JPH04215005A - 走査型トンネル顕微鏡の画像処理方法 - Google Patents
走査型トンネル顕微鏡の画像処理方法Info
- Publication number
- JPH04215005A JPH04215005A JP2401273A JP40127390A JPH04215005A JP H04215005 A JPH04215005 A JP H04215005A JP 2401273 A JP2401273 A JP 2401273A JP 40127390 A JP40127390 A JP 40127390A JP H04215005 A JPH04215005 A JP H04215005A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、観察すべき試料の表面
とその表面に相対向する探針との間に流れるトンネル電
流を測定することにより、試料表面の状態を測定する走
査型トンネル顕微鏡の画像処理方法に関するものである
。
とその表面に相対向する探針との間に流れるトンネル電
流を測定することにより、試料表面の状態を測定する走
査型トンネル顕微鏡の画像処理方法に関するものである
。
【０００２】
【従来の技術】走査型トンネル顕微鏡（以下、ＳＴＭと
略称する。）は、試料と探針間に電圧を印加しながら探
針を試料表面に接近させ、両者の間に流れるトンネル電
流を測定することにより試料表面の状態を測定するもの
である。両者間に流れるトンネル電流の値は、両者間の
距離に対して指数関数的に大きく依存する特徴をもって
いるので、この特徴を利用して、試料面内で原子サイズ
オーダの非常に微細な電子状態を計測し、さらにこれを
視覚的に見えるように画像処理する。
略称する。）は、試料と探針間に電圧を印加しながら探
針を試料表面に接近させ、両者の間に流れるトンネル電
流を測定することにより試料表面の状態を測定するもの
である。両者間に流れるトンネル電流の値は、両者間の
距離に対して指数関数的に大きく依存する特徴をもって
いるので、この特徴を利用して、試料面内で原子サイズ
オーダの非常に微細な電子状態を計測し、さらにこれを
視覚的に見えるように画像処理する。
【０００３】この種の技術は、１９６０年代にＲ．Ｙｏ
ｕｎｇ が発明した原理（Ｒｅｖ．Ｓｉｃ．Ｉｎｓｔｒ
ｕｍ ３７（１９６６）ｐｐ２７５ ）に基づいており
、その名をトポグラファイナー（ｔｏｐｏｇｒａｆｉｎ
ｅｒ）と称した。この装置の構成要素は、基本的には今
日のＳＴＭと同様であるが、試料の表面形状の計測手段
として、電解放射による電流を用いた点において異なる
。一方、Ｇ．ＢｉｎｎｉｎｇとＨ．Ｒｏｈｅｒｅは、こ
の計測手段にトンネル電流を用いることにより、試料の
表面形状の測定を行なった。その内容は、Ｇ．Ｂｉｎｎ
ｉｎｇ らによるＰｈｙｓ．Ｒｅｖ．Ｌｅｔｔ．４９（
１９８２）ｐ５７ およびＵ．Ｓ Ｐａｔｅｎｔ ４３
４３９９３に記載されている。以下、このようなＳＴＭ
について、第４図に示す概略構成図を参照しながら説明
する。
ｕｎｇ が発明した原理（Ｒｅｖ．Ｓｉｃ．Ｉｎｓｔｒ
ｕｍ ３７（１９６６）ｐｐ２７５ ）に基づいており
、その名をトポグラファイナー（ｔｏｐｏｇｒａｆｉｎ
ｅｒ）と称した。この装置の構成要素は、基本的には今
日のＳＴＭと同様であるが、試料の表面形状の計測手段
として、電解放射による電流を用いた点において異なる
。一方、Ｇ．ＢｉｎｎｉｎｇとＨ．Ｒｏｈｅｒｅは、こ
の計測手段にトンネル電流を用いることにより、試料の
表面形状の測定を行なった。その内容は、Ｇ．Ｂｉｎｎ
ｉｎｇ らによるＰｈｙｓ．Ｒｅｖ．Ｌｅｔｔ．４９（
１９８２）ｐ５７ およびＵ．Ｓ Ｐａｔｅｎｔ ４３
４３９９３に記載されている。以下、このようなＳＴＭ
について、第４図に示す概略構成図を参照しながら説明
する。
【０００４】第４図において、真空容器１内には、基台
２上に架台３が立設され、架台３の水平部の先端部下側
に試料台４が設けられ、この試料台４に試料５が支持さ
れている。水平方向に互いに直角に配置されたアクチュ
エータである圧電素子６，７と垂直方向に配されたアク
チュエータである圧電素子８とは、各一端で互いに直角
に交差するように接合され、圧電素子６，７の各他端は
