JPH0614461B2 - 電子顕微鏡におけるガス雰囲気試料ホルダ - Google Patents
電子顕微鏡におけるガス雰囲気試料ホルダInfo
- Publication number
- JPH0614461B2 JPH0614461B2 JP62125539A JP12553987A JPH0614461B2 JP H0614461 B2 JPH0614461 B2 JP H0614461B2 JP 62125539 A JP62125539 A JP 62125539A JP 12553987 A JP12553987 A JP 12553987A JP H0614461 B2 JPH0614461 B2 JP H0614461B2
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- JP
- Japan
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- sample
- sample chamber
- sample holder
- chamber
- atmospheric pressure
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/2002—Controlling environment of sample
- H01J2237/2003—Environmental cells
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は電子顕微鏡に用いられるサイドエントリー型試
料ホルダに関し、特に大気圧下で生物試料等を観察し得
るようにした電子顕微鏡におけるガス雰囲気試料ホルダ
に関する。
料ホルダに関し、特に大気圧下で生物試料等を観察し得
るようにした電子顕微鏡におけるガス雰囲気試料ホルダ
に関する。
［従来技術］ 電子顕微鏡における試料観察では、試料の化学的変化を
観察したり、生物試料等を種々のガス雰囲気中に置いて
観察することがしばしば行なわれている。このような試
料観察に用いられる試料ホルダとして第４図に示すよう
な試料ホルダが使用されている。第４図において、１は
電子線光軸Ｚと直交する方向から挿入される試料ホルダ
で、２は試料ホルダ１に形成された試料室である。３は
試料室２の底部に配置された真空パッキン、４は真空パ
ッキン３を介して配置された下部メッシュであり、該下
部メッシュ４に対向して枠体５を挟んで上部メッシュ６
が配置されている。７は真空パッキンで、８は電子線通
過孔８ａを有するキャップである。９，１０は前記メッ
シュの細孔４ａ，６ａを塞ぐように張られた薄膜で、該
下部メッシュ４に張られた薄膜９上には、試料１１が載
置されている。１２，１３は第５図に示すように試料ホ
ルダー１を貫通して配置された１組のガス導入用のパイ
プで、該パイプ１２，１３は枠体５によつて形成される
大気圧試料室２Ａに連通している。
観察したり、生物試料等を種々のガス雰囲気中に置いて
観察することがしばしば行なわれている。このような試
料観察に用いられる試料ホルダとして第４図に示すよう
な試料ホルダが使用されている。第４図において、１は
電子線光軸Ｚと直交する方向から挿入される試料ホルダ
で、２は試料ホルダ１に形成された試料室である。３は
試料室２の底部に配置された真空パッキン、４は真空パ
ッキン３を介して配置された下部メッシュであり、該下
部メッシュ４に対向して枠体５を挟んで上部メッシュ６
が配置されている。７は真空パッキンで、８は電子線通
過孔８ａを有するキャップである。９，１０は前記メッ
シュの細孔４ａ，６ａを塞ぐように張られた薄膜で、該
下部メッシュ４に張られた薄膜９上には、試料１１が載
置されている。１２，１３は第５図に示すように試料ホ
ルダー１を貫通して配置された１組のガス導入用のパイ
プで、該パイプ１２，１３は枠体５によつて形成される
大気圧試料室２Ａに連通している。
このように構成された装置では、試料ホルダ１は電子線
光軸Ｚと直交する方向から挿入され、前記大気圧試料室
２Ａに連通する例えばパイプ１２によってガスを供給す
ることにより試料１１をガス雰囲気下に置いて観察を行
うことができる。
光軸Ｚと直交する方向から挿入され、前記大気圧試料室
２Ａに連通する例えばパイプ１２によってガスを供給す
ることにより試料１１をガス雰囲気下に置いて観察を行
うことができる。
［発明が解決しようとする問題点］ ところで、このように構成された試料ホルダでは、試料
ホルダ１に大気圧試料室２Ａを形成し試料をセットする
場合、先ず、下部メッシュ４と薄膜９を配置した後、薄
膜９上に試料１１を載置し、次に枠体５，上部メッシュ
６，真空パッキン７，キャップ８の順に取り付けて試料
をセットするような構造となっている。そのため、湿っ
た状態で観察する生物試料等の場合は、試料のセットに
比較的時間を要するため試料が乾燥して正確な電子線像
を得ることができない。又、試料よりの電気信号を取り
