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JPH05198407A - 厚膜サーミスタ組成物 - Google Patents

厚膜サーミスタ組成物

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Publication number
JPH05198407A
JPH05198407A JP35141491A JP35141491A JPH05198407A JP H05198407 A JPH05198407 A JP H05198407A JP 35141491 A JP35141491 A JP 35141491A JP 35141491 A JP35141491 A JP 35141491A JP H05198407 A JPH05198407 A JP H05198407A
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JP
Japan
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thick film
whose
oxide powder
film thermistor
precipitate
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Application number
JP35141491A
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English (en)
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JP2774890B2 (ja
Inventor
Tomoaki Futakuchi
友昭 二口
Katsumi Yano
克巳 谷野
Sada Doi
貞 土肥
Takaaki Hotta
孝章 堀田
Kenichi Honda
憲市 本田
Hiroto Nakamura
博人 中村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TOYAMA PREF GOV
Toyama Prefecture
Tateyama Kagaku Kogyo Co Ltd
Original Assignee
TOYAMA PREF GOV
Toyama Prefecture
Tateyama Kagaku Kogyo Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 製造工程を簡略化すると共に、抵抗値のバラ
ツキがなく熱的安定性の高い優れた品質の製品を安価に
大量に提供できる。 【構成】 Mn、Co、Ni、Cuの各イオンの混合水
溶液にしゅう酸水溶液を加え、MnにCo、Ni、Cu
のうち少なくとも1つからなる、一般式化1(ただし、
p+q+r+s=3、p≠0、q、r、sのうち少なく
とも1つは0でない)で示される組成となる割合に共沈
させて精製した沈澱物を、600℃〜800℃で熱分解
して得られるスピネル構造の酸化物粉末が60〜98重
量%の割合で含有しており、残りの2〜40重量%には
ガラス粉末が含有していることにより焼成後においてB
定数の膜厚の依存性がないことを特徴とする。 【化1】

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、特性のバラツキが少な
く、且つ熱に対する安定性にも優れた厚膜サーミスタ組
成物に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の厚膜サーミスタ組成物としては、
次に挙げる(1)乃至(3)のものがある。
【0003】(1)化2、CoO、NiO、CuO等の
酸化物粉末をそれぞれ所定のスピネル構造の組成物と成
るように混合した後、高温に置ける固相反応により合成
し、これを粉砕した粉末(平均粒径約2μm)とガラス
粉末を用いたもの。
【化2】
【0004】(2)微粉の化3、CoO、NiO、Cu
O等の酸化物粉末(平均粒径1μm以下)とガラス粉末
を用いて、厚膜焼成時においてスピネル構造の酸化物を
生成させるもの。
【化3】
【0005】(3)Mn、Co、Ni、Cuの塩酸塩ま
たは硝酸塩の混合水溶液にアルカリ水溶液を加えて共沈
させ、この沈澱物を精製し、これを熱分解して得られる
スピネル構造の酸化物粉末とガラス粉末を用いたもの。
【0006】さらに、抵抗値を下げる場合には、化4な
どの金属導電性物質をこれらに添加する方法も採られて
いる。
【化4】
【0007】しかしながら、これらのサーミスタ組成物
で作製されるサーミスタ素子は、抵抗値やB定数のバラ
ツキが大きく、また、熱に対する安定性(例えば、15
0℃放置における抵抗値の変化)も悪く、製品として信
頼性に欠けるものであった。
【0008】すなわち、前記(1)の固相反応で得られ
