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JPH05167228A - Washing device - Google Patents

Washing device

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Publication number
JPH05167228A
JPH05167228A JP35102691A JP35102691A JPH05167228A JP H05167228 A JPH05167228 A JP H05167228A JP 35102691 A JP35102691 A JP 35102691A JP 35102691 A JP35102691 A JP 35102691A JP H05167228 A JPH05167228 A JP H05167228A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
printed wiring
wiring board
slit
suction
suction nozzle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP35102691A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0770819B2 (en
Inventor
Kisaburo Niiyama
喜三郎 新山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Kakoki Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Kakoki Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Kakoki Co Ltd filed Critical Tokyo Kakoki Co Ltd
Priority to JP3351026A priority Critical patent/JPH0770819B2/en
Publication of JPH05167228A publication Critical patent/JPH05167228A/en
Publication of JPH0770819B2 publication Critical patent/JPH0770819B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

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  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enable a cleaning fluid to be sucked-in passing a through hole in a printed wiring board thereby enabling the through hole to be satisfactorily cleaned up without fail by a method wherein a suction nozzle is provided in a position opposite to a printed wiring board to be carried while the slit type aperture parts are either dispersedly or obliquely arrayed. CONSTITUTION:Within the suction nozzle 3 shown in figure (1), multiple slit type aperture parts F dispersedly and linearly arrayed at respective intervals in the carrier direction Y and the lateral width direction X rectangular to the former on a printed wiring board P are formed attaining the length to cover the lateral width of said board P as a whole. On the other hand, within the suction nozzle 3 shown in figure (2), a bit obliquely arrayed slit type aperture part F is formed in the carrier direction and the lateral direction X rectangular to the former on the printed wiring board P attaining the length to cover the lateral width of said board P. Through these procedures, a cleaning fluid can be sucked from the slit type aperture parts F of the suction nozzle 3 to pass the through holes F in the printed wiring board P thereby enabling the through holes T to be cleaned up satisfactorily.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は洗浄装置に関する。すな
わち、プリント配線基板の製造工程において用いられ、
プリント配線基板のスルホールを洗浄する洗浄装置に関
するものである。
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a cleaning device. That is, it is used in the manufacturing process of printed wiring boards,
The present invention relates to a cleaning device for cleaning through holes on a printed wiring board.

【0002】[0002]

【従来の技術】プリント配線基板には、表裏両面の回路
の電気的接続用又は部品挿着用に、多数の小径の貫通穴
であるスルホールがドリルにて形成されることが多い。
そしてプリント配線基板の製造工程では、このようなス
ルホールの洗浄が度度行われるが、このような洗浄装置
としては従来、まず、高圧洗浄方式のものが用いられて
いた。すなわち従来のこの洗浄装置は、空気中において
ノズルにより50kg/cm2 以上の圧力で洗浄液をプリン
ト配線基板に向け噴射し、もって、洗浄液を通過させる
ことによりスルホールを洗浄する方式よりなる。
2. Description of the Related Art A printed wiring board is often formed with a large number of through holes, which are through holes having a small diameter, by a drill for electrical connection of circuits on both front and back surfaces or for mounting parts.
In the process of manufacturing the printed wiring board, such cleaning of through holes is frequently performed. Conventionally, as such a cleaning device, a high pressure cleaning system has been used. That is, this conventional cleaning apparatus is of a type in which a cleaning liquid is jetted toward a printed wiring board by a nozzle at a pressure of 50 kg / cm 2 or more in the air and the cleaning liquid is allowed to pass therethrough to clean through holes.

【0003】ところで、従来のこの高圧洗浄方式のスル
ホールの洗浄装置にあっては、次の問題が指摘されてい
た。すなわちプリント配線基板のスルホールは、まず第
1に、最近の回路の微細化・細密化に伴い、その穴径が
0.2mmから0.5mm程度と極めて小径のものが圧倒的
であり、又第2に、1つのプリント配線基板に例えば1
000個程度と極めて多数形成され、更に第3に、不特
定・不規則に点在・分布している。しかも第4に、これ
に対しプリント配線基板の肉厚は例えば1.6mm程度
と、スルホールの穴径の数倍から10倍近く(つまりス
ルホールの穴の形状は極めて細長く)、又第5に、ノズ
ルから噴射された洗浄液は、スルホール以外のプリント
配線基板面にも当たるので、スルホールを通過するため
の圧力が弱められる。これら第1,第2,第3,第4,
第5等により、極めて小径で多数が不規則に点在し細長
いスルホールを十分かつ確実に洗浄することは、最近特
に困難化していた。そこで、この従来の高圧洗浄方式の
洗浄装置では、スルホールにドリルのばり・切削くず・
切り粉、更にはレジストの付着物,酸化箇所,銅箔の汚
れ,内壁に付着したその他の異物、等々が洗浄除去され
ずに残ってしまい、もって、事後のスルホールめっきや
部品挿着用のはんだ付け等の不良の原因となっていた。
By the way, the following problems have been pointed out in the conventional high-pressure cleaning type through-hole cleaning device. That is, as for the through hole of the printed wiring board, first, due to the recent miniaturization and densification of the circuit, it is overwhelming that the hole diameter is extremely small from 0.2 mm to 0.5 mm. 2, one printed wiring board, for example 1
An extremely large number of about 000 are formed, and thirdly, they are scattered and distributed in an unspecified and irregular manner. Fourth, on the other hand, the thickness of the printed wiring board is, for example, about 1.6 mm, which is several times to 10 times as large as the diameter of the through hole (that is, the shape of the through hole is extremely elongated). Since the cleaning liquid sprayed from the nozzle also hits the printed wiring board surface other than the through hole, the pressure for passing through the through hole is weakened. These first, second, third, fourth
According to the fifth and the like, it has recently become particularly difficult to sufficiently and surely clean a long and slender through hole having a very small diameter and irregularly scattered. Therefore, in this conventional high-pressure cleaning type cleaning device, drill burr, cutting waste,
Cutting chips, and further, resist deposits, oxidation spots, copper foil stains, other foreign substances adhering to the inner wall, etc., remain without being removed by washing, and therefore after-hole through-hole plating and soldering for component mounting It was a cause of such defects.

