JPH0611317A - プロフィル測定用のコンパクトなレ−ザプロ−ブ - Google Patents
プロフィル測定用のコンパクトなレ−ザプロ−ブInfo
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- JPH0611317A JPH0611317A JP5024547A JP2454793A JPH0611317A JP H0611317 A JPH0611317 A JP H0611317A JP 5024547 A JP5024547 A JP 5024547A JP 2454793 A JP2454793 A JP 2454793A JP H0611317 A JPH0611317 A JP H0611317A
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- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C7/00—Tracing profiles
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
- G01B5/0014—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Remote Sensing (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、熱的に導入されるエラ−に実質上
影響を受けない低パワ−で、コンパクトなレ−ザプロ−
ブを提供することを目的とする。 【構成】 フレ−ム10と、このフレ−ム10に結合され、
サンプルビ−ム光路Ｄと基準ビーム光路Ｃとを生成する
手段と、基準ビーム光路Ｃの長さがサンプルビ−ム光路
Ｄの路の長さと予め決められた関係に維持されるように
基準ビ−ム光路Ｃの路長をフレ−ムの寸法における変化
に応答して変化させるために複数のピエゾ電気素子のス
タックされた装置48を備えており、このピエゾ電気素子
にフレ−ム10の寸法の変化を補償するための励起信号が
結合され、フレ−ム10の寸法の変化に応答して励起信号
を調整する手段が設けられていることを特徴とする。
影響を受けない低パワ−で、コンパクトなレ−ザプロ−
ブを提供することを目的とする。 【構成】 フレ−ム10と、このフレ−ム10に結合され、
サンプルビ−ム光路Ｄと基準ビーム光路Ｃとを生成する
手段と、基準ビーム光路Ｃの長さがサンプルビ−ム光路
Ｄの路の長さと予め決められた関係に維持されるように
基準ビ−ム光路Ｃの路長をフレ−ムの寸法における変化
に応答して変化させるために複数のピエゾ電気素子のス
タックされた装置48を備えており、このピエゾ電気素子
にフレ−ム10の寸法の変化を補償するための励起信号が
結合され、フレ−ム10の寸法の変化に応答して励起信号
を調整する手段が設けられていることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光学測定装置特にレ−ザ
プロ−ブ基準ビ−ム変調器に関する。
プロ−ブ基準ビ−ム変調器に関する。
【０００２】
【従来の技術】プロフィル測定システムの重要な点はシ
ステムが熱により導入されるドリフトエラ−に感知しな
いことである。多くの応用で重要な別の点はプロフィル
測定用システムが比較的コンパクトで多量の電力を消費
しないことである。
ステムが熱により導入されるドリフトエラ−に感知しな
いことである。多くの応用で重要な別の点はプロフィル
測定用システムが比較的コンパクトで多量の電力を消費
しないことである。
【０００３】既知のシステムの１つのタイプは出力がピ
エゾ電気駆動焦点素子を用いてサンプルに焦点を結ぶ単
一のレ−ザダイオ−ド光源を有する。散乱または反射し
た光は焦点素子によりカッドセル焦点検出器上に像を形
成し、サンプル表面プロフィルは焦点素子の位置を監視
することにより得られる。
エゾ電気駆動焦点素子を用いてサンプルに焦点を結ぶ単
一のレ−ザダイオ−ド光源を有する。散乱または反射し
た光は焦点素子によりカッドセル焦点検出器上に像を形
成し、サンプル表面プロフィルは焦点素子の位置を監視
することにより得られる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この「レ−ザ針」の１
つの欠点は解像度設定に対する1000／１の限定された距
離／解像度比である。例えば１ミクロンの距離は１ナノ
メ−タの解像度を提供する。
つの欠点は解像度設定に対する1000／１の限定された距
離／解像度比である。例えば１ミクロンの距離は１ナノ
メ−タの解像度を提供する。
【０００５】従って本発明の目的は熱的に導入されるエ
ラ−に実質上影響を受けない低パワ−で、コンパクトな
レ−ザプロ−ブを提供することである。
ラ−に実質上影響を受けない低パワ−で、コンパクトな
レ−ザプロ−ブを提供することである。
【０００６】本発明の別の目的は、少なくとも（１
０5 ：１）の大きなダイナミック距離／解像度を有する
低パワ−で、コンパクトなレ−ザプロ−ブを提供するこ
とである。
０5 ：１）の大きなダイナミック距離／解像度を有する
低パワ−で、コンパクトなレ−ザプロ−ブを提供するこ
とである。
【０００７】本発明の別の目的は、例えば通常のコンパ
クトタイプのプロ−ブの代用として遠隔距離とロボット
制御応用即ち測定応用における使用又はマスク整列およ
び／又はウェハ位置設定のような半導体処理応用の整列
装置として使用されるのに適した低パワ−で、コンパク
トなレ−ザプロ−ブを提供することである。
クトタイプのプロ−ブの代用として遠隔距離とロボット
制御応用即ち測定応用における使用又はマスク整列およ
び／又はウェハ位置設定のような半導体処理応用の整列
装置として使用されるのに適した低パワ−で、コンパク
トなレ−ザプロ−ブを提供することである。
【０００８】さらに本発明のさらに別の目的は、半導体
その他の応用の高解像度でコンパクトでないプロフィル
装置として使用されるのに適した低パワ−で、コンパク
トなレ−ザプロ−ブを提供することである。
その他の応用の高解像度でコンパクトでないプロフィル
装置として使用されるのに適した低パワ−で、コンパク
トなレ−ザプロ−ブを提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前述の問題又はその他の
克服すべき問題と本発明の目的は、プロ−ブ本体が膨脹
又は収縮したとき所望の基準空洞長を維持するためひず
み計フィ−ドバック回路を含むコンパクトなプロ−ブ基
準ビ−ム変調器により達成される。ひずみ計フィ−ドバ
ックは実質上無熱のプロ−ブを生じる。さらに、プロ−
ブ本体はシステムの機械的および光学的安定性を改良
し、熱勾配の影響を受けないようにするために低い熱膨
脹係数を有する材料から製造される。
克服すべき問題と本発明の目的は、プロ−ブ本体が膨脹
又は収縮したとき所望の基準空洞長を維持するためひず
み計フィ−ドバック回路を含むコンパクトなプロ−ブ基
準ビ−ム変調器により達成される。ひずみ計フィ−ドバ
ックは実質上無熱のプロ−ブを生じる。さらに、プロ−
ブ本体はシステムの機械的および光学的安定性を改良
し、熱勾配の影響を受けないようにするために低い熱膨
脹係数を有する材料から製造される。
【００１０】測定の不確定に対する熱膨脹の影響を減少
させることによって測定の正確性を改良する。コンパク
トなサイズはプロフィル測定の融通性を改良する。低電
圧変調器の使用はまたプロフィル測定システムに必要な
電力を減少する。
させることによって測定の正確性を改良する。コンパク
トなサイズはプロフィル測定の融通性を改良する。低電
圧変調器の使用はまたプロフィル測定システムに必要な
電力を減少する。
【００１１】より詳細に説明すると、本発明は、光学測
定装置特にレ−ザプロ−ブを提供することであり、それ
は予め決められた熱膨脹係数を有するように選択された
材料からなるフレ−ムを含む。ビ−ムスプリッタはサン
プルビ−ム光路と基準ビ−ム光路を生成するためのフレ
−ムに結合される。ビ−ムスプリッタは光放射をフレ−
ムへおよびフレ−ムから伝送するように結合されてい
る。ピエゾ電気スタックは励起信号を結合され、励起信
号に応答して基準ビ−ム光路の長さを位相変調するミラ
−を含む。レ−ザプロ−ブはピエゾ電気スタックと結合
する第１のひずみ計と、フレ−ムに結合する第２のひず
み計を含む。閉ル−プ制御システムはサンプルビ−ム光
路の光路長と予め決められた関係の基準ビ−ム光路長を