、基台２上に立設された架台９，１０に接合され、圧電
素子８の他端は基台２に接合されている。
２上に架台３が立設され、架台３の水平部の先端部下側
に試料台４が設けられ、この試料台４に試料５が支持さ
れている。水平方向に互いに直角に配置されたアクチュ
エータである圧電素子６，７と垂直方向に配されたアク
チュエータである圧電素子８とは、各一端で互いに直角
に交差するように接合され、圧電素子６，７の各他端は
、基台２上に立設された架台９，１０に接合され、圧電
素子８の他端は基台２に接合されている。
【０００５】各圧電素子６，７，８の交差部上には、試
料５に対向して探針１１が支持され、各圧電素子６，７
の駆動により、探針１１が試料５の表面に対し水平面内
で直交するＸ，Ｙの２方向に移動（ラスター走査）され
、圧電素子８の駆動により、探針１１が試料５の表面に
対し垂直方向であるＺ方向に移動される。すなわち、探
針１１がＸ，Ｙ，Ｚの３次元に移動される。
料５に対向して探針１１が支持され、各圧電素子６，７
の駆動により、探針１１が試料５の表面に対し水平面内
で直交するＸ，Ｙの２方向に移動（ラスター走査）され
、圧電素子８の駆動により、探針１１が試料５の表面に
対し垂直方向であるＺ方向に移動される。すなわち、探
針１１がＸ，Ｙ，Ｚの３次元に移動される。
【０００６】各圧電素子６，７，８は、駆動回路１２か
ら電圧を印加されて駆動される。また、探針１１と試料
５との間にも電圧が印加され、そこに流れるトンネル電
流が検出手段１３により検出される。制御回路１４は、
探針１１と試料５との間に流れるトンネル電流の値が一
定となるように、検出手段１３の検出結果をもとに圧電
素子８に印加する電圧を可変してその駆動を制御する。
ら電圧を印加されて駆動される。また、探針１１と試料
５との間にも電圧が印加され、そこに流れるトンネル電
流が検出手段１３により検出される。制御回路１４は、
探針１１と試料５との間に流れるトンネル電流の値が一
定となるように、検出手段１３の検出結果をもとに圧電
素子８に印加する電圧を可変してその駆動を制御する。
【０００７】ＳＴＭでは、試料５と探針１１の間に流れ
るトンネル電流の値を直接画像信号とする場合と、トン
ネル電流が常に一定になるようにアクチュエータに印加
された制御信号を画像信号とする場合の２つの方法があ
る。前者は試料５と探針１１の間隔がオングストローム
オーダと非常に近接しているため、探針１１を２次元に
走査するときに試料５と探針１１がぶつかる可能性が高
く、走査範囲はきわめて狭い場合に限られている。それ
に対して、本発明が適用される後者の場合は、試料５と
探針１１の間隔が常に一定に保たれるので、探針１１が
試料５にぶつかることがなく、広い範囲の画像を得よう
とするＳＴＭに広く用いられてい る。
るトンネル電流の値を直接画像信号とする場合と、トン
ネル電流が常に一定になるようにアクチュエータに印加
された制御信号を画像信号とする場合の２つの方法があ
る。前者は試料５と探針１１の間隔がオングストローム
オーダと非常に近接しているため、探針１１を２次元に
走査するときに試料５と探針１１がぶつかる可能性が高
く、走査範囲はきわめて狭い場合に限られている。それ
に対して、本発明が適用される後者の場合は、試料５と
探針１１の間隔が常に一定に保たれるので、探針１１が
試料５にぶつかることがなく、広い範囲の画像を得よう
とするＳＴＭに広く用いられてい る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】試料表面とＸＹ方向の
２次元に走査するアクチュエータの移動する平面は、必
ずしもオングストロームオーダで完全な平行状態になっ
ているのではなく、少なからず非平行な状態にセットさ
れる。このことは、例えば探針をＸ方向に走査するとき
に、始点と終点とでは試料と探針の距離が異なることに
なり、トンネル電流に対して非常に大きな影響を与える
。ＳＴＭでは、試料表面の電子密度の変化をトンネル電
流の変化として観測しようとしているにも拘らず、始点
と終点とで試料と探針の距離が異なることは、信号成分
とは関係のない一定の傾斜を持つバイアスが加わること
になる。従って、ＳＴＭ画像に変換するためには、何等
かの方法でこのバックグランドを差し引く手段が必要と
なる。
