択するこ
とができるが、通常5nm〜5μmの範囲が好ましい。
有機EL素子における発光層は、電界印加時に、陽極ま
たは正孔注入層から正孔を注入することができ、かつ陰
極または電子注入層から電子を注入することができる注
入機能、注入された電荷(電子と正孔)を電界の力で移
動させる輸送機能、電子と正孔の再結合の場を提供し、
これを発光につなげる発光機能等を有している。なお、
正孔の注入されやすさと電子の注入されやすさとの間に
は違いがあっても構わない。また、正孔と電子の移動度
で表される輸送機能に大小があってもよいが、少なくと
もどちらか一方を移動させることが好ましい。The thickness of the light emitting layer thus formed is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the situation, but is usually preferably in the range of 5 nm to 5 μm.
The light emitting layer in the organic EL device has an injection function capable of injecting holes from the anode or the hole injection layer and electrons from the cathode or the electron injection layer when an electric field is applied, and the injected charge ( It provides a transport function to move (electrons and holes) by the force of the electric field, a field for recombination of electrons and holes,
It has a light-emitting function that connects this to light emission. In addition,
There may be a difference between the ease with which holes are injected and the ease with which electrons are injected. The transport function represented by the mobilities of holes and electrons may have different sizes, but it is preferable to move at least one of them.
【0021】陽極の材料としては、仕事関数の大きい
(4eV以上)金属、合金、電気伝導性化合物またはこ
れらの混合物が好ましく用いられる。具体例としてはA
u等の金属、CuI、ITO、SnO2 、ZnO等の誘
電性透明材料が挙げられる。陽極は、蒸着法やスパッタ
法等の方法で上記材料の薄膜を形成することにより作製
することができる。発光層からの発光を陽極より取り出
す場合、陽極の透過率は10%より大きいことが望まし
い。また、陽極のシート抵抗は数百Ω/□以下が好まし
い。陽極の膜厚は材料にもよるが、通常10nm〜1μ
m、好ましくは10〜200nmの範囲で選択される。As the material of the anode, a metal, an alloy, an electrically conductive compound or a mixture thereof having a high work function (4 eV or more) is preferably used. As a specific example,
Examples thereof include metals such as u and dielectric transparent materials such as CuI, ITO, SnO 2 , and ZnO. The anode can be manufactured by forming a thin film of the above material by a method such as a vapor deposition method or a sputtering method. When the light emitted from the light emitting layer is taken out from the anode, the transmittance of the anode is preferably higher than 10%. The sheet resistance of the anode is preferably several hundred Ω / □ or less. The thickness of the anode depends on the material, but is usually 10 nm to 1 μm.
m, preferably in the range of 10 to 200 nm.
【0022】必要に応じて設けられる正孔注入層の材料
としては、従来より光導伝材料の正孔注入材料として慣
用されているものや有機EL素子の正孔注入層に使用さ
れている公知のものの中から任意のものを選択して用い
ることができる。正孔注入層の材料は、正孔の注入、電
子の障壁性のいづれかを有するものであり、有機物ある
いは無機物のどちらでもよい。As a material for the hole injection layer provided as necessary, known materials conventionally used as a hole injection material for an optical transmission material and a known hole injection layer for an organic EL element are used. Any one can be selected and used from the things. The material of the hole injection layer has either hole injection or electron barrier properties, and may be either an organic substance or an inorganic substance.
【0023】具体例としては、例えばトリアゾール誘導
体(米国特許第3,112,197号明細書等参照)、
オキサジアゾール誘導体(米国特許第3,189,44
7号明細書等参照)、イミダゾール誘導体(特公昭37
−16096号公報等参照)、ポリアリールアルカン誘
導体(米国特許第3,615,402号明細書、同第
3,820,989号明細書、同第3,542,544
号明細書、特公昭45−555号公報、同51−109
83号公報、特開昭51−93224号公報、同55−
17105号公報、同56−4148号公報、同55−
108667号公報、同55−156953号公報、同
56−36656号公報等参照)、ピラゾリン誘導体お
よびピラゾロン誘導体(米国特許第3,180,729
号明細書、同第4,278,746号明細書、特開昭5
5−88064号公報、同55−88065号公報、同
49−105537号公報、同55−51086号公
報、同56−80051号公報、同56−88141号
公報、同57−45545号公報、同54−11263
7号公報、同55−74546号公報等参照)、フェニ
レンジアミン誘導体(米国特許第3,615,404号
明細書、特公昭51−10105号公報、同46−37
12号公報、同47−25336号公報、特開昭54−
53435号公報、同54−110536号公報、同5
4−119925号公報等参照)、アリールアミン誘導
体(米国特許第3,567,450号明細書、同第3,
180,703号明細書、同第3,240,597号明
細書、同第3,658,520号明細書、同第4,23
2,103号明細書、同第4,175,961号明細
書、同第4,012,376号明細書、特公昭49−3
5702号公報、同39−27577号公報、特開昭5
5−144250号公報、同56−119132号公
報、同56−22437号公報、西独特許第1,11
0,518号明細書等参照)、アミノ置換カルコン誘導
体(米国特許第3,526,501号明細書等参照)、
オキサゾール誘導体(米国特許第3,257,203号
明細書等に開示のもの)、スチリルアントラセン誘導体
(特開昭56−46234号公報等参照)、フルオレノ
ン誘導体(特開昭54−110837号公報等参照)、
ヒドラゾン誘導体(米国特許第3,717,462号明
細書、特開昭54−59143号公報、同55−520
63号公報、同55−52064号公報、同55−46
760号公報、同55−85495号公報、同57−1
1350号公報、同57−148749号公報、特開平
2−311591号公報等参照)、スチルベン誘導体
(特開昭61−210363号公報、同61−2284
51号公報、同61−14642号公報、同61−72
255号公報、同62−47646号公報、同62−3
6674号公報、同62−10652号公報、同62−
30255号公報、同60−93445号公報、同60
−94462号公報、同60−174749号公報、同
60−175052号公報等参照)、シラザン誘導体
(米国特許第4,950,950号明細書)、ポリシラ
ン系(特開平2−204996号公報)、アニリン系共
重合体(特開平2−282263号公報)、特開平1−
211399号公報に開示されている導電性高分子オリ
ゴマー(特にチオフェンオリゴマー)等を挙げることが
できる。Specific examples include, for example, triazole derivatives (see US Pat. No. 3,112,197),
Oxadiazole derivative (US Pat. No. 3,189,44
No. 7, etc.), imidazole derivatives (Japanese Patent Publication No. 37)
-16096, etc.), polyarylalkane derivatives (U.S. Pat. Nos. 3,615,402, 3,820,989, and 3,542,544).
