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JPH06161563A - Automatic pressure control valve - Google Patents

Automatic pressure control valve

Info

Publication number
JPH06161563A
JPH06161563A JP31319192A JP31319192A JPH06161563A JP H06161563 A JPH06161563 A JP H06161563A JP 31319192 A JP31319192 A JP 31319192A JP 31319192 A JP31319192 A JP 31319192A JP H06161563 A JPH06161563 A JP H06161563A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
diaphragm
valve body
valve
valve element
Prior art date
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Granted
Application number
JP31319192A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3206992B2 (en
Inventor
Yoshikazu Kaneko
嘉一 金子
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nagano Keiki Seisakusho KK
Original Assignee
Nagano Keiki Seisakusho KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nagano Keiki Seisakusho KK filed Critical Nagano Keiki Seisakusho KK
Priority to JP31319192A priority Critical patent/JP3206992B2/en
Publication of JPH06161563A publication Critical patent/JPH06161563A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3206992B2 publication Critical patent/JP3206992B2/en
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  • Control Of Fluid Pressure (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide the automatic pressure control valve which can provide sufficient pressure at a valve element and improves manufacture efficiency even when second-order side pressure reaches prescribed pressure. CONSTITUTION:A non-bleed type automatic pressure control valve 20 is formed by providing a pressure diaphragm 222 for moving a valve element 212 in the closing direction while being engaged with the valve element 212 and receiving the second-order side pressure and a diaphragm motor 230 for energizing the valve element 212 in the opening direction. In this case, the engagement between the valve element 212 and the pressure diaphragm 222 is canceled by decompressing an operation diaphragm chamber 223 of the diaphragm motor 230. Thus, the valve element 212 gets pressure such as first-order side pressure and completely closes a port 211. Further, since the port can be completely closed, it is not necessary to work/assemble the valve element 212 or the like with high accuracy.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は自動圧力調整弁に係り、
特に、爆発の危険性、引火性や毒性等のあるガスを取り
扱う石油化学プラントや、いわゆる半導体ガスを使う半
導体製造プロセス等において使用できる自動圧力調整弁
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an automatic pressure control valve,
In particular, the present invention relates to a petrochemical plant that handles gases that have a risk of explosion, flammability, toxicity, and the like, and an automatic pressure control valve that can be used in a semiconductor manufacturing process that uses so-called semiconductor gas.

【0002】[0002]

【背景技術】従来より、爆発の危険性、引火性や毒性の
あるガスを取り扱う石油化学プラントや半導体製造プロ
セス等では、そのガスを所定の圧力に調整するために自
動圧力調整弁が利用されている。このような自動圧力調
整弁としては、二次側圧力と平衡させるばねを有する減
圧弁等があり、図8には、機械式減圧弁の一例が示され
ている。
2. Description of the Related Art Conventionally, in a petrochemical plant or a semiconductor manufacturing process that handles a gas with a risk of explosion, flammability and toxicity, an automatic pressure adjusting valve has been used to adjust the gas to a predetermined pressure. There is. As such an automatic pressure control valve, there is a pressure reducing valve having a spring for balancing the secondary pressure, and the like, and FIG. 8 shows an example of a mechanical pressure reducing valve.

【0003】図8において、減圧弁50の内部には、一次
側および二次側を連通するポート51を開閉する弁体52が
設けられている。弁体52は、コイルばね53によりポート
51に対し閉鎖方向に付勢されるとともに、ポート51を挟
んで反対側に設けたコイルばね54により開放方向に付勢
されている。弁体52とコイルばね54の間には、ダイヤフ
ラム55が介装されている。このダイヤフラム55は、二次
側圧力を受けるとコイルばね54を圧縮して弁体52を閉鎖
方向に移動させるものである。
In FIG. 8, a pressure reducing valve 50 is provided inside with a valve body 52 that opens and closes a port 51 that connects the primary side and the secondary side. The valve body 52 is ported by the coil spring 53.
It is biased in the closing direction with respect to 51, and is biased in the opening direction by a coil spring 54 provided on the opposite side of the port 51. A diaphragm 55 is interposed between the valve body 52 and the coil spring 54. The diaphragm 55 compresses the coil spring 54 when the secondary pressure is applied to move the valve body 52 in the closing direction.

【0004】このような構造により、コイルばね54の付
勢力とダイヤフラム55に加わる力とを平衡させて所定の
大きさの二次側圧力が得られるようになっている。すな
わち、二次側圧力が大きく、ダイヤフラム55に加わる押
圧力がコイルばね54の付勢力より勝っている場合には、
ポート51が閉じられ、減圧弁50は圧力を下げる方向に動
作するようになっている。逆に、二次側圧力が小さく、
コイルばね54の付勢力がダイヤフラム55に加わる押圧力
よりも勝っている場合には、ポート51が開かれ、減圧弁
50は圧力を上げる方向に動作するようになっている。
With such a structure, the biasing force of the coil spring 54 and the force applied to the diaphragm 55 are balanced to obtain a secondary pressure of a predetermined magnitude. That is, when the secondary pressure is large and the pressing force applied to the diaphragm 55 exceeds the biasing force of the coil spring 54,
The port 51 is closed and the pressure reducing valve 50 operates so as to reduce the pressure. On the contrary, the secondary pressure is small,
When the biasing force of the coil spring 54 exceeds the pressing force applied to the diaphragm 55, the port 51 is opened and the pressure reducing valve is opened.
The 50 is designed to work in the direction of increasing pressure.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】このような減圧弁で
は、平衡状態になると二次側圧力とコイルばね54の付勢
力とが拮抗するので、弁体52をポート51側に押圧する力
が充分得られない。このため、二次側圧力が所定圧力に
達し、二次側圧力の上昇を抑えるために、ガスの流通を
停止する必要が生じても、ダイヤフラムの剛性等に抗す
るに充分な押圧力が弁体52に加わらないため、弁体52で
ポート51を完全に閉鎖できず、ガスが二次側に漏れて二
次側圧力を上昇させるいわゆる出流れ現象が生じるおそ
れがあるという問題がある。
In such a pressure reducing valve, the pressure on the secondary side and the biasing force of the coil spring 54 oppose each other in the equilibrium state, so that the force for pressing the valve body 52 toward the port 51 side is sufficient. I can't get it. Therefore, even if the secondary pressure reaches a predetermined pressure and it is necessary to stop the flow of gas in order to suppress the increase in the secondary pressure, a sufficient pressing force against the rigidity of the diaphragm is applied. Since it does not join the body 52, the valve 51 cannot completely close the port 51, which may cause a so-called outflow phenomenon in which gas leaks to the secondary side to increase the secondary pressure.