２次元に走査するアクチュエータの移動する平面は、必
ずしもオングストロームオーダで完全な平行状態になっ
ているのではなく、少なからず非平行な状態にセットさ
れる。このことは、例えば探針をＸ方向に走査するとき
に、始点と終点とでは試料と探針の距離が異なることに
なり、トンネル電流に対して非常に大きな影響を与える
。ＳＴＭでは、試料表面の電子密度の変化をトンネル電
流の変化として観測しようとしているにも拘らず、始点
と終点とで試料と探針の距離が異なることは、信号成分
とは関係のない一定の傾斜を持つバイアスが加わること
になる。従って、ＳＴＭ画像に変換するためには、何等
かの方法でこのバックグランドを差し引く手段が必要と
なる。
【０００９】このような手段としては、例えば、走査す
る始点と終点付近を直線で結び、その直線の値を源信号
から差し引く方法、またはバイアス成分を２次元画像に
拡大して、平面や多次元の曲面として扱う方法がある。
る始点と終点付近を直線で結び、その直線の値を源信号
から差し引く方法、またはバイアス成分を２次元画像に
拡大して、平面や多次元の曲面として扱う方法がある。
【００１０】しかしながら、ここで問題となるのは、原
子オーダの分解能で単結晶表面を観測するときに、表面
の原子層がステップと呼ばれる段々畑のような表面構造
をもつ場合である。このようなステップ上の段差のある
試料を従来の手法でバックグランドを差し引くと、試料
表面とバックグランドの面とは完全な平行でないために
、ステップ端のコントラストが強調されたような不自然
な画像になってしまい、正確なイメージが得られないと
いう問題があった。
子オーダの分解能で単結晶表面を観測するときに、表面
の原子層がステップと呼ばれる段々畑のような表面構造
をもつ場合である。このようなステップ上の段差のある
試料を従来の手法でバックグランドを差し引くと、試料
表面とバックグランドの面とは完全な平行でないために
、ステップ端のコントラストが強調されたような不自然
な画像になってしまい、正確なイメージが得られないと
いう問題があった。
【００１１】本発明は、このような従来の問題を解決す
るものであり、試料表面に階段状の段差のある試料を正
確に画像表現することのできるＳＴＭにおける画像処理
方法を提供することを目的とする。
るものであり、試料表面に階段状の段差のある試料を正
確に画像表現することのできるＳＴＭにおける画像処理
方法を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、はじめに比較的簡単な方法でバックグラ
ンドを差し引いた仮の画像を作成し、次にこの画像を見
ながらマウス等の座標入力装置を用いて、ステップ部分
を避けた同一原子層からなる平面部分の任意の３ヵ所を
選び、その３点を通る平面を基準面として計算し、測定
データからバックグランドを差し引くようにしたもので
ある。
成するために、はじめに比較的簡単な方法でバックグラ
ンドを差し引いた仮の画像を作成し、次にこの画像を見
ながらマウス等の座標入力装置を用いて、ステップ部分
を避けた同一原子層からなる平面部分の任意の３ヵ所を
選び、その３点を通る平面を基準面として計算し、測定
データからバックグランドを差し引くようにしたもので
ある。
【００１３】
【作用】ＳＴＭは、試料と探針に電圧を印加し、試料と
探針をきわめて接近させたときに流れるトンネル電流を
凹凸のイメージに表現するものであり、測定方法は探針
に流れるトンネル電流が常に一定になるように、試料と
探針の距離をＺ方向のアクチュエータで制御しながら探
針を試料表面に沿って走査する。走査方法は出発点から
Ｘ方向に一定距離だけ移動させた後、もとの位置に戻る
。次にＹ方向にわずかの距離だけ移動させた後、同様に
Ｘ方向に一定距離だけ移動し出発点に戻る。このような
動作を繰り返すことにより、試料表面のデータを得る。
探針をきわめて接近させたときに流れるトンネル電流を
凹凸のイメージに表現するものであり、測定方法は探針
に流れるトンネル電流が常に一定になるように、試料と
探針の距離をＺ方向のアクチュエータで制御しながら探
針を試料表面に沿って走査する。走査方法は出発点から
Ｘ方向に一定距離だけ移動させた後、もとの位置に戻る
。次にＹ方向にわずかの距離だけ移動させた後、同様に