維持するため検出されたひずみに従って励起信号を変化
する。
定装置特にレ−ザプロ−ブを提供することであり、それ
は予め決められた熱膨脹係数を有するように選択された
材料からなるフレ−ムを含む。ビ−ムスプリッタはサン
プルビ−ム光路と基準ビ−ム光路を生成するためのフレ
−ムに結合される。ビ−ムスプリッタは光放射をフレ−
ムへおよびフレ−ムから伝送するように結合されてい
る。ピエゾ電気スタックは励起信号を結合され、励起信
号に応答して基準ビ−ム光路の長さを位相変調するミラ
−を含む。レ−ザプロ−ブはピエゾ電気スタックと結合
する第１のひずみ計と、フレ−ムに結合する第２のひず
み計を含む。閉ル−プ制御システムはサンプルビ−ム光
路の光路長と予め決められた関係の基準ビ−ム光路長を
維持するため検出されたひずみに従って励起信号を変化
する。
【００１２】この技術はフレ−ムの膨脹または縮小がピ
エゾ電気スタックにより整合され、非共通のビ−ム光路
の長さにおけるネットゼロ変化を生む点で効率的にプロ
−ブを無熱化する。この無熱技術は実質上プロフィル測
定デ−タの熱ドリフト不確定を減少する。
エゾ電気スタックにより整合され、非共通のビ−ム光路
の長さにおけるネットゼロ変化を生む点で効率的にプロ
−ブを無熱化する。この無熱技術は実質上プロフィル測
定デ−タの熱ドリフト不確定を減少する。
【００１３】また光ファイバを構造に結合する装置が開
示されている。この装置は光ファイバの端子を支持する
ための光ファイバ支持体を含む。光ファイバ支持体は光
ファイバの端子の端部が構造表面と所望の角度で関連し
て位置するように構造に回転可能に結合される形態を有
する。光ファイバ支持体はさらに光ファイバ支持体を構
造表面に対して所望の角度で光ファイバ支持体が固定さ
れるようにクランプ機能を含む。
示されている。この装置は光ファイバの端子を支持する
ための光ファイバ支持体を含む。光ファイバ支持体は光
ファイバの端子の端部が構造表面と所望の角度で関連し
て位置するように構造に回転可能に結合される形態を有
する。光ファイバ支持体はさらに光ファイバ支持体を構
造表面に対して所望の角度で光ファイバ支持体が固定さ
れるようにクランプ機能を含む。
【００１４】本発明の前述した特徴およびその他の特徴
は添付の図面を伴う後述の本発明の詳細な説明により明
白である。
は添付の図面を伴う後述の本発明の詳細な説明により明
白である。
【００１５】
【実施例】図１を参照すると、本発明に従って構成され
動作されるコンパクトなレ−ザプロ−ブ１の上面図が示
されている。
動作されるコンパクトなレ−ザプロ−ブ１の上面図が示
されている。
【００１６】フレ−ムまたはプロ−ブ本体10は低熱膨脹
係数を有する単一の材料から組立てられることが好まし
い。本発明の好ましい実施例ではこの材料はス−パ−イ
ンバ−であるが本発明の実施はこの特定の材料に限定さ
れない。本体10はこの発明の好ましい材料の安定（寸法
および熱）特性を維持するため機械加工される。プロ−
ブ本体10内に含まれる構成要素はまたプロ−ブ本体10と
の材料の不整合を最少にするため可能な限りプロ−ブ本
体10と同一の材料で構成される。プロ−ブ本体10はプロ
−ブ本体10の寸法安定性を維持するため単一の１／４−
20ボルト11ａを使用してベッド11に取付けられている。
プロ−ブ本体10のおおよその寸法は長さ6.5 ｃｍ、幅5.
0 ｃｍ、高さ1.5 ｃｍである。
係数を有する単一の材料から組立てられることが好まし
い。本発明の好ましい実施例ではこの材料はス−パ−イ
ンバ−であるが本発明の実施はこの特定の材料に限定さ
れない。本体10はこの発明の好ましい材料の安定（寸法
および熱）特性を維持するため機械加工される。プロ−
ブ本体10内に含まれる構成要素はまたプロ−ブ本体10と
の材料の不整合を最少にするため可能な限りプロ−ブ本
体10と同一の材料で構成される。プロ−ブ本体10はプロ
−ブ本体10の寸法安定性を維持するため単一の１／４−
20ボルト11ａを使用してベッド11に取付けられている。
プロ−ブ本体10のおおよその寸法は長さ6.5 ｃｍ、幅5.
0 ｃｍ、高さ1.5 ｃｍである。
【００１７】光ファイバ12はレ−ザダイオ−ドの光を光
源検出器構造（図示せず）から伝送し、また混合した基
準ビ−ム光とサンプルビ−ム光を光源検出器構造へ戻す
ように伝送する。光源検出器構造10の適切な実例はPete
r J. de Groot 氏による1991年３月出願の米国特許第
Ｓ．Ｎ．07/676,144号明細書（“Three Wavelength Opt
ical Measurement Apparatus and Method ”）に記載さ
れている。
源検出器構造（図示せず）から伝送し、また混合した基
準ビ−ム光とサンプルビ−ム光を光源検出器構造へ戻す
ように伝送する。光源検出器構造10の適切な実例はPete
r J. de Groot 氏による1991年３月出願の米国特許第
Ｓ．Ｎ．07/676,144号明細書（“Three Wavelength Opt
ical Measurement Apparatus and Method ”）に記載さ
れている。
【００１８】光ファイバ12はファイバ位置設定構造体14
によりレ−ザプロ−ブ１内の光学素子と整列されてい
る。位置設定構造体14はファイバ12角度調節のための限
定された動作の「ボ−ル」16とクランプ機構18と、ファ
イバ支持マンドレル20とを含む。ファイバ12が支持マン
ドレル20に位置された後クランプねじ22はボ−ル16の調
節が可能なように緩められる。ファイバ12の角度が正確
に調節された後、クランプねじ22はボ−ル16が好ましい
位置に確保されるように締められる。
によりレ−ザプロ−ブ１内の光学素子と整列されてい
る。位置設定構造体14はファイバ12角度調節のための限
定された動作の「ボ−ル」16とクランプ機構18と、ファ
イバ支持マンドレル20とを含む。ファイバ12が支持マン
ドレル20に位置された後クランプねじ22はボ−ル16の調
節が可能なように緩められる。ファイバ12の角度が正確
に調節された後、クランプねじ22はボ−ル16が好ましい
位置に確保されるように締められる。
【００１９】図４は本発明のファイバ位置設定構造体14
の好ましい実施例の分解図を示している。ファイバ支持
マンドレル20は限定された動作ボ−ル16に圧入されて固
定されている。マンドレル20はファイバ（図示せず）を
支持し、ボ−ル16の角度位置を調節する役目をする。ボ
−ル16は例えば実質上円筒型の形態を形成するためボ−
ルベアリングを加工することにより製造される。ボ−ル
16はまたロッドの上部および下部端部の丸い端部を形成
することにより製造される。いかなる方法によってボ−
ル16が製造されても最終結果は第１の端部16ａは曲率半
径を有し、第２の端部16ｂも曲率半径を有している。端
部16ａ、16ｂの曲率半径は必要ではないが典型的には互
いに等しく作られる。
の好ましい実施例の分解図を示している。ファイバ支持
マンドレル20は限定された動作ボ−ル16に圧入されて固
定されている。マンドレル20はファイバ（図示せず）を
支持し、ボ−ル16の角度位置を調節する役目をする。ボ
−ル16は例えば実質上円筒型の形態を形成するためボ−
ルベアリングを加工することにより製造される。ボ−ル
16はまたロッドの上部および下部端部の丸い端部を形成
することにより製造される。いかなる方法によってボ−
ル16が製造されても最終結果は第１の端部16ａは曲率半
径を有し、第２の端部16ｂも曲率半径を有している。端
部16ａ、16ｂの曲率半径は必要ではないが典型的には互
いに等しく作られる。
【００２０】位置設定用の固定装置はプロ−ブ本体10、
クランプ18、図４では１つのみが示されている４つのク
ランプボルト22を有する。球状端部16ａの曲率半径より
も僅かに大きい曲率半径を有する球形凹部又はシ−ト10
ａはプロ−ブ本体10の表面10ｂへ加工される。第２の同
様な球形シ−ト18ａは端部16ｂを受けるためクランプ18
の表面18ｂへ加工される。クランプ18はファイバ位置設
定装置の安定性を改善するようにプロ−ブ本体10と同一
の材料から製造されることが好ましい。
クランプ18、図４では１つのみが示されている４つのク
ランプボルト22を有する。球状端部16ａの曲率半径より
も僅かに大きい曲率半径を有する球形凹部又はシ−ト10
ａはプロ−ブ本体10の表面10ｂへ加工される。第２の同
様な球形シ−ト18ａは端部16ｂを受けるためクランプ18
の表面18ｂへ加工される。クランプ18はファイバ位置設
定装置の安定性を改善するようにプロ−ブ本体10と同一
