JPH04355729A - Method for manufacturing array substrate for liquid crystal display device - Google Patents
Method for manufacturing array substrate for liquid crystal display deviceInfo
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- JPH04355729A JPH04355729A JP3130913A JP13091391A JPH04355729A JP H04355729 A JPH04355729 A JP H04355729A JP 3130913 A JP3130913 A JP 3130913A JP 13091391 A JP13091391 A JP 13091391A JP H04355729 A JPH04355729 A JP H04355729A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【0001】0001
【産業上の利用分野】本発明は、高性能,高歩留まりの
液晶表示装置およびその製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a high-performance, high-yield liquid crystal display device and a method for manufacturing the same.
【0002】0002
【従来の技術】近年、液晶表示装置は、特に画像表示に
代表される大容量表示に向けてのアプローチが活発であ
り、低価格デバイスが実現出来るディスプレイとして最
も注目されている。2. Description of the Related Art In recent years, liquid crystal display devices have been actively approached for large-capacity displays, particularly image displays, and are attracting the most attention as displays that can realize low-cost devices.
【0003】図6、図7(A),(B)は従来の液晶表
示装置の一例で、マトリックス型液晶表示装置の構成を
示す図である。FIGS. 6, 7A, and 7B are diagrams showing the structure of a matrix type liquid crystal display device, which is an example of a conventional liquid crystal display device.
【0004】まず、図6の説明をする。図6は従来の液
晶表示装置の断面構成図を示したものである。図6にお
いて、スイッチング素子群1と画素電極群2と配向膜3
と信号配線電極群4からなる画像表示領域5と外部駆動
回路からの信号入力電極群6と補助配線群13を有した
透明な絶縁基板7aからなるアレイ基板17と、透明共
通電極8と遮光層9と配向膜3を有した透明な絶縁基板
7bからなる対向基板18にガラスファイバー或いは樹
脂微粒子からなるスペーサ10を設け、画素電極2と透
明共通電極8を対向させて樹脂接着剤11にて貼合わせ
、スペーサ10により形成された間隙に液晶組成物12
を充填したものである。First, FIG. 6 will be explained. FIG. 6 shows a cross-sectional configuration diagram of a conventional liquid crystal display device. In FIG. 6, a switching element group 1, a pixel electrode group 2, and an alignment film 3
and an array substrate 17 consisting of a transparent insulating substrate 7a having an image display area 5 consisting of a signal wiring electrode group 4, a signal input electrode group 6 from an external drive circuit, and an auxiliary wiring group 13, a transparent common electrode 8 and a light shielding layer. A spacer 10 made of glass fiber or resin fine particles is provided on a counter substrate 18 consisting of a transparent insulating substrate 7b having an alignment film 3 and a pixel electrode 2 facing each other, and the pixel electrode 2 and the transparent common electrode 8 are pasted with a resin adhesive 11 so as to face each other. The liquid crystal composition 12 is placed in the gap formed by the spacer 10.
It is filled with
【0005】以上のように構成された液晶表示装置は、
これらの画素電極群2にスイッチング素子1を介して選
択的に電圧を印加することにより任意の情報を表示出来
る。[0005] The liquid crystal display device configured as described above has the following features:
By selectively applying a voltage to these pixel electrode groups 2 via the switching element 1, arbitrary information can be displayed.
【0006】図7(A)は、アレイ基板17の平面図を
示している。図7(A)に示すように画像表示領域5を
構成するスイッチング素子ではソース電極側とゲート電
極側が直交している。このために、外部駆動回路からの
信号入力電極はソース側信号入力電極6aとゲート側信
号入力電極6bとに区別される。補助信号配線13a,
13bは信号配線4a,4bの両端の近傍を結ぶように
アレイ基板17上で画像表示領域5以外の場所に形成さ
れている。FIG. 7A shows a plan view of the array substrate 17. As shown in FIG. 7A, in the switching elements constituting the image display area 5, the source electrode side and the gate electrode side are perpendicular to each other. For this reason, the signal input electrode from the external drive circuit is divided into a source side signal input electrode 6a and a gate side signal input electrode 6b. Auxiliary signal wiring 13a,
13b is formed at a location other than the image display area 5 on the array substrate 17 so as to connect the vicinity of both ends of the signal wirings 4a and 4b.
