JPH06111270A - Magnetic recording medium - Google Patents
Magnetic recording mediumInfo
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- JPH06111270A JPH06111270A JP25815792A JP25815792A JPH06111270A JP H06111270 A JPH06111270 A JP H06111270A JP 25815792 A JP25815792 A JP 25815792A JP 25815792 A JP25815792 A JP 25815792A JP H06111270 A JPH06111270 A JP H06111270A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 基材上に斜め蒸着によって形成された磁性層
と、当該磁性層の表面に形成された潤滑層を有し、且つ
下記の (1)〜(4) の条件を満たす磁気記録媒体。
(1) 上記磁性層の厚さが1000〜2000Åである。
(2) 上記磁性層の表面粗さの値が1〜4mmである。
(3) 上記磁性層がCo,Ni及びO を特定の比率で含有す
る。
(4) 上記潤滑層の厚さが50Å以下である。
【効果】 高周波における出力が良好で、しかも耐久
性、耐蝕性にも優れている。(57) [Summary] [Structure] A magnetic layer formed by oblique vapor deposition on a substrate, and a lubricating layer formed on the surface of the magnetic layer, and the conditions (1) to (4) below. A magnetic recording medium that satisfies the requirements. (1) The thickness of the magnetic layer is 1000 to 2000Å. (2) The surface roughness of the magnetic layer is 1 to 4 mm. (3) The magnetic layer contains Co, Ni and O in a specific ratio. (4) The thickness of the lubricating layer is 50Å or less. [Effect] The output at high frequency is good, and the durability and corrosion resistance are excellent.
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は磁気記録媒体に関する。
更に詳しくは、耐久性及び耐蝕性に優れた蒸着型磁気記
録媒体に関する。FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a magnetic recording medium.
More specifically, it relates to a vapor-deposited magnetic recording medium having excellent durability and corrosion resistance.
【0002】[0002]
【従来の技術及びその課題】磁気記録媒体としては、従
来より磁性粉末を含む磁性塗料をポリエチレンテレフタ
レート等からなる基板(フィルム)に塗布して製造され
る塗布型の磁気記録媒体が知られているが、塗布型の磁
気記録媒体は磁性粉の充填性に限界があり、磁気記録媒
体の高密度化、薄さの向上が困難である。2. Description of the Related Art As a magnetic recording medium, a coating type magnetic recording medium manufactured by coating a magnetic paint containing magnetic powder on a substrate (film) made of polyethylene terephthalate or the like has been known. However, the coating type magnetic recording medium has a limit to the filling property of the magnetic powder, and it is difficult to increase the density and improve the thinness of the magnetic recording medium.
【0003】この高密度化を達成するために、磁性材料
の薄膜を基板上に直接形成するタイプの磁気記録媒体が
提案されており、このタイプは塗布型の磁気記録媒体に
はない特性がある。In order to achieve this high density, a magnetic recording medium of a type in which a thin film of a magnetic material is directly formed on a substrate has been proposed, and this type has characteristics which a coating type magnetic recording medium does not have. .
【0004】磁性層が基板上に直接形成されるタイプの
磁気記録媒体としては、磁性材料を基板に蒸着させ、基
板上に直接磁性層を形成させることにより製造される、
いわゆる蒸着型の磁気記録媒体がある。このタイプの磁
気記録媒体は、通常、減圧条件下で基板を円筒上で走行
させ、電子ビーム等により加熱した磁性材料を基板上に
蒸着させることにより製造されている。特公昭41−1938
9 号公報には、磁性金属材料を斜め蒸着することによ
り、磁気記録媒体を保磁力を向上させることが開示され
ている。A magnetic recording medium of the type in which a magnetic layer is directly formed on a substrate is manufactured by depositing a magnetic material on the substrate and forming the magnetic layer directly on the substrate.
There is a so-called vapor deposition type magnetic recording medium. This type of magnetic recording medium is usually manufactured by running a substrate on a cylinder under a reduced pressure condition and evaporating a magnetic material heated by an electron beam or the like onto the substrate. Japanese Patent Publication No. 41-1938
No. 9 discloses that the coercive force of a magnetic recording medium is improved by obliquely depositing a magnetic metal material.