の材料から製造されることが好ましい。
【００２１】この機構構造の結果はボ−ル16およびファ
イバを含むマンドレル20がプロ−ブ本体10に回転可能に
結合され、従って表面10ｂと好ましい角度関係をもって
ファイバ12の端子を設定するため調節可能に位置される
ことができる。ファイバ12を所望の角度関係に設定した
後ボルト22はボ−ル16をその所望位置に固定するように
締められる。
イバを含むマンドレル20がプロ−ブ本体10に回転可能に
結合され、従って表面10ｂと好ましい角度関係をもって
ファイバ12の端子を設定するため調節可能に位置される
ことができる。ファイバ12を所望の角度関係に設定した
後ボルト22はボ−ル16をその所望位置に固定するように
締められる。
【００２２】文字Ａで示されているファイバ12の端部か
ら放射されたレ−ザ光はレンズ構造28によりサンプル表
面24上、また基準ミラ−上に焦点を結ばせられる。レン
ズ構造28は１以上の画像形成レンズ32が設けられている
ス−パ−インバ−レンズセル30を含む。焦点はレンズセ
ル30をプロ−ブ本体10内でスライドすることにより調整
される。レンズセル30の所望の位置を決定後、レンズセ
ル30はセットねじ34でクランプされる。レ−ザ１の「動
作距離」は従ってファイバ12からの光をサンプル表面24
が次に位置される所望の動作距離に位置される光学平面
上に焦点を結ばせるためにレンズセル構造28を移動する
ことにより微細に調節される。公称の動作距離は2.5 ｃ
ｍである。正確な焦点位置は光源／検出器構造の信号強
度を監視することにより決定され、最大信号振幅が得ら
れるまでレンズセル30の位置調整が行われる。
ら放射されたレ−ザ光はレンズ構造28によりサンプル表
面24上、また基準ミラ−上に焦点を結ばせられる。レン
ズ構造28は１以上の画像形成レンズ32が設けられている
ス−パ−インバ−レンズセル30を含む。焦点はレンズセ
ル30をプロ−ブ本体10内でスライドすることにより調整
される。レンズセル30の所望の位置を決定後、レンズセ
ル30はセットねじ34でクランプされる。レ−ザ１の「動
作距離」は従ってファイバ12からの光をサンプル表面24
が次に位置される所望の動作距離に位置される光学平面
上に焦点を結ばせるためにレンズセル構造28を移動する
ことにより微細に調節される。公称の動作距離は2.5 ｃ
ｍである。正確な焦点位置は光源／検出器構造の信号強
度を監視することにより決定され、最大信号振幅が得ら
れるまでレンズセル30の位置調整が行われる。
【００２３】文字Ｂで示されているレンズセル30を出た
光は偏光ビ−ムスプリッタにより基準ビ−ム（Ｃ）と対
象物ビ−ム（Ｄ）に分割される。基準ビ−ム（Ｃ）は光
路屈折用ミラ−38から基準ミラ−26に反射される。ミラ
−38の角度はピッチ調節／ロッキングねじ40とロ−ル調
節／ロッキングねじ42で調節される。これらのねじ（4
0,42 ）はミラ−支持体44をプロ−ブ本体10に接続す
る。
光は偏光ビ−ムスプリッタにより基準ビ−ム（Ｃ）と対
象物ビ−ム（Ｄ）に分割される。基準ビ−ム（Ｃ）は光
路屈折用ミラ−38から基準ミラ−26に反射される。ミラ
−38の角度はピッチ調節／ロッキングねじ40とロ−ル調
節／ロッキングねじ42で調節される。これらのねじ（4
0,42 ）はミラ−支持体44をプロ−ブ本体10に接続す
る。
【００２４】基準ミラ−26は変調段46に取付けられる。
変調段46はプロ−ブ本体10と同一の材料で作られるのが
好ましい管50内に取付けられている低電圧のピエゾ電気
スタック48上で支持されている。ピエゾ電気スタック50
は巻線52によってケ−ブル56により遠隔電源（図示せ
ず）に接続されている電子装置パッケ−ジ54に結合され
る。
変調段46はプロ−ブ本体10と同一の材料で作られるのが
好ましい管50内に取付けられている低電圧のピエゾ電気
スタック48上で支持されている。ピエゾ電気スタック50
は巻線52によってケ−ブル56により遠隔電源（図示せ
ず）に接続されている電子装置パッケ−ジ54に結合され
る。
【００２５】基準ビ−ム路の長さは基準ビ−ムの焦点を
提供するためピエゾ電気スタック48の移動により調整さ
れ、公称の通路の長さは2.5 ｃｍである。サンプルビ−
ムの焦点調節では、光源検出器構造の信号は監視され、
基準ビ−ム焦点は信号が最大のとき達成される。サンプ
ルビ−ムはこの調節期間中、阻止されるのが好ましい。
提供するためピエゾ電気スタック48の移動により調整さ
れ、公称の通路の長さは2.5 ｃｍである。サンプルビ−
ムの焦点調節では、光源検出器構造の信号は監視され、
基準ビ−ム焦点は信号が最大のとき達成される。サンプ
ルビ−ムはこの調節期間中、阻止されるのが好ましい。
【００２６】動作において標準ミラ−26とサンプル24の
表面から反射された光は偏光分極ビ−ムスプリッタ36で
再結合され、レンズ構造28によりファイバ12に結合され
る。結合された光はビ−ムスプリッタ36に関連するサン
プル表面24の変位を決定するため光源／検出器構造で干
渉的に比較される。この変位はサンプル24までの距離ま
たはサンプル24の特性を指示する。
表面から反射された光は偏光分極ビ−ムスプリッタ36で
再結合され、レンズ構造28によりファイバ12に結合され
る。結合された光はビ−ムスプリッタ36に関連するサン
プル表面24の変位を決定するため光源／検出器構造で干
渉的に比較される。この変位はサンプル24までの距離ま
たはサンプル24の特性を指示する。
【００２７】本発明によると、標準ミラ−26用の低電圧
ピエゾ電気スタック50の変調器は２つの信号、即ちｄｃ
バイアス信号とａｃ変調信号により制御される。ｄｃバ
イアス信号はピエゾ電気スタック48の公称の長さを制御
し、ａｃ変調信号はほぼ公称の長さのスタック48の動作
範囲を制御する。ａｃ変調信号の１つの好ましい周波数
は５Ｈｚである。基準チャンネルの焦点微調節はｄｃバ
イアス電圧とピエゾ電気スタック48の公称の長さを調節
することにより行われる。
ピエゾ電気スタック50の変調器は２つの信号、即ちｄｃ
バイアス信号とａｃ変調信号により制御される。ｄｃバ
イアス信号はピエゾ電気スタック48の公称の長さを制御
し、ａｃ変調信号はほぼ公称の長さのスタック48の動作
範囲を制御する。ａｃ変調信号の１つの好ましい周波数
は５Ｈｚである。基準チャンネルの焦点微調節はｄｃバ
イアス電圧とピエゾ電気スタック48の公称の長さを調節
することにより行われる。
【００２８】ピエゾ電気スタック制御電子装置54はａｃ
変調電圧による線形動作を維持するためピエゾスタック
48変調器の歪み計すなわち抵抗線ひずみゲ−ジ58の出力
を使用する。電子装置54はプロ−ブ本体10の長さの変化
を同時的に補償するためピエゾ電気スタック48変調器に
供給されるｄｃバイアス電圧を調節するためのス−パ−
インバ−プロ−ブ本体上10に位置する同様の抵抗線ひず
みゲ−ジ60の出力を使用する。この技術はスタック48の
ピエゾ電気材料をプロ−ブ本体10のス−パ−インバ−材
料に固定させ、従って、基準ビ−ム路を無熱化する。制
御電子装置54からの信号は電気ケ−ブル56により供給さ
れる低雑音ピエゾ電源に伝送される。
変調電圧による線形動作を維持するためピエゾスタック
48変調器の歪み計すなわち抵抗線ひずみゲ−ジ58の出力
を使用する。電子装置54はプロ−ブ本体10の長さの変化
を同時的に補償するためピエゾ電気スタック48変調器に
供給されるｄｃバイアス電圧を調節するためのス−パ−
インバ−プロ−ブ本体上10に位置する同様の抵抗線ひず
みゲ−ジ60の出力を使用する。この技術はスタック48の
ピエゾ電気材料をプロ−ブ本体10のス−パ−インバ−材
料に固定させ、従って、基準ビ−ム路を無熱化する。制
御電子装置54からの信号は電気ケ−ブル56により供給さ
れる低雑音ピエゾ電源に伝送される。
【００２９】即ちピエゾ電気スタック48変調器はそれに
取付けられている第１の抵抗線ひずみゲ−ジ58とプロ−
ブ本体10の中心リブ10ａに取付けられている第２の抵抗
線ひずみゲ−ジ60とによって制御される。この技術はス
−パ−インバ−プロ−ブ本体10に取付けられている第２
の抵抗線ひずみゲ−ジ60がピエゾ電気スタック48に供給
されるａｃ変調電圧にｄｃオフセットを提供することに
使用されるようにピエゾ電気スタック48の無熱化を行
う。
取付けられている第１の抵抗線ひずみゲ−ジ58とプロ−
ブ本体10の中心リブ10ａに取付けられている第２の抵抗
線ひずみゲ−ジ60とによって制御される。この技術はス