【0006】また、出流れ現象の防止には、弁体52がポ
ート51の全周に渡って均等に接するようにする必要があ
る。このため、弁体52からダイヤフラム55に向かって突
出するバルブステム56が常にダイヤフラム55の表面に垂
直に当接していなければならず、その加工や組立には高
い精度が要求されるため、製造が煩雑となって製造効率
が悪いという問題がある。
Further, in order to prevent the outflow phenomenon, it is necessary to make the valve body 52 evenly contact the entire circumference of the port 51. Therefore, the valve stem 56 protruding from the valve body 52 toward the diaphragm 55 must always be in contact with the surface of the diaphragm 55 vertically, and high precision is required for its processing and assembly. There is a problem that it becomes complicated and the manufacturing efficiency is poor.

【0007】本発明の目的は、二次側圧力が所定圧力に
達しても、弁体に充分な押圧力が得られ、かつ、製造効
率のよい自動圧力調整弁を提供することにある。
An object of the present invention is to provide an automatic pressure adjusting valve which can obtain a sufficient pressing force on a valve body even when the secondary side pressure reaches a predetermined pressure and has a high manufacturing efficiency.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、流体の出入口
以外は閉鎖される弁本体と、この弁本体に内蔵された弁
体を開放方向に付勢する付勢手段と、前記弁体に係合す
るとともに二次側圧力を受けて当該弁体を閉鎖方向に移
動させる受圧手段とを有するノンブリード型の自動圧力
調整弁であって、前記弁体と前記受圧手段との係合を解
除する解除手段を設けたことを特徴とする。
According to the present invention, a valve body is closed except for a fluid inlet / outlet, a biasing means for biasing a valve body incorporated in the valve body in an opening direction, and the valve body. A non-bleed type automatic pressure adjusting valve having a pressure receiving means for engaging and receiving a secondary pressure to move the valve element in a closing direction, wherein engagement between the valve element and the pressure receiving means is released. It is characterized in that a releasing means is provided.

【0009】ここで、ダイヤフラム等が受圧手段として
採用でき、この場合には、解除手段として、当該ダイヤ
フラムを弁体から離れる方向に移動するダイヤフラムモ
ータ、あるいは、当該ダイヤフラムおよび弁体の両方と
係合する位置および前記ダイヤフラムおよび弁体の両方
から離隔する位置の二位置間を移動可能にされた係合部
材を含んで構成されるもの等が採用できる。
Here, a diaphragm or the like can be adopted as the pressure receiving means, and in this case, the releasing means is engaged with the diaphragm motor which moves the diaphragm in the direction away from the valve body, or both the diaphragm and the valve body. It is possible to employ a structure including an engaging member that is movable between two positions, i.e., a position to be opened and a position to be separated from both the diaphragm and the valve body.

【0010】[0010]

【作用】このような本発明では、二次側圧力が所定圧力
に到達したら、解除手段で弁体と受圧手段との係合を解
除する。これにより、弁体は、開放方向に付勢する力か
ら開放されて平衡状態から逸脱し、一次側圧力等で押圧
されてポートを完全閉鎖するようになる。
In the present invention as described above, when the secondary side pressure reaches the predetermined pressure, the releasing means releases the engagement between the valve body and the pressure receiving means. As a result, the valve element is released from the force urging in the opening direction, deviates from the equilibrium state, and is pressed by the primary pressure or the like to completely close the port.

【0011】また、弁体と受圧手段との係合が解除され
るので、ダイヤフラム等の受圧手段と係合させるために
弁体に設けたバルブステム等の部位も、ダイヤフラム等
の表面から離れるので、完全閉鎖のために当該部位を常
に受圧手段に垂直に当接させる必要がなくなり、その加
工や組立に高い精度が不要となり、これにより前記目的
が達成される。
Further, since the engagement between the valve body and the pressure receiving means is released, the portion such as the valve stem provided on the valve body for engaging with the pressure receiving means such as the diaphragm is also separated from the surface of the diaphragm or the like. Since it is not necessary to always abut the pressure receiving means vertically to completely close it, high precision is not required for its processing and assembly, thereby achieving the above object.

【0012】[0012]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図1には、本実施例の第1実施例に係る自動圧力
調整装置1が示されており、この自動圧力調整装置1
は、タンク2内の高圧ガスを所定の圧力に調整するもの
である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows an automatic pressure adjusting device 1 according to the first embodiment of the present embodiment.
Is for adjusting the high-pressure gas in the tank 2 to a predetermined pressure.

【0013】自動圧力調整装置1には、高圧ガスの圧力
を制御する制御部10と、ガスの所定の圧力に調整する自
動圧力調整弁20と、この自動圧力制御弁20の上流側の圧
力を表示する一次側圧力計3と、自動圧力制御弁20の下
流側の圧力を検知する圧力検知手段としての圧力センサ
4とが設けられている。
The automatic pressure adjusting device 1 includes a control unit 10 for controlling the pressure of high pressure gas, an automatic pressure adjusting valve 20 for adjusting the pressure of the gas to a predetermined pressure, and a pressure upstream of the automatic pressure control valve 20. A primary pressure gauge 3 for displaying and a pressure sensor 4 as pressure detecting means for detecting the pressure on the downstream side of the automatic pressure control valve 20 are provided.

【0014】制御部10は、圧力センサ4で検知した圧力
に基づき自動圧力調整弁20を制御する制御手段であり、
自動圧力調整弁20を駆動するための空気圧を発生する圧
力発生器11と、この圧力発生器11を制御する制御装置12
とを有している。
The control unit 10 is a control means for controlling the automatic pressure regulating valve 20 based on the pressure detected by the pressure sensor 4,
A pressure generator 11 that generates an air pressure for driving the automatic pressure control valve 20, and a control device 12 that controls the pressure generator 11.
And have.

