JPH0610104A

JPH0610104A - Ｆｅ基軟磁性合金

Info

Publication number: JPH0610104A
Application number: JP4332312A
Authority: JP
Inventors: Katsuto Yoshizawa; 克仁吉沢; Kiyotaka Yamauchi; 清隆山内; Shigeru Oguma; 繁小熊
Original assignee: Hitachi Metals Ltd
Current assignee: Proterial Ltd
Priority date: 1986-12-15
Filing date: 1992-11-18
Publication date: 1994-01-18

Abstract

(57)【要約】【目的】コア損失が低く、透磁率が高く、磁歪による
特性劣化の小さいＦｅ基軟磁性合金を提供する。【構成】体心立方格子構造を有する最大寸法で測定し
た粒径の平均が３００オングストローム以下の結晶粒が
組織の少なくとも６０％を占めることを特徴とするＦｅ
基軟磁性合金。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、各種トランス、チョー
クコイル、可飽和リアクトル、ノイズフィルター等に用
いられる軟磁気特性に優れたＦｅ基軟磁性合金に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、各種トランス、チョークコイル、
可飽和リアクトル、ノイズフィルター等の磁心材料とし
ては、高電気抵抗で過電流損が少ない等の利点を有する
フェライト、高飽和磁束密度で比較的鉄損が少ないケイ
素鋼、中程度の飽和磁束密度で比較的高周波特性に優れ
たパーマロイ等が用いられていた。

【０００３】しかし、フェライトは飽和磁束密度が低
く、温度特性も悪いため、磁心を小形化することが困難
である欠点がある。ケイ素鋼は飽和磁束密度は高いが軟
磁気特性、特に高周波における透磁率やコア損失が劣っ
ている。パーマロイは、高周波磁気特性はケイ素鋼より
優れたものを得られるが、耐衝撃性に劣っており、衝撃
により高周波磁気特性が容易に劣化する欠点があった。

【０００４】近年これらの欠点をある程度改善できる材
料として、非晶質合金が注目を集め一部実用化されてい
る。

【０００５】非晶質合金は主としてFe系とCo系に大別さ
れ、Fe系の非晶質合金は飽和磁束密度が高く、材料コス
トがCo系に比べて安いという利点がある反面、一般的に
高周波においてCo系非晶質合金よりコア損失が大きく、
透磁率も低いという問題がある。またFe系非晶質合金は
磁歪が著しく大きく、磁心がうなりを生じたり含浸やコ
ーティング等を行うと著しく特性が劣化する欠点があ
る。

【０００６】これに対してCo系非晶質合金は高周波のコ
ア損失が小さく、透磁率も高いが、コア損失や透磁率の
経時変化が大きく、飽和磁束密度も十分ではない欠点が
ある。さらには高価なCoを主原料とするため価格的な不
利は免れない。

【０００７】このような状況下でFe基非晶質合金につい
て種種の提案がなされた。特公昭60-17019号には、74〜
84原子％のFeと、8〜24原子％のBと、16原子％以下のSi
及び3原子％以下のCの内の少なくとも1つとからなる組
成を有し、その構造の少なくとも85％が非晶質金属素地
の形を有し、かつ非晶質金属素地の全体にわたって不連
続に分布された結晶質粒子群の析出物を有しており、結
晶粒粒子群は0.05〜1μmの平均粒度及び1〜10μmの平均
粒子間距離を有しており、粒子群は全体の0.01〜0.3の
平均容積分率を占めていることを特徴とする鉄基含硼素
磁性非晶質合金が開示されている。この合金の結晶質粒
子群は磁壁のピンニング点として作用する不連続な分布
のα-(Fe,Si)粒子群であるとされている。

