JPH0581662A - 垂直磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
垂直磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPH0581662A JPH0581662A JP23847091A JP23847091A JPH0581662A JP H0581662 A JPH0581662 A JP H0581662A JP 23847091 A JP23847091 A JP 23847091A JP 23847091 A JP23847091 A JP 23847091A JP H0581662 A JPH0581662 A JP H0581662A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は磁気ディスク装置に用いる二層膜を
有する垂直磁気記録媒体の製造方法に関し、非磁性基板
上に一層目の軟磁性膜を電解めっき法により成膜する際
のハンドリングを低減して、その成膜工程の高能率化を
図り、もって小型で磁気特性の揃った多数枚の垂直磁気
記録媒体を効率良く得るようにすることを目的とする。 【構成】 形成すべき記録媒体の大きさの複数倍の面積
を有する非磁性基板31面に軟磁性膜32を形成した後、そ
の非磁性基板31を所定円板形状の媒体単位に切断分離し
て複数枚の媒体基板33を形成する工程と、その分離した
各媒体基板33の軟磁性膜32に垂直記録膜を被着形成する
工程を行って複数枚の二層膜構造の垂直磁気記録媒体を
形成するように構成する。
有する垂直磁気記録媒体の製造方法に関し、非磁性基板
上に一層目の軟磁性膜を電解めっき法により成膜する際
のハンドリングを低減して、その成膜工程の高能率化を
図り、もって小型で磁気特性の揃った多数枚の垂直磁気
記録媒体を効率良く得るようにすることを目的とする。 【構成】 形成すべき記録媒体の大きさの複数倍の面積
を有する非磁性基板31面に軟磁性膜32を形成した後、そ
の非磁性基板31を所定円板形状の媒体単位に切断分離し
て複数枚の媒体基板33を形成する工程と、その分離した
各媒体基板33の軟磁性膜32に垂直記録膜を被着形成する
工程を行って複数枚の二層膜構造の垂直磁気記録媒体を
形成するように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置等に用
いる垂直磁気記録媒体の製造方法に係り、特に小型な垂
直磁気記録媒体を効率良く形成する製造方法に関するも
のである。
いる垂直磁気記録媒体の製造方法に係り、特に小型な垂
直磁気記録媒体を効率良く形成する製造方法に関するも
のである。
【０００２】近年、コンピュータシステムにおける情報
処理量の増大により、その外部記憶装置として用いられ
ている磁気ディスク装置への情報記録も増加し、小型
化、大容量化が進められ、高密度記録化が要求されてい
る。
処理量の増大により、その外部記憶装置として用いられ
ている磁気ディスク装置への情報記録も増加し、小型
化、大容量化が進められ、高密度記録化が要求されてい
る。
【０００３】そのため、従来より用いられている水平磁
気記録方式の媒体よりも遙に高密度記録が可能な垂直磁
気記録方式の媒体として、二層膜構造の垂直磁気記録媒
体が提案され、実用化されつつある。
気記録方式の媒体よりも遙に高密度記録が可能な垂直磁
気記録方式の媒体として、二層膜構造の垂直磁気記録媒
体が提案され、実用化されつつある。
【０００４】そのような垂直磁気記録媒体では、記録再
生特性の向上と小型化に伴ってその製造工程の高効率化
が要望されている。
生特性の向上と小型化に伴ってその製造工程の高効率化
が要望されている。
【０００５】
【従来の技術】従来の垂直磁気記録媒体は、図４の概略
構成図に示すように、表面にNiＰめっき処理を施したア
ルミニウム円板からなる非磁性基板12上に電解めっき
法、或いはスパッタリング法等により、例えば１μｍの
膜厚の Ni-Fe合金膜からなる高透磁率な軟磁性膜13と、
0.15μｍの膜厚の Co-Cr等からなる垂直記録膜14を積層
形成した二層膜構造からなっている。