【0015】圧力発生器11は、コンプレッサ13で空気を
圧搾し、得られた圧搾空気をタンク14で貯めておくこと
により、安定したガス供給を可能としたものである。
The pressure generator 11 compresses air with the compressor 13 and stores the compressed air obtained in the tank 14 to enable stable gas supply.

【0016】圧力発生器11のタンク14にはノズル15が接
続され、このノズル15の先端部分はチャンバ16の内部に
設置されている。チャンバ16には二つの排出路16A, 16B
が設けられている。一方の排出路16A はノズル15の吹き
出し口の近傍に配置されるとともに、ノズル15から吹き
出される空気の進行方向に沿って延びている。この排出
路16A の先端には制御装置12の信号により開閉するサー
ボバルブ17が接続され、排出路16Aの内を流れる空気が
制御装置12の信号により遮断可能となっている。
A nozzle 15 is connected to the tank 14 of the pressure generator 11, and the tip portion of the nozzle 15 is installed inside the chamber 16. The chamber 16 has two outlets 16A, 16B
Is provided. One of the discharge paths 16A is arranged near the outlet of the nozzle 15 and extends along the traveling direction of the air blown from the nozzle 15. A servo valve 17 that opens and closes according to a signal from the control device 12 is connected to the tip of the discharge passage 16A, and the air flowing inside the discharge passage 16A can be blocked by a signal from the control device 12.

【0017】サーボバルブ17の閉鎖時には、ノズル15か
ら吹き出した空気がチャンバ16内に蓄積されるので、他
方の排気路16B に正圧が生じるようになっている。サー
ボバルブ17を開放時には、ノズル15から吹き出した空気
がチャンバ16内の空気を誘引して排気路16A から外部へ
放出するので、排気路16B に負圧が生じるようになって
いる。サーボバルブ17の開度は、全開から全閉まで連続
的に変化するようになっており、サーボバルブ17の開度
を変えることで、排気路16B の圧力は、負圧の領域から
正圧の領域まで連続的に変化可能となっている。
When the servo valve 17 is closed, the air blown from the nozzle 15 is accumulated in the chamber 16, so that a positive pressure is generated in the other exhaust passage 16B. When the servo valve 17 is opened, the air blown from the nozzle 15 attracts the air in the chamber 16 and discharges it from the exhaust passage 16A to the outside, so that a negative pressure is generated in the exhaust passage 16B. The opening of the servo valve 17 changes continuously from fully open to fully closed.By changing the opening of the servo valve 17, the pressure in the exhaust passage 16B changes from the negative pressure range to the positive pressure range. It is possible to change continuously up to the area.

【0018】制御装置12は、制御対象である二次側圧力
の設定値を定めるための設定器18と、圧力センサ4の圧
力値と設定器18の設定値とを比較し、圧力値が設定値よ
りも高くなるとサーボバルブ17に信号を出力するコント
ローラ19とが備えられたものである。
The controller 12 compares the pressure value of the pressure sensor 4 and the setting value of the setting device 18 for determining the setting value of the secondary pressure to be controlled, and the pressure value is set. A controller 19 for outputting a signal to the servo valve 17 when the value becomes higher than the value is provided.

【0019】図2には、自動圧力調整弁20の機械的構造
が示されている。図において、自動圧力調整弁20は、い
わゆるノンブリード型のものである。自動圧力調整弁20
には、内部にガスが流されるとともにガスの出入口以外
は閉鎖される弁本体210 と、弁本体210 の図中上部に設
置されるボンネット220 と、ボンネット220 の図中上側
に設置されるダイヤフラムモータ230 とが備えられてい
る。
FIG. 2 shows the mechanical structure of the automatic pressure regulating valve 20. In the figure, the automatic pressure control valve 20 is of a so-called non-bleed type. Automatic pressure control valve 20
Includes a valve body 210 in which gas flows inside and is closed except for the gas inlet / outlet, a bonnet 220 installed on the upper part of the valve body 210 in the figure, and a diaphragm motor installed on the upper side of the bonnet 220 in the figure. 230 is equipped.

【0020】弁本体210 は、図中上側の面のほぼ全面が
凹部210Aとなった円柱状のものである。弁本体210 の内
部には、一次側と二次側とを連通させるポート211 が設
けられ、かつ、このポート211 を閉鎖するための弁体21
2 が図中上下に移動可能となって設けられている。ポー
ト211 の弁体212 側の周縁には、断面三角形状に盛り上
がった当接部213がリング状に設けられている。
The valve body 210 is of a columnar shape having a recess 210A on almost the entire upper surface in the figure. Inside the valve body 210, there is provided a port 211 for communicating the primary side and the secondary side, and a valve body 21 for closing the port 211 is provided.
2 is provided so that it can move up and down in the figure. A ring-shaped abutment portion 213 is provided on the peripheral edge of the port 211 on the valve body 212 side, the contact portion 213 having a triangular cross-section.

【0021】弁体212 は、図中下側が細くなった段付部
214 を有する円柱状のものである。弁体212 のポート21
1 側の端面にはリング状に形成された溝215Aが設けられ
ている。この溝215Aにはリング状の弾性部材215 が嵌め
込まれている。このリング状の溝215Aの中心部分には、
ポート211 を通って弁本体210 の上面に突き出るステム
216 が設けられている。ここで、弁体212 は、段付部21
4 に嵌め込まれたコイルばね217 の付勢力等により、弁
体212 がポート211 に向かって付勢され、弾性部材215
がポート211 側の当接部213 に押し付けられて密着し、
閉鎖時にガスが漏れないようになっている。
The valve body 212 is a stepped portion whose bottom side in the drawing is thin.
It has a cylindrical shape having 214. Port 21 of valve body 212
A ring-shaped groove 215A is provided on the end face on the first side. A ring-shaped elastic member 215 is fitted in the groove 215A. At the center of this ring-shaped groove 215A,
Stem that protrudes through valve 211 to the top of valve body 210
216 are provided. Here, the valve body 212 has a stepped portion 21.
The valve body 212 is urged toward the port 211 by the urging force of the coil spring 217 fitted in the elastic member 215.
Is pressed against the contact part 213 on the port 211 side and comes into close contact,
No gas leaks when closed.