【0005】しかしながら、実際にビデオテープ等とし
て用いる場合、保磁力以外に高周波における高出力、耐
久性の2つの点で優れたものでなければ、実用化は不可
能であり、前記特公昭41−19389 号公報に記載の磁気記
録媒体は保磁力が向上するものの、高出力、耐久性の点
では不充分である。However, when it is actually used as a video tape or the like, it cannot be put into practical use unless it is excellent in high output at high frequency and durability in addition to the coercive force. Although the magnetic recording medium described in Japanese Patent No. 19389 has an improved coercive force, it is insufficient in terms of high output and durability.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、蒸着型磁
気記録媒体の高周波における高出力を可能とし、耐久性
及び耐蝕性を向上させるために鋭意研究した結果、本発
明を完成するに至った。DISCLOSURE OF THE INVENTION The inventors of the present invention have conducted intensive studies to enable high output at high frequencies of a vapor-deposited magnetic recording medium and to improve durability and corrosion resistance. As a result, the present invention was completed. I arrived.
【0007】すなわち本発明は、基材上に斜め蒸着によ
って形成された磁性層と、当該磁性層の表面に形成され
た潤滑層を有し、且つ下記の (1)〜(4) の条件を満たす
磁気記録媒体を提供するものである。 (1) 上記磁性層の厚さが1000〜2000Åである。 (2) 上記磁性層の表面粗さの値(Ra)が1〜4mmであ
る。 (3) 上記磁性層がCo,Ni及びOを含有し、且つ磁性層中
のCo,Ni及びOの比率が原子%として、75%≦Co、5%
≦Ni≦25%、5%≦O ≦15%の範囲にある。 (4) 上記潤滑層の厚さが50Å以下である。That is, the present invention has a magnetic layer formed by oblique vapor deposition on a substrate and a lubricating layer formed on the surface of the magnetic layer, and satisfies the following conditions (1) to (4): The present invention provides a satisfying magnetic recording medium. (1) The thickness of the magnetic layer is 1000 to 2000Å. (2) The surface roughness value (Ra) of the magnetic layer is 1 to 4 mm. (3) The magnetic layer contains Co, Ni and O, and the ratio of Co, Ni and O in the magnetic layer is at 75% ≦ Co, 5%
It is in the range of ≦ Ni ≦ 25%, 5% ≦ O ≦ 15%. (4) The thickness of the lubricating layer is 50Å or less.
【0008】本発明の磁気記録媒体は、Co,Ni及びO を
必須として含有する磁性層が斜め蒸着により基材上に形
成されている。斜め蒸着の方法は公知技術に準ずる。磁
性層がCo,Ni及びO を含有することにより耐久性及び耐
蝕性が向上する。磁性層中のCo,Ni及びO の比率は原子
%として、75%≦Co、5%≦Ni≦25%、5%≦O ≦15%
である。比率がこの範囲を外れると高周波での出力が低
下し、また、耐蝕性も低下する。In the magnetic recording medium of the present invention, the magnetic layer essentially containing Co, Ni and O is formed on the substrate by oblique vapor deposition. The method of oblique vapor deposition conforms to the known technique. The inclusion of Co, Ni and O in the magnetic layer improves durability and corrosion resistance. The ratio of Co, Ni, and O 2 in the magnetic layer is at 75% ≤ Co, 5% ≤ Ni ≤ 25%, 5% ≤ O ≤ 15%
Is. If the ratio is out of this range, the output at high frequency is reduced and the corrosion resistance is also reduced.
【0009】一般に記録波長が短くなるに従い、磁性層
は薄いものでよいが、ビデオ及びオーディオ信号は帯域
を持っているので、それぞれに適切な厚さがある。本発
明の磁気記録媒体では斜め蒸着による磁性層の厚さは10
00〜2000Åである。磁性層の厚さがこの範囲を外れると
高周波における高出力が得られない。Generally, as the recording wavelength becomes shorter, the magnetic layer may be thinner, but since the video and audio signals have a band, each has an appropriate thickness. In the magnetic recording medium of the present invention, the thickness of the magnetic layer formed by oblique vapor deposition is 10
It is from 00 to 2000Å. If the thickness of the magnetic layer is out of this range, high output at high frequencies cannot be obtained.
【0010】また、磁性層の表面粗さの値(Ra)は1
〜4mmである。Raがこの範囲をはずれると、やはり高
周波における高出力が得られない。Raは非接触光干渉
法によって測定される。The surface roughness value (Ra) of the magnetic layer is 1
~ 4 mm. If Ra deviates from this range, high output at high frequencies cannot be obtained. Ra is measured by non-contact optical interferometry.
