JPH0487410A - 表面波装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ＢＯ３波等のように変位が表面波伝播方向と
垂直な方向の変位を主体とするＳＨタイプの表面波を利
用した表面波装置に関する。

〔従来の技術〕

圧電基板を伝播する表面波のうち、変位が伝播方向と垂
直な方向の変位を主体とするＳＨタイプの表面波には、
ＢＯ３波やラブ波等がある。

ＢＯ３波は、圧電セラミックス等の材料を用いて、例え
ば第２図に示す表面波装置を構成した場合に励振される
。第２図において、１は圧電基板を示し、例えばＰｂ　
（Ｔｊ、Ｚｒ）Ｏｓ系圧電セラミックスにより構成され
ている。圧電基板１の表面には、くし歯電極２．３が形
成されている。

くし歯電極２．３は、互いに間挿し合う複数の電極指２
ａ、３ａを有する。なお、２ｂ、３ｂは、それぞれ、バ
スバーを示す。また、矢印Ｐば圧電基板１の分極軸を示
す。

第２図の表面波装置４において、くし歯電極２゜３から
交流電界を印加すると、゛表面波伝播方向Ａと垂直な方
向の変位のみ、すなわち横波成分しか有さないＢＯ３波
が励振される。

ＢＧＳ波を利用した表面波装置４では、ＢＧＳ波は、圧
電基板１の両端面１ａ、ｌｂで完全に反射される。従っ
て、表面波装置４では、くし歯電極２．３の側方に反射
器を構成する必要がないため、チップサイズを従来のレ
イリー波を利用した表面波装置に比べて大幅に小型化す
ることができ、かつ両端面の精度を高めることにより、
より高周波域で使用し得るデバイスを提供することがで
きるという、大きな利点を有する。

（発明が解決しようとする課題〕 しかしながら、表面波装置４では、実際には、両端面１
３１ｂの精度を高めても、第３図に示すように、インピ
ーダンス−周波数特性上番こ不要スプリアスＢが生しる
という問題があった。

この不要スプリアスＢは、交流電界が印加された際にバ
スパー２ｂ、３ｂ間で励振されるバルク波の共振に基づ
くものと考えられる。バルク波の基本周波数ｆは、バル
ク波の音速をＶとした場合に、ｆ＝ｖ／２Ｌ（但し、Ｌ
は側面１ｃ、１６間の距ＩＩＩ）で表される。すなわち
、この基本周波数ｆの奇数倍の周波数域において、バル
ク波共振に基づく不要スプリアスが発生していた。

よって、本発明の目的は、上記のようなバルク波に基づ
く不要スプリアスを効果的に抑圧し得る構造を備えた、
ＳＨタイプの表面波を利用した表面波装置を提供するこ
とにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の表面波装置は、圧！基板を伝播する表面波のう
ち、変位が表面波伝播方向と垂直な方向の変位を主体と
するＳＨタイプの表面波、すなわちＢＧＳ波やラブ波を
利用したものであり、下記の構成を備えることを特徴と
する。

圧電基板と、この圧電基板の両端面間でＳＨタイプの表
面波を反射させるように、該圧電基板の表面に形成され
ており、互いに間挿し合う複数の電極指を有する少なく
とも一対のくし歯電極とを備え、圧電基板の上記両端面
を結ぶ一対の側面の少なくとも一方の側面が、電極指の
延びる方向に垂直な面から傾斜されていることを特徴と
する。

〔作用〕

バルク波は、ＳＨタイプの表面波の反射される両端面間
を結ぶ一対の側面間において励振される。

しかしながら、本発明では、この一対の側面の少なくと
も一方が、電極指の延びる方向に垂直な面から傾斜され
ているため、該一対の側面間にバルク波が定在波として
立ち難くされている。すなわち、上記傾斜されている側
面において反射されるバルク波が他方の側面方向に直進
しないため、バルク波に基づく共振現象が効果的に抑制
される。

よって、バルク波共振に基づく不要スプリアスの発生を
効果的に抑制することが可能とされている。

〔実施例の説明〕

以下、本発明の一実施例につき説明する。

第１図において、圧電基板１１の表面にくし歯電極１２
．１３を形成することにより表面波装置１４が形成され
ている。

圧電基板１１は、Ｐｂ　（Ｔｉ、Ｚｒ）０．のような圧
電セラミックスよりなり、両端面１１ａ。

１１ｂ間でＢＧＳ波を反射させるために、上記のような
くし歯電極１２．１３を有する。（し歯電極１２，１３
は、互いに間挿し合う複数の電極指１２ａ、１３ａをそ
れぞれ有し、各電極指１２ａ１３ａは、バスパー１２ｂ
、１３ｂにより連結されている。

すなわち、本実施例の表面波装置１４は、第２図に示し
た従来の表面波装置４と同様の電極構造を有する。従っ
て、くし歯電極１２．１３間に交流電界を印加すれば、
矢印入方向にＢＧＳ波が伝播され、かつ両端面１１ａ、
ｌｌｂ間で該ＢＧＳ波が反射されて共振する。