【0022】ボンネット220 は、外側に膨らんだ鍋蓋状
のものであり、脹らみの頂上部分に貫通孔221 が設けら
れている。ボンネット220 の底面は、二次側圧力を受け
る受圧手段である受圧ダイヤフラム222 で覆われてい
る。ボンネット220 を弁本体210 にボルト等で固定する
ことにより、受圧ダイヤフラム222 と弁本体210 の凹部
210Aとの間に受圧ダイヤフラム室223 が形成されてい
る。
The bonnet 220 is in the shape of a pan that bulges outward and has a through hole 221 at the top of the bulge. The bottom surface of the bonnet 220 is covered with a pressure receiving diaphragm 222 which is a pressure receiving means for receiving the secondary pressure. By fixing the bonnet 220 to the valve body 210 with bolts, etc., the pressure receiving diaphragm 222 and the recess of the valve body 210
A pressure receiving diaphragm chamber 223 is formed between the pressure receiving diaphragm chamber 223 and 210A.

【0023】受圧ダイヤフラム222 は、ステンレス製の
円板状のものである。受圧ダイヤフラム222 の中央部に
は、厚肉のディスク224 が設けられ、このディスク224
の中央部分には、貫通孔221 を通ってダイヤフラムモー
タ230 の内部まで延びるロッド225 が設けらている。デ
ィスク224 のロッド225 を有する面とは反対の面の中央
部分には、弁体212のステム216 の先端が係合してい
る。
The pressure receiving diaphragm 222 is a circular disc made of stainless steel. A thick disk 224 is provided at the center of the pressure receiving diaphragm 222.
A rod 225 extending through the through hole 221 to the inside of the diaphragm motor 230 is provided in the central portion of the. The tip of the stem 216 of the valve body 212 is engaged with the central portion of the surface of the disk 224 opposite to the surface having the rod 225.

【0024】ダイヤフラムモータ230 は、中空の円盤状
に形成されたケース231 の内部に操作ダイヤフラム232
を設置したものである。ダイヤフラムモータ230 の内部
は、操作ダイヤフラム232 によって二つの空間に仕切ら
れ、このうち図中上側のものが、操作用の空気圧が加え
られる操作ダイヤフラム室233 となっている。操作ダイ
ヤフラム232 の中央部分には、受圧ダイヤフラム222 か
ら延びるロッド225 の先端部分が接合されている。
The diaphragm motor 230 includes an operating diaphragm 232 inside a case 231 formed in the shape of a hollow disk.
Is installed. The inside of the diaphragm motor 230 is partitioned into two spaces by the operation diaphragm 232, and the upper part of the drawing is the operation diaphragm chamber 233 to which the air pressure for operation is applied. A tip portion of a rod 225 extending from the pressure receiving diaphragm 222 is joined to a central portion of the operation diaphragm 232.

【0025】ここで、操作ダイヤフラム室233 を与圧す
ると、ダイヤフラムモータ230 には、ロッド225 を図中
下方に押し下げる力が発生する。これにより、ダイヤフ
ラムモータ230 は、図3に示されるように、受圧ダイヤ
フラム222 を介して弁体212 をポート211 から離れる方
向、すなわち開放方向に付勢する付勢手段を構成するよ
うになっている。ダイヤフラムモータ230 の付勢力は、
制御部10から与えられる空気圧により変化する。この空
気圧は、圧力センサ4で検知した二次側圧力に基づいて
制御部10により加減されるようになっている。
When the operation diaphragm chamber 233 is pressurized, the diaphragm motor 230 generates a force for pushing the rod 225 downward in the drawing. As a result, the diaphragm motor 230 constitutes an urging means for urging the valve body 212 away from the port 211 via the pressure receiving diaphragm 222, that is, in the opening direction, as shown in FIG. . The biasing force of the diaphragm motor 230 is
It changes according to the air pressure applied from the control unit 10. This air pressure is adjusted by the control unit 10 based on the secondary pressure detected by the pressure sensor 4.

【0026】一方、操作ダイヤフラム室233 を減圧する
と、ダイヤフラムモータ230 には、受圧ダイヤフラム22
2 を図中上方に引上げて弁体212 から分離させる力が発
生する。これにより、ダイヤフラムモータ230 は、図4
に示されるように、受圧ダイヤフラム222 と弁体212 と
の係合を解除する解除手段を構成するようになってい
る。
On the other hand, when the pressure in the operation diaphragm chamber 233 is reduced, the diaphragm motor 230 is set in the pressure receiving diaphragm 22.
A force is generated that pulls 2 upward in the figure and separates it from the valve body 212. As a result, the diaphragm motor 230 is moved to the position shown in FIG.
As shown in FIG. 5, a releasing means for releasing the engagement between the pressure receiving diaphragm 222 and the valve body 212 is configured.

【0027】このような本実施例では、二次側圧力が所
定の圧力以下の場合には、制御部10が自動圧力調整弁20
のダイヤフラムモータ230 に正圧を供給し、二次側圧力
によって閉鎖方向に押圧される弁体212 をダイヤフラム
モータ230 によって開放方向に付勢する。これにより、
弁体212 は二次側圧力の大きさに応じてポート211 に近
づき、二次側圧力が所定の圧力となるようにポート211
の開度が調整される。
In this embodiment as described above, when the secondary pressure is equal to or lower than the predetermined pressure, the control unit 10 causes the automatic pressure adjusting valve 20 to operate.
A positive pressure is supplied to the diaphragm motor 230, and the valve body 212, which is pressed in the closing direction by the secondary pressure, is urged in the opening direction by the diaphragm motor 230. This allows
The valve body 212 approaches the port 211 according to the magnitude of the secondary pressure, and the port 211 is adjusted so that the secondary pressure becomes a predetermined pressure.
The opening degree of is adjusted.

【0028】一方、二次側圧力が所定の圧力に到達した
場合には、制御部10が自動圧力調整弁20のダイヤフラム
モータ230 に負圧を供給し、受圧ダイヤフラム222 およ
び弁体212 を分離して相互の係合を解除する。これによ
り、弁体212 は、コイルばね217 の付勢力および一次側
圧力によりポート211 を完全に閉鎖するようになる。な
お、二次側圧力が所定の圧力以下に降下すると、制御部
10は直ちに自動圧力調整弁20に正圧を供給し、二次側圧
力の調整が速やかに再開される。
On the other hand, when the secondary side pressure reaches a predetermined pressure, the control unit 10 supplies a negative pressure to the diaphragm motor 230 of the automatic pressure control valve 20 to separate the pressure receiving diaphragm 222 and the valve body 212. To disengage each other. As a result, the valve body 212 completely closes the port 211 by the biasing force of the coil spring 217 and the primary pressure. When the secondary pressure drops below a specified pressure, the control unit
10 immediately supplies a positive pressure to the automatic pressure control valve 20, and the adjustment of the secondary pressure is promptly restarted.