【0004】このような実情に鑑み、発明者は最近、次
のようなスルホールの洗浄装置を新たに開発した。すな
わち、この最近開発した洗浄装置では、プリント配線基
板を、液槽中で洗浄液に浸漬しつつローラーコンベヤ群
にて搬送する。そして係る液槽の洗浄液中に、搬送され
るプリント配線基板に対向位置する吸引ノズルを設け、
洗浄液をプリント配線基板のスルホールを介し吸引する
方式よりなる。なお、この吸引ノズルのスリット状開口
部は、プリント配線基板の搬送方向と直角の横幅方向に
正確に沿い、直線的に配されていた。さて、この最近開
発した洗浄装置によると、極めて小径で多数が不規則に
点在し形状も細長いスルホールであっても、吸引ノズル
にて直線的に吸引され強力に吸引圧力が作用するので、
洗浄液がすべてのスルホールを確実に通過ようになる。
そこで、スルホール内は十分かつ確実に洗浄され、スル
ホールから、ドリルのばり・切削くず・切り粉,レジス
トの付着物,酸化箇所,銅箔の汚れ,内壁に付着したそ
の他の異物,等々が完全に洗浄除去されるようになり、
前述した従来の高圧洗浄方式の洗浄装置の問題点は解決
される。
In view of such circumstances, the inventor recently newly developed the following through-hole cleaning device. That is, in this recently developed cleaning device, the printed wiring board is conveyed by the roller conveyor group while being immersed in the cleaning liquid in the liquid tank. Then, in the cleaning liquid of the liquid tank, a suction nozzle facing the printed wiring board to be conveyed is provided,
The cleaning liquid is sucked through the through holes of the printed wiring board. The slit-shaped openings of the suction nozzle were arranged linearly along the widthwise direction perpendicular to the direction of conveyance of the printed wiring board. By the way, according to this recently developed cleaning device, even if it is an extremely small diameter, many irregularly scattered and long and slender through-holes, the suction nozzle linearly sucks and strong suction pressure acts, so
Ensure that the cleaning fluid passes through all through holes.
Therefore, the inside of the through-hole is thoroughly and surely cleaned, and the through-hole is completely free of flash, cutting chips, chips, resist deposits, oxidation spots, copper foil stains, and other foreign substances attached to the inner wall. Will be washed away,
The above-mentioned problems of the conventional high pressure cleaning type cleaning device are solved.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな利点がある反面、この最近開発した洗浄装置では、
次の問題が指摘されていた。すなわち、図3はこのよう
な最近開発した従来例の吸引ノズル等を示し、(1)図
はその要部の平面図、(2)図はその要部の正面説明図
である。同図にも示すごとく、プリント配線基板Pが液
槽内を搬送されて吸引ノズル3に至ると、搬送方向Yに
対し直角の横幅方向Xに沿い直線的に配された吸引ノズ
ル3のスリット状開口部Eからの吸引圧力により、プリ
ント配線基板Pの先端が一度に集中的に吸引される。そ
して、この吸引圧力が強力な抵抗として作用し、肉厚が
薄くフレキシブルなプリント配線基板Pは、損傷した
り、搬送が妨げられ、吸引されて停止し先端から折曲さ
れてローラーコンベヤ2上で重なり合い、搬送も洗浄も
不能となる等々、各種不良が発生しやすいという問題が
あった。なお図4は、このような従来例にて用いられる
コマ部材Mを示し、(1)図は正面図、(2)図は側面
図であり、このようなコマ部材Mの集合体が、搬送方向
Yに回動可能に吸引ノズル3のスリット状開口部E上に
配され、これを適宜開閉していた。
However, in spite of such advantages, the recently developed cleaning device has the following disadvantages.
The following problems were pointed out. That is, FIG. 3 shows such a recently developed conventional suction nozzle, etc., FIG. 1 (1) is a plan view of a main part thereof, and FIG. 2 (2) is a front explanatory view of the main part. As shown in the figure, when the printed wiring board P is transported in the liquid tank and reaches the suction nozzle 3, the slit shape of the suction nozzle 3 linearly arranged along the lateral width direction X perpendicular to the transport direction Y. The suction pressure from the opening E causes the front end of the printed wiring board P to be sucked intensively at one time. The suction pressure acts as a strong resistance, and the thin and flexible printed wiring board P is damaged or prevented from being conveyed, is sucked and stopped, and is bent from the front end to be on the roller conveyor 2. There is a problem that various defects are likely to occur, such as overlapping, transport and cleaning being impossible, and the like. 4A and 4B show a top member M used in such a conventional example, FIG. 1A is a front view, and FIG. 4B is a side view. It was arranged on the slit-shaped opening E of the suction nozzle 3 so as to be rotatable in the direction Y, and was opened and closed as appropriate.

【0006】本発明は、このような実情に鑑みこの最近
開発された従来例の問題点を解決すべく、発明者の鋭意
研究努力の結果なされたものであって、液槽の洗浄液中
に搬送されるプリント配線基板に対向位置する吸引ノズ
ルを設けると共に、そのスリット状開口部を請求項1で
は所定のごとく分散配列し、請求項2では所定のごとく
傾斜配列し、更に、請求項3ではこれらにコマ部材を所
定のごとく配してなることにより、第1に、洗浄液をプ
リント配線基板のスルホールを介し吸引可能とし、スル
ホール内を十分かつ確実の洗浄できると共に、第2に、
その吸引圧力が分散されプリント配線基板がスムーズに
搬送される、洗浄装置を提案することを目的とする。
The present invention has been made as a result of earnest research efforts by the inventor in order to solve the problems of the recently developed conventional example in view of the above-mentioned circumstances, and is carried into the cleaning liquid in the liquid tank. A suction nozzle facing the printed wiring board is provided, and the slit-shaped openings are arranged in a predetermined distribution in claim 1, inclined in a predetermined manner in claim 2, and further in claim 3, Firstly, the cleaning liquid can be sucked through the through-holes of the printed wiring board, and the inside of the through-holes can be sufficiently and surely cleaned.
An object of the present invention is to propose a cleaning device in which the suction pressure is dispersed and the printed wiring board is smoothly transported.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】この目的を達成する本発
明の技術的手段は、次のとおりである。すなわち、この
洗浄装置は、プリント配線基板の製造工程において用い
られ、該プリント配線基板の両面間に多数設けられた小
径のスルホールを洗浄するものである。そして、該プリ
ント配線基板が浸漬される洗浄液の液槽と、該液槽の洗
浄液中に配され該プリント配線基板を挟み込んで送る上
下のローラーコンベヤ群と、該液槽の洗浄液中で該ロー
ラーコンベヤ群間に配された吸引ノズルと、該吸引ノズ
ルに連結された吸引機構と、を有してなる。そして該吸
引ノズルは、搬送される該プリント配線基板に対向位置
し、上記吸引機構の吸引圧力に基づき、該液槽中の洗浄
液を該プリント配線基板の上記スルホールを介し吸引可
能となっている。
The technical means of the present invention for achieving this object are as follows. That is, this cleaning device is used in a manufacturing process of a printed wiring board, and cleans a large number of small-sized through holes provided on both sides of the printed wiring board. A liquid tank of a cleaning liquid in which the printed wiring board is dipped, a group of upper and lower roller conveyors which are arranged in the cleaning liquid of the liquid tank and send by sandwiching the printed wiring board, and the roller conveyor in the cleaning liquid of the liquid tank. It has a suction nozzle arranged between the groups, and a suction mechanism connected to the suction nozzle. The suction nozzle is located opposite to the printed wiring board being conveyed, and can suck the cleaning liquid in the liquid tank through the through hole of the printed wiring board based on the suction pressure of the suction mechanism.

