JPH0412201B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0412201B2 JPH0412201B2 JP111086A JP111086A JPH0412201B2 JP H0412201 B2 JPH0412201 B2 JP H0412201B2 JP 111086 A JP111086 A JP 111086A JP 111086 A JP111086 A JP 111086A JP H0412201 B2 JPH0412201 B2 JP H0412201B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- raw material
- material slurry
- ceramic raw
- ceramic
- carrier film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 58
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 43
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 40
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 9
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 9
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Producing Shaped Articles From Materials (AREA)
- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は積層コンデンサの誘電体等の材料に使
用されるセラミツクグリーンシートの製造方法に
関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a method for manufacturing ceramic green sheets used as materials such as dielectrics of multilayer capacitors.
（従来技術）
一般に、バインダを含むセラミツク原料スラリ
からコーテイング方式によりセラミツクグリーン
シートを製造するには、ドクタブレード法あるい
はリバースロールコータ法と呼ばれる手法が採用
されている。(Prior Art) In general, a method called a doctor blade method or a reverse roll coater method is employed to manufacture ceramic green sheets from a ceramic raw material slurry containing a binder by a coating method.
たとえばドクタブレード法では、第３図に示す
ように、矢印A1およびA2の向きに回転するロー
ル１および２の間に張り渡されたステンレス製の
ベルト３により、矢印A3で示す向きに搬送され
るキヤリヤフイルム４上に原料溜め５を配置す
る。この原料溜め５にセラミツク原料スラリ６を
供給し、原料溜め５からセラミツク原料スラリ６
を流出させてキヤリヤフイルム４上にセラミツク
原料スラリ６を塗布する。この塗布厚は原料溜め
５に設けられたブレード７により調整する。キヤ
リヤフイルム４上に塗布されたセラミツク原料ス
ラリ３を乾燥室８に送つて乾燥させ、乾燥室８に
て乾燥されたセラミツク原料スラリ６をセラミツ
クグリーンシート９としてキヤリヤフイルム４か
ら剥離する。 For example, in the doctor blade method, as shown in Fig. 3, a stainless steel belt 3 stretched between rolls 1 and 2 rotating in the directions of arrows A1 and A2 is used to rotate A raw material reservoir 5 is arranged on the carrier film 4 being conveyed. A ceramic raw material slurry 6 is supplied to this raw material reservoir 5, and a ceramic raw material slurry 6 is supplied from the raw material reservoir 5.
The ceramic raw material slurry 6 is applied onto the carrier film 4 by flowing out. This coating thickness is adjusted by a blade 7 provided in the raw material reservoir 5. The ceramic raw material slurry 3 coated on the carrier film 4 is sent to a drying chamber 8 and dried, and the ceramic raw material slurry 6 dried in the drying chamber 8 is peeled off from the carrier film 4 as a ceramic green sheet 9.
また、具体的には図示しないが、リバースロー
ルコータ法ではロールに付着させたセラミツク原
料スラリをキヤリヤフイルムに転移させることに
より、キヤリヤフイルムに夫々セラミツク原料ス
ラリを塗布するもので、以後は、ドクタブレード
法と同様の工程を経てセラミツクグリーンシート
が製造される。 Although not shown in detail, in the reverse roll coater method, the ceramic raw material slurry adhered to a roll is transferred to the carrier film to apply the ceramic raw material slurry to each carrier film. Ceramic green sheets are manufactured through a process similar to the doctor blade method.
上記ドクタブレード法やリバースロールコータ
法等により、キヤリヤフイルム４に塗布されて乾
燥室８に入つたセラミツク原料スラリ６には、第
４図に示すように、その上から直接、熱風が矢印
で示すように供給されて熱風乾燥される。 As shown in FIG. 4, hot air is directed directly onto the ceramic raw material slurry 6 applied to the carrier film 4 and entered into the drying chamber 8 by the above-mentioned doctor blade method, reverse roll coater method, etc. It is supplied as shown and dried with hot air.