構成図に示すように、表面にNiＰめっき処理を施したア
ルミニウム円板からなる非磁性基板12上に電解めっき
法、或いはスパッタリング法等により、例えば１μｍの
膜厚の Ni-Fe合金膜からなる高透磁率な軟磁性膜13と、
0.15μｍの膜厚の Co-Cr等からなる垂直記録膜14を積層
形成した二層膜構造からなっている。
【０００６】そして、かかる二層膜構造からなる垂直磁
気記録媒体11は、図示のように一部を磁束リターンヨー
ク22として兼ねるフェライトスライダの気流流出端面上
の非磁性絶縁材23が埋設された領域に、層間絶縁膜で被
包されたコイル24及び主磁極25が積層状に形成された単
磁極型の磁気ヘッド21と組み合わせることによって、情
報の高密度な記録・再生に好適であることが周知であ
る。
気記録媒体11は、図示のように一部を磁束リターンヨー
ク22として兼ねるフェライトスライダの気流流出端面上
の非磁性絶縁材23が埋設された領域に、層間絶縁膜で被
包されたコイル24及び主磁極25が積層状に形成された単
磁極型の磁気ヘッド21と組み合わせることによって、情
報の高密度な記録・再生に好適であることが周知であ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近来、磁気
ディスク装置においては大容量で、かつ小型化が強く要
求され、それに伴って当該装置に用いられる垂直磁気記
録媒体の小型化が進められている。
ディスク装置においては大容量で、かつ小型化が強く要
求され、それに伴って当該装置に用いられる垂直磁気記
録媒体の小型化が進められている。
【０００８】そのような状況において、小型な二層膜構
造からなる垂直磁気記録媒体を大量生産化する場合、例
えば多数枚の前記非磁性基板上に前記高透磁率な軟磁性
膜を電解めっき法により成膜する際に、その各非磁性基
板のめっき前処理と、前処理後の各非磁性基板をめっき
用電源の一方の電極に一枚ずつ導通を取るための電気的
接続を行ってめっき液中に吊り下げたり、また、めっき
後の各非磁性基板の電気的接続を取り外す作業等を手作
業によってそれぞれ行う必要があり、これらの手作業
（ハンドリング）に手間がかかり、煩雑となるといった
厄介な問題があった。
造からなる垂直磁気記録媒体を大量生産化する場合、例
えば多数枚の前記非磁性基板上に前記高透磁率な軟磁性
膜を電解めっき法により成膜する際に、その各非磁性基
板のめっき前処理と、前処理後の各非磁性基板をめっき
用電源の一方の電極に一枚ずつ導通を取るための電気的
接続を行ってめっき液中に吊り下げたり、また、めっき
後の各非磁性基板の電気的接続を取り外す作業等を手作
業によってそれぞれ行う必要があり、これらの手作業
（ハンドリング）に手間がかかり、煩雑となるといった
厄介な問題があった。
【０００９】本発明は上記した従来の問題点に鑑み、非
磁性基板上に高透磁率な軟磁性膜を電解めっき法により
成膜する際のハンドリングを大幅に低減して、その成膜
工程の高能率化を図り、もって小型で磁気特性の揃った
多数枚の垂直磁気記録媒体を効率良く得るようにした新
規な垂直磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的
とするものである。
磁性基板上に高透磁率な軟磁性膜を電解めっき法により
成膜する際のハンドリングを大幅に低減して、その成膜
工程の高能率化を図り、もって小型で磁気特性の揃った
多数枚の垂直磁気記録媒体を効率良く得るようにした新
規な垂直磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的
とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成するため、形成すべき記録媒体の大きさの複数倍の
面積を有する非磁性基板面に軟磁性膜を形成した後、そ
の非磁性基板を所定円板形状の媒体単位に切断分離して
複数枚の媒体基板を形成する工程と、分離した各媒体基
板の軟磁性膜上に垂直記録膜を被着形成する工程とを行
って複数枚の二層膜構造の磁気記録媒体を形成する構成
とする。
達成するため、形成すべき記録媒体の大きさの複数倍の