【0011】本発明の磁気記録媒体には、耐久性及び耐
蝕性を更に向上させるために、上記のような斜め蒸着さ
れた磁性層の表面に潤滑層が形成されている。通常、蒸
着型の磁気記録媒体においては潤滑層が形成されている
が、それらは 200Å程度の厚さであり、本発明では潤滑
層の厚さは50Å以下でなければならない。潤滑層の厚さ
が50Åを超えると、高周波における出力が低下してしま
う。潤滑層の厚さは好ましくは5〜20Åである。潤滑層
はダイ塗工等の常法により形成される。潤滑層は特にパ
ーフルオロポリエーテルからなるのが好ましい。パーフ
ルオロポリエーテルとしては、分子量2000〜5000のもの
が好適で、例えば「FOMBLIN Z DIAC」〔カルボキシル基
変性、日本モンテジソン (株) 製〕、「FOMBLIN Z DOL
」〔アルコール変性、日本モンテジソン (株) 製〕の
商品名で市販されているものが使用できる。これらは末
端に水酸基或いはカルボキシル基を有するため、潤滑剤
と磁性層との結着を高め得るので、本発明に特に好適に
用いられる。尚、これ以外のフッ素系の潤滑剤も使用で
きる。フッ素系潤滑剤は、脂肪酸系潤滑剤と比べ耐久性
だけでなく耐蝕性も向上させるため、本発明に特に好適
に用いられる。In the magnetic recording medium of the present invention, in order to further improve durability and corrosion resistance, a lubricating layer is formed on the surface of the magnetic layer obliquely deposited as described above. Usually, a vapor deposition type magnetic recording medium has a lubricating layer formed thereon, but they have a thickness of about 200Å, and in the present invention, the thickness of the lubricating layer must be 50Å or less. If the thickness of the lubricating layer exceeds 50Å, the output at high frequencies will decrease. The thickness of the lubricating layer is preferably 5-20Å. The lubricating layer is formed by a conventional method such as die coating. The lubricating layer is preferably made of perfluoropolyether. As the perfluoropolyether, those having a molecular weight of 2000 to 5000 are suitable, and examples thereof include "FOMBLIN Z DIAC" [carboxyl group-modified, manufactured by Nippon Montedison Co., Ltd.], "FOMBLIN Z DOL".
A commercially available product under the trade name of [alcohol modified, manufactured by Nippon Montedison Co., Ltd.] can be used. Since these have a hydroxyl group or a carboxyl group at the terminal, they can enhance the binding between the lubricant and the magnetic layer, and are therefore particularly preferably used in the present invention. Note that other fluorine-based lubricants can also be used. Fluorine-based lubricants are particularly preferably used in the present invention because they improve not only durability but also corrosion resistance as compared with fatty acid-based lubricants.
【0012】本発明の磁気記録媒体に用いられる基材と
しては、通常の非磁性支持体が使用でき、ポリエチレン
テレフタレート、ポリエチレンナフタレートのようなポ
リエステル;ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオ
レフィン; セルローストリアセテート、セルロースジア
セテート等のセルロース誘導体;ポリカーボネート;ポ
リ塩化ビニル;ポリイミド;芳香族ポリアミド等のプラ
スチック等が使用される。これらの基材の厚さは3〜50
μm 程度である。As the base material used in the magnetic recording medium of the present invention, an ordinary non-magnetic support can be used. Polyesters such as polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate; polyolefins such as polyethylene and polypropylene; cellulose triacetate and cellulose diester. Cellulose derivatives such as acetate; polycarbonate; polyvinyl chloride; polyimide; plastics such as aromatic polyamide are used. The thickness of these substrates is 3-50
It is about μm.