ところで、このセラミツク原料スラリ６の熱風
乾燥時の熱風の風速は極力抑える必要がある。こ
れは、熱風の風速を大きくすると、第４図のセラ
ミツク原料スラリ６の表面層からの溶媒等の蒸発
が内部層の溶媒拡散移動を上回るようになるた
め、
セラミツク原料スラリ６のレベリングが不充
分になり、膜厚のばらつきが大きくなる、
膜厚のばらつきにより乾燥に差が生じ、セラ
ミツクグリーンシート９にひび割れが生じる、
キヤリヤフイルム４上のセラミツク原料スラ
リ６は表面が先に乾燥されるため、内部の溶媒
が蒸発しにくくなり、突発的に溶媒蒸気が吹き
出してセラミツクグリーンシート９にピンホー
ルが発生する。 By the way, the speed of the hot air when drying the ceramic raw material slurry 6 with hot air needs to be suppressed as much as possible. This is because when the speed of the hot air is increased, the evaporation of the solvent etc. from the surface layer of the ceramic raw material slurry 6 shown in Fig. 4 will exceed the solvent diffusion movement in the inner layer, resulting in insufficient leveling of the ceramic raw material slurry 6. The difference in film thickness causes differences in drying and cracks occur in the ceramic green sheet 9. The surface of the ceramic raw material slurry 6 on the carrier film 4 is dried first. , the internal solvent becomes difficult to evaporate, and solvent vapor suddenly blows out, causing pinholes to occur in the ceramic green sheet 9.
セラミツク原料スラリ６の表面と内部層との
間の乾燥の速さの差が大きく、セラミツクグリ
ーンシート９がカーリングする、
といつた多くの問題が生じるからである。 This is because there is a large difference in drying speed between the surface of the ceramic raw material slurry 6 and the inner layer, causing many problems such as curling of the ceramic green sheets 9.
従つて、熱風の風速は極力抑えることが好まし
いが、このようにすると、セラミツク原料スラリ
６の乾燥に時間がかかるという問題があつた。 Therefore, it is preferable to suppress the speed of the hot air as much as possible, but if this is done, there is a problem that it takes a long time to dry the ceramic raw material slurry 6.
（発明の目的）
本発明の目的は、品質のすぐれたセラミツクグ
リーンシートを比較的短い乾燥時間で得るように
したセラミツクグリーンシートの製造方法を提供
することである。(Objective of the Invention) An object of the present invention is to provide a method for producing a ceramic green sheet that can obtain a ceramic green sheet of excellent quality in a relatively short drying time.
（発明の構成）
このため、本発明は、キヤリヤフイルム上に塗
布されたセラミツク原料スラリに熱風を当てて乾
燥させた後、乾燥したセラミツク原料スラリをキ
ヤリヤフイルムから剥離させてグリーンシートを
得るセラミツクグリーンシートの製造方法におい
て、上記熱風の熱を蒸気透過性を有し、キヤリヤ
フイルム上の上記セラミツク原料スラリと間隔を
おいて配置したフイルムを通してキヤリヤフイル
ム上の上記セラミツク原料スラリに供給して乾燥
させることを特徴としている。すなわち、本発明
においては、キヤリヤフイルムに塗布されたセラ
ミツク原料スラリに直接、熱風が当たるのを避
け、セラミツク原料スラリの上方に温度がほぼ一
定の濃度の高い溶媒雰囲気を形成して、セラミツ
ク原料スラリが均一に乾燥するようにする。(Structure of the Invention) Therefore, in the present invention, a ceramic raw material slurry coated on a carrier film is dried by applying hot air, and then the dried ceramic raw material slurry is peeled from the carrier film to obtain a green sheet. In the method for manufacturing a ceramic green sheet, the heat of the hot air is supplied to the ceramic raw material slurry on the carrier film through a film having vapor permeability and arranged at a distance from the ceramic raw material slurry on the carrier film. It is characterized by drying. That is, in the present invention, the ceramic raw material slurry coated on the carrier film is prevented from being exposed to hot air directly, and a highly concentrated solvent atmosphere with a substantially constant temperature is formed above the ceramic raw material slurry, so that the ceramic raw material slurry is coated on the carrier film. Allow the slurry to dry evenly.
（発明の効果）
本発明によれば、乾燥させるセラミツク原料ス
ラリの上方に温度がほぼ一定の濃度の高い溶媒雰
囲気が形成されるので、セラミツク原料スラリは
すべての部位で均一に乾燥され、比較的短時間の
乾燥で膜厚のばらつきが少なく、ひび割れ、ピン
ホールおよびカーリングのない良質のセラミツク
グリーンシートを得ることができる。(Effects of the Invention) According to the present invention, a highly concentrated solvent atmosphere with a substantially constant temperature is formed above the ceramic raw material slurry to be dried, so that the ceramic raw material slurry is dried uniformly in all parts, and is relatively A high-quality ceramic green sheet with little variation in film thickness, no cracks, no pinholes, and no curling can be obtained by drying in a short time.