【0007】図7(B)は図7(A)における信号配線
と補助配線の一部7Bを拡大して示した拡大平面図であ
る。図中接続電極14を有した補助配線13aと接続電
極15を有した信号配線4aとは、絶縁層16を介して
電気的に分離している。FIG. 7(B) is an enlarged plan view showing part 7B of the signal wiring and auxiliary wiring in FIG. 7(A). In the figure, an auxiliary wiring 13a having a connection electrode 14 and a signal wiring 4a having a connection electrode 15 are electrically separated via an insulating layer 16.
【0008】次に、従来の液晶表示デバイスの製造方法
について説明する。図8は従来の液晶表示デバイスの製
造フローチャートである。アレイ形成プロセス(81)
によって、アレイ基板完成(82)後、電気的な手法に
よって、画像表示領域の信号配線について断線の検査(
83)をおこなう。ここで良品と不良品とに選別し、不
良品すなわち断線発生品についてワイヤー・ボンディン
グによって救済をおこなう(84)。つまり、図7(A
)で、断線が生じた信号線の接続電極15と補助配線1
3aの接続電極14をアルミニウム線を用い電気的に接
続する。これを断線の発生した信号配線の両端でおこな
うことによって、片側のみから信号を入力される構造の
液晶表示デバイスにおいても断線を救済することができ
る。断線の救済をおこなったアレイ基板については再度
、検査によって確認した後、配向膜形成(85)、配向
処理(86)、対向基板との貼り合わせ、(87〜91
)、液晶注入の工程(92)を経て液晶表示デバイスの
完成(93)となる。貼り合わせ工程以前では、対向基
板は対向基板プロセス(87〜90)にて完成される。Next, a conventional method for manufacturing a liquid crystal display device will be explained. FIG. 8 is a manufacturing flowchart of a conventional liquid crystal display device. Array formation process (81)
After the array board was completed (82), the signal wiring in the image display area was inspected for disconnections (
83). Here, the products are sorted into non-defective products and defective products, and defective products, that is, products with disconnection, are repaired by wire bonding (84). In other words, Figure 7 (A
), the connection electrode 15 of the signal line and the auxiliary wiring 1 where the disconnection occurred
The connection electrode 14 of 3a is electrically connected using an aluminum wire. By performing this at both ends of the signal wiring where the disconnection has occurred, the disconnection can be repaired even in a liquid crystal display device in which a signal is input from only one side. The array substrate for which the disconnection has been repaired is inspected again, and then subjected to alignment film formation (85), alignment treatment (86), bonding with the counter substrate (87 to 91).
), the liquid crystal display device is completed (93) through the step of liquid crystal injection (92). Before the bonding step, the counter substrate is completed in the counter substrate process (87 to 90).
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】従来の製造方法におけ
る断線の救済手段はワイヤー・ボンディングを用いてい
た。ここで、ワイヤー・ボンディングからくるデバイス
の条件として、次の2つがよく知られている。1つは、
ワイヤーの材質と接続電極の材質を同種類にしなければ
ならないこと。さらに、ボンディングにおける接着性を
確保するために接続電極の膜厚が1μm程度必要なこと
である。以上の2つの条件は、すなわち、アレイ構成の
制約となり、アレイ設計に自由度がなく、強いては生産
性、歩留まりの向上を妨げていた。[Problems to be Solved by the Invention] Wire bonding has been used as a means of repairing disconnections in conventional manufacturing methods. The following two conditions are well known for devices resulting from wire bonding. One is
The material of the wire and the material of the connecting electrode must be the same. Furthermore, in order to ensure adhesiveness in bonding, the thickness of the connection electrode is required to be about 1 μm. The above two conditions are constraints on the array configuration, and there is no flexibility in array design, which ultimately hinders improvements in productivity and yield.
【0010】また、従来の製造方法では断線救済の工程
で、ボンディングによって電気的に接続する際に、異種
導体の電位の差によってスイッチング素子の特性の劣化
や新たな断線が発生する場合、いわゆる静電気破壊が生
じた。さらに、断線の発生する信号配線がランダムであ
るために、ボンディングによる救済を工程として自動化
することがきわめて困難であった。[0010] In addition, in the conventional manufacturing method, when electrically connecting by bonding in the process of repairing disconnections, if the characteristics of the switching element deteriorate or new disconnections occur due to the difference in potential between different conductors, so-called static electricity Destruction occurred. Furthermore, since the signal wirings in which disconnections occur are random, it is extremely difficult to automate repair by bonding as a process.