【0013】本発明の磁気記録媒体の製造方法を簡単に
説明する。図1は本発明の蒸着による磁性層の形成に用
いられる製造装置の一例を示す略図である。真空容器1
内は真空ポンプで10-4〜10-7Torr程度の真空に保たれ
る。基板となるフィルム3は巻き出しロール4から蒸着
円筒(キャン)2上を走行し、電子銃10で気化された金
属原子がフィルム表面に斜め蒸着する。遮蔽板8により
金属原子の飛散範囲が制御できる。酸素ガスを導入管11
を通じて導入し、磁性層が形成されたフィルムを酸素ガ
スにより処理することにより、又は磁性層を形成と同時
に酸素ガスを流すことにより、磁性層中に酸素が含ませ
ることができる。これによりCo,Ni及びO を含有する磁
性層が形成される。酸素ガスの導入管の設置は、蒸着原
子の到達範囲の終わり(図中A)がよい。酸素ガスの流
量をコントロールすることで、磁性層中の酸素量を操作
でき、コバルト、窒素、酸素の比率を所望のものにでき
る。酸素ガスで処理されたフィルムは巻き取りロール5
で巻き取られる。次いで、ダイ塗工等の常法により、こ
のフィルムの磁性層の表面にパーフルオロポリエーテル
を塗布し、厚さ50Å以下の潤滑層を形成する。A method of manufacturing the magnetic recording medium of the present invention will be briefly described. FIG. 1 is a schematic view showing an example of a manufacturing apparatus used for forming a magnetic layer by vapor deposition according to the present invention. Vacuum container 1
The inside is maintained at a vacuum of about 10 -4 to 10 -7 Torr by a vacuum pump. The film 3 serving as the substrate travels from the unwinding roll 4 on the vapor deposition cylinder (can) 2, and metal atoms vaporized by the electron gun 10 are obliquely vapor deposited on the film surface. The scattering plate 8 can control the scattering range of metal atoms. Oxygen gas inlet pipe 11
Oxygen can be included in the magnetic layer by treating the film having the magnetic layer formed therein with oxygen gas or by flowing oxygen gas at the same time when the magnetic layer is formed. As a result, a magnetic layer containing Co, Ni and O is formed. The oxygen gas introduction tube is preferably installed at the end of the reach of vapor deposition atoms (A in the figure). By controlling the flow rate of oxygen gas, the amount of oxygen in the magnetic layer can be manipulated, and the ratio of cobalt, nitrogen and oxygen can be set to a desired value. The film treated with oxygen gas is the take-up roll 5
Is wound up in. Then, perfluoropolyether is applied to the surface of the magnetic layer of this film by a conventional method such as die coating to form a lubricating layer having a thickness of 50 Å or less.
【0014】本発明の磁気記録媒体は、磁性層の表面に
潤滑層が形成されていれば、更に厚さ0.01〜0.2 μm 程
度のアンダーコート層、厚さ10〜100 Å程度の保護層、
或いはカーボンブラックを主成分とする厚さ 0.2〜1.0
μm 程度のバックコート層等が形成されていてもよい。
これらの層を形成する原料は従来公知のものが適宜使用
できる。In the magnetic recording medium of the present invention, if a lubricating layer is formed on the surface of the magnetic layer, an undercoat layer having a thickness of about 0.01 to 0.2 μm, a protective layer having a thickness of about 10 to 100 Å,
Or the thickness of which carbon black is the main component 0.2 to 1.0
A back coat layer having a thickness of about μm may be formed.
As a raw material for forming these layers, conventionally known materials can be appropriately used.
【0015】[0015]
【実施例】以下実施例にて本発明を説明するが、本発明
はこれらの実施例に限定されるものではない。EXAMPLES The present invention will be described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.
【0016】実施例1 厚さ 9.2μm のポリエチレンテレフタレート製フィルム
の裏面にカーボンを主とするバインダー塗料を乾燥後の
厚さが 0.5μm になるように常法により塗布し、バック
コート層を形成し、このフィルムを図1に示す装置に装
着し、表面にCo−Ni合金(Co:Ni=90:10原子%)を
1.5×10-5Torrの真空中で酸素を流しながら斜め蒸着
し、磁性層を形成した。磁性層の厚さは1500Åであっ
た。このフィルムを空気中に取り出し、ダイ塗工により
潤滑剤としてフッ素系のパーフルオロポリエーテル(グ
レード:FOMBLIN Z DIAC カルボキシル基変性、日本モ
ンテジソン (株) 製)を塗布し、乾燥し、厚さが20Åの
潤滑層を形成した。次いでこのフィルムを8mm幅に裁断
し、8mmVTR用カセットに入れ、市販のHi8VTR
を改造した装置を用いて7MHz と10MHz の輝度信号出力
を測定した。輝度信号出力の測定の値はソニー (株) 製
の8mmリファレンステープを基準としてdB単位で表1に
示した。また、表中の物性値は以下のようにして測定し
た。 ・潤滑層の厚さ…FTIR(フーリエ変換赤外線)スペ
クトルにより測定した。 ・磁性層中の元素分析…オージュ電子分光分析により測
定した。 ・テープ表面粗さ…非接触光干渉法によりRa値を測定
した。 ・耐久性…スチル耐久性を測定し、耐久性の目安とし
た。スチル耐久性は、1時間スチルした時の出力の低下
を測定した。 ・耐蝕性…60℃、90%RHの条件下にテープを1週間放置
した時の飽和磁束密度の減少率を評価した。 これらの結果を表1に示す。Example 1 A back coating layer was formed by applying a binder coating mainly composed of carbon to the back surface of a polyethylene terephthalate film having a thickness of 9.2 μm by a conventional method so that the thickness after drying was 0.5 μm. Then, this film was attached to the device shown in Fig. 1, and Co-Ni alloy (Co: Ni = 90:10 atomic%) was applied on the surface.
