JPH04360006A - Thin film magnetic head - Google Patents
Thin film magnetic headInfo
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- JPH04360006A JPH04360006A JP3136188A JP13618891A JPH04360006A JP H04360006 A JPH04360006 A JP H04360006A JP 3136188 A JP3136188 A JP 3136188A JP 13618891 A JP13618891 A JP 13618891A JP H04360006 A JPH04360006 A JP H04360006A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【0001】0001
【産業上の利用分野】本発明は、記録用として磁束誘導
型の薄膜ヘッド、再生用として磁気抵抗効果素子を用い
た連続記録再生型の磁気テープ装置に使用される。記録
再生一体型の薄膜磁気ヘッドに関する。FIELD OF INDUSTRIAL APPLICATION The present invention is used in a continuous recording/reproduction type magnetic tape device using a magnetic flux induction type thin film head for recording and a magnetoresistive element for reproduction. The present invention relates to an integrated recording/reproducing thin film magnetic head.
【0002】0002
【従来の技術】近年、磁気テープ装置の記録容量の増加
にともない、磁気ヘッドにおいても、線記録密度の増加
とトラック密度の増加が要求されている。2. Description of the Related Art In recent years, as the recording capacity of magnetic tape devices has increased, magnetic heads are also required to have higher linear recording densities and higher track densities.
【0003】これに対応するものとして、トラック幅、
およびトラックピッチの精度が±(1〜2)mmと高精
度に制御可能な薄膜磁気ヘッドが使われるようになった
。
特に再生ヘッドにおいては、記録媒体の速度に無関係な
出力が得られ、記録ヘッドからの記録媒体を介さない磁
束の回り込みの影響を受けにくい磁気抵抗効果素子(以
下MR素子と称す)が効果的に用いられるようになって
きている。[0003] Corresponding to this, the track width,
Thin film magnetic heads, which can control track pitch with high accuracy of ±(1 to 2) mm, have come into use. Particularly in playback heads, magnetoresistive elements (hereinafter referred to as MR elements) are effective because they provide an output that is independent of the speed of the recording medium and are less susceptible to the effects of magnetic flux from the recording head that does not go through the recording medium. It is starting to be used.
【0004】この技術を用いた磁気ヘッドの従来例を図
5〜図8に示す。このヘッドは、図5において左から再
生部21a,記録部22,再生部21bと3個のヘッド
を組み合わせた構成となっており、各部に4つのチャン
ネル(C−1〜C−4)を有する。第1のチャンネル(
C−1),第2のチャンネル(C−2),第4のチャン
ネル(C−4)のうち2つのチャンネル情報信号の記録
再生を行い、残る1つのチャンネルは、サーボ信号の記
録再生を行う。第3のチャンネル(C−3)は、下位機
種との互換性を得るために設けられている。Conventional examples of magnetic heads using this technology are shown in FIGS. 5 to 8. This head has a configuration in which three heads are combined from the left in FIG. 5: a playback section 21a, a recording section 22, and a playback section 21b, and each section has four channels (C-1 to C-4). . The first channel (
C-1), the second channel (C-2), and the fourth channel (C-4), two channel information signals are recorded and reproduced, and the remaining one channel is used to record and reproduce a servo signal. . The third channel (C-3) is provided for compatibility with lower models.
【0005】記録ヘッドは図6に示すように、非磁性体
基板23上にパーマロイあるいはアモルファス合金から
なる下部ヨーク24をスパッタリングまたはメッキ法に
より形成し、絶縁層よりなるギャップ部25を介し、銅
,アルミニウムまたは金よりなるコイル26を蒸着また
はメッキ法により形成し、絶縁層を介して下部ヨーク2
4と同じ材料からなる上部ヨーク27を形成し、磁気回
路を構成したものである。As shown in FIG. 6, in the recording head, a lower yoke 24 made of permalloy or amorphous alloy is formed on a non-magnetic substrate 23 by sputtering or plating, and copper, copper, etc. A coil 26 made of aluminum or gold is formed by vapor deposition or plating, and is attached to the lower yoke 2 through an insulating layer.
