[go: up one dir, main page]

JPH0590672A - LD pumped solid state laser - Google Patents

LD pumped solid state laser

Info

Publication number
JPH0590672A
JPH0590672A JP25103891A JP25103891A JPH0590672A JP H0590672 A JPH0590672 A JP H0590672A JP 25103891 A JP25103891 A JP 25103891A JP 25103891 A JP25103891 A JP 25103891A JP H0590672 A JPH0590672 A JP H0590672A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser diode
wavelength
output
laser
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP25103891A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tomohito Akita
智史 秋田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP25103891A priority Critical patent/JPH0590672A/en
Publication of JPH0590672A publication Critical patent/JPH0590672A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 励起用レーザダイオードの出力パワー等の駆
動条件を変化させても、あるいは特性の経時変化があっ
ても、これらに追随して常に一定の発振波長が得られ、
安定した出力を得ることのできるLD励起固体レーザを
提供する。 【構成】 励起用レーザダイオードの出力光の一部を取
り出して分光し、その分光された光を2チャンネルフォ
トダイオードに導いてその発振波長の目標波長に対する
ずれを検出し、その結果に基づいてレーザダイオードの
温度をフィードバック制御する。
(57) [Abstract] [Purpose] Even if the driving conditions such as the output power of the pumping laser diode are changed or the characteristics change over time, a constant oscillation wavelength is always obtained following these changes.
An LD pumped solid-state laser capable of obtaining a stable output is provided. [Structure] A part of the output light of the pumping laser diode is extracted and dispersed, the dispersed light is guided to a two-channel photodiode, and the deviation of the oscillation wavelength from the target wavelength is detected, and the laser is based on the result. Feedback control the temperature of the diode.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】 本発明はレーザダイオードの出
力光を用いた光ポンピング方式の固体レーザに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical pumping type solid-state laser using output light of a laser diode.

【0002】[0002]

【従来の技術】 レーザダイオードの光により励起され
る固体レーザにおいては、一般に、Nd:YAG等の固
定媒質の励起が励起光の波長に敏感に依存するため、励
起用のレーザダイオードの波長を何らかの方法によって
安定化しなければ、固体レーザの出力が不安定になる。
そこで、従来のこの種のレーザにおいては、励起用のレ
ーザダイオードの温度コントローラを設け、温度を一定
に保つことによりその発振波長の安定化を計っている
が、実用のレーザダイオードの発振波長は、その出力ま
たは駆動電流の違いによる発熱量の違いにも影響を受け
るため、レーザダイオードの出力または駆動電流を決め
た上で、目的とするレーザダイオードの発振波長が得ら
れるように、上記の温度コントローラを調整している。
2. Description of the Related Art In a solid-state laser excited by the light of a laser diode, generally, the excitation of a fixed medium such as Nd: YAG is sensitively dependent on the wavelength of the excitation light. Unless stabilized by the method, the output of the solid-state laser becomes unstable.
Therefore, in this type of conventional laser, a temperature controller for the laser diode for excitation is provided and the oscillation wavelength is stabilized by keeping the temperature constant, but the oscillation wavelength of a practical laser diode is It is also affected by the difference in the amount of heat generated due to the difference in the output or drive current.Therefore, after determining the output or drive current of the laser diode, the temperature controller described above should be used to obtain the desired oscillation wavelength of the laser diode. Is being adjusted.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】 ところで、固体レー
ザの出力を変化させたい場合には、励起用のレーザダイ
オードの出力を変化させる必要があるが、レーザダイオ
ードの出力を変化させても発振波長を一定に保たなけれ
ば固体レーザの出力を安定させることはできない。ここ
で、同一波長で出力パワーを変化させながらレーザダイ
オードを動作させたい場合には、従来、波長・出力・温
度の関係を知った上で、温度コントローラを調整するこ
とによってレーザダイオードの波長を安定化することが
行われている。レーザダイオードチップの発光部の温度
をモニタすることは、実用のレーザダイオードにおいて
は不可能であるため、出力パワーを変化させて波長を一
定に保つためには必ず設定温度を変える必要がある。従
って、従来の技術では、個々のレーザダイオードについ
て事前に波長・出力・温度の関係を知らねばならず、制
御系を動作させるまでに、これらの特性の関係を知るた
めの膨大な時間と労力を必要とする。また、このような
特性の経時変化については全く対応することができな
い。
By the way, when it is desired to change the output of the solid-state laser, it is necessary to change the output of the laser diode for excitation. However, even if the output of the laser diode is changed, the oscillation wavelength is changed. Unless kept constant, the output of the solid-state laser cannot be stabilized. Here, if you want to operate the laser diode while changing the output power at the same wavelength, you can stabilize the wavelength of the laser diode by adjusting the temperature controller after knowing the relationship between wavelength, output, and temperature. Is being converted. Since it is impossible to monitor the temperature of the light emitting portion of the laser diode chip in a practical laser diode, it is necessary to change the set temperature in order to change the output power and keep the wavelength constant. Therefore, in the conventional technology, it is necessary to know the relationship between the wavelength, the output, and the temperature of each laser diode in advance, and a huge amount of time and effort is required to know the relationship between these characteristics before the control system is operated. I need. In addition, it is impossible to deal with such a change with time in characteristics.