【0011】そこで本発明は、断線の救済を行いつつ、
上記の欠点を解消し、かつ、簡便な方法によって表示品
位の優れた液晶表示装置を提供すること、さらに、その
液晶表示装置の製造方法を得ることを目的とするもので
ある。[0011] Therefore, the present invention provides relief from disconnection while
It is an object of the present invention to provide a liquid crystal display device that eliminates the above-mentioned drawbacks and has excellent display quality using a simple method, and also to obtain a method for manufacturing the liquid crystal display device.
【0012】0012
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明の液晶表示装置は画像表示領域を構成する全て
の信号配線電極の両端部と電気的に接続された画像表示
領域以外の領域を通る補助配線を有した構成とするもの
である。[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the liquid crystal display device of the present invention provides an area other than the image display area that is electrically connected to both ends of all signal wiring electrodes constituting the image display area. The structure has an auxiliary wiring that passes through.
【0013】また、本発明の液晶表示装置は、上記構成
で断線検査をおこなうために、それぞれの信号配線と上
記補助配線との間、あるいは補助配線内にダイオードを
具備するものである。Further, the liquid crystal display device of the present invention is provided with a diode between each signal wiring and the auxiliary wiring or within the auxiliary wiring in order to perform a disconnection test with the above configuration.
【0014】さらに、本発明の製造方法は、アレイ基板
の完成後、画像表示領域内を構成する信号配線について
電気的な断線を検査し、その後、断線が検出されたとこ
ろ以外の全ての信号配線を補助配線からレーザー光線で
電気的に切り放すものである。Furthermore, in the manufacturing method of the present invention, after the array substrate is completed, the signal wiring constituting the image display area is inspected for electrical disconnection, and then all signal wiring except where the disconnection is detected is inspected. is electrically disconnected from the auxiliary wiring using a laser beam.
【0015】[0015]
【作用】前記のように構成された液晶表示装置では、従
来どおり断線の救済をおこないつつ、アレイ構成である
信号配線の材料をアレイプロセスで歩留り、信頼性の高
いものを使用し、さらに、表示品質の優れた設計に変更
することができた。これによって、液晶表示デバイスの
歩留り、表示性能を飛躍的に向上することができた。[Operation] In the liquid crystal display device configured as described above, while repairing disconnections as before, the material for the signal wiring in the array configuration is made of high-yield and highly reliable materials in the array process, and the display I was able to change the design to one with better quality. This made it possible to dramatically improve the yield and display performance of liquid crystal display devices.
【0016】さらに、本発明の製造方法では、断線救済
の工程で静電気などによる不良の発生を完全に抑えるこ
とができた。しかも、工程を容易に自動化でき、コスト
ダウンを図ることができた。Furthermore, in the manufacturing method of the present invention, it was possible to completely suppress the occurrence of defects due to static electricity, etc. in the process of repairing disconnections. Furthermore, the process could be easily automated and costs could be reduced.
【0017】[0017]
【実施例】以下本発明の実施例について説明する。図1
は本発明の一実施例の液晶表示装置の構成断面図である
。非晶質珪素を半導体とした薄膜トランジスタ(TFT
)からなるスイッチング素子群21とインジウム−錫酸
化物(以下ITO)からなる画素電極群22とポリイミ
ド配向膜23とゲート電極としてアルミニウムとクロム
の2層構造、ソース電極としてアルミニウムとチタンの
2層構造からなる信号配線電極群24からなる画像表示
領域25と信号配線電極24と同様な構成をもつ外部駆
動回路からの信号入力電極群26とアルミニウムとチタ
ンからなる補助配線群33を有し、信号配線電極24と
補助配線群33の間に非晶質珪素からなるダイオード3
4を形成したガラス基板27aからなるアレイ基板20
aと、ITOからなる透明共通電極28とクロムによっ
て形成されたブラックストライプ層29とポリイミド配
向膜23を有したガラス基板27bからなる対向基板2
0bにガラスファイバー或いは樹脂微粒子からなるスペ
ーサ30を設け、画素電極22と透明共通電極28を対
向させて樹脂接着剤31にて貼合わせ、スペーサ30に
より形成された間隙に液晶組成物32を充填した。ここ
で、液晶はTN型を用いた。以上のような構成された液
晶表示デバイスの動作は従来と同様である。[Examples] Examples of the present invention will be described below. Figure 1
FIG. 1 is a cross-sectional view of a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention. Thin film transistor (TFT) using amorphous silicon as a semiconductor
), a pixel electrode group 22 made of indium-tin oxide (hereinafter referred to as ITO), a polyimide alignment film 23, a two-layer structure of aluminum and chromium as a gate electrode, and a two-layer structure of aluminum and titanium as a source electrode. It has an image display area 25 consisting of a signal wiring electrode group 24, a signal input electrode group 26 from an external drive circuit having the same configuration as the signal wiring electrode 24, and an auxiliary wiring group 33 made of aluminum and titanium. A diode 3 made of amorphous silicon is provided between the electrode 24 and the auxiliary wiring group 33.