面積を有する非磁性基板面に軟磁性膜を形成した後、そ
の非磁性基板を所定円板形状の媒体単位に切断分離して
複数枚の媒体基板を形成する工程と、分離した各媒体基
板の軟磁性膜上に垂直記録膜を被着形成する工程とを行
って複数枚の二層膜構造の磁気記録媒体を形成する構成
とする。
【００１１】また、前記非磁性基板面に軟磁性膜を形成
するに先立って該非磁性基板面の各媒体単位の切断分離
予定領域を、あらかじめ多数の同心円状に凹凸筋を有す
る粗面に加工するように構成する。
するに先立って該非磁性基板面の各媒体単位の切断分離
予定領域を、あらかじめ多数の同心円状に凹凸筋を有す
る粗面に加工するように構成する。
【００１２】
【作用】本発明では、小型なディスク（記録媒体）の大
きさの複数倍の面積を有する非磁性基板面の各媒体単位
の切断分離予定領域を、多数の同心円状の凹凸筋を有す
る粗面に加工し、その非磁性基板の全面に電解めっき法
などにより軟磁性膜を成膜した後、該軟磁性膜が成膜さ
れた非磁性基板を前記粗面加工した多数の同心円状の凹
凸筋と同心円の円板形状の媒体単位に切断分離（打ち抜
く）することにより、前記同心円状の凹凸筋に沿って磁
気異方性を有する初透磁率の高い軟磁性膜が成膜された
複数枚の媒体基板が形成されるので、これらの工程での
手作業の煩雑さが解消し、ハンドリングタイムが低減さ
れる。
きさの複数倍の面積を有する非磁性基板面の各媒体単位
の切断分離予定領域を、多数の同心円状の凹凸筋を有す
る粗面に加工し、その非磁性基板の全面に電解めっき法
などにより軟磁性膜を成膜した後、該軟磁性膜が成膜さ
れた非磁性基板を前記粗面加工した多数の同心円状の凹
凸筋と同心円の円板形状の媒体単位に切断分離（打ち抜
く）することにより、前記同心円状の凹凸筋に沿って磁
気異方性を有する初透磁率の高い軟磁性膜が成膜された
複数枚の媒体基板が形成されるので、これらの工程での
手作業の煩雑さが解消し、ハンドリングタイムが低減さ
れる。
【００１３】そして前記切断分離（打ち抜く）した複数
枚の媒体基板の表面に連続スパッタリング法により垂直
記録膜を成膜することで、優れた磁気特性を有する小型
な複数枚の垂直磁気記録媒体を効率良く得ることができ
る。
枚の媒体基板の表面に連続スパッタリング法により垂直
記録膜を成膜することで、優れた磁気特性を有する小型
な複数枚の垂直磁気記録媒体を効率良く得ることができ
る。
【００１４】
【実施例】以下図面を用いて本発明の実施例について詳
細に説明する。図１(a),(b) 〜図２(a),(b) は本発明に
係る垂直磁気記録媒体の製造方法の第１実施例を説明す
るための図であり、各図(a) は斜視部、各図(b) は側断
面図である。
細に説明する。図１(a),(b) 〜図２(a),(b) は本発明に
係る垂直磁気記録媒体の製造方法の第１実施例を説明す
るための図であり、各図(a) は斜視部、各図(b) は側断
面図である。
【００１５】先ず、図１(a) に示すように複数枚のディ
スク円板Ａを切り出すことができる、例えば 500mm×50
0mm の大面積を有するアルミニウム板の表面にNiＰめっ
き処理を施してなる非磁性基板31を用意し、かかる非磁
性基板31を図１(b) に示すようにめっき槽41内に満たさ
れた硫酸ニッケル(NiSO4・6H2O) と硫酸第一鉄(FeSO4・
7H2O) とを主成分とするめっき液42中にめっき用電極板
43と対向して配設すると共に、めっき用電源44の一方の
電極と電気的に接続する。
スク円板Ａを切り出すことができる、例えば 500mm×50
0mm の大面積を有するアルミニウム板の表面にNiＰめっ
き処理を施してなる非磁性基板31を用意し、かかる非磁
性基板31を図１(b) に示すようにめっき槽41内に満たさ
れた硫酸ニッケル(NiSO4・6H2O) と硫酸第一鉄(FeSO4・
7H2O) とを主成分とするめっき液42中にめっき用電極板
43と対向して配設すると共に、めっき用電源44の一方の
電極と電気的に接続する。
【００１６】そして前記めっき用電極板43と非磁性基板
31間に４〜５Ｖの電圧を印加し、６Ａ／ｄｍ2 の電流密
度のめっき条件でめっきを行い図２(a) に示すように該
