JPH05167148A - Gas laser oscillator - Google Patents
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- JPH05167148A JPH05167148A JP32751591A JP32751591A JPH05167148A JP H05167148 A JPH05167148 A JP H05167148A JP 32751591 A JP32751591 A JP 32751591A JP 32751591 A JP32751591 A JP 32751591A JP H05167148 A JPH05167148 A JP H05167148A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、密閉容器と一体的に設けられた反
射鏡の調整を容易に行えるようにしたガスレ−ザ発振装
置を提供することを目的とする。
【構成】ガスレ−ザ媒質が充填される密閉容器２１と、
この密閉容器２１の軸方向一端側と他端側とにそれぞれ
反射面を対向させて設けられた光共振器を形成する出力
反射鏡２３および高反射鏡２４と、この高反射鏡２４を
位置決め調整自在に支持した第１、第２のベロ−ズ２
５、２９と、これらベロ−ズ２５、２９によって支持さ
れた高反射鏡２４を位置決め調整するナット３５と、上
記高反射鏡２４の反射面と反対面側に形成された空間部
２９ａと、この空間部２９ａと上記密閉容器２１内とを
連通する通孔３３とを具備したことを特徴とする。
(57) [Summary] [Object] An object of the present invention is to provide a gas laser oscillating device capable of easily adjusting a reflecting mirror provided integrally with a closed container. [Structure] A closed container 21 filled with a gas laser medium,
An output reflecting mirror 23 and a high reflecting mirror 24, which form an optical resonator provided with reflecting surfaces facing the one end side and the other end side in the axial direction of the hermetically sealed container 21, and positioning adjustment of the high reflecting mirror 24. Freely supported first and second bellows 2
5, 29, a nut 35 for positioning and adjusting the high reflection mirror 24 supported by the bellows 25, 29, a space portion 29a formed on the side opposite to the reflection surface of the high reflection mirror 24, It is characterized in that it is provided with a through hole 33 that communicates the space portion 29a with the inside of the closed container 21.
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は光共振器を形成する出
力反射鏡と高反射鏡とがガスレ−ザ媒質が充填される密
閉容器と一体的に設けられる内部鏡型のガスレ−ザ発振
装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an internal mirror type gas laser oscillating device in which an output reflecting mirror forming an optical resonator and a high reflecting mirror are provided integrally with a closed container filled with a gas laser medium. Regarding
【０００２】[0002]
【従来の技術】Ｆ2 レ−ザ、エキシマレ−ザあるいはＴ
ＥＡＭＣＯ2 レ−ザなどのようにガスレ−ザ媒質を大気
圧よりも高い圧力で密閉容器内に充填して使用するガス
レ−ザ発振装置においては、光共振器を密閉容器と一体
的に設ける、いわゆる内部鏡型としたものがある。 2. Description of the Related Art F 2 laser, excimer laser or T
In a gas laser oscillating device, such as an EAMCO 2 laser, in which a gas laser medium is filled in a closed container at a pressure higher than atmospheric pressure and used, an optical resonator is provided integrally with the closed container. There is a so-called internal mirror type.
【０００３】図５は内部鏡型のガスレ−ザ発振装置にお
ける、出力反射鏡とで光共振器を形成する高反射鏡の取
付け構造を示す。すなわち、同図中１はガスレ−ザ媒質
が充填される密閉容器である。この密閉容器１の軸方向
一端側の端部壁１ａには開孔２が形成されている。FIG. 5 shows a mounting structure of a high reflection mirror which forms an optical resonator with an output reflection mirror in an internal mirror type gas laser oscillator. That is, reference numeral 1 in the figure is a closed container filled with a gas laser medium. An opening 2 is formed in the end wall 1a of the closed container 1 on the one end side in the axial direction.