【0004】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
ので、上記の特性の関係を事前に詳細に調査することな
く、励起用レーザダイオードの出力を変化させても自動
的にその発振波長を一定に保つことができるとともに、
経時変化があっても自動的に調整され、もって常に安定
した出力を得ることのできるLD励起固体レーザの提供
を目的としている。
The present invention has been made in view of the above point, and the oscillation wavelength of the pumping laser diode is automatically changed even if the output of the pumping laser diode is changed without investigating the relationship of the above characteristics in detail. Can be kept constant and
It is an object of the present invention to provide an LD pumped solid-state laser that can be automatically adjusted even if there is a change with time and can always obtain a stable output.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】 上記の目的を達成する
ため、本発明では、励起用のレーザダイオードの出力光
の一部を取り出して分光する分光器と、その分光された
光を2チャンネルの受光素子に入射して、レーザダイオ
ードの発振波長があらかじめ設定された波長に対して短
い、長い、または一致しているかを検出する検出回路
と、その検出結果に基づいてレーザダイオードの温度を
フィードバック制御する制御回路を設け、レーザダイオ
ードの電流等の駆動条件が変化してもその発振波長を一
定に保つよう構成している。
In order to achieve the above object, in the present invention, a spectroscope for taking out a part of output light of a laser diode for excitation and separating the light, and a spectroscopic light of two channels. A detection circuit that detects whether the oscillation wavelength of the laser diode is short, long, or coincides with the preset wavelength when it enters the light receiving element, and the temperature of the laser diode is feedback-controlled based on the detection result. The control circuit is provided to keep the oscillation wavelength constant even if the driving conditions such as the current of the laser diode change.

【0006】[0006]

【作用】 励起用のレーザダイオードの発振波長があら
かじめ設定された波長(目標とする波長)に一致してい
るときには2つの受光素子の出力はバランスしている
が、レーザダイオードの発振波長が目標波長からずれる
と、受光素子の出力のバランス状態がくずれる。また、
2チャンネルの受光素子の出力のいずれが大きくなった
かにより、発振波長と目標波長の大小関係が判るから、
この情報をレーザダイオードの温度コントローラにフィ
ードバックして、2つの受光素子の出力がバランスする
ようにレーザダイオードの温度を制御することにより、
励起用のレーザダイオードの発振波長を一定に保つこと
ができる。
[Operation] When the oscillation wavelength of the laser diode for excitation matches the preset wavelength (target wavelength), the outputs of the two light receiving elements are balanced, but the oscillation wavelength of the laser diode is equal to the target wavelength. If deviated, the balance of the output of the light receiving element is broken. Also,
Since the magnitude relationship between the lasing wavelength and the target wavelength can be known depending on which of the outputs of the two-channel light receiving elements has increased,
By feeding back this information to the temperature controller of the laser diode and controlling the temperature of the laser diode so that the outputs of the two light receiving elements are balanced,
The oscillation wavelength of the laser diode for excitation can be kept constant.

