JPH0583076A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPH0583076A JPH0583076A JP23828291A JP23828291A JPH0583076A JP H0583076 A JPH0583076 A JP H0583076A JP 23828291 A JP23828291 A JP 23828291A JP 23828291 A JP23828291 A JP 23828291A JP H0583076 A JPH0583076 A JP H0583076A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】１ＧＨｚ以上の準マイクロ波帯の信号処理に利
用される弾性表面波装置の伝搬損失を低減する。 【構成】３６°Ｙ−Ｘ ＬｉＴａＯ3基板を用い、電極
および伝搬路を膜厚１００ｎｍのアルミニウム薄膜によ
り構成した多電極型弾性表面波装置における、各入・出
力電極（３、４）間の距離を、該入・出力電極で応答す
る信号の中心周波数における弾性表面波の波長の２５倍
の長さ以下の距離とする。 【効果】準マイクロ波帯の弾性表面波装置の損失を、従
来用いられてきた、より低周波帯の弾性表面波装置と同
程度とすることができる。
用される弾性表面波装置の伝搬損失を低減する。 【構成】３６°Ｙ−Ｘ ＬｉＴａＯ3基板を用い、電極
および伝搬路を膜厚１００ｎｍのアルミニウム薄膜によ
り構成した多電極型弾性表面波装置における、各入・出
力電極（３、４）間の距離を、該入・出力電極で応答す
る信号の中心周波数における弾性表面波の波長の２５倍
の長さ以下の距離とする。 【効果】準マイクロ波帯の弾性表面波装置の損失を、従
来用いられてきた、より低周波帯の弾性表面波装置と同
程度とすることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、３６°Ｙ−Ｘ ＬｉＴ
ａＯ3基板を用いて構成した高周波の弾性表面波装置に
関するものである。
ａＯ3基板を用いて構成した高周波の弾性表面波装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】弾性表面波装置はＬＳＩ等の半導体装置
と同様にフォトリソグラフィ技術により製造できるので
量産性に優れ、ＶＨＦ帯あるいはＵＨＦ帯に好適な信号
処理装置として、テレビジョン受信機の中間周波数フィ
ルタやＶＴＲの共振子として広く用いられている。
と同様にフォトリソグラフィ技術により製造できるので
量産性に優れ、ＶＨＦ帯あるいはＵＨＦ帯に好適な信号
処理装置として、テレビジョン受信機の中間周波数フィ
ルタやＶＴＲの共振子として広く用いられている。
【０００３】また最近では、小型軽量という特徴を活か
し、自動車電話機や携帯電話機の高周波部のフィルタ装
置としても適用されている。このような移動体通信分野
において、現在は信号周波数帯として８００ＭＨｚ帯あ
るいは９００ＭＨｚ帯が主として利用されているが、今
後さらに１ＧＨｚ以上の準マイクロ波帯の利用、たとえ
ば１．５ＧＨｚ帯の利用が予定されている。
し、自動車電話機や携帯電話機の高周波部のフィルタ装
置としても適用されている。このような移動体通信分野
において、現在は信号周波数帯として８００ＭＨｚ帯あ
るいは９００ＭＨｚ帯が主として利用されているが、今
後さらに１ＧＨｚ以上の準マイクロ波帯の利用、たとえ
ば１．５ＧＨｚ帯の利用が予定されている。
【０００４】移動帯通信用の弾性表面波装置は、特性的
に低損失で周波数変動の少ないことが要求される。その
ため、圧電性基板として実用的基板材料の中では比較的
に電気機械結合係数が大きく、温度特性の良好な３６°
Ｙ−Ｘ ＬｉＴａＯ3単結晶基板が主に用いられてい
る。
に低損失で周波数変動の少ないことが要求される。その