Specification, Japanese Patent Publication No. 45-555, 51-109
83, JP-A-51-93224, 55-
17105, 56-4148, 55-
108667, 55-156953, 56-36656, etc.), pyrazoline derivatives and pyrazolone derivatives (US Pat. No. 3,180,729).
No. 4,278,746, JP-A-5
No. 5-88064, No. 55-88065, No. 49-105537, No. 55-51086, No. 56-80051, No. 56-88141, No. 57-45545, No. 54. -11263
No. 7, JP-A-55-74546, etc.), phenylenediamine derivatives (US Pat. No. 3,615,404, JP-B-51-10105, JP-A-46-37).
12, JP-A-47-25336, JP-A-54-
No. 53435, No. 54-110536, No. 5
No. 4,119,925), arylamine derivatives (U.S. Pat. No. 3,567,450, U.S. Pat. No. 3,567,450).
180,703, 3,240,597, 3,658,520, 4,23.
2,103, 4,175,961, 4,012,376, and JP-B-49-3.
5702, 39-27577, and JP-A-5
No. 5-144250, No. 56-119132, No. 56-22437, West German Patent No. 1,11.
0518, etc.), amino-substituted chalcone derivatives (see US Pat. No. 3,526,501, etc.),
Oxazole derivatives (disclosed in US Pat. No. 3,257,203, etc.), styrylanthracene derivatives (see JP-A-56-46234, etc.), fluorenone derivatives (see JP-A-54-110837, etc.) ),
Hydrazone derivatives (U.S. Pat. No. 3,717,462, JP-A-54-59143, JP-A-55-520)
63, 55-52064, 55-46.
No. 760, No. 55-85495, No. 57-1.
No. 1350, No. 57-148749, and Japanese Unexamined Patent Publication No. 2-311591, and stilbene derivatives (Japanese Unexamined Patent Publication Nos. 61-210363 and 61-2284).
No. 51, No. 61-14642, No. 61-72.
No. 255, No. 62-47646, No. 62-3.
6674, 62-10652, and 62-
No. 30255, No. 60-93445, No. 60
-94462, 60-174749, 60-175052, etc.), silazane derivatives (U.S. Pat. No. 4,950,950), polysilanes (JP-A-2-204996), Aniline-based copolymer (JP-A-2-28263), JP-A-1-
Examples thereof include conductive polymer oligomers (particularly thiophene oligomers) disclosed in Japanese Patent Publication No. 211399.
【0024】正孔注入層の材料としては上記のものを使
用することができるが、ポルフィリン化合物(特開昭6
3−2956965号公報等に開示のもの)、芳香族第
三級アミン化合物およびスチリルアミン化合物(米国特
許第4,127,412号明細書、特開昭53−270
33号公報、同54−58445号公報、同54−14
9634号公報、同54−64299号公報、同55−
79450号公報、同55−144250号公報、同5
6−119132号公報、同61−295558号公
報、同61−98353号公報、同63−295695
号公報等参照)、特に芳香族第三級アミン化合物を用い
ることが好ましい。The above-mentioned materials can be used as the material for the hole injection layer.
No. 3,295,965), aromatic tertiary amine compounds and styrylamine compounds (US Pat. No. 4,127,412, JP-A-53-270).
No. 33, No. 54-58445, No. 54-14
No. 9634, No. 54-64299, No. 55-
79450, 55-144250, and 5
6-119132, 61-295558, 61-98353, 63-295695.
It is preferable to use aromatic tertiary amine compounds.
【0025】上記ポルフィリン化合物の代表例として
は、ポルフィン、1,10,15,20−テトラフェニ
ル−21H,23H−ポルフィン銅(II)、1,10,
15,20−テトラフェニル−21H,23H−ポルフ
ィン亜鉛(II)、5,10,15,20−テトラキス
(ペンタフルオロフェニル)−21H,23H−ポルフ
ィン、シリコンフタロシアニンオキシド、アルミニウム
フタロシアニンクロリド、フタロシアニン(無金属)、
ジリチウムフタロシアニン、銅テトラメチルフタロシア
ニン、銅フタロシアニン、クロムフタロシアニン、亜鉛
フタロシアニン、鉛フタロシアニン、チタニウムフタロ
シアニンオキシド、Mgフタロシアニン、銅オクタメチ
ルフタロシアニン等があげられる。Typical examples of the porphyrin compound include porphine, 1,10,15,20-tetraphenyl-21H, 23H-porphine copper (II), 1,10,
15,20-Tetraphenyl-21H, 23H-porphine zinc (II), 5,10,15,20-tetrakis (pentafluorophenyl) -21H, 23H-porphine, silicon phthalocyanine oxide, aluminum phthalocyanine chloride, phthalocyanine (metal-free ),
Examples thereof include dilithium phthalocyanine, copper tetramethylphthalocyanine, copper phthalocyanine, chromium phthalocyanine, zinc phthalocyanine, lead phthalocyanine, titanium phthalocyanine oxide, Mg phthalocyanine, and copper octamethylphthalocyanine.