【０００８】また特開昭60-52557号にはFeaCubBcSid
（ただし75≦a≦85,0＜b≦1.5,10≦c≦20,d≦10かつc+d
≦30）からなる低損失非晶質磁性合金が開示されてい
る。この非晶質合金は結晶化温度以下でかつキュリー温
度以上で熱処理される。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】前記特公昭60-17019号
のFe基軟磁性合金からなる磁心は不連続な結晶質粒子群
の存在によりコア損失は減少するが、それでもコア損失
は依然大きく、特に磁歪が大きいためうなりを生じた
り、含浸コーティングを行うことによりコア損失、透磁
率の著しい劣化を招く問題があり、カットコア等では高
特性のものが得られていない。

【００１０】一方、前記特開昭60-52557号のFe基非晶質
合金はCu含有の効果により磁心のコア損失は低下してい
るが、上記結晶粒子含有Fe基非晶質合金を用いた磁心と
同様に満足ではない。さらにはコア損失の経時変化、透
磁率に関しても十分でないという問題がある。

【００１１】従って本発明の目的はコア損失が低く、透
磁率が高く、磁歪による特性劣化の小さいＦｅ基軟磁性
合金を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的に鑑み鋭意研究
の結果、本発明者は以下のことを知見した。Fe_73.4Cu₁N
b_3.1Si_13.4B_9.1の組成を有する溶湯から、単ロール法を
用い非晶質化したリボンを作製し、種々の熱処理条件下
で微細結晶粒の割合の異なる試料（No.１〜５）を作製
した。この試料の結晶粒の割合と実効透磁率
（μ_e1KHz）、コア損失（W_2/100K:100KHz,Bm 2KGにおけ
る）との関係を求めた。結果を図１，図２に示す。また
試料１〜５の透過電子顕微鏡写真（30万倍）を図３〜図
７に示す。なお、後述する線分法により求めた微細結晶
粒の割合および最大寸法で測定した粒径の平均（オング
ストローム）は以下の通りである。

【００１３】以上の図１および図２から明かなように、微細結晶粒の
割合が６０％以上になると、実効透磁率が著しく向上
し、またコア損失が低減される。

【００１４】以上の試料についてＸ線回折および透過電
子顕微鏡による分析を行った結果、微細な結晶粒はＳｉ
等が固溶した体心立方格子構造のFeと判断された。本発
明は以上の知見に基づくものであり、体心立方格子構造
を有する最大寸法で測定した粒径の平均が３００オング
ストローム以下の結晶粒が組織の少なくとも６０％を占
めることを特徴とするＦｅ基軟磁性合金である。

【００１５】本発明は、極めて微細な結晶粒を合金組織
中に多量に分散した点に特徴がある。すなわち、従来非
晶質合金中に多量に結晶粒を分散させると軟磁気特性を
劣化させる認識されていたが（例えば前記特公昭６０−
１７０１９号でも結晶粒の量は３０体積パーセント以下
に規制されている）、本発明のように極めて微細に抑制
された結晶粒を多量に合金中に分散すると内部応力−歪
による磁気異方性が小さくなり軟磁気特性が向上し、ま
た、微細結晶粒の形成により磁歪も低減される。

【００１６】本発明Ｆｅ基軟磁性合金として好ましい組
成は、一般式： (Fe_1-aM_a)_100-x-y-z-α_-β_-γCu_xSi_yB_zM'αM"βXγ（原子％）（ただし、MはCo及び／又はNiであり、M'はNb,W,Ta,Zr,
Hf,Ti及びMoからなる群から選ばれた少なくとも1種の元
素、M"はV,Cr,Mn,Al,白金属元素,Sc,Y,希土類元素,Au,Z
n,Sn,Reからなる群から選ばれた少なくとも1種の元素、
XはC,Ge,P,Ga,Sb,In,As,Beからなる群から選ばれた少な
くとも1種の元素であり、a,x,y,z,α,β及びγはそれぞ
れ0≦a＜0.5,0.1≦x≦3,0≦y≦30,0≦z≦25,0≦y+z≦3
5,0.1≦α≦30,0≦β≦10及び0≦γ≦10を満たす。）に
より表される。