ため、圧電性基板として実用的基板材料の中では比較的
に電気機械結合係数が大きく、温度特性の良好な３６°
Ｙ−Ｘ ＬｉＴａＯ3単結晶基板が主に用いられてい
る。
【０００５】また、この３６°Ｙ−Ｘ ＬｉＴａＯ3単
結晶基板は伝搬路が自由表面の場合は減衰の大きなモ−
ドの波が伝搬するため、基板表面を金属薄膜で被覆し、
これにより伝搬する疑似表面波とよばれるモ−ドの波を
利用している。
結晶基板は伝搬路が自由表面の場合は減衰の大きなモ−
ドの波が伝搬するため、基板表面を金属薄膜で被覆し、
これにより伝搬する疑似表面波とよばれるモ−ドの波を
利用している。
【０００６】また、できるだけ損失を少なくするため、
すだれ状電極は多電極型で構成される。多電極型すだれ
状電極は複数の入・出力電極を交互に配置することで、
すだれ状電極で励振された弾性表面波が、該電極の左右
へそれぞれ伝搬することによる損失を改善するものであ
る。なお、通常の入・出力電極一対の構成では６ｄＢの
双方向性損失が生じてしまう。
すだれ状電極は多電極型で構成される。多電極型すだれ
状電極は複数の入・出力電極を交互に配置することで、
すだれ状電極で励振された弾性表面波が、該電極の左右
へそれぞれ伝搬することによる損失を改善するものであ
る。なお、通常の入・出力電極一対の構成では６ｄＢの
双方向性損失が生じてしまう。
【０００７】このような多電極型弾性表面波装置に関す
る技術としては、特公昭５４−３４５１８号公報や特公
昭５４−３５４７８号公報や特公昭５５−３４６０７号
公報や特公昭５８−２６６８８号公報や特開昭５７−１
２９５１２号公報記載の技術が知られている。
る技術としては、特公昭５４−３４５１８号公報や特公
昭５４−３５４７８号公報や特公昭５５−３４６０７号
公報や特公昭５８−２６６８８号公報や特開昭５７−１
２９５１２号公報記載の技術が知られている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、弾性表面波
装置の損失は先に記した双方向性損失の他に、ミスマッ
チ損失、抵抗損失、伝搬損失また回折損失等がある。
装置の損失は先に記した双方向性損失の他に、ミスマッ
チ損失、抵抗損失、伝搬損失また回折損失等がある。
【０００９】また、従来の弾性表面波装置は、さほど高
くない周波数帯で用いられていたことや、圧電正基板と
して１２８°ＬｉＮｂＯ3を用いて伝搬損失のそれほど
大きくないレ−リ−波を利用することができたので、伝
搬損失について特に配慮されていなかった。
くない周波数帯で用いられていたことや、圧電正基板と
して１２８°ＬｉＮｂＯ3を用いて伝搬損失のそれほど
大きくないレ−リ−波を利用することができたので、伝
搬損失について特に配慮されていなかった。
【００１０】しかし、発明者らは、後述するように、準
マイクロ波帯では、前記疑似表面波の伝搬損失はレ−リ
−波に比べ従来知られるより急激に大きくなることを見
出した。
マイクロ波帯では、前記疑似表面波の伝搬損失はレ−リ
−波に比べ従来知られるより急激に大きくなることを見
出した。
【００１１】そこで、本発明は、高周波においても伝搬
損失を適当な値に抑えることができる３６°Ｙ−Ｘ Ｌ
ｉＴａＯ3基板を用いた弾性表面波装置を提供すること
を目的とする。
損失を適当な値に抑えることができる３６°Ｙ−Ｘ Ｌ
ｉＴａＯ3基板を用いた弾性表面波装置を提供すること
を目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】前記目的達成のために、
本発明は、中心周波数が１ＧＨｚ以上の弾性表面波装置
であって、３６°Ｙ−Ｘ ＬｉＴａＯ3圧電単結晶基板
と、当該圧電単結晶基板上に金属薄膜によって形成され
た、入力すだれ状電極と出力すだれ状電極と前記入力す
だれ状電極と出力すだれ状電極間の疑似表面波伝搬路と
を有し、かつ、前記入力すだれ状電極と出力すだれ状電