【0007】[0007]

【実施例】 図1は本発明実施例を端面励起型のLD励
起固体レーザに適用した場合の光学系の構成図である。
レーザダイオード1の出力光はコリメートレンズ2、フ
ォーカシングレンズ3を介してNd:YAG結晶4に照
射され、ミラー5を介して固体レーザ光として外部に出
力される。この構成は従来のものと同等である。
FIG. 1 is a configuration diagram of an optical system when the embodiment of the present invention is applied to an edge-pumped LD-pumped solid-state laser.
The output light of the laser diode 1 is applied to the Nd: YAG crystal 4 via the collimating lens 2 and the focusing lens 3, and is output to the outside as a solid-state laser light via the mirror 5. This structure is equivalent to the conventional one.

【0008】本発明実施例においては、レーザダイオー
ド1とコリメートレンズ2の間にビームスプリッタ6が
配設され、これによりレーザダイオード1の出力光の一
部を取り出し、その光を反射型グレーティング7に導い
ている。この反射型グレーティング7の検出面には2チ
ャンネルフォトダイオード8が配設されており、反射型
グレーティング7により分光されたレーザダイオード光
は、この2チャンネルフォトダイオード8に入射する。
In the embodiment of the present invention, the beam splitter 6 is arranged between the laser diode 1 and the collimating lens 2, whereby a part of the output light of the laser diode 1 is extracted and the light is reflected by the reflection type grating 7. Is leading. A two-channel photodiode 8 is arranged on the detection surface of the reflection type grating 7, and the laser diode light dispersed by the reflection type grating 7 enters the two-channel photodiode 8.

【0009】2チャンネルフォトダイオード8は互いに
隣接する2つのフォトダイオードPD1,PD2によっ
て構成されており、各入射面の境界は、目標とする発振
波長の光が検出される位置にくるように位置調整されて
いる。従って、一方のフォトダイオードPD1には目標
波長よりも短波長側にずれた光が、他方のフォトダイオ
ードPD2には長波長側にずれた光が入射する。この各
フォトダイオードPD1,PD2の光電流は、以下に示
す信号処理回路に供給されてレーザダイオード1の温度
制御に供される。
The two-channel photodiode 8 is composed of two photodiodes PD1 and PD2 adjacent to each other, and the position of the boundary between the incident surfaces is adjusted so that the light of the target oscillation wavelength is detected. Has been done. Therefore, the light shifted to the shorter wavelength side than the target wavelength enters the one photodiode PD1, and the light shifted to the longer wavelength side enters the other photodiode PD2. The photocurrents of the photodiodes PD1 and PD2 are supplied to the signal processing circuit described below and used for temperature control of the laser diode 1.

【0010】図2は本発明実施例の信号処理回路の構成
を示すブロック図である。フォトダイオードPD1およ
びPD2の光電流はそれぞれアンプ11および12に入
力されて電圧信号に変換された後、それぞれアンプ13
に入力され、このアンプ13によってレーザダイオード
1の発振波長が長波長側にずれているか短波長側にずれ
ているかの信号に変換される。
FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of the signal processing circuit according to the embodiment of the present invention. The photocurrents of the photodiodes PD1 and PD2 are input to the amplifiers 11 and 12, respectively, and converted into voltage signals, and then the amplifier 13
Is input to the laser diode 1 and is converted by the amplifier 13 into a signal indicating whether the oscillation wavelength of the laser diode 1 is shifted to the long wavelength side or the short wavelength side.