本実施例の特徴は、圧電基板１１の平面形状にある。す
なわち、圧電基板１１の一対の側面１１Ｃ，１１ｄのう
ち、一方の側面１１ｃが、端面１１ａ側から端面１１ｂ
側に至るに連れて、バスパー１３ｂから遠ざかるように
形成されている。すなわち、バスパー１３ｂの外側に、
突出部ｌｉｅが形成されており、それによって一対の側
面１１Ｃが電極指１２ａ、１３ａの延びる方向に垂直な
面から傾斜されている。

よって、本実施例の表面波装置１４では、バスバー１２
ｂ、１３ｂ間で励振されたノ＼ルク波は、側面１１ｃで
反射された場合、他方の側面ｌｉｄ側に直進せず、端面
１１ｂ側に散乱される。そのため、側面１１ｃ、ｌｉｄ
間にバルク波の定在波が立ち難く、それによってバルク
波の共振が抑制されている。

第１図に示した表面波装置１４のインピーダンス−周波
数特性を第４図に示す。この特性は、圧′ｇ１基板１１
として、かつ第１図の寸法Ｘ、Ｙ、Ｚ及厚みが、それぞ
れ、８８０μｍ、５５０μｍ及び７００μｍのチタン酸
ジルコン酸鉛系セラミックスよりなる圧電基板上に１０
対のくし歯電極１２１３を形成した表面波装置とについ
てのものである。

第４図及び第３図を比較すれば明らかなように、本実施
例の表面波装置１４では、反共振周波数よりも高周波域
側における不要スプリアスが大幅に低減されていること
、並びに共振抵抗と反共振抵抗との比も大幅に高められ
ていることがわかる。

すなわち、バルク波の共振に基づく不要スプリアスがほ
とんど発生していない、インピーダンス−周波数特性が
実現されることがわかる。

上記実施例では、突出部ｌｉｅを有する圧電基板１１を
用いて、一方の側面１１ｃをバスバー１３ｂに対して交
差するように配置することにより、側面１１ｃを電極指
１２ａ、１３ａの延びる方向に垂直な面から傾斜されて
いた。しかしながら、本発明は、このような形状のもの
に限定されない。

すなわち、第５図に平面図で示すように、一対の側面１
１ｃ、ｌｉｄの何れもがバスバー１２ｂ。

１３ｂに対して交差する方向に延びるように配置し、そ
れによって双方の側面１１ｃ、ｌｉｄを電極指の延びる
方向に対して垂直な面から傾斜させてもよい。

同様に、第６図に示すように、曲面状の側面１１ｃ　　
ｌｉｄを設けることにより、各側面１１Ｃ１ｌｉｄを、
電極指１２ａ、１３ａの延びる方向に対して垂直な面か
ら傾斜させてもよい。

さらに、第７図に電極指の延びる方向に沿う断面図で示
すように、一対の側面１１ｃ、ｌｌｄの双方を厚み方向
に傾斜させ、それによって一対の側面１１ｃ、１１ｄを
電極指１２ａ、１３ａの延びる方向に垂直な面から傾斜
させてもよい。

上記実施例ではＢＧＳ波を利用した表面波装置につき説
明したが、ラブ波のような他の形式のＳＨタイプの表面
波を利用した表面波装置にも本発明を適用することがで
きる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、ＳＨタイプの表面波が反射される両端
面を結ぶ一対の側面の少なくとも一方が、電極指の延び
る方向に対して垂直な面から傾斜されているため、該一
対の側面間に発生するノ１ルク波の共振を効果的に抑制
することができ、それによってインピーダンス−周波数
特性上に現れるバルク波の共振に基づ（不要スプリアス
を効果的に抑制することができる。従って、インピーダ
ンス周波数特性の優れた表面波装置を提供することが可
能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例にかかる表面波装置の斜視図
、第２図は従来の表面波装置の斜視図、第３図は従来の
表面波装置のインピーダンス−周波数特性を示す図、第
４図は第一図実施例の表面波装置のインピーダンス−周
波数特性を示す図、第５図は本発明の他の実施例の表面
波装置の平面図、第６図は本発明のさらに他の実施例の
表面波装置の平面図、第７図は本発明の他の実施例の表
面波装置の断面図である。 図において、１１は圧！基板、１１ａ、１１ｂは端面、
ｌｌｃ、ｌｌｄは側面、１２．１３はくし歯電極、１２
ａ、１３ａは電極指、１４は表面波装置、ＡはＢＧＳ波
の伝播方向を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）圧電基板を伝播する表面波のうち、変位が表面波
   伝播方向と垂直な方向の変位を主体とするＳＨタイプの
   表面波を利用した表面波装置であって、 圧電基盤と、 前記圧電基盤の両端面間で表面波を反射させるように、
   該圧電基板の表面に形成されており、かつ互いに間挿し
   合う複数本の電極指を有する、少なくとも一対のくし歯
   電極とを備え、 圧電基板の前記両端面を結ぶ一対の側面の内、少なくと
   も一方の側面が電極指の延びる方向と垂直な面から傾斜
   されていることを特徴とする、表面波装置。