極の中心間の弾性表面波の伝搬方向に計った距離が、前
記中心周波数における弾性表面波の波長の２５倍程度以
下の長さの距離であることを特徴とする弾性表面波装置
を提供する。
本発明は、中心周波数が１ＧＨｚ以上の弾性表面波装置
であって、３６°Ｙ−Ｘ ＬｉＴａＯ3圧電単結晶基板
と、当該圧電単結晶基板上に金属薄膜によって形成され
た、入力すだれ状電極と出力すだれ状電極と前記入力す
だれ状電極と出力すだれ状電極間の疑似表面波伝搬路と
を有し、かつ、前記入力すだれ状電極と出力すだれ状電
極の中心間の弾性表面波の伝搬方向に計った距離が、前
記中心周波数における弾性表面波の波長の２５倍程度以
下の長さの距離であることを特徴とする弾性表面波装置
を提供する。
【００１３】
【作用】本発明に係る弾性表面波装置によれば、入力す
だれ状電極と出力すだれ状電極の中心間の弾性表面波の
伝搬方向に計った距離を、前記中心周波数のおける弾性
表面波の波長の２５倍程度以下の距離に制限しているた
めに、準マイクロ波帯の弾性表面波装置の損失を、従来
用いられてきた、より低周波帯の弾性表面波装置と同程
度とすることができる。
だれ状電極と出力すだれ状電極の中心間の弾性表面波の
伝搬方向に計った距離を、前記中心周波数のおける弾性
表面波の波長の２５倍程度以下の距離に制限しているた
めに、準マイクロ波帯の弾性表面波装置の損失を、従来
用いられてきた、より低周波帯の弾性表面波装置と同程
度とすることができる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明に係る弾性表面波装置の一実施
例を説明する。
例を説明する。
【００１５】まず、前述した準マイクロ波帯における、
前記疑似表面波の伝搬損失について説明する。
前記疑似表面波の伝搬損失について説明する。
【００１６】伝搬損失の測定には３電極法を用いた。
【００１７】測定に用いた弾性表面波装置のすだれ状電
極のアルミニウム薄膜の膜厚は１００ｎｍとした。これ
は、１００ｎｍ以下であると薄膜の効果により急激に抵
抗損失が大きくなり、逆に、膜厚が厚すぎると電極内部
での表面波の反射が無視出来なくなるからである。
極のアルミニウム薄膜の膜厚は１００ｎｍとした。これ
は、１００ｎｍ以下であると薄膜の効果により急激に抵
抗損失が大きくなり、逆に、膜厚が厚すぎると電極内部
での表面波の反射が無視出来なくなるからである。
【００１８】また先に記したように、３６°Ｙ−Ｘ Ｌ
ｉＴａＯ3基板では疑似表面波を利用するため、表面波
の伝搬路に電極と同じ膜厚のアルミニウム薄膜を形成し
た。電極の開口長は１５０λとし、回折効果による損失
が無視できる程度とした。
ｉＴａＯ3基板では疑似表面波を利用するため、表面波
の伝搬路に電極と同じ膜厚のアルミニウム薄膜を形成し
た。電極の開口長は１５０λとし、回折効果による損失
が無視できる程度とした。
【００１９】図４に、伝搬損失の測定に用いた電極の構
成を示す。
成を示す。
【００２０】図中、中心のすだれ状電極は入力電極であ
り、両側のすだれ状電極は出力電極である。２つの出力
電極までの伝搬距離の差は、入・出力電極で応答する信
号の中心周波数における弾性表面波の波長をλとして、
３００λとした。そして、それぞれの出力信号の損失を
比較し、伝搬距離と伝搬損失の関係を求めた。
り、両側のすだれ状電極は出力電極である。２つの出力
電極までの伝搬距離の差は、入・出力電極で応答する信
号の中心周波数における弾性表面波の波長をλとして、
３００λとした。そして、それぞれの出力信号の損失を
比較し、伝搬距離と伝搬損失の関係を求めた。
【００２１】また、周波数が４２５ＭＨｚ，８５０ＭＨ
ｚまた１．７ＧＨｚの場合について、図４に示す電極を
製作し、それぞれ測定を行った。
ｚまた１．７ＧＨｚの場合について、図４に示す電極を
製作し、それぞれ測定を行った。
【００２２】図５に、伝搬損失の測定結果を示す。この