【００１７】上記合金において、Cuは0.1〜3原子％の範
囲で含有される。0.1原子％より少ないとCuの添加によ
るコア損失低下、透磁率上昇の効果がほとんどなく、一
方、3原子％より多いとコア損失が未添加のものよりか
えって大きくなることがあり、透磁率も劣化する。特に
好ましいCuの含有量xは0.5〜2原子％であり、この範囲
ではコア損失が特に小さい。

【００１８】Cuのコア損失低下、透磁率上昇作用の原因
は明かではないが次のように考えられる。CuとFeの相互
作用パラメータは正であり、固溶度が低く、分離する傾
向があるため非晶質状態の合金を加熱するとFe原子同志
またはCu原子同志が寄り集まりクラスターを形成し組成
ゆらぎが生じる。このため部分的に結晶化しやすい領域
が多数でき、そこを核とした微細な結晶粒が生成され
る。この結晶はFeを主成分とするものであり、FeとCuの
固溶度はほとんどないため結晶化によりCuは微細結晶粒
の周囲にはき出され、結晶粒周辺のCu濃度が高くなる。
このため結晶粒は成長しにくいと考えられる。

【００１９】以上のようにCu添加により結晶核が多数で
きることと結晶粒が成長しにくいため結晶粒微細化が起
こると考えられるが、この作用はNb,Ta,W,Mo,Zr,Hf,Ti
等の存在により特に著しくなると考えられる。

【００２０】Nb,Ta,W,Mo,Zr,Hf,Ti等が存在しない場合
は結晶粒はあまり微細化されない。Nb,Ta,Zr,Hf,Moは特
に効果が大きいが、これらの元素の中でNbを添加した場
合特に結晶粒が細くなりやすく、軟磁気特性も優れたも
のが得られる。

【００２１】上記組成式のＦｅ基軟磁性合金の内には、
例えば、組成式：Fe_balCu₁Nb₃B₅Si₁ _7.5で表される合金
の様に、磁歪が負のもの、或いは磁歪が０又はほとんど
０のものも含まれている。

【００２２】Cuを添加しない場合は結晶粒は微細化され
にくく、化合物相が形成しやすいため結晶化により磁気
特性は劣化しやすい。

【００２３】V,Cr,Mn,Al,白金属元素,Sc,Y,希土類元素,
Au,Zn,Sn,Re等の元素は耐食性改善、磁気特性改善、磁
歪調整の効果を有するものである。その含有量はせいぜ
い10原子％以下である。含有量が10原子％を超えると著
しい飽和磁束密度の低下を招くためであり、特に好まし
い含有量は8原子％以下である。これらの中でRu,Rh,Pd,
Os,Ir,Pt,Au,Cr,Vから選ばれる少なくとも1種の元素を
添加した合金からなる場合は特に耐食性、耐摩耗性に優
れたＦｅ基軟磁性合金となる。

【００２４】C,Ge,P,Ga,Sb,In,Be,Asからなる群から選
ばれた少なくとも1種の元素は非晶質化に有効な元素で
あり、Si,Bと共に10原子％以下の範囲で添加することが
できる。この添加は磁歪やキュリー温度調整にも効果が
ある。

【００２５】Si及びBは、結晶粒微細化に特に有用な元
素である。本発明に係るFe基軟磁性合金は、好ましく
は、一旦Si,Bの添加効果により非晶質合金とした後で熱
処理により微細結晶粒を形成させることにより得られ
る。Si及びBの含有量y及びzの限定理由は、yが30原子％
以下、zが25原子％以下、y+zが35原子％以下でないと、
合金の飽和磁束密度の著しい減少があるからである。

【００２６】他の非晶質形成元素の添加量が少ない時
は、y+zが10〜35原子％の範囲であれば、前記合金の中
間段階での非晶質化が容易である。しかしながら、後述
のM'は非晶質形成元素としても作用するため、B,Siの含
有は必須ではない。