【０００４】上記端部壁１ａの外面にはベロ−ズ３の一
端が気密に取着されている。このベロ−ズ３の他端には
透過孔４が穿設された保持板５の一側面が同じく気密に
取着されている。この保持板５の他側面側には上記透過
孔４を気密に閉塞した高反射鏡６がその反射面６ａを上
記密閉容器１側に向けて設けられている。この高反射鏡
６の反射面６ａと反対側の面には押えフランジ７が接合
され、この押えフランジ７は上記保持板５にねじ８によ
って固定されている。One end of a bellows 3 is airtightly attached to the outer surface of the end wall 1a. At the other end of the bellows 3, one side surface of a holding plate 5 having a through hole 4 is similarly airtightly attached. On the other side of the holding plate 5, a high-reflecting mirror 6 that hermetically closes the transmission hole 4 is provided with its reflecting surface 6a facing the closed container 1. A pressing flange 7 is joined to the surface of the high reflecting mirror 6 opposite to the reflecting surface 6a, and the pressing flange 7 is fixed to the holding plate 5 with a screw 8.
【０００５】上記端部壁１ａの外面の上記ベロ−ズ３の
周囲には複数のねじ軸９が立設されている。このねじ軸
９の中途部は上記保持板５に形成された通孔１１に挿通
されている。各ねじ軸９には、上記保持板５の両側面に
接合する一対のナット１０がそれぞれ螺合されている。
なお、図示しないがこのような取付け構造は、上記高反
射鏡６とで光共振器を形成する出力反射鏡にも適用する
ことができる。A plurality of screw shafts 9 are provided upright on the outer surface of the end wall 1a around the bellows 3. The middle part of the screw shaft 9 is inserted into a through hole 11 formed in the holding plate 5. A pair of nuts 10 joined to both side surfaces of the holding plate 5 are screwed into the screw shafts 9, respectively.
Although not shown, such a mounting structure can also be applied to an output reflecting mirror that forms an optical resonator with the high reflecting mirror 6.
【０００６】このような構成において、上記ナット１０
を緩めて保持板５をねじ軸９に沿って移動させれば、上
記保持板５に保持された高反射鏡６と図示しない出力鏡
との間隔である光共振器長を調整することができ、また
各ねじ軸９のナット１０を異なる量で回転させれば、上
記高反射鏡６の密閉容器１の軸線に対する傾きを調整す
ることができるようになっている。In such a structure, the nut 10
By loosening and moving the holding plate 5 along the screw shaft 9, the optical resonator length, which is the distance between the high reflection mirror 6 held by the holding plate 5 and the output mirror (not shown), can be adjusted. Further, if the nuts 10 of the screw shafts 9 are rotated by different amounts, the inclination of the high reflection mirror 6 with respect to the axis of the closed container 1 can be adjusted.
【０００７】ところで、このような高反射鏡６の取付け
構造によると、密閉容器１に充填されるガスレ−ザ媒質
の圧力が上記高反射鏡６の反射面６ａに加わる。そのた
め、高反射鏡６を軸方向に移動させて光共振器長を変え
たり、高反射鏡６の傾きを変えるなどのアライメントを
する際、この高反射鏡６の反射面６ａに加わる圧力に抗
してナット１０を締め付け操作しなければならないこと
がある。その場合、非常に大きな操作力が必要となるか
ら、操作性が悪いばかりか、微調整がしずらいなどのこ
とがある。By the way, according to such a mounting structure of the high-reflecting mirror 6, the pressure of the gas laser medium filled in the closed container 1 is applied to the reflecting surface 6a of the high-reflecting mirror 6. Therefore, when performing alignment such as moving the high-reflecting mirror 6 in the axial direction to change the optical resonator length or changing the inclination of the high-reflecting mirror 6, the pressure applied to the reflecting surface 6a of the high-reflecting mirror 6 is resisted. Then, the nut 10 may have to be tightened. In that case, a very large operating force is required, so that not only the operability is poor, but also fine adjustment may be difficult.