【0008】そして請求項1の洗浄装置においては、該
吸引ノズルは、該プリント配線基板の搬送方向およびこ
れと直角の横幅方向に、それぞれ間隔を存し分散して配
列された複数のスリット状開口部が形成されてなり、全
体で該プリント配線基板の横幅をカバーしている。又、
請求項2の洗浄装置においては、該吸引ノズルは、該プ
リント配線基板の搬送方向と直角の横幅方向に対し傾斜
して配列されたスリット状開口部が形成され、該プリン
ト配線基板の横幅をカバーしている。更に、請求項3の
洗浄装置においては、このような請求項1又は請求項2
記載の構成に加え、上記スリット状開口部には、対向し
てその配列方向に沿いコマ部材の集合体が配され、該コ
マ部材は、軸に取り付けられ上記搬送方向に沿い回動可
能であり、常時は、すべてが上記スリット状開口部を閉
鎖しており、他方、該プリント配線基板が対応する上記
スリット状開口部を搬送されている間は、これにて変位
せしめられ対応する上記スリット状開口部を開放するよ
うになっている。
According to another aspect of the cleaning apparatus of the present invention, the suction nozzles have a plurality of slit-shaped openings arranged at intervals in the conveying direction of the printed wiring board and in the lateral width direction perpendicular thereto. Parts are formed to cover the lateral width of the printed wiring board as a whole. or,
3. The cleaning device according to claim 2, wherein the suction nozzle is provided with slit-shaped openings arranged obliquely with respect to a lateral width direction perpendicular to the conveying direction of the printed wiring board to cover the lateral width of the printed wiring board. is doing. Furthermore, in the cleaning apparatus of claim 3, such claim 1 or claim 2
In addition to the configuration described above, in the slit-shaped opening, an assembly of top members is arranged facing each other along the arrangement direction thereof, and the top member is attached to a shaft and rotatable along the transport direction. , All of which normally closes the slit-shaped openings, while on the other hand, while the printed wiring board is conveyed through the corresponding slit-shaped openings, it is displaced by the corresponding slit-shaped openings. It is designed to open the opening.

【0009】[0009]

【作用】本発明は、このような手段よりなるので、次の
ように作用する。この洗浄装置では、プリント配線基板
は、液槽中で洗浄液に浸漬されつつローラーコンベヤ群
にて搬送される。そして、その全幅にわたり対向位置す
る吸引ノズルのスリット状開口部を通過し、吸引ノズル
のスリット状開口部は、その吸引機構の吸引圧力に基づ
き、洗浄液をプリント配線基板のスルホールを介し吸引
する。そこで第1に、スルホールは、極めて小径で多数
が不規則に点在し形状も細長いが、このように吸引ノズ
ルのスリット状開口部にて直接的に吸引され、強力に吸
引圧力が作用するので、洗浄液がすべてのスルホールを
通過するようになる。従って、極度に穴が細い場合でも
スルホール内は十分かつ確実に洗浄され、スルホールか
らドリルのばり・切削くず・切り粉,レジストの付着
物,酸化箇所,銅箔の汚れ,内壁に付着したその他の異
物、等々が完全に洗浄除去される。
Since the present invention comprises such means, it operates as follows. In this cleaning device, the printed wiring board is conveyed by the roller conveyor group while being immersed in the cleaning liquid in the liquid tank. Then, it passes through the slit-shaped openings of the suction nozzles facing each other over its entire width, and the slit-shaped openings of the suction nozzles suck the cleaning liquid through the through holes of the printed wiring board based on the suction pressure of the suction mechanism. Therefore, firstly, although the through holes are extremely small in diameter, many are irregularly scattered, and the shape is also elongated, in this way, the suction pressure is directly exerted by the slit-shaped opening of the suction nozzle, and thus a strong suction pressure acts. , The cleaning liquid will pass through all through holes. Therefore, even if the hole is extremely thin, the inside of the through hole can be sufficiently and reliably cleaned, and the flash, cutting chips, chips, resist deposits, oxidation spots, copper foil stains, and other substances adhering to the inner wall can be removed from the through hole. Foreign substances, etc. are completely washed away.

【0010】これと共に第2に、吸引ノズルのスリット
状開口部が、請求項1では、搬送方向と横幅方向に分散
配列されており、請求項2では、横幅方向に対し傾斜配
列されている。そこでプリント配線基板に対する吸引圧
力が、搬送方向および横幅方向において分散されるの
で、プリント配線基板は、損傷,折曲等が発生せず、ス
ムーズに搬送される。なお第3に、請求項3では、各コ
マ部材をスリット状開口部に配し、これを開閉する方式
が採用されている。つまり、コマ部材がプリント配線基
板で押し上げられる等変位せしめられている間、対応す
るスリット状開口部が開放され、スルホールが吸引され
るようになっており、プリント配線基板は所定の吸引圧
力にて洗浄される。
Secondly, the slit-shaped openings of the suction nozzle are arranged in a distributed manner in the carrying direction and the lateral width direction, and in the second aspect, they are arranged obliquely with respect to the lateral width direction. Therefore, the suction pressure to the printed wiring board is dispersed in the carrying direction and the lateral width direction, so that the printed wiring board is smoothly carried without being damaged or bent. Thirdly, in claim 3, a method of arranging each top member in a slit-shaped opening and opening / closing it is adopted. That is, while the top member is being pushed up by the printed wiring board and displaced, the corresponding slit-shaped openings are opened and the through holes are sucked, and the printed wiring board is sucked at a predetermined suction pressure. To be washed.

【0011】[0011]

【実施例】以下本発明を、図面に示すその実施例に基づ
いて詳細に説明する。図5は、本発明が適用される洗浄
装置の全体的な正面説明図であり、図6は、同側面説明
図である。図7は、プリント配線基板の拡大した正断面
図である。まずこれらの図面により、全体を説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail below based on the embodiments shown in the drawings. FIG. 5 is an overall front view of a cleaning device to which the present invention is applied, and FIG. 6 is a side view of the same. FIG. 7 is an enlarged front sectional view of the printed wiring board. First, the whole will be described with reference to these drawings.

【0012】この洗浄装置は、プリント配線基板Pの製
造工程において用いられ、プリント配線基板Pの両面間
に多数設けられた小径のスルホールTを洗浄するもので
ある。まず、プリント配線基板Pについて述べる。プリ
ント配線基板Pは、OA用の両面基板,コンピューター
用の多層基板,計算機用その他のフレキシブル基板等
々、用途により多種多様であり、もってその製造工程も
多種多様であるが、多くの場合、図7に示したようにス
ルホールTが形成されている。スルホールTは、プリン
ト配線基板Pの表裏両面の回路の電気的接続・導通用、
又は部品挿着用、つまりプリント配線基板P上に搭載さ
れる半導体部品の脚廻りの挿着用として用いられ、NC
ボール盤等により貫通穴として形成される。そしてスル
ホールTは、最近の回路の微細化・細密化に伴い、その
穴径が0.2mmから0.5mm程度と極めて小径のものが
圧倒的であり、又、1つのプリント配線基板Pに例えば
1000個程度と極めて多数形成され、更に、不特定・
不規則に点在・分布しており、又、プリント配線基板P
の肉厚が例えば1.6mm程度であることに鑑み、その長
さつまり深さが穴径の数倍から10倍近い等、細長く深
い穴形状よりなる。
This cleaning device is used in the manufacturing process of the printed wiring board P and cleans a large number of small-diameter through holes T provided between both surfaces of the printed wiring board P. First, the printed wiring board P will be described. The printed wiring board P has a wide variety depending on the application, such as a double-sided board for OA, a multi-layer board for a computer, a flexible board for a computer, and the like. Through holes T are formed as shown in FIG. The through holes T are for electrical connection / conduction of circuits on both front and back surfaces of the printed wiring board P,
Alternatively, it is used for component insertion, that is, for attachment around the legs of semiconductor components mounted on the printed wiring board P.
It is formed as a through hole by a drilling machine or the like. The through hole T has an extremely small hole diameter of about 0.2 mm to 0.5 mm with the recent miniaturization and miniaturization of circuits, and one printed wiring board P has, for example, An extremely large number of around 1000 are formed, and moreover, unspecified
Randomly scattered and distributed, and printed wiring board P
Considering that the wall thickness is about 1.6 mm, for example, the length, that is, the depth is several to ten times as large as the hole diameter, and the hole has a long and deep hole shape.