【００２７】本発明において、M'はCuとの複合添加によ
り析出する結晶粒を微細化する作用を有するものであ
り、Nb,W,Ta,Zr,Hf,Ti及びMoからなる群から選ばれた少
なくとも1種の元素である。Nb等は合金の結晶化温度を
上昇させる作用を有するが、クラスターを形成し結晶化
温度を低下させる作用を有するCuとの相互作用により析
出する結晶粒が微細化するものと考えられる。M'の含有
量αは0.1〜30原子％であり、0.1原子％未満だと結晶粒
微細化の効果が不十分であり、一方30原子％を超えると
飽和磁束密度の著しい低下を招く。好ましいM'の含有量
αは2〜8原子％である。なおM'としてNbが磁気特性の面
で最も好ましい。またM'の添加によりCo基高透磁率材料
と同等の高い透磁率を有するようになる。

【００２８】残部は不純物を除いて実質的にFeが主体で
あるが、Feの一部は成分M（Co及び／又はNi）により置
換することもできる。Mの含有量aは0≦a＜0.5である
が、好ましくは、0≦a≦0.3である。aが0.3を超える
と、コア損失が増加する場合があるためである。

【００２９】M"の添加により、耐食性の改善、磁気特性
の改善、又は磁歪調整効果が得られる。M"が10原子％を
超えると飽和磁束密度低下が著しい。以上の合金のうち
特に0≦a≦0.3,0.5≦x≦2,10≦y≦25,3≦z≦12,18≦y+z
≦28,2≦α≦8の関係を有する場合特に高透磁率、低コ
ア損失が得られやすい。

【００３０】本発明Fe基軟磁性合金は組織の少なくとも
６０％以上が体心立方格子構造を有する微細な結晶粒か
らなる。この結晶粒は３００オングストローム以下と著
しく小さな平均粒径を有することを特徴とし、合金組織
中に均一に分布している。合金組織のうち微細結晶粒以
外の部分は主に非晶質である。なお微細結晶粒の割合が
実質的に100％になっても本発明のＦｅ基軟磁性合金は
十分に優れた磁気特性を示す。

【００３１】なお、本発明における微細結晶粒の割合は
線分法により求めた値である。この線分法は一般的な方
法であり、組織写真中に引かれた任意の線分（長さL）
が横切る各結晶粒の長さ（L1,L2,L3,…Ln）の合計（L1+
L2+L3+…Ln）を求め、これをLで割ることにより、結晶
粒の割合を求めるものである。なお、結晶粒の割合が約
80％以上と多くなると、結晶粒がほぼ組織全体を占める
ように見えるが、この場合でも幾分非晶質相が存在する
ものと考えられる。というのは、結晶粒の外周部が顕微
鏡写真ではぼやけて見えるが、これは非晶質相の存在に
よるためのものであると考えられるからである。この前
提に立つと、ぼやけて見える外周部の割合から、大体の
非晶質相の割合がわかる。このように結晶粒の割合が多
い場合、割合を正確な数値で表すことはきわめて困難で
ある。

【００３２】本発明において、N,O,S等の不可避的不純
物については所望の特性が劣化しない程度に含有してい
ても本発明のＦｅ基軟磁性合金に用いられる合金組成と
同一とみなすことができるのはもちろんである。

【００３３】次に本発明Ｆｅ基軟磁性合金の製造方法の
一例について説明する。まず所定組成の溶湯から、片ロ
ール法、双ロール法等の公知の液体急冷法によりリボン
状の非晶質合金を形成する。通常、片ロール法等により
製造される非晶質合金リボンの板厚は3〜100μm程度で
あるが、板厚が25μm以下のものが高周波において使用
されるＦｅ基軟磁性合金用薄帯として特に適している。