非磁性基板31面に１μｍの膜厚の Ni-Fe合金膜からなる
軟磁性膜32を成膜する。
31間に４〜５Ｖの電圧を印加し、６Ａ／ｄｍ2 の電流密
度のめっき条件でめっきを行い図２(a) に示すように該
非磁性基板31面に１μｍの膜厚の Ni-Fe合金膜からなる
軟磁性膜32を成膜する。
【００１７】次に、そのめっき後の非磁性基板31は洗浄
処理後、図示のように所定のディスク媒体サイズに機械
的に打ち抜いて、例えば外径が95mmの所謂、 3.5インチ
タイプの25枚の媒体基板33を形成することにより、めっ
き工程でのハンドリングの煩雑及びハンドリングタイム
が低減される。
処理後、図示のように所定のディスク媒体サイズに機械
的に打ち抜いて、例えば外径が95mmの所謂、 3.5インチ
タイプの25枚の媒体基板33を形成することにより、めっ
き工程でのハンドリングの煩雑及びハンドリングタイム
が低減される。
【００１８】ここで、打ち抜かれた各媒体基板33は、必
要に応じてその打ち抜き周縁部分等を機械的に研磨仕上
げする。その後、前記した各媒体基板33を図２(b) に示
すように、例えば２つの Co-Crターゲット46が対向配置
された連続スパッタ装置45内に順次送り込んでスパッタ
リング法によりその各媒体基板33面に、0.15μｍの膜厚
の Co-Cr膜からなる垂直記録膜を成膜し、その膜面に潤
滑保護処理を施すことにより、複数枚の小型な垂直磁気
記録媒体、即ち、複数枚の 3.5インチの垂直磁気ディス
クを効率良く得ることができる。
要に応じてその打ち抜き周縁部分等を機械的に研磨仕上
げする。その後、前記した各媒体基板33を図２(b) に示
すように、例えば２つの Co-Crターゲット46が対向配置
された連続スパッタ装置45内に順次送り込んでスパッタ
リング法によりその各媒体基板33面に、0.15μｍの膜厚
の Co-Cr膜からなる垂直記録膜を成膜し、その膜面に潤
滑保護処理を施すことにより、複数枚の小型な垂直磁気
記録媒体、即ち、複数枚の 3.5インチの垂直磁気ディス
クを効率良く得ることができる。
【００１９】図３(a),(b) は本発明に係る垂直磁気記録
媒体の製造方法の第２実施例を説明するための斜視図で
あり、図１(a) 及び図２(b) と同等部分には同一符号を
付している。
媒体の製造方法の第２実施例を説明するための斜視図で
あり、図１(a) 及び図２(b) と同等部分には同一符号を
付している。
【００２０】この第２実施例では、図３(a) に示すよう
に第１実施例で説明した大面積の非磁性基板と同様の非
磁性基板31の表面における各媒体単位に切断分離（打ち
抜く）する複数の予定領域を、あらかじめ多数の同心円
状の凹凸筋31a を有する粗面に加工する。
に第１実施例で説明した大面積の非磁性基板と同様の非
磁性基板31の表面における各媒体単位に切断分離（打ち
抜く）する複数の予定領域を、あらかじめ多数の同心円
状の凹凸筋31a を有する粗面に加工する。
【００２１】この粗面加工は、前記非磁性基板31の表面
における各媒体単位に切断分離（打ち抜く）する複数の
予定領域に、例えば加工液を供給しながら回転する研磨
板47を押し当てて加工することにより、多数の同心円状
の凹凸筋31a を有する粗面を形成することができる。
における各媒体単位に切断分離（打ち抜く）する複数の
予定領域に、例えば加工液を供給しながら回転する研磨
板47を押し当てて加工することにより、多数の同心円状
の凹凸筋31a を有する粗面を形成することができる。
【００２２】次に、粗面に加工した非磁性基板31の表面
に、第１実施例と同様な電解めっき法によって図３(b)
に示すように１μｍの膜厚の Ni-Fe合金膜からなる軟磁
性膜51を成膜した後、該軟磁性膜51が成膜された非磁性
基板31を前記図３(a) に示す粗面加工した同心円状の凹
凸筋31a と同心円となるように所定のディスク媒体サイ
ズに切断分離 (機械的に打ち抜く) することにより、前
記同心円状の凹凸筋31a に沿って磁気異方性を有する初
透磁率の高い軟磁性膜51が成膜された、例えば3.5イン
チタイプの25枚の媒体基板52を形成することができる。
に、第１実施例と同様な電解めっき法によって図３(b)