た粉末は、粒径が大きく且つ不均一であるため、厚膜焼
成時における焼結性が乏しく、また厚膜の構造が不均一
になって抵抗値のバラツキが大きくなる。さらに、粉末
合成時の反応温度が高いために、組成によっては高温相
が残存し、高温放置において相変化が生じ、熱安定性が
悪くなる。
【0009】また、(2)の微粉末酸化物を用いる方法
では、厚膜焼成時におけるスピネル生成反応が不安定
(温度依存性、雰囲気依存性が大きい)であるため、抵
抗値及びB定数の厚膜依存性があり、抵抗値のバラツキ
が大きくなる。
【0010】さらに、(3)の水酸化物沈澱を用いる方
法は、沈澱物が微細であるため、ろ過及び精製が行い難
く、アルカリ元素の混入するおそれもある。また、熱分
解して得られる酸化物の粉末は微細すぎるため、かえっ
て凝集が生じたり焼結性が悪くなったりして、抵抗値の
バラツキは比較的小さいものの熱安定性に欠けることに
なる。
【0011】以上の理由から、金属の酸化粉末に有機ビ
ヒクルを加えてプレス成形した後1200℃〜1500
℃で焼結して得られるいわゆるバルク焼結体型のサーミ
スタに比べて、厚膜タイプのサーミスタはあまり利用さ
れていないのが現状である。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】ところで、厚膜サーミ
スタを製造する場合には、通常一度の印刷でアルミナ基
板に多数の素子を作製するものであるが、1枚の基板に
おける各サーミスタ素子の抵抗値のバラツキは、従来の
ものでは±15%程度あったために、レーザー加工など
により抵抗トリミングを施すことによって、所定の値の
抵抗値にする必要があった。しかも、トリミング処理を
する際に受ける熱がもたらす温度変化によって、感温抵
抗素子であるサーミスタ素子の抵抗値が変化してしまう
ので、その変化を考慮しながらトリミングを行わなけれ
ばならず、通常の厚膜固定抵抗器の場合に比べて、正確
にトリミング処理を行うために時間が掛かり、製造工程
が煩雑なものになる。
【0013】そこで、本発明の目的の一つは、製造工程
中のトリミング処理を省くと共に、抵抗値のバラツキを
±5%以下に押さえることができ、安価で品質の優れた
製品を得ることのできる厚膜サーミスタ組成物を提供す
ることにある。
【0014】また、従来のものは、150℃放置におい
て、1000時間で抵抗値が10%程度変化するため、
予め熱エージング処理を行った後に製品とする煩雑さも
あった。
【0015】そこで、本発明のもう一つの目的は、15
0℃放置において、予め熱エージング処理を行なわなく
ても、1000時間で抵抗値変化を3%以下にできる厚
膜サーミスタ組成物を提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】従前より、高機能な焼結
体を低温焼成するために、各種の化学的な原料粉末合成
法が検討されてきている。本発明者らは、種々の研究実
験を重ねた結果、これらのなかで、しゅう酸塩沈澱を6
00℃〜800℃で熱分解して得られるスピネル構造の
酸化物粉末に着目し、これが特に、ガラス粉末の存在下
における液相焼結性に非常に優れていることを見い出し
た。さらに、このことが、通常のバルク焼結体サーミス
タに利用するよりも、むしろ厚膜サーミスタの組成物に
用いることの方が遥かに有効であることを見い出し、遂
に発明を完成するに至った。
【0017】すなわち、従来から化学合成粉末は固相焼
結性が優れ、1160℃程度で焼結することが既に知ら
れており、これによってバルク焼結体サーミスタを得る
ことができるが、組成によっては、前記焼成温度でもス
ピネル相以外の相が生成し、熱に対して不安定なものに
なりやすく、従って、熱に対して安定なものを得るに
は、B定数の範囲が限られたものになってしまう。
【0018】ところがMn、Co、Ni、Cuの各イオ
ンの混合水溶液にしゅう酸水溶液を加え、MnにCo、
Ni、Cuのうち少なくとも1つからなる、一般式化5
(ただし、p+q+r+s=3、p≠0、q、r、sの
うち少なくとも1つは0でない)で示される組成となる
割合に共沈させて精製したしゅう酸塩沈澱を600℃〜
800℃で熱分解して得られる酸化物粉末は、適度な粒
度分布が得られ、特にガラス粉末の存在下における液相
焼結性が非常に優れているために、広い組成範囲におい
てスピネル相のみが存在するので、熱に対しても大へん
安定したものが広いB定数の範囲にわたって得られた。
【化5】
【0019】実際に、800℃〜950℃で厚膜として
十分な焼結性を示し、抵抗値及びB定数のいずれも再現
性が良く、バラツキがきわめて小さいものであった。そ
して前記スピネル構造の酸化物粉末を60〜98重量%
の割合にし、残り2〜40重量%の割合でガラス粉末を
混合して得た厚膜サーミスタの組成物が、シート抵抗値
のバラツキがきわめて小さく、電気的特性に優れている
ものであった。
【0020】
【発明の効果】本発明の組成物によれば、抵抗値のバラ
ツキが小さく然も熱に対しての安定性に優れた均質な厚