【０００８】また、高反射鏡６の反射面６ａと、その反
対面とに加わる圧力は常に異なる。たとえば、動作中に
おいては、高反射鏡６の反射面６には、その反対面より
も高い圧力が加わる。また、密閉容器１に充填されたガ
スレ−ザ媒質を交換するため、ガスレ−ザ媒質を真空ポ
ンプによって排気する場合には反射面６ａに、その反対
面よりも低い圧力が加わる。このように、高反射鏡６の
反射面６ａと反対面とに加わる圧力が動作時とガスレ−
ザ媒質の交換時とで交互に異なると、この高反射鏡６の
アライメントにずれが生じるということもある。Further, the pressure applied to the reflecting surface 6a of the high reflecting mirror 6 and the opposite surface are always different. For example, during operation, the reflecting surface 6 of the high-reflecting mirror 6 is subjected to a higher pressure than the opposite surface. Further, since the gas laser medium filled in the closed container 1 is replaced, when the gas laser medium is evacuated by the vacuum pump, a pressure lower than that on the opposite surface is applied to the reflecting surface 6a. In this way, the pressure applied to the reflection surface 6a of the high-reflecting mirror 6 and the opposite surface thereof is different from that at the time of operation and gas
If the medium is changed at the time of replacement, the alignment of the high-reflecting mirror 6 may be misaligned.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】このように、従来は光
共振器を形成する反射鏡の反射面にだけ気密容器に充填
されたガスレ−ザ媒質の圧力が加わるため、その反射鏡
をアライメントするためには大きな操作力が必要となる
ので、操作性が悪いばかりか、微調整がしずらく、さら
には反射鏡の反射面とその反対側の面とに加わる圧力が
動作時とガスレ−ザ媒質の交換時とで交互に異なると、
上記反射鏡のアライメントにずれが生じるということも
ある。As described above, since the pressure of the gas laser medium filled in the hermetic container is applied only to the reflecting surface of the reflecting mirror forming the optical resonator in the related art, the reflecting mirror is aligned. Therefore, not only is the operability poor, but it is difficult to make fine adjustments.Moreover, the pressure applied to the reflecting surface of the reflecting mirror and the surface on the opposite side of the reflecting mirror during operation and the gas laser If it is different when the medium is replaced,
Misalignment may occur in the alignment of the reflecting mirror.
【００１０】この発明は上記事情にもとづきなされたも
ので、その目的とするところは、反射鏡の反射面とその
反対側の面とに加わる圧力が同じになるようにして、ア
ライメントの調整がし易く、しかもアライメントにずれ
が生じることがないようにしたガスレ−ザ発振装置を提
供することにある。The present invention has been made in view of the above circumstances. An object of the present invention is to adjust the alignment by making the pressure applied to the reflecting surface of the reflecting mirror and the opposite surface thereof equal to each other. It is an object of the present invention to provide a gas laser oscillating device that is easy and does not cause misalignment.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明は、ガスレ−ザ媒質が充填される密閉容器
と、この密閉容器の軸方向一端側と他端側とにそれぞれ
反射面を対向させて設けられた光共振器を形成する出力
反射鏡および高反射鏡と、これら出力反射鏡と高反射鏡
との少なくとも一方の反射鏡を変位自在に支持した支持
手段と、この支持手段によって支持された反射鏡を位置
決め調整する調整手段と、上記支持手段によって支持さ
れた反射鏡の反射面の反対面側に形成された同圧室と、
この同圧室内と上記密閉容器内とを連通する連通部とを
具備したことを特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the present invention relates to a hermetically sealed container filled with a gas laser medium and reflecting surfaces on one end side and the other end side in the axial direction of the hermetically sealed container. An output reflecting mirror and a high reflecting mirror which are provided to face each other and form an optical resonator, a supporting means for movably supporting at least one of the output reflecting mirror and the high reflecting mirror, and the supporting means. Adjusting means for positioning and adjusting the supported reflecting mirror, and the same pressure chamber formed on the opposite surface side of the reflecting surface of the reflecting mirror supported by the supporting means,
The present invention is characterized in that it is provided with a communication portion that communicates the same pressure chamber and the closed container.
【００１２】[0012]
【作用】上記構成によれば、連通部によって密閉容器内
の圧力と同圧室内の圧力とが同じになり、反射鏡の反射
面とその反対側の面とに加わる圧力も同じになるから、
上記反射鏡のアライメントを軽い力で容易に行うことが
でき、しかもアライメントされた反射鏡がずれることが
ない。According to the above construction, the pressure in the hermetic container and the pressure in the same pressure chamber are the same due to the communicating portion, and the pressure applied to the reflecting surface of the reflecting mirror and the surface on the opposite side are also the same.
The alignment of the reflecting mirror can be easily performed with a light force, and the aligned reflecting mirror is not displaced.