The upper yoke 27 is made of the same material as 4 and constitutes a magnetic circuit.
【0006】再生ヘッドは、図7に示すように、強磁性
体基板28上に絶縁層を介して、MR素子29を蒸着法
により形成し、さらに絶縁層を介して、強磁性体基板よ
りなるシールド部30を接着した構成となっている。As shown in FIG. 7, the reproducing head is constructed by forming an MR element 29 on a ferromagnetic substrate 28 through an insulating layer by vapor deposition, and then forming an MR element 29 on a ferromagnetic substrate 28 through an insulating layer. It has a structure in which a shield portion 30 is bonded.
【0007】次に、このヘッドの動作原理を図8をもと
に説明する。まず最初の磁気テープ31は、巻始めから
巻終わりに向かって矢印Fの方向に走行する。記録ヘッ
ドは中心のギャップラインGL1上の3個のヘッド(C
−1,C−2,C−4)のうち2個が使われる。同時に
右側ギャップラインGL2上の再生ヘッドFRの3個の
うち記録ヘッドとトラック位置が同じ位置にある2個の
再生ヘッドが記録情報を再生し、エラーのチェックを行
いデータの転送を行う。他の1つの再生ヘッドはサーボ
信号の再生を行い、トラック位置を検出し、トラック位
置ずれ情報を磁気ヘッドの上下移動をつかさどるステッ
ピングモーターへフィードバックを行う。Next, the principle of operation of this head will be explained based on FIG. First, the magnetic tape 31 runs in the direction of arrow F from the beginning of winding to the end of winding. The recording heads are three heads (C
-1, C-2, C-4) are used. At the same time, two of the three reproducing heads FR on the right gap line GL2 whose track positions are the same as those of the recording head reproduce recorded information, check for errors, and transfer data. The other reproducing head reproduces the servo signal, detects the track position, and feeds back track position deviation information to the stepping motor that controls the vertical movement of the magnetic head.
【0008】テープが巻終わりまで到達すると磁気ヘッ
ドは1ピッチだけ移動を行いテープ走行方向が矢印Rの
方向になり、中央のギャップラインGL1上の2個の記
録ヘッドにより記録が行われ、同時に左側のギャップラ
インGL3上の3個の再生ヘッドRRにより記録信号お
よびサーボ信号の再生が行われる。When the tape reaches the end of its winding, the magnetic head moves by one pitch, and the tape running direction becomes the direction of arrow R. Recording is performed by the two recording heads on the center gap line GL1, and at the same time the left side The three reproducing heads RR on the gap line GL3 reproduce the recording signal and the servo signal.
【0009】この場合の記録信号は、40Kfrpi以
上の記録密度で信号が記録されるため、再生ヘッドのテ
ープタッチの状態が信号を誤りなく再生できるかどうか
の大きな鍵となってくる。例えば40Kfrpiでは記
録波長が1.27μmとなり、0.14μmの浮上が6
dBの信号出力の劣化となってあらわれる。In this case, the recorded signal is recorded at a recording density of 40 Kfrpi or more, so the tape touch state of the reproducing head is a key factor in whether or not the signal can be reproduced without error. For example, at 40Kfrpi, the recording wavelength is 1.27μm, and the floating height of 0.14μm is 6
This appears as a dB deterioration in signal output.
【0010】0010
【発明が解決しようとする課題】このような磁気ヘッド
の構成において、2つの問題が生ずる。まず1つは、3
つのギャップライン上のすべてに最良のテープタッチを
得ること、もう1つは、記録ヘッドのトラックの中心と
、FRおよびRRの2つの再生ヘッドの中心を精度良く
一致させることである。Problems to be Solved by the Invention Two problems arise in the configuration of such a magnetic head. First of all, 3
One is to obtain the best tape touch on all of the two gap lines, and the other is to precisely match the center of the track of the recording head with the center of the two reproducing heads, FR and RR.
