JPH054483U

JPH054483U - リング搬送装置

Info

Publication number: JPH054483U
Application number: JP5846691U
Authority: JP
Inventors: 政美斎藤
Original assignee: 関西日本電気株式会社
Priority date: 1991-06-28
Filing date: 1991-06-28
Publication date: 1993-01-22

Abstract

(57)【要約】【目的】外径の異なるリングであってもアームのリング
吸着パッドで吸着して搬送することのできるリング搬送
装置を提供する。【構成】円盤状の支持本体１の四方周縁にアーム２がそ
れぞれ固定手段３を介して回動自在に取着されており、
各アーム２の先端にはそれぞれリング吸着パッド４が設
けられている。固定手段３としては、例えば、支持本体
１の各挿通孔１１に挿通される螺子を切った支軸３１と
螺合されたナット３２及び先端のつまみ３３より構成さ
れており、支軸３１に螺合されたナット３２は支持本体
１上に位置され、支軸３１の下端とアーム２の一端とが
固着されている。つまみ３３の昇降によりアーム２は上
下し、また、回すことによりアーム２が回動自在とな
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、リングの外径が異なっても搬送することのできるリング搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

半導体製造工程中では、半導体ウェーハをシートに張り付けてダイシングしてからアルミニウム製リングをこのシートに搬送し、このリングを用いてシートを引き伸ばしてダイシングされた各半導体ペレットの間隔を広げるといった工程がある。このとき使用されるリングを前記シートまで搬送するためのリング搬送装置としては、例えば、図５に示すように、十字状に配置された四本のアーム１００のそれぞれの先端に吸着パット１０１を設けてリング１０２の周縁を吸着するするものがある。

【０００３】この場合、ダイシングされた半導体ウェーハの間隔を広げるために搬送されるリングは、半導体ウェーハのサイズが代わるとこれに対応して外径の異なるリングと交換されている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

そのため、半導体ウェーハのサイズが変更され、それに対応して外径の異なるリングを搬送する場合、図４に示すリング搬送装置では、アーム１００の長さが一定しているため、アームの長さが搬送したいリングの外径と合致するリング搬送装置と交換してから各吸着パットでリングの周縁を吸着して搬送していた。そのため、半導体ウェーハのサイズ変更が頻繁であると、それに伴うリング搬送装置自体の交換が頻繁となって面倒であり、また、半導体ウェーハのサイズを考慮して各種の外径のリングを吸着できるリング搬送装置を準備しなければならないといった問題があった。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決するために、本考案のリング搬送装置は、支持本体の周縁に、先端にリング吸着パットを設けたアームをそれぞれ固定手段を介して回動自在に設けたことを特徴とする。

【０００６】

【作用】

上記構成のリング搬送装置では、支持体の周縁に設けられたアームがそれぞれ固定手段を介して回動自在に設けられているため、それぞれのアームを支持本体に対して回動させると、支持本体中心から各アーム先端のリング吸着パットまでの距離が漸次変化するようになる。これにより、各アーム先端のリング吸着パットまでの距離で構成される円の直径を変化させることができ、搬送したいリングの外径に合わせて各アームを回動固定させることができるようになる。従って、リングの外径が変更されても簡単に各アームの角度を調整してアーム先端のリング吸着パットにリングを吸着させて搬送できる。

【０００７】

【実施例】

以下、図面を参照して本考案の一実施例を説明する。

【０００８】図１は本考案の一実施例に係るリング搬送装置の概略平面図であり、図２及び図３は何れも図１のＡ−Ａ線に沿った概略断面図である。図に示すリング搬送装置は、例えば、円盤状の支持本体１の四方周縁にアーム２がそれぞれ固定手段３を介して回動自在に取着されたもので、各アーム２の先端にはそれぞれリング吸着パッド４が設けられている。

【０００９】支持本体１は合成樹脂又は軽金属製であり、直交状態で配置される四方周縁にはそれぞれ後述する固定手段３の支軸３１の挿通孔１１が穿孔されており、また、裏面側には挿通孔１１を中心として同心円状にアーム２の位置決め凹部１２がそれぞれ４５度の角度間隔をもって３ヶ所に凹設されている。

【００１０】アーム２は合成樹脂又は軽金属製の長尺材であり、図２に示すように、固定手段３の支軸３１に一端側が連結固定され、該支軸３１の近傍に上記支持本体１の裏面に凹設された位置決め凹部１２に嵌合される突起２１が突設されている。一方、アーム先端側の下方にはリング吸着パッド４が取着されており、図示していない外部の真空吸着手段等に接続され、リング５の上面側を真空吸着できるようになっている。

【００１１】上記固定手段３は、支持本体１の各挿通孔１１に挿通される螺子を切った支軸３１と螺合されたナット３２及び先端のつまみ３３より構成されている。支軸３１に螺合されたナット３２は支持本体１上に位置されており、支軸３１の下端とアーム２の一端とが固着されて、つまみ３３の昇降によりアーム２は上下し、また、回すことによりアーム２が回動自在となっている。

【００１２】この固定手段３によるアーム２の固定は、図２に示すように、ナット３２を回転させることにより支軸３１を下降させてアーム２を若干下げてから、支持本体１の裏面にに凹設された位置決め凹部１２にアーム２の突起２１を位置決めし、ナット３２を回転させることによりつまみ３３を上昇させる。つまみ３３を上昇させると、図３に示すように、アーム２の突起２１が対応する所望の位置決め凹部１２に嵌合されてアーム２が所定の角度をもって固定される。

【００１３】この固定手段３では、支持本体１に凹設された位置決め凹部１２が挿通孔１１を中心として同心円状の３ヶ所にそれぞれ設けられているので、アーム２を支軸３１を中心に角度を３方向に変えてそれぞれ固定することができるようになる。従って、各アーム２をそれぞれ固定手段３の支軸３１を中心にして図４に実線で示すように回転させた状態で位置決め固定すると、一点鎖線で示すリング５の外径Ｄ1 より径小の外径Ｄ2 となるリング５ａを吸着して搬送することができるようになる。また、各アーム２を図４の二点鎖線で示す位置まで回転させて位置決め固定すると、更に径小の外径Ｄ3 をもったリング５ｂを吸着して搬送できるようになる。

【００１４】尚、上記実施例では、固定手段３によりアーム２を３ヶ所に固定して搬送するリングの外径に合わせられるようにしたが、さらに多数の凹部１２を細かく形成するとアーム２の角度調節が細かくでき、また、アーム２を回動させて自由な角度で固定させることもできる。

【００１５】

【考案の効果】

以上の説明から明らかなように、本考案のリング搬送装置は、支持本体の周縁に固定手段を介して各アームが回動自在に配置されるので、それぞれアームの固定角度によってそれぞれリング吸着パッドによって形成される円の外径が変動するので、搬送したいリングの外径に合わせて各アームを回動固定でき、この一台のリング搬送装置で多種類の外径を有するリングの搬送が可能になるといった効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例に係るリング搬送装置の概略
平面図。

【図２】アームの固定前を示す図１のＡ−Ａ線に沿った
概略断面図。

【図３】アーム固定状態を示す図１のＡ−Ａ線に沿った
概略断面図。

【図４】アームの回動により搬送できるリングの外径の
変化を示す概略平面図。

【図５】従来のリング搬送装置の概略平面図。

【符号の説明】

１支持本体２アーム３固定手段４リング吸着パッド５リング

Claims

【実用新案登録請求の範囲】【請求項１】支持本体の周縁に、先端にリング吸着パッ
トを設けたアームをそれぞれ固定手段を介して回動自在
に設けたことを特徴とするリング搬送装置。