−パ−インバ−プロ−ブ本体10に取付けられている第２
の抵抗線ひずみゲ−ジ60がピエゾ電気スタック48に供給
されるａｃ変調電圧にｄｃオフセットを提供することに
使用されるようにピエゾ電気スタック48の無熱化を行
う。
【００３０】これは図２の波形図と図３の簡単な回路図
で示されている。プロ−ブ本体10の本発明の好ましい材
料は負の熱膨脹係数のス−パ−インバ−であるのでｄｃ
バイアス電圧は温度の増加と共に減少する。選択された
材料が正の熱膨脹係数を有するならばｄｃバイアス電圧
は温度が増加するとき増加される。最終結果はｄｃオフ
セット電圧がスタック48のピエゾ電気材料がプロ−ブ本
体10のス−パ−インバ−と類似した方法で動作するよう
にピエゾ電気スタック48のゼロ変調の長さを変化する。
で示されている。プロ−ブ本体10の本発明の好ましい材
料は負の熱膨脹係数のス−パ−インバ−であるのでｄｃ
バイアス電圧は温度の増加と共に減少する。選択された
材料が正の熱膨脹係数を有するならばｄｃバイアス電圧
は温度が増加するとき増加される。最終結果はｄｃオフ
セット電圧がスタック48のピエゾ電気材料がプロ−ブ本
体10のス−パ−インバ−と類似した方法で動作するよう
にピエゾ電気スタック48のゼロ変調の長さを変化する。
【００３１】図２の波形はピエゾ電気スタック48を駆動
する指令電圧の１例を示している。指令電圧は例えば、
５Ｈｚの周波数を有する鋸歯波形である。
する指令電圧の１例を示している。指令電圧は例えば、
５Ｈｚの周波数を有する鋸歯波形である。
【００３２】図３の閉ル−プ制御システムはピエゾ電気
スタック48を駆動する。ピエゾ電気スタック指令位置電
圧は入力端子に供給され、抵抗Ｒ１を通ってエラ−増幅
器Ａ１に供給される。エラ−増幅器Ａ１はサ−ボル−プ
のサ−ボ利得の調節用の電位差計Ｒ２を含む。エラ−増
幅器Ａ１の出力は抵抗Ｒ３を通ってパワ−増幅器Ａ２に
供給される。増幅器Ａ２の出力はエラ−増幅器Ａ１の出
力に比例する電流である。この電流は、積分され鋸歯駆
動信号に応答して位置（長さ）を変化するピエゾ電気ス
タック48に供給される。ピエゾ電気スタック48は抵抗Ｒ
４を通じて接地点に結合される。長さの変化を感知する
ためにピエゾ電気スタック48に抵抗線ひずみゲ−ジ58が
取付けられている。抵抗線ひずみゲ−ジ58はス−パ−イ
ンバ−本体10に設けられている抵抗線ひずみゲ−ジ60と
共に平衡ブリッジ回路の２つのア−ムを形成する。本発
明の好ましい実施例では各抵抗線ひずみゲ−ジ（58,60
）は公称ひずみのないとき350 オ−ムの抵抗を有す
る。それぞれの抵抗線ひずみゲ−ジの入力ノ−ドは電圧
標準（ＶＲ）に結合され、電圧基準は正の基準電圧を抵
抗線ひずみゲ−ジ58の入力ノ−ドに供給し、大きさが等
しく極性が反対の電位を抵抗線ひずみゲ−ジ60の入力ノ
−ドに供給する。計測用増幅器Ａ３はそれぞれの抵抗線
ひずみゲ−ジ58と60の出力ノ−ド間に接続されるノ−ド
に結合される。増幅器Ａ３への第２の入力端子にはＶＲ
により出力される基準電圧が結合される。この基準電圧
は公称ゼロボルトである。増幅器Ａ３は抵抗線ひずみゲ
−ジ58,60により形成される１／２ブリッジ回路から得
られる差電圧を増幅する。差電圧の大きさはピエゾ電気
スタック48の長さと本発明の１つの観点によるス−パ−
インバ−本体10の熱膨脹又は収縮の変化による抵抗線ひ
ずみゲ−ジ58,60 に供給されるひずみの相違の関数であ
る。このエラ−電圧は増幅器Ａ４に結合される。増幅器
Ａ４はフィ−ドバック利得の調節用の電位差計Ｒ５と、
オフセット（ゼロ）調節用の電位差計Ｒ６を含む。増幅
器Ａ４の出力はピエゾ電気スタック48に結合されるミラ
−26を廻る周辺でサ−ボル−プを閉じるために増幅器Ａ
１の入力に結合される。
スタック48を駆動する。ピエゾ電気スタック指令位置電
圧は入力端子に供給され、抵抗Ｒ１を通ってエラ−増幅
器Ａ１に供給される。エラ−増幅器Ａ１はサ−ボル−プ
のサ−ボ利得の調節用の電位差計Ｒ２を含む。エラ−増
幅器Ａ１の出力は抵抗Ｒ３を通ってパワ−増幅器Ａ２に
供給される。増幅器Ａ２の出力はエラ−増幅器Ａ１の出
力に比例する電流である。この電流は、積分され鋸歯駆
動信号に応答して位置（長さ）を変化するピエゾ電気ス
タック48に供給される。ピエゾ電気スタック48は抵抗Ｒ
４を通じて接地点に結合される。長さの変化を感知する
ためにピエゾ電気スタック48に抵抗線ひずみゲ−ジ58が
取付けられている。抵抗線ひずみゲ−ジ58はス−パ−イ
ンバ−本体10に設けられている抵抗線ひずみゲ−ジ60と
共に平衡ブリッジ回路の２つのア−ムを形成する。本発
明の好ましい実施例では各抵抗線ひずみゲ−ジ（58,60
）は公称ひずみのないとき350 オ−ムの抵抗を有す
る。それぞれの抵抗線ひずみゲ−ジの入力ノ−ドは電圧
標準（ＶＲ）に結合され、電圧基準は正の基準電圧を抵
抗線ひずみゲ−ジ58の入力ノ−ドに供給し、大きさが等
しく極性が反対の電位を抵抗線ひずみゲ−ジ60の入力ノ
−ドに供給する。計測用増幅器Ａ３はそれぞれの抵抗線
ひずみゲ−ジ58と60の出力ノ−ド間に接続されるノ−ド
に結合される。増幅器Ａ３への第２の入力端子にはＶＲ
により出力される基準電圧が結合される。この基準電圧
は公称ゼロボルトである。増幅器Ａ３は抵抗線ひずみゲ
−ジ58,60により形成される１／２ブリッジ回路から得
られる差電圧を増幅する。差電圧の大きさはピエゾ電気
スタック48の長さと本発明の１つの観点によるス−パ−
インバ−本体10の熱膨脹又は収縮の変化による抵抗線ひ
ずみゲ−ジ58,60 に供給されるひずみの相違の関数であ
る。このエラ−電圧は増幅器Ａ４に結合される。増幅器
Ａ４はフィ−ドバック利得の調節用の電位差計Ｒ５と、
オフセット（ゼロ）調節用の電位差計Ｒ６を含む。増幅
器Ａ４の出力はピエゾ電気スタック48に結合されるミラ
−26を廻る周辺でサ−ボル−プを閉じるために増幅器Ａ
１の入力に結合される。
【００３３】この技術はスパ−インバ−の膨脹又は収縮
がピエゾ電気スタック48により整合され、共通ではない
ビ−ム路の長さにおけるネットゼロ変化を生むので効率
的にプロ−ブ１を無熱化する。この無熱技術は実質上プ
ロフィル測定デ−タの熱ドリフト不確定を減少する。
がピエゾ電気スタック48により整合され、共通ではない
ビ−ム路の長さにおけるネットゼロ変化を生むので効率
的にプロ−ブ１を無熱化する。この無熱技術は実質上プ
ロフィル測定デ−タの熱ドリフト不確定を減少する。
【００３４】コンパクトなプロ−ブ１のオ−プンセル構
造は基準ビ−ムとサンプルビ−ム路が両者とも共通の雰
囲気を有するのでプロフィル測定デ−タの雰囲気効果の
不確定を有効に減少する。
造は基準ビ−ムとサンプルビ−ム路が両者とも共通の雰
囲気を有するのでプロフィル測定デ−タの雰囲気効果の
不確定を有効に減少する。
【００３５】これらの技術は従って熱により誘起するエ
ラ−に不成であり低電力でコンパクトなレ−ザプロ−ブ
を生み、少なくとも（１０5 ：１）の大きなダイナミッ
ク距離／解像度を示す。結果としてコンパクトなレ−ザ
プロ−ブ１は本発明の前述の実施例の応用に使用するの
に適している。
ラ−に不成であり低電力でコンパクトなレ−ザプロ−ブ
を生み、少なくとも（１０5 ：１）の大きなダイナミッ
ク距離／解像度を示す。結果としてコンパクトなレ−ザ
プロ−ブ１は本発明の前述の実施例の応用に使用するの
に適している。
【００３６】本発明は特に本発明の好ましい実施例に関
して示され、説明されたが本発明の技術的範囲内から逸
脱することなく形態と詳細の変化が行われることが当業
者には明白である。
して示され、説明されたが本発明の技術的範囲内から逸
脱することなく形態と詳細の変化が行われることが当業
者には明白である。
【図１】本発明のコンパクトなレ−ザプロ−ブの上面
図。
図。
【図２】ピエゾ電気スタック指令電圧における変化を示
したグラフ。
したグラフ。
【図３】基準レ−ザビ−ム変調器の閉ル−プ位置制御を
行うための図２の指令電圧に応答する回路の簡単な概略
図。
行うための図２の指令電圧に応答する回路の簡単な概略
図。
【図４】図１のコンパクトなレ−ザプロ−ブの構成要素
であるコンパクトなファイバ位置設定装置の分解斜視
図。
であるコンパクトなファイバ位置設定装置の分解斜視
図。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年３月２６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ガイ・エイチ・ヘイズ アメリカ合衆国、コネチカット州 06098、 ウインステッド、アールデー・ナンバー ２、ターンブル・ロード 59 (72)発明者 ピーター・ジェー・デグルート アメリカ合衆国、ワシントン州 98008、 ベレビュー、サウスイースト・サーティー ナインス・プレース 16449