出そうとしてもそのような構造となっていないため試料
よりの電気信号を取り出すことができない欠点があっ
た。
ホルダ１に大気圧試料室２Ａを形成し試料をセットする
場合、先ず、下部メッシュ４と薄膜９を配置した後、薄
膜９上に試料１１を載置し、次に枠体５，上部メッシュ
６，真空パッキン７，キャップ８の順に取り付けて試料
をセットするような構造となっている。そのため、湿っ
た状態で観察する生物試料等の場合は、試料のセットに
比較的時間を要するため試料が乾燥して正確な電子線像
を得ることができない。又、試料よりの電気信号を取り
出そうとしてもそのような構造となっていないため試料
よりの電気信号を取り出すことができない欠点があっ
た。
本発明は以上の点に鑑みなされたもので、試料を上下ど
ちらの方向からでもセットできるような構造とし、試料
のセットに要する時間を短縮して生物試料等の湿った試
料の正確な電子線像を得ると共に試料よりの電気信号を
取り出し得る装置を提供することを目的としている。
ちらの方向からでもセットできるような構造とし、試料
のセットに要する時間を短縮して生物試料等の湿った試
料の正確な電子線像を得ると共に試料よりの電気信号を
取り出し得る装置を提供することを目的としている。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は上記の目的を達成するため、試料を保持した試
料室をその先端部に有し電子線光軸と直交する方向から
挿入するようにした電子顕微鏡における試料ホルダにお
いて、該試料ホルダの先端部に取付けられた試料室を形
成する試料室用孔が穿れた試料室用ブロックと、該試料
室用孔に対向して配置され電子線通過孔を有する上，下
キャップと、該上，下キャップの対向面に枠体を間に挟
んで配置される上，下メッシュと、該上，下メッシュの
細孔を塞ぐように両メッシュの対向面に配置される薄膜
と、前記枠体によって前記両キャップ間に形成される大
気圧試料室とを備え、前記大気圧試料室に大気側よりガ
スを導入するための手段を設けたことを特徴としてい
る。
料室をその先端部に有し電子線光軸と直交する方向から
挿入するようにした電子顕微鏡における試料ホルダにお
いて、該試料ホルダの先端部に取付けられた試料室を形
成する試料室用孔が穿れた試料室用ブロックと、該試料
室用孔に対向して配置され電子線通過孔を有する上，下
キャップと、該上，下キャップの対向面に枠体を間に挟
んで配置される上，下メッシュと、該上，下メッシュの
細孔を塞ぐように両メッシュの対向面に配置される薄膜
と、前記枠体によって前記両キャップ間に形成される大
気圧試料室とを備え、前記大気圧試料室に大気側よりガ
スを導入するための手段を設けたことを特徴としてい
る。
［実施例］ 以下本発明の実施例を添附図面に基づき詳述する。
第１図及び第２図は本発明の一実施例の断面図であり、
第１図は試料ホルダが挿入される方向からの縦断面図
で、第２図は電子線光軸方向からの横断面図である。第
１図及び第２図において、２０は試料ホルダで、２１は
試料ホルダ２０の先端部にビス２２ａ，２２ｂ，２２
ｃ，２２ｄによって取り付けられた試料室用ブロックで
ある。該試料室用ブロック２１には後述する大気圧試料
室を形成するため試料室用孔２１ａが形成されており、
該孔２１ａにはこの孔２１ａに連通するガスを供給，排
出するための４本のガス用孔２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，
２１ｅ（ガス用孔２１ｃと２１ｅは図示せず）が形成さ
れており、これらのガス用孔は第１図に破線２１ｂで示
すように試料ホルダ中心Ｃより上方に形成されている。
又、このガス用孔２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅには
第３図の斜視図に示すように真空用シール２３を介して
４本のパイプ２４，２５，２６，２７が接続され、試料
室用ブロック２１とパイプとは取外し可能になってい
る。２８，２９は前記試料室用孔２１ａに対向して配置
され、電子線通過孔２８ａ，２９ａを有するそれぞれ上
部キャップと下部キャップである。該上部キャップ２８
と下部キャップ２９の対向面には枠体３０を間に挟んで
上部メッシュ３１と下部メッシュ３２が配置されてい
る。３３，３４は前記メッシュの細孔３１ａ，３２ａを
塞ぐように張られた薄膜であり、従って、このように構
成された試料ホルダにおいては、枠体３０によって大気
圧試料室３５が形成される。又、下部メッシュ３２ａに
張られた薄膜３４上には、試料３６が載置されている。
３７，３８は真空シールで、３９，４０は該試料ホルダ
を組立てる際に電子線光軸Ｚと試料ホルダ１の中心を出
すためのリング状のコーナである。４１，４２は前記上
部キャツプ２８と下部キャップ２９を試料室用ブロック
２１に固定するためのネジである。４３は試料を液体で
湿らせて観察する場合に用いるガス導入用パイプに接続
される液滞留用パイプである。
第１図は試料ホルダが挿入される方向からの縦断面図