【0029】前述のような本実施例によれば、次のよう
な効果がある。すなわち、二次側圧力が所定の圧力に到
達すると、受圧ダイヤフラム222 と弁体212 との係合が
解除され、弁体212 に加わる力の拮抗状態も解除され
る。このため、コイルばね217 の付勢力および一次側圧
力の押圧により、弁体212がポート211 を完全に閉鎖で
きるようになるので、閉鎖時に一次側に供給されたガス
が二次側に漏れて二次側圧力を上昇させるいわゆる出流
れ現象を未然に防止できる。
According to this embodiment as described above, the following effects can be obtained. That is, when the secondary side pressure reaches a predetermined pressure, the engagement between the pressure receiving diaphragm 222 and the valve body 212 is released, and the antagonistic state of the force applied to the valve body 212 is also released. Therefore, the urging force of the coil spring 217 and the pressure of the primary side pressure allow the valve body 212 to completely close the port 211, so that the gas supplied to the primary side leaks to the secondary side at the time of closing. It is possible to prevent a so-called outflow phenomenon that raises the secondary pressure.

【0030】また、受圧ダイヤフラム222 と弁体212 と
を分離して、ポート211 を完全に閉鎖するようにしたの
で、従来のように弁体のステムを受圧ダイヤフラムに対
し常に垂直にして当接させる必要がなくなる。このた
め、ステム216 を常に受圧ダイヤフラム222 に垂直に当
接させる必要がなくなり、ステム216 の加工や弁体212
の組立には高い精度が不要となり、自動圧力調整弁20の
製造効率をよくすることができる。
Further, since the pressure receiving diaphragm 222 and the valve body 212 are separated so that the port 211 is completely closed, the stem of the valve body is always brought into contact with the pressure receiving diaphragm in a vertical direction as in the prior art. There is no need. Therefore, the stem 216 does not always have to be vertically abutted against the pressure receiving diaphragm 222, and the processing of the stem 216 and the valve body 212 are eliminated.
No high precision is required for the assembly, and the manufacturing efficiency of the automatic pressure control valve 20 can be improved.

【0031】さらに、正負の両方の圧力が供給されるダ
イヤフラムモータ230 で受圧ダイヤフラム222 のロッド
225 を駆動するようにしたので、受圧ダイヤフラム222
の弁体212 との係合および分離が速やかに行われ、制御
性が良好となり、ガスの圧力や供給量等に変動があって
も、二次側圧力を常に安定させて制御できる。
Further, the rod of the pressure receiving diaphragm 222 is supplied by the diaphragm motor 230 to which both positive and negative pressures are supplied.
Since the 225 is driven, the pressure receiving diaphragm 222
The engagement and disengagement with the valve element 212 is promptly performed, the controllability is improved, and the secondary side pressure can always be controlled to be stable even if the gas pressure, the supply amount, or the like changes.

【0032】また、弁体212 の移動方向と同一方向に移
動して受圧ダイヤフラム222 を弁体212 から分離し、受
圧ダイヤフラム222 と弁体212 との係合を解除するよう
にしたので、ダイヤフラムモータ230 に付勢手段と解除
手段とを兼用させることができ、自動圧力調整弁20の全
体構造を簡単にできる。
Further, since the pressure receiving diaphragm 222 is separated from the valve element 212 by moving in the same direction as the moving direction of the valve element 212, the pressure receiving diaphragm 222 and the valve element 212 are disengaged from each other. The 230 can be used as both the urging means and the releasing means, and the overall structure of the automatic pressure control valve 20 can be simplified.

【0033】さらに、二次側圧力を検知する圧力センサ
4と、この圧力センサ4で検知した圧力に基づき制御を
行う制御部10とを設け、これらによりフィードバックル
ープを形成したので、圧力が変動しても迅速に修正され
るようになり、二次側圧力の制御性を良好にできる。
Further, a pressure sensor 4 for detecting the secondary side pressure and a control section 10 for performing control based on the pressure detected by the pressure sensor 4 are provided, and a feedback loop is formed by these, so that the pressure fluctuates. Even if it is corrected quickly, the controllability of the secondary pressure can be improved.

【0034】図5には、本発明の第2実施例が示されて
いる。本実施例は、前記第1実施例におけるダイヤフラ
ムモータ230 をシリンダモータ240 に替えたものであ
る。すなわち、弁本体210 の上側のボンネット220 に
は、内部が中空の円盤状シリンダ241 が載置されてい
る。シリンダ241 の内部にはピストン242 が図中上下方
向に移動可能に設けられている。ピストン242 には受圧
ダイヤフラム222 から延びるロッド225 の先端が接合さ
れている。ピストン242 の周面にはゴム等の弾性部材か
らなるピストンリング243 が嵌合されている。これによ
り、ピストン242 の図中上方の与圧室244 を与圧・減圧
することにより、受圧ダイヤフラム222 が弁体212 と係
合・分離するようになっている。
FIG. 5 shows a second embodiment of the present invention. In this embodiment, the diaphragm motor 230 in the first embodiment is replaced with a cylinder motor 240. That is, the disc-shaped cylinder 241 having a hollow inside is mounted on the bonnet 220 on the upper side of the valve body 210. A piston 242 is provided inside the cylinder 241 so as to be vertically movable in the figure. A tip of a rod 225 extending from the pressure receiving diaphragm 222 is joined to the piston 242. A piston ring 243 made of an elastic member such as rubber is fitted on the peripheral surface of the piston 242. As a result, by pressurizing / depressurizing the pressurizing chamber 244 above the piston 242 in the figure, the pressure receiving diaphragm 222 is engaged / separated from the valve body 212.

【0035】このような本実施例においても、前記第1
実施例と同様な作用、効果を得ることができる他、シリ
ンダモータ240 は、ダイヤフラムモータ230 よりも使用
限界圧力を高く設定できるので、より高圧のガスに対し
て使用できるという効果を付加できる。
Also in this embodiment, the first
In addition to the same actions and effects as those of the embodiment, the cylinder motor 240 can set the use limit pressure higher than that of the diaphragm motor 230, so that the effect that it can be used for higher pressure gas can be added.