に示すように１μｍの膜厚の Ni-Fe合金膜からなる軟磁
性膜51を成膜した後、該軟磁性膜51が成膜された非磁性
基板31を前記図３(a) に示す粗面加工した同心円状の凹
凸筋31a と同心円となるように所定のディスク媒体サイ
ズに切断分離 (機械的に打ち抜く) することにより、前
記同心円状の凹凸筋31a に沿って磁気異方性を有する初
透磁率の高い軟磁性膜51が成膜された、例えば3.5イン
チタイプの25枚の媒体基板52を形成することができる。
【００２３】その後、前記した各媒体基板52を第１実施
例〔図２(b) 〕と同様に、２つのCo-Cr ターゲット46が
対向配置された連続スパッタ装置45内に順次送り込んで
スパッタリング法によりその各媒体基板52面に、0.15μ
ｍの膜厚の Co-Cr膜からなる垂直記録膜を成膜し、その
膜面に潤滑保護処理を施すことにより、書込み効率が高
く、磁気特性の揃った複数枚の 3.5インチの小型垂直磁
気ディスクを効率良く得ることができる。
例〔図２(b) 〕と同様に、２つのCo-Cr ターゲット46が
対向配置された連続スパッタ装置45内に順次送り込んで
スパッタリング法によりその各媒体基板52面に、0.15μ
ｍの膜厚の Co-Cr膜からなる垂直記録膜を成膜し、その
膜面に潤滑保護処理を施すことにより、書込み効率が高
く、磁気特性の揃った複数枚の 3.5インチの小型垂直磁
気ディスクを効率良く得ることができる。
【００２４】なお、以上の実施例では Ni-Fe合金膜から
なる軟磁性膜の成膜方法として、電解めっき法を用いた
場合の例について説明したが、本発明はそのような例に
限定されるものではなく、例えばスパッタリング法を用
いた場合にも同様な効果が得られる。
なる軟磁性膜の成膜方法として、電解めっき法を用いた
場合の例について説明したが、本発明はそのような例に
限定されるものではなく、例えばスパッタリング法を用
いた場合にも同様な効果が得られる。
【００２５】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る垂直磁気記録媒体の製造方法によれば、複数枚の
ディスク円板が切り出せる大面積の非磁性基板面に電解
めっき法、或いはスパッタリング法等により Ni-Fe合金
膜からなる軟磁性膜を成膜することにより、その成膜工
程でのハンドリングの煩雑さが解消し、ハンドリングタ
イムが低減される。
に係る垂直磁気記録媒体の製造方法によれば、複数枚の
ディスク円板が切り出せる大面積の非磁性基板面に電解
めっき法、或いはスパッタリング法等により Ni-Fe合金
膜からなる軟磁性膜を成膜することにより、その成膜工
程でのハンドリングの煩雑さが解消し、ハンドリングタ
イムが低減される。
【００２６】また、前記大面積の非磁性基板面の各媒体
単位に切断分離（打ち抜く）する複数の予定領域を、あ
らかじめ多数の同心円状の凹凸筋を有する粗面に加工
し、その非磁性基板面に電解めっき法、或いはスパッタ
リング法等により Ni-Fe合金膜からなる軟磁性膜を成膜
することにより、その成膜工程でのハンドリングの煩雑
さの解消と、初透磁率の高い軟磁性膜が得られる。
単位に切断分離（打ち抜く）する複数の予定領域を、あ
らかじめ多数の同心円状の凹凸筋を有する粗面に加工
し、その非磁性基板面に電解めっき法、或いはスパッタ
リング法等により Ni-Fe合金膜からなる軟磁性膜を成膜
することにより、その成膜工程でのハンドリングの煩雑
さの解消と、初透磁率の高い軟磁性膜が得られる。
【００２７】更に、前記軟磁性膜が成膜された非磁性基
板を所定のディスク媒体サイズに切断分離した複数枚の
媒体基板の表面に、Co-Cr 膜からなる垂直記録膜を成膜
し、その膜面に潤滑保護処理を施すことにより、書込み
効率が高く、磁気特性の揃った複数枚の小型な垂直磁気
ディスクを効率良く得ることができる等、実用上優れた
効果を奏する。
板を所定のディスク媒体サイズに切断分離した複数枚の
媒体基板の表面に、Co-Cr 膜からなる垂直記録膜を成膜
し、その膜面に潤滑保護処理を施すことにより、書込み
効率が高く、磁気特性の揃った複数枚の小型な垂直磁気
ディスクを効率良く得ることができる等、実用上優れた