Claims (23)
- 【請求項１】 フレ−ムと、このフレ−ムに結合され、
サンプルビ−ム光路と基準ビーム光路とを生成する手段
と、 前記基準ビーム光路の長さが前記サンプルビ−ム光路の
路の長さと予め決められた関係に維持されるように基準
ビ−ム光路の路長を前記フレ−ムの寸法における変化に
応答して変化させる手段とを具備することを特徴とする
光学測定装置。 - 【請求項２】 前記予め決められた関係が両者が等しい
関係である請求項１記載の光学測定装置。 - 【請求項３】 前記変化させる手段がスタックされて配
置された直列的な関係の複数のピエゾ電気素子を含み、
この複数のピエゾ電気素子は前記フレ−ムの寸法の変化
を補償するため励起信号を結合され、前記フレ−ムの寸
法の変化に応答して励起信号を調整する手段を具備して
いる請求項１記載の光学測定装置。 - 【請求項４】 前記変化させる手段がさらに長さにおけ
る変化を検出するため前記複数のピエゾ電気要素に結合
される第１のひずみ計手段と、寸法における変化を検出
するため前記フレ−ムに結合されている第２のひずみ計
手段と、前記励起信号を前記第１のひずみ計手段と第２
のひずみ計手段により検出されたひずみの差に従って変
化するために前記第１のひずみ計手段と第２のひずみ計
手段に結合された手段とを具備する請求項３記載の光学
測定装置。 - 【請求項５】 前記変化させる手段が基準ビ−ム光学路
の路の長さを変化するために前記フレ−ムの寸法におけ
る変化に応答する閉ル−プ制御システムを含む請求項１
記載の光学測定装置。 - 【請求項６】 前記フレ−ムが予め決められた熱膨脹係
数を有するように選択された材料から構成されている請
求項１記載の光学測定装置。 - 【請求項７】 前記生成手段が光ファイバを前記フレ−
ムに結合する手段を含む請求項１記載の光学測定装置。 - 【請求項８】 前記サンプルビ−ム光路が所望の位置に
サンプルビ−ムの焦点を結ばせるため光学的に前記光フ
ァイバの出力に結合するレンズ手段と、前記基準ビ−ム
を所望の焦点位置に誘導するため前記基準ビ−ム光路内
に配置された反射手段とを具備する請求項７記載の光学
測定装置。 - 【請求項９】 サンプルビ−ムの所望の焦点位置がサン
プル対象の表面にあり、基準ビ−ムの所望の焦点位置が
位相変調ミラ−手段の表面にある請求項８記載の光学測
定装置。 - 【請求項１０】 前記生成手段が前記光ファイバの出力
をサンプルビ−ムと基準ビ−ムに分割するため前記光フ
ァイバの出力に光学的に結合するビ−ムスプリッタを具
備する請求項７記載の光学測定装置。 - 【請求項１１】 前記ビ−ムスプリッタがさらに反射し
たサンプルビ−ムと反射した基準ビ−ムとを結合し、前
記光ファイバに結合したビ−ムを戻す請求項１０記載の
光学測定装置。 - 【請求項１２】 前記基準ビ−ムの光路が前記フレ−ム
内に完全に含まれている請求項１記載の光学測定装置。 - 【請求項１３】 前記光ファイバ結合手段が光ファイバ
の端子端部を支持するために適合する光ファイバ支持手
段を含み、この光ファイバ支持手段は光ファイバの端子
端部が前記フレームの所望の角度関係に位置されるよう
に回転可能に前記フレ−ムに結合されている請求項７記
載の光学測定装置。 - 【請求項１４】 前記光ファイバ支持手段を前記フレ−
ムと所望の角度関係に固定するために前記光ファイバ支
持手段に結合する手段を含む請求項１３記載の光学測定
装置。 - 【請求項１５】 予め決定された熱膨脹係数を有するよ
うに選択された材料で構成されたフレ−ムと、 サンプルビ−ム光路と基準ビ−ム光路を提供するため前
記フレ−ムに結合され、前記フレ−ムからの放射および
前記フレ−ムへの放射を伝送する光ファイバに光学的に
結合されているビ−ムスプリッタ手段と、 前記基準ビ−ム光路の長さを前記励起信号に応答して位
相変調するためのミラ−を具備し、励起信号が結合され
ているピエゾ電気スタック手段と、 前記基準ビ−ム光路の長さを実質上前記サンプルビ−ム
光路の長さと等しく維持するように励起信号を変化する
ために前記フレ−ムの寸法変化に応答する手段とを具備
することを特徴とする光学測定装置。 - 【請求項１６】 前記ピエゾ電気スタック手段が長さの
変化を検出するためにそれに結合されている第１のひず
み計手段を含み、前記変化手段はその寸法変化を検出す
るために前記フレ−ムに結合されている第２のひずみ計
手段を含み、光測定装置はさらに前記第１のひずみ計手
段と前記第２のひずみ計手段により検出されるひずみの
差に従って前記励起信号を変化させるために前記第１の
ひずみ計手段と前記第２のひずみ計手段に結合されてい
る手段を含む請求項１５記載の光学測定装置。 - 【請求項１７】 前記変化させる手段が基準ビ−ム光路
の路の長さを変化させるために前記フレ−ムの寸法の変
化に応答する閉ル−プ制御システムを含む請求項１５記
載の光学測定装置。 - 【請求項１８】 サンプルビ−ムを所望の位置に焦点を
結ばせるため前記光ファイバの出力に光学的に結合する
レンズ手段と、基準ビ−ムを所望の焦点位置に導くため
に前記基準ビ−ム光路内に位置する反射手段とをさらに
含む請求項１５記載の光学測定装置。 - 【請求項１９】 サンプルビ−ムの所望の焦点位置がサ
ンプル対象の表面にあり、基準ビ−ムの所望の焦点位置
が位相変調ミラ−の表面にある請求項１８記載の光学測
定装置。 - 【請求項２０】 前記基準ビ−ム光路が完全に前記フレ
−ム内に含まれ、前記サンプルビ−ム光路が部分的に前
記フレ−ム内に含まれている請求項１５記載の光学測定
装置。 - 【請求項２１】 光学測定装置が光ファイバを前記フレ
−ムに結合するための光ファイバ結合手段を含み、前記
光ファイバ結合手段は光ファイバの端子端部を支持する
ように適応されている光ファイバ支持手段を含み、前記
光ファイバ支持手段は光ファイバの端子端部を前記フレ
−ムと所望の角度関係で位置するため前記フレ−ムに回
転可能に結合されており、前記光ファイバ結合手段は前
記光ファイバ支持手段を前記フレ−ムと所望の角度関係
に固定するため前記光ファイバ支持手段と結合されてい
る手段を含む請求項１５記載の光学測定装置。 - 【請求項２２】 光ファイバを構造体に結合するための
装置において、 光ファイバの端子端部を支持するための光ファイバ支持
手段を具備し、この光ファイバ支持手段は光ファイバの
端子端部を構造の表面と所望の角度関係に位置させるた
め構造に回転可能に結合される形態を有し、前記光ファ
イバ支持手段を構造の表面と所望の角度関係に維持する
ための手段を具備することを特徴とする光ファイバを構
造体に結合するための装置。 - 【請求項２３】 角度関係を維持するための前記手段
は、そこに形成された第１の凹部を有する表面を備えて
いるクランプ部品を含み、第１の凹部は第１の曲率半径
を有し、構造の表面はそこに形成された第２の凹部を有
し、第２の凹部は第２の曲率半径を有し、前記光ファイ
バ支持手段は第１の端部および反対側の第２の端部を含
み、第１の端部と第２の端部は第１の端部が第１の凹部
内で受けられ、第２の端部が第２の凹部内で受けられる
ようにそれぞれ第１の端部と第２の端部が選択された曲
率半径を有している請求項２２記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/834,758 US5239366A (en) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | Compact laser probe for profilometry |
| US834758 | 1992-02-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0611317A true JPH0611317A (ja) | 1994-01-21 |
| JP2505360B2 JP2505360B2 (ja) | 1996-06-05 |
Family
ID=25267734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5024547A Expired - Lifetime JP2505360B2 (ja) | 1992-02-12 | 1993-02-12 | プロフィル測定用のコンパクトなレ−ザプロ−ブ |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5239366A (ja) |