【0036】なお、本発明は前述の各実施例に限定され
るものではなく、次に示すような変形等をも含むもので
ある。すなわち、操作手段としては、ダイヤフラムやピ
ストンの片側のみにダイヤフラム室および与圧室等が設
けられる単動式のものに限らず、ダイヤフラムやピスト
ンの両側にダイヤフラム室および与圧室等が設けられ、
一方へ流体を供給するとともに、他方から流体を排出す
ることで駆動される複動式のものでもよい。
The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, but includes the following modifications and the like. That is, the operation means is not limited to a single-acting type in which the diaphragm chamber and the pressure chamber are provided only on one side of the diaphragm and the piston, but the diaphragm chamber and the pressure chamber are provided on both sides of the diaphragm and the piston.
A double-acting type driven by supplying fluid to one side and discharging the fluid from the other side may be used.

【0037】また、操作手段の駆動形式は、空気式に限
らず、例えば、電動式や油圧式のものでもよいが、空気
式のものにすれば、全体の構造を容易にできるうえ、引
火性あるいは爆発性の強いガスに対して用いる際に必要
な防爆性を容易に得ることができる。
The operating means is not limited to the pneumatic type, but may be, for example, an electric type or a hydraulic type. However, if the operating type is pneumatic, the whole structure can be made easy and the flammability is high. Alternatively, it is possible to easily obtain the explosion-proof property required when used for a gas having a strong explosive property.

【0038】さらに、解除手段および操作手段は、ダイ
ヤフラムモータ230 またはシリンダモータ240 等からな
る解除手段と操作手段とを兼用するものに限らず、それ
ぞれが別体のものでもよい。例えば、受圧ダイヤフラム
を介して弁体をポートから離れる方向に付勢するコイル
ばねを設けてこれを操作手段とするとともに、受圧ダイ
ヤフラムを弁体から離れる方向に移動する空気式操作器
等を別途設けてこれを解除手段としてもよい。
Further, the releasing means and the operating means are not limited to those which also serve as the releasing means composed of the diaphragm motor 230 or the cylinder motor 240 and the operating means, and may be separate bodies. For example, a coil spring for urging the valve body in the direction away from the port via the pressure receiving diaphragm is provided as an operating means, and a pneumatic actuator etc. for moving the pressure receiving diaphragm in the direction away from the valve body is separately provided. This may be used as a releasing means.

【0039】また、解除手段としては、受圧部分を弁体
の移動方向と同一方向に移動するものに限らず、例え
ば、図6および図7に示されるように、受圧ダイヤフラ
ム222と弁体212 との間に「ト」字形状の係合部材250
を介装し、この係合部材250 の突起部251 を弁体212 の
移動方向と交差する方向に移動させるエアモータ252 を
設けたものでもよい。この場合、受圧ダイヤフラム222
は、図6に示されるように、係合部材250 を介して弁体
212 と係合する。一方、係合部材250 をエアモータ252
で移動すれば、図7に示されるように、突起部251 が弁
体212 から離れ、受圧ダイヤフラム222 と弁体212 との
係合が解除される。
Further, the releasing means is not limited to the one for moving the pressure receiving portion in the same direction as the moving direction of the valve body, and for example, as shown in FIGS. 6 and 7, the pressure receiving diaphragm 222 and the valve body 212 are "T" shaped engaging member 250 between
It is also possible to provide an air motor 252 for interposing the protrusion 251 of the engaging member 250 and moving it in a direction intersecting the moving direction of the valve body 212. In this case, the pressure receiving diaphragm 222
As shown in FIG. 6, the valve body is inserted through the engaging member 250.
Engage with 212. Meanwhile, the engaging member 250 is attached to the air motor 252.
7, the protruding portion 251 is separated from the valve body 212, and the engagement between the pressure receiving diaphragm 222 and the valve body 212 is released.

【0040】さらに、圧力発生器としては、コンプレッ
サ13とノズル15の間にタンク14を設けた圧力発生器11に
限らず、例えば、タンク14を省略してコンプレッサ13に
ノズル15を直接接続したものでもよく、また、コンプレ
ッサ13の代わりに高圧ガスタンク等の圧力源を用いても
よく、要するに、負圧および正圧の両方を発生可能なも
のであれば、具体的な構造や形式などは限定されない。
Further, the pressure generator is not limited to the pressure generator 11 in which the tank 14 is provided between the compressor 13 and the nozzle 15, but for example, the tank 14 is omitted and the nozzle 15 is directly connected to the compressor 13. Alternatively, a pressure source such as a high-pressure gas tank may be used instead of the compressor 13, in short, as long as it can generate both negative pressure and positive pressure, the specific structure or form is not limited. .

【0041】さらに、弁本体に形成されるポートとして
は、弁体212 側の周辺に断面三角形状に盛り上がった当
接部213 を有するポート211 に限らず、例えば、弁体側
の周辺に盛り上がりがなく、弁体と面接触するポートで
もよく、要するに、完全閉鎖が可能であって閉鎖時に漏
れが生じない形状であればよく、その具体的な形状は実
施にあたり適宜選択すればよい。
Further, the port formed in the valve body is not limited to the port 211 having the abutment portion 213 which is raised around the valve body 212 side in a triangular cross section, and for example, there is no rise around the valve body side. A port that comes into surface contact with the valve body may be used, in short, as long as it can be completely closed and leakage does not occur at the time of closing, and its specific shape may be appropriately selected for implementation.

【0042】[0042]

【発明の効果】前述のように本発明によれば、二次側圧
力が所定圧力に達しても、弁体に充分な押圧力を得るこ
とができ、かつ、その製造効率を良好にすることができ
る。
As described above, according to the present invention, even if the secondary side pressure reaches a predetermined pressure, it is possible to obtain a sufficient pressing force on the valve element and to improve its manufacturing efficiency. You can

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1実施例に係る自動圧力調整装置の
構成を示す概略図である。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of an automatic pressure adjusting device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本実施例の自動圧力調整弁を示す断面図であ
る。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing an automatic pressure control valve of this embodiment.