効果を奏する。
【図１】 本発明に係る垂直磁気記録媒体の製造方法の
第１実施例における軟磁性膜の成膜工程を説明するため
の図である。
第１実施例における軟磁性膜の成膜工程を説明するため
の図である。
【図２】 本発明に係る垂直磁気記録媒体の製造方法の
第１実施例における媒体基板の形成工程と垂直記録膜の
成膜工程を説明するための図である。
第１実施例における媒体基板の形成工程と垂直記録膜の
成膜工程を説明するための図である。
【図３】 本発明に係る垂直磁気記録媒体の製造方法の
第２実施例を説明するための図である。
第２実施例を説明するための図である。
【図４】 従来の垂直磁気記録媒体の製造方法を説明す
るための概略構成図である。
るための概略構成図である。
３１ 非磁性基板 ３１ａ 同心円状の凹凸筋 ３２，５１ 軟磁性膜 ３３，５２ 媒体基板 ４１ めっき槽 ４２ めっき液 ４３ めっき用電極板 ４４ めっき用電源 ４５ 連続スパッタ装置 ４６ Co-Cr ターゲット ４７ 研磨板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 関 一幸 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 形成すべき記録媒体の大きさの複数倍の
面積を有する非磁性基板(31)面に軟磁性膜(32)を形成し
た後、その非磁性基板(31)を所定円板形状の媒体単位に
切断分離して複数枚の媒体基板(33)を形成する工程と、 分離した各媒体基板(33)の軟磁性膜(32)上に垂直記録膜
を被着形成する工程とを含んで成ることを特徴とする垂
直磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項２】 前記非磁性基板(31)面に軟磁性膜(51)を
形成するに先立って該非磁性基板(31)面の各媒体単位の
切断分離予定領域を、あらかじめ多数の同心円状の凹凸
筋(31a) を有する粗面に加工することを特徴とする請求
項１の垂直磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23847091A JPH0581662A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23847091A JPH0581662A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0581662A true JPH0581662A (ja) | 1993-04-02 |
Family
ID=17030716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23847091A Withdrawn JPH0581662A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0581662A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06111303A (ja) * | 1992-08-12 | 1994-04-22 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 複数の磁気記憶ディスクを形成する方法および複数の磁気記憶ディスクを形成するためのブランク |
| US6058335A (en) * | 1996-10-30 | 2000-05-02 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Automated technique for manufacturing hard disk drive |
-
1991
- 1991-09-19 JP JP23847091A patent/JPH0581662A/ja not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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