【0013】さて、このようなスルホールTを備えたプ
リント配線基板Pは、例えば概略次のように製造され
る。すなわち、このプリント配線基板Pは、材料切断,
穴あけ加工,研磨・電解処理,スルホールTめっき,研
磨・電解処理,レジスト貼付,露光,現像,エッチン
グ,レジスト剥膜,等々の工程を辿って製造される。ま
ず絶縁材の両面に銅箔が張り合わされた両面銅張り積層
板が、ワークサイズの短尺材に切断され、次に、スルホ
ールT用の穴あけ加工が施された後、洗浄および表面処
理として両面研磨又は電解処理が行われてから、めっき
液を用いたスルホールTめっきが実施される。つまり、
表面の電気回路と裏面の電気回路を導通すべく、スルホ
ールTの内壁にめっきが施される。しかる後、再び洗浄
および表面処理として両面研磨又は電解処理が行われて
から、感光性レジストを膜状に貼付ける処理が行われ、
それから回路のネガフィルムである回路写真をあてて露
光し、事後、レジストは露光され硬化した回路部分を残
し、他の部分は現像液の噴射により溶解除去される。そ
れからエッチングマシンにて、このようにレジストが硬
化した回路部分の銅箔を残し、上述によりレジストが溶
解除去された部分の銅箔が腐食液の噴射により溶解除去
される。しかる後、残っていた上述の硬化した回路部分
のレジストが、剥離液の噴射により溶解除去され、もっ
て、所定の電気回路が形成されたプリント配線基板Pが
製造されるに至る。そして、このようなプリント配線基
板Pの製造工程中において、スルホールT等を洗浄装置
にて洗浄することが、上述のスルホールTめっき前を始
め、レジストの溶解除去後、最終的な製品仕上段階等
々、各工程において度度行われる。
A printed wiring board P having such through holes T is manufactured, for example, as follows. That is, this printed wiring board P is
It is manufactured by following processes such as drilling, polishing / electrolytic treatment, through-hole T plating, polishing / electrolytic treatment, resist application, exposure, development, etching, resist stripping, and so on. First, a double-sided copper-clad laminate, in which copper foil is laminated on both sides of an insulating material, is cut into a work-size short material, and then subjected to perforation processing for through holes T, followed by double-side polishing for cleaning and surface treatment. Alternatively, through the electrolytic treatment, the through-hole T plating using the plating solution is performed. That is,
The inner wall of the through hole T is plated so as to connect the electric circuit on the front surface with the electric circuit on the back surface. After that, after double-side polishing or electrolytic treatment is performed again as cleaning and surface treatment, a process of attaching a photosensitive resist in a film form is performed,
Then, a circuit photograph, which is a negative film of the circuit, is exposed to light, and after that, the resist leaves the exposed and cured circuit portion, and the other portion is dissolved and removed by spraying a developing solution. Then, in the etching machine, the copper foil in the circuit portion where the resist is hardened in this way is left, and the copper foil in the portion where the resist is dissolved and removed as described above is dissolved and removed by the jetting of the corrosive liquid. After that, the remaining resist of the above-mentioned cured circuit portion is dissolved and removed by spraying the stripping solution, and thus the printed wiring board P on which a predetermined electric circuit is formed is manufactured. Then, during the manufacturing process of such a printed wiring board P, cleaning the through holes T and the like with a cleaning device is performed before the above-described through hole T plating, after the resist is dissolved and removed, and the final product finishing stage and the like. , Is repeated in each step.

【0014】さて、このような洗浄に用いられるこの洗
浄装置は、図5および図6に示したように、次の液槽
1,ローラーコンベヤ2群,吸引ノズル3,吸引機構4
等を備えてなる。これらについて述べると、まず液槽1
は、プリント配線基板Pが浸漬されるものであり、水洗
水又は酸・アルカリ等の溶液からなる洗浄液Hの槽より
なり、装置本体5の処理室内に配設されている。ローラ
ーコンベヤ2群は、この液槽1の洗浄液H中に配され、
プリント配線基板Pを挟み込んで送るべく上下対をなし
並んで多数設けられており、更に、液槽1外では適宜下
側だけに設けられている。6は、このようなローラーコ
ンベヤ2群の駆動用のモータであり、7は、このモータ
6とローラーコンベヤ2群間の伝達部であり、ベルト,
プーリー等よりなる。
Now, as shown in FIGS. 5 and 6, this cleaning apparatus used for such cleaning has the following liquid tank 1, roller conveyor 2 group, suction nozzle 3, suction mechanism 4
And so on. To describe these, first, the liquid tank 1
Is the one in which the printed wiring board P is dipped, and comprises a bath of a cleaning liquid H consisting of washing water or a solution of acid, alkali, etc., and is disposed in the processing chamber of the apparatus main body 5. The roller conveyor 2 group is arranged in the cleaning liquid H in the liquid tank 1,
A large number of printed wiring boards P are arranged side by side so as to sandwich and feed the printed wiring board P. Further, outside the liquid tank 1, they are appropriately provided only on the lower side. 6 is a motor for driving such a group of roller conveyors 2, 7 is a transmission section between the motor 6 and the group of roller conveyors 2,
Consists of a pulley etc.

【0015】吸引ノズル3はこのような液槽1の洗浄液
H中で、ローラーコンベヤ2群間に図示例では2個配さ
れている。そしてこの吸引ノズル3は、搬送されるプリ
ント配線基板Pの一面に対向位置し、吸引機構4の吸引
圧力に基づき、液槽1中の洗浄液Hをプリント配線基板
PのスルホールTを介し吸引可能となっている。この吸
引ノズル3は、搬送されるプリント配線基板Pの一面に
対し、例えば0.5mm程度と、適宜当接することが可能
な程度の極く僅かな隙間を存し、対向位置決めされてい
るが、これによらず、常時当接するように対向位置決め
してもよく、更に常時当接しない隙間で対向位置決めし
てもよい。なお図示例の吸引ノズル3は、プリント配線
基板Pの下側、つまり下側のローラーコンベヤ2群間に
配されているが、プリント配線基板Pの上側、つまり上
側のローラーコンベヤ2群間に配してもよい。なお、こ
のような吸引ノズル3の詳細については後述する。
Two suction nozzles 3 are arranged in the cleaning liquid H in the liquid tank 1 as described above between the two groups of roller conveyors. The suction nozzle 3 is located opposite to one surface of the conveyed printed wiring board P, and can suck the cleaning liquid H in the liquid tank 1 through the through hole T of the printed wiring board P based on the suction pressure of the suction mechanism 4. Is becoming The suction nozzle 3 is positioned so as to face the one surface of the printed wiring board P to be conveyed with a very small gap of about 0.5 mm, for example, so that it can be appropriately abutted. Regardless of this, the opposing positioning may be performed so as to always abut, or the opposing positioning may be performed in a gap that does not always abut. The suction nozzles 3 in the illustrated example are arranged under the printed wiring board P, that is, between the lower roller conveyors 2 groups, but are arranged above the printed wiring board P, that is, between the upper roller conveyors 2 group. You may. The details of the suction nozzle 3 will be described later.