【0011】すなわち、レーザダイオード1の発振波長
が長波長側にずれている場合には、フォトダイオードP
D2の光電流がフォトダイオードPD1の光電流よりも
大となり、従ってアンプ13の正入力が負入力よりも大
きくなり、アンプ13からは正の電圧信号が出力され
る。レーザダイオード1の発振波長が短波長側にずれた
場合には、その逆にアンプ13からは負の電圧信号が出
力される。また、この発振波長が目標波長と一致してい
る場合には2つのフォトダイオードPD1,PD2の光
電流出力は一致し(あるいは双方とも0となり)、アン
プ13の出力は0となる。
That is, when the oscillation wavelength of the laser diode 1 is deviated to the long wavelength side, the photodiode P
The photocurrent of D2 becomes larger than the photocurrent of the photodiode PD1, so that the positive input of the amplifier 13 becomes larger than the negative input, and the positive voltage signal is output from the amplifier 13. When the oscillation wavelength of the laser diode 1 deviates to the short wavelength side, on the contrary, a negative voltage signal is output from the amplifier 13. When the oscillation wavelength matches the target wavelength, the photocurrent outputs of the two photodiodes PD1 and PD2 match (or both become 0), and the output of the amplifier 13 becomes 0.

【0012】このアンプ13の出力は、温度設定器14
からの通常の温度設定信号に加算された後、温度調節回
路15に温度設定信号として供給される。温度調節回路
15では、このようにして供給された温度設定信号に従
って、レーザダイオード温調用ペルチェ素子16に流れ
る電流をコントロールするように構成されている。以上
の構成により、レーザダイオード1の発振波長が目標波
長に対してずれた場合に、そのずれた向きに応じて温度
調節回路15における設定温度が自動的に変化する。具
体的には、発振波長が長波長側にずれた場合には設定温
度を下げるような信号が、短波長側にずれた場合には設
定温度を上げるような信号が自動的に供給される。これ
により、レーザダイオード1の出力パワーの変化をはじ
めとする駆動条件等の変化や、特性の経時変化に自動的
に追随してレーザダイオード1の温度が調整され、その
発振波長が常に一定に保たれる。
The output of the amplifier 13 is the temperature setting device 14
After being added to the normal temperature setting signal from, the temperature adjusting circuit 15 is supplied with the temperature setting signal. The temperature adjusting circuit 15 is configured to control the current flowing through the laser diode temperature adjusting Peltier element 16 according to the temperature setting signal thus supplied. With the above configuration, when the oscillation wavelength of the laser diode 1 deviates from the target wavelength, the set temperature in the temperature adjustment circuit 15 automatically changes according to the deviated direction. Specifically, a signal that lowers the set temperature when the oscillation wavelength shifts to the long wavelength side and a signal that raises the set temperature when the oscillation wavelength shifts to the short wavelength side are automatically supplied. As a result, the temperature of the laser diode 1 is adjusted by automatically following changes in driving conditions such as changes in the output power of the laser diode 1 and changes in characteristics over time, and the oscillation wavelength is always kept constant. Be drunk

【0013】ここで、2チャンネルフォトダイオード8
の2つのフォトダイオードPD1およびPD2の各受光
面を、分光器(上記例では反射型グレーティング7)の
波長分散方向に充分に長くして、発振波長の目標波長に
対するずれ量の検出範囲を広くしておけば、使用するレ
ーザダイオード1の波長・温度・出力の関係を事前に調
査する必要が全くなくなる。
Here, the 2-channel photodiode 8
The two light-receiving surfaces of the two photodiodes PD1 and PD2 are sufficiently long in the wavelength dispersion direction of the spectroscope (reflection grating 7 in the above example) to widen the detection range of the deviation amount of the oscillation wavelength from the target wavelength. By doing so, there is no need to investigate in advance the relationship between the wavelength, the temperature, and the output of the laser diode 1 used.