【0026】また、前記芳香族第三級アミン化合物およ
びスチリルアミン化合物の代表例としては、N,N,
N′,N′−テトラフェニル−4,4′−ジアミノフェ
ニル、N,N′−ジフェニル−N,N′−ビス−(3−
メチルフェニル)−[1,1′−ビフェニル]−4,
4′−ジアミン(以下、TPDと略記する)、2,2−
ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)プロパン、
1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)シ
クロヘキサン、N,N,N′,N′−テトラ−p−トリ
ル−4,4′−ジアミノビフェニル、1,1−ビス(4
−ジ−p−トリルアミノフェニル)−4−フェニルシク
ロヘキサン、ビス(4−ジメチルアミノ−2−メチルフ
ェニル)フェニルメタン、ビス(4−ジ−p−トリルア
ミノフェニル)フェニルメタン、N,N′−ジフェニル
−N,N′−ジ(4−メトキシフェニル)−4,4′−
ジアミノビフェニル、N,N,N′,N′−テトラフェ
ニル−4,4′−ジアミノジフェニルエーテル、4,
4′−ビス(ジフェニルアミノ)クオードリフェニル、
N,N,N−トリ(p−トリル)アミン、4−(ジ−p
−トリルアミノ)−4′−[4(ジ−p−トリルアミ
ノ)スチリル]スチルベン、4−N,N−ジフェニルア
ミノ−(2−ジフェニルビニル)ベンゼン、3−メトキ
シ−4′−N,N−ジフェニルアミノスチルベンゼン、
N−フェニルカルバゾール等が挙げられる。また、発光
層の材料として示した前述の芳香族ジメチリディン系化
合物も、正孔注入層の材料として使用することができ
る。Typical examples of the aromatic tertiary amine compound and the styrylamine compound are N, N,
N ', N'-tetraphenyl-4,4'-diaminophenyl, N, N'-diphenyl-N, N'-bis- (3-
Methylphenyl)-[1,1'-biphenyl] -4,
4'-diamine (hereinafter abbreviated as TPD), 2,2-
Bis (4-di-p-tolylaminophenyl) propane,
1,1-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) cyclohexane, N, N, N ′, N′-tetra-p-tolyl-4,4′-diaminobiphenyl, 1,1-bis (4
-Di-p-tolylaminophenyl) -4-phenylcyclohexane, bis (4-dimethylamino-2-methylphenyl) phenylmethane, bis (4-di-p-tolylaminophenyl) phenylmethane, N, N'- Diphenyl-N, N'-di (4-methoxyphenyl) -4,4'-
Diaminobiphenyl, N, N, N ', N'-tetraphenyl-4,4'-diaminodiphenyl ether, 4,
4'-bis (diphenylamino) quadriphenyl,
N, N, N-tri (p-tolyl) amine, 4- (di-p
-Tolylamino) -4 '-[4 (di-p-tolylamino) styryl] stilbene, 4-N, N-diphenylamino- (2-diphenylvinyl) benzene, 3-methoxy-4'-N, N-diphenylamino Stillebenzene,
Examples thereof include N-phenylcarbazole. Further, the above-mentioned aromatic dimethylidyne compound shown as the material for the light emitting layer can also be used as the material for the hole injection layer.
【0027】正孔注入層は、上述した化合物を、例えば
真空蒸着法、スピンコート法、キャスト法、LB法等の
公知の方法により薄膜化することにより形成することが
できる。正孔注入層としての膜厚は特に制限されない
が、通常は5nm〜5μmである。この正孔注入層は、
上述した材料の1種または2種以上からなる一層構造で
あってもよいし、同一組成または異種組成の複数層から
なる複層構造であってもよい。The hole injection layer can be formed by forming the above compound into a thin film by a known method such as a vacuum vapor deposition method, a spin coating method, a casting method and an LB method. The thickness of the hole injection layer is not particularly limited, but is usually 5 nm to 5 μm. This hole injection layer is
It may have a single-layer structure composed of one or more of the above-mentioned materials, or may have a multi-layer structure composed of a plurality of layers having the same composition or different compositions.
【0028】必要に応じて設けられる電子注入層は、陰
極より注入された電子を発光層に伝達する機能を有して
いればよく、その材料としては従来公知の化合物の中か
ら任意のものを選択して用いることができる。The electron-injection layer, which is provided as necessary, may have a function of transmitting the electrons injected from the cathode to the light-emitting layer, and its material may be any one of the conventionally known compounds. It can be selected and used.
【0029】具体例としては、ニトロ置換フルオレノン
誘導体、特開昭57−149259号公報、同58−5
5450号公報、同63−104061号公報等に開示
されているアントラキノジメタン誘導体、Polymer Prep
rints,Japan Vol.37,No.3(1988)p.681等に記載されてい
るジフェニルキノン誘導体、チオピランジオキシド誘導
体、ナフタレンペリレン等の複素環テトラカルボン酸無
水物、カルボジイミド、Japanese Journal of Applied
Physics,27,L 269(1988)、特開昭60−69657号公
報、同61−143764号公報、同61−14815
9号公報等に開示されているフレオレニリデンメタン誘
導体、特開昭61−225151号公報、同61−23
3750号公報等に開示されているアントラキノジメタ
ン誘導体およびアントロン誘導体、Appl.Phys.Lett.,5
5,15,1489や前述の第38回応用物理学関係連合講演会
で浜田らによって開示されたオキサジアゾール誘導体、
特開昭59−194393号公報に開示されている一連
の電子伝達性化合物等が挙げられる。なお、特開昭59
−194393号公報では前記電子伝達性化合物を発光
層の材料として開示しているが、本発明者らの検討によ
れば、電子注入層の材料としても用いることができるこ
とが明らかとなった。Specific examples include nitro-substituted fluorenone derivatives, JP-A-57-149259 and JP-A-58-5.
5450, 63-104061 and the like, anthraquinodimethane derivatives disclosed in Polymer Prep
rints, Japan Vol.37, No. 3 (1988) p.681 etc., diphenylquinone derivative, thiopyran dioxide derivative, heterocyclic tetracarboxylic acid anhydride such as naphthaleneperylene, carbodiimide, Japanese Journal of Applied
Physics, 27, L 269 (1988), JP-A-60-69657, JP-A-61-143764, and JP-A-61-114815.
9 and the like, fluorenylidene methane derivatives, JP-A-61-225151 and 61-23.
Anthraquinodimethane derivatives and anthrone derivatives disclosed in Japanese Patent No. 3750, Appl. Phys. Lett., 5
5,15,1489 and the oxadiazole derivative disclosed by Hamada et al. At the 38th Joint Lecture Meeting on Applied Physics,
A series of electron-transporting compounds disclosed in JP-A-59-194393 can be mentioned. Incidentally, JP-A-59
Although the electron-transporting compound is disclosed as a material for the light-emitting layer in Japanese Patent Laid-Open No. 194393, the inventors of the present invention have found that it can be used as a material for the electron-injecting layer.