【0016】次に吸引機構4は、液槽1外に配されると
共に、液槽1内の吸引ノズル3に連結されている。すな
わち、8は吸引機構4のモータであり、このモータ8
は、両クランク部9を介し2個のピストンポンプ10に
接続されている。11はタンクであり、このタンク11
には、前述の2個の吸引ノズル3の基端側が、それぞれ
配管12を介し接続されると共に、前述の液槽1の前端
側および後端側が、それぞれ配管13を介し接続されて
おり、両配管13には、それぞれタンク11側から順に
逆止弁14,上記ピストンポンプ10,逆止弁15,フ
ィルター16等が設けられている。そこで吸引機構4で
は、モータ8の駆動によりクランク部9を介し両ピスト
ンポンプ10が往復運動を行い、その吸引運動により、
タンク11,逆止弁14を介し吸引ノズル3に吸引圧力
が作用し、そのバキューム圧により液槽1中の洗浄液H
の吸引が行われる。又ピストンポンプ10の吐出運動に
より、このように吸引された洗浄液Hが、ピストンポン
プ10から逆止弁15,フィルター16を介し液槽1へ
と循環され、その際洗浄液Hは、フィルター16にて汚
れが浄化還元される。図中17は架台である。
Next, the suction mechanism 4 is arranged outside the liquid tank 1 and is connected to the suction nozzle 3 in the liquid tank 1. That is, 8 is a motor of the suction mechanism 4, and this motor 8
Are connected to two piston pumps 10 via both crank portions 9. 11 is a tank, and this tank 11
The two suction nozzles 3 are connected at their base ends via pipes 12, and at the same time are connected to the front and rear ends of the liquid tank 1 via pipes 13, respectively. The pipe 13 is provided with a check valve 14, the piston pump 10, the check valve 15, a filter 16 and the like in this order from the tank 11 side. Therefore, in the suction mechanism 4, both piston pumps 10 reciprocate through the crank portion 9 by the drive of the motor 8, and the suction movement causes
Suction pressure acts on the suction nozzle 3 via the tank 11 and the check valve 14, and the vacuum pressure thereof causes the cleaning liquid H in the liquid tank 1 to flow.
Is sucked. Further, the cleaning liquid H thus sucked by the discharge movement of the piston pump 10 is circulated from the piston pump 10 to the liquid tank 1 through the check valve 15 and the filter 16, at which time the cleaning liquid H is filtered by the filter 16. Dirt is purified and reduced. In the figure, 17 is a mount.

【0017】さて図示例では、このようなピストンポン
プ10が2台設けられており、一方が吸引運動する時は
他方が吐出運動するように設定され、もって、その相互
作用により洗浄液Hの流れの強弱を少なく、つまり洗浄
液Hの吸引脈の波動を小さくしている。又このような吸
引機構4において、例えばタンク11又は配管12,1
3等には、減圧弁(図示せず)が付設されており、吸引
ノズル3に作用する吸引圧力を調整するようになってい
る。すなわち、前述のごとくプリント配線基板Pに形成
されたスルホールTは、多数が不特定・不規則に点在・
分布しているので、吸引ノズル3がスルホールTを介し
洗浄液Hを吸引する吸引圧力つまりバキューム圧が、吸
引するスルホールTの大小,数,有無等にて大きく変動
してしまうことがないよう、この減圧弁が適宜開閉し、
洗浄液Hを別の配管(図示せず)へ逃がして再び循環さ
せるようになっている。なお、このように吸引圧力つま
りバキューム圧を一定にコントロールする減圧弁は、吸
引ノズル3に直接付設するようにしてもよい。
In the illustrated example, two such piston pumps 10 are provided. When one of the piston pumps 10 performs a suction movement, the other is set to perform a discharge movement. Therefore, the interaction causes the flow of the cleaning liquid H. The strength is reduced, that is, the wave of the suction pulse of the cleaning liquid H is reduced. Further, in such a suction mechanism 4, for example, the tank 11 or the pipes 12, 1
A pressure reducing valve (not shown) is attached to 3 and the like, and the suction pressure acting on the suction nozzle 3 is adjusted. That is, a large number of through holes T formed on the printed wiring board P as described above are scattered in an unspecified or irregular manner.
Since they are distributed, the suction pressure for sucking the cleaning liquid H through the through holes T, that is, the vacuum pressure, by the suction nozzles 3 does not greatly change depending on the size, number, presence or absence of the through holes T to be sucked. The pressure reducing valve opens and closes appropriately,
The cleaning liquid H is allowed to escape to another pipe (not shown) and is circulated again. In addition, the pressure reducing valve for controlling the suction pressure, that is, the vacuum pressure to be constant as described above may be directly attached to the suction nozzle 3.

【0018】次に、吸引ノズル3について詳述する。図
1は、本発明の実施例の要部の平面図であり、(1)図
はその1例を、(2)図は他の例を示す。図2は、その
コマ部材N等を示し、(1)図は正面図、(2)図は平
面図である。まず、図1の(1)図に示した吸引ノズル
3は、プリント配線基板Pの搬送方向Yおよびこれと直
角の横幅方向Xに、それぞれ間隔を存し分散して直線的
に配列された、複数のスリット状開口部Fが形成されて
なり、このスリット状開口部Fは全体で、プリント配線
基板Pの横幅をカバーする長さを有している。この図示
例のスリット状開口部Fは、横幅方向Xに沿い2列に配
され、一方の列の間隔部分に他方が配される関係で配列
されているが、このような図示例によらず、3列等多列
に配してもよく、又、間隔の設定もその他各種可能であ
る。他方、図1の(2)図に示した吸引ノズル3は、プ
リント配線基板Pの搬送方向Yと直角の横幅方向Xに対
し、若干傾斜して配列されたスリット状開口部Fが形成
され、このようなスリット状開口部Fが、プリント配線
基板Pの横幅をカバーする長さを有している。図示例の
スリット状開口部Fは、直線状の1本のものが傾斜配列
されているが、このような図示例によらず、傾斜したも
のを多列に配し各々間隔を存し不連続的に配するように
してもよい。
Next, the suction nozzle 3 will be described in detail. FIG. 1 is a plan view of an essential part of an embodiment of the present invention, FIG. 1 (1) shows one example thereof, and FIG. 2 (2) shows another example. FIG. 2 shows the top member N and the like, FIG. 1 (1) is a front view, and FIG. 2 (2) is a plan view. First, the suction nozzles 3 shown in FIG. 1 (1) are linearly arrayed at intervals in the transport direction Y of the printed wiring board P and the lateral width direction X perpendicular to the transport direction Y, A plurality of slit-shaped openings F are formed, and the slit-shaped openings F have a length that covers the lateral width of the printed wiring board P as a whole. The slit-shaped openings F in this illustrated example are arranged in two rows along the lateral width direction X, and the other is arranged in the interval portion of one row, but not according to such an illustrated example. It may be arranged in multiple rows such as three rows, and the spacing can be set in various other ways. On the other hand, in the suction nozzle 3 shown in FIG. 1 (2), slit-shaped openings F are formed which are arranged slightly inclined with respect to the lateral width direction X which is perpendicular to the transport direction Y of the printed wiring board P, Such a slit-shaped opening F has a length that covers the lateral width of the printed wiring board P. The slit-shaped openings F in the illustrated example are linearly arranged in a slanting arrangement, but, regardless of such an illustrated example, the slanted openings are arranged in multiple rows and are spaced apart and discontinuous. It may be arranged as a target.