【0014】また、多数のレーザダイオードを励起光源
として用いるタイプのLD励起固体レーザに本発明を適
用して、個々のレーザダイオードの波長を本発明の方式
によって合致させるように構成することができる。この
場合には、複数個のレーザダイオードの発振波長の選択
をラフにしても動作時点で自動的に一定の波長に制御さ
れることになり、安定した固体レーザとなり得る。
Further, the present invention can be applied to an LD pumped solid-state laser of the type that uses a large number of laser diodes as a pumping light source, and the wavelengths of the individual laser diodes can be matched by the method of the present invention. In this case, even if the selection of the oscillation wavelengths of the plurality of laser diodes is rough, the wavelengths are automatically controlled to a constant wavelength at the time of operation, and a stable solid-state laser can be obtained.

【0015】[0015]

【発明の効果】 以上説明したように、本発明によれ
ば、固体レーザ励起用のレーザダイオードの出力光の一
部を取り出して分光し、その分光されたレーザダイオー
ド光を2チャンネルフォトダイオードに導くことによ
り、レーザダイオードの発振波長が目標波長に対して長
波長側または短波長側にずれ、あるいは一致しているこ
とを検出し、その検出結果に基づいてレーザダイオード
の温度調整回路の設定温度を自動的に変化させるから、
レーザダイオードの出力パワーの変化をはじめとする駆
動条件が変化しても、あるいは特性が経時的に変化した
としても、それに追随して温度が自動的に変化し、レー
ザダイオードの発振波長は常に一定に保たれる。
As described above, according to the present invention, a part of the output light of the laser diode for solid-state laser excitation is extracted and dispersed, and the dispersed laser diode light is guided to the 2-channel photodiode. By doing so, it is detected that the lasing wavelength of the laser diode is shifted or matched to the long wavelength side or short wavelength side of the target wavelength, and the set temperature of the temperature adjustment circuit of the laser diode is detected based on the detection result. Because it changes automatically,
Even if the driving conditions such as the output power of the laser diode changes, or the characteristics change over time, the temperature automatically changes accordingly and the laser diode oscillation wavelength is always constant. Kept in.

【0016】その結果、固体レーザ出力が安定するばか
りでなく、従来のように励起用レーザダイオードの波長
・出力・温度の関係を事前に調査することなく、また、
微妙に設定温度を調整しなおすことなく、随時に出力パ
ワーを変化させることが可能となった。
As a result, not only is the solid-state laser output stable, but there is no need to previously investigate the relationship between the wavelength, output, and temperature of the pumping laser diode as in the conventional case, and
It is now possible to change the output power at any time without subtly adjusting the set temperature.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明実施例の光学系の構成図FIG. 1 is a configuration diagram of an optical system according to an embodiment of the present invention.

【図2】 本発明実施例の信号処理回路の構成を示すブ
ロック図
FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of a signal processing circuit according to an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・・レーザダイオード 2・・・・コリメートレンズ 3・・・・フォーカシングレンズ 4・・・・Nd:YAG結晶 5・・・・ミラー 6・・・・ビームスプリッタ 7・・・・反射型グレーティング 8・・・・2チャンネルフォトダイオード PD1,PD2・・・・フォトダイオード 11,12,13・・・・アンプ 14・・・・温度設定器 15・・・・温度調節回路 16・・・・レーザダイオード温調用ペルチェ素子 1 ... Laser diode 2 Collimating lens 3 Focusing lens 4 Nd: YAG crystal 5 Mirror 6 Beam splitter 7 Reflective type Grating 8 ・ ・ ・ ・ 2-channel photodiode PD1, PD2 ・ ・ ・ ・ Photodiode 11, 12, 13 ・ ・ ・ ・ Amplifier 14 ・ ・ ・ ・ ・ ・ Temperature setting device 15 ・ ・ ・ ・ ・ ・ Temperature control circuit 16 ・ ・ ・Peltier element for laser diode temperature control