【００１３】[0013]
【実施例】以下、この発明を図面を参照して説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１４】図１と図２はこの発明の第１の実施例を示
し、図中２１は内部にガスレ−ザ媒質が大気圧よりも高
い圧力で充填される気密容器である。この気密容器２１
の軸方向一端側と他端側との端部壁２１ａにはそれぞれ
開孔２２が形成されている。一方の開孔２２は出力反射
鏡２３によって気密に閉塞され、他方の開孔２２には上
記出力反射鏡２３とで光共振器を形成する高反射鏡２４
が後述するごとく設けられている。上記気密容器２１内
で発生したレ−ザ光Ｌは上記光共振器で増幅され、上記
出力反射鏡２３から発振されるようになっている。1 and 2 show a first embodiment of the present invention, in which reference numeral 21 denotes an airtight container in which a gas laser medium is filled at a pressure higher than atmospheric pressure. This airtight container 21
Openings 22 are formed in the end wall 21a at one end side and the other end side in the axial direction, respectively. One opening 22 is hermetically closed by an output reflecting mirror 23, and the other opening 22 is a high reflecting mirror 24 that forms an optical resonator with the output reflecting mirror 23.
Is provided as described below. The laser light L generated in the airtight container 21 is amplified by the optical resonator and oscillated from the output reflecting mirror 23.
【００１５】図１に上記高反射鏡２４の取付け構造を示
す。すなわち、気密容器２１の端部壁２１ａの外面に
は、第１のベロ−ズ２５の一端が上記外面に気密に接合
固定されている。この第１のベロ−ズ２５の内部空間部
２５ａに上記気密容器２１の内部空間が上記開孔２２を
介して連通している。FIG. 1 shows a mounting structure of the high reflection mirror 24. That is, one end of the first bellows 25 is airtightly joined and fixed to the outer surface of the end wall 21a of the airtight container 21. The internal space of the airtight container 21 communicates with the internal space 25a of the first bellows 25 through the opening 22.
【００１６】上記第１のベロ−ズ２５の他端は、このベ
ロ−ズ２５に比べて十分に大径な保持板２６の一方の側
面に気密に接合固定されている。この保持板２６には、
上記ベロ−ズ２５に比べて小径な透過孔２７が穿設され
ている。また、保持板２６の他側面には上記透過孔２７
を閉塞する上記高反射鏡２４がその反射面２４ａを気密
容器２１側に向て接合されている。この高反射鏡２４は
押えフランジ２８によって上記保持板２６に固定されて
いる。The other end of the first bellows 25 is hermetically bonded and fixed to one side surface of a holding plate 26 having a diameter sufficiently larger than that of the bellows 25. In this holding plate 26,
A transmission hole 27 having a smaller diameter than that of the bellows 25 is formed. The transmission hole 27 is formed on the other side surface of the holding plate 26.
The high-reflecting mirror 24 that closes the surface is bonded so that its reflecting surface 24a faces the airtight container 21 side. The high reflecting mirror 24 is fixed to the holding plate 26 by a pressing flange 28.
【００１７】上記保持板２６の他側面には第２のベロ−
ズ２９の一端が気密に接合固定されている。この第２の
ベロ−ズ２９の他端は閉塞板３１の一側面に気密に接合
固定されている。A second bellows is provided on the other side surface of the holding plate 26.
One end of the groove 29 is airtightly joined and fixed. The other end of the second bellows 29 is airtightly bonded and fixed to one side surface of the closing plate 31.
【００１８】上記気密容器２１の内部空間と連通する第
１のベロ−ズ２５の空間部２５ａと、上記高反射鏡２４
の反射面２４ａと反対側の面である裏面２４ｂ側に位置
する第２のベロ−ズ２９の空間部２９ａ（同圧室）と
は、上記保持板２６に穿設された複数の連通孔３２によ
って連通している。つまり、高反射鏡２４の反射面２４
ａ側と裏面２４ｂ側とには、ともに気密容器２１に収容
されたガスレ−ザ媒質の圧力が加わるようになってい
る。The space 25a of the first bellows 25 communicating with the internal space of the airtight container 21 and the high reflecting mirror 24.