An array substrate 20 consisting of a glass substrate 27a on which 4 is formed.
a, and a counter substrate 2 consisting of a glass substrate 27b having a transparent common electrode 28 made of ITO, a black stripe layer 29 made of chromium, and a polyimide alignment film 23.
A spacer 30 made of glass fiber or resin fine particles was provided at 0b, the pixel electrode 22 and the transparent common electrode 28 were bonded together with a resin adhesive 31 so as to face each other, and the gap formed by the spacer 30 was filled with a liquid crystal composition 32. . Here, a TN type liquid crystal was used. The operation of the liquid crystal display device configured as described above is the same as the conventional one.
【0018】図2は、本発明の一実施例の液晶表示デバ
イスの簡略化した等価回路図を示している。画像表示領
域25では互いに直交するソース電極である信号配線2
4aとゲート電極である信号配線24bなどからなって
いる。ここではTFTおよび画素電極は省略してある。
ソース電極側の信号入力電極26aはダイオード34を
介してソース側の補助配線33aで信号配線24aの他
方の端に電気的に接続されている。ゲート電極側の信号
配線24bもソース電極側と同様、ダイオード34を介
して接続されている。例えば、ソース配線D−D′が3
5で断線が生じた場合、補助配線36のみを残し、他の
補助配線をレーザー光線によって切断することによって
、表示欠陥のない液晶表示デバイスを得た。FIG. 2 shows a simplified equivalent circuit diagram of a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention. In the image display area 25, signal wirings 2, which are source electrodes orthogonal to each other,
4a and a signal wiring 24b which is a gate electrode. TFTs and pixel electrodes are omitted here. The signal input electrode 26a on the source electrode side is electrically connected to the other end of the signal line 24a via the diode 34 by the auxiliary line 33a on the source side. The signal wiring 24b on the gate electrode side is also connected via the diode 34, similarly to the source electrode side. For example, source wiring D-D' is 3
When a disconnection occurred in No. 5, only the auxiliary wiring 36 was left and the other auxiliary wirings were cut with a laser beam, thereby obtaining a liquid crystal display device with no display defects.
【0019】図3は本発明の他の実施例の等価回路図で
ある。画像表示領域25は、前記実施例と同様な構成と
なっている。また、断線の救済方式についても同様であ
る。ここでは、配線電極を複数本まとめて1本の補助配
線33a′に接続する構成をとっている。この構成では
全ての信号配線の断線の救済できるものではないが、補
助配線の占める面積が少なくなるためにアレイ基板を小
さくすることができた。FIG. 3 is an equivalent circuit diagram of another embodiment of the present invention. The image display area 25 has a configuration similar to that of the embodiment described above. The same applies to the method for repairing disconnection. Here, a configuration is adopted in which a plurality of wiring electrodes are connected together to one auxiliary wiring 33a'. Although this configuration cannot repair all signal wiring disconnections, it is possible to reduce the size of the array substrate because the area occupied by the auxiliary wiring is reduced.
【0020】図4(A)は本発明のさらに他の実施例の
アレイ基板の平面図で、図4(B)は図4(A)におけ
るダイオード周辺4Bの拡大平面図である。本実施例に
おいては断線が検出されなかった信号配線24cについ
て、ダイオード34と補助配線33a′との間の部分3
7をレーザー光線によって切断し、電気的に切り放した
。FIG. 4(A) is a plan view of an array substrate according to still another embodiment of the present invention, and FIG. 4(B) is an enlarged plan view of the periphery 4B of the diode in FIG. 4(A). In this embodiment, for the signal wiring 24c in which no disconnection was detected, the portion 3 between the diode 34 and the auxiliary wiring 33a'
7 was cut by laser beam and electrically disconnected.