【0011】本発明は上記課題を解決するもので、最良
のテープタッチが得やすく、記録・再生間のトラックず
れが少ない薄膜磁気ヘッドを提供することを目的として
いる。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a thin-film magnetic head that can easily obtain the best tape touch and has less track deviation between recording and reproduction.
【0012】0012
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の薄膜磁気ヘッドは、記録ヘッドと再生ヘッド
を一体化したヘッドを1つの基板上に薄膜技術を用いて
複数個形成した記録再生一体型のマルチチャンネルヘッ
ドをテープ走行方向に平行に2個配置したものである。[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the thin film magnetic head of the present invention is a recording head in which a plurality of heads, each of which integrates a recording head and a reproducing head, are formed on one substrate using thin film technology. Two multi-channel heads with integrated playback are arranged parallel to the tape running direction.
【0013】[0013]
【作用】本発明は上記構成により、最良のテープタッチ
を得ることができ、2つのギャップラインの調整のみで
よい。またトラック方向のずれの調整は2個のマルチチ
ャンネルヘッドの中心を一致させるだけでよい。[Function] With the above configuration, the present invention can obtain the best tape touch, and only needs to adjust two gap lines. In addition, adjustment of the deviation in the track direction only requires aligning the centers of the two multichannel heads.
【0014】[0014]
【実施例】以下、本発明の一実施例について図1〜図4
を参照しながら説明する。[Example] An example of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 4.
This will be explained with reference to.
【0015】図1は本発明の薄膜磁気ヘッドの斜視図を
示す。左側の記録再生ヘッド1aと、右側の記録再生ヘ
ッド1bは同じものであり、強磁性体基板2側を外側に
向けて配置したものである。上部側より第1のチャンネ
ル(C−1),第2チャンネル(C−2)および第5の
チャンネル(C−5)のデータ信号とサーボ信号を記録
再生するヘッドであり、中心の第3のチャンネル(C−
3)は下位機種との互換のために設けられたものであり
、前記3つのチャンネル(C−1,C−2,C−5)に
比べトラック幅が広く、低記録密度のデータを記録再生
するものである。第4のチャンネル(C−4)は第1,
第2,第5のチャンネル(C−1,C−2,C−5)と
同一のものであるが、ここでは記録・再生には使わず、
ダミーチャンネルとしている。FIG. 1 shows a perspective view of the thin film magnetic head of the present invention. The recording/reproducing head 1a on the left side and the recording/reproducing head 1b on the right side are the same, and are arranged with the ferromagnetic substrate 2 side facing outward. This head records and reproduces data signals and servo signals of the first channel (C-1), second channel (C-2), and fifth channel (C-5) from the upper side. Channel (C-
3) is provided for compatibility with lower-level models, and has a wider track width than the three channels (C-1, C-2, C-5), and is capable of recording and reproducing data with a lower recording density. It is something to do. The fourth channel (C-4) is the first,
These are the same as the second and fifth channels (C-1, C-2, C-5), but are not used for recording or playback here.
It is used as a dummy channel.
