JPH0511944Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は位置決め装置に関し、特に基準面に
対する直角方向の運動と、その運動方向の軸を中
心とした旋回運動との複合運動によつて位置決め
するようにしたものであつて、例えば電子部品の
検査装置等のＸ・Ｙテーブル上に装着し、検査対
象物たる電子部品の位置決めを行なうために使用
される。

〔従来の技術〕

電子部品の検査装置においては、電子部品の位
置を一定の平面内でＸ軸方向およびＹ軸方向に移
動させるとともに、その平面に対して直角な方向
すなわちＺ軸方向に移動させ、またそのＺ軸のま
わりに旋回させること（θ方向の移動）が行なわ
れる。

このため、従来はＸ・Ｙテーブルを使用し、そ
の上にＺ軸方向にエアシリンダ等によつて移動さ
れるＺテーブルと、適宜なモータによつて旋回さ
れるθテーブルとを個別に設けていた。

〔考案が解決しようとする問題点〕

上記のように、Ｚテーブル、θテーブルを個別
に設けることは、スペース的にもまた作業時間的
にもロスを伴うことはいうまでもなく、また正確
な位置決めも期待できない。

そこで、この考案はＺテーブルとθテーブルを
結合し、上記の問題点を解決することを目的とす
る。

〔問題点を解決するための手段〕

この考案は上記の問題点を解決するために、リ
ニアモータのケーシングと同一の軸芯上に該ケー
シングと一体の直線案内用外筒を設け、上記ケー
シング及び外筒を上記軸芯のまわりで回転自在に
固定部に支持せしめ、上記ケーシングに上記軸芯
の方向に移動する作動部を備えたリニアモータを
組込み、上記作動部にテーブル支持軸を連結する
と共に、該テーブル支持軸を上記の直線案内用外
筒の内部に挿入し、上記外筒とケーシングのいず
れかに上記軸芯まわりのトルクを付与するトルク
伝達手段を設けた構成としたものである。

〔作用〕

上記のリニアモータは、その作動部を垂直方向
に作動せしめ、その作動部に結合したテーブル支
持軸を垂直方向に移動させることにより、Ｚテー
ブルの作用を行わせる。また、上記支持軸の直線
案内用外筒と一体のモータケーシングのいずれか
に支持軸の軸芯まわりのトルクを付与することに
よりθテーブルの作用を行わせる。

〔実施例〕

第１図に示す位置決め装置は、固定部１に上下
２列のころがり軸受２を介してリニアモータ３の
ケーシング４を回転自在に支持し、そのケーシン
グ４の下端面にプーリ５を設けている。また上記
の固定部１にエンコーダ付きサーボモータまたは
精密ステツピングモータ等のモータ６を取付け、
そのプーリ７と上記のプーリ５とをスチールベル
ト８により連結している。

上記のリニアモータ３は、有底筒形の継鉄９の
中央部突出部１０と円板形の補助継鉄１１の間に
永久磁石１２を介在し、上記補助継鉄１１と永久
磁石１２および突出部１０の外周に環状のギヤツ
プ１３を形成し、上記ギヤツプ１３内にムービン
グコイル１４を挿入したものであり、ムービング
コイル１４の上端にテーブル１５を支持する角軸
１６が結合されている。

上記の角軸１６は角形外筒１７内に昇降自在に
挿入され、両者の間には静圧軸受２０が構成され
ている。また上記の外筒１７はケーシング４の上
面に一体に固定されている。

なお、上記の外筒１７に検知棒１８を突設し、
テーブル１５に設けたリニアスケール１９と関連
せしめ、テーブル１５のＺ軸方向の昇降量を検出
できるようにしている。この検出結果はリニアモ
ータ３のムービングコイル１４の電源側にフイー
ドバツクされ、リニアモータ３の昇降量を制御す
るようになつている。