【００３４】この非晶質合金は結晶相を含んでいてもよ
いが、後の熱処理により微細な結晶粒を均一に生成する
ためには非晶質であるのが望ましい。非晶質リボンは熱
処理の前に巻回、打ち抜き、エッチング等をして所定の
形状に加工する方が望ましい。この理由は非晶質の段階
ではリボンは加工性が良いが、一旦結晶化すると加工性
が著しく低下する場合が多いからである。しかしなが
ら、熱処理後巻回する、エッチングする等の加工を行い
Ｆｅ基軟磁性合金を製造することも可能である。

【００３５】熱処理は所定の形状に加工した非晶質合金
リボンを真空中または水素、窒素、Ar等の不活性ガス雰
囲気中、又は大気中において一定時間保持し行う。熱処
理温度および時間は非晶質合金リボンからなる磁心の形
状、サイズ、組成等により異なるが、一般的に450℃〜7
00℃で5分から24時間程度が望ましい。熱処理温度が450
℃未満であると結晶化が起こりにくく、熱処理に時間が
かかりすぎる。また700℃より高いと粗大な結晶粒が生
成したり、不均一な形態の結晶粒が生成するおそれがあ
り、微細な結晶粒を均一に得ることができなくなる。ま
た熱処理時間については、5分未満では加工した合金全
体を均一な温度とすることが困難であり磁気特性がばら
つきやすく、24時間より長いと生産性が悪くなるだけで
なく結晶粒の過剰な成長や不均一な形態の結晶粒の生成
により磁気特性の低下が起こりやすい。好ましい熱処理
条件は、実用性及び均一な温度コントロール等を考慮し
て、500〜650℃で5分〜6時間である。

【００３６】熱処理雰囲気はAr,窒素,水素等の不活性ガ
ス雰囲気又は還元性雰囲気が望ましいが、大気中等の酸
化性雰囲気でも良い。冷却は空冷や炉冷等により、適宜
行うことができる。また場合によっては多段の熱処理を
行うこともできる。また熱処理の際磁心材に電流を流し
たり高周波磁界を印加し磁心を発熱させることにより磁
心を熱処理することもできる。

【００３７】熱処理を直流あるいは交流等の磁場中で行
うこともできる。更には磁場中熱処理により本磁心に用
いられている合金に磁気異方性を生じさせ特性向上をは
かることができる。磁場は熱処理の間中印加してもよい
が全期間印加する必要はなく、合金のキュリー温度Tcよ
り低い温度のときで十分な効果が得られる。

【００３８】

【実施例】本発明を以下の実施例によりさらに詳細に説
明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。

【００３９】（実施例１）原子％でCu1％,Si13.4％,B9.
1％,Nb3.1％及び残部実質的にFeからなる組成の溶湯か
ら、単ロール法により幅5mm,厚さ18μmのリボンを作製
した。このリボンのＸ線回折を測定したとこ図８に示す
ような非晶質合金に典型的なハローパターンが得られ
た。またこのリボンの透過電子顕微鏡写真（30万倍）は
図３に示す。図８,図３より明かなように得られたリボ
ンはほぼ完全な非晶質であった。次にこの非晶質リボン
から外径19mm、内径15mmのリングを打ち抜き、アルゴン
ガス雰囲気中、550℃で1時間熱処理を行った。熱処理後
のリボンのＸ線回折パターンは図９に示すように結晶ピ
ークが認められた。図７はこの熱処理後のリボンの透過
電子顕微鏡（30万倍）であり、熱処理後の組織の大部分
（ほぼ100%）が微細な結晶粒からなることがわかった。
結晶粒の平均粒径は約100オングストロームであった。

【００４０】Ｘ線回折パターン及び透過電子顕微鏡によ
る分析から、この結晶粒はSi等が固溶した体心立方構造
のFeであると推定された。また、組織中のＣｕの濃度分
布を観察したところ、主に結晶粒周辺に存在しているこ
とが確認された。次に熱処理前後のリボン状Ｆｅ基軟磁
性合金について、磁束密度の波高値Ｂｍ＝２ｋＧおよび
周波数１００ＫＨｚにおけるコア損失W_2/100Kを測定し
たところ、熱処理前のものは４０００ｍＷ／ｃｃ、熱処
理後のものは２２０ｍＷ／ｃｃであった。また、周波数
１ＫＨｚ、Ｈｍ＝５ｍＯｅにおける実効透磁率μ_eを測
定したところ前者（熱処理前）は５００、後者（熱処理
後）は１００２００であった。これから、本発明のＦｅ
基軟磁性合金は、コア損失が著しく低下するのみなら
ず、透磁率が著しく高くなることがわかる。