【0016】図2に記録再生一体型ヘッドの詳細斜視図
、図3にその断面図を示す。Mn−Znフェライトまた
はNi−Znフェライトからなる強磁性体を基板2とし
て、その上にAl2O3またはSiO2からなる絶縁層
3をスパッタリング法により形成する。この上にNi−
Feよりなる磁気抵抗効果素子4を蒸着法により形成す
る。バイアスの手段は、バーバーポール法,永久磁石バ
イアス法,ソフト膜バイアス法(SAL),シャント膜
バイアス法のいずれかを用いる。磁気抵抗効果素子4上
に前記組成の絶縁層を介し、Ni−FeまたはCo−N
b−Zrよりなるシールド膜5をスパッタリング法によ
り形成する。この強磁性体膜は、磁気抵抗効果素子の高
域の周波数特性を向上させるシールド層として作用する
と同時に、記録ヘッドの下部ヨークでもある。さらにそ
の上に絶縁層を介し、銅,アルミニウムまたは金よりな
るコイル6をメッキまたは蒸着により形成する。この上
に絶縁層を形成した後、磁気回路を効率良く形成するた
め、コイル上とコイル間の段差をなくす平坦化加工,磁
気ギャップ部とコイル上部の段差を円滑につなげるため
の斜めエッチングを行い、さらにNi−FeまたはCo
−Nb−Zrよりなる上部磁性層(上部ヨーク)7を形
成する。この上に図3のようにAl2O3よりなる保護
層8を形成しZn−フェライト等の非磁性体よりなる保
護基板9を貼り合わせる。FIG. 2 is a detailed perspective view of the integrated recording/reproducing head, and FIG. 3 is a sectional view thereof. A ferromagnetic material made of Mn--Zn ferrite or Ni--Zn ferrite is used as a substrate 2, and an insulating layer 3 made of Al2O3 or SiO2 is formed thereon by sputtering. On top of this, Ni-
A magnetoresistive element 4 made of Fe is formed by a vapor deposition method. As the biasing means, one of the barber pole method, permanent magnet bias method, soft film bias method (SAL), and shunt film bias method is used. Ni-Fe or Co-N is formed on the magnetoresistive element 4 through an insulating layer having the above composition.
A shield film 5 made of b-Zr is formed by sputtering. This ferromagnetic film acts as a shield layer that improves the high frequency characteristics of the magnetoresistive element, and at the same time serves as the lower yoke of the recording head. Furthermore, a coil 6 made of copper, aluminum or gold is formed by plating or vapor deposition with an insulating layer interposed therebetween. After forming an insulating layer on top of this, in order to efficiently form a magnetic circuit, we perform a flattening process to eliminate the level difference between the top and the coil, and diagonal etching to smoothly connect the level difference between the magnetic gap and the top of the coil. , further Ni-Fe or Co
An upper magnetic layer (upper yoke) 7 made of -Nb-Zr is formed. A protective layer 8 made of Al2O3 is formed thereon as shown in FIG. 3, and a protective substrate 9 made of a nonmagnetic material such as Zn-ferrite is bonded.
【0017】このようにして作られる記録再生一体型ヘ
ッドを複数個(本実施例では5個)、強磁性体基板2上
に並べたマルチチャンネルでは、各チャンネルのヘッド
は下位機種との互換のために設けられた第3のチャンネ
ル(C−3)に対し対称の位置に配置される。In a multi-channel system in which a plurality of integrated recording/reproducing heads (five in this embodiment) manufactured in this manner are arranged on the ferromagnetic substrate 2, the head of each channel is compatible with the lower model. The third channel (C-3) is arranged in a symmetrical position with respect to the third channel (C-3) provided for the purpose.
【0018】図4はチャンネルの配置を示す。すなわち
第2のチャンネル(C−2)と第4のチャンネル(C−
4)および第1のチャンネル(C−1)と第5のチャン
ネル(C−5)は、各々チャンネル(C−3)を中心に
して対称位置にある。また本発明ではマルチチャンネル
ヘッドを2個(10aおよび10b)表裏逆にして使用
しているが、各ヘッドすなわち各チャンネルはヘッド中
心0に関して点対称位置にある。すなわち、左側のマル
チチャンネルヘッド10bにおいては第4のチャンネル
はダミーヘッドとなるが、右側のマルチチャンネルヘッ
ド10aでは第2のチャンネルがダミーヘッドとなる。
なお、図4において、11は磁気テープである。FIG. 4 shows the arrangement of channels. That is, the second channel (C-2) and the fourth channel (C-
4) and the first channel (C-1) and the fifth channel (C-5) are each located at a symmetrical position with respect to the channel (C-3). Further, in the present invention, two multi-channel heads (10a and 10b) are used with the front and back reversed, but each head, that is, each channel is located at a point symmetrical position with respect to the head center 0. That is, in the left multi-channel head 10b, the fourth channel becomes a dummy head, but in the right multi-channel head 10a, the second channel becomes a dummy head. In addition, in FIG. 4, 11 is a magnetic tape.