（実施例）
以下、添付図面を参照して本発明の実施例を説
明する。(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
本発明では、第４図のように、キヤリヤフイル
ム４上に塗布されたセラミツク原料スラリ６に直
接、熱風を供給する代りに、第１図に示すよう
に、セラミツク原料スラリ６の上面から５mm〜10
mmの間隔をおいて配置されたろ紙等の蒸気透過性
のフイルム１１の上から熱風を供給し、この熱風
の熱によりセラミツク原料スラリ６を乾燥させる
ようにする。 In the present invention, instead of supplying hot air directly to the ceramic raw material slurry 6 coated on the carrier film 4 as shown in FIG. 4, as shown in FIG. ~Ten
Hot air is supplied from above vapor permeable films 11 such as filter paper arranged at intervals of mm, and the ceramic raw material slurry 6 is dried by the heat of the hot air.
なお、第１図において、第４図に対応する部分
には対応する符号を付して示し、重複した説明は
省略する。 Note that in FIG. 1, parts corresponding to those in FIG. 4 are designated by corresponding reference numerals, and redundant explanations will be omitted.
このようにすれば、上記フイルム１１の上から
供給される熱風がセラミツク原料スラリ６に直接
当たることがなく、上記熱風が有している熱は上
記フイルム１１とセラミツク原料スラリ６との間
に形成されている空間Ｓを通してセラミツク原料
スラリ６に伝えられる。これにより、セラミツク
原料スラリ６が加熱されて内部の溶媒が矢印で示
すように上記空間Ｓ内に蒸発し、温度が一定の濃
度の高い溶媒雰囲気が上記空間Ｓ内に形成され
る。この温度が一定の溶媒雰囲気中にて、上記セ
ラミツク原料スラリ６は全ての領域で均一に乾燥
され、膜厚のばらつきの少ない、ひび割れやピン
ホールの少ない良質のセラミツクグリーンシート
９となる。 In this way, the hot air supplied from above the film 11 does not directly hit the ceramic raw material slurry 6, and the heat contained in the hot air is generated between the film 11 and the ceramic raw material slurry 6. It is transmitted to the ceramic raw material slurry 6 through the space S where As a result, the ceramic raw material slurry 6 is heated and the solvent therein evaporates into the space S as shown by the arrow, and a highly concentrated solvent atmosphere with a constant temperature is formed in the space S. In this solvent atmosphere at a constant temperature, the ceramic raw material slurry 6 is dried uniformly in all regions, resulting in a high-quality ceramic green sheet 9 with less variation in film thickness and fewer cracks and pinholes.
ちなみに、第１図において、熱風の温度60℃、
風速を0.3m／secとしたとき、得られたセラミツ
クグリーンシート９（膜厚70μm）の膜厚ばらつ
きＲは、Ｒ＝1μmで、ひび割れやピンホールの発
生はなかつた。これに対し、従来の手法によるも
のでは、得られたセラミツクグリーンシート９の
膜厚のばらつきＲは、Ｒ＝4μmで、ひび割れやピ
ンホールの発生が見られた。 By the way, in Figure 1, the temperature of the hot air is 60℃,
When the wind speed was 0.3 m/sec, the film thickness variation R of the obtained ceramic green sheet 9 (thickness: 70 μm) was R=1 μm, and no cracks or pinholes were generated. On the other hand, when using the conventional method, the thickness variation R of the obtained ceramic green sheet 9 was R=4 μm, and cracks and pinholes were observed.
なお、上記実施例において、第２図に示すよう
に、キヤリヤフイルム４の下にヒータＨを配置
し、このヒータＨに電源Ｅを接続して上記キヤリ
ヤフイルム４の下側からもセラミツク原料スラリ
６が加熱されるようにしてもよい。このようにす
れば、セラミツク原料スラリ６の乾燥時間がより
短縮される。 In the above embodiment, as shown in FIG. 2, a heater H is disposed below the carrier film 4, and a power source E is connected to the heater H, so that the ceramic raw material is also supplied from below the carrier film 4. The slurry 6 may be heated. In this way, the drying time of the ceramic raw material slurry 6 is further shortened.
第１図および第２図は夫々本発明に係るセラミ
ツクグリーンシートの製造方法の２つの実施例の
説明図、第３図はドクタブレード法によるセラミ
ツクグリーンシートの製造方法の説明図、第４図
は従来のセラミツクグリーンシートの製造方法の
説明図である。
４…キヤリヤフイルム、６…セラミツク原料ス
ラリ、１１…蒸気透過性のフイルム、Ｈ…ヒー
タ。
1 and 2 are respectively explanatory diagrams of two embodiments of the method for manufacturing ceramic green sheets according to the present invention, FIG. 3 is an explanatory diagram of the method for manufacturing ceramic green sheets by the doctor blade method, and FIG. FIG. 2 is an explanatory diagram of a conventional method for manufacturing ceramic green sheets. 4... Carrier film, 6... Ceramic raw material slurry, 11... Vapor permeable film, H... Heater.