で、第２図は電子線光軸方向からの横断面図である。第
１図及び第２図において、２０は試料ホルダで、２１は
試料ホルダ２０の先端部にビス２２ａ，２２ｂ，２２
ｃ，２２ｄによって取り付けられた試料室用ブロックで
ある。該試料室用ブロック２１には後述する大気圧試料
室を形成するため試料室用孔２１ａが形成されており、
該孔２１ａにはこの孔２１ａに連通するガスを供給，排
出するための４本のガス用孔２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，
２１ｅ（ガス用孔２１ｃと２１ｅは図示せず）が形成さ
れており、これらのガス用孔は第１図に破線２１ｂで示
すように試料ホルダ中心Ｃより上方に形成されている。
又、このガス用孔２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅには
第３図の斜視図に示すように真空用シール２３を介して
４本のパイプ２４，２５，２６，２７が接続され、試料
室用ブロック２１とパイプとは取外し可能になってい
る。２８，２９は前記試料室用孔２１ａに対向して配置
され、電子線通過孔２８ａ，２９ａを有するそれぞれ上
部キャップと下部キャップである。該上部キャップ２８
と下部キャップ２９の対向面には枠体３０を間に挟んで
上部メッシュ３１と下部メッシュ３２が配置されてい
る。３３，３４は前記メッシュの細孔３１ａ，３２ａを
塞ぐように張られた薄膜であり、従って、このように構
成された試料ホルダにおいては、枠体３０によって大気
圧試料室３５が形成される。又、下部メッシュ３２ａに
張られた薄膜３４上には、試料３６が載置されている。
３７，３８は真空シールで、３９，４０は該試料ホルダ
を組立てる際に電子線光軸Ｚと試料ホルダ１の中心を出
すためのリング状のコーナである。４１，４２は前記上
部キャツプ２８と下部キャップ２９を試料室用ブロック
２１に固定するためのネジである。４３は試料を液体で
湿らせて観察する場合に用いるガス導入用パイプに接続
される液滞留用パイプである。
このように構成された試料ホルダは、電子線光軸Ｚと直
交する方向から挿入されて使用されるが、以下に大気圧
試料室に各種試料等をセットする場合について説明す
る。尚、第１図の縦断面図においては、光軸Ｚを中心と
して紙面右側イは試料よりの電気信号を取出す場合、
又、紙面左側ロには湿った試料をセットして観察する場
合の各構成部品の配置が示されている。
交する方向から挿入されて使用されるが、以下に大気圧
試料室に各種試料等をセットする場合について説明す
る。尚、第１図の縦断面図においては、光軸Ｚを中心と
して紙面右側イは試料よりの電気信号を取出す場合、
又、紙面左側ロには湿った試料をセットして観察する場
合の各構成部品の配置が示されている。
先ず、試料３６よりの電気信号を取出す場合は、試料３
６に図示しない電極と電線を接続して、この電線をガス
導入用パイプ内を通して外部に取り出すようにするが、
これは、試料３６が先にセットされていた方が都合が良
いためである。従って、このような試料をセットする場
合は、コーナ３９，真空シール部材３８，下部キャップ
２９，下部メッシュ３２の順に配置して、該下部メッシ
ュ３２に張られている薄膜３４上に試料３６をセットす
る。そして、前述した電極を試料３６に取り付け電線を
接続して、この電線をガス導入用パイプ内を通して外部
に取り出すようにする。次に、枠体３０，上部メッシュ
３１，コーナ４０，真空シール３７を配置し、最後に上
部キャップ２８を取付けることにより、試料３６よりの
電気信号を試料ホルダ外に取出すことが可能となる。
６に図示しない電極と電線を接続して、この電線をガス
導入用パイプ内を通して外部に取り出すようにするが、
これは、試料３６が先にセットされていた方が都合が良
いためである。従って、このような試料をセットする場
合は、コーナ３９，真空シール部材３８，下部キャップ
２９，下部メッシュ３２の順に配置して、該下部メッシ
ュ３２に張られている薄膜３４上に試料３６をセットす
る。そして、前述した電極を試料３６に取り付け電線を
接続して、この電線をガス導入用パイプ内を通して外部
に取り出すようにする。次に、枠体３０，上部メッシュ
３１，コーナ４０，真空シール３７を配置し、最後に上
部キャップ２８を取付けることにより、試料３６よりの
電気信号を試料ホルダ外に取出すことが可能となる。
次に、大気圧試料室３５に湿った試料３６をセットして
観察する場合は、湿った試料３６が乾燥しない間に観察
することが必要である。そのため、先ず、前述した液体
を滞留させた液滞留用パイプ４３をパイプ２４に取付け
る。そして、コーナ４０′，真空シール部材３７，上部
キャップ２８，上記メッシュ３１の順に配置する。次
に、枠体３０を入れるが、この時、試料室用ブロック２
１のガス用孔に枠体３０の切り欠き部３０ａを合せ、前
述した液滞留用パイプ４３の先端が大気圧試料室３５内
に位置するように枠体３０をセットする。そして、試料
３６を載置した下部メッシュ３２、コーナ３９′、真空