The space portion 29a (same pressure chamber) of the second bellows 29 located on the side of the back surface 24b which is the surface opposite to the reflection surface 24a of the above is a plurality of communication holes 32 formed in the holding plate 26. Are in communication with each other. That is, the reflecting surface 24 of the high reflecting mirror 24
The pressure of the gas laser medium housed in the airtight container 21 is applied to both the a side and the back surface 24b side.
【００１９】上記保持板２６の周辺部には複数の通孔３
３が穿設されている。各通孔３３にはねじ軸３４が挿通
されている。このねじ軸３４の一端は上記気密容器２１
の端部壁２１ａに固着され、他端は上記閉塞板３１の周
辺部に固着されている。それによって、上記保持板２６
はねじ軸３４に沿って移動自在および通孔３３とねじ３
４との寸法差に応じた範囲で揺動自在となっている。A plurality of through holes 3 are provided around the holding plate 26.
3 is drilled. A screw shaft 34 is inserted through each through hole 33. One end of the screw shaft 34 has the airtight container 21.
Is fixed to the end wall 21a and the other end is fixed to the peripheral portion of the closing plate 31. Thereby, the holding plate 26
Is movable along the screw shaft 34 and the through hole 33 and the screw 3
It is swingable within a range according to the dimensional difference from the No. 4.
【００２０】各ねじ軸３４には上記保持板２６の両側面
に圧接する一対のナット３５が螺合されている。各一対
のナット３５を締付けることで、上記保持板２６はねじ
軸３４に固定されるとともに、一対のナット３５を緩め
ることで気密容器２１の軸方向に沿う位置決めや傾き調
整することができるようになっている。A pair of nuts 35, which come into pressure contact with both side surfaces of the holding plate 26, are screwed onto each screw shaft 34. By tightening each pair of nuts 35, the holding plate 26 is fixed to the screw shaft 34, and by loosening the pair of nuts 35, positioning and inclination adjustment of the airtight container 21 along the axial direction can be performed. Is becoming
【００２１】このように形成されたガスレ−ザ発振装置
においては、気密容器２１内にガスレ−ザ媒質を所定の
高圧力で充填すると、そのガスレ−ザ媒質は気密容器２
１の内部から第１のベロ−ズ２５内を通り、保持板２６
に穿設された連通孔３２から第２のベロ−ズ２９内にも
流入する。つまり、高反射鏡２４の反射面２４ａ側と裏
面２４ｂ側とは同じ圧力になる。In the gas laser oscillating device thus formed, when the gas laser medium is filled in the airtight container 21 at a predetermined high pressure, the gas laser medium is sealed by the airtight container 2.
1 through the inside of the first bellows 25 and the holding plate 26.
It also flows into the second bellows 29 from the communication hole 32 bored in the. That is, the same pressure is applied to the reflection surface 24a side and the back surface 24b side of the high reflection mirror 24.
【００２２】そのため、ねじ軸３４に螺合されたナット
３５を回して上記高反射鏡２４が保持された保持板２６
のアライメントを行う際、上記保持板２６を気密容器２
１の軸方向に沿って軽い操作力で進退させたり、傾きを
変えることができるから、そのアライメントを容易に、
しかも精度よく行うことができる。Therefore, the nut 35, which is screwed on the screw shaft 34, is rotated to hold the high reflection mirror 24.
When carrying out the alignment of the
It is possible to move it back and forth along the axial direction of 1 with a light operating force and change the tilt, so that alignment is easy.
Moreover, it can be performed accurately.
【００２３】一方、気密容器２１内のガスレ−ザ媒質を
交換するために、図示しない真空ポンプによって内部の
ガスレ−ザ媒質を排気する場合にも、上記高反射鏡２４
の反射面２４ａ側と裏面２４ｂ側とは連通孔３２によっ
て連通しているから、同じ圧力（負圧）になる。そのた
め、上記高反射鏡２４には位置ずれを招くような力が加
わることがないから、そのアライメント状態が損なわれ
るということがない。On the other hand, even when the internal gas laser medium is exhausted by a vacuum pump (not shown) in order to replace the gas laser medium in the airtight container 21, the high reflection mirror 24 is used.