膜サーミスタを、トリミング処理や熱エージング処理を
することなく簡略化した製造工程により安価に得ること
ができる。特に、電子機器の小形化が進む現状におい
て、強く求められているチップタイプなどの厚膜サーミ
スタとして、有効に利用することが可能である。
【0021】
【実施例】実施例1 化6及び化7をそれぞれスピネル構造の所定の組成物と
なるように秤量し、水に溶かして0.5mol/1の水
溶液とする。これに0.2mol/1のしゅう酸アンモ
ニウム水溶液を所定量加え、室温で攪拌し、しゅう酸塩
を共沈させる。この沈澱物を吸引ろ過して120℃で乾
燥した後、空気中800℃で2時間熱分解する。
【化6】
【化7】
【0022】このようにして得られたスピネル酸化物粉
末に、所定量のバインダーガラスと有機ビヒクルを加え
て自動混合機で混練し、印刷可能な厚膜サーミスタペー
ストを作り上げる。
【0023】作製したペーストをアルミナ基板(純度9
6%)上に焼き付けたAg/pd系電極間に橋渡しする
状態で印刷し、これを800℃〜950℃の所定温度で
10分間焼成し厚膜サーミスタ素子を作製した。
【0024】このようにして得られた厚膜サーミスタ素
子の諸特性を、次の表1に示す。
【0025】
【表1】
【0026】また、従来のものを表2に示す。
【0027】
【表2】
【0028】表1と表2から、本発明によるものは従来
のものに比べて、シート抵抗値のバラツキが遥かに小さ
いことが判かる。また、表1から、ガラス粉末の混合量
が多くなるのに伴なって抵抗値のバラツキが大きくなる
傾向にあり、No7のケースのように、混合量が50wt%
になると、抵抗値のバラツキが5%を大きく超えること
になる。さらに、No9のケースのように、スピネル構造
酸化物粉末の合成温度が900℃になった場合にも、抵
抗値のバラツキが5%を超えることになる。
【0029】実施例2 組成によっては、1つのしゅう酸塩水溶液で定量的な沈
澱物を得ることができない場合がある。このような場合
には、pHの異なる複数のしゅう酸塩水溶液によって、複
数の沈澱物を作製し、これらを混合した後、熱分解する
ことによって得られたスピネル酸化物粉末を用いること
ができる。これによって、幅広い組成の利用が可能とな
り、幅広い特性の厚膜サーミスタを得ることができる。
【0030】さらに、化8等の金属導電性を示すものを
添加することによって、より低い抵抗のものを得ること
も可能である。
【化8】
【0031】このようにして得られた厚膜サーミスタの
諸特性を表3に示す。
【0032】
【表3】
【0033】また、従来のものを表4に示す。
【0034】
【表4】
【0035】表3と表4から、本発明によるものは従来
のものに比べて、シート抵抗値の低い組成においても、
抵抗値のバラツキの小さいものを得ることができる。ま
た、スピネル構造酸化物の組成や化9混合比を選ぶこと
によって、幅広い特性において抵抗値のバラツキの小さ
なものを得ることができる。
【化9】
【0036】熱安定性に関する測定結果を示す図1か
ら、本発明品C(表3のNo4のもの)及び本発明品B
(表3のNo6のもの)によるものは、従来品A(表4の
No1のもの)に比べて、熱に対する安定性が遥かに優れ
ていることが判かる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明品と従来品との熱安定性に関する比較結
果をグラフで示す説明図である。
フロントページの続き (72)発明者 土肥 貞 富山県富山市月岡町3丁目6番地 立山科 学工業株式会社南工場内 (72)発明者 堀田 孝章 富山県富山市月岡町3丁目6番地 立山科 学工業株式会社南工場内 (72)発明者 本田 憲市 富山県富山市月岡町3丁目6番地 立山科 学工業株式会社南工場内 (72)発明者 中村 博人 富山県富山市月岡町3丁目6番地 立山科 学工業株式会社南工場内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 Mn、Co、Ni、Cuの各イオンの混
    合水溶液にしゅう酸水溶液を加え、MnにCo、Ni、
    Cuのうち少なくとも1つからなる、一般式化1(ただ
    し、p+q+r+s=3、p≠0、q、r、sのうち少
    なくとも1つは0でない)で示される組成となる割合に
    共沈させ、この沈澱物を精製し、これを600℃〜80
    0℃で熱分解して得られるスピネル構造の酸化物粉末が
    60〜98重量%の割合で含有しており、残りの2〜4
    0重量%にはガラス粉末が含有していることにより焼成
    後においてB定数の膜厚の依存性がないことを特徴とす
    る厚膜サーミスタ組成物。 【化1】
JP3351414A 1991-12-11 1991-12-11 厚膜サーミスタ組成物の製造方法 Expired - Lifetime JP2774890B2 (ja)

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