シール３８、下部キャップ２９を配置する。このように
して試料３６をセットした後、試料ホルダ２０を鏡筒よ
り挿入して、パイプ２６により大気圧試料室３５を負圧
になるように排気すれば、前記液滞留用パイプ４３に滞
留している液体が大気圧試料室３５内に流入するため、
試料３６に液体がかかり試料３６を湿った状態にするこ
とができる。
観察する場合は、湿った試料３６が乾燥しない間に観察
することが必要である。そのため、先ず、前述した液体
を滞留させた液滞留用パイプ４３をパイプ２４に取付け
る。そして、コーナ４０′，真空シール部材３７，上部
キャップ２８，上記メッシュ３１の順に配置する。次
に、枠体３０を入れるが、この時、試料室用ブロック２
１のガス用孔に枠体３０の切り欠き部３０ａを合せ、前
述した液滞留用パイプ４３の先端が大気圧試料室３５内
に位置するように枠体３０をセットする。そして、試料
３６を載置した下部メッシュ３２、コーナ３９′、真空
シール３８、下部キャップ２９を配置する。このように
して試料３６をセットした後、試料ホルダ２０を鏡筒よ
り挿入して、パイプ２６により大気圧試料室３５を負圧
になるように排気すれば、前記液滞留用パイプ４３に滞
留している液体が大気圧試料室３５内に流入するため、
試料３６に液体がかかり試料３６を湿った状態にするこ
とができる。
従って、このように構成された試料ホルダにおいては、
試料ホルダの形状及び構成部品を試料を上下いずれの方
向からもセットできるようにしたため、試料のセットが
従来よりし易くなると共に、試料よりの電気信号を取出
すことも、試料を湿った状態で観察することも可能にな
る。
試料ホルダの形状及び構成部品を試料を上下いずれの方
向からもセットできるようにしたため、試料のセットが
従来よりし易くなると共に、試料よりの電気信号を取出
すことも、試料を湿った状態で観察することも可能にな
る。
又、大気圧試料室３５を形成する枠体３０の厚さを、例
えば１ｍｍに選択して大気圧試料室を液体導入用に使用
したり、枠体３０の厚さを０．５ｍｍに選択して電気信
号取出し用に使用したり、枠体３０の厚さを０．０５ｍ
ｍに選択してガス導入用に使用したりすることができる
ため、試料の観察目的に合せた大気圧試料室とすること
ができる。
えば１ｍｍに選択して大気圧試料室を液体導入用に使用
したり、枠体３０の厚さを０．５ｍｍに選択して電気信
号取出し用に使用したり、枠体３０の厚さを０．０５ｍ
ｍに選択してガス導入用に使用したりすることができる
ため、試料の観察目的に合せた大気圧試料室とすること
ができる。
更に、従来の試料ホルダは、２本のガス導入用パイプが
大気圧試料室に連通する構成となっていたが、本実施例
装置においては、大気圧試料室３５に４本のガス導入用
パイプを連通させてパイプの数を増したため、大気圧試
料室に供給するガスあるいは液体を複数種類同時に供給
して、これらの雰囲気下で試料を観察することもでき
る。
大気圧試料室に連通する構成となっていたが、本実施例
装置においては、大気圧試料室３５に４本のガス導入用
パイプを連通させてパイプの数を増したため、大気圧試
料室に供給するガスあるいは液体を複数種類同時に供給
して、これらの雰囲気下で試料を観察することもでき
る。
更に又、試料のセットは試料室用ブロック２１を試料ホ
ルダ２０に取付けたままでも、又、試料室用ブロック２
１を試料ホルダ２０から取外した状態で試料をセットで
きるため、各種の試料室用ブロックを複数用意してお
き、試料室用ブロックを交換するだけで各種の試料観察
することが可能となるため、試料ホルダを多数用意する
必要もない。
ルダ２０に取付けたままでも、又、試料室用ブロック２
１を試料ホルダ２０から取外した状態で試料をセットで
きるため、各種の試料室用ブロックを複数用意してお
き、試料室用ブロックを交換するだけで各種の試料観察
することが可能となるため、試料ホルダを多数用意する
必要もない。
［発明の効果］ 以上詳述したように本発明によれば、試料を上下どちら
の方向からもセットできるような試料ホルダの形状及び
構成としたため、生物試料等の湿った試料の電子線像を
正確に観察することができると共に試料よりの電気信号
を取り出し得る電子顕微鏡におけるガス雰囲気試料ホル
ダが提供される。
の方向からもセットできるような試料ホルダの形状及び
構成としたため、生物試料等の湿った試料の電子線像を
正確に観察することができると共に試料よりの電気信号
を取り出し得る電子顕微鏡におけるガス雰囲気試料ホル
ダが提供される。
第１図及び第２図は本発明の一実施例の断面図、第３図
は本発明の要部の斜視図、第４図及び第５図は従来技術
を説明するための断面図である。 ２０：試料ホルダ、２１：試料室用ブロック、２２ａ，
２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ：ビス、２３：真空用シール、
２４，２５，２６，２７：パイプ、２８：上部キャッ
プ、２９：下部キャップ、３０：枠体、３１：上部メッ