Since the reflection surface 24a side and the back surface 24b side are communicated by the communication hole 32, the same pressure (negative pressure) is obtained. Therefore, a force that causes a positional shift is not applied to the high-reflecting mirror 24, so that the alignment state is not damaged.
【００２４】この第１の実施例の構造において、閉塞板
３１をレ−ザ光Ｌが透過する透光性の材料で形成すれ
ば、高反射鏡２４だけでなく、出力反射鏡２３の保持構
造にも適用することができる。つまり、高反射鏡２４と
出力反射鏡２３との両者を位置決め調整することができ
る。In the structure of the first embodiment, if the closing plate 31 is made of a translucent material that allows the laser light L to pass therethrough, not only the high reflecting mirror 24 but also the output reflecting mirror 23 holding structure. Can also be applied to. That is, it is possible to position and adjust both the high reflection mirror 24 and the output reflection mirror 23.
【００２５】図３はこの発明の第２の実施例を示す。こ
の実施例は保持板２６の一側面と他側面とにそれぞれ第
１のベロ−ズ２５と第２のベロ−ズ２９との一端が気密
に接合固定されているという点では上記第１の実施例と
同じであるが、上記保持板２６を位置決め調整する構成
が異なる。FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention. In this embodiment, one end of the first bellows 25 and the second bellows 29 are airtightly bonded and fixed to one side surface and the other side surface of the holding plate 26, respectively. Although the same as the example, the configuration for positioning and adjusting the holding plate 26 is different.
【００２６】すなわち、上記気密容器２１の端部壁２１
ａ外面には枠体４１が一体的に形成されている。この枠
体４１の壁部４１ａ内面には第２のベロ−ズ２９の他端
が気密に接合固定されている。上記壁部４１ａには複
数、たとえは周方向に１２０度間隔で３本の調整ねじ４
２が螺合されている。That is, the end wall 21 of the airtight container 21.
A frame 41 is integrally formed on the outer surface of a. The other end of the second bellows 29 is airtightly bonded and fixed to the inner surface of the wall 41a of the frame 41. The wall portion 41a has a plurality of adjusting screws 4, for example, three adjusting screws 4 at intervals of 120 degrees in the circumferential direction.
2 is screwed together.
【００２７】上記各調整ねじ４２は上記第１のベロ−ズ
２５を弾性的に圧縮し、上記第２のベロ−ズ２９を弾性
的に伸長させた状態で上記保持板２６の周辺部に当接し
ている。The adjusting screws 42 elastically compress the first bellows 25 and elastically extend the second bellows 29, and contact the peripheral portion of the holding plate 26. Touching.
【００２８】それによって、上記保持板２６は、各ベロ
−ズ２５、２９の復元力で調整ねじ４２の進退に連動さ
せることができるから、この保持板２６に設けられた高
反射鏡２４の反射面２４ａがなす光共振器長や傾きなど
の調整を、上記第１の実施例と同様、容易かつ精密に行
うことができる。As a result, the holding plate 26 can be interlocked with the forward / backward movement of the adjusting screw 42 by the restoring force of each of the bellows 25 and 29, so that the reflection of the high reflecting mirror 24 provided on the holding plate 26 can be reflected. The optical resonator length and tilt formed by the surface 24a can be adjusted easily and precisely as in the first embodiment.
【００２９】この実施例において、枠体４１の壁部４１
ａをレ−ザ光Ｌが透過する透光性の材料で形成すれば、
高反射鏡２４だけでなく、出力反射鏡２３の保持構造と
しても適用することができる。In this embodiment, the wall portion 41 of the frame body 41
If a is formed of a translucent material through which the laser light L is transmitted,
Not only the high reflecting mirror 24 but also the holding structure for the output reflecting mirror 23 can be applied.
【００３０】図４はこの発明の第３の実施例を示す。こ
の実施例は気密容器２１の端部壁２１ａの外面側に、内
部空間が上記端部壁２１ａに形成された開孔２２を介し
て気密容器２１の内部空間と連通する同圧室５２が形成
されている。上記開孔２２には、この開孔２２よりも小
さく形成された高反射鏡２４が開孔２２との間に隙間５
１を形成して設けられている。FIG. 4 shows a third embodiment of the present invention. In this embodiment, the same pressure chamber 52 is formed on the outer surface side of the end wall 21a of the airtight container 21 so that the inner space communicates with the inner space of the airtight container 21 through the opening 22 formed in the end wall 21a. Has been done. A high-reflecting mirror 24, which is formed smaller than the opening 22, forms a gap 5 between the opening 22 and the opening 22.