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 レーザダイオードからの出力光により固
体レーザ媒質を励起するレーザにおいて、上記レーザダ
イオードの出力光の一部を取り出して分光する分光器
と、その分光された光を2チャンネルの受光素子に入射
して、上記レーザダイオードの発振波長があらかじめ設
定された波長に対して短い、長い、または一致している
かを検出する検出回路と、その検出結果に基づいて上記
レーザダイオードの温度をフィードバック制御する制御
回路を備えたことを特徴とするLD励起固体レーザ。
1. In a laser for exciting a solid-state laser medium by output light from a laser diode, a spectroscope for extracting a part of the output light of the laser diode and separating it, and a light receiving element of two channels for the separated light. Incident on the laser diode to detect whether the oscillation wavelength of the laser diode is shorter, longer, or coincident with the preset wavelength, and the temperature of the laser diode is feedback controlled based on the detection result. An LD-pumped solid-state laser comprising a control circuit for controlling.
JP25103891A 1991-09-30 1991-09-30 LD pumped solid state laser Pending JPH0590672A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25103891A JPH0590672A (en) 1991-09-30 1991-09-30 LD pumped solid state laser

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25103891A JPH0590672A (en) 1991-09-30 1991-09-30 LD pumped solid state laser

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0590672A true JPH0590672A (en) 1993-04-09

Family

ID=17216694

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP25103891A Pending JPH0590672A (en) 1991-09-30 1991-09-30 LD pumped solid state laser

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0590672A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0926789A3 (en) * 1997-12-24 1999-09-08 Nortel Networks Corporation A laser module allowing simultaneous wavelength and power control
US6567455B1 (en) 1998-11-19 2003-05-20 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor laser-excited solid laser
JP2010541017A (en) * 2007-10-04 2010-12-24 ユニヴァーシティ オブ ワシントン Strain reduction in scanning fiber devices.

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0926789A3 (en) * 1997-12-24 1999-09-08 Nortel Networks Corporation A laser module allowing simultaneous wavelength and power control
US6101200A (en) * 1997-12-24 2000-08-08 Nortel Networks Corporation Laser module allowing simultaneous wavelength and power control
US6567455B1 (en) 1998-11-19 2003-05-20 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor laser-excited solid laser
JP2010541017A (en) * 2007-10-04 2010-12-24 ユニヴァーシティ オブ ワシントン Strain reduction in scanning fiber devices.

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7120176B2 (en) Wavelength reference apparatus and method
US6101200A (en) Laser module allowing simultaneous wavelength and power control
US20030099273A1 (en) Method and apparatus for coupling a surface-emitting laser to an external device
JPS63229888A (en) Laser wavelength control device and method
US7978737B2 (en) Laser device, control device of laser device, method of controlling laser device, method of tuning wavelength of laser device and control data of laser device
JP2000056185A (en) Laser diode module
KR970063848A (en) Photodetector
JP2002009391A (en) Wavelength stabilizing monitor and method for adjusting operating wavelength of said monitor
US8831054B2 (en) Wavelength locking of a laser device
EP0390525B1 (en) An optical pumping-type solid-state laser apparatus with a semiconductor laser device
US6246511B1 (en) Apparatus and method to compensate for optical fiber amplifier gain variation
JPH0590672A (en) LD pumped solid state laser
JP2546151B2 (en) Laser diode emission wavelength controller
US20040022282A1 (en) Arrangement for monitoring the emission wavelength and power of an optical source
US20020054734A1 (en) Wavelength monitor apparatus and wavelength stabilizing light source
JPH0797672B2 (en) Laser optical axis adjustment device
JPH0834328B2 (en) LD emission wavelength controller
JP2000151011A (en) Digital optical signal transmitter
WO2009031769A2 (en) Apparatus and method for stabilizing frequency of laser
JP3697774B2 (en) Laser diode pumped solid state laser
JPH0636454B2 (en) Semiconductor laser wavelength stabilizer
JP2003069142A (en) Wavelength monitor, optical module and optical communication system
JPH08181370A (en) Laser diode excitation solid state laser
JP2858851B2 (en) Method for measuring characteristics of multi-beam semiconductor laser
JPH05136513A (en) Output light stabilizer for semiconductor laser