【0030】また、8−キノリノール誘導体の金属錯
体、具体的にはトリス(8−キノリノール)アルミニウ
ム、トリス(5,7−ジクロロ−8−キノリノール)ア
ルミニウム、トリス(5,7−ジブロモ−8−キノリノ
ール)アルミニウム、トリス(2−メチル−8−キノリ
ノール)アルミニウム等や、これらの金属錯体の中心金
属がIn、Mg、Cu、Ca、Sn、またはPbに置き
代わった金属錯体等も電子注入層の材料として用いるこ
とができる。その他に、メタルフリーあるいはメタルフ
タロシアニン、またはそれらの末端がアルキル基、スル
ホン基等で置換されているものも望ましい。また、発光
層の材料として例示したジスチリルピラジン誘導体も、
電子注入層の材料として用いることができる。Metal complexes of 8-quinolinol derivatives, specifically, tris (8-quinolinol) aluminum, tris (5,7-dichloro-8-quinolinol) aluminum, tris (5,7-dibromo-8-quinolinol). ) Aluminum, tris (2-methyl-8-quinolinol) aluminum, and the like, and metal complexes in which the central metal of these metal complexes is replaced with In, Mg, Cu, Ca, Sn, or Pb, etc. are also materials for the electron injection layer. Can be used as In addition, metal-free or metal phthalocyanine, or those in which the terminal thereof is substituted with an alkyl group, a sulfone group or the like is also desirable. Further, the distyrylpyrazine derivatives exemplified as the material for the light emitting layer are also
It can be used as a material for the electron injection layer.
【0031】電子注入層は、上述した化合物を、例えば
真空蒸着法、スピンコート法、キャスト法、LB法等の
公知の方法により薄膜化することにより形成することが
できる。電子注入層としての膜厚は特に制限されない
が、通常は5nm〜5μmである。この電子注入層は、
上述した材料の1種または2種以上からなる一層構造で
あってもよいし、同一組成または異種組成の複数層から
なる複層構造であってもよい。The electron injection layer can be formed by thinning the above compound by a known method such as a vacuum vapor deposition method, a spin coating method, a casting method and an LB method. The thickness of the electron injection layer is not particularly limited, but is usually 5 nm to 5 μm. This electron injection layer is
It may have a single-layer structure composed of one or more of the above-mentioned materials, or may have a multi-layer structure composed of a plurality of layers having the same composition or different compositions.
【0032】なお正孔注入層の材料としては、p型−S
i、p型−SiC等の無機化合物からなる正孔注入輸送
材料を用いることもでき、電子注入層の材料としては、
n型−Si、n型−SiC等の無機化合物からなる電子
注入輸送材料を用いることもできる。正孔注入層用の無
機材料および電子注入層用の無機材料の具体例として
は、国際公開公報WO90/05998に開示されてい
る無機半導体が挙げられる。The material of the hole injection layer is p-type-S.
A hole injecting and transporting material composed of an inorganic compound such as i, p-type-SiC can also be used, and as a material for the electron injecting layer,
An electron injecting and transporting material made of an inorganic compound such as n-type-Si or n-type-SiC can also be used. Specific examples of the inorganic material for the hole injection layer and the inorganic material for the electron injection layer include the inorganic semiconductors disclosed in International Publication WO90 / 05998.
【0033】以上例示した材料および方法により発光
層、陽極、必要に応じての正孔注入層、および必要に応
じての電子注入層を形成し、前述した方法により陰電極
を形成することにより製造することができる本発明の有
機EL素子は、前述したようにいかなる構成であっても
よいが、以下に、基板上に陽極/正孔注入層/発光層/
陰極が順次設けられた構成の有機EL素子を製造する場
合の一例を簡単に説明する。Produced by forming a light emitting layer, an anode, a hole injecting layer if necessary, and an electron injecting layer if necessary by using the materials and methods exemplified above, and forming a negative electrode by the method described above. The organic EL device of the present invention that can be formed may have any structure as described above, but the following will be described below on the substrate: anode / hole injection layer / light-emitting layer /
An example of manufacturing an organic EL device having a structure in which a cathode is sequentially provided will be briefly described.
【0034】まず適当な基板上に、陽極材料からなる薄
膜を1μm以下、好ましくは10〜200nmの範囲の
膜厚になるように蒸着やスパッタリング等の方法により
形成して、陽極を作製する。次に、この陽極上に正孔注
入層を設ける。正孔注入層の形成は、前述したように真
空蒸着法、スピンコート法、キャスト法、LB法等の方
法により行うことができるが、均質な膜が得られやす
く、かつピンホールが生成しにくい等の点から、真空蒸
着法により形成することが好ましい。真空蒸着法により
正孔注入層を形成する場合、その蒸着条件は、使用する
化合物(正孔注入層の材料)、目的とする正孔注入層の
結晶構造や再結合構造等により異なるが、一般に蒸着源
温度50〜450℃、真空度10-5〜10-3Pa、蒸着
速度0.01〜50nm/sec 、基板温度−50〜30
0℃、膜厚5nm〜5μmの範囲で適宜選択することが
好ましい。First, a thin film made of an anode material is formed on a suitable substrate by a method such as vapor deposition or sputtering so as to have a film thickness of 1 μm or less, preferably 10 to 200 nm, to prepare an anode. Next, a hole injection layer is provided on this anode. The hole injection layer can be formed by a method such as a vacuum deposition method, a spin coating method, a casting method, and an LB method as described above, but a uniform film is easily obtained and pinholes are not easily generated. From the viewpoints of the above, it is preferable to form by the vacuum deposition method. When the hole injection layer is formed by a vacuum deposition method, the deposition conditions vary depending on the compound used (the material of the hole injection layer), the crystal structure or recombination structure of the target hole injection layer, etc. Deposition source temperature 50 to 450 ° C., vacuum degree 10 −5 to 10 −3 Pa, deposition rate 0.01 to 50 nm / sec, substrate temperature −50 to 30.
It is preferable to select appropriately in the range of 0 ° C. and the film thickness of 5 nm to 5 μm.