【図3】本実施例の弁体と操作手段とが係合している状
態を示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a state in which the valve body and the operating means of this embodiment are engaged with each other.

【図4】本実施例の弁体と操作手段との係合が解除され
た状態を示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state where the engagement between the valve body and the operating means of the present embodiment is released.

【図5】本発明の第2実施例に係る自動圧力調整弁を示
す図2と同様の図である。
FIG. 5 is a view similar to FIG. 2 showing an automatic pressure control valve according to a second embodiment of the present invention.

【図6】本発明の変形例の図3と同様の図である。FIG. 6 is a view similar to FIG. 3 of a modified example of the present invention.

【図7】同変形例の図4と同様の図である。FIG. 7 is a view similar to FIG. 4 of the same modified example.

【図8】従来例を示す図2と同様の図である。FIG. 8 is a view similar to FIG. 2 showing a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

20 自動圧力制御弁 210 弁本体 212 弁体 222 受圧手段としての受圧ダイヤフラム 230 操作手段と解除手段とを兼用するダイヤフラムモ
ータ 240 操作手段と解除手段とを兼用するシリンダモータ 250 解除手段を構成する係合部材 252 解除手段を構成するエアモータ
20 Automatic pressure control valve 210 Valve body 212 Valve body 222 Pressure receiving diaphragm 230 as pressure receiving means 230 Diaphragm motor which also serves as operating means and releasing means 240 Cylinder motor 250 which serves as operating means and releasing means 250 Engagement constituting releasing means Member 252 Air motor constituting release means

─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成5年11月26日[Submission date] November 26, 1993

【手続補正1】[Procedure Amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0004[Correction target item name] 0004

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0004】このような構造により、コイルばね54の付
勢力とダイヤフラム55に加わる力とを平衡させて所定の
大きさの二次側圧力が得られるようになっている。すな
わち、二次側圧力が大きく、ダイヤフラム55に加わる押
圧力がコイルばね54の付勢力より勝っている場合には、
ポート51が閉じられ、減圧弁50は二次側圧力の供給を止
める方向に動作するようになっている。逆に、二次側圧
力が小さく、コイルばね54の付勢力がダイヤフラム55に
加わる押圧力よりも勝っている場合には、ポート51が開
かれ、減圧弁50は二次側圧力を上げる方向に動作するよ
うになっている。
With such a structure, the biasing force of the coil spring 54 and the force applied to the diaphragm 55 are balanced to obtain a secondary pressure of a predetermined magnitude. That is, when the secondary pressure is large and the pressing force applied to the diaphragm 55 exceeds the biasing force of the coil spring 54,
Port 51 is closed and pressure reducing valve 50 stops the supply of secondary pressure.
It is designed to work in the direction of closing . On the contrary, when the secondary pressure is small and the biasing force of the coil spring 54 exceeds the pressing force applied to the diaphragm 55, the port 51 is opened and the pressure reducing valve 50 moves in the direction of increasing the secondary pressure. It is supposed to work.

【手続補正2】[Procedure Amendment 2]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0018[Correction target item name] 0018

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0018】制御装置12は、制御対象である二次側圧力
の設定値を定めるための設定器18と、圧力センサ4の圧
力値と設定器18の設定値とを比較し、圧力値と設定値と
の偏差を補正するようにサーボバルブ17に信号を出力す
るコントローラ19とが備えられたものである。
The control unit 12 includes setting a setter 18 for determining the set value of the secondary pressure to be controlled is compared with the set value of setter 18 and the pressure value of the pressure sensor 4, the pressure value Value and
And a controller 19 for outputting a signal to the servo valve 17 so as to correct the deviation .

【手続補正3】[Procedure 3]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0022[Name of item to be corrected] 0022

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0022】ダイヤフラムモータ230 は、中空の円盤状
に形成されたケース231 の内部に操作ダイヤフラム232
を設置したものである。ダイヤフラムモータ230 の内部
は、操作ダイヤフラム232 によって二つの空間に仕切ら
れ、このうち図中上側のものが、操作用の空気圧が加え
られる操作ダイヤフラム室233 となっている。操作ダイ
ヤフラム232 の中央部分には、受圧ダイヤフラム222 か
ら延びるロッド225 の先端部分が接合されている。
お、ボンネット220 の側壁には、図から明らかなよう
に、当該側壁を貫通する大気開放孔が設けられている。
この大気開放孔により、ボンネット220 内部の受圧ダイ
ヤフラム222 と操作ダイヤフラム232 とに挟まれた空間
が大気圧となっている。
The diaphragm motor 230 includes an operating diaphragm 232 inside a case 231 formed in a hollow disk shape.
Is installed. The inside of the diaphragm motor 230 is partitioned into two spaces by the operation diaphragm 232, and the upper part of the drawing is the operation diaphragm chamber 233 to which the air pressure for operation is applied. A tip portion of a rod 225 extending from the pressure receiving diaphragm 222 is joined to a central portion of the operation diaphragm 232. Na
On the side wall of the hood 220, you can see
At the same time, an atmosphere opening hole penetrating the side wall is provided.
This air release hole allows the pressure receiving die inside the bonnet 220 to be
Space between yafram 222 and operating diaphragm 232.
Is atmospheric pressure.

【手続補正4】[Procedure amendment 4]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0036[Correction target item name] 0036

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0036】なお、本発明は前述の各実施例に限定され
るものではなく、次に示すような変形等をも含むもので
ある。すなわち、付勢手段としては、ダイヤフラムやピ
ストンの片側のみにダイヤフラム室および与圧室等が設
けられる単動式のものに限らず、ダイヤフラムやピスト
ンの両側にダイヤフラム室および与圧室等が設けられ、
一方へ流体を供給するとともに、他方から流体を排出す
ることで駆動される複動式のものでもよい。
The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, but includes the following modifications and the like. That is, the biasing means is not limited to the single-acting diaphragm chamber and pressurized chamber and the like are provided only on one side of the diaphragm and the piston, the diaphragm chamber and the pressurizing chamber or the like are provided on both sides of the diaphragm and the piston ,
A double-acting type driven by supplying fluid to one side and discharging the fluid from the other side may be used.