A magnetic layer was formed by oblique vapor deposition while flowing oxygen in a vacuum of 1.5 × 10 -5 Torr. The thickness of the magnetic layer was 1500Å. This film is taken out into the air, and fluorine-based perfluoropolyether (grade: FOMBLIN Z DIAC carboxyl group-modified, manufactured by Nippon Montedison Co., Ltd.) is applied as a lubricant by die coating, dried and the thickness is 20Å. Of the lubricating layer was formed. Then, this film is cut into a width of 8 mm, placed in a cassette for 8 mm VTR, and commercially available
Luminance signal output at 7MHz and 10MHz was measured by using the modified device. The measured values of the luminance signal output are shown in Table 1 in dB units with reference to an 8 mm reference tape manufactured by Sony Corporation. Moreover, the physical property values in the table were measured as follows. -Thickness of lubricating layer: Measured by FTIR (Fourier transform infrared) spectrum. Elemental analysis in magnetic layer: Measured by Auger electron spectroscopy. Tape surface roughness: Ra value was measured by non-contact optical interference method. -Durability: Still durability was measured and used as a guideline for durability. The still durability was measured by measuring the decrease in output when still for 1 hour. -Corrosion resistance: The reduction rate of the saturation magnetic flux density when the tape was left for 1 week under the conditions of 60 ° C and 90% RH was evaluated. The results are shown in Table 1.
【0017】実施例2 実施例1において、Co−Ni合金の原子%をCo:Ni=80:
20、また磁性層の膜厚を1000Åとし、潤滑剤としてフッ
素系のパーフルオロポリエーテル(グレード:FOMBLIN
Z DOL アルコール変性、日本モンテジソン (株) 製)を
使用し、その他は実施例1と同様にして磁気記録媒体を
製造し、同様の評価を行なった。その結果を表1に示
す。Example 2 In Example 1, the atomic percentage of the Co--Ni alloy was Co: Ni = 80:
20, the thickness of the magnetic layer is 1000Å, and fluorine-based perfluoropolyether (grade: FOMBLIN
A magnetic recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1 except that Z DOL alcohol-modified, manufactured by Nippon Montedison Co., Ltd. was used, and the same evaluation was performed. The results are shown in Table 1.
【0018】実施例3 実施例1において、酸素の流量を増やして磁性層の厚さ
を2000Åとし、その他は実施例1と同様にして磁気記録
媒体を製造し、同様の評価を行なった。その結果を表1
に示す。Example 3 In Example 1, a magnetic recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the flow rate of oxygen was increased so that the thickness of the magnetic layer was 2000 Å, and the same evaluation was performed. The results are shown in Table 1.
Shown in.
【0019】比較例1 実施例1において、磁性層を形成した後、潤滑層を形成
せずに、その他は実施例1と同様にして磁気記録媒体を
製造し、同様の評価を行なった。その結果を表1に示
す。Comparative Example 1 A magnetic recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the lubricating layer was not formed after the magnetic layer was formed in Example 1, and the same evaluation was performed. The results are shown in Table 1.
【0020】比較例2 実施例1において、酸素の流量を増やして磁性層の厚さ
を3000Åとし、その他は実施例1と同様にして磁気記録
媒体を製造し、同様の評価を行なった。その結果を表1
に示す。Comparative Example 2 In Example 1, a magnetic recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the flow rate of oxygen was increased to make the thickness of the magnetic layer 3000 Å, and the same evaluation was performed. The results are shown in Table 1.
Shown in.
【0021】比較例3 実施例1において、潤滑層の厚さを80Åとし、その他は
実施例1と同様にして磁気記録媒体を製造し、同様の評
価を行なった。その結果を表1に示す。Comparative Example 3 In Example 1, a magnetic recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the lubricating layer was 80Å, and the same evaluation was performed. The results are shown in Table 1.