【0035】次にこの正孔注入層上に、発光層を設け
る。発光層の形成も、所望の有機発光材料を用いて真空
蒸着法、スピンコート法、キャスト法等の方法により有
機発光材料を薄膜化することにより形成できるが、均質
な膜が得られやすく、かつピンボールが生成しにくい等
の点から、真空蒸着法により形成することが望ましい。
真空蒸着法により発光層を形成する場合その蒸着条件
は、使用する化合物により異なるが一般に上記正孔注入
層と同じような条件範囲の中から選択することができ
る。Next, a light emitting layer is provided on the hole injection layer. The light emitting layer can also be formed by thinning the organic light emitting material using a desired organic light emitting material by a method such as a vacuum deposition method, a spin coating method, or a casting method, but a uniform film is easily obtained, and It is preferable to form the pinball by the vacuum deposition method because it is difficult to generate the pinball.
When the light emitting layer is formed by the vacuum vapor deposition method, the vapor deposition conditions can be selected from the same range of conditions as those for the hole injection layer, although the vapor deposition conditions vary depending on the compound used.
【0036】次に発光層を形成した後、この発光層上に
第1金属と第2金属とを多元同時蒸着して、陰極を形成
する。これにより目的とする有機EL素子が得られる。
第1金属と第2金属とを共に真空蒸着法により多元同時
蒸着して陰極を形成する場合の蒸着条件は、使用する第
1金属および第2金属の種類等により異なるが、一般に
蒸着源温度100〜5000℃、真空度1×10-2Pa
以下、基板温度−200〜500℃の範囲で適宜選択す
ることが好ましい。蒸着速度は上述のように第1金属が
1nm/sec 以上、特に2nm/sec 以上であり、第2金属
が0.5nm/sec 以下、特に0.2nm/sec 以下であ
る。陰極の膜厚は上述のように10〜400nm、特に
30〜200nmであるのが好ましい。なお、この有機
EL素子の製造においては、製造順を逆にして、基板上
に陰電極/発光層/正孔注入層/陽極の順に製造するこ
とも可能である。Next, after forming a light emitting layer, a first metal and a second metal are simultaneously vapor-deposited on the light emitting layer to form a cathode. As a result, the target organic EL device is obtained.
The vapor deposition conditions for forming the cathode by simultaneous vapor deposition of both the first metal and the second metal by a vacuum vapor deposition method differ depending on the types of the first metal and the second metal used, but generally the vapor deposition source temperature is 100. ~ 5000 ℃, vacuum degree 1 × 10 -2 Pa
Hereinafter, it is preferable to appropriately select the substrate temperature in the range of −200 to 500 ° C. As described above, the vapor deposition rate of the first metal is 1 nm / sec or more, especially 2 nm / sec or more, and the second metal is 0.5 nm / sec or less, especially 0.2 nm / sec or less. As described above, the thickness of the cathode is preferably 10 to 400 nm, and particularly preferably 30 to 200 nm. In the production of this organic EL element, it is also possible to reverse the production order and produce negative electrode / light emitting layer / hole injection layer / anode in this order on the substrate.
【0037】このようにして得られた、第1金属と第2
金属とを含む蒸着膜を陰極として備えた本発明の有機E
L素子は、安定な金属であるAu,Cu,Pt,Niの
うちの少なくとも1種を母体として使用しているので化
学的安定性に優れており、かつ実用域の発光効率を有す
る。なお、本発明の有機EL素子に直流電圧を印加する
場合、陽極を+、陰極を−の極性にして5〜40Vの電
圧を印加すると、発光が観測できる。また、逆の極性で
電圧を印加しても電流は流れず、発光は全く生じない。
さらに、交流電圧を印加した場合には、陽極が+、陰極
が−の極性になったときにのみ均一な発光が観測され
る。印加する交流の波形は任意でよい。The first metal and the second metal thus obtained
Organic E of the present invention provided with a deposited film containing a metal as a cathode
Since the L element uses at least one kind of stable metals Au, Cu, Pt, and Ni as a base material, it is excellent in chemical stability and has a luminous efficiency in a practical range. When a direct current voltage is applied to the organic EL device of the present invention, light emission can be observed by applying a voltage of 5 to 40 V with the anode having a positive polarity and the cathode having a negative polarity. Moreover, even if a voltage is applied with the opposite polarity, no current flows and no light emission occurs.
Furthermore, when an AC voltage is applied, uniform light emission is observed only when the anode has a positive polarity and the cathode has a negative polarity. The waveform of the alternating current applied may be arbitrary.
【0038】[0038]
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。 実施例1 25×75×1.1mmのサイズのガラス基板上にIT
O膜(陽極に相当)を100nmの厚さで成膜したもの
を透明支持基板とした。この透明支持基板をイソプロピ
ルアルコールで5分間超音波洗浄した後、純水で5分間
洗浄し、最後に再びイソプロピルアルコールで5分間超
音波洗浄した。洗浄後の透明支持基板を市販の真空蒸着
装置[日本真空技術(株)製]の基板ホルダーに固定
し、モリブデン製抵抗加熱ボートにN,N′−ジフェニ
ル−N,N′−ビス−(3−メチルフェニル)−(1,
1′−ビフェニル)−4,4′−ジアミン(以下、TP
Dという)を200mg入れ、また別のモリブデン製抵
抗加熱ボートに4,4′−ビス(2,2−ジフェニルビ
ニル)ビフェニル(以下、DPVBiという)を200
mg入れて、真空チャンバー内を1×10-4Paまで減
圧した。EXAMPLES Examples of the present invention will be described below. Example 1 IT on a glass substrate having a size of 25 × 75 × 1.1 mm
A 100-nm thick O film (corresponding to the anode) was used as a transparent support substrate. The transparent support substrate was ultrasonically cleaned with isopropyl alcohol for 5 minutes, then with pure water for 5 minutes, and finally again with isopropyl alcohol for 5 minutes. The transparent supporting substrate after cleaning was fixed to a substrate holder of a commercially available vacuum evaporation system [manufactured by Nippon Vacuum Technology Co., Ltd.], and N, N'-diphenyl-N, N'-bis- (3 -Methylphenyl)-(1,
1'-biphenyl) -4,4'-diamine (hereinafter TP
200 mg of D) and 200 g of 4,4'-bis (2,2-diphenylvinyl) biphenyl (hereinafter referred to as DPVBi) in another molybdenum resistance heating boat.