【0019】本発明の磁気ヘッドの動作に関して図4を
もとに説明を行う。磁気テープが矢印F方向に走行する
時には、磁気テープの巻終わり側にある磁気ヘッド10
bの組は、記録として動作し、データ信号を記録する。
この時磁気テープの巻始め側にある磁気ヘッド10aの
組は再生として動作し、データ信号の再生,転送やサー
ボ信号の再生,フィードバックを行う。磁気テープが巻
終わり点に到達すると、1ピッチだけステップを行い、
矢印Rの方向に走行する。この時、記録と再生の役割り
も切替えられる。The operation of the magnetic head of the present invention will be explained based on FIG. 4. When the magnetic tape runs in the direction of arrow F, the magnetic head 10 on the end side of the magnetic tape
The set b acts as a record and records the data signal. At this time, the set of magnetic heads 10a located on the winding start side of the magnetic tape operates as a reproducer, and performs reproduction and transfer of data signals and reproduction and feedback of servo signals. When the magnetic tape reaches the end of winding, it steps by one pitch,
Travel in the direction of arrow R. At this time, the roles of recording and playback are also switched.
【0020】[0020]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明の
薄膜磁気ヘッドは、記録再生一体型ヘッドを複数個有す
るマルチチャンネルヘッドを2個使っており、従来のよ
うに1つの記録ヘッド組立体に対し2つの再生ヘッド組
立体を使う場合にくらべて、簡素な構造にて、同等の機
能を発揮することが可能となる。Effects of the Invention As is clear from the above description, the thin film magnetic head of the present invention uses two multi-channel heads each having a plurality of integrated recording/reproducing heads, and is not assembled into one recording head assembly as in the prior art. Compared to the case where two reproducing head assemblies are used, the same function can be achieved with a simpler structure.
【0021】さらに本構造によれば、磁気テープが正方
向(F),逆方向(R)のどちらに走行する場合でも、
上部磁性層がトレーリングエッジ側となる。よく知られ
ているようにヘッドの記録性能はこの側のヨークの磁気
特性に大きく依存しているので、この側の磁性層のみを
、Co−Nb−Zr等のアモルファスまたはセンダスト
膜等の高飽和磁速密度の高性能材料で構成すればよいこ
とになり、その場合コストダウン効果も期待できる。Furthermore, according to this structure, no matter whether the magnetic tape runs in the forward direction (F) or the reverse direction (R),
The upper magnetic layer is on the trailing edge side. As is well known, the recording performance of the head is highly dependent on the magnetic properties of the yoke on this side, so the magnetic layer on this side is made of amorphous material such as Co-Nb-Zr or highly saturated film such as Sendust film. This means that it can be constructed from a high-performance material with high magnetic velocity density, and in that case, a cost reduction effect can also be expected.
【0022】また磁気抵抗が正方向に走行する時と、逆
方向に走行する時とでは、記録再生一体型ヘッドの役割
を交替するだけでよく、2つのギャップライン上での最
適なテープタッチを実現すればよい(従来は3つのギャ
ップライン)。また記録再生ヘッドのトラックセンター
ずれに関しても、左側ヘッドと右側ヘッドのチャンネル
の中心をあわせる調整1回のみでよく、大幅に作り易い
ヘッドを実現できる。[0022] Furthermore, when the magnetic resistance runs in the forward direction and when it runs in the opposite direction, it is only necessary to switch the role of the recording/reproducing integrated head, and the optimum tape touch on the two gap lines can be achieved. All you have to do is realize it (conventionally, there are three gap lines). Also, regarding the track center deviation of the recording/reproducing head, only one adjustment is required to align the centers of the channels of the left and right heads, making it possible to realize a head that is much easier to manufacture.