【0022】比較例4 実施例1において、酸素の流量を増大し、磁性層中の原
子%をCo:Ni:O =72:8:20、Raを6.0 とし、その
他は実施例1と同様にして磁気記録媒体を製造し、同様
の評価を行なった。その結果を表1に示す。Comparative Example 4 In Example 1, the flow rate of oxygen was increased, the atomic percentage in the magnetic layer was Co: Ni: O = 72: 8: 20, Ra was 6.0, and the other conditions were the same as in Example 1. A magnetic recording medium was manufactured by the above method, and the same evaluation was performed. The results are shown in Table 1.
【0023】比較例5 実施例1において、Co−Ni合金の原子%を、Co:Ni=9
5:5とし、酸素の流量を増大し、磁性層中の原子%をC
o:Ni:O =80.8:4.2 :15、Raを5.0 とし、その他
は実施例1と同様にして磁気記録媒体を製造し、同様の
評価を行なった。その結果を表1に示す。Comparative Example 5 In Example 1, the atomic percentage of the Co--Ni alloy was changed to Co: Ni = 9.
The flow rate of oxygen is increased to 5: 5, and atomic% in the magnetic layer is changed to C
A magnetic recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1 except that o: Ni: O = 80.8: 4.2: 15, Ra was 5.0, and the same evaluation was performed. The results are shown in Table 1.
【0024】比較例6 実施例1において、酸素を流さずに蒸着し、酸素を含ま
ない磁性層を形成し、その他その他は実施例1と同様に
して磁気記録媒体を製造し、同様の評価を行なった。そ
の結果を表1に示す。Comparative Example 6 In Example 1, a magnetic recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1, except that oxygen was not flowed to form a magnetic layer containing no oxygen. I did. The results are shown in Table 1.
【0025】比較例7 実施例1において、Niを含まない磁性層を形成し、その
他その他は実施例1と同様にして磁気記録媒体を製造
し、同様の評価を行なった。その結果を表1に示す。Comparative Example 7 A magnetic recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the magnetic layer containing no Ni was formed in Example 1, and the other evaluations were made. The results are shown in Table 1.
【0026】[0026]
【表1】 [Table 1]
【図1】フィルム基材に斜め蒸着を行なう装置の一例を
示す略図である。FIG. 1 is a schematic view showing an example of an apparatus for performing oblique vapor deposition on a film substrate.
1…真空容器 2…蒸着円筒(キャン) 3…フィルム 4…巻き出しロール 5…巻き取りロール 6…磁性金属 7…るつぼ 8…遮蔽板 9…真空ポンプ(排気系) 10…電子銃 11…酸素ガス導入管 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Vacuum container 2 ... Vapor deposition cylinder (can) 3 ... Film 4 ... Unwinding roll 5 ... Winding roll 6 ... Magnetic metal 7 ... Crucible 8 ... Shielding plate 9 ... Vacuum pump (exhaust system) 10 ... Electron gun 11 ... Oxygen Gas inlet pipe
Claims (2)
性層と、当該磁性層の表面に形成された潤滑層を有し、
且つ下記の (1)〜(4) の条件を満たす磁気記録媒体。 (1) 上記磁性層の厚さが1000〜2000Åである。 (2) 上記磁性層の表面粗さの値(Ra)が1〜4mmであ
る。 (3) 上記磁性層がCo,Ni及びO を含有し、且つ磁性層中
のCo,Ni及びO の比率が原子%として、75%≦Co、5%
≦Ni≦25%、5%≦O ≦15%の範囲にある。 (4) 上記潤滑層の厚さが50Å以下である。1. A magnetic layer formed by oblique vapor deposition on a substrate, and a lubricating layer formed on the surface of the magnetic layer,
A magnetic recording medium that satisfies the following conditions (1) to (4). (1) The thickness of the magnetic layer is 1000 to 2000Å. (2) The surface roughness value (Ra) of the magnetic layer is 1 to 4 mm. (3) The above magnetic layer contains Co, Ni and O, and the ratio of Co, Ni and O in the magnetic layer is at 75% ≦ Co, 5%
It is in the range of ≦ Ni ≦ 25%, 5% ≦ O ≦ 15%. (4) The thickness of the lubricating layer is 50Å or less.
なることを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒体。2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the lubricating layer is made of perfluoropolyether.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25815792A JPH06111270A (en) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | Magnetic recording medium |
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| JP25815792A JPH06111270A (en) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | Magnetic recording medium |
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| JP25815792A Pending JPH06111270A (en) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | Magnetic recording medium |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06111270A (en) |
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1992
- 1992-09-28 JP JP25815792A patent/JPH06111270A/en active Pending
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