Ｘ方向に一定距離だけ移動し出発点に戻る。このような
動作を繰り返すことにより、試料表面のデータを得る。
【００１４】一般にＸＹ方向のアクチュエータが移動し
てなす平面と試料平面とは平行でなくわずかに傾いてお
り、探針の出発点と終点の間で両者間の距離が次第に異
なってくる。このためＺ方向のアクチュエータには、本
来試料表面の電子状態に起因する信号の他に、上記の傾
きに起因した一定の傾きを持つバイアスが加わることに
なる。このバイアスは画像表現するとき、バックグラン
ドとして差し引く必要がある。
てなす平面と試料平面とは平行でなくわずかに傾いてお
り、探針の出発点と終点の間で両者間の距離が次第に異
なってくる。このためＺ方向のアクチュエータには、本
来試料表面の電子状態に起因する信号の他に、上記の傾
きに起因した一定の傾きを持つバイアスが加わることに
なる。このバイアスは画像表現するとき、バックグラン
ドとして差し引く必要がある。
【００１５】本発明においては、従来と同様の簡単な方
法で仮のＳＴＭ画像を作成し、次いでこの画像を見なが
ら同一原子層の部分を捜し、マウス等の座標入力装置で
最低３点の座標を入力し、同一原子層がなす平面を求め
る。得られた平面は同一原子層からなる平面であると同
時に試料表面に平行な面でもある。したがって、この平
面を基準面として計算し、これを全ての測定データから
差し引けば試料表面と平行に探針を走査したと同様なデ
ータを導くことができる。このような操作によりステッ
プのある試料でも忠実なＳＴＭイメージを得ることがで
きる。
法で仮のＳＴＭ画像を作成し、次いでこの画像を見なが
ら同一原子層の部分を捜し、マウス等の座標入力装置で
最低３点の座標を入力し、同一原子層がなす平面を求め
る。得られた平面は同一原子層からなる平面であると同
時に試料表面に平行な面でもある。したがって、この平
面を基準面として計算し、これを全ての測定データから
差し引けば試料表面と平行に探針を走査したと同様なデ
ータを導くことができる。このような操作によりステッ
プのある試料でも忠実なＳＴＭイメージを得ることがで
きる。
【００１６】
【実施例】以下、図面を参照しながら本発明の一実施例
について説明する。まず初めに、第３図にシリコン（１
１１）面の正常な表面をＳＴＭで観察した測定データの
一例を示す。これはＸ方向に走査したときのＺ方向のア
クチュエータに加えられた電圧変化を示す。この電圧は
トンネル電流が常に一定値になるように、制御された信
号電圧である。図に示された小さな脈流は表面原子の電
子状態の変化を示し、途中で階段状に急激に上昇してい
るのは原子層が層ごとずれたいわゆるステップと呼ばれ
るもので、この例では２つのステップが見られる。全体
的に右上がりの傾斜を持つのは試料と探針が非平行のた
め、走査するに従って距離が徐々に変化することにより
付加された電圧である。
について説明する。まず初めに、第３図にシリコン（１
１１）面の正常な表面をＳＴＭで観察した測定データの
一例を示す。これはＸ方向に走査したときのＺ方向のア
クチュエータに加えられた電圧変化を示す。この電圧は
トンネル電流が常に一定値になるように、制御された信
号電圧である。図に示された小さな脈流は表面原子の電
子状態の変化を示し、途中で階段状に急激に上昇してい
るのは原子層が層ごとずれたいわゆるステップと呼ばれ
るもので、この例では２つのステップが見られる。全体
的に右上がりの傾斜を持つのは試料と探針が非平行のた
め、走査するに従って距離が徐々に変化することにより
付加された電圧である。
【００１７】次に、このような測定データをもとに正し
いＳＴＭ画像を得るための画像処理方法について説明す
る。まず初めに第２図（Ａ）に示すように始点と終点の
測定データを直線で結びバックグランドレベルを決定し
、次いで第２図（Ｂ）に示すように従来と同様な方法で
測定データからバックグランドレベルを差し引く。従来
は、このような操作を全ての走査線について行なった後
、得られたデータ郡の中から最低レベルと最高レベルを
求め、最低と最高の間を２５６に等分し、２５６階調を
もつ画像に変換していた。しかしながら、このような従
来の方法では同一の原子層でありながら高さが異なった
イメージの画像が得られてしまう。
いＳＴＭ画像を得るための画像処理方法について説明す