| EP (1) | EP0556041B1 (ja) |
| JP (1) | JP2505360B2 (ja) |
| KR (1) | KR930018259A (ja) |
| DE (1) | DE69310947T2 (ja) |
| IL (1) | IL104641A0 (ja) |
Families Citing this family (49)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5239366A (en) * | 1992-02-12 | 1993-08-24 | Huges Aircraft Company | Compact laser probe for profilometry |
| JP2586371B2 (ja) * | 1992-12-22 | 1997-02-26 | 日本電気株式会社 | 圧電アクチュエータ |
| EP0708347A1 (en) * | 1994-10-21 | 1996-04-24 | Hewlett-Packard GmbH | Apparatus for adjustment, attenuating device, coupling device and filtering device |
| DE4445642A1 (de) * | 1994-12-21 | 1996-06-27 | Marco Systemanalyse Entw | Piezoaktuatorisches Antriebs- bzw. Verstellelement |
| US5895927A (en) * | 1995-06-30 | 1999-04-20 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Electro-optic, noncontact, interior cross-sectional profiler |
| US5659652A (en) * | 1995-09-29 | 1997-08-19 | D'entremont; Joseph P. | Support system for rapid assembly of component infrastructures |
| DE19615918C2 (de) * | 1995-12-07 | 1999-12-09 | Walu Labortechnik Gmbh | Repetierpipette |
| US5661843A (en) * | 1996-01-30 | 1997-08-26 | Rifocs Corporation | Fiber optic probe |
| US5831736A (en) * | 1996-08-29 | 1998-11-03 | Washington University | Method and apparatus for generating a three-dimensional topographical image of a microscopic specimen |
| JPH1130508A (ja) * | 1997-07-11 | 1999-02-02 | Bridgestone Sports Co Ltd | ゴルフボールの表面形状測定方法及び装置 |
| US7206623B2 (en) * | 2000-05-02 | 2007-04-17 | Sensys Medical, Inc. | Optical sampling interface system for in vivo measurement of tissue |
| US7383069B2 (en) * | 1997-08-14 | 2008-06-03 | Sensys Medical, Inc. | Method of sample control and calibration adjustment for use with a noninvasive analyzer |
| US6415167B1 (en) | 2000-05-02 | 2002-07-02 | Instrumentation Metrics, Inc. | Fiber optic probe placement guide |
| US5924234A (en) * | 1997-11-20 | 1999-07-20 | Trijicon, Inc. | Optical sighting device |
| US7606608B2 (en) * | 2000-05-02 | 2009-10-20 | Sensys Medical, Inc. | Optical sampling interface system for in-vivo measurement of tissue |
| US20070179367A1 (en) * | 2000-05-02 | 2007-08-02 | Ruchti Timothy L | Method and Apparatus for Noninvasively Estimating a Property of an Animal Body Analyte from Spectral Data |
| US7519406B2 (en) * | 2004-04-28 | 2009-04-14 | Sensys Medical, Inc. | Noninvasive analyzer sample probe interface method and apparatus |
| US20060211931A1 (en) * | 2000-05-02 | 2006-09-21 | Blank Thomas B | Noninvasive analyzer sample probe interface method and apparatus |
| US20020135767A1 (en) * | 2001-03-16 | 2002-09-26 | Richard Jenkin A. | Optical alignment element method |
| US6928225B2 (en) * | 2001-04-03 | 2005-08-09 | Schott Glas | Method and assembly for mounting at least one optical fiber |
| US6914676B2 (en) * | 2001-07-27 | 2005-07-05 | Oplink Communications, Inc. | System and method for optical multiplexing and/or demultiplexing |
| US6898596B2 (en) * | 2001-10-23 | 2005-05-24 | Therma-Wave, Inc. | Evolution of library data sets |
| US6798523B2 (en) * | 2001-12-04 | 2004-09-28 | Honeywell International Inc. | Sensor and method for detecting fiber optic faults |
| US8504128B2 (en) * | 2002-03-08 | 2013-08-06 | Glt Acquisition Corp. | Method and apparatus for coupling a channeled sample probe to tissue |
| US20050187439A1 (en) * | 2003-03-07 | 2005-08-25 | Blank Thomas B. | Sampling interface system for in-vivo estimation of tissue analyte concentration |
| US20050054908A1 (en) * | 2003-03-07 | 2005-03-10 | Blank Thomas B. | Photostimulation method and apparatus in combination with glucose determination |
| US7697966B2 (en) * | 2002-03-08 | 2010-04-13 | Sensys Medical, Inc. | Noninvasive targeting system method and apparatus |