【0019】次に、図2のコマ部材Nについて述べてお
く。図2に示したごとく、スリット状開口部Fには対向
してその配列方向に沿いコマ部材Nの集合体が配され、
各コマ部材Nは、それぞれ軸つまりシャフト18に取り
付けられ搬送方向Yに沿い回動可能であり、常時は、す
べてが下降してその端部でスリット状開口部Fを封止つ
まり閉鎖しており、他方、プリント配線基板Pが対応す
るスリット状開口部F上を搬送されている間は、これに
て例えば持ち上げられて変位する等により端部が離反
し、もって、対応するスリット状開口部Fを開放するよ
うになっている。図2に示したコマ部材Nは、図1の
(1)図のスリット状開口部F上に配されたものであ
り、各スリット状開口部F上にそれぞれ、互いに密接し
たコマ部材Nの集合体が配されると共に、この各ブロッ
クのコマ部材Nが、横幅方向Xに配された1本のシャフ
ト18に枢着されている。そこで図示のごとく、搬送方
向Yの前列のコマ部材Nは、後列のコマ部材Nに比し、
搬送方向Yに沿った長さが短く形成されている。
Next, the top member N of FIG. 2 will be described. As shown in FIG. 2, the slit-shaped openings F are arranged so as to face each other along the arrangement direction of the aggregate of the top members N.
Each top member N is attached to a shaft or shaft 18, respectively, and is rotatable along the transport direction Y. At all times, all of the top members N descend to seal or close the slit-shaped opening F at their ends. On the other hand, while the printed wiring board P is being transported on the corresponding slit-shaped opening F, the ends thereof are separated due to, for example, being lifted and displaced thereby, so that the corresponding slit-shaped opening F is formed. Is open. The top member N shown in FIG. 2 is arranged on the slit-shaped opening F in FIG. 1 (1), and a set of top members N closely contacting each other on each slit-shaped opening F. The body is arranged, and the top member N of each block is pivotally attached to one shaft 18 arranged in the lateral width direction X. Therefore, as shown in the drawing, the top row member N in the transport direction Y is
The length along the transport direction Y is formed to be short.

【0020】なお第1に、図1の(2)図のスリット状
開口部F上にコマ部材Nが配される場合は、コマ部材N
も勿論所定のごとく直線的に傾斜して配され、プリント
配線基板Pが搬送されて来ると前側から順に開放されて
行き、かつ、前側から順に閉鎖されて行く。第2に、又
この各コマ部材Nは、各種の横幅サイズのものが存する
プリント配線基板Pに対応して、スリット状開口部Fの
全体的な両端部の長さを調節する調節機構としても機能
し、通過するプリント配線基板Pの横幅サイズに見合っ
たスリット状開口部Fのみが開放され、この横幅サイズ
より外側のスリット状開口部Fは、閉鎖されたままとな
る。第3に、図2のコマ部材Nは、搬送されるプリント
配線基板Pの下側に吸引ノズル3そしてスリット状開口
部Fが設けられているので、これに対し上側から対向し
て配されている。しかしこのような図示例によらず、搬
送されるプリント配線基板Pの上側に吸引ノズル3そし
てスリット状開口部Fが設けられている場合には、コマ
部材Nは、これに対し下側から対向して配されることに
なる。この後者の場合において、コマ部材Nは、プリン
ト配線基板Pがスリット状開口部F下を搬送されると、
これにて回動変位せしめられ、そのスリット状開口部F
下から離反するようになる。
First, when the top member N is arranged on the slit-shaped opening F in FIG. 1 (2), the top member N
As a matter of course, the printed wiring boards P are linearly inclined and arranged in a predetermined manner, and when the printed wiring board P is conveyed, the printed wiring boards P are sequentially opened from the front side and are sequentially closed from the front side. Secondly, each top member N also serves as an adjusting mechanism for adjusting the overall lengths of both ends of the slit-shaped opening F in correspondence with the printed wiring board P having various widths. Only the slit-shaped openings F that function and pass the width of the printed wiring board P passing through are opened, and the slit-shaped openings F outside the width are left closed. Thirdly, since the suction member 3 and the slit-shaped opening F are provided on the lower side of the printed wiring board P to be conveyed, the top member N of FIG. There is. However, irrespective of such an illustrated example, when the suction nozzle 3 and the slit-shaped opening F are provided on the upper side of the printed wiring board P to be conveyed, the top member N opposes this against the lower side. Will be distributed. In the latter case, when the printed wiring board P is transported under the slit-shaped opening F, the top member N is
With this, it is pivotally displaced, and its slit-shaped opening F
It comes to separate from the bottom.

【0021】本発明は、以上説明したように構成されて
いる。そこで以下のようになる。この洗浄装置では、プ
リント配線基板Pは、液槽1中で洗浄液Hに浸漬されつ
つ、上下のローラーコンベヤ2群に挟み込まれて搬送さ
れる。そして、このように搬送されるプリント配線基板
Pは、ローラーコンベヤ2群間に配され、その全幅にわ
たり対向位置する吸引ノズル3のスリット状開口部Fを
通過し、吸引ノズル3のスリット状開口部Fは、その吸
引機構4の吸引圧力に基づき、プリント配線基板Pのス
ルホールTを介し液槽1中の洗浄液Hを吸引する。つま
り吸引機構4のモータ8の駆動により、2台のピストン
ポンプ10が吸引運動と吐出運動を交互に行い、液槽1
中の洗浄液Hが、スルホールT,吸引ノズル3のスリッ
ト状開口部F,配管12,タンク11,配管13,逆止
弁14,ピストンポンプ10,逆止弁15,フィルター
16等を介し、再び液槽1へと循環する。
The present invention is constructed as described above. Then it becomes as follows. In this cleaning apparatus, the printed wiring board P is conveyed while being immersed in the cleaning liquid H in the liquid tank 1 while being sandwiched between the upper and lower roller conveyors 2. The printed wiring board P conveyed in this way is arranged between the two groups of roller conveyors 2 and passes through the slit-shaped openings F of the suction nozzles 3 facing each other over the entire width thereof, so that the slit-shaped openings of the suction nozzles 3 are formed. Based on the suction pressure of the suction mechanism 4, F sucks the cleaning liquid H in the liquid tank 1 through the through hole T of the printed wiring board P. That is, by driving the motor 8 of the suction mechanism 4, the two piston pumps 10 alternately perform the suction motion and the discharge motion, and the liquid tank 1
The cleaning liquid H in the liquid again passes through the through hole T, the slit-shaped opening F of the suction nozzle 3, the pipe 12, the tank 11, the pipe 13, the check valve 14, the piston pump 10, the check valve 15, the filter 16 and the like, and is again liquid. Circulate to tank 1.