【0021】次に、本発明の液晶表示装置の製造方法に
ついて説明する。図5は本発明の製造方法の一実施例の
フローチャートである。断線救済としてレーザー切断を
用いた。断線検査について図2を用いて詳しく説明する
。本実施例では、例えば、ソース信号配線の断線検査(
83)では、ソース信号配線の一端である信号入力電極
26aのAと他方のA′にプローブを接続させ、A′の
プローブに電源を接続し正の電位をあたえ、Aのプロー
ブに電流計を接続した。電流が流れるパスは信号配線2
4aと補助配線33aの2とおりがあるが、ダイオード
34があるために信号配線24aの断線状況を検出する
ことができる。断線が生じた場合は、断線の生じた補助
電極のみを残し、他の補助電極をレーザー光線によって
切断する(94)。他の工程は図8に示す従来の工程と
同様である。Next, a method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention will be explained. FIG. 5 is a flowchart of an embodiment of the manufacturing method of the present invention. Laser cutting was used to repair the disconnection. The disconnection inspection will be explained in detail using FIG. 2. In this embodiment, for example, disconnection inspection of source signal wiring (
83), connect a probe to A of the signal input electrode 26a, which is one end of the source signal wiring, and A' of the other end, connect a power supply to the probe of A' and apply a positive potential, and connect an ammeter to the probe of A. Connected. The path through which the current flows is signal wiring 2
There are two types, 4a and auxiliary wiring 33a, and since the diode 34 is provided, it is possible to detect a disconnection state of the signal wiring 24a. If a disconnection occurs, only the auxiliary electrode with the disconnection is left, and the other auxiliary electrodes are cut with a laser beam (94). Other steps are similar to the conventional steps shown in FIG.
【0022】[0022]
【発明の効果】以上のように本発明は、従来どおり断線
の救済をおこないつつ、アレイ構成である信号配線の材
料をアレイプロセスで歩留り、信頼性の高いものを使用
し、さらに、表示品質の優れた設計に変更することがで
きた。これによって、液晶表示装置の歩留り、表示性能
を飛躍的に向上することが確認できた。[Effects of the Invention] As described above, the present invention improves the yield of the signal wiring in the array process, uses materials with high reliability, and improves the display quality while repairing disconnections as before. I was able to change it to a better design. It was confirmed that this dramatically improved the yield and display performance of the liquid crystal display device.
【0023】さらに、本発明の製造方法で、断線救済の
工程で静電気などによる不良の発生を完全に抑えること
ができる。しかも、工程が容易に自動化でき、コストダ
ウンを図ることが確認できる。Furthermore, with the manufacturing method of the present invention, it is possible to completely suppress the occurrence of defects due to static electricity, etc. in the process of repairing disconnections. Furthermore, it can be confirmed that the process can be easily automated and costs can be reduced.
【図1】本発明の一実施例の液晶表示装置の断面構成図
FIG. 1 is a cross-sectional configuration diagram of a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.
【図2】本発明の一実施例の液晶表示装置の等価回路図
FIG. 2 is an equivalent circuit diagram of a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.
【図3】本発明の他の実施例の液晶表示装置の等価回路
図FIG. 3 is an equivalent circuit diagram of a liquid crystal display device according to another embodiment of the present invention.
【図4】(A)本発明のさらに他の実施例の液晶表示装
置の平面図
(B)図4(A)の4Bを拡大した拡大平面図4(A) A plan view of a liquid crystal display device according to still another embodiment of the present invention. FIG. 4(B) An enlarged plan view of 4B in FIG. 4(A).