| US20070149868A1 (en) * | 2002-03-08 | 2007-06-28 | Blank Thomas B | Method and Apparatus for Photostimulation Enhanced Analyte Property Estimation |
| JP4189322B2 (ja) * | 2002-03-08 | 2008-12-03 | センシス メディカル インク | 近赤外線分光によるブドウ糖の非侵襲的測定のためのコンパクトな装置 |
| US8718738B2 (en) * | 2002-03-08 | 2014-05-06 | Glt Acquisition Corp. | Method and apparatus for coupling a sample probe with a sample site |
| DE10236755B4 (de) * | 2002-08-10 | 2005-04-14 | Sms Meer Gmbh | Vorrichtung zur Messung der Wanddicke eines Rohres in einem Rohrwalzwerk |
| US6807742B2 (en) * | 2002-09-06 | 2004-10-26 | Trijicon, Inc. | Reflex sight with multiple power sources for reticle |
| JP2007500870A (ja) * | 2003-01-23 | 2007-01-18 | コーニング インコーポレイテッド | 形状因子が小さいレンズ付ファイバ及びその作成方法 |
| US20050159656A1 (en) * | 2003-03-07 | 2005-07-21 | Hockersmith Linda J. | Method and apparatus for presentation of noninvasive glucose concentration information |
| US20070234300A1 (en) * | 2003-09-18 | 2007-10-04 | Leake David W | Method and Apparatus for Performing State-Table Driven Regression Testing |
| US8868147B2 (en) * | 2004-04-28 | 2014-10-21 | Glt Acquisition Corp. | Method and apparatus for controlling positioning of a noninvasive analyzer sample probe |
| US20080033275A1 (en) * | 2004-04-28 | 2008-02-07 | Blank Thomas B | Method and Apparatus for Sample Probe Movement Control |
| US20060206018A1 (en) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Alan Abul-Haj | Method and apparatus for noninvasive targeting |
| ATE494723T1 (de) | 2007-03-26 | 2011-01-15 | Research In Motion Ltd | System und verfahren zur bereitstellung einer benutzeroberfläche, die eine benutzerauswahl einer kommunikationsleitung für einen ausgehenden ruf auf einem mobilen endgerät ermöglicht |
| ATE448634T1 (de) | 2007-03-26 | 2009-11-15 | Research In Motion Ltd | System und verfahren zur bereitstellung von ruffunktionssymbolen auf einer benutzeroberfläche,die eine benutzerauswahl einer kommunikationsleitung für einen ausgehenden ruf auf einem mobilen endgerät ermöglicht |
| US20090036759A1 (en) * | 2007-08-01 | 2009-02-05 | Ault Timothy E | Collapsible noninvasive analyzer method and apparatus |
| WO2009076564A1 (en) * | 2007-12-11 | 2009-06-18 | Menard, Inc. | Programmable strain gauge amplifier |
| US8593644B2 (en) * | 2010-12-13 | 2013-11-26 | Southwest Research Institute | White light optical profilometer for measuring complex surfaces |
| TWI473963B (zh) * | 2011-03-04 | 2015-02-21 | Univ Nat Formosa | 一維掃瞄表面形貌量測裝置與方法 |
| US20150146201A1 (en) * | 2013-05-02 | 2015-05-28 | Michael Burka | Optical probe with extended working distance |
| CN104330005A (zh) * | 2014-10-28 | 2015-02-04 | 重庆佳速汽车零部件有限公司 | 换挡杆的杆体端部位置检具 |
| CN104330008B (zh) * | 2014-11-24 | 2016-08-24 | 沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司 | 一种摇臂组合件尺寸测量装置及测量方法 |
| RU2650840C1 (ru) * | 2016-12-27 | 2018-04-17 | Общество с ограниченной ответственностью "Спецдортехника" | Лазерный профилометр для определения геометрических параметров профиля поверхности |
| CN111121651A (zh) | 2018-10-31 | 2020-05-08 | 财团法人工业技术研究院 | 光学测量稳定性控制系统 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6124710U (ja) * | 1984-07-19 | 1986-02-14 | 株式会社 高橋製作所 | 反射望遠鏡に於ける温度補償装置 |
| JPH0216442A (ja) * | 1988-07-04 | 1990-01-19 | Mitsubishi Motors Corp | 酸素センサ |
| JPH02308109A (ja) * | 1989-05-23 | 1990-12-21 | Nec Corp | 光モジュールの固定構造 |
| JPH03231209A (ja) * | 1990-02-07 | 1991-10-15 | Fujitsu Ltd | 光学部材の固定構造 |
Family Cites Families (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2922937C2 (de) * | 1979-06-01 | 1981-07-02 | Fabeg Gmbh, 7518 Bretten | Kabelkupplung zum selbsttätigen Durchkuppeln elektrischer Heiz- und/oder Steuerstromleitungen sowie von Lichtleitern zur optischen Befehlsübertragung, insbesondere für Bahnfahrzeuge |