結果、従来用いられていたレ−リ−波の伝搬損失が周波
数のべき乗に従って大きくなり１ＧＨｚで１×１０~4ｄ
Ｂ／λ程度の伝搬損失であるのに比べ、疑似表面波の伝
搬損失は周波数のべき乗より急な指数関数的な増加を示
し１ＧＨｚで５×１０~3ｄＢ／λと、１ＧＨｚでは２倍
以上の大きな値を示す結果が得られた。
結果、従来用いられていたレ−リ−波の伝搬損失が周波
数のべき乗に従って大きくなり１ＧＨｚで１×１０~4ｄ
Ｂ／λ程度の伝搬損失であるのに比べ、疑似表面波の伝
搬損失は周波数のべき乗より急な指数関数的な増加を示
し１ＧＨｚで５×１０~3ｄＢ／λと、１ＧＨｚでは２倍
以上の大きな値を示す結果が得られた。
【００２３】従来の弾性表面波装置の入・出力電極間の
距離は５０〜６０λ程度であり、この場合、８５０ＭＨ
ｚ帯の弾性表面波装置の伝搬損失は０．２〜０．３ｄＢ
であるが、１．５ＧＨｚ帯の弾性表面波装置では、約
０．５ｄＢの伝搬損失が生じる。従来の低周波帯の多電
極型弾性表面波装置では、全体の損失は３ｄＢ前後であ
るので、この１．５ＧＨｚ帯における伝搬損失は、従来
の弾性表面波装置の１７％にも相当し無視できない値で
ある。
距離は５０〜６０λ程度であり、この場合、８５０ＭＨ
ｚ帯の弾性表面波装置の伝搬損失は０．２〜０．３ｄＢ
であるが、１．５ＧＨｚ帯の弾性表面波装置では、約
０．５ｄＢの伝搬損失が生じる。従来の低周波帯の多電
極型弾性表面波装置では、全体の損失は３ｄＢ前後であ
るので、この１．５ＧＨｚ帯における伝搬損失は、従来
の弾性表面波装置の１７％にも相当し無視できない値で
ある。
【００２４】次に、本発明に係る弾性表面波装置の第１
の実施例について説明する。
の実施例について説明する。
【００２５】図１に、第１実施例に係る弾性表面波装置
の構成を示す。
の構成を示す。
【００２６】同図に示す弾性表面波装置は、１．５ＧＨ
ｚ帯で用いられるの中心周波数が１．４９５ＧＨｚ１段
多電極型弾性表面波装置であり、帯域幅３６ＭＨｚの送
信用フィルタへの適用を想定している。
ｚ帯で用いられるの中心周波数が１．４９５ＧＨｚ１段
多電極型弾性表面波装置であり、帯域幅３６ＭＨｚの送
信用フィルタへの適用を想定している。
【００２７】図中の圧電基板１には３６°Ｙ−Ｘ Ｌｉ
ＴａＯ3基板を用い、入力電極２、出力電極３および接
地電極４は膜厚１００ｎｍのアルミニウム薄膜より形成
した。
ＴａＯ3基板を用い、入力電極２、出力電極３および接
地電極４は膜厚１００ｎｍのアルミニウム薄膜より形成
した。
【００２８】また、各すだれ状電極はソリッド電極で構
成してあり、１組の入力すだれ状電極の対数は３１対、
また出力電極対数は１５対で、中心周波数が１．４９５
ＧＨｚであるので電極幅は約０．７μｍである。実際の
装置では電極を形成した基板をパッケ−ジに納め、端子
と配線を施した後に封止してあるが、同図では説明の明
確化のためパッケ−ジなどは図示を省略した。
成してあり、１組の入力すだれ状電極の対数は３１対、
また出力電極対数は１５対で、中心周波数が１．４９５
ＧＨｚであるので電極幅は約０．７μｍである。実際の
装置では電極を形成した基板をパッケ−ジに納め、端子
と配線を施した後に封止してあるが、同図では説明の明
確化のためパッケ−ジなどは図示を省略した。
【００２９】なお、図１には、総すだれ状電極数が５電
極の場合を示してあるが、電極数をこれと異なる電極数
とする場合でも基本的構成は同じである。
極の場合を示してあるが、電極数をこれと異なる電極数
とする場合でも基本的構成は同じである。
【００３０】次に、図２に、本第１実施例に係る弾性表
面波装置の入・出力電極間の断面を示す。
面波装置の入・出力電極間の断面を示す。
【００３１】図示するように、伝搬路には接地電極４を
兼ねたアルミニウム薄膜が形成してある。ここで、入・
出力電極間距離を、同図に示すように電極の中心間の距
離ｄで定義する。
兼ねたアルミニウム薄膜が形成してある。ここで、入・