【００４１】（実施例２）表１に示す組成を有する幅5m
m、厚さ18μmの非晶質合金薄帯を単ロール法により作製
し、外径19mm、内径15mmにトロイダル状に巻き、結晶化
温度以上の温度で熱処理後、直流磁気特性１ｋＨｚにお
ける実効透磁率μ_e1k、１００ＫＨｚ、２ｋＧにおける
コア損失W_2/100Kを測定した。また、飽和磁歪λsも測定
した。結果を表１に示す。

【００４２】本発明合金の飽和磁束密度Bsは10kGを越え
るものがあり、Co基アモルファス合金より高く軟磁気特
性もCo基アモルファスと同等以上の特性が得られること
がわかる。また磁歪が小さくほぼ磁歪が0のものも得ら
れる。なお実施例１と同様に組織観察を行ったところ、
表１のいずれの合金も平均粒径100〜150オングストロー
ムの体心立方構造からなる微細結晶粒が組織の大部分
（ほぼ100%）を占めていることが確認された。

【００４３】

【表１】 Bs Hc W_2/100K λs 組成(at％) μ_e1K (kG) (Oe) (mW/cc) (×10^-6) Fe74Cu0.5Si13.5B9Nb3 12.4 0.013 68000 300 +1.8 本 Fe74Cu1.5Si13.5B9Nb2 12.6 0.015 76000 230 +2.0 Fe79Cu1.0Si8B9Nb3 14.6 0.056 21000 470 +1.8 Fe74.5Cu1.0Si13.5B6Nb5 11.6 0.020 42000 350 +1.5 発 Fe77Cu1.0Si10B9Nb3 14.3 0.025 48000 430 +1.6 Fe73.5Cu1.0Si17.5B5Ta3 10.5 0.015 42000 380 -0.3 Fe71Cu1.5Si13.5B9Mo5 11.2 0.012 68000 280 +1.9 明 Fe74Cu1.0Si14B8W3 12.1 0.022 74000 250 +1.7 Fe73Cu2.0Si13.5B8.5Hf3 11.6 0.028 29000 350 +2.0 Fe74.5Cu1.0Si13.5B9Ta2 12.8 0.018 33000 480 +1.8 例 Fe72Cu1.0Si14B8Zr5 11.7 0.030 28000 380 +2.0 Fe71.5Cu1.0Si13.5B9Ti5 11.3 0.038 28000 480 +1.8 Fe73Cu1.5Si13.5B9Mo3 12.1 0.014 69000 250 +2.8 Fe73.5Cu1.0Si13.5B9Ta3 11.4 0.017 43000 330 +1.9 Fe71Cu1.0Si13B10W5 10.0 0.023 68000 320 +2.5 従 Fe78Si9B13 アモルファス 15.6 0.03 5000 3300 +27 来 Co70.3Fe4.7Si15B10アモルファス 8.0 0.006 8500 350 〜0 例 Fe84.2Si9.6Al6.2 (wt%) 11.0 0.02 10000 − 〜0

【００４４】（実施例３）表２に示す組成の幅5mm、厚
さ18μmの非晶質合金薄帯を単ロール法により作製し、
外径19mm、内径15mmのトロイダル状に巻回し、結晶化温
度以上の温度で熱処理後、直流磁気特性１ｋＨｚにおけ
る実効透磁率μ_e1k、１００ＫＨｚ、２ｋＧにおけるコ
ア損失W_2/100Kを測定した。また、飽和磁歪λsも測定し
た。結果を表２に示す。実施例１と同様に組織観察を行
ったところ、表２のいずれの合金も平均粒径100〜150オ
ングストロームの体心立方構造からなる微細結晶粒が組
織の大部分（ほぼ100%）を占めていることが確認され
た。