次に、上記構造の位置決め装置の作用について
説明する。

上記のムービングコイル１４に所要の電流を供
給すると、永久磁石１２および継鉄９，１１によ
つて構成される磁気回路中のギヤツプ１３内の磁
束と、ムービングコイル１４を流れる電流により
ムービングコイル１４に電磁力が作用し、ムービ
ングコイル１４をギヤツプ１３に対して出没する
方向、即ち垂直方向（Ｚ軸方向）に移動せしめ、
これと一体の角軸１６をＺ軸方向に移動させる。
この場合、角軸１６の移動は外筒１７によつて静
圧支持される。

また、モータ６を駆動すると、ケーシング４と
外筒１７が一体に回転し、外筒１７と係合した角
軸１６も回転する。

したがつて、ムービングコイル１４およびモー
タ６を適宜制御することにより、テーブル１５を
Ｚ軸方向およびθ方向にそれぞれ所要量移動さ
せ、テーブル１５上の物品の位置決めを行なうこ
とができる。

次に、第２図に示した実施例は、角軸１６の下
面に凹所２１を形成し、その凹所２１内にリニア
モータ３を装着したものである。また、θ方向の
移動は、前述のようにリニアモータ３のケーシン
グ４に伝達する必要は必ずしもないので、この実
施例の場合は外筒１７にプーリ５を取付け、これ
にスチールベルト８を介して、前述と同様のモー
タ６からトルクを伝達するようにしている。ま
た、上記以外の構成は前述の実施例と同様である
ので、同一部分には同一符号を付するにとどめ、
その説明を省略する。

なお、この考案においては、テーブル１５の支
持軸を上記のように角軸１６とする必要は必ずし
もなく、丸軸に回り止め用のスプラインを設けた
構成によつても同様の目的を達成することができ
る。また、その支持軸とその外筒間の軸受も、上
記のごとき静圧軸受２０を用いることなく、直線
軸受を使用しても差支えない。

また、第１図および第２図のいずれの例も、永
久磁石１２をコイル１４の中心部に設置した構造
のもの、いわゆるシヨートマグネツト、ロングコ
イル形のものを示しているが、永久磁石１２をコ
イル１４の外周に所要のギヤツプをおいて配置し
た構造のもの、いわゆるシヨートコイル、ロング
マグネツト形のものであつても差支えない。

〔効果〕

以上述べたように、この考案はＺ軸方向とθ方
向の移動を１台の装置によつて行なうことができ
るので、位置決め装置をコンパクトに構成するこ
とができる。また、Ｚ軸方向とθ方向の移動を同
時に行なうことができるので、迅速な位置決めが
できる効果もある。

更に、リニアモータがそのケーシング又はケー
シングと外筒の内部に設けられ、外部に露出する
部分がないので、ケーシング又は外筒の外周面に
ベルト掛け等によるトルク伝達手段を容易に設け
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は第１実施例の断面図、第２図は第２実
施例の一部省略断面図である。 １……固定部、２……ころがり軸受、３……リ
ニアモータ、４……ケーシング、５……プーリ、
６……ステツピングモータ、７……プーリ、８…
…スチールベルト、９……継鉄、１０……突出
部、１１……補助継鉄、１２……永久磁石、１３
……ギヤツプ、１４……ムービングコイル、１５
……テーブル、１６……角軸、１７……外筒、２
１……凹所。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. リニアモータのケーシングと同一の軸芯上に該
   ケーシングと一体の直線案内用外筒を設け、上記
   ケーシング及び外筒を上記軸芯のまわりで回転自
   在に固定部に支持せしめ、上記ケーシングに上記
   軸芯の方向に移動する作動部を備えたリニアモー
   タを組込み、上記作動部にテーブル支持軸を連結
   すると共に、該テーブル支持軸を上記の直線案内
   用外筒の内部に挿入し、上記外筒とケーシングの
   いずれかに上記軸芯まわりのトルクを付与するト
   ルク伝達手段を設けてなる位置決め装置。