| SE445778B (sv) * | 1980-04-03 | 1986-07-14 | Gerhard Westerberg | Kompensationsanordning vid en laserinterferometer |
| JPS6078410A (ja) * | 1983-10-05 | 1985-05-04 | Fujitsu Ltd | 調整式光コネクタ |
| US4758065A (en) * | 1985-03-08 | 1988-07-19 | Mechanical Technology Incorporated | Fiber optic sensor probe |
| DK155250C (da) * | 1985-08-13 | 1989-07-24 | Lars Bager | Fremgangsmaade og apparat til maaling af afstandsvariationer |
| US4639139A (en) * | 1985-09-27 | 1987-01-27 | Wyko Corporation | Optical profiler using improved phase shifting interferometry |
| US4667922A (en) * | 1985-11-08 | 1987-05-26 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Support assembly having three dimension position adjustment capabilities |
| US4850536A (en) * | 1986-10-14 | 1989-07-25 | Arimitsu Industry Co., Ltd. | Liquid ejection apparatus |
| US4814948A (en) * | 1987-07-02 | 1989-03-21 | Yasuo Hasegawa | Light-emitting-end mounting mechanism in optical display panel |
| JPH0196610A (ja) * | 1987-10-08 | 1989-04-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光結合装置 |
| US5147348A (en) * | 1988-03-18 | 1992-09-15 | Eli Lilly And Company | Optical fiber rotational connector |
| US4909589A (en) * | 1988-12-11 | 1990-03-20 | Morris Robert K | Rotatable photonic coupling |
| US5042949A (en) * | 1989-03-17 | 1991-08-27 | Greenberg Jeffrey S | Optical profiler for films and substrates |
| IT1239223B (it) * | 1990-02-20 | 1993-09-28 | Pirelli Cavi Spa | Connettore ottico orientabile per collegamento di fibre ottiche a componenti ottici discreti e sensore impiegante uno o piu' connettori orientabili |
| US5138676A (en) * | 1990-06-15 | 1992-08-11 | Aster Corporation | Miniature fiberoptic bend device and method |
| JPH0486705A (ja) * | 1990-07-31 | 1992-03-19 | Canon Inc | ライトガイド |
| US5153669A (en) * | 1991-03-27 | 1992-10-06 | Hughes Danbury Optical Systems, Inc. | Three wavelength optical measurement apparatus and method |
| US5293438A (en) * | 1991-09-21 | 1994-03-08 | Namiki Precision Jewel Co., Ltd. | Microlensed optical terminals and optical system equipped therewith, and methods for their manufacture, especially an optical coupling method and optical coupler for use therewith |
| US5239366A (en) * | 1992-02-12 | 1993-08-24 | Huges Aircraft Company | Compact laser probe for profilometry |
-
1992
- 1992-02-12 US US07/834,758 patent/US5239366A/en not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-02-07 IL IL104641A patent/IL104641A0/xx unknown
- 1993-02-11 DE DE69310947T patent/DE69310947T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-02-11 EP EP93300986A patent/EP0556041B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-02-11 KR KR1019930001875A patent/KR930018259A/ko not_active Ceased
- 1993-02-12 JP JP5024547A patent/JP2505360B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1993-02-24 US US08/021,711 patent/US5448662A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6124710U (ja) * | 1984-07-19 | 1986-02-14 | 株式会社 高橋製作所 | 反射望遠鏡に於ける温度補償装置 |
| JPH0216442A (ja) * | 1988-07-04 | 1990-01-19 | Mitsubishi Motors Corp | 酸素センサ |
| JPH02308109A (ja) * | 1989-05-23 | 1990-12-21 | Nec Corp | 光モジュールの固定構造 |
| JPH03231209A (ja) * | 1990-02-07 | 1991-10-15 | Fujitsu Ltd | 光学部材の固定構造 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69310947D1 (de) | 1997-07-03 |
| EP0556041B1 (en) | 1997-05-28 |
| IL104641A0 (en) | 1993-06-10 |
| JP2505360B2 (ja) | 1996-06-05 |
| EP0556041A3 (en) | 1993-11-10 |
| KR930018259A (ko) | 1993-09-21 |
| US5448662A (en) | 1995-09-05 |
| EP0556041A2 (en) | 1993-08-18 |
| US5239366A (en) | 1993-08-24 |
| DE69310947T2 (de) | 1997-12-18 |
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