シュ、３２：下部メッシュ、３３，３４：薄膜、３５：
大気圧試料室、３６：試料、３７，３８：真空シール部
材、３９，４０：リング状コーナ、４１，４２：ネジ、
４３：液滞留用パイプ。
は本発明の要部の斜視図、第４図及び第５図は従来技術
を説明するための断面図である。 ２０：試料ホルダ、２１：試料室用ブロック、２２ａ，
２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ：ビス、２３：真空用シール、
２４，２５，２６，２７：パイプ、２８：上部キャッ
プ、２９：下部キャップ、３０：枠体、３１：上部メッ
シュ、３２：下部メッシュ、３３，３４：薄膜、３５：
大気圧試料室、３６：試料、３７，３８：真空シール部
材、３９，４０：リング状コーナ、４１，４２：ネジ、
４３：液滞留用パイプ。
Claims (1)
- 【請求項１】試料を保持した試料室をその先端部に有し
電子線光軸と直交する方向から挿入するようにした電子
顕微鏡における試料ホルダにおいて、該試料ホルダの先
端部に取付けられた試料室を形成する試料室用孔が穿れ
た試料室用ブロックと、該試料室用孔に対向して配置さ
れ電子線通過孔を有する上，下キャップと、該上，下キ
ャップの対向面に枠体を間に挟んで配置される上，下メ
ッシュと、該上，下メッシュの細孔を塞ぐように両メッ
シュの対向面に配置される薄膜と、前記枠体によって前
記両キャップ間に形成される大気圧試料室とを備え、前
記大気圧試料室に大気側よりガスを導入するための手段
を設けたことを特徴とする電子顕微鏡におけるガス雰囲
気試料ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62125539A JPH0614461B2 (ja) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | 電子顕微鏡におけるガス雰囲気試料ホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62125539A JPH0614461B2 (ja) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | 電子顕微鏡におけるガス雰囲気試料ホルダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63291346A JPS63291346A (ja) | 1988-11-29 |
| JPH0614461B2 true JPH0614461B2 (ja) | 1994-02-23 |
Family
ID=14912695
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62125539A Expired - Fee Related JPH0614461B2 (ja) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | 電子顕微鏡におけるガス雰囲気試料ホルダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0614461B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ATE510298T1 (de) | 2000-12-01 | 2011-06-15 | Yeda Res & Dev | Einrichtung und verfahren zur untersuchung von proben in einer nicht-vakuum-umgebung unter verwendung eines rasterelektronenmikroskops |
| JP5260575B2 (ja) * | 2010-02-24 | 2013-08-14 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡、および試料ホルダ |
| CN103493171B (zh) * | 2011-04-28 | 2016-02-17 | 株式会社日立高新技术 | 电子显微镜用试样保持装置以及电子显微镜装置 |
| EP2631929A1 (en) | 2012-02-27 | 2013-08-28 | FEI Company | A holder assembly for cooperating with an environmental cell and an electron microscope |
-
1987
- 1987-05-22 JP JP62125539A patent/JPH0614461B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63291346A (ja) | 1988-11-29 |
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