る。まず初めに第２図（Ａ）に示すように始点と終点の
測定データを直線で結びバックグランドレベルを決定し
、次いで第２図（Ｂ）に示すように従来と同様な方法で
測定データからバックグランドレベルを差し引く。従来
は、このような操作を全ての走査線について行なった後
、得られたデータ郡の中から最低レベルと最高レベルを
求め、最低と最高の間を２５６に等分し、２５６階調を
もつ画像に変換していた。しかしながら、このような従
来の方法では同一の原子層でありながら高さが異なった
イメージの画像が得られてしまう。
【００１８】そこで本実施例では、上記のようにして全
ての走査線について得られた測定データからバックグラ
ンドを差し引いて第３図に示すような画像データを得た
後、この画像データを見ながら同一原子層部分からなる
３点Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３を座標入力装置であるマウスを用
いて入力する。この時入力する点は同一原子層内ででき
るだけ離れた３点を選ぶ方がより誤差の少ない基準面を
求めることができる。
ての走査線について得られた測定データからバックグラ
ンドを差し引いて第３図に示すような画像データを得た
後、この画像データを見ながら同一原子層部分からなる
３点Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３を座標入力装置であるマウスを用
いて入力する。この時入力する点は同一原子層内ででき
るだけ離れた３点を選ぶ方がより誤差の少ない基準面を
求めることができる。
【００１９】いま、理解し易いように１本の走査線につ
いて説明すると、第１図（Ａ）において、マウスで指定
した点をｘ１，ｘ２とすると、この２点を結ぶ直線はバ
ックグランドを表わす傾斜と同じことがわかる。次いで
測定データからこのバックグランドを表わす傾斜部分を
差し引くと、第１図（Ｂ）に示すように、得られたデー
タはきれいな階段状を示す。したがって、３次元座標で
は測定点は３点になり、これら３点を通る平面がバック
グランドの基準面に対応することがわかる。
いて説明すると、第１図（Ａ）において、マウスで指定
した点をｘ１，ｘ２とすると、この２点を結ぶ直線はバ
ックグランドを表わす傾斜と同じことがわかる。次いで
測定データからこのバックグランドを表わす傾斜部分を
差し引くと、第１図（Ｂ）に示すように、得られたデー
タはきれいな階段状を示す。したがって、３次元座標で
は測定点は３点になり、これら３点を通る平面がバック
グランドの基準面に対応することがわかる。
【００２０】このようにして、バックグランドを差し引
いたデータをもとに上記したと同様な方法で濃淡画像を
作成することにより、試料の正しい表面状態を観測する
ことができる。
いたデータをもとに上記したと同様な方法で濃淡画像を
作成することにより、試料の正しい表面状態を観測する
ことができる。
【００２１】
【発明の効果】以上のように、本発明は、試料表面が同
一原子層のみで構成されてなく、階段状に原子層がずれ
ているいわゆるステップの存在する試料においても、仮
の画像をもとに座標入力装置であるマウス等を用いて、
同一原子層からなる平面上の３点の座標を入力し、これ
ら３点を通る基準面を求め、試料平面の傾きからくるバ
ックグランドを補正することにより、正しい画像を得る
ことができる。このようにして得られたＳＴＭ画像は、
画像を歪めることなく、ＳＴＭ画像の品質とデータの信
頼性を高めるので、本発明の効果はきわめて大きい。
一原子層のみで構成されてなく、階段状に原子層がずれ
ているいわゆるステップの存在する試料においても、仮
の画像をもとに座標入力装置であるマウス等を用いて、
同一原子層からなる平面上の３点の座標を入力し、これ
ら３点を通る基準面を求め、試料平面の傾きからくるバ
ックグランドを補正することにより、正しい画像を得る
ことができる。このようにして得られたＳＴＭ画像は、
画像を歪めることなく、ＳＴＭ画像の品質とデータの信
頼性を高めるので、本発明の効果はきわめて大きい。
【図１】
（Ａ）は本発明の一実施例における走査トンネル顕微鏡
の測定データとバックグランドの傾斜を決定する方法を
示すグラフ （Ｂ）は測定データからバックグランドを差し引いた後