【図1】本発明のによる薄膜磁気ヘッドの斜視図FIG. 1 is a perspective view of a thin film magnetic head according to the present invention.
【図2
】記録再生一体型ヘッド部分の斜視図[Figure 2
] Perspective view of integrated recording/reproducing head part
【図3】同ヘッド
部分の断面図[Figure 3] Cross-sectional view of the head part
【図4】本発明による薄膜磁気ヘッドのチャンネル配置
図[Fig. 4] Channel arrangement diagram of the thin-film magnetic head according to the present invention
【図5】従来の薄膜磁気ヘッドの斜視図[Figure 5] Perspective view of a conventional thin film magnetic head
【図6】従来の
記録ヘッド部分の斜視図[Fig. 6] Perspective view of a conventional recording head portion
【図7】従来の再生ヘッド部分
の斜視図[Fig. 7] Perspective view of a conventional playback head part
【図8】従来の薄膜磁気ヘッドのチャンネル配
置図[Figure 8] Channel layout diagram of a conventional thin-film magnetic head
1a,1b 記録再生ヘッド 2 強磁性体基板 3 絶縁層 4 磁気抵抗効果素子 5 シールド膜(シールド層) 6 コイル 7 上部ヨーク 1a, 1b Recording/playback head 2 Ferromagnetic substrate 3 Insulating layer 4 Magnetoresistive element 5 Shield film (shield layer) 6 Coil 7 Upper yoke
Claims (2)
気抵抗効果素子を配した再生ヘッドと、その上に絶縁層
を介して記録ヘッドの下部ヨークである強磁性体薄膜か
らなるシールド層を配し、さらにその上に絶縁層に埋め
込まれたコイルを挟んで、上記磁気抵抗効果素子の長さ
方向の中心と中心が一致するように形成した上部ヨーク
を重ねて記録ヘッドを構成した記録再生一体型ヘッドを
、上記強磁性体基板上に少なくとも1チャンネル以上備
えたマルチチャンネルヘッドを、記録媒体の走行方向と
平行に一定の間隔をへだてて、各々のチャンネルの中心
が一致するように2個配置した薄膜磁気ヘッド。1. A reproducing head in which a magnetoresistive element is arranged on a ferromagnetic substrate with an insulating layer interposed therebetween, and a shield consisting of a ferromagnetic thin film serving as the lower yoke of the recording head with an insulating layer placed above the reproducing head. A recording head was constructed by placing a coil embedded in an insulating layer on top of the upper yoke, which was formed so that the longitudinal center of the magnetoresistive element coincided with the center of the upper yoke. A multi-channel head comprising at least one channel or more of an integrated recording/reproducing head on the ferromagnetic substrate is spaced apart at a certain interval parallel to the running direction of the recording medium so that the centers of each channel coincide. Two thin film magnetic heads arranged.
再生一体型ヘッドの配置が、中央の記録再生一体型ヘッ
ドまたは中央の記録再生一体型ヘッドのピッチの中心に
対して対称である請求項1記載の薄膜磁気ヘッド。2. The arrangement of each recording/reproducing integrated head of the multi-channel head is symmetrical with respect to the central recording/reproducing integrated head or the center of the pitch of the central recording/reproducing integrated head. Thin film magnetic head.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3136188A JPH04360006A (en) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | Thin film magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3136188A JPH04360006A (en) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | Thin film magnetic head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04360006A true JPH04360006A (en) | 1992-12-14 |
Family
ID=15169406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3136188A Pending JPH04360006A (en) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | Thin film magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04360006A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5883760A (en) * | 1992-10-20 | 1999-03-16 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Magnetic structure and magnetic head using the same |
-
1991
- 1991-06-07 JP JP3136188A patent/JPH04360006A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5883760A (en) * | 1992-10-20 | 1999-03-16 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Magnetic structure and magnetic head using the same |
| US6236538B1 (en) | 1992-10-20 | 2001-05-22 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Magnetic structure and magnetic head using the same |
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