【手続補正5】[Procedure Amendment 5]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0037[Name of item to be corrected] 0037

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0037】また、付勢手段の駆動形式は、空気式に限
らず、例えば、電動式や油圧式のものでもよいが、空気
式のものにすれば、全体の構造を簡単にできるうえ、引
火性あるいは爆発性の強いガスに対して用いる際に必要
な防爆性を容易に得ることができる。
The driving system of the urging means is not limited to the pneumatic type, but may be, for example, an electric type or a hydraulic type, but if the pneumatic type is used, the entire structure can be simplified and the ignition can be performed. It is possible to easily obtain the explosion-proof property required when used for a gas having strong or explosive properties.

【手続補正6】[Procedure correction 6]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0038[Correction target item name] 0038

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0038】さらに、解除手段および付勢手段は、ダイ
ヤフラムモータ230 またはシリンダモータ240 等からな
る解除手段と付勢手段とを兼用するものに限らず、それ
ぞれが別体のものでもよい。例えば、受圧ダイヤフラム
を介して弁体をポートから離れる方向に付勢するコイル
ばねを設けてこれを付勢手段とするとともに、受圧ダイ
ヤフラムを弁体から離れる方向に移動させる空気式操作
器等を別途設けてこれを解除手段としてもよい。
Further, the releasing means and the urging means are not limited to those which also function as the urging means and the releasing means composed of the diaphragm motor 230 or the cylinder motor 240, and may be separate members. For example, with a biasing means which is provided a coil spring for urging in a direction away from the port of the valve body via the pressure-receiving diaphragm, a pneumatic operating device or the like Before moving away the pressure receiving diaphragm from the valve body It may be provided separately and used as the releasing means.

【手続補正7】[Procedure Amendment 7]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】図3[Name of item to be corrected] Figure 3

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【図3】本実施例の弁体と付勢手段とが係合している状
態を示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a state in which the valve body and the urging means of this embodiment are engaged with each other.

【手続補正8】[Procedure Amendment 8]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】図4[Name of item to be corrected] Fig. 4

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【図4】本実施例の弁体と付勢手段との係合が解除され
た状態を示す断面図である。
FIG. 4 is a sectional view showing a state in which the engagement between the valve body and the urging means of the present embodiment is released.

【手続補正9】[Procedure Amendment 9]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】符号の説明[Correction target item name] Explanation of code

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【符号の説明】 20 自動圧力調整弁 210 弁本体 212 弁体 222 受圧手段としての受圧ダイヤフラム 230 付勢手段と解除手段とを兼用するダイヤフラムモー
タ 240 付勢手段と解除手段とを兼用するシリンダモータ ─────────────────────────────────────────────────────
Cylinder motor that serves the release means and the diaphragm motor 240 biasing means also serves a the releasing means receiving diaphragm 230 biasing means as [Description of Reference Numerals] 20 automatic pressure regulating valve 210 valve body 212 valve body 222 receiving means ─ ─────────────────────────────────────────────────── ──

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成5年12月2日[Submission date] December 2, 1993

【手続補正3】[Procedure 3]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0024[Name of item to be corrected] 0024

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0024】ダイヤフラムモータ230 は、中空の円盤状
に形成されたケース231 の内部に操作ダイヤフラム232
を設置したものである。ダイヤフラムモータ230 の内部
は、操作ダイヤフラム232 によって二つの空間に仕切ら
れ、このうち図中上側のものが、操作用の空気圧が加え
られる操作ダイヤフラム室233 となっている。操作ダイ
ヤフラム232 の中央部分には、受圧ダイヤフラム222 か
ら延びるロッド225 の先端部分が接合されている。
お、ボンネット220 の側壁には、図から明らかなよう
に、当該側壁を貫通する大気開放孔が設けられている。
この大気開放孔により、ボンネット220 内部の受圧ダイ
ヤフラム222 と操作ダイヤフラム232 とに挟まれた空間
が大気圧となっている。
The diaphragm motor 230 includes an operating diaphragm 232 inside a case 231 formed in the shape of a hollow disk.
Is installed. The inside of the diaphragm motor 230 is partitioned into two spaces by the operation diaphragm 232, and the upper part of the drawing is the operation diaphragm chamber 233 to which the air pressure for operation is applied. A tip portion of a rod 225 extending from the pressure receiving diaphragm 222 is joined to a central portion of the operation diaphragm 232. Na
On the side wall of the hood 220, you can see
At the same time, an atmosphere opening hole penetrating the side wall is provided.
This air release hole allows the pressure receiving die inside the bonnet 220 to be
Space between yafram 222 and operating diaphragm 232.
Is atmospheric pressure.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】流体の出入口以外は閉鎖される弁本体と、
この弁本体に内蔵された弁体を開放方向に付勢する付勢
手段と、前記弁体に係合するとともに二次側圧力を受け
て当該弁体を閉鎖方向に移動させる受圧手段とを有する
ノンブリード型の自動圧力調整弁であって、前記弁体と
前記受圧手段との係合を解除する解除手段を設けたこと
を特徴とする自動圧力調整弁。
1. A valve body which is closed except for a fluid inlet and outlet,
It has an urging means for urging the valve body built in the valve body in the opening direction, and a pressure receiving means for engaging the valve body and receiving the secondary side pressure to move the valve body in the closing direction. A non-bleed type automatic pressure adjusting valve, comprising: a releasing means for releasing the engagement between the valve body and the pressure receiving means.
【請求項2】請求項1に記載の自動圧力調整弁におい
て、前記二次側圧力を検知する圧力検知手段と、この圧
力検知手段で検知した圧力に基づき前記付勢手段の付勢
力を加減する制御手段とを設けたことを特徴とする自動
圧力調整弁。
2. The automatic pressure regulating valve according to claim 1, wherein the pressure detecting means for detecting the secondary pressure and the urging force of the urging means are adjusted based on the pressure detected by the pressure detecting means. An automatic pressure regulating valve, characterized in that it is provided with a control means.
JP31319192A 1992-11-24 1992-11-24 Automatic pressure regulator Expired - Lifetime JP3206992B2 (en)

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JP31319192A JP3206992B2 (en) 1992-11-24 1992-11-24 Automatic pressure regulator

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WO2011071501A1 (en) * 2009-12-11 2011-06-16 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Pressure regulator apparatus to detect out of fluid state
JP2022110736A (en) * 2021-01-19 2022-07-29 Smc株式会社 Fluid pressure control device

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