出力電極間距離を、同図に示すように電極の中心間の距
離ｄで定義する。
【００３２】通常、設計条件により図１に示す各入・出
力電極間距離ｄ1、ｄ2、ｄ3、ｄ4は、必ずしも同じでは
ないが、設計の簡単のため中心に対して左右対称とし、
たとえば、図１ではｄ1＝ｄ2、ｄ3＝ｄ4として構成する
ことが多い。
力電極間距離ｄ1、ｄ2、ｄ3、ｄ4は、必ずしも同じでは
ないが、設計の簡単のため中心に対して左右対称とし、
たとえば、図１ではｄ1＝ｄ2、ｄ3＝ｄ4として構成する
ことが多い。
【００３３】本第１の実施例では、各出力電極間距離ｄ
1、ｄ2、ｄ3、ｄ4のなかで最も長いものでも、２５λ以
下となるように構成した。すなわち、図１では、ｄ
1（＝ｄ4）＞ｄ2（＝ｄ3）であるので、ｄ1およびｄ4を
２５λ（１２１μｍ）とした。
1、ｄ2、ｄ3、ｄ4のなかで最も長いものでも、２５λ以
下となるように構成した。すなわち、図１では、ｄ
1（＝ｄ4）＞ｄ2（＝ｄ3）であるので、ｄ1およびｄ4を
２５λ（１２１μｍ）とした。
【００３４】このようにして構成した本第１実施例に係
る弾性表面波装置の損失と、入出力電極間距離を５０λ
とした弾性表面波装置の損失を図３に示す。
る弾性表面波装置の損失と、入出力電極間距離を５０λ
とした弾性表面波装置の損失を図３に示す。
【００３５】図３中、Ｉは入出力電極間距離を５０λと
した弾性表面波装置１０個の損失を示し、IIは本第１実
施例に係る弾性表面波装置１０個の損失を示す。白抜き
三角印は損失の平均値を示している。
した弾性表面波装置１０個の損失を示し、IIは本第１実
施例に係る弾性表面波装置１０個の損失を示す。白抜き
三角印は損失の平均値を示している。
【００３６】図示するように、従来の弾性表面波装置の
損失が２．８５ｄＢに対し、本第１実施例に係る弾性表
面波装置の損失は２．６６ｄＢであり、約０．２ｄＢの
損失の改善が図られている。すなわち、１．５ＧＨｚ帯
の弾性表面波装置の伝搬損失を、従来の８５０ＭＨｚ帯
の弾性表面波装置の伝搬損失と同程度にすることができ
た。
損失が２．８５ｄＢに対し、本第１実施例に係る弾性表
面波装置の損失は２．６６ｄＢであり、約０．２ｄＢの
損失の改善が図られている。すなわち、１．５ＧＨｚ帯
の弾性表面波装置の伝搬損失を、従来の８５０ＭＨｚ帯
の弾性表面波装置の伝搬損失と同程度にすることができ
た。
【００３７】以下、本発明に係る弾性表面波装置の第２
の実施例を説明する。
の実施例を説明する。
【００３８】図６に本第２実施例に係る弾性表面波装置
の構成を示す。
の構成を示す。
【００３９】図示するように、本第２実施例は２段多電
極型弾性表面波装置であって、第１段と第２段すだれ状
電極の間に共通電極５を設けてある他は、前記第１実施
例に係る弾性表面波装置と同様に構成し、各出力電極間
距離のなかで最も長いものでも、２５λ以下となるよう
に構成した。
極型弾性表面波装置であって、第１段と第２段すだれ状
電極の間に共通電極５を設けてある他は、前記第１実施
例に係る弾性表面波装置と同様に構成し、各出力電極間
距離のなかで最も長いものでも、２５λ以下となるよう
に構成した。
【００４０】すなわち、本第２実施例は、電極を２段構
成としたことで、帯域外抑圧度の改善を図ったものであ
る。
成としたことで、帯域外抑圧度の改善を図ったものであ
る。
【００４１】なお、本第２の実施例に係る弾性表面波装
置は、前記第１実施例に係る弾性表、円は装置と同様
に、中心周波数１．４４７ＧＨｚ、帯域幅３６ＭＨｚの
受信側フィルタに適用することができる。
置は、前記第１実施例に係る弾性表、円は装置と同様
に、中心周波数１．４４７ＧＨｚ、帯域幅３６ＭＨｚの
受信側フィルタに適用することができる。
【００４２】以下、本発明の第３の実施例として、前記
各実施例に係る弾性表面波装置をフィルタに用いたアン
テナ分波器について説明する。