【0022】さてそこで第1に、プリント配線基板Pの
スルホールTは、極めて小径であり、しかも多数が不規
則に点在し形状も細長いが、このように液槽1の洗浄液
H中を搬送されつつ、その一面側に対向する吸引ノズル
3のスリット状開口部Fにて直接的に吸引され、もっ
て、すべてのスルホールTに対し強力に吸引圧力つまり
バキューム圧が作用する。従って、このような吸引圧力
により、洗浄液HがすべてのスルホールTを通過し、極
度に穴が細い場合でもプリント配線基板Pの表面ではじ
かれるようなこともなく、吸引ノズル3のスリット状開
口部Fに吸引される。このようにして、すべてのスルホ
ールT内は十分かつ確実に洗浄され、スルホールTか
ら、前工程で発生したドリルのばり・切削くず・切り
粉,更にレジストの付着物,酸化箇所,銅箔の汚れ,内
壁に付着したその他の異物、等々が完全に洗浄除去され
る。
Then, first, the through holes T of the printed wiring board P have an extremely small diameter, and many are irregularly scattered and have a long and slender shape. However, the through holes T are conveyed in the cleaning liquid H in the liquid tank 1 in this way. At the same time, it is directly sucked by the slit-shaped opening F of the suction nozzle 3 facing the one surface side, so that the suction pressure, that is, the vacuum pressure is strongly applied to all the through holes T. Therefore, due to such suction pressure, the cleaning liquid H passes through all the through holes T and is not repelled by the surface of the printed wiring board P even when the holes are extremely thin, and the slit-shaped opening of the suction nozzle 3 is provided. F is sucked. In this way, all of the through holes T are thoroughly and surely cleaned, and from the through holes T, the burrs, cutting chips, and chips of the drill generated in the previous process, as well as the resist deposits, oxidation points, and copper foil stains. , Other foreign substances attached to the inner wall are completely cleaned and removed.

【0023】これと共に第2に、吸引ノズル3のスリッ
ト状開口部Fが、図1の(1)図のものでは、搬送方向
Yと横幅方向Xとにそれぞれ分散配列されており、図1
の(2)のものでは、横幅方向Xから搬送方向Yに傾斜
配列されている。そこで、通過するプリント配線基板P
に対する吸引圧力が、搬送方向Yおよび横幅方向Xにお
いて分散され、もって、プリント配線基板Pの先端が一
度に集中して吸引され大きな抵抗を受けるようなことは
なくなり、プリント配線基板Pは、先端から徐々に吸引
され、少しずつその搬送が妨げられない程度の抵抗を受
ける。例えば図1の(1)図のものでは、従来の抵抗が
約2分割されて作用するようになる。従ってプリント配
線基板Pは、肉厚が薄くフレキシブルではあるが、損
傷,折曲等が発生せず、スムーズに搬送される。なお第
3に、このようなプリント配線基板Pの吸引ノズル3に
よる吸引は、図2に示したように、各コマ部材Nをスリ
ット状開口部F上にそれぞれ配し、これを開閉する方式
にて行われている。つまり、あるコマ部材Nのグループ
が、搬送され通過するプリント配線基板Pで押し上げら
れている間、対応するスリット状開口部Fのみが開放さ
れ、もって、プリント配線基板PのスルホールTが、常
に所定の吸引圧力にて吸引,洗浄されるようになってい
る。
Along with this, secondly, the slit-shaped openings F of the suction nozzles 3 in FIG. 1 (1) are distributed and arrayed in the carrying direction Y and the lateral width direction X, respectively.
In the case of (2), the slanting arrangement is performed from the lateral width direction X to the transport direction Y. Therefore, the printed wiring board P passing through
The suction pressure with respect to is distributed in the transport direction Y and the lateral width direction X, so that the leading end of the printed wiring board P is not concentrated and sucked at one time and receives a large resistance. It is gradually sucked, and receives a resistance that does not hinder its transportation little by little. For example, in the case of FIG. 1 (1), the conventional resistance is divided into about 2 parts to operate. Therefore, although the printed wiring board P is thin and flexible, it is smoothly transported without being damaged or bent. Thirdly, as shown in FIG. 2, the suction of the printed wiring board P by the suction nozzle 3 is performed by arranging each top member N on the slit-shaped opening F and opening and closing it. Is being done. In other words, while a certain group of top members N is being pushed up by the printed wiring board P that is being conveyed and passed, only the corresponding slit-shaped opening F is opened, so that the through hole T of the printed wiring board P is always at a predetermined value. Suction pressure is used for cleaning.

【0024】[0024]

【発明の効果】本発明に係る洗浄装置は以上説明したご
とく、液槽の洗浄液中に搬送されるプリント配線基板に
対向位置する吸引ノズルを設け、洗浄液をプリント配線
基板のスルホールを介し吸引可能とすると共に、そのス
リット状開口部を請求項1では所定のごとく分散配列
し、請求項2では所定のごとく傾斜配列し、更に、請求
項3ではこれらにコマ部材を所定のごとく配してなるこ
とにより、次の効果を発揮する。
As described above, the cleaning apparatus according to the present invention is provided with the suction nozzle opposed to the printed wiring board conveyed in the cleaning liquid in the liquid tank, and the cleaning liquid can be sucked through the through hole of the printed wiring board. In addition, the slit-shaped openings are distributed in a predetermined manner in Claim 1, are inclined in a predetermined manner in Claim 2, and the top members are arranged in a predetermined manner in Claim 3. The following effects are exhibited.

【0025】すなわち第1に、プリント配線基板のスル
ホール内が十分かつ確実に洗浄されるようになる。つま
りスルホールから、ドリルのばり・切削くず・切り粉,
レジストの付着物,酸化箇所,銅箔の汚れ,内壁に付着
したその他の異物、等々が完全に洗浄除去され、もっ
て、事後のスルホールめっきや部品挿着用のはんだ付け
等が、パーフェクトに不良なく実現される。これと共に
第2に、吸引圧力が分散されプリント配線基板はスムー
ズに搬送される。つまりプリント配線基板は、損傷する
ことがなく、又、搬送が妨げられ吸引されて停止し先端
から折曲されて重なり合うようなことがなく、搬送も洗
浄もスムーズに行われ、各種不良の発生が回避される。
これらにより、高密度化,小型軽量化,高多層化が進
み、回路の微細化・細密化が進むプリント配線基板につ
いて、品質が安定し信頼性が著しく向上するようにな
る。このように、この種従来例に存した問題点が一掃さ
れる等、本発明の発揮する効果は顕著にして大なるもの
がある。
That is, first, the inside of the through hole of the printed wiring board is sufficiently and surely cleaned. In other words, from through holes, drill burrs, cutting waste, chips,
Completely cleans and removes resist deposits, oxidization spots, stains on copper foil, other foreign substances adhering to the inner wall, etc., so that after-hole through-hole plating and soldering for component mounting can be achieved without any defects. To be done. Secondly, the suction pressure is dispersed and the printed wiring board is smoothly transported. In other words, the printed wiring board will not be damaged, will not be interrupted by conveyance and will not be stopped by suction, and will not be bent and overlapped from the tip, so that conveyance and cleaning will be performed smoothly and various defects will occur. Avoided.
As a result, high density, small size, light weight, high number of layers are advanced, and the quality and stability of a printed wiring board in which circuits are becoming finer and finer are significantly improved. As described above, the effects of the present invention are remarkably large, such as the problems existing in this type of conventional example are eliminated.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る洗浄装置の実施例の要部の平面図
であり、(1)図は請求項1に関するもの、(2)図は
請求項2に関するものを示す。
1A and 1B are plan views of a main part of an embodiment of a cleaning apparatus according to the present invention, wherein FIG. 1A shows a claim 1 and FIG. 2B shows a claim 2;

【図2】そのコマ部材等を示し、(1)図は正面図、
(2)図は平面図である。
FIG. 2 shows the top member and the like, (1) is a front view,
(2) The figure is a plan view.