After adding mg, the pressure in the vacuum chamber was reduced to 1 × 10 −4 Pa.
【0039】次に、TPDを入れた前記抵抗加熱ボート
を215〜220℃まで加熱して、TPDを蒸着速度
0.1〜0.3nm/sec で透明支持基板のITO膜上に
堆積させて、膜厚60nmの正孔注入層を成膜した。こ
のときの基板温度は室温であった。これを真空チャンバ
ーから取り出すことなく、DPVBiを入れた前述のモ
リブデン製抵抗加熱ボートを250℃に加熱し、DPV
Biを0.1〜0.2nm/sec の蒸着速度で正孔注入
層上に堆積させて、膜厚40nmの発光層を成膜した。
このときの基板温度も室温であった。Next, the resistance heating boat containing TPD is heated to 215 to 220 ° C. to deposit TPD on the ITO film of the transparent support substrate at a deposition rate of 0.1 to 0.3 nm / sec. A hole injection layer having a film thickness of 60 nm was formed. The substrate temperature at this time was room temperature. Without removing this from the vacuum chamber, the above-mentioned molybdenum resistance heating boat containing DPVBi was heated to 250 ° C.
Bi was deposited on the hole injection layer at a vapor deposition rate of 0.1 to 0.2 nm / sec to form a light emitting layer having a film thickness of 40 nm.
The substrate temperature at this time was also room temperature.
【0040】上述のように、陽極、正孔注入層、発光層
を順次成膜した基板を真空チャンバーから取り出して、
上記発光層の上にステンレススチール製のマスクを設置
し、再び基板ホルダーに固定した。次に、モリブデン製
抵抗加熱ボートにトリス(8−キノリノール)アルミニ
ウム(Alq.)を200mg入れて真空チャンバー内
に装着した。さらに、アルミナ被覆タングステン製バス
ケットにAu(第1金属)のインゴットを8g入れ、ま
た別のモリブデン製ボートにMg(第2金属:仕事関数
3.68eV)のリボンを1gを入れた。As described above, the substrate on which the anode, the hole injection layer and the light emitting layer were sequentially formed was taken out of the vacuum chamber,
A stainless steel mask was placed on the light emitting layer and fixed again on the substrate holder. Next, 200 mg of tris (8-quinolinol) aluminum (Alq.) Was put into a resistance heating boat made of molybdenum and mounted in a vacuum chamber. Further, 8 g of Au (first metal) ingot was placed in the alumina-coated tungsten basket, and 1 g of Mg (second metal: work function 3.68 eV) ribbon was placed in another molybdenum boat.
【0041】その後真空チャンバー内を2×10-4Pa
まで減圧して、まずAlq.の入ったボートを280℃
に通電加熱してAlq.を0.3nm/sec の蒸着速度で
20nm蒸着して、電子注入層を成膜した。Then, the inside of the vacuum chamber was set to 2 × 10 −4 Pa.
Depressurize to Alq. 280 ℃ boat containing
To the Alq. Was evaporated at a deposition rate of 0.3 nm / sec for 20 nm to form an electron injection layer.
【0042】次に第1金属としてAu(仕事関数5.
1)を9nm/sec の蒸着速度で、そして、第2金属とし
てMg(仕事関数3.68)を0.04nm/sec の蒸着
速度で同時蒸着させて膜厚200nmのAu−Mg蒸着
膜からなる陰極を得た。このようにしてガラス基板上に
陽極、正孔注入層、発光層、電子注入層および陰極を設
けたことにより有機EL素子が得られた。Next, Au (work function 5.
1) is co-deposited at a deposition rate of 9 nm / sec and Mg (work function 3.68) as a second metal at a deposition rate of 0.04 nm / sec to form a 200 nm thick Au-Mg deposited film. A cathode was obtained. In this way, an organic EL device was obtained by providing the anode, hole injection layer, light emitting layer, electron injection layer and cathode on the glass substrate.
【0043】陰極のAuとMgの組成比は、蒸着速度の
比から下式The composition ratio of Au and Mg of the cathode is calculated by the following equation from the ratio of vapor deposition rates.
【数1】 により算出した。その結果Auの組成は99.3%、M
gの組成は0.7%であった。[Equation 1] It was calculated by As a result, the composition of Au was 99.3%, M
The composition of g was 0.7%.
【0044】また、得られた有機EL素子の陰極を−の
極性に、陽極(ITO膜)を+の極性にして12Vの直
流電圧(電流密度:2.5mA/cm2 )を印加したと
ころ、40cd/m2 の青色の均一発光が観測された。
このときの電力変換効率は、表1に示すように0.42
lm/Wであった。また空気中で6ヶ月放置後の陰極の
状態を調べたところ、表1に示すように変化がなく経時
的化学安定性に優れていた。A DC voltage of 12 V (current density: 2.5 mA / cm 2 ) was applied with the cathode of the obtained organic EL device having a negative polarity and the anode (ITO film) having a positive polarity. A uniform blue light emission of 40 cd / m 2 was observed.
The power conversion efficiency at this time is 0.42 as shown in Table 1.
It was lm / W. When the state of the cathode after being left in air for 6 months was examined, there was no change as shown in Table 1 and it was excellent in chemical stability over time.
【0045】実施例2 第1金属としてPt(仕事関数5.64)、第2金属と
してCa(仕事関数2.9)を用いて、Ptを蒸着速度
8.8nm/sec 、Caを蒸着速度0.2nm/sec で蒸着
した以外は実施例1と全く同様にして、有機EL素子を
得た。得られた有機EL素子における陰極の組成を計算
すると、この陰電極におけるPtの組成は98.4 at.
%であり、Caの組成は1.6%であった。また、得ら
れた有機EL素子の陰極を−の極性に、陽極(ITO
膜)を+の極性にして12Vの直流電圧(電流密度:
2.1mA/cm2 )を印加したところ、32cd/m
2 の青色の均一発光が観測された。このときの電力変換
効率は、表1に示すように0.4 lm/Wであった。ま
た表1に示すように陰極は経時的化学安定性に優れてい
た。Example 2 Using Pt (work function 5.64) as the first metal and Ca (work function 2.9) as the second metal, Pt deposition rate was 8.8 nm / sec and Ca deposition rate was 0. An organic EL device was obtained in exactly the same manner as in Example 1 except that vapor deposition was carried out at 0.2 nm / sec. When the composition of the cathode in the obtained organic EL device was calculated, the composition of Pt in this negative electrode was 98.4 at.