各実施例に係る弾性表面波装置をフィルタに用いたアン
テナ分波器について説明する。
【００４３】図７は本発明の弾性表面波装置を用いて構
成した、自動車電話機また携帯電話機用のアンテナ分波
器の実施例である。
成した、自動車電話機また携帯電話機用のアンテナ分波
器の実施例である。
【００４４】弾性表面波装置６は受信側のフィルタとし
て、また弾性表面波装置７は送信側のフィルタとして動
作する。各装置はマイクロストリップ線路８を介してア
ンテナ９と接続している。アンテナ分波器を構成する弾
性表面波装置は、それぞれの通過帯域では十分に低損失
であるように、また阻止帯域では逆に十分な抑圧度を有
するように構成される。
て、また弾性表面波装置７は送信側のフィルタとして動
作する。各装置はマイクロストリップ線路８を介してア
ンテナ９と接続している。アンテナ分波器を構成する弾
性表面波装置は、それぞれの通過帯域では十分に低損失
であるように、また阻止帯域では逆に十分な抑圧度を有
するように構成される。
【００４５】受信信号はアンテナよりマイクロストリッ
プ線路を経由し、弾性表面波装置６を通って端子１０よ
り受信系へ伝達される。また、送信信号は送信系の端子
１１より弾性表面波装置７を通って、マイクロストリッ
プ線路を経由しアンテナへ導かれる。
プ線路を経由し、弾性表面波装置６を通って端子１０よ
り受信系へ伝達される。また、送信信号は送信系の端子
１１より弾性表面波装置７を通って、マイクロストリッ
プ線路を経由しアンテナへ導かれる。
【００４６】このように前記各実施例に係る弾性表面波
装置をフィルタとして用いることにより、損失の少ない
小形軽量の分波器を得ることができる。
装置をフィルタとして用いることにより、損失の少ない
小形軽量の分波器を得ることができる。
【００４７】なお、本実施例では高周波フィルタについ
て示したが、本発明の弾性表面波装置は、これに限るも
のではなく、本実施例に係る弾性表面波装置は、発振器
や、相関器や、ＲＦフィルタ等についても適用すること
ができる
て示したが、本発明の弾性表面波装置は、これに限るも
のではなく、本実施例に係る弾性表面波装置は、発振器
や、相関器や、ＲＦフィルタ等についても適用すること
ができる
【００４８】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、高周波においても伝搬損失を適当な値に押さえるこ
とができる３６°Ｙ−Ｘ ＬｉＴａＯ3基板を用いた弾
性表面波装置を提供することができる。
ば、高周波においても伝搬損失を適当な値に押さえるこ
とができる３６°Ｙ−Ｘ ＬｉＴａＯ3基板を用いた弾
性表面波装置を提供することができる。
【図１】本発明の第１の実施例に係る弾性表面波装置の
構成を示す説明図である。
構成を示す説明図である。
【図２】本発明第１実施例に係る弾性表面波装置の一部
断面を示す断面図である。
断面を示す断面図である。
【図３】本発明の第１実施例に係る弾性表面波装置の損
失を示す特性図である。
失を示す特性図である。
【図４】伝搬損失の測定に用いた、すだれ状電極の構成
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図５】３６°Ｙ−Ｘ ＬｉＴａＯ3基板にアルミニウ
ム薄膜を１００ｎｍ形成した弾性表面波装置の伝搬損失
の周波数依存性を示す特性図である。
ム薄膜を１００ｎｍ形成した弾性表面波装置の伝搬損失
の周波数依存性を示す特性図である。
【図６】本発明の第２の実施例に係る弾性表面波装置の
構成を示す説明図である。
構成を示す説明図である。
【図７】本発明の第３実施例に係るアンテナ分波器の構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