のデータを示すグラフ
の測定データとバックグランドの傾斜を決定する方法を
示すグラフ （Ｂ）は測定データからバックグランドを差し引いた後
のデータを示すグラフ
【図２】
（Ａ）は図１の前の工程における測定データとバックグ
ランドの傾斜を決定する方法を示すグラフ（Ｂ）は図１
の前の工程における測定データからバックグランドを差
し引いた後のデータを示すグラフ
ランドの傾斜を決定する方法を示すグラフ（Ｂ）は図１
の前の工程における測定データからバックグランドを差
し引いた後のデータを示すグラフ
【図３】同実施例にお
ける全ての走査線について得られた画像データを示すグ
ラフ
ける全ての走査線について得られた画像データを示すグ
ラフ
【図４】従来の走査型トンネル顕微鏡を示す概略構成図
１ 真空容器
２ 基台
３ 架台
４ 試料台
５ 試料
６，７，８ 圧電素子
１１ 探針
１２ 駆動回路
１３ 検出手段
１４ 制御回路
Claims (1)
- 【請求項１】 試料と探針間に流れるトンネル電流が
常に一定になるように試料と探針間の距離を制御しなが
ら探針を試料表面に沿って走査し、得られた画像データ
をもとに試料表面の状態を可視化する画像処理を行なう
に際し、同一原子層からなる平面部分の画像データの中
から少なくとも３点の座標を入力し、３点がつくる平面
を基準面として各座標の測定データを補正することを特
徴とする走査型トンネル顕微鏡の画像処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02401273A JP3121619B2 (ja) | 1990-12-11 | 1990-12-11 | 走査型トンネル顕微鏡の画像処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02401273A JP3121619B2 (ja) | 1990-12-11 | 1990-12-11 | 走査型トンネル顕微鏡の画像処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04215005A true JPH04215005A (ja) | 1992-08-05 |
| JP3121619B2 JP3121619B2 (ja) | 2001-01-09 |
Family
ID=18511114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02401273A Expired - Fee Related JP3121619B2 (ja) | 1990-12-11 | 1990-12-11 | 走査型トンネル顕微鏡の画像処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3121619B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019164090A (ja) * | 2018-03-20 | 2019-09-26 | 株式会社島津製作所 | データ補正方法、データ補正方法をコンピュータに実行させるプログラム、画像処理装置、走査型プローブ顕微鏡 |
| JP2021043096A (ja) * | 2019-09-12 | 2021-03-18 | 株式会社日立ハイテク | パターン高さ情報補正システム及びパターン高さ情報の補正方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6433471A (en) * | 1987-07-27 | 1989-02-03 | Sanyo Electric Co | Cooling device for compressor |
| JPH01263461A (ja) * | 1988-04-12 | 1989-10-19 | Mitsubishi Electric Corp | ヒートポンプ装置 |
-
1990
- 1990-12-11 JP JP02401273A patent/JP3121619B2/ja not_active Expired - Fee Related
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