%, And the composition of Ca was 1.6%. In addition, the cathode of the obtained organic EL element is set to the negative polarity and the anode (ITO
12V DC voltage (current density:
When applied with 2.1 mA / cm 2 ), 32 cd / m
A uniform blue emission of 2 was observed. The power conversion efficiency at this time was 0.4 lm / W as shown in Table 1. Further, as shown in Table 1, the cathode was excellent in chemical stability over time.
【0046】実施例3 第1金属としてCu(仕事関数4.65)、第2金属と
してLi(仕事関数2.93)を用いて、Cuを蒸着速
度10nm/sec 、Liを蒸着速度0.04nm/sec で蒸
着した以外は実施例1と全く同様にして、有機EL素子
を得た。得られた有機EL素子における陰極の組成を計
算すると、この陰極におけるCuの組成は99.4 at.
%であり、Liの組成は0.6 at.%であった。また、
得られた有機EL素子の陰電極を−の極性に、陽電極
(ITO膜)を+の極性にして12Vの直流電圧(電流
密度:4.9mA/cm2 )を印加したところ、80c
d/m2 の青色の均一発光が観測された。このときの電
力変換効率は、表1に示すように0.43 lm/Wであ
った。また表1に示すように陰極は経時的化学安定性に
優れていた。Example 3 Cu (work function 4.65) was used as the first metal, and Li (work function 2.93) was used as the second metal. Cu was deposited at a deposition rate of 10 nm / sec and Li was deposited at a rate of 0.04 nm. An organic EL device was obtained in exactly the same manner as in Example 1 except that the vapor deposition was performed at / sec. When the composition of the cathode in the obtained organic EL device was calculated, the composition of Cu in this cathode was 99.4 at.
%, And the Li composition was 0.6 at.%. Also,
When the negative electrode of the obtained organic EL device was made to have a negative polarity and the positive electrode (ITO film) was made to have a positive polarity and a DC voltage of 12 V (current density: 4.9 mA / cm 2 ) was applied, 80c was obtained.
A uniform blue emission of d / m 2 was observed. The power conversion efficiency at this time was 0.43 lm / W as shown in Table 1. Further, as shown in Table 1, the cathode was excellent in chemical stability over time.
【0047】実施例4 第1金属としてNi(仕事関数5.15)、第2金属と
してMg(仕事関数3.68)を用い、かつNiの蒸着
速度を5nm/sec 、Mgの蒸着速度を0.2nm/sec と
した以外は実施例1と全く同様にして、有機EL素子を
得た。得られた有機EL素子における陰極の組成を計算
すると、この陰極におけるNiの組成は95 at.%であ
り、Mgの組成は5 at.%であった。また、得られた有
機EL素子の陰極を−の極性に、陽極(ITO膜)を+
の極性にして12Vの直流電圧(電流密度:1.6mA
/cm2 )を印加したところ、21cd/m2 の青色の
均一発光が観測された。このときの電力変換効率は表1
に示すように0.34 lm/Wであった。また表1に示
すように陰極は経時的化学安定性に優れていた。Example 4 Ni (work function 5.15) was used as the first metal, Mg (work function 3.68) was used as the second metal, the deposition rate of Ni was 5 nm / sec, and the deposition rate of Mg was 0. An organic EL device was obtained in exactly the same manner as in Example 1 except that it was set to 0.2 nm / sec. When the composition of the cathode in the obtained organic EL device was calculated, the composition of Ni in this cathode was 95 at.% And the composition of Mg was 5 at.%. In addition, the cathode of the obtained organic EL element has a negative polarity, and the anode (ITO film) has a positive polarity.
DC voltage of 12 V (current density: 1.6 mA)
/ Cm 2 ), a uniform blue emission of 21 cd / m 2 was observed. The power conversion efficiency at this time is shown in Table 1.
Was 0.34 lm / W. Further, as shown in Table 1, the cathode was excellent in chemical stability over time.
【0048】比較例1 第2金属であるMg(仕事関数3.68)およびCa
(仕事関数2.9)のみを用い、Mgを10nm/sec の
蒸着速度、Caを0.04nm/sec の蒸着速度で蒸着し
た以外は実施例1と全く同様にして、有機EL素子を得
た。得られた有機EL素子における陰極の組成を計算す
ると、この陰極におけるMgの組成は99.3 at.%で
あり、Cuの組成は0.07at. %であった。また、得
られた有機EL素子の陰極を−の極性に、陽極(ITO
膜)を+の極性にして7Vの直流電圧(電流密度:9.
7mA/cm2 )を印加したところ、93cd/m2 の
青色の発光が観測された。このときの電力変換効率は表
1に示すように0.43 lm/Wであった。またこの陰
極は表1に示すように6ヶ月で電極が酸化して透明にな
り、化学的安定性に極めて劣っていた。Comparative Example 1 Mg (work function 3.68) and Ca which are second metals
An organic EL device was obtained in exactly the same manner as in Example 1 except that Mg was evaporated at a deposition rate of 10 nm / sec and Ca was deposited at a deposition rate of 0.04 nm / sec using only (work function 2.9). . When the composition of the cathode in the obtained organic EL device was calculated, the composition of Mg in this cathode was 99.3 at.% And the composition of Cu was 0.07 at.%. In addition, the cathode of the obtained organic EL element is set to the negative polarity and the anode (ITO
DC voltage of 7 V (current density: 9.
When 7 mA / cm 2 ) was applied, blue emission of 93 cd / m 2 was observed. The power conversion efficiency at this time was 0.43 lm / W as shown in Table 1. Also, as shown in Table 1, the cathode was oxidized and became transparent in 6 months, and the chemical stability was extremely poor.