１ 圧電基板 ２ 入力電極 ３ 出力電極 ４ 接地電極 ５ 共通電極、 ６、７ 弾性表面波装置 ８ マイクロストリップ線路 ９ アンテナ １０ 受信側端子 １１ 送信側端子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渡辺 一志 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所映像メデイア研究所内
Claims (4)
- 【請求項１】中心周波数が１ＧＨｚ以上の弾性表面波装
置であって、 ３６°Ｙ−Ｘ ＬｉＴａＯ3圧電単結晶基板と、当該圧
電単結晶基板上に金属薄膜によって形成された、入力す
だれ状電極と出力すだれ状電極と前記入力すだれ状電極
と出力すだれ状電極間の疑似表面波伝搬路とを有し、か
つ、前記入力すだれ状電極と出力すだれ状電極の中心間
の弾性表面波の伝搬方向に計った距離が、前記中心周波
数における弾性表面波の波長の２５倍程度以下の長さの
距離であることを特徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項２】中心周波数が１ＧＨｚ以上である多電極型
すだれ状電極を有する３６°Ｙ−ＸＬｉＴａＯ3圧電単
結晶基板を用いた弾性表面波装置であって、 前記多電極型すだれ状電極を構成する各入力すだれ状電
極と各出力すだれ状電極は、前記３６°Ｙ−Ｘ ＬｉＴ
ａＯ3圧電単結晶基板上に金属薄膜によって、入力すだ
れ状電極と当該入力すだれ状電極の送波した弾性表面波
を受波する出力すだれ状電極の中心間の弾性表面波の伝
搬方向に計った各距離が、前記中心周波数のおける弾性
表面波の波長の２５倍程度以下の長さの距離となるよう
に形成されており、かつ、入力すだれ状電極と当該入力
すだれ状電極の送波した弾性表面波を受波する出力すだ
れ状電極との間に、金属薄膜によって形成された疑似表
面波伝搬路を有することを特徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項３】請求項１または２記載の弾性表面波装置で
あって、 前記金属薄膜の厚みは１００ｎｍ以上であることを特徴
とする弾性表面波装置。 - 【請求項４】受信フィルタもしくは送信フィルタとし
て、請求項１、２または３記載の弾性表面波装置を備え
たことを特徴とするアンテナ分波器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23828291A JPH0583076A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23828291A JPH0583076A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0583076A true JPH0583076A (ja) | 1993-04-02 |
Family
ID=17027875
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23828291A Pending JPH0583076A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0583076A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015115866A (ja) * | 2013-12-13 | 2015-06-22 | Tdk株式会社 | 分波器 |
-
1991
- 1991-09-18 JP JP23828291A patent/JPH0583076A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015115866A (ja) * | 2013-12-13 | 2015-06-22 | Tdk株式会社 | 分波器 |
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