1 is provided.
【００３１】上記同圧室５２の壁部５２ａには、その中
心部に第１の挿通部５３が設けられ、中心部からずれた
位置に第２の挿通部５４が設けられている。上記第１の
挿通部５３には第１の操作杆５５が気密かつスライド自
在に挿通され、上記第２の挿通部５４には第２の操作杆
５６が同じく気密かつスライド自在に挿通されている。The wall portion 52a of the same pressure chamber 52 is provided with a first insertion portion 53 at its central portion and a second insertion portion 54 at a position displaced from the central portion. A first operating rod 55 is hermetically and slidably inserted through the first insertion portion 53, and a second operating rod 56 is also airtightly and slidably inserted through the second insertion portion 54. ..
【００３２】上記第１の操作杆５５の先端は上記高反射
鏡２４の裏面２４ｂの中心部に揺動自在に連結され、上
記第２の操作杆５６の先端は同じく裏面２４ｂの中心か
らずれた位置に揺動自在に連結されている。The tip of the first operating rod 55 is swingably connected to the center of the back surface 24b of the high reflection mirror 24, and the tip of the second operating rod 56 is also displaced from the center of the back surface 24b. It is swingably connected to the position.
【００３３】このような構成によれば、上記高反射鏡２
４は第１の操作杆５５をスライドすることで進退させる
ことができ、第２の操作杆５６をスライドすることで揺
動させることができるから、その位置決め調整が行え
る。According to this structure, the high reflecting mirror 2
4 can be moved forward and backward by sliding the first operating rod 55, and can be swung by sliding the second operating rod 56, so that the positioning adjustment can be performed.
【００３４】上記高反射鏡２４の反射面側２４ａと裏面
側２４ｂとは開孔２２と高反射鏡２４の周辺部との間の
隙間５１を介して連通し、その反射面２４ａ側と裏面２
４ｂ側とが同圧となっているから、その位置決め調整を
軽い操作力で容易に、しかも精度よく行うことができ
る。The reflection surface side 24a and the back surface side 24b of the high reflection mirror 24 communicate with each other through a gap 51 between the aperture 22 and the peripheral portion of the high reflection mirror 24, and the reflection surface 24a side and the back surface 2 thereof.
Since the pressure is the same on the 4b side, the positioning adjustment can be easily and accurately performed with a light operating force.
【００３５】[0035]
【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、密
閉容器の軸方向一端側と他端側とにそれぞれ設けられる
出力反射鏡と高反射鏡との少なくとも一方の反射鏡を位
置決め調整自在に支持し、その反射鏡の反射面と反対面
側に上記密閉容器と連通する同圧室を形成した。As described above, according to the present invention, at least one of the output reflecting mirror and the high reflecting mirror, which are respectively provided on one end side and the other end side in the axial direction of the closed container, can be positionally adjusted. The same pressure chamber communicating with the above-mentioned closed container was formed on the side opposite to the reflecting surface of the reflecting mirror.
【００３６】そのため、上記反射鏡の反射面とその反対
面側とには圧力差が生じることがないから、上記反射鏡
の位置決め調整を軽い操作力で容易に、しかも精密に行
うことができる。さらに、ガスレ−ザ媒質を交換すると
きに密閉容器内が負圧に吸引された場合にも、上記反射
鏡の反射面とその反対面側とで圧力差が生じることがな
いから、位置決めされた上記反射鏡がずれるということ
もない。Therefore, since no pressure difference is generated between the reflecting surface of the reflecting mirror and the surface opposite to the reflecting surface, the positioning adjustment of the reflecting mirror can be easily and precisely performed with a light operating force. Further, even if the inside of the closed container is sucked to a negative pressure when the gas laser medium is exchanged, there is no pressure difference between the reflecting surface of the reflecting mirror and the opposite surface side, and therefore the positioning is performed. The reflecting mirror does not shift.