【図5】
本発明の一実施例の液晶表示装置の製造方法を示すフロ
ーチャート[Figure 5]
Flowchart showing a method for manufacturing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention
【図6】従来の液晶表示装置の断面構成図[Figure 6] Cross-sectional configuration diagram of a conventional liquid crystal display device
【図7】(A
)同平面図
(B)図7(A)の7Bを拡大した拡大平面図[Figure 7] (A
) Same plan view (B) Enlarged plan view of 7B in Fig. 7 (A)
【図8】
従来の液晶表示装置の製造方法を示すフローチャート[Figure 8]
Flowchart showing a conventional method for manufacturing a liquid crystal display device
21 スイッチング素子群 22 画素電極 23 ポリイミド配向膜 24 信号配線電極 24a,24b 信号配線 26 信号入力電極群 27a,27b ガラス基板 30 スペーサ 32 液晶組成物 33 補助配線群 33a 補助配線 34 ダイオード 35 断線 36 補助電極 21 Switching element group 22 Pixel electrode 23 Polyimide alignment film 24 Signal wiring electrode 24a, 24b Signal wiring 26 Signal input electrode group 27a, 27b Glass substrate 30 Spacer 32 Liquid crystal composition 33 Auxiliary wiring group 33a Auxiliary wiring 34 Diode 35 Disconnection 36 Auxiliary electrode
Claims (7)
基板がそれぞれの電極面側を互いに向かい合い、かつ、
所定の間隙を保ちつつ配置され、その間隙内に液晶組成
物を充填してなる液晶表示装置であり、上記電極付基板
の画像表示領域を構成する全ての信号配線の両端部と電
気的に接続された画像表示領域以外の領域を通る補助配
線を有する液晶表示装置。Claim 1: A pair of substrates with electrodes, at least one of which is transparent, with their electrode surfaces facing each other, and
A liquid crystal display device that is arranged with a predetermined gap and filled with a liquid crystal composition, and is electrically connected to both ends of all the signal wirings that make up the image display area of the electrode-equipped substrate. A liquid crystal display device having auxiliary wiring passing through an area other than the image display area.
、あるいは上記補助配線内にダイオードを具備する請求
項1記載の液晶表示装置。2. The liquid crystal display device according to claim 1, further comprising a diode between each signal wiring and the auxiliary wiring or within the auxiliary wiring.
数の組に分け、その組ごとに1本の補助配線を有する請
求項1記載の液晶表示装置。3. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the signal wiring constituting the image display area is divided into a plurality of groups, and each group has one auxiliary wiring.
にスイッチング素子群と、これらを形成する配線電極群
からなるマトリックス状の画像表示領域を有する請求項
1記載の液晶表示装置。4. The liquid crystal display device according to claim 1, further comprising a matrix-shaped image display area comprising a switching element group and a wiring electrode group forming the switching elements on the side of the electrode-equipped substrate that is in contact with the liquid crystal composition.
タから形成されている請求項4記載の液晶表示装置。5. The liquid crystal display device according to claim 4, wherein the switching element group is formed of thin film transistors.
金属構造およびダイオード構造など2端子回路からなる
請求項4記載の液晶表示装置。[Claim 6] The switching element group is metal-insulator-
5. The liquid crystal display device according to claim 4, comprising a two-terminal circuit such as a metal structure and a diode structure.
を構成する信号配線について電気的な断線を検査し、そ
の後、断線が検出されたところ以外の全ての信号配線電
極を補助配線からレーザー光線で電気的に切り放す液晶
表示装置の製造方法。7. After manufacturing the substrate with electrodes, the signal wiring constituting the image display area is inspected for electrical disconnection, and then all signal wiring electrodes other than those where the disconnection is detected are exposed to laser beams from the auxiliary wiring. A method for manufacturing a liquid crystal display device that is electrically disconnected.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03130913A JP3130073B2 (en) | 1991-06-03 | 1991-06-03 | Method for manufacturing array substrate for liquid crystal display device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03130913A JP3130073B2 (en) | 1991-06-03 | 1991-06-03 | Method for manufacturing array substrate for liquid crystal display device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04355729A true JPH04355729A (en) | 1992-12-09 |
| JP3130073B2 JP3130073B2 (en) | 2001-01-31 |
Family
ID=15045669
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|---|---|---|---|
| JP03130913A Expired - Fee Related JP3130073B2 (en) | 1991-06-03 | 1991-06-03 | Method for manufacturing array substrate for liquid crystal display device |
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| Country | Link |
|---|---|
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| WO2006080129A1 (en) * | 2005-01-27 | 2006-08-03 | Sharp Kabushiki Kaisha | Display device, liquid crystal display device, and method for manufacturing the display device |
| JP2010008966A (en) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Toshiba Corp | Display |
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1991
- 1991-06-03 JP JP03130913A patent/JP3130073B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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