【図3】この種従来例の吸引ノズル等を示し、(1)図
はその要部の平面図、(2)図はその要部の正面説明図
である。
3A and 3B show a suction nozzle and the like of this type of conventional example, FIG. 1A is a plan view of an essential part thereof, and FIG. 3B is a front explanatory view of the essential part thereof.

【図4】この種従来例のコマ部材等を示し、(1)図は
正面図、(2)図は側面図である。
FIG. 4 shows a top member and the like of this type of conventional example, FIG. 1 (1) is a front view, and FIG. 4 (2) is a side view.

【図5】この種洗浄装置の全体的な正面説明図である。FIG. 5 is an overall front view of this type of cleaning device.

【図6】同側面説明図である。FIG. 6 is an explanatory view of the same side.

【図7】プリント配線基板の拡大した正断面図である。FIG. 7 is an enlarged front sectional view of a printed wiring board.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 液槽 2 ローラーコンベヤ 3 吸引ノズル 4 吸引機構 5 装置本体 6 モータ 7 伝達部 8 モータ 9 クランク部 10 ピストンポンプ 11 タンク 12 配管 13 配管 14 逆止弁 15 逆止弁 16 フィルター 17 架台 18 シャフト E スリット状開口部(従来例) F スリット状開口部(本発明) H 洗浄液 M コマ部材(従来例) N コマ部材(本発明) P プリント配線基板 T スルホール Y 搬送方向 X 横幅方向 1 Liquid Tank 2 Roller Conveyor 3 Suction Nozzle 4 Suction Mechanism 5 Device Main Body 6 Motor 7 Transmission Section 8 Motor 9 Crank Section 10 Piston Pump 11 Tank 12 Piping 13 Piping 14 Check Valve 15 Check Valve 16 Filter 17 Frame 18 Shaft E Slit -Shaped opening (conventional example) F slit-shaped opening (present invention) H cleaning liquid M coma member (conventional example) N coma member (present invention) P printed wiring board T through hole Y transport direction X lateral width direction

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 プリント配線基板の製造工程において用
いられ、該プリント配線基板の両面間に多数設けられた
小径のスルホールを洗浄する洗浄装置であって、 該プリント配線基板が浸漬される洗浄液の液槽と、該液
槽の洗浄液中に配され該プリント配線基板を挟み込んで
送る上下のローラーコンベヤ群と、該液槽の洗浄液中で
該ローラーコンベヤ群間に配された吸引ノズルと、該吸
引ノズルに連結された吸引機構と、を有してなり、該吸
引ノズルは搬送される該プリント配線基板に対向位置
し、上記吸引機構の吸引圧力に基づき、該液槽中の洗浄
液を該プリント配線基板の上記スルホールを介し吸引可
能となっている洗浄装置において、 該吸引ノズルは、該プリント配線基板の搬送方向および
これと直角の横幅方向に、それぞれ間隔を存し分散して
配列された複数のスリット状開口部が形成されてなり、
全体で該プリント配線基板の横幅をカバーしているこ
と、を特徴とする洗浄装置。
1. A cleaning device used in a manufacturing process of a printed wiring board, for cleaning a large number of small-sized through holes provided on both sides of the printed wiring board, the cleaning liquid being a liquid for immersing the printed wiring board. Tank, upper and lower roller conveyor groups arranged in the cleaning liquid of the liquid tank and sandwiching and sending the printed wiring board, suction nozzles arranged between the roller conveyor groups in the cleaning liquid of the liquid tank, and the suction nozzle And a suction mechanism connected to the suction nozzle, the suction nozzle is positioned to face the printed wiring board being conveyed, and the cleaning liquid in the liquid tank is transferred to the printed wiring board based on the suction pressure of the suction mechanism. In the cleaning device capable of sucking through the through hole, the suction nozzles are spaced from each other in the conveying direction of the printed wiring board and in the lateral width direction at right angles thereto. Distributed plurality of slit-like openings which are arranged becomes formed,
A cleaning device, which covers the width of the printed wiring board as a whole.
【請求項2】 上述した洗浄装置において、該吸引ノズ
ルは、該プリント配線基板の搬送方向と直角の横幅方向
に対し傾斜して配列されたスリット状開口部が形成さ
れ、該プリント配線基板の横幅をカバーしていること、
を特徴とする洗浄装置。
2. In the above-mentioned cleaning device, the suction nozzle is provided with slit-shaped openings arranged obliquely with respect to a lateral width direction perpendicular to the conveying direction of the printed wiring board, and the lateral width of the printed wiring board. That it covers
Cleaning device characterized by.
【請求項3】 上記スリット状開口部には、対向してそ
の配列方向に沿いコマ部材の集合体が配され、該各コマ
部材は、軸に取り付けられ上記搬送方向に沿い回動可能
であり、常時は、すべてが上記スリット状開口部を閉鎖
しており、他方、該プリント配線基板が対応する上記ス
リット状開口部を搬送されている間は、これにて変位せ
しめられ対応する上記スリット状開口部を開放するこ
と、を特徴とする請求項1又は請求項2記載の洗浄装
置。
3. The slit-shaped opening is provided with an assembly of top members facing each other along the arrangement direction, each top member being attached to a shaft and rotatable along the transport direction. , All of which normally closes the slit-shaped openings, while on the other hand, while the printed wiring board is conveyed through the corresponding slit-shaped openings, it is displaced by the corresponding slit-shaped openings. The cleaning device according to claim 1 or 2, wherein the opening is opened.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2011235259A (en) * 2010-05-13 2011-11-24 Sawa Corporation Device for removing adhered substance
US8568535B2 (en) * 2007-07-06 2013-10-29 Micron Technology, Inc. Systems and methods for exposing semiconductor workpieces to vapors for through-hole cleaning and/or other processes

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0354887A (en) * 1989-07-24 1991-03-08 Canon Inc Microhole processing method and device for printed circuit board

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0354887A (en) * 1989-07-24 1991-03-08 Canon Inc Microhole processing method and device for printed circuit board

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8568535B2 (en) * 2007-07-06 2013-10-29 Micron Technology, Inc. Systems and methods for exposing semiconductor workpieces to vapors for through-hole cleaning and/or other processes
JP2011235259A (en) * 2010-05-13 2011-11-24 Sawa Corporation Device for removing adhered substance

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