【0049】比較例2 第1金属としてNi(仕事関数5.15)を、そしても
う1つの金属として第2金属に含まれないFe(仕事関
数4.5)を用いて、Niを蒸着速度8.3nm/sec 、
Feを蒸着速度0.04nm/sec で蒸着した以外は実施
例1と全く同様にして、有機EL素子を得た。得られた
有機EL素子における陰極の組成を計算すると、この陰
極におけるNiの組成は98.8 at.%であり、Feの
組成は1.2at. %であった。また、得られた有機EL
素子は、発光しなかった。Comparative Example 2 Using Ni (work function 5.15) as the first metal and Fe (work function 4.5) not included in the second metal as the other metal, Ni was deposited at a deposition rate of 8 0.3 nm / sec,
An organic EL device was obtained in exactly the same manner as in Example 1 except that Fe was vapor-deposited at a vapor deposition rate of 0.04 nm / sec. When the composition of the cathode in the obtained organic EL device was calculated, the composition of Ni in this cathode was 98.8 at.% And the composition of Fe was 1.2 at.%. In addition, the obtained organic EL
The device did not emit light.
【0050】比較例3 第2金属を用いずに第1金属のAu(仕事関数5.1)
のみを用い、13nm/sec の蒸着速度で蒸着した以外は
実施例1と同様にして有機EL素子を得た。得られた有
機EL素子は、発光しなかった。Comparative Example 3 Au of the first metal (work function 5.1) without using the second metal
An organic EL device was obtained in the same manner as in Example 1 except that the vapor-deposited film was used alone and vapor deposition was performed at a vapor deposition rate of 13 nm / sec. The obtained organic EL device did not emit light.
【0051】比較例4 第2金属であるMg(仕事関数3.68)およびIn
(仕事関数4.1)のみを用いてMgの蒸着速度を8nm
/sec 、Inの蒸着速度を0.06nm/sec としたこと
以外は実施例1と同様にして有機EL素子を得た。得ら
れた有機EL素子における陰極の組成を計算すると、こ
の陰極におけるMgの組成は99.3at. %であり、I
nの組成は0.7at. %であった。Comparative Example 4 Mg (work function 3.68) and In which are second metals
Using only (work function 4.1), the deposition rate of Mg is 8 nm.
/ Sec, an organic EL device was obtained in the same manner as in Example 1 except that the vapor deposition rate of In was 0.06 nm / sec. When the composition of the cathode in the obtained organic EL device was calculated, the composition of Mg in this cathode was 99.3 at.
The composition of n was 0.7 at.%.
【0052】また、得られた有機EL素子の陰極を−の
極性に、陽極(ITO膜)を+の極性にして7Vの直流
電圧(電流密度:10mA/cm2 )を印加したとこ
ろ、100cdの青色の発光を観測した。このときの電
力変換効率は、表1に示すようにに0.45 lm/Wで
あった。表1に示すように、この有機EL素子は、空気
中で6ヶ月放置し、陰極が酸化し透明になったことか
ら、陰極の経時的化学安定性に劣ることが確認された。A DC voltage of 7 V (current density: 10 mA / cm 2 ) was applied with the cathode of the obtained organic EL device having a negative polarity and the anode (ITO film) having a positive polarity. A blue emission was observed. The power conversion efficiency at this time was 0.45 lm / W as shown in Table 1. As shown in Table 1, this organic EL device was left in the air for 6 months, and the cathode became oxidized and became transparent. Therefore, it was confirmed that the cathode was inferior in chemical stability over time.
【0053】[0053]
【表1】 [Table 1]
【0054】[0054]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の有機EL
素子は、陰極の経時的化学安定性が高い。したがって本
発明によれば、経時的化学安定性の高い陰電極を備えた
新規な有機EL素子を提供することが可能になる。As described above, the organic EL device of the present invention
The device has a high chemical stability of the cathode over time. Therefore, according to the present invention, it becomes possible to provide a novel organic EL element including a negative electrode having high chemical stability over time.
Claims (3)
少なくとも1種の第1金属と、仕事関数4.2eV以下
の第2金属とを含む蒸着膜を陰極として備えたことを特
徴とする有機EL素子。1. An organic material comprising a vapor deposition film containing at least one first metal selected from Au, Cu, Pt and Ni and a second metal having a work function of 4.2 eV or less as a cathode. EL element.
割合が、90〜99.999at. %である、請求項1に
記載の有機EL素子。2. The organic EL device according to claim 1, wherein the ratio of the first metal in the vapor deposition film forming the cathode is 90 to 99.999 at.%.
/sec 以上の蒸着速度で、第2金属を0.5nm/sec 以
下の蒸着速度で多元同時蒸着することにより得られたも
のである、請求項1又は2に記載の有機EL素子。3. A vapor-deposited film forming a cathode contains a first metal of 1 nm.
The organic EL device according to claim 1 or 2, which is obtained by performing multi-source simultaneous vapor deposition of the second metal at a vapor deposition rate of / sec or more and at a vapor deposition rate of 0.5 nm / sec or less.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4325791A JPH06176871A (en) | 1992-12-04 | 1992-12-04 | Organic EL element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4325791A JPH06176871A (en) | 1992-12-04 | 1992-12-04 | Organic EL element |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06176871A true JPH06176871A (en) | 1994-06-24 |
Family
ID=18180646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4325791A Withdrawn JPH06176871A (en) | 1992-12-04 | 1992-12-04 | Organic EL element |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06176871A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100456516C (en) * | 2005-06-15 | 2009-01-28 | 北京大学 | Ejection photoelectrode and preparation method thereof |
| KR20120096746A (en) * | 2011-02-23 | 2012-08-31 | 삼성테크윈 주식회사 | Moving robot |
| TWI425692B (en) * | 2006-03-29 | 2014-02-01 | Global Oled Technology Llc | Uniformly vaporizing metals and organic materials |
-
1992
- 1992-12-04 JP JP4325791A patent/JPH06176871A/en not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100456516C (en) * | 2005-06-15 | 2009-01-28 | 北京大学 | Ejection photoelectrode and preparation method thereof |
| TWI425692B (en) * | 2006-03-29 | 2014-02-01 | Global Oled Technology Llc | Uniformly vaporizing metals and organic materials |
| KR20120096746A (en) * | 2011-02-23 | 2012-08-31 | 삼성테크윈 주식회사 | Moving robot |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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