【図１】この発明の一実施例の高反射鏡の支持構造を示
す断面図。FIG. 1 is a sectional view showing a support structure for a high-reflecting mirror according to an embodiment of the present invention.
【図２】同じく全体構造の概略図。FIG. 2 is a schematic view of the same overall structure.
【図３】この発明の他の実施例を示す高反射鏡の支持構
造の断面図。FIG. 3 is a sectional view of a support structure for a high-reflecting mirror showing another embodiment of the present invention.
【図４】この発明のさらに他の実施例を示す高反射鏡の
支持構造の断面図。FIG. 4 is a sectional view of a support structure for a high-reflecting mirror showing still another embodiment of the present invention.
【図５】従来の高反射鏡の支持構造を示す断面図。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a conventional support structure for a high-reflecting mirror.
２１…密閉容器、２３…出力反射鏡、２４…高反射鏡、
２５…第１のベロ−ズ（支持手段）、２６…保持板（支
持手段）、２９…第２のベロ−ズ（支持手段）、２９ａ
…第２のベロ−ズの空間部（同圧室）、３３…通孔（連
通部）、３４…ねじ軸（調整手段）、３５…ナット（調
整手段）。21 ... Airtight container, 23 ... Output reflecting mirror, 24 ... High reflecting mirror,
25 ... 1st belouse (supporting means), 26 ... Holding plate (supporting means), 29 ... 2nd belouse (supporting means), 29a
... second bellows space (same pressure chamber), 33 ... through hole (communication part), 34 ... screw shaft (adjusting means), 35 ... nut (adjusting means).
Claims (1)
と、この密閉容器の軸方向一端側と他端側とにそれぞれ
反射面を対向させて設けられた光共振器を形成する出力
反射鏡および高反射鏡と、これら出力反射鏡と高反射鏡
との少なくとも一方の反射鏡を変位自在に支持した支持
手段と、この支持手段によって支持された反射鏡を位置
決め調整する調整手段と、上記支持手段によって支持さ
れた反射鏡の反射面の反対面側に形成された同圧室と、
この同圧室内と上記密閉容器内とを連通する連通部とを
具備したことを特徴とするガスレ−ザ発振装置。1. An airtight container filled with a gas laser medium, and an output reflecting mirror forming an optical resonator provided with reflective surfaces facing one end side and the other end side in the axial direction of the hermetic container. And a high-reflecting mirror, supporting means for movably supporting at least one of the output reflecting mirror and the high-reflecting mirror, adjusting means for positioning and adjusting the reflecting mirror supported by the supporting means, and the above-mentioned supporting means. A pressure chamber formed on the opposite side of the reflecting surface of the reflecting mirror supported by the means,
A gas laser oscillating device comprising: a communication portion that communicates the same pressure chamber and the closed container.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32751591A JPH05167148A (en) | 1991-12-11 | 1991-12-11 | Gas laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32751591A JPH05167148A (en) | 1991-12-11 | 1991-12-11 | Gas laser oscillator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05167148A true JPH05167148A (en) | 1993-07-02 |
Family
ID=18199985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32751591A Pending JPH05167148A (en) | 1991-12-11 | 1991-12-11 | Gas laser oscillator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05167148A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002151390A (en) * | 2000-11-10 | 2002-05-24 | Canon Inc | Projection exposure apparatus and device manufacturing method |
| CN114498270A (en) * | 2022-02-07 | 2022-05-13 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | Optical pumping terahertz gas laser |
| WO2024057536A1 (en) * | 2022-09-16 | 2024-03-21 | ギガフォトン株式会社 | Gas laser apparatus and method for manufacturing electronic device |
-
1991
- 1991-12-11 JP JP32751591A patent/JPH05167148A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002151390A (en) * | 2000-11-10 | 2002-05-24 | Canon Inc | Projection exposure apparatus and device manufacturing method |
| CN114498270A (en) * | 2022-02-07 | 2022-05-13 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | Optical pumping terahertz gas laser |
| WO2024057536A1 (en) * | 2022-09-16 | 2024-03-21 | ギガフォトン株式会社 | Gas laser apparatus and method for manufacturing electronic device |
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