【００４５】本発明のＦｅ基軟磁性合金の飽和磁束密度
Bsは通常のCo基アモルファス合金や80wt％Niパーマロイ
より高く、μ_e1K,Hc,W_2/100K等はCo基アモルファスと同
等以上の特性を示す上に磁歪が小さく軟磁性材料として
最適な特性を有しており、本発明Ｆｅ基軟磁性合金の特
性が優れていることがわかる。

【００４６】

【表２】 Bs Hc W_2/100K λs 組成 (ａｔ.%) μ_e1K (kG) (Oe) (mW/cc) (x10^-6) (Fe0.959Ni0.041)73.5Cu1Si13.5B9Nb3 12.3 0.018 32000 280 +4.6 (Fe0.93Ni0.07)73.5Cu1Si13.5B9Nb3 12.1 0.023 18000 480 +4.8 (Fe0.905Ni0.095)73.5Cu1Si13.5B9Nb3 11.8 0.020 16000 540 +5.0 (Fe0.986Co0.014)73.5Cu1Si13.5B9Nb3 12.6 0.011 82000 280 +4.0 (Fe0.959Co0.041)73.5Cu1Si13.5B9Nb3 13.0 0.015 54000 400 +4.2 (Fe0.93Co0.07)73.5Cu1Si13.5B9Nb3 13.2 0.020 27000 500 +4.8 Fe71.5Cu1Si15.5B7Nb5 10.7 0.012 85000 230 +2.8 Fe71.5Cu1Si17.5B5Nb5 10.2 0.010 80000 280 +2.0 Fe71.5Cu1Si19.5B3Nb5 9.2 0.065 8000 820 +1.6 Fe70.5Cu1Si20.5B5Nb3 10.8 0.027 23000 530 〜0 Fe75.5Cu1Si13.5B7Nb3 13.3 0.011 84000 250 +1.5 Fe87Cu1B5Zr7 15.5 0.044 20000 570 +0.9 Fe90Cu1B2Hf7 16.0 0.037 18000 540 〜0 Fe88Cu1Si2B3Zr7 15.0 0.025 28000 540 〜0 Fe90Cu1B2Zr7 16.5 0.03 17000 580 〜0 Fe86Cu1B6Zr7 15.2 0.04 48000 520 〜0

【００４７】

【発明の効果】本発明によれば各種トランス、チョーク
コイル、可飽和リアクトル、ノイズフィルター等に好適
なコア損失が近く透磁率が高くかつ特性劣化の小さい磁
心や高角形比の磁心、低角形比の磁心等を提供すること
ができるためその効果は著しいものがある。

【図面の簡単な説明】

【図１】結晶粒割合と実効透磁率との関係を示す図であ
る。

【図２】結晶粒割合とコア損失の関係を示す図である。

【図３】結晶粒割合が０％の合金の透過電子顕微鏡金属
組織写真である。

【図４】結晶粒割合が１２％の合金の透過電子顕微鏡金
属組織写真である。

【図５】結晶粒割合が４７％の合金の透過電子顕微鏡金
属組織写真である。

【図６】結晶粒割合が約８０％の合金の透過電子顕微鏡
金属組織写真である。

【図７】結晶粒割合が１００％の合金の透過電子顕微鏡
金属組織写真である。

【図８】本発明Ｆｅ基軟磁性合金を製造する中間段階で
作製される合金のＸ線回折パターンである。

【図９】本発明Ｆｅ基軟磁性合金のＸ線回折パターンで
ある。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】体心立方格子構造を有する最大寸法で測
定した粒径の平均が３００オングストローム以下の結晶
粒が組織の少なくとも６０％を占めることを特徴とする
Ｆｅ基軟磁性合金。