Claims (1)
原料スラリに熱風を当てて乾燥させた後、乾燥し
たセラミツク原料スラリをキヤリアフイルムから
剥離させてグリーンシートを得るセラミツクグリ
ーンシートの製造方法において、上記熱風の熱を
蒸気透過性を有し、キヤリアフイルム上の上記セ
ラミツク原料スラリと間隔をおいて配置したフイ
ルムを通してキヤリアフイルム上の上記セラミツ
ク原料スラリに供給して乾燥させることを特徴と
するセラミツクグリーンシートの製造方法。1. In a method for manufacturing a ceramic green sheet, in which a ceramic raw material slurry coated on a carrier film is dried by applying hot air to it, and then a green sheet is obtained by peeling the dried ceramic raw material slurry from the carrier film, the heat of the hot air is A method for producing a ceramic green sheet, which comprises supplying the ceramic raw material slurry on a carrier film through a film having vapor permeability and spaced apart from the ceramic raw material slurry on a carrier film, and drying the ceramic raw material slurry.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP111086A JPS62158003A (en) | 1986-01-06 | 1986-01-06 | Manufacture of ceramic green sheet |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP111086A JPS62158003A (en) | 1986-01-06 | 1986-01-06 | Manufacture of ceramic green sheet |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62158003A JPS62158003A (en) | 1987-07-14 |
| JPH0412201B2 true JPH0412201B2 (en) | 1992-03-03 |
Family
ID=11492326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP111086A Granted JPS62158003A (en) | 1986-01-06 | 1986-01-06 | Manufacture of ceramic green sheet |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62158003A (en) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0611482B2 (en) * | 1989-04-17 | 1994-02-16 | 日本碍子株式会社 | Method for drying ceramic cast moldings |
| JPH03281203A (en) * | 1990-03-30 | 1991-12-11 | Fujitsu Ltd | Reinforcing adhesive force of green sheet |
| US5290504A (en) * | 1992-10-30 | 1994-03-01 | International Business Machines Corporation | Continuous air bearing vapor stabilization system and method |
| JP2610767B2 (en) * | 1993-03-22 | 1997-05-14 | 日本碍子株式会社 | Method for drying ceramic molded body and apparatus used therefor |
-
1986
- 1986-01-06 JP JP111086A patent/JPS62158003A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62158003A (en) | 1987-07-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FI71801C (en) | FOERFARANDE OCH ANORDNING FOR OTBELAEGGNING AV PAPPER ELLER MOTSVARANDE. | |
| US4035218A (en) | Laminating method for producing pressure-sensitive adhesive coated substrates having a release layer affixed thereto | |
| SE452264B (en) | PROCEDURE FOR IRRIGATION WITH ELECTRONS PROVIDE A SUBSTRATE WITH A VERY LARGE THIN LAYER | |
| JPS6339436B2 (en) | ||
| KR890001755A (en) | High quality thermal recording sheet and its manufacturing method | |
| JPH0412201B2 (en) | ||
| US2320513A (en) | Machine for coating absorbent surfaces | |
| JPH0151355B2 (en) | ||
| JPH02131174A (en) | Drying of belt-like object | |
| US3895603A (en) | Apparatus for manufacturing correction material | |
| US3124476A (en) | Method of coating an oriented | |
| CA2081570A1 (en) | Method of manufacturing electronic device which comprises the step of smoothing a resin coating layer and apparatus for manufacturing the same | |
| US3054716A (en) | Method for casting clay coating | |
| JPS58203088A (en) | Sublimation transfer printing method | |
| JPH0521754B2 (en) | ||
| GB1143660A (en) | ||
| JPH0452229B2 (en) | ||
| US3045289A (en) | Methods for preparing thin sheets from powder material | |
| GB2072095A (en) | A composite | |
| JPS5818284A (en) | Manufacture of ribbon | |
| JPS5916790A (en) | Manufacturing method of base paper for thermal stencil printing | |
| JPS5816894A (en) | Manufacture of offset branket for printing | |
| JPH0719815Y2 (en) | Thermal transfer recording medium | |
| JPS5949940A (en) | Coating method of vinylidene chloride | |
| JPH0549991A (en) | Reverse roll coating method and device therefor |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |