[go: up one dir, main page]

JP7711051B2 - 表示装置、表示モジュール、及び電子機器 - Google Patents

表示装置、表示モジュール、及び電子機器

Info

Publication number
JP7711051B2
JP7711051B2 JP2022522078A JP2022522078A JP7711051B2 JP 7711051 B2 JP7711051 B2 JP 7711051B2 JP 2022522078 A JP2022522078 A JP 2022522078A JP 2022522078 A JP2022522078 A JP 2022522078A JP 7711051 B2 JP7711051 B2 JP 7711051B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
layer
emitting element
transistor
wiring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2022522078A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2021229350A5 (ja
JPWO2021229350A1 (ja
Inventor
進 川島
紘慈 楠
一徳 渡邉
健輔 吉住
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Original Assignee
Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd filed Critical Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Publication of JPWO2021229350A1 publication Critical patent/JPWO2021229350A1/ja
Publication of JPWO2021229350A5 publication Critical patent/JPWO2021229350A5/ja
Priority to JP2025116128A priority Critical patent/JP2025164772A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7711051B2 publication Critical patent/JP7711051B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/22Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources
    • G09G3/30Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels
    • G09G3/32Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED]
    • G09G3/3208Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED] organic, e.g. using organic light-emitting diodes [OLED]
    • G09G3/3225Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED] organic, e.g. using organic light-emitting diodes [OLED] using an active matrix
    • G09G3/3233Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED] organic, e.g. using organic light-emitting diodes [OLED] using an active matrix with pixel circuitry controlling the current through the light-emitting element
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/042Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by opto-electronic means
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09FDISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09FDISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
    • G09F9/30Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09FDISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
    • G09F9/30Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
    • G09F9/302Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements characterised by the form or geometrical disposition of the individual elements
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/121Active-matrix OLED [AMOLED] displays characterised by the geometry or disposition of pixel elements
    • H10K59/1213Active-matrix OLED [AMOLED] displays characterised by the geometry or disposition of pixel elements the pixel elements being TFTs
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/121Active-matrix OLED [AMOLED] displays characterised by the geometry or disposition of pixel elements
    • H10K59/1216Active-matrix OLED [AMOLED] displays characterised by the geometry or disposition of pixel elements the pixel elements being capacitors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/131Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/30Devices specially adapted for multicolour light emission
    • H10K59/35Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
    • H10K59/352Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels the areas of the RGB subpixels being different
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/30Devices specially adapted for multicolour light emission
    • H10K59/35Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
    • H10K59/353Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels characterised by the geometrical arrangement of the RGB subpixels
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2300/00Aspects of the constitution of display devices
    • G09G2300/04Structural and physical details of display devices
    • G09G2300/0421Structural details of the set of electrodes
    • G09G2300/0426Layout of electrodes and connections
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2300/00Aspects of the constitution of display devices
    • G09G2300/08Active matrix structure, i.e. with use of active elements, inclusive of non-linear two terminal elements, in the pixels together with light emitting or modulating elements
    • G09G2300/0809Several active elements per pixel in active matrix panels
    • G09G2300/0842Several active elements per pixel in active matrix panels forming a memory circuit, e.g. a dynamic memory with one capacitor
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2300/00Aspects of the constitution of display devices
    • G09G2300/08Active matrix structure, i.e. with use of active elements, inclusive of non-linear two terminal elements, in the pixels together with light emitting or modulating elements
    • G09G2300/0809Several active elements per pixel in active matrix panels
    • G09G2300/0842Several active elements per pixel in active matrix panels forming a memory circuit, e.g. a dynamic memory with one capacitor
    • G09G2300/0861Several active elements per pixel in active matrix panels forming a memory circuit, e.g. a dynamic memory with one capacitor with additional control of the display period without amending the charge stored in a pixel memory, e.g. by means of additional select electrodes
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2320/00Control of display operating conditions
    • G09G2320/02Improving the quality of display appearance
    • G09G2320/029Improving the quality of display appearance by monitoring one or more pixels in the display panel, e.g. by monitoring a fixed reference pixel
    • G09G2320/0295Improving the quality of display appearance by monitoring one or more pixels in the display panel, e.g. by monitoring a fixed reference pixel by monitoring each display pixel
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/121Active-matrix OLED [AMOLED] displays characterised by the geometry or disposition of pixel elements
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/60OLEDs integrated with inorganic light-sensitive elements, e.g. with inorganic solar cells or inorganic photodiodes
    • H10K59/65OLEDs integrated with inorganic image sensors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K65/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element and at least one organic radiation-sensitive element, e.g. organic opto-couplers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Control Of El Displays (AREA)

Description

本発明の一態様は、表示装置に関する。本発明の一態様は、撮像装置に関する。本発明の一態様は、撮像機能を有する表示装置に関する。
なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する本発明の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示装置、発光装置、蓄電装置、記憶装置、電子機器、照明装置、入力装置、入出力装置、それらの駆動方法、又はそれらの製造方法、を一例として挙げることができる。半導体装置は、半導体特性を利用することで機能しうる装置全般を指す。
近年、表示装置は高解像度の画像を表示するために高精細化が求められている。また、スマートフォン、タブレット型端末、ノート型PC(パーソナルコンピュータ)などの情報端末機器においては、表示装置は、高精細化に加えて、低消費電力化が求められている。さらに、タッチパネルとしての機能、認証のために指紋を撮像する機能など、画像を表示するだけでなく、様々な機能が付加された表示装置が求められている。
表示装置としては、例えば、発光素子を有する発光装置が開発されている。エレクトロルミネッセンス(Electroluminescence、以下ELと記す)現象を利用した発光素子(EL素子とも記す)は、薄型軽量化が容易である、入力信号に対し高速に応答可能である、直流定電圧電源を用いて駆動可能である等の特徴を有し、表示装置に応用されている。例えば、特許文献1に、有機EL素子が適用された、可撓性を有する発光装置が開示されている。
特開2014-197522号公報
本発明の一態様は、撮像機能を有する表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、高精細な表示部または撮像部を有する撮像装置または表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、高精細な画像を撮像することのできる撮像装置、または表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、高感度な撮像を行うことのできる撮像装置、または表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、指紋などの生体情報を取得できる表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、タッチパネルとして機能する表示装置を提供することを課題の一とする。
また、本発明の一態様は、電子機器の部品点数を削減することを課題の一とする。本発明の一態様は、新規な構成を有する表示装置、撮像装置、または電子機器等を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、先行技術の問題点の少なくとも一つを少なくとも軽減することを課題の一とする。
なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。なお、これら以外の課題は、明細書、図面、請求項などの記載から抽出することが可能である。
本発明の一態様は、第1乃至第3のスイッチと、第1のトランジスタと、容量と、受発光素子と、第1乃至第3の配線と、を有する表示装置である。第1の配線は、第1のスイッチを介して第1のトランジスタのゲートと電気的に接続される。第2の配線は、第2のスイッチを介して第1のトランジスタのソース及びドレインの一方と電気的に接続される。受発光素子は、アノードが第3のスイッチを介して第1のトランジスタのソース及びドレインの他方と電気的に接続され、カソードが第3の配線と電気的に接続される。容量は、一方の電極が第1のトランジスタのゲートと電気的に接続され、他方の電極が第1のトランジスタのソース及びドレインの他方と電気的に接続される。第2の配線には、第1の電位が与えられ、第3の配線には、第1の電位よりも低い第2の電位が与えられ、受発光素子は、第1の色の光を発する機能と、第2の色の光を受光し、電気信号に変換する機能と、を有する。
本発明の一態様は、第1乃至第4のスイッチと、第1のトランジスタと、容量と、受発光素子と、第1乃至第4の配線と、を有する表示装置である。第1の配線は、第1のスイッチを介して第1のトランジスタのゲートと電気的に接続される。第2の配線は、第2のスイッチを介して第1のトランジスタのソース及びドレインの一方と電気的に接続される。受発光素子は、アノードが第3のスイッチを介して第1のトランジスタのソース及びドレインの他方と電気的に接続され、カソードが第3の配線と電気的に接続される。第4の配線は、第4のスイッチを介して第1のトランジスタのソース及びドレインの他方と電気的に接続される。容量は、一方の電極が第1のトランジスタのゲートと電気的に接続され、他方の電極が第1のトランジスタのソース及びドレインの他方と電気的に接続される。第2の配線には、第1の電位が与えられ、第3の配線には、第1の電位よりも低い第2の電位が与えられる。受発光素子は、第1の色の光を発する機能と、第2の色の光を受光し、電気信号に変換する機能と、を有する。
また、上記において、第1の期間では、第1乃至第4のスイッチは導通状態であり、第1の配線にはデータ電位が与えられ、第4の配線には、第3の電位が与えられることが好ましい。さらに第2の期間では、第1乃至第4のスイッチは、非導通状態であることが好ましい。
また、上記いずれかにおいて、第3の期間では、第1のスイッチ、第3のスイッチ、及び第4のスイッチは導通状態であり、第2のスイッチは非導通状態であり、第1の配線には、第1の電位よりも低い第4の電位が与えられ、第4の配線には、第2の電位よりも低い第5の電位が与えられることが好ましい。さらに第4の期間では、第1のスイッチ及び第3のスイッチは導通状態であり、第2のスイッチ及び第4のスイッチは非導通状態であり、第1の配線には、第2の電位よりも高い第6の電位が与えられることが好ましい。さらに第5の期間では、第1のスイッチおよび第3のスイッチは非導通状態であり、第2のスイッチ及び第4のスイッチは導通状態であることが好ましい。
また、本発明の他の一態様は、第1乃至第5のトランジスタと、容量と、受発光素子と、第1乃至第4の配線と、を有する表示装置である。第2のトランジスタは、ソース及びドレインの一方が第1の配線と電気的に接続され、ソース及びドレインの他方が第1のトランジスタのゲートと電気的に接続される。第3のトランジスタは、ソース及びドレインの一方が第2の配線と電気的に接続され、ソース及びドレインの他方が第1のトランジスタのソース及びドレインの一方と電気的に接続される。第4のトランジスタは、ソース及びドレインの一方が第1のトランジスタのソース及びドレインの他方と電気的に接続され、ソース及びドレインの他方が受発光素子のアノードと電気的に接続される。受発光素子は、カソードが第3の配線と電気的に接続される。第5のトランジスタは、ソース及びドレインの一方が第1のトランジスタのソース及びドレインの他方と電気的に接続され、ソース及びドレインの他方が第4の配線と電気的に接続される。容量は、一方の電極が第1のトランジスタのゲートと電気的に接続され、他方の電極が第1のトランジスタのソース及びドレインの他方と電気的に接続される。第2の配線には、第1の電位が与えられ、第3の配線には、第1の電位よりも低い第2の電位が与えられる。受発光素子は、第1の色の光を発する機能と、第2の色の光を受光し、電気信号に変換する機能と、を有する。
また、上記において、第1乃至第5のトランジスタのうちの一以上は、ゲートとバックゲートとを有し、ゲートとバックゲートには、同じ電位が与えられることが好ましい。
また、上記において、第2の色の光を発する機能を有する発光素子を有することが好ましい。このとき、受発光素子と発光素子とは、同一面上に設けられることがさらに好ましい。
また、上記において、受発光素子は、第1の画素電極、第1の発光層、活性層、第1の電極を有することが好ましい。また発光素子は、第2の画素電極、第2の発光層、第1の電極を有することが好ましい。このとき、第1の画素電極と、第2の画素電極とは、同一の導電膜を加工して形成されることが好ましい。
また、本発明の他の一態様は、上記いずれかの表示装置と、コネクターまたは集積回路と、を有する、表示モジュールである。
また、本発明の他の一態様は、上記表示モジュールと、アンテナ、バッテリ、筐体、カメラ、スピーカ、マイク、タッチセンサ、及び操作ボタンのうち、少なくとも一つと、を有する、電子機器である。
本発明の一態様によれば、撮像機能を有する表示装置を提供できる。または、表示部または撮像部を有する撮像装置または表示装置を提供できる。または、高精細な画像を撮像することのできる撮像装置、または表示装置を提供できる。または、高感度な撮像を行うことのできる撮像装置、または表示装置を提供できる。または、指紋などの生体情報を取得できる表示装置を提供できる。または、タッチパネルとして機能する表示装置を提供できる。
また、本発明の一態様によれば、電子機器の部品点数を削減できる。または、新規な構成を有する表示装置、撮像装置、または電子機器等を提供できる。または、先行技術の問題点の少なくとも一つを少なくとも軽減できる。
なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、必ずしも、これらの効果の全てを有する必要はない。なお、これら以外の効果は、明細書、図面、請求項などの記載から抽出することが可能である。
図1は、画素の一例を示す回路図である。
図2A、図2Bは、画素回路の動作方法例を説明する図である。
図3A~図3Dは、画素回路の動作方法例を説明する図である。
図4Aは、画素の一例を示す回路図である。図4B、図4Cは、画素回路の動作方法例を説明する図である。
図5A~図5Eは、画素回路の動作方法例を説明する図である。
図6は、表示装置の一例を示す図である。
図7は、画素の一例を示す回路図である。
図8Aは、画素の一例を示す回路図、図8Bは、トランジスタの回路図である。
図9は、画素の一例を示す回路図である。
図10A、図10Bは、表示装置の一例を示す図である。
図11は、画素の一例を示す回路図である。
図12は、表示装置の動作方法の一例を説明する図である。
図13は、表示装置の動作方法の一例を説明する図である。
図14A~図14Dは、表示装置の一例を示す断面図である。図14E~図14Gは、画素の一例を示す上面図である。
図15A~図15Dは、画素の一例を示す上面図である。
図16A~図16Eは、受発光素子の一例を示す断面図である。
図17A、図17Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図18A、図18Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図19A、図19Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図20A、図20Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図21A、図21Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図22は、表示装置の一例を示す斜視図である。
図23は、表示装置の一例を示す断面図である。
図24は、表示装置の一例を示す断面図である。
図25Aは、表示装置の一例を示す断面図である。図25Bは、トランジスタの一例を示す断面図である。
図26A、図26Bは、電子機器の一例を示す図である。
図27A~図27Dは、電子機器の一例を示す図である。
図28A~図28Fは、電子機器の一例を示す図である。
以下、実施の形態について図面を参照しながら説明する。ただし、実施の形態は多くの異なる態様で実施することが可能であり、趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は、以下の実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
なお、以下に説明する発明の構成において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。また、同様の機能を指す場合には、ハッチパターンを同じくし、特に符号を付さない場合がある。
なお、本明細書で説明する各図において、各構成要素の大きさ、層の厚さ、または領域は、明瞭化のために誇張されている場合がある。よって、必ずしもそのスケールに限定されない。
なお、本明細書等における「第1」、「第2」等の序数詞は、構成要素の混同を避けるために付すものであり、数的に限定するものではない。
トランジスタは半導体素子の一種であり、電流または電圧の増幅、導通または非導通を制御するスイッチング動作などを実現することができる。本明細書におけるトランジスタは、IGFET(Insulated Gate Field Effect Transistor)、薄膜トランジスタ(TFT:Thin Film Transistor)を含む。
また、「ソース」と「ドレイン」の機能は、異なる極性のトランジスタを採用する場合、または回路動作において電流の方向が変化する場合などには入れ替わることがある。このため、本明細書においては、「ソース」と「ドレイン」の用語は、入れ替えて用いることができるものとする。
また、本明細書等において、「電気的に接続」には、「何らかの電気的作用を有するもの」を介して接続されている場合が含まれる。ここで、「何らかの電気的作用を有するもの」は、接続対象間での電気信号の授受を可能とするものであれば、特に制限を受けない。例えば、「何らかの電気的作用を有するもの」には、電極、配線をはじめ、トランジスタなどのスイッチング素子、抵抗素子、コイル、容量素子、その他の各種機能を有する素子などが含まれる。
なお、本明細書等においてノードとは、回路を構成する素子の電気的な接続を可能とする素子(例えば、配線など)のことをいう。したがって、”Aが接続されたノード”とは、Aと電気的に接続され、且つAと同電位と見なせる配線のことをいう。なお、配線の途中に電気的な接続を可能とする素子(例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダイオードなど)が1個以上配置されていても、Aと同電位と見なせれば、その配線はAが接続されたノードであるとする。
なお、本明細書において、EL層とは発光素子の一対の電極間に設けられ、少なくとも発光性の物質を含む層(発光層とも呼ぶ)、または発光層を含む積層体を示すものとする。
本明細書等において、表示装置の一態様である表示パネルは表示面に画像等を表示(出力)する機能を有するものである。したがって表示パネルは出力装置の一態様である。
また、本明細書等では、表示パネルの基板に、例えばFPC(Flexible Printed Circuit)もしくはTCP(Tape Carrier Package)などのコネクターが取り付けられたもの、または基板にCOG(Chip On Glass)方式等によりICが実装されたものを、表示パネルモジュール、表示モジュール、または単に表示パネルなどと呼ぶ場合がある。
なお、本明細書等において、表示装置の一態様であるタッチパネルは表示面に画像等を表示する機能と、表示面に指、スタイラスなどの被検知体が触れる、押圧する、または近づくことなどを検出するタッチセンサとしての機能と、を有する。したがってタッチパネルは入出力装置の一態様である。
タッチパネルは、例えばタッチセンサ付き表示パネル(または表示装置)、タッチセンサ機能つき表示パネル(または表示装置)とも呼ぶことができる。タッチパネルは、表示パネルとタッチセンサパネルとを有する構成とすることもできる。または、表示パネルの内部または表面にタッチセンサとしての機能を有する構成とすることもできる。
また、本明細書等では、タッチパネルの基板に、コネクター、ICなどが実装されたものを、タッチパネルモジュール、表示モジュール、または単にタッチパネルなどと呼ぶ場合がある。
(実施の形態1)
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置の構成例、及び駆動方法例について説明する。
本発明の一態様は、マトリクス状に配置された複数の画素を有する表示装置である。画素は、1つ以上の副画素を有する。副画素は、1つ以上の受発光素子を有している。
受発光素子(受発光デバイス)は、第1の色の光を発する、発光素子(発光デバイスともいう)としての機能と、第2の色の光を受光し、電気信号に変換する、光電変換素子(光電変換デバイスともいう)としての機能を併せ持つ素子である。受発光素子は、多機能素子(Multifunctional Element)、多機能ダイオード(Multifunctional Diode)、発光フォトダイオード(Light Emitting Photodiode)、または双方向フォトダイオード(Bidirectional Photodiode)等とも呼ぶことができる。
受発光素子を有する副画素がマトリクス状に複数配置されることで、表示装置は、画像を表示する機能と、撮像する機能と、を併せ持つことができる。そのため、表示装置は、複合デバイス、または多機能デバイスとも呼ぶことができる。
[構成例1]
図1に、受発光素子を有する副画素に適用することのできる、画素回路の一部を示している。画素回路は、スイッチSW1、スイッチSW2、スイッチSW3、スイッチSW4、トランジスタTr1、及び受発光素子SAを有する。また画素回路は、電荷を保持するための容量として、容量CSを有することが好ましい。また、画素回路には、配線SL、配線AL、配線CL、及び配線WXが接続されている。
スイッチSW1、スイッチSW2、スイッチSW3、及びスイッチSW4は、それぞれ2つの端子(電極)を有し、当該端子間の導通、非導通を制御することのできる素子である。
配線SLは、スイッチSW1を介して、トランジスタTr1のゲートと電気的に接続されている。配線ALは、スイッチSW2を介してトランジスタTr1のソース及びドレインの一方と電気的に接続されている。受発光素子SAは、アノードが、スイッチSW3を介してトランジスタTr1のソース及びドレインの他方と電気的に接続されている。受発光素子SAのカソードは、配線CLと電気的に接続されている。配線WXは、スイッチSW4を介して、トランジスタTr1のソース及びドレインの他方と電気的に接続されている。容量CSは、一対の電極の一方がトランジスタTr1のゲートと電気的に接続され、他方がトランジスタTr1のソース及びドレインの他方と電気的に接続されている。
図1では、受発光素子SAのアノードが、トランジスタTr1側に位置する構成としている。このとき、配線CLに与えられる電位は、配線ALに与えられる電位よりも低い電位とすることができる。なお、受発光素子SAのカソードがトランジスタTr1側に位置する構成としてもよく、その場合には配線CLに、配線ALよりも高い電位を与える構成とすることができる。
また、図1等では、トランジスタとしてnチャネル型のトランジスタを用いる例を示すが、一部または全部に、pチャネル型のトランジスタを適用することもできる。このとき、各種電位、信号などを、トランジスタの種類に合わせて適宜変更すればよい。
トランジスタTr1は、受発光素子SAに流れる電流を制御する機能を有する。すなわち、トランジスタTr1は、駆動トランジスタとしての機能を有する。トランジスタTr1は、スイッチSW1を介して配線SLから与えられる電位(データ電位)に応じて、受発光素子SAに流れる電流を制御することができる。受発光素子SAは、当該電流に応じた輝度で発光することができる。
また、トランジスタTr1は、受発光素子SAの露光状態に基づいた信号を出力する、読み出しトランジスタとしての機能を有する。具体的には、トランジスタTr1のゲートに所定の電位が与えられ、ソースに受発光素子SAで受光し発生した電荷に基づく電位が与えられることで、ゲート-ソース間の電圧に応じてトランジスタTr1の導電状態が変化する。配線ALから配線WXに、トランジスタTr1を介して流れる電流により、受発光素子SAの露光状態の情報を取得することができる。配線WXは、読み出し配線としても機能する。
このように、受発光素子SAを発光素子としたときの駆動トランジスタと、受光素子としたときの読み出しトランジスタとを、一つのトランジスタTr1で兼ねることにより、画素回路の回路構成を簡略化することができる。また一つのトランジスタを削減することに付随して、トランジスタに信号を供給する配線等も削減できる。
さらに、容量CSは、受発光素子SAを発光素子としたときの保持容量として機能するだけでなく、受光素子としたときの保持容量としても機能する。
このように、トランジスタ及び容量が、複数の機能を兼ねる構成とすることで、画素の占有面積を小さくすることが可能となり、精細度の高い表示装置を実現することができる。そのため、表示品位の高い画像を表示できるだけでなく、高精細な画像を撮像することができる。
以下、図1で例示した画素回路の動作方法について説明する。
まず、図2A及び図2Bを用いて、受発光素子SAを発光素子として用いる場合の動作方法の一例について説明する。
図2Aは、トランジスタTr1のゲートにデータ電位Vdataを書き込む期間(データ書き込み期間)の動作を模式的に示している。データ書き込み期間において、スイッチSW1、スイッチSW2、スイッチSW3、スイッチSW4を全て導通状態とする。
データ書き込み期間において、一方の破線矢印で示すように、トランジスタTr1のゲートには、スイッチSW1を介して配線SLからデータ電位Vdataが与えられる。また他方の破線矢印で示すように、トランジスタTr1のソース及びドレインの他方には、スイッチSW4を介して、配線WXから電位Vが与えられる。またこのとき、容量CS1には、データ電位Vdataと電位Vの電位差に相当する電圧が充電される。
図2Bは、トランジスタTr1のゲート電位が保持され、トランジスタTr1に流れる電流に応じて、受発光素子SAが発光する期間(保持、発光期間)の動作を模式的に示している。保持、発光期間において、スイッチSW1及びスイッチSW4を非導通状態とし、スイッチSW2及びスイッチSW3を導通状態とする。これにより、トランジスタTr1を流れる電流のほぼ全てが受発光素子SAに流れる。図2Bでは、電流の経路を破線矢印で示している。
続いて、図3A乃至図3Dを用いて、受発光素子SAを受光素子として用いる場合の動作方法の一例について説明する。
図3Aは、受発光素子SAのアノードの電位を初期化する期間(リセット期間)における動作を模式的に示している。リセット期間において、スイッチSW1、スイッチSW3、及びスイッチSW4を導通状態とし、スイッチSW2を非導通状態とする。
リセット期間において、一方の破線矢印で示すように、受発光素子SAのアノードには、スイッチSW4及びスイッチSW3を介して配線WXから電位VRSが与えられる。また容量CSの他方の電極にも、スイッチSW4を介して電位VRSが与えられる。電位VRSは、少なくとも配線CLに与えられる電位よりも低い電位とする。電位VRSは、電位Vよりも低い電位とすることが好ましい。
なお、受発光素子SAのカソードがトランジスタTr1側に接続される構成の場合、電位VRSは、配線CLに与えられる電位(受発光素子SAのアノードに与えられる電位)よりも高い電位とすればよい。また、電位VRSは、電位Vよりも高い電位とすればよい。
また、リセット期間において、トランジスタTr1のゲートが接続されるノードを浮遊状態とせず、所定の電位を与えた状態とすることが好ましい。例えば図3Aでは、トランジスタTr1のゲート及び容量CSの一方の電極には、スイッチSW1を介して配線SLから電位Voffが与えられる。電位Voffは、配線ALに与えられる電位よりも低い電位とすればよい。
また電位Voffは、トランジスタTr1を非導通状態とする電位とすることが好ましい。例えば、電位VRSにトランジスタTr1のしきい値電圧を足した電位よりも低い電位とすることができる。特に、電位Voffは、電位VRSよりも低い電位とすることが好ましい。
図3Bは、受発光素子SAで受光し、受発光素子に電荷が蓄積される期間(露光期間)における動作を模式的に示している。露光期間において、受発光素子SAに電荷が蓄積されることで、受発光素子SAのアノード-カソード間の電位差Vcが変化する。
露光期間において、スイッチSW1、スイッチSW2、スイッチSW3、スイッチSW4の全てを非導通状態とする。スイッチSW2が非導通状態であり、さらにトランジスタTr1のゲートには、電位Voffが与えられた状態が保持されるため、トランジスタTr1もまた非導通状態となる。さらに、スイッチSW3が非導通状態であるため、配線ALと受発光素子SAの間には2つの非導通状態のスイッチと、1つの非導通状態のトランジスタとがあることになる。さらに、配線WXと受発光素子SAとの間にも、2つの非導通状態のスイッチ(スイッチSW3及びスイッチSW4)があることになる。これにより、受発光素子SAのアノード側に蓄積される電荷が、配線AL、配線WXなどに流出することを好適に防ぐことができる。その結果、受発光素子SAにより、精度の高い撮像を実行することができる。
図3Cは、受発光素子SAに蓄積された電荷を、トランジスタTr1のソースが接続されるノードに転送する期間(転送期間)における動作を模式的に示している。転送期間において、スイッチSW1及びスイッチSW3を導通状態とし、スイッチSW2及びスイッチSW4を非導通状態とする。
転送期間において、一方の破線矢印で示すように、受発光素子SAに蓄積された電荷は、スイッチSW3を介して、トランジスタTr1のソース及び容量CSの他方の電極が接続されるノードに転送される。転送が完了した際の当該ノードの電位をVsigとする。
また、転送期間において、もう一方の破線矢印で示すように、トランジスタTr1のゲート、及び容量CSの一方の電極が接続されるノードには、スイッチSW1を介して配線SLから電位Vgpが与えられる。
容量CSの充電が完了したのち、スイッチSW1及びスイッチSW3を非導通状態とすることで、トランジスタTr1のゲートの電位、及びソースの電位が保持される。
図3Dは、画素回路から配線WXにデータを出力する期間(読出期間)における動作を模式的に示している。読出期間において、スイッチSW1、スイッチSW3を非導通状態とし、スイッチSW2、スイッチSW4を導通状態とする。
読出期間において、トランジスタTr1のゲート-ソース間電圧Vgs(点線矢印で示す。)は、電位Vgp及び電位Vsigを用いて、Vgs=Vgp-Vsigとなる。トランジスタTr1のゲート-ソース間電圧Vgsが決まるため、トランジスタTr1に流れる電流も決まることになる。例えば、飽和領域では、当該電圧VgsからトランジスタTr1のしきい値電圧Vthを引いた電圧の2乗に比例する電流Iが、トランジスタTr1のソース-ドレイン間に流れることになる。
電位Vgpは、電位Vsigの値によらず、トランジスタTr1が導通状態となるような電位とすることができる。すなわち、電位Vsigの値によらず、Vgs-Vthが正の値となるように、電位Vgpの値を設定することができる。
このように、表示のための駆動トランジスタと、撮像のための読み出しトランジスタとを、一つのトランジスタで兼ねる構成とすることで、画素回路が有するトランジスタの数だけでなく、画素回路に接続する配線などについても削減することができ、画素回路を簡略化できる。そのため、表示装置の高精細化、高解像度化が容易となる。また、配線数が減ることで、表示装置の消費電力も低減できる。
[変形例]
以下では、上記で例示した構成よりもさらに素子の数を削減した画素回路の構成例について説明する。
図4Aに、画素回路の一部を示している。図4Aに示す画素回路は、スイッチSW1、スイッチSW2、スイッチSW3、トランジスタTr1、容量CS、及び受発光素子SAを有する。図4Aに示す画素回路は、図1で例示した構成と比較して、スイッチSW4を有さない点、及び配線WXを有さない点で、主に相違している。
配線ALは、上記配線WXの機能を兼ねる配線である。すなわち、配線ALは、アノード電位と、電位VRSと、が異なる期間に与えられる。また、配線ALは、読み出し配線としても機能する。
以下、図4Aで示した画素回路の動作方法について説明する。
まず、受発光素子SAを発光素子として用いるときについて説明する。
データ書き込み期間では、図4Bに示すように、スイッチSW1、スイッチSW2、及びスイッチSW3を全て導通状態とする。これにより、トランジスタTr1のゲートにスイッチSW1を介して配線SLからデータ電位Vdataが与えられる。
続いて、保持、発光期間では、図4Cに示すように、スイッチSW1を非導通状態とする。これにより、受発光素子SAには、トランジスタTr1のゲート電位に応じた電流が流れ、受発光素子SAは当該電流の大きさに応じた輝度で発光する。
続いて、受発光素子SAを受光素子として用いるときについて説明する。
リセット期間において、図5Aに示すように、スイッチSW1、スイッチSW2、及びスイッチSW3を全て導通状態とする。またトランジスタTr1のゲートには、スイッチSW1を介して配線SLから電位Vが与えられる。また配線ALには、電位VRSが与えられる。
電位Vは、トランジスタTr1を導通状態とする電位である。電位Vは、例えば、電位VRSよりも高い電位、または配線CLに与えられる電位(カソード電位)より高い電位とすればよい。
トランジスタTr1が導通状態となることで、受発光素子SAのアノードには、スイッチSW2、トランジスタTr1、及びスイッチSW3を介して配線ALから電位VRSが与えられる。
リセット期間ののちに、図5Bに示すような動作期間を設けてもよい。
具体的に図5Bでは、上記リセット期間ののちに、スイッチSW3を非導通状態とし、配線SLと配線ALに、それぞれ電位Vを与える。これにより、容量CSの一対の電極には、同じ電位Vが与えられ、電位差が生じない状態となる。同様に、トランジスタTr1のソース-ゲート間にも電位差が生じない状態となる。トランジスタTr1のしきい値電圧が正である場合には、トランジスタTr1が非導通状態となる。
このように、リセット期間ののちに容量CSを放電し、電荷を蓄積させない状態としておくことで、撮像データのノイズを低減することができる。
続いて、図5Cに示す露光期間では、スイッチSW1、スイッチSW2、及びスイッチSW3を非導通状態とする。
続いて、図5Dに示す転送期間では、スイッチSW2を非導通状態としたまま、スイッチSW1とスイッチSW3をそれぞれ導通状態とする。これにより、トランジスタTr1のゲート及び容量CSの一方の電極には、スイッチSW1を介して配線SLから電位Vgpが与えられる。また転送後のトランジスタTr1のソース及びドレインの他方及び容量CSの他方の電極の電位は、上記と同様に電位Vsigとなる。
転送期間ののちに、読出期間までの間、スイッチSW1及びスイッチSW3を非導通状態としてもよい。
最後に、図5Eに示す読出し期間では、スイッチSW1を非導通状態として、スイッチSW2及びスイッチSW3を導通状態とする。ここで、容量CSには、電圧Vgsが充電されているため、トランジスタTr1には、当該電圧Vgsに応じた電流Iが流れる。この電流Iを、配線ALに接続された読み出し回路で検出することで、画素のデータの読出しを行うことができる。
以上が、変形例についての説明である。
[構成例2]
〔表示装置の構成例1〕
以下では、本発明の一態様の表示装置のより具体的な構成例について説明する。
図6に、表示装置10の構成を説明するためのブロック図を示す。表示装置10は、表示部11、駆動回路部12、駆動回路部13、駆動回路部14、及び回路部15等を有する。
表示部11は、マトリクス状に配置された複数の画素30を有する。画素30は、副画素20R、副画素20G、及び副画素20Bを有する。副画素20Rは受発光素子を有し、副画素20Gと副画素20Bは、それぞれ発光素子を有する。
副画素20Rには、配線SL1、配線GL、配線SE、及び配線WX等が電気的に接続されている。副画素20Gには、配線SL2及び配線GL等が電気的に接続されている。副画素20Bには、配線SL3及び配線GL等が電気的に接続されている。
配線SL1、配線SL2、及び配線SL3は、それぞれ駆動回路部12に電気的に接続されている。配線GLは、駆動回路部13に電気的に接続されている。駆動回路部12は、ソース線駆動回路(ソースドライバともいう)として機能し、配線SL1、配線SL2、及び配線SL3を介して、各副画素にデータ信号(データ電位)を供給する。駆動回路部13は、ゲート線駆動回路(ゲートドライバともいう)として機能し、配線GLに選択信号を供給する。
配線SEは、駆動回路部14に電気的に接続されている。駆動回路部14は、副画素20Rに供給するための信号を生成し、配線SE等に出力する機能を有する。また駆動回路部14は、後述する配線AEN、配線REN等に供給する信号を生成し、出力する機能を有する。なお、駆動回路部13または駆動回路部12が、配線AEN、配線REN等に供給する信号を生成する機能を有していてもよい。
配線WXは、回路部15に電気的に接続されている。回路部15は、副画素20Rから配線WXを介して出力される信号を受信し、撮像データとして外部に出力する機能を有する。回路部15は、読み出し回路として機能する。また回路部15は、配線WXに供給する信号を生成し、出力する機能を有する。そのため、回路部15は、駆動回路としての機能も有する。なお、駆動回路部13または駆動回路部12が、配線WXに供給する信号を生成し、出力する機能を有していてもよい。
〔画素の構成例〕
図7に、画素30の回路図の一例を示す。画素30は、副画素20R、副画素20G、及び副画素20Bを有する。副画素20Rは、回路21Rと、受発光素子SRを有する。副画素20Gは、回路21Gと、発光素子ELGを有する。副画素20Bは、回路21Bと、発光素子ELBを有する。
回路21Rは、トランジスタM1、トランジスタM2、トランジスタM4、トランジスタM5、トランジスタM6、容量C1等を有する。
回路21Rは、受発光素子SRを発光素子として用いた場合に、受発光素子SRの発光を制御するための回路として機能する。回路21Rは、配線SL1から与えられるデータ電位に応じて、受発光素子SRに流れる電流を制御する機能を有する。
また、回路21Rは、受発光素子SRを受光素子として用いた場合に、受発光素子SRの動作を制御するためのセンサ回路として機能する。回路21Rは、受発光素子SRに逆バイアス電圧を与える機能、受発光素子SRの露光期間を制御する機能、受発光素子SRから転送された電荷に基づく電位を保持する機能、及び当該電位に基づいた信号を配線WXに出力する機能などを有する。
図7に示す副画素20Rは、図1で例示した構成に対応する。トランジスタM2は、図1におけるトランジスタTr1に対応する。同様に、トランジスタM1はスイッチSW1に、トランジスタM4はスイッチSW2に、トランジスタM5はスイッチSW3に、トランジスタM6はスイッチSW4に、それぞれ対応する。
トランジスタM1は、ゲートが配線GLと電気的に接続され、ソース及びドレインの一方が配線SL1と電気的に接続され、他方がトランジスタM2のゲート、容量C1の一方の電極と電気的に接続される。トランジスタM2は、ソース及びドレインの一方がトランジスタM4のソース及びドレインの他方と電気的に接続され、他方がトランジスタM5のソース及びドレインの一方、トランジスタM6のソース及びドレインの一方、容量C1の他方の電極と電気的に接続される。トランジスタM4は、ゲートが配線AENと電気的に接続され、ソース及びドレインの一方が配線ALと電気的に接続される。トランジスタM5は、ゲートが配線RENと電気的に接続され、ソース及びドレインの他方が受発光素子SRのアノードと電気的に接続される。トランジスタM6は、ゲートが配線SEと電気的に接続され、ソース及びドレインの他方が配線WXと電気的に接続される。受発光素子SRは、カソードが配線CLと電気的に接続される。
配線SL1には、データ電位Vdata、電位Voff、電位Vgpなどが異なる期間に与えられる。配線ALにはアノード電位が与えられる。配線CLにはカソード電位が与えられる。図7に示す構成では、アノード電位はカソード電位よりも高い電位とする。配線WXには、電位V、電位VRSなどが異なる期間に与えられる。また配線WXは、読み出し線としての機能を有する。配線AEN、配線REN、配線GL、配線SEにはそれぞれ、トランジスタM4、トランジスタM5、トランジスタM1、トランジスタM6の導通、非導通を制御する信号が与えられる。
トランジスタM6は、読み出しのための選択トランジスタとして機能する。トランジスタM6は、配線SEに与えられる信号により、導通、非導通が制御される。トランジスタM6とトランジスタM4を導通状態とすることで、トランジスタM2と配線WXとが導通し、トランジスタM2のゲート-ソース間電圧Vgsに応じた電流(または電圧)を配線WXに出力することができる。
副画素20Gは、回路21Gと、発光素子ELGとを有する。副画素20Bは、回路21Bと発光素子ELBとを有する。回路21Gと回路21Bは同様の構成を有する。
回路21G及び回路21Bは、トランジスタM1、トランジスタM2、トランジスタM3、容量C1を有する。トランジスタM3は、ゲートが配線GLと電気的に接続され、ソース及びドレインの一方が、容量C1の他方の電極、トランジスタM2のソース及びドレインの他方、及び発光素子ELGまたは発光素子ELBのアノードと電気的に接続され、他方が配線V0Lと電気的に接続されている。
配線V0Lは、定電位が与えられる。例えば配線V0Lには、上記配線WXに与えられる電位Vと同じ電位が与えられてもよい。また、配線V0Lの代わりに配線WXを用いてもよい。
ここで、回路21Rと、回路21Gまたは回路21Bとで、トランジスタの数を比べると、その差は僅か2つである。このように本発明の一態様は、発光素子を駆動する回路に、僅か2つのトランジスタを追加するのみで、受発光素子を発光素子としても、受光素子としても機能させることのできる回路を構成することができる。そのため、回路21Rの占有面積の増大を抑制でき、画素密度の高い表示装置を実現することができる。
スイッチとして機能するトランジスタM1、トランジスタM3、トランジスタM4、トランジスタM5、及びトランジスタM6には、非導通状態におけるリーク電流が極めて小さいトランジスタを適用することが好ましい。特に、チャネルが形成される半導体層に酸化物半導体を用いたトランジスタを好適に用いることができる。また、トランジスタM2にも酸化物半導体を用いたトランジスタを適用することで、共通の作製工程を経て全てのトランジスタを形成できるため好ましい。なお、トランジスタM2には、チャネルが形成される半導体層にシリコン(アモルファスシリコン、多結晶シリコン、単結晶シリコンを含む)を適用してもよい。なお、これに限られず、一部または全てのトランジスタに、シリコンを適用したトランジスタを用いることもできる。また、一部または全てのトランジスタに、シリコン以外の無機半導体、化合物半導体、または有機半導体等を適用したトランジスタを用いてもよい。
また、図8Aに示すように、各トランジスタに、バックゲートを有するトランジスタを適用した構成としてもよい。図8Aでは、一対のゲートが電気的に接続される構成を示している。
なお、図8Aでは、全てのトランジスタが、一対のゲートが電気的に接続される構成としたがこれに限られない。画素30は、一方のゲートを、他の配線に接続するトランジスタを有していてもよい。例えば、一対のゲートのうち、一方のゲートを定電位が与えられる配線に接続することで、電気特性の安定性を向上させることができる。また、一対のゲートのうち、一方のゲートを、トランジスタのしきい値電圧を制御する電位が与えられる配線に接続してもよい。また、図8Bに示すように、一対のゲートのうち、一方のゲートを、ソース及びドレインの一方と接続したトランジスタを用いてもよい。このとき、一方のゲートを、ソースと接続することが好ましい。例えば、画素30におけるトランジスタM2、トランジスタM4に、図8Bに示すトランジスタを好適に用いることができる。
また、ここではトランジスタ全てが、バックゲートを有する例を示したが、これに限られず、バックゲートを有するトランジスタとバックゲートを有さないトランジスタを混在させてもよい。
〔変形例〕
以下では、上記とは一部の構成が異なる画素の構成例について説明する。
図9に、以下で例示する画素30Aの回路図を示す。図9で例示する構成例は、図7と比較して、回路21R、回路21G、及び回路21Bの構成が相違している。
回路21Rは、図7で例示した回路21Rから、トランジスタM6、配線WX、及び配線SEが省略されている。回路21Rは、上記図4Aで例示した構成に対応する。
また、回路21Gは、図7で例示した回路21Gから、トランジスタM3及び配線V0Lが省略されている。なお、回路21Bも同様である。
このような構成とすることで、トランジスタ及び配線の数を、さらに削減することができる。具体的には、図7で例示した構成と比較して、3つのトランジスタと、4本の配線が削減されている。このような構成とすることで、さらなる高精細化、高開口率化を実現できる。
以上が変形例についての説明である。
〔表示装置の構成例2〕
上記では、1つの画素が3つの副画素を有する例を示したが、以下では、1つの画素が2つの副画素を有する例について説明する。
図10Aには、3×3個の画素について、配列方法の例を示している。図10Aでは、i行j列目(i,jはそれぞれ独立に1以上の整数)から、i+2行j+2列目までの画素を示している。
図10Aでは、画素30Gと画素30Bとが、行方向及び列方向に交互に配列している。画素30Gは、副画素20Rと副画素20Gとを有する。画素30Bは、副画素20Rと、副画素20Bとを有する。
例えば、i行j列目に位置する画素30Gには、行方向に延在する配線GL[i]、及び配線SE[i]と、列方向に延在する配線SL1[j]、配線SL2[j]、及び配線WX[j]が接続されている。
図10Bに、受発光素子SR、発光素子ELG、及び発光素子ELBの配列方法の例を示している。受発光素子SRは、行方向及び列方向に等間隔に配列している。また、発光素子ELGと発光素子ELBとは、行方向及び列方向にそれぞれ交互に配列している。また、受発光素子SR、発光素子ELG、及び発光素子ELBのそれぞれの形状は、正方形を配列方向に対して約45度傾けた形状としている。これにより、隣接素子間距離を大きく取ることができ、発光素子及び受発光素子を作り分ける場合に、歩留まり良く作製することができる。
[駆動方法例]
以下では、表示装置の駆動方法の一例について説明する。
ここでは、図6で例示した、1つの画素に3つの副画素を有する構成を例に挙げて説明する。より具体的な構成を図11に示す。図11には、列方向に隣接する2つの画素30の回路図を示している。ここでは、i行j列目と、i+1行j列目の、2行分の画素30の回路図を示している。
なお以下では、表示装置として、表示部に複数の画素が、M行N列(M、Nはそれぞれ独立に2以上の整数)にマトリクス状に配列した構成を有する表示装置とする。
図12及び図13に、表示装置の動作を模式的に示している。表示装置の動作は大きく分けて、発光素子及び受発光素子を用いて画像を表示する期間(表示期間)と、受発光素子(センサともいう)を用いて撮像を行う期間(撮像期間)と、に分けられる。表示期間は、画素に画像データを書き込み、当該画像データに基づいた表示が行われる期間である。撮像期間は、受発光素子による撮像と、撮像データの読み出しが行われる期間である。
まず、図12を用いて、表示期間における動作を説明する。
表示期間では、画素へのデータの書き込み動作が繰り返し行われる。その期間中、センサの動作は行われない(ブランクと表記)とする。なお、表示期間中に撮像動作を行うこともできる。
一度の書き込み動作で、1フレーム分の画像データの書き込みが行われる。図12に示すように、一度の書き込み動作(書込と表記)で、1列目からM列目まで、画素へのデータの書き込みが順次行われる。
図12では、i行目と、i+1行目のデータの書き込み動作にかかるタイミングチャートを示している。ここでは、配線GL[i]、配線GL[i+1]、配線SE[i]、配線SE[i+1]、配線AEN、配線REN、配線WX、配線SL1[j]、配線SL2[j]、配線SL3[j]における、電位の推移を示している。各配線と各画素との接続関係については、図6及び図11を参酌できる。
i行目の書き込み期間において、配線GL[i]、配線SE[i]、配線AEN、配線RENにハイレベル電位が与えられる。また配線WXに、電位Vを与える。また配線SL1[j]にデータ電位D[i,j]が、配線SL2[j]にデータ電位D[i,j]が、配線SL3[j]にデータ電位D[i,j]が、それぞれ与えられる。
i+1行目以降の書き込みも上記と同様に、該当する配線GL及び配線SEにハイレベル電位を与え、配線SL1、配線SL2、及び配線SL3に、それぞれデータ電位を与えることで、1行ごとに書き込みを行うことができる。
このような書き込み動作を、1行目からM行目まで行うことで、1フレームのデータ書き込みが完了する。表示期間においては、上記動作を繰り返し実行することにより、動画を表示することができる。
続いて、図13を用いて、撮像期間における動作を説明する。ここではグローバルシャッタ方式の撮像動作を行う場合について説明する。なお、グローバルシャッタ方式に限られず、ローリングシャッタ方式の駆動方法を適用することもできる。
撮像期間は、各画素において一斉に撮像を行う期間(撮像と表記。以下、撮像期間と区別するために、撮像動作期間とも呼ぶ)と、順に撮像データを読み出す期間(読出と表記)に分けられる。撮像動作期間は、初期化期間、露光期間、及び転送期間に分けられる。また、読出期間では、1行目からM行目まで、1行ごとに撮像データの読み出しが実行される。
図13には、撮像動作期間及び読み出し期間におけるタイミングチャートを示している。ここでは、配線GL[1:M]、配線SE[i]、配線SE[i+1]、配線AEN、配線REN、配線SL1[1:N]、配線SL2[1:N]、配線SL3[1:N]、配線WX[1:N]について、電位の推移を示している。ここで、配線GLをまとめて配線GL[1:M]と表記し、配線WXをまとめて配線WX[1:N]と表記している。同様に、配線SL1、配線SL2、配線SL3も、それぞれまとめて表記している。
初期化期間において、配線AENにローレベル電位を与える。これにより、全ての副画素20Rにおいて、トランジスタM4が非導通状態となる。これにより、受発光素子SRと配線ALとを電気的に絶縁し、受発光素子SRが意図せずに発光することを防ぐことができる。
また、全ての配線GL、全ての配線SE、及び配線RENに、ハイレベル電位を与える。これにより、副画素20RにおけるトランジスタM1、トランジスタM5、及びトランジスタM6が導通状態となる。そして、全ての配線SL1に電位Voffを、全ての配線WXに電位VRSを与える。これにより、全ての副画素20Rにおいて、リセット動作が行われる。
ここで、配線SL2及び配線SL3には、データ電位Dまたはデータ電位Dが与えられてもよい。これにより、発光素子ELG及び発光素子ELBの一方または双方を発光させ、撮像の際の光源に用いることができる。
続いて、露光期間において、配線GL、配線SE、配線RENにローレベル電位を与える。これにより、受発光素子SRに、照射される光量に応じた電荷が蓄積される。
続いて、転送期間において、配線GL及び配線RENにハイレベル電位を与える。これにより、副画素20Rにおいて、トランジスタM1及びトランジスタM5が導通状態となる。このとき、受発光素子SRに蓄積された電荷を、トランジスタM2のソースが接続されるノードに転送することができる。さらに、トランジスタM2のゲートが接続されるノードには、トランジスタM1を介して配線SL1から電位Vgpが与えられる。その後、配線GL及び配線RENにローレベル電位与えることで、上記2つのノードの電位が保持された状態となる。
続いて、行ごとに撮像データの読み出しが行われる。読み出し期間では、配線AENにハイレベル電位が与えられる。さらに、読み出し期間では、配線SE[1]から配線SE[N]まで、順にハイレベル電位が与えられることで、全ての画素について、データを読み出すことができる。例えば、i行目の読み出しでは、配線SE[i]にハイレベル電位を与えることで、配線WX[1:N]にi行目のデータD[i]が出力される。具体的には一つの配線WX[j]に、i行j列目のデータD[i,j]が出力される。
ここで、露光期間中及び読み出し期間中において、全ての配線GLにはローレベル電位が与えられ、トランジスタM1が非導通状態となっている。これにより、トランジスタM2のゲートには、電位Vgpが与えられた状態で保持される。そのため、ノイズが低減された撮像を実行することができる。なお、このときトランジスタM1が非導通状態であるため、配線SL1に与える電位は問わない(don‘t careと表記)。同様に、配線SL2及び配線SL3に与える電位は問わない。
なお、ここでは一つの行の読み出しで、一つのデータが出力される例を示したが、2つのデータを出力し、この2つの出力データを用いて、相関二重サンプリング(CDS:Correlated Double Sampling)を行ってもよい。CDSを行うことで、画素毎の電気特性のばらつきの影響を低減することができる。
例えば、一つの行の読み出し期間中に、配線GLにハイレベル電位を与え、配線SL1から所定の電位を与えることで、2つ目のデータを配線WXに出力することができる。
以上が駆動方法例についての説明である。
本実施の形態で例示した構成例、及びそれらに対応する図面等は、少なくともその一部を他の構成例、または図面等と適宜組み合わせることができる。
本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態2)
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置について説明する。
本発明の一態様の表示装置は、発光素子及び受発光素子を有する。
受発光素子は、発光素子である有機EL素子と、受光素子である有機フォトダイオードと、を組み合わせて作製することができる。例えば、有機EL素子の積層構造に、有機フォトダイオードの活性層を追加することで、受発光素子を作製することができる。さらに、有機EL素子と有機フォトダイオードを組み合わせて作製する受発光素子は、発光素子と共通の構成にできる層を一括で成膜することで、成膜工程の増加を抑制することができる。
例えば、一対の電極のうち一方(共通電極)を、受発光素子及び発光素子で共通の層とすることができる。また、例えば、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、及び電子注入層の少なくとも1つを、受発光素子及び発光素子で共通の層とすることが好ましい。また、例えば、受光素子の活性層の有無以外は、受発光素子と発光素子とで同一の構成にすることもできる。つまり、発光素子に、受光素子の活性層を加えるのみで、受発光素子を作製することもできる。このように、受発光素子及び発光素子が共通の層を有することで、成膜回数及びマスクの数を減らすことができ、表示装置の作製工程及び作製コストを削減することができる。また、表示装置の既存の製造装置及び製造方法を用いて、受発光素子を有する表示装置を作製することができる。
なお、受発光素子が有する層は、受発光素子が、受光素子として機能する場合と、発光素子として機能する場合と、で、機能が異なることがある。本明細書中では、受発光素子が発光素子として機能する場合における機能に基づいて構成要素を呼称する。例えば、正孔注入層は、受発光素子が発光素子として機能する際には、正孔注入層として機能し、受発光素子が受光素子として機能する際には、正孔輸送層として機能する。同様に、電子注入層は、受発光素子が発光素子として機能する際には、電子注入層として機能し、受発光素子が受光素子として機能する際には、電子輸送層として機能する。
このように、本実施の形態の表示装置は、表示部に、受発光素子と発光素子とを有する。具体的には、表示部には、受発光素子と発光素子がそれぞれマトリクス状に配置されている。そのため、表示部は、画像を表示する機能に加えて、撮像機能及びセンシング機能の一方または双方も有する。
表示部は、イメージセンサ、タッチセンサ等に用いることができる。つまり、表示部で光を検出することで、画像を撮像すること、対象物(指、ペンなど)の接近もしくは接触を検出すること、などができる。さらに、本実施の形態の表示装置は、発光素子をセンサの光源として利用することができる。したがって、表示装置と別に受光部及び光源を設けなくてよく、電子機器の部品点数を削減することができる。
本実施の形態の表示装置では、表示部が有する発光素子の発光を対象物が反射した際、受発光素子がその反射光を検出できるため、暗い場所でも、撮像、タッチ(接触または接近)検出などが可能である。
本実施の形態の表示装置は、発光素子及び受発光素子を用いて、画像を表示する機能を有する。つまり、発光素子及び受発光素子は、表示素子として機能する。
発光素子としては、OLED(Organic Light Emitting Diode)、QLED(Quantum-dot Light Emitting Diode)などのEL素子を用いることが好ましい。EL素子が有する発光物質としては、蛍光を発する物質(蛍光材料)、燐光を発する物質(燐光材料)、無機化合物(量子ドット材料など)、熱活性化遅延蛍光を示す物質(熱活性化遅延蛍光(Thermally Activated Delayed Fluorescence:TADF)材料)などが挙げられる。また、発光素子として、マイクロLED(Light Emitting Diode)などのLEDを用いることもできる。
本実施の形態の表示装置は、受発光素子を用いて、光を検出する機能を有する。受発光素子は、受発光素子自身が発する光よりも短波長の光を検出することができる。
受発光素子をイメージセンサに用いる場合、本実施の形態の表示装置は、受発光素子を用いて、画像を撮像することができる。例えば、本実施の形態の表示装置は、スキャナとして用いることができる。
例えば、イメージセンサを用いて、指紋、掌紋などのデータを取得することができる。つまり、本実施の形態の表示装置に、生体認証用センサを内蔵させることができる。表示装置が生体認証用センサを内蔵することで、表示装置とは別に生体認証用センサを設ける場合に比べて、電子機器の部品点数を少なくでき、電子機器の小型化及び軽量化が可能である。
また、イメージセンサを用いて、ユーザーの表情、目の動き、または瞳孔径の変化などのデータを取得することができる。当該データを解析することで、ユーザーの心身の情報を取得することができる。当該情報をもとに表示及び音声の一方又は双方の出力内容を変化させることで、例えば、VR(Virtual Reality)向け機器、AR(Augmented Reality)向け機器、またはMR(Mixed Reality)向け機器において、ユーザーが機器を安全に使用できるよう図ることができる。
また、受発光素子をタッチセンサに用いる場合、本実施の形態の表示装置は、受発光素子を用いて、対象物の接近または接触を検出することができる。
受発光素子は、受発光素子に入射する光を検出し電荷を発生させる光電変換素子として機能する。入射する光量に基づき、発生する電荷量が決まる。
受発光素子は、上記発光素子の構成に、受光素子の活性層を追加することで作製することができる。
受発光素子には、例えば、pn型またはpin型のフォトダイオードの活性層を用いることができる。
特に、受発光素子には、有機化合物を含む層を有する有機フォトダイオードの活性層を用いることが好ましい。有機フォトダイオードは、薄型化、軽量化、及び大面積化が容易であり、また、形状及びデザインの自由度が高いため、様々な表示装置に適用できる。
図14A~図14Dに、本発明の一態様の表示装置の断面図を示す。
図14Aに示す表示装置350Aは、基板351と基板359との間に、受発光素子を有する層353と、発光素子を有する層357と、を有する。
図14Bに示す表示装置350Bは、基板351と基板359との間に、受発光素子を有する層353、トランジスタを有する層355、及び、発光素子を有する層357を有する。
表示装置350A及び表示装置350Bは、発光素子を有する層357から、緑色(G)の光及び青色(B)の光が射出され、受発光素子を有する層353から赤色(R)の光が射出される構成である。なお、本発明の一態様の表示装置において、受発光素子を有する層353が発する光の色は、赤色に限定されない。
受発光素子を有する層353に含まれる受発光素子は、表示装置350Aまたは表示装置350Bの外部から入射した光を検出することができる。当該受発光素子は、例えば、緑色(G)の光及び青色(B)の光のうち一方または双方を検出することができる。
本発明の一態様の表示装置は、マトリクス状に配置された複数の画素を有する。1つの画素は、1つ以上の副画素を有する。1つの副画素は、1つの受発光素子または1つの発光素子を有する。例えば、画素には、副画素を3つ有する構成(R、G、Bの3色、または、黄色(Y)、シアン(C)、及びマゼンタ(M)の3色など)、または、副画素を4つ有する構成(R、G、B、白色(W)の4色、または、R、G、B、Yの4色など)を適用できる。少なくとも1色の副画素は、受発光素子を有する。受発光素子は、全ての画素に設けられていてもよく、一部の画素に設けられていてもよい。また、1つの画素が複数の受発光素子を有していてもよい。
トランジスタを有する層355は、例えば、受発光素子と電気的に接続されるトランジスタ、及び、発光素子と電気的に接続されるトランジスタを有する。トランジスタを有する層355は、さらに、配線、電極、端子、容量、抵抗などを有していてもよい。
本発明の一態様の表示装置は、表示装置に接触している指などの対象物を検出する機能を有していてもよい(図14C)。または、表示装置に接近している(接触していない)対象物を検出する機能を有していてもよい(図14D)。例えば、図14C及び図14Dに示すように、発光素子を有する層357において発光素子が発した光を、表示装置350Bに接触または接近した指352が反射することで、受発光素子を有する層353における受発光素子がその反射光を検出する。これにより、表示装置350Bに指352が接触または接近したことを検出することができる。
[画素]
図14E~図14G及び図15A~図15Dに、画素の一例を示す。なお、副画素の配列は図示した順序に限定されない。例えば、副画素311Bと副画素311Gの位置を逆にしても構わない。
図14Eに示す画素は、ストライプ配列が適用されている。画素は、赤色の光を呈し、かつ、受光機能を有する副画素311SR、緑色の光を呈する副画素311G、及び、青色の光を呈する副画素311Bを有する。画素が、R、G、Bの3つの副画素からなる表示装置において、Rの副画素に用いる発光素子を、受発光素子に置き換えることで、画素に受光機能を有する表示装置を作製することができる。
図14Fに示す画素は、マトリクス配列が適用されている。画素は、赤色の光を呈し、かつ、受光機能を有する副画素311SR、緑色の光を呈する副画素311G、青色の光を呈する副画素311B、及び、白色の光を呈する副画素311Wを有する。画素が、R、G、B、Wの4つの副画素からなる表示装置においても、Rの副画素に用いる発光素子を、受発光素子に置き換えることで、画素に受光機能を有する表示装置を作製することができる。
図14Gに示す画素は、ペンタイル配列が適用されている。図14Gでは、画素によって組み合わせの異なる2色の光を呈する副画素を有する。図14Gに示す左上の画素と右下の画素は、赤色の光を呈し、かつ、受光機能を有する副画素311SR、及び、緑色の光を呈する副画素311Gを有する。図14Gに示す左下の画素と右上の画素は、緑色の光を呈する副画素311G、及び、青色の光を呈する副画素311Bを有する。なお、図14Gに示す副画素の形状は、当該副画素が有する発光素子または受発光素子の上面形状を示している。
図15Aに示す画素は、赤色の光を呈し、かつ、受光機能を有する副画素311SR、緑色の光を呈する副画素311G、及び、青色の光を呈する副画素311Bを有する。副画素311SRは、副画素311Gと副画素311Bとは異なる列に配置される。副画素311Gと副画素311Bとは、同じ列に交互に配置され、一方が奇数行に設けられ、他方が偶数行に設けられる。なお、他の色の副画素と異なる列に配置される副画素は、赤色(R)に限られず、緑色(G)または青色(B)であってもよい。
図15Bには、2つの画素を示しており、点線で囲まれた3つの副画素により1つの画素が構成されている。図15Bに示す画素は、赤色の光を呈し、かつ、受光機能を有する副画素311SR、緑色の光を呈する副画素311G、及び、青色の光を呈する副画素311Bを有する。図15Bに示す左の画素では、副画素311SRと同じ行に副画素311Gが配置され、副画素311SRと同じ列に副画素311Bが配置されている。図15Bに示す右の画素では、副画素311SRと同じ行に副画素311Gが配置され、副画素311Gと同じ列に副画素311Bが配置されている。図15Bに示す画素レイアウトでは、奇数行と偶数行のいずれにおいても、副画素311SR、副画素311G、及び副画素311Bが繰り返し配置されており、かつ、各列において、奇数行と偶数行では互いに異なる色の副画素が配置される。
図15Cは、図14Gに示す画素配列の変形例である。図15Cに示す左上の画素と右下の画素は、赤色の光を呈し、かつ、受光機能を有する副画素311SR、及び、緑色の光を呈する副画素311Gを有する。図15Cに示す左下の画素と右上の画素は、赤色の光を呈し、かつ、受光機能を有する副画素311SR、及び、青色の光を呈する副画素311Bを有する。
図14Gでは、各画素に緑色の光を呈する副画素311Gが設けられている。一方、図15Cでは、各画素に赤色の光を呈し、かつ、受光機能を有する副画素311SRが設けられている。各画素に受光機能を有する副画素が設けられているため、図15Cに示す構成では、図14Gに示す構成に比べて、高い精細度で撮像を行うことができる。これにより、例えば、生体認証の精度を高めることができる。
また、発光素子及び受発光素子の上面形状は特に限定されず、円、楕円、多角形、角の丸い多角形等とすることができる。副画素311Gが有する発光素子の上面形状について、図14Gでは円形である例を示し、図15Cでは正方形である例を示している。各色の発光素子及び受発光素子の上面形状は、互いに異なっていてもよく、一部または全ての色で同じであってもよい。
また、各色の副画素の開口率は、互いに異なっていてもよく、一部または全ての色で同じであってもよい。例えば、各画素に設けられる副画素(図14Gでは副画素311G、図15Cでは副画素311SR)の開口率を、他の色の副画素の開口率に比べて小さくしてもよい。
図15Dは、図15Cに示す画素配列の変形例である。具体的には、図15Dの構成は、図15Cの構成を45°回転させることで得られる。図15Cでは、2つの副画素により1つの画素が構成されることとして説明したが、図15Dに示すように、4つの副画素により1つの画素が構成されていると捉えることもできる。
図15Dでは、点線で囲まれた4つの副画素により1つの画素が構成されることとして説明を行う。1つの画素は、2つの副画素311SRと、1つの副画素311Gと、1つの副画素311Bと、を有する。このように、1つの画素が、受光機能を有する副画素を複数有することで、高い精細度で撮像を行うことができる。したがって、生体認証の精度を高めることができる。例えば、撮像の精細度を、表示の精細度のルート2倍とすることができる。
図15Cまたは図15Dに示す構成が適用された表示装置は、p個(pは2以上の整数)の第1の発光素子と、q個(qは2以上の整数)の第2の発光素子と、r個(rはpより大きく、qより大きい整数)の受発光素子と、を有する。pとrはr=2pを満たす。また、p、q、rはr=p+qを満たす。第1の発光素子と第2の発光素子のうち一方が緑色の光を発し、他方が青色の光を発する。受発光素子は、赤色の光を発し、かつ、受光機能を有する。
例えば、受発光素子を用いて、タッチ検出を行う場合、光源からの発光が使用者に視認されにくいことが好ましい。青色の光は、緑色の光よりも視認性が低いため、青色の光を発する発光素子を光源とすることが好ましい。したがって、受発光素子は、青色の光を受光し、電気信号に変換する機能を有することが好ましい。
以上のように、本発明の一態様の表示装置には、様々な配列の画素を適用することができる。
本実施の形態の表示装置は、画素に受光機能を組み込むために画素配列を変更する必要がないため、開口率及び精細度を低減させずに、表示部に撮像機能及びセンシング機能の一方または双方を付加することができる。
[受発光素子]
図16A~図16Eに、受発光素子の積層構造の例を示す。
受発光素子は、一対の電極間に、少なくとも、活性層及び発光層を有する。
受発光素子は、活性層及び発光層以外の層として、正孔注入性の高い物質、正孔輸送性の高い物質、正孔ブロック性の高い物質、電子輸送性の高い物質、電子注入性の高い物質、電子ブロック性の高い物質、またはバイポーラ性の物質(電子輸送性及び正孔輸送性が高い物質)等を含む層をさらに有していてもよい。
図16A~図16Cに示す受発光素子は、それぞれ、第1の電極180、正孔注入層181、正孔輸送層182、活性層183、発光層193、電子輸送層184、電子注入層185、及び第2の電極189を有する。
なお、図16A~図16Cに示す受発光素子は、それぞれ、発光素子に、活性層183を追加した構成ということができる。そのため、発光素子の作製工程に、活性層183を成膜する工程を追加するのみで、発光素子の形成と並行して受発光素子を形成することができる。また、発光素子と受発光素子とを同一基板上に形成することができる。したがって、作製工程を大幅に増やすことなく、表示部に撮像機能及びセンシング機能の一方または双方を付与することができる。
発光層193と活性層183との積層順は限定されない。図16Aでは、正孔輸送層182上に活性層183が設けられ、活性層183上に発光層193が設けられている例を示す。また、図16Bでは、正孔輸送層182上に発光層193が設けられ、発光層193上に活性層183が設けられている例を示す。また、活性層183と発光層193とは、図16A、図16Bに示すように、互いに接していてもよい。
図16Cに示すように、活性層183と発光層193との間にバッファ層が挟まれていることが好ましい。バッファ層としては、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、電子注入層、正孔ブロック層、及び電子ブロック層等のうち少なくとも1層を用いることができる。図16Cでは、バッファ層として正孔輸送層182を用いる例を示す。
活性層183と発光層193との間にバッファ層を設けることで、発光層193から活性層183に励起エネルギーが移動することを抑制できる。また、バッファ層を用いて、微小共振(マイクロキャビティ)構造の光路長(キャビティ長)を調整することもできる。したがって、活性層183と発光層193との間にバッファ層を有する受発光素子からは、高い発光効率を得ることができる。
図16Dに示す受発光素子は、正孔輸送層182を有さない点で、図16A、図16Cに示す受発光素子と異なる。受発光素子は、正孔注入層181、正孔輸送層182、電子輸送層184、及び電子注入層185のうち少なくとも1層を有していなくてもよい。また、受発光素子は、正孔ブロック層、電子ブロック層など、他の機能層を有していてもよい。
図16Eに示す受発光素子は、活性層183及び発光層193を有さず、発光層と活性層を兼ねる層186を有する点で、図16A~図16Cに示す受発光素子と異なる。
発光層と活性層を兼ねる層186としては、例えば、活性層183に用いることができるn型半導体と、活性層183に用いることができるp型半導体と、発光層193に用いることができる発光物質と、の3つの材料を含む層を用いることができる。
なお、n型半導体とp型半導体との混合材料の吸収スペクトルの最も低エネルギー側の吸収帯と、発光物質の発光スペクトル(PLスペクトル)の最大ピークと、は互いに重ならないことが好ましく、十分に離れていることがより好ましい。
受発光素子において、光を取り出す側の電極には、可視光を透過する導電膜を用いる。また、光を取り出さない側の電極には、可視光を反射する導電膜を用いることが好ましい。
受発光素子を発光素子として駆動する際、正孔注入層は、陽極から正孔輸送層に正孔を注入する層である。正孔注入層は、正孔注入性の高い材料を含む層である。正孔注入性の高い材料としては、正孔輸送性材料とアクセプター性材料(電子受容性材料)とを含む複合材料、または芳香族アミン化合物(芳香族アミン骨格を有する化合物)などを用いることができる。
受発光素子を発光素子として駆動する際、正孔輸送層は、正孔注入層によって、陽極から注入された正孔を発光層に輸送する層である。受発光素子を受光素子として駆動する際、正孔輸送層は、活性層において入射した光に基づき発生した正孔を陽極に輸送する層である。正孔輸送層は、正孔輸送性材料を含む層である。正孔輸送性材料としては、1×10-6cm/Vs以上の正孔移動度を有する物質が好ましい。なお、電子よりも正孔の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものも用いることができる。正孔輸送性材料としては、π電子過剰型複素芳香族化合物(例えばカルバゾール誘導体、チオフェン誘導体、フラン誘導体など)、芳香族アミン化合物等の正孔輸送性の高い材料が好ましい。
受発光素子を発光素子として駆動する際、電子輸送層は、電子注入層によって、陰極から注入された電子を発光層に輸送する層である。受発光素子を受光素子として駆動する際、電子輸送層は、活性層において入射した光に基づき発生した電子を陰極に輸送する層である。電子輸送層は、電子輸送性材料を含む層である。電子輸送性材料としては、1×10-6cm/Vs以上の電子移動度を有する物質が好ましい。なお、正孔よりも電子の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものも用いることができる。電子輸送性材料としては、キノリン骨格を有する金属錯体、ベンゾキノリン骨格を有する金属錯体、オキサゾール骨格を有する金属錯体、チアゾール骨格を有する金属錯体等の他、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、オキサゾール誘導体、チアゾール誘導体、フェナントロリン誘導体、キノリン配位子を有するキノリン誘導体、ベンゾキノリン誘導体、キノキサリン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ビピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、その他含窒素複素芳香族化合物を含むπ電子不足型複素芳香族化合物等の電子輸送性の高い材料を用いることができる。
受発光素子を発光素子として駆動する際、電子注入層は、陰極から電子輸送層に電子を注入する層である。電子注入層は、電子注入性の高い材料を含む層である。電子注入性の高い材料としては、アルカリ金属、アルカリ土類金属、またはそれらの化合物を用いることができる。電子注入性の高い材料としては、電子輸送性材料とドナー性材料(電子供与性材料)とを含む複合材料を用いることもできる。
発光層193は、発光物質を含む層である。発光層193は、1種または複数種の発光物質を有することができる。発光物質としては、青色、紫色、青紫色、緑色、黄緑色、黄色、橙色、赤色などの発光色を呈する物質を適宜用いる。また、発光物質として、近赤外光を発する物質を用いることもできる。
発光物質としては、蛍光材料、燐光材料、TADF材料、量子ドット材料などが挙げられる。
蛍光材料としては、例えば、ピレン誘導体、アントラセン誘導体、トリフェニレン誘導体、フルオレン誘導体、カルバゾール誘導体、ジベンゾチオフェン誘導体、ジベンゾフラン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、キノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、フェナントレン誘導体、ナフタレン誘導体などが挙げられる。
燐光材料としては、例えば、4H-トリアゾール骨格、1H-トリアゾール骨格、イミダゾール骨格、ピリミジン骨格、ピラジン骨格、またはピリジン骨格を有する有機金属錯体(特にイリジウム錯体)、電子吸引基を有するフェニルピリジン誘導体を配位子とする有機金属錯体(特にイリジウム錯体)、白金錯体、希土類金属錯体等が挙げられる。
発光層193は、発光物質(ゲスト材料)に加えて、1種または複数種の有機化合物(ホスト材料、アシスト材料等)を有していてもよい。1種または複数種の有機化合物としては、正孔輸送性材料及び電子輸送性材料の一方または双方を用いることができる。また、1種または複数種の有機化合物として、バイポーラ性材料、またはTADF材料を用いてもよい。
発光層193は、例えば、燐光材料と、励起錯体を形成しやすい組み合わせである正孔輸送性材料及び電子輸送性材料と、を有することが好ましい。このような構成とすることにより、励起錯体から発光物質(燐光材料)へのエネルギー移動であるExTET(Exciplex-Triplet Energy Transfer)を用いた発光を効率よく得ることができる。発光物質の最も低エネルギー側の吸収帯の波長と重なるような発光を呈する励起錯体を形成するような組み合わせを選択することで、エネルギー移動がスムーズとなり、効率よく発光を得ることができる。この構成により、発光素子の高効率、低電圧駆動、長寿命を同時に実現できる。
励起錯体を形成する材料の組み合わせとしては、正孔輸送性材料のHOMO準位(最高被占有軌道準位)が電子輸送性材料のHOMO準位以上の値であると好ましい。正孔輸送性材料のLUMO準位(最低空軌道準位)が電子輸送性材料のLUMO準位以上の値であると好ましい。材料のLUMO準位及びHOMO準位は、サイクリックボルタンメトリ(CV)測定によって測定される材料の電気化学特性(還元電位及び酸化電位)から導出することができる。
励起錯体の形成は、例えば正孔輸送性材料の発光スペクトル、電子輸送性材料の発光スペクトル、及びこれら材料を混合した混合膜の発光スペクトルを比較し、混合膜の発光スペクトルが、各材料の発光スペクトルよりも長波長シフトする(または長波長側に新たなピークを持つ)現象を観測することにより確認することができる。または、正孔輸送性材料の過渡フォトルミネッセンス(PL)、電子輸送性材料の過渡PL、及びこれら材料を混合した混合膜の過渡PLを比較し、混合膜の過渡PL寿命が、各材料の過渡PL寿命よりも長寿命成分を有する、または遅延成分の割合が大きくなるなどの過渡応答の違いを観測することにより、確認することができる。また、上述の過渡PLは過渡エレクトロルミネッセンス(EL)と読み替えても構わない。すなわち、正孔輸送性材料の過渡EL、電子輸送性を有する材料の過渡EL、及びこれらの混合膜の過渡ELを比較し、過渡応答の違いを観測することによっても、励起錯体の形成を確認することができる。
活性層183は、半導体を含む。当該半導体としては、シリコンなどの無機半導体、及び、有機化合物を含む有機半導体が挙げられる。本実施の形態では、活性層が有する半導体として、有機半導体を用いる例を示す。有機半導体を用いることで、発光層193と、活性層183と、を同じ方法(例えば、真空蒸着法)で形成することができ、製造装置を共通化できるため好ましい。
活性層183が有するn型半導体の材料としては、フラーレン(例えばC60、C70等)、フラーレン誘導体等の電子受容性の有機半導体材料が挙げられる。フラーレンは、サッカーボールのような形状を有し、当該形状はエネルギー的に安定である。フラーレンは、HOMO準位及びLUMO準位の双方が深い(低い)。フラーレンは、LUMO準位が深いため、電子受容性(アクセプター性)が極めて高い。通常、ベンゼンのように、平面にπ電子共役(共鳴)が広がると、電子供与性(ドナー性)が高くなるが、フラーレンは球体形状であるため、π電子が大きく広がっているにも関わらず、電子受容性が高くなる。電子受容性が高いと、電荷分離を高速に効率よく起こすため、受光素子として有益である。C60、C70ともに可視光領域に広い吸収帯を有しており、特にC70はC60に比べてπ電子共役系が大きく、長波長領域にも広い吸収帯を有するため好ましい。
また、n型半導体の材料としては、キノリン骨格を有する金属錯体、ベンゾキノリン骨格を有する金属錯体、オキサゾール骨格を有する金属錯体、チアゾール骨格を有する金属錯体、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、オキサゾール誘導体、チアゾール誘導体、フェナントロリン誘導体、キノリン誘導体、ベンゾキノリン誘導体、キノキサリン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ビピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、クマリン誘導体、ローダミン誘導体、トリアジン誘導体、キノン誘導体等が挙げられる。
活性層183が有するp型半導体の材料としては、銅(II)フタロシアニン(Copper(II) phthalocyanine;CuPc)、テトラフェニルジベンゾペリフランテン(Tetraphenyldibenzoperiflanthene;DBP)、亜鉛フタロシアニン(Zinc Phthalocyanine;ZnPc)、スズフタロシアニン(SnPc)、キナクリドン等の電子供与性の有機半導体材料が挙げられる。
また、p型半導体の材料としては、カルバゾール誘導体、チオフェン誘導体、フラン誘導体、芳香族アミン化合物等が挙げられる。さらに、p型半導体の材料としては、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、ピレン誘導体、トリフェニレン誘導体、フルオレン誘導体、ピロール誘導体、ベンゾフラン誘導体、ベンゾチオフェン誘導体、インドール誘導体、ジベンゾフラン誘導体、ジベンゾチオフェン誘導体、インドロカルバゾール誘導体、ポルフィリン誘導体、フタロシアニン誘導体、ナフタロシアニン誘導体、キナクリドン誘導体、ポリフェニレンビニレン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリビニルカルバゾール誘導体、ポリチオフェン誘導体等が挙げられる。
電子供与性の有機半導体材料のHOMO準位は、電子受容性の有機半導体材料のHOMO準位よりも浅い(高い)ことが好ましい。電子供与性の有機半導体材料のLUMO準位は、電子受容性の有機半導体材料のLUMO準位よりも浅い(高い)ことが好ましい。
電子受容性の有機半導体材料として、球状のフラーレンを用い、電子供与性の有機半導体材料として、平面に近い形状の有機半導体材料を用いることが好ましい。似た形状の分子同士は集まりやすい傾向にあり、同種の分子が凝集すると、分子軌道のエネルギー準位が近いため、キャリア輸送性を高めることができる。
例えば、活性層183は、n型半導体とp型半導体とを共蒸着して形成することが好ましい。
発光層と活性層を兼ねる層186は、上述の発光物質、n型半導体、及びp型半導体を用いて形成することが好ましい。
正孔注入層181、正孔輸送層182、活性層183、発光層193、電子輸送層184、電子注入層185、及び、発光層と活性層を兼ねる層186には低分子系化合物及び高分子系化合物のいずれを用いることもでき、無機化合物を含んでいてもよい。各層は、蒸着法(真空蒸着法を含む)、転写法、印刷法、インクジェット法、塗布法等の方法で形成することができる。
以下では、図17~図19を用いて、本発明の一態様の表示装置が有する受発光素子及び発光素子の詳細な構成について説明する。
本発明の一態様の表示装置は、発光素子が形成されている基板とは反対方向に光を射出するトップエミッション型、発光素子が形成されている基板側に光を射出するボトムエミッション型、両面に光を射出するデュアルエミッション型のいずれであってもよい。
図17~図19では、トップエミッション型の表示装置を例に挙げて説明する。
[構成例1]
図17A、図17Bに示す表示装置は、基板151上に、トランジスタを有する層355を介して、青色(B)の光を発する発光素子347B、緑色(G)の光を発する発光素子347G、赤色(R)の光を発し、かつ、受光機能を有する受発光素子347SRを有する。
図17Aでは、受発光素子347SRが発光素子として機能する場合を示す。図17Aでは、発光素子347Bが青色の光を発し、発光素子347Gが緑色の光を発し、受発光素子347SRが赤色の光を発している例を示す。
図17Bでは、受発光素子347SRが受光素子として機能する場合を示す。図17Bでは、発光素子347Bが発する青色の光と、発光素子347Gが発する緑色の光と、を、受発光素子347SRが検出している例を示す。
発光素子347B、発光素子347G、及び受発光素子347SRは、それぞれ、画素電極191及び共通電極115を有する。本実施の形態では、画素電極191が陽極として機能し、共通電極115が陰極として機能する場合を例に挙げて説明する。
本実施の形態では、発光素子と同様に、受発光素子347SRにおいても、画素電極191が陽極として機能し、共通電極115が陰極として機能するものとして説明する。つまり、受発光素子347SRは、画素電極191と共通電極115との間に逆バイアスをかけて駆動することで、受発光素子347SRに入射する光を検出することができる。
共通電極115は、発光素子347B、発光素子347G、及び受発光素子347SRに共通で用いられる。
発光素子347B、発光素子347G、及び受発光素子347SRが有する一対の電極の材料及び膜厚等は等しくすることができる。これにより、表示装置の作製コストの削減及び作製工程の簡略化ができる。
図17A、図17Bに示す表示装置の構成について、具体的に説明する。
発光素子347Bは、画素電極191上に、バッファ層192B、発光層193B、及びバッファ層194Bをこの順で有する。発光層193Bは、青色の光を発する発光物質を有する。発光素子347Bは、青色の光を発する機能を有する。
発光素子347Gは、画素電極191上に、バッファ層192G、発光層193G、及びバッファ層194Gをこの順で有する。発光層193Gは、緑色の光を発する発光物質を有する。発光素子347Gは、緑色の光を発する機能を有する。
受発光素子347SRは、画素電極191上に、バッファ層192R、活性層183、発光層193R、及びバッファ層194Rをこの順で有する。発光層193Rは、赤色の光を発する発光物質を有する。活性層183は、赤色の光よりも短波長の光(例えば、緑色の光及び青色の光の一方または双方)を吸収する有機化合物を有する。なお、活性層183には、可視光だけでなく、紫外光を吸収する有機化合物を用いてもよい。受発光素子347SRは、赤色の光を発する機能を有する。受発光素子347SRは、発光素子347G及び発光素子347Bの少なくとも一方の発光を検出する機能を有し、双方の発光を検出する機能を有することが好ましい。
活性層183は、赤色の光を吸収しにくく、かつ、赤色の光よりも短波長の光を吸収する有機化合物を有することが好ましい。これにより、受発光素子347SRは、赤色の光を効率よく発する機能と、赤色の光よりも短波長の光を精度よく検出する機能とを、備えることができる。
画素電極191、バッファ層192R、バッファ層192G、バッファ層192B、活性層183、発光層193R、発光層193G、発光層193B、バッファ層194R、バッファ層194G、バッファ層194B、及び共通電極115は、それぞれ、単層構造であってもよく、積層構造であってもよい。
図17A、図17Bに示す表示装置において、バッファ層、活性層、及び発光層は、素子ごとに作り分けられる層である。
バッファ層192R、192G、192B(以下、まとめてバッファ層192ともいう)は、それぞれ、正孔注入層及び正孔輸送層の一方または双方を有することができる。さらに、バッファ層192R、192G、192Bは、電子ブロック層を有していてもよい。バッファ層194B、194G、194R(以下、まとめてバッファ層194ともいう)は、それぞれ、電子注入層及び電子輸送層の一方または双方を有することができる。さらに、バッファ層194R、194G、194Bは、正孔ブロック層を有していてもよい。なお、発光素子を構成する各層の材料等については、上述の受発光素子を構成する各層の説明を参照できる。
[構成例2]
図18A、図18Bに示すように、発光素子347B、発光素子347G、及び受発光素子347SRは、一対の電極間に、共通の層を有していてもよい。これにより、作製工程を大幅に増やすことなく、表示装置に受発光素子を内蔵することができる。
図18Aに示す発光素子347B、発光素子347G、及び受発光素子347SRは、図17A、図17Bに示す構成に加えて、共通層112及び共通層114を有する。
図18Bに示す発光素子347B、発光素子347G、及び受発光素子347SRは、バッファ層192R、192G、192B及びバッファ層194R、194G、194Bを有さず、共通層112及び共通層114を有する点で、図17A、図17Bに示す構成と異なる。
共通層112は、正孔注入層及び正孔輸送層の一方または双方を有することができる。共通層114は、電子注入層及び電子輸送層の一方または双方を有することができる。
共通層112及び共通層114は、それぞれ、単層構造であってもよく、積層構造であってもよい。
[構成例3]
図19Aに示す表示装置は、受発光素子347SRに、図16Cに示す積層構造を適用した例である。
受発光素子347SRは、画素電極191上に、正孔注入層181、活性層183、正孔輸送層182R、発光層193R、電子輸送層184、電子注入層185、及び共通電極115をこの順で有する。
正孔注入層181、電子輸送層184、電子注入層185、及び共通電極115は、発光素子347G及び発光素子347Bと共通の層である。
発光素子347Gは、画素電極191上に、正孔注入層181、正孔輸送層182G、発光層193G、電子輸送層184、電子注入層185、及び共通電極115をこの順で有する。
発光素子347Bは、画素電極191上に、正孔注入層181、正孔輸送層182B、発光層193B、電子輸送層184、電子注入層185、及び共通電極115をこの順で有する。
本実施の形態の表示装置が有する発光素子には、マイクロキャビティ構造が適用されていることが好ましい。したがって、発光素子が有する一対の電極の一方は、可視光に対する透過性及び反射性を有する電極(半透過・半反射電極)であることが好ましく、他方は、可視光に対する反射性を有する電極(反射電極)であることが好ましい。発光素子がマイクロキャビティ構造を有することで、発光層から得られる発光を両電極間で共振させ、発光素子から射出される光を強めることができる。
なお、半透過・半反射電極は、反射電極と可視光に対する透過性を有する電極(透明電極ともいう)との積層構造とすることができる。本明細書等では、それぞれ、半透過・半反射電極の一部として機能する、反射電極を画素電極または共通電極と記し、透明電極を光学調整層と記すことがあるが、透明電極(光学調整層)も、画素電極または共通電極としての機能を有するといえることがある。
透明電極の光の透過率は、40%以上とする。例えば、発光素子には、可視光(波長400nm以上750nm未満の光)及び近赤外光(波長750nm以上1300nm以下の光)のそれぞれの透過率が40%以上である電極を用いることが好ましい。また、半透過・半反射電極の可視光及び近赤外光それぞれの反射率は、10%以上95%以下、好ましくは30%以上80%以下とする。反射電極の可視光及び近赤外光のそれぞれの反射率は、40%以上100%以下、好ましくは70%以上100%以下とする。また、これらの電極の抵抗率は、1×10-2Ωcm以下が好ましい。
正孔輸送層182B、182G、182Rは、それぞれ、光学調整層としての機能を有していてもよい。具体的には、発光素子347Bは、一対の電極間の光学距離が青色の光を強める光学距離となるように、正孔輸送層182Bの膜厚を調整することが好ましい。同様に、発光素子347Gは、一対の電極間の光学距離が緑色の光を強める光学距離となるように、正孔輸送層182Gの膜厚を調整することが好ましい。そして、受発光素子347SRは、一対の電極間の光学距離が赤色の光を強める光学距離となるように、正孔輸送層182Rの膜厚を調整することが好ましい。光学調整層として用いる層は、正孔輸送層に限定されない。なお、半透過・半反射電極が、反射電極と透明電極との積層構造の場合、一対の電極間の光学距離とは、一対の反射電極間の光学距離を示す。
[構成例4]
図19Bに示す表示装置は、受発光素子347SRに、図16Dに示す積層構造を適用した例である。
受発光素子347SRは、画素電極191上に、正孔注入層181、活性層183、発光層193R、電子輸送層184、電子注入層185、及び共通電極115をこの順で有する。
正孔注入層181、電子輸送層184、電子注入層185、及び共通電極115は、発光素子347G及び発光素子347Bと共通の層である。
発光素子347Gは、画素電極191上に、正孔注入層181、正孔輸送層182G、発光層193G、電子輸送層184、電子注入層185、及び共通電極115をこの順で有する。
発光素子347Bは、画素電極191上に、正孔注入層181、正孔輸送層182B、発光層193B、電子輸送層184、電子注入層185、及び共通電極115をこの順で有する。
正孔輸送層は、発光素子347G及び発光素子347Bに設けられ、受発光素子347SRには設けられていない。このように、活性層及び発光層以外にも、発光素子及び受発光素子のうち一方にのみ設けられている層があってもよい。
以下では、図20~図25を用いて、本発明の一態様の表示装置の詳細な構成について説明する。
[表示装置310A]
図20A、図20Bに表示装置310Aの断面図を示す。
表示装置310Aは、発光素子190B、発光素子190G、及び受発光素子190SRを有する。
発光素子190Bは、画素電極191、バッファ層192B、発光層193B、バッファ層194B、及び共通電極115を有する。発光素子190Bは、青色の光321Bを発する機能を有する。
発光素子190Gは、画素電極191、バッファ層192G、発光層193G、バッファ層194G、及び共通電極115を有する。発光素子190Gは、緑色の光321Gを発する機能を有する。
受発光素子190SRは、画素電極191、バッファ層192R、活性層183、発光層193R、バッファ層194R、及び共通電極115を有する。受発光素子190SRは、赤色の光321Rを発する機能と、光322を検出する機能と、を有する。
図20Aでは、受発光素子190SRが発光素子として機能する場合を示す。図20Aでは、発光素子190Bが青色の光を発し、発光素子190Gが緑色の光を発し、受発光素子190SRが赤色の光を発している例を示す。
図20Bでは、受発光素子190SRが受光素子として機能する場合を示す。図20Bでは、発光素子190Bが発する青色の光と、発光素子190Gが発する緑色の光と、を、受発光素子190SRが検出している例を示す。
画素電極191は、絶縁層214上に位置する。画素電極191の端部は、隔壁216によって覆われている。互いに隣り合う2つの画素電極191は隔壁216によって互いに電気的に絶縁されている(電気的に分離されている、ともいう)。
隔壁216としては、有機絶縁膜が好適である。有機絶縁膜に用いることができる材料としては、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂、シロキサン樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、フェノール樹脂、及びこれら樹脂の前駆体等が挙げられる。隔壁216は、可視光を透過する層である。隔壁216の代わりに、可視光を遮る隔壁を設けてもよい。
表示装置310Aは、一対の基板(基板151及び基板152)間に、受発光素子190SR、発光素子190G、発光素子190B、及びトランジスタ342等を有する。
受発光素子190SRは、光を検出する機能を有する。具体的には、受発光素子190SRは、表示装置310Aの外部から入射される光322を受光し、電気信号に変換する、光電変換素子である。光322は、発光素子190G及び発光素子190Bの一方または双方の発光を対象物が反射した光ということもできる。また、光322は、レンズを介して受発光素子190SRに入射してもよい。
発光素子190G及び発光素子190Bは、可視光を発する機能を有する。具体的には、発光素子190G及び発光素子190Bは、画素電極191と共通電極115との間に電圧を印加することで、基板152側に光を射出する電界発光素子である(光321G、光321B参照)。
バッファ層192、発光層193、及びバッファ層194は、有機層(有機化合物を含む層)またはEL層ということもできる。画素電極191は可視光を反射する機能を有することが好ましい。共通電極115は可視光を透過する機能を有する。
画素電極191は、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ342が有するソースまたはドレインと電気的に接続される。トランジスタ342は、発光素子または受発光素子の駆動を制御する機能を有する。
受発光素子190SRと電気的に接続される回路の少なくとも一部は、発光素子190G及び発光素子190Bと電気的に接続される回路と同一の材料及び同一の工程で形成されることが好ましい。これにより、2つの回路を別々に形成する場合に比べて、表示装置の厚さを薄くすることができ、また、作製工程を簡略化できる。
受発光素子190SR、発光素子190G及び発光素子190Bは、それぞれ、保護層195に覆われていることが好ましい。図20A等では、保護層195が、共通電極115上に接して設けられている。保護層195を設けることで、受発光素子190SR及び各色の発光素子などに不純物が入り込むことが抑制され、受発光素子190SR及び各色の発光素子の信頼性を高めることができる。また、接着層142によって、保護層195と基板152とが貼り合わされている。
基板152の基板151側の面には、遮光層BMが設けられている。遮光層BMは、発光素子190G及び発光素子190Bと重なる位置、並びに、受発光素子190SRと重なる位置に開口を有する。なお、本明細書等において、発光素子190Gまたは発光素子190Bと重なる位置とは、具体的には、発光素子190Gまたは発光素子190Bの発光領域と重なる位置を指す。同様に、受発光素子190SRと重なる位置とは、具体的には、受発光素子190SRの発光領域及び受光領域と重なる位置を指す。
図20Bに示すように、発光素子190Gまたは発光素子190Bの発光が対象物によって反射された光を受発光素子190SRは検出することができる。しかし、発光素子190Gまたは発光素子190Bの発光が、表示装置310A内で反射され、対象物を介さずに、受発光素子190SRに入射されてしまう場合がある。遮光層BMは、このような迷光の影響を抑制することができる。例えば、遮光層BMが設けられていない場合、発光素子190Gが発した光323は、基板152で反射され、反射光324が受発光素子190SRに入射することがある。遮光層BMを設けることで、反射光324が受発光素子190SRに入射することを抑制できる。これにより、ノイズを低減し、受発光素子190SRを用いたセンサの感度を高めることができる。
遮光層BMとしては、発光素子からの発光を遮る材料を用いることができる。遮光層BMは、可視光を吸収することが好ましい。遮光層BMとして、例えば、金属材料、又は、顔料(カーボンブラックなど)もしくは染料を含む樹脂材料等を用いてブラックマトリクスを形成することができる。遮光層BMは、赤色のカラーフィルタ、緑色のカラーフィルタ、及び青色のカラーフィルタの積層構造であってもよい。
[表示装置310B]
図21Aに示す表示装置310Bは、発光素子190G、発光素子190B及び受発光素子190SRが、それぞれ、バッファ層192及びバッファ層194を有さず、共通層112及び共通層114を有する点で、表示装置310Aと異なる。なお、以降の表示装置の説明において、先に説明した表示装置と同様の構成については、説明を省略することがある。
なお、発光素子190B、発光素子190G、及び受発光素子190SRの積層構造は、表示装置310A、310Bに示す構成に限られない。各素子には、例えば、図16~図19に示す積層構造などを適宜適用することができる。
[表示装置310C]
図21Bに表示装置310Cは、基板151及び基板152を有さず、基板153、基板154、接着層155、及び絶縁層212を有する点で、表示装置310Bと異なる。
基板153と絶縁層212とは接着層155によって貼り合わされている。基板154と保護層195とは接着層142によって貼り合わされている。
表示装置310Cは、作製基板上に形成された絶縁層212、トランジスタ342、受発光素子190SR、発光素子190G、及び発光素子190B等を、基板153上に転置することで作製される構成である。基板153及び基板154は、それぞれ、可撓性を有することが好ましい。これにより、表示装置310Cの可撓性を高めることができる。例えば、基板153及び基板154には、それぞれ、樹脂を用いることが好ましい。
基板153及び基板154としては、それぞれ、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリカーボネート(PC)樹脂、ポリエーテルスルホン(PES)樹脂、ポリアミド樹脂(ナイロン、アラミド等)、ポリシロキサン樹脂、シクロオレフィン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)樹脂、ABS樹脂、セルロースナノファイバー等を用いることができる。基板153及び基板154の一方または双方に、可撓性を有する程度の厚さのガラスを用いてもよい。
本実施の形態の表示装置が有する基板には、光学等方性が高いフィルムを用いてもよい。光学等方性が高いフィルムとしては、トリアセチルセルロース(TAC、セルローストリアセテートともいう)フィルム、シクロオレフィンポリマー(COP)フィルム、シクロオレフィンコポリマー(COC)フィルム、及びアクリルフィルム等が挙げられる。
以下では、図22~図25を用いて、本発明の一態様の表示装置の、より詳細な構成について説明する。
[表示装置100A]
図22に表示装置100Aの斜視図を示し、図23に、表示装置100Aの断面図を示す。
表示装置100Aは、基板152と基板151とが貼り合わされた構成を有する。図22では、基板152を破線で明示している。
表示装置100Aは、表示部162、回路164、配線165等を有する。図22では表示装置100AにIC(集積回路)173及びFPC172が実装されている例を示している。そのため、図22に示す構成は、表示装置100A、IC、及びFPCを有する表示モジュールということもできる。
回路164としては、例えば走査線駆動回路を用いることができる。
配線165は、表示部162及び回路164に信号及び電力を供給する機能を有する。当該信号及び電力は、FPC172を介して外部から配線165に入力されるか、またはIC173から配線165に入力される。
図22では、COG(Chip On Glass)方式またはCOF(Chip on Film)方式等により、基板151にIC173が設けられている例を示す。IC173は、例えば走査線駆動回路または信号線駆動回路などを有するICを適用できる。なお、表示装置100A及び表示モジュールは、ICを設けない構成としてもよい。また、ICを、COF方式等により、FPCに実装してもよい。
図23に、図22で示した表示装置100Aの、FPC172を含む領域の一部、回路164を含む領域の一部、表示部162を含む領域の一部、及び、端部を含む領域の一部をそれぞれ切断したときの断面の一例を示す。
図23に示す表示装置100Aは、基板151と基板152の間に、トランジスタ201、トランジスタ205、トランジスタ206、トランジスタ207、発光素子190B、発光素子190G、受発光素子190SR等を有する。
基板152と絶縁層214は接着層142を介して接着されている。発光素子190B、発光素子190G、受発光素子190SRの封止には、固体封止構造または中空封止構造などが適用できる。図23では、基板152、接着層142、及び絶縁層214に囲まれた空間143が、不活性ガス(窒素、アルゴンなど)で充填されており、中空封止構造が適用されている。接着層142は、発光素子190B、発光素子190G、受発光素子190SRと重ねて設けられていてもよい。また、基板152、接着層142、及び絶縁層214に囲まれた空間143を、接着層142とは異なる樹脂で充填してもよい。
発光素子190Bは、絶縁層214側から画素電極191、共通層112、発光層193B、共通層114、及び共通電極115の順に積層された積層構造を有する。画素電極191は、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ207が有する導電層222bと接続されている。トランジスタ207は、発光素子190Bの駆動を制御する機能を有する。画素電極191の端部は、隔壁216によって覆われている。画素電極191は可視光を反射する材料を含み、共通電極115は可視光を透過する材料を含む。
発光素子190Gは、絶縁層214側から画素電極191、共通層112、発光層193G、共通層114、及び共通電極115の順に積層された積層構造を有する。画素電極191は、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ206が有する導電層222bと接続されている。トランジスタ206は、発光素子190Gの駆動を制御する機能を有する。
受発光素子190SRは、絶縁層214側から画素電極191、共通層112、活性層183、発光層193R、共通層114、及び共通電極115の順に積層された積層構造を有する。画素電極191は、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ205が有する導電層222bと電気的に接続されている。トランジスタ205は、受発光素子190SRの駆動を制御する機能を有する。
発光素子190B、発光素子190G、受発光素子190SRが発する光は、基板152側に射出される。また、受発光素子190SRには、基板152及び空間143を介して、光が入射する。基板152には、可視光に対する透過性が高い材料を用いることが好ましい。
画素電極191は同一の材料及び同一の工程で作製することができる。共通層112、共通層114、及び共通電極115は、発光素子190B、発光素子190G、受発光素子190SRに共通して用いられる。受発光素子190SRは、赤色の光を呈する発光素子の構成に活性層183を追加した構成である。また、発光素子190B、発光素子190G、受発光素子190SRは、活性層183と各色の発光層193の構成が異なる以外は全て共通の構成とすることができる。これにより、作製工程を大幅に増やすことなく、表示装置100Aの表示部162に受光機能を付加することができる。
基板152の基板151側の面には、遮光層BMが設けられている。遮光層BMは、発光素子190B、発光素子190G、受発光素子190SRのそれぞれと重なる位置に開口を有する。遮光層BMを設けることで、受発光素子190SRが光を検出する範囲を制御することができる。また、遮光層BMを有することで、対象物を介さずに、発光素子190Gまたは発光素子190Bから受発光素子190SRに光が直接入射することを抑制できる。したがって、ノイズが少なく感度の高いセンサを実現できる。
トランジスタ201、トランジスタ205、トランジスタ206、及びトランジスタ207は、いずれも基板151上に形成されている。これらのトランジスタは、同一の材料及び同一の工程により作製することができる。
基板151上には、絶縁層211、絶縁層213、絶縁層215、及び絶縁層214がこの順で設けられている。絶縁層211は、その一部が各トランジスタのゲート絶縁層として機能する。絶縁層213は、その一部が各トランジスタのゲート絶縁層として機能する。絶縁層215は、トランジスタを覆って設けられる。絶縁層214は、トランジスタを覆って設けられ、平坦化層としての機能を有する。なお、ゲート絶縁層の数及びトランジスタを覆う絶縁層の数は限定されず、それぞれ単層であっても2層以上であってもよい。
トランジスタを覆う絶縁層の少なくとも一層に、水、水素などの不純物が拡散しにくい材料を用いることが好ましい。これにより、絶縁層をバリア層として機能させることができる。このような構成とすることで、トランジスタに外部から不純物が拡散することを効果的に抑制でき、表示装置の信頼性を高めることができる。
絶縁層211、絶縁層213、及び絶縁層215としては、それぞれ、無機絶縁膜を用いることが好ましい。無機絶縁膜としては、例えば、窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、窒化アルミニウム膜などの無機絶縁膜を用いることができる。また、酸化ハフニウム膜、酸化窒化ハフニウム膜、窒化酸化ハフニウム膜、酸化イットリウム膜、酸化ジルコニウム膜、酸化ガリウム膜、酸化タンタル膜、酸化マグネシウム膜、酸化ランタン膜、酸化セリウム膜、及び酸化ネオジム膜等を用いてもよい。また、上述の絶縁膜を2以上積層して用いてもよい。なお、基板151とトランジスタとの間に下地膜を設けてもよい。当該下地膜にも上記の無機絶縁膜を用いることができる。
ここで、有機絶縁膜は、無機絶縁膜に比べてバリア性が低いことが多い。そのため、有機絶縁膜は、表示装置100Aの端部近傍に開口を有することが好ましい。これにより、表示装置100Aの端部から有機絶縁膜を介して不純物が入り込むことを抑制することができる。または、有機絶縁膜の端部が表示装置100Aの端部よりも内側にくるように有機絶縁膜を形成し、表示装置100Aの端部に有機絶縁膜が露出しないようにしてもよい。
平坦化層として機能する絶縁層214には、有機絶縁膜が好適である。有機絶縁膜に用いることができる材料としては、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂、シロキサン樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、フェノール樹脂、及びこれら樹脂の前駆体等が挙げられる。
図23に示す領域228では、絶縁層214に開口が形成されている。これにより、絶縁層214に有機絶縁膜を用いる場合であっても、絶縁層214を介して外部から表示部162に不純物が入り込むことを抑制できる。したがって、表示装置100Aの信頼性を高めることができる。
トランジスタ201、トランジスタ205、トランジスタ206、及びトランジスタ207は、ゲートとして機能する導電層221、ゲート絶縁層として機能する絶縁層211、ソース及びドレインとして機能する導電層222a及び導電層222b、半導体層231、ゲート絶縁層として機能する絶縁層213、並びに、ゲートとして機能する導電層223を有する。ここでは、同一の導電膜を加工して得られる複数の層に、同じハッチングパターンを付している。絶縁層211は、導電層221と半導体層231との間に位置する。絶縁層213は、導電層223と半導体層231との間に位置する。
本実施の形態の表示装置が有するトランジスタの構造は特に限定されない。例えば、プレーナ型のトランジスタ、スタガ型のトランジスタ、逆スタガ型のトランジスタ等を用いることができる。また、トップゲート型またはボトムゲート型のいずれのトランジスタ構造としてもよい。または、チャネルが形成される半導体層の上下にゲートが設けられていてもよい。
トランジスタ201、トランジスタ205、トランジスタ206、及びトランジスタ207には、チャネルが形成される半導体層を2つのゲートで挟持する構成が適用されている。2つのゲートを接続し、これらに同一の信号を供給することによりトランジスタを駆動してもよい。または、2つのゲートのうち、一方に閾値電圧を制御するための電位を供給し、他方に駆動のための電位を供給することで、トランジスタの閾値電圧を制御してもよい。
トランジスタに用いる半導体材料の結晶性についても特に限定されず、非晶質半導体、単結晶半導体、または単結晶以外の結晶性を有する半導体(微結晶半導体、多結晶半導体、または一部に結晶領域を有する半導体)のいずれを用いてもよい。単結晶半導体または結晶性を有する半導体を用いると、トランジスタ特性の劣化を抑制できるため好ましい。
トランジスタの半導体層は、金属酸化物(酸化物半導体ともいう)を有することが好ましい。または、トランジスタの半導体層は、シリコンを有していてもよい。シリコンとしては、アモルファスシリコン、結晶性のシリコン(低温ポリシリコン、単結晶シリコンなど)などが挙げられる。
半導体層は、例えば、インジウムと、M(Mは、ガリウム、アルミニウム、シリコン、ホウ素、イットリウム、スズ、銅、バナジウム、ベリリウム、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、及びマグネシウムから選ばれた一種または複数種)と、亜鉛と、を有することが好ましい。特に、Mは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、及びスズから選ばれた一種または複数種であることが好ましい。
特に、半導体層として、インジウム(In)、ガリウム(Ga)、及び亜鉛(Zn)を含む酸化物(IGZOとも記す)を用いることが好ましい。または、インジウム、ガリウム、亜鉛、及びスズを含む酸化物を用いることが好ましい。または、インジウム及び亜鉛を有する酸化物を用いることが好ましい。
半導体層がIn-M-Zn酸化物の場合、当該In-M-Zn酸化物におけるInの原子数比はMの原子数比以上であることが好ましい。このようなIn-M-Zn酸化物の金属元素の原子数比として、In:M:Zn=1:1:1またはその近傍の組成、In:M:Zn=1:1:1.2またはその近傍の組成、In:M:Zn=2:1:3またはその近傍の組成、In:M:Zn=3:1:2またはその近傍の組成、In:M:Zn=4:2:3またはその近傍の組成、In:M:Zn=4:2:4.1またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:1:3またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:1:6またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:1:7またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:1:8またはその近傍の組成、In:M:Zn=10:1:3またはその近傍の組成、In:M:Zn=6:1:6またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:2:5またはその近傍の組成、等が挙げられる。なお、近傍の組成とは、所望の原子数比の±30%の範囲を含む。
例えば、原子数比がIn:Ga:Zn=4:2:3またはその近傍の組成と記載する場合、Inの原子数比を4としたとき、Gaの原子数比が1以上3以下であり、Znの原子数比が2以上4以下である場合を含む。また、原子数比がIn:Ga:Zn=5:1:6またはその近傍の組成と記載する場合、Inの原子数比を5としたときに、Gaの原子数比が0.1より大きく2以下であり、Znの原子数比が5以上7以下である場合を含む。また、原子数比がIn:Ga:Zn=1:1:1またはその近傍の組成と記載する場合、Inの原子数比を1としたときに、Gaの原子数比が0.1より大きく2以下であり、Znの原子数比が0.1より大きく2以下である場合を含む。
回路164が有するトランジスタと、表示部162が有するトランジスタは、同じ構造であってもよく、異なる構造であってもよい。回路164が有する複数のトランジスタの構造は、全て同じであってもよく、2種類以上あってもよい。同様に、表示部162が有する複数のトランジスタの構造は、全て同じであってもよく、2種類以上あってもよい。
基板151の、基板152が重ならない領域には、接続部204が設けられている。接続部204では、配線165が導電層166及び接続層242を介してFPC172と電気的に接続されている。接続部204の上面は、画素電極191と同一の導電膜を加工して得られた導電層166が露出している。これにより、接続部204とFPC172とを接続層242を介して電気的に接続することができる。
基板152の外側には各種光学部材を配置することができる。光学部材としては、偏光板、位相差板、光拡散層(拡散フィルムなど)、反射防止層、及び集光フィルム等が挙げられる。また、基板152の外側には、ゴミの付着を抑制する帯電防止膜、汚れを付着しにくくする撥水性の膜、使用に伴う傷の発生を抑制するハードコート膜、衝撃吸収層等を配置してもよい。
基板151及び基板152には、それぞれ、ガラス、石英、セラミック、サファイア、樹脂などを用いることができる。基板151及び基板152に可撓性を有する材料を用いると、表示装置の可撓性を高めることができる。
接着層としては、紫外線硬化型等の光硬化型接着剤、反応硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、嫌気型接着剤などの各種硬化型接着剤を用いることができる。これら接着剤としてはエポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、イミド樹脂、PVC(ポリビニルクロライド)樹脂、PVB(ポリビニルブチラル)樹脂、EVA(エチレンビニルアセテート)樹脂等が挙げられる。特に、エポキシ樹脂等の透湿性が低い材料が好ましい。また、二液混合型の樹脂を用いてもよい。また、接着シート等を用いてもよい。
接続層としては、異方性導電フィルム(ACF:Anisotropic Conductive Film)、異方性導電ペースト(ACP:Anisotropic Conductive Paste)などを用いることができる。
トランジスタのゲート、ソース及びドレインのほか、表示装置を構成する各種配線及び電極などの導電層に用いることのできる材料としては、アルミニウム、チタン、クロム、ニッケル、銅、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、銀、タンタル、及びタングステンなどの金属、並びに、当該金属を主成分とする合金などが挙げられる。これらの材料を含む膜を単層で、または積層構造として用いることができる。
また、透光性を有する導電材料としては、酸化インジウム、インジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、ガリウムを含む酸化亜鉛などの導電性酸化物またはグラフェンを用いることができる。または、金、銀、白金、マグネシウム、ニッケル、タングステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、パラジウム、及びチタンなどの金属材料、または該金属材料を含む合金材料を用いることができる。または、該金属材料の窒化物(例えば、窒化チタン)などを用いてもよい。なお、金属材料、合金材料(またはそれらの窒化物)を用いる場合には、透光性を有する程度に薄くすることが好ましい。また、上記材料の積層膜を導電層として用いることができる。例えば、銀とマグネシウムの合金とインジウムスズ酸化物の積層膜などを用いると、導電性を高めることができるため好ましい。これらは、表示装置を構成する各種配線及び電極などの導電層、発光素子及び受発光素子が有する導電層(画素電極、共通電極などとして機能する導電層)等にも用いることができる。
各絶縁層に用いることのできる絶縁材料としては、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂などの樹脂、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウムなどの無機絶縁材料が挙げられる。
[表示装置100B]
図24に、表示装置100Bの断面図を示す。
表示装置100Bは、保護層195を有する点で、主に表示装置100Aと異なる。表示装置100Aと同様の構成については、詳細な説明を省略する。
発光素子190B、発光素子190G、及び受発光素子190SRを覆う保護層195を設けることで、発光素子190B、発光素子190G、及び受発光素子190SRに水などの不純物が入り込むことを抑制し、発光素子190B、発光素子190G、及び受発光素子190SRの信頼性を高めることができる。
表示装置100Bの端部近傍の領域228において、絶縁層214の開口を介して、絶縁層215と保護層195とが互いに接することが好ましい。特に、絶縁層215が有する無機絶縁膜と保護層195が有する無機絶縁膜とが互いに接することが好ましい。これにより、有機絶縁膜を介して外部から表示部162に不純物が入り込むことを抑制することができる。したがって、表示装置100Bの信頼性を高めることができる。
保護層195は単層であっても積層構造であってもよく、例えば、保護層195は、共通電極115上の無機絶縁層と、無機絶縁層上の有機絶縁層と、有機絶縁層上の無機絶縁層と、を有する3層構造であってもよい。このとき、有機絶縁膜の端部よりも無機絶縁膜の端部を外側に延在させることが好ましい。
さらに、受発光素子190SRと重なる領域に、レンズが設けられていてもよい。これにより、受発光素子190SRを用いたセンサの感度及び精度を高めることができる。
レンズは、1.3以上2.5以下の屈折率を有することが好ましい。レンズは、無機材料及び有機材料の少なくとも一方を用いて形成することができる。例えば、樹脂を含む材料をレンズに用いることができる。また、酸化物及び硫化物の少なくとも一方を含む材料をレンズに用いることができる。
具体的には、塩素、臭素、またはヨウ素を含む樹脂、重金属原子を含む樹脂、芳香環を含む樹脂、硫黄を含む樹脂などをレンズに用いることができる。または、樹脂と当該樹脂より屈折率の高い材料のナノ粒子を含む材料をレンズに用いることができる。酸化チタンまたは酸化ジルコニウムなどをナノ粒子に用いることができる。
また、酸化セリウム、酸化ハフニウム、酸化ランタン、酸化マグネシウム、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化チタン、酸化イットリウム、酸化亜鉛、インジウムとスズを含む酸化物、またはインジウムとガリウムと亜鉛を含む酸化物などを、レンズに用いることができる。または、硫化亜鉛などを、レンズに用いることができる。
また、表示装置100Bでは、保護層195と基板152とが接着層142によって貼り合わされている。接着層142は、発光素子190B、発光素子190G、及び受発光素子190SRとそれぞれ重ねて設けられており、表示装置100Bには、固体封止構造が適用されている。
[表示装置100C]
図25Aに、表示装置100Cの断面図を示す。
表示装置100Cは、トランジスタの構造が、表示装置100Bと異なる。
表示装置100Cは、基板151上に、トランジスタ208、トランジスタ209、及びトランジスタ210を有する。
トランジスタ208、トランジスタ209、及びトランジスタ210は、ゲートとして機能する導電層221、ゲート絶縁層として機能する絶縁層211、チャネル形成領域231i及び一対の低抵抗領域231nを有する半導体層、一対の低抵抗領域231nの一方と接続する導電層222a、一対の低抵抗領域231nの他方と接続する導電層222b、ゲート絶縁層として機能する絶縁層225、ゲートとして機能する導電層223、並びに、導電層223を覆う絶縁層215を有する。絶縁層211は、導電層221とチャネル形成領域231iとの間に位置する。絶縁層225は、導電層223とチャネル形成領域231iとの間に位置する。
導電層222a及び導電層222bは、それぞれ、絶縁層225及び絶縁層215に設けられた開口を介して低抵抗領域231nと接続される。導電層222a及び導電層222bのうち、一方はソースとして機能し、他方はドレインとして機能する。
発光素子190Gの画素電極191は、導電層222bを介してトランジスタ208の一対の低抵抗領域231nの一方と電気的に接続される。
受発光素子190SRの画素電極191は、導電層222bを介してトランジスタ209の一対の低抵抗領域231nの他方と電気的に接続される。
図25Aでは、絶縁層225が半導体層の上面及び側面を覆う例を示す。一方、図25Bに示すトランジスタ202では、絶縁層225は、半導体層231のチャネル形成領域231iと重なり、低抵抗領域231nとは重ならない。例えば、導電層223をマスクに絶縁層225が加工することで、図25Bに示す構造を作製できる。図25Bでは、絶縁層225及び導電層223を覆って絶縁層215が設けられ、絶縁層215の開口を介して、導電層222a及び導電層222bがそれぞれ低抵抗領域231nと接続されている。さらに、トランジスタを覆う絶縁層218を設けてもよい。
また、表示装置100Cは、基板151及び基板152を有さず、基板153、基板154、接着層155、及び絶縁層212を有する点で、表示装置100Bと異なる。
基板153と絶縁層212とは接着層155によって貼り合わされている。基板154と保護層195とは接着層142によって貼り合わされている。
表示装置100Cは、作製基板上で形成された絶縁層212、トランジスタ208、トランジスタ209、トランジスタ210、受発光素子190SR、及び発光素子190G等を、基板153上に転置することで作製される構成である。基板153及び基板154は、それぞれ、可撓性を有することが好ましい。これにより、表示装置100Cの可撓性を高めることができる。
絶縁層212には、絶縁層211、絶縁層213、及び絶縁層215に用いることができる無機絶縁膜を用いることができる。
以上のように、本実施の形態の表示装置は、いずれかの色を呈する副画素に、発光素子の代わりとして、受発光素子を設ける。受発光素子が、発光素子と受光素子とを兼ねることで、画素に含まれる副画素の数を増やさずに、画素に受光機能を付与することができる。また、表示装置の精細度、各副画素の開口率などを下げずに、画素に受光機能を付与することができる。
本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態3)
本実施の形態では、上記の実施の形態で説明したOSトランジスタに用いることができる金属酸化物(酸化物半導体ともいう)について説明する。
金属酸化物は、少なくともインジウムまたは亜鉛を含むことが好ましい。特にインジウム及び亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、スズなどが含まれていることが好ましい。また、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、マグネシウム、コバルトなどから選ばれた一種、または複数種が含まれていてもよい。
また、金属酸化物は、スパッタリング法、有機金属化学気相成長(MOCVD:Metal Organic Chemical Vapor Deposition)法などの化学気相成長(CVD:Chemical Vapor Deposition)法、原子層堆積(ALD:Atomic Layer Deposition)法などにより形成することができる。
<結晶構造の分類>
酸化物半導体の結晶構造としては、アモルファス(completely amorphousを含む)、CAAC(c-axis-aligned crystalline)、nc(nanocrystalline)、CAC(cloud-aligned composite)、単結晶(single crystal)、及び多結晶(poly crystal)等が挙げられる。
なお、膜または基板の結晶構造は、X線回折(XRD:X-Ray Diffraction)スペクトルを用いて評価することができる。例えば、GIXD(Grazing-Incidence XRD)測定で得られるXRDスペクトルを用いて評価することができる。なお、GIXD法は、薄膜法またはSeemann-Bohlin法ともいう。
例えば、石英ガラス基板では、XRDスペクトルのピークの形状がほぼ左右対称である。一方で、結晶構造を有するIGZO膜では、XRDスペクトルのピークの形状が左右非対称である。XRDスペクトルのピークの形状が左右非対称であることは、膜中または基板中の結晶の存在を明示している。別言すると、XRDスペクトルのピークの形状で左右対称でないと、膜または基板は非晶質状態であるとは言えない。
また、膜または基板の結晶構造は、極微電子線回折法(NBED:Nano Beam Electron Diffraction)によって観察される回折パターン(極微電子線回折パターンともいう)にて評価することができる。例えば、石英ガラス基板の回折パターンでは、ハローが観察され、石英ガラスは、非晶質状態であることが確認できる。また、室温成膜したIGZO膜の回折パターンでは、ハローではなく、スポット状のパターンが観察される。このため、室温成膜したIGZO膜は、結晶状態でもなく、非晶質状態でもない、中間状態であり、非晶質状態であると結論することはできないと推定される。
<<酸化物半導体の構造>>
なお、酸化物半導体は、構造に着目した場合、上記とは異なる分類となる場合がある。例えば、酸化物半導体は、単結晶酸化物半導体と、それ以外の非単結晶酸化物半導体と、に分けられる。非単結晶酸化物半導体としては、例えば、上述のCAAC-OS、及びnc-OSがある。また、非単結晶酸化物半導体には、多結晶酸化物半導体、擬似非晶質酸化物半導体(a-like OS:amorphous-like oxide semiconductor)、非晶質酸化物半導体、などが含まれる。
ここで、上述のCAAC-OS、nc-OS、及びa-like OSの詳細について、説明を行う。
[CAAC-OS]
CAAC-OSは、複数の結晶領域を有し、当該複数の結晶領域はc軸が特定の方向に配向している酸化物半導体である。なお、特定の方向とは、CAAC-OS膜の厚さ方向、CAAC-OS膜の被形成面の法線方向、またはCAAC-OS膜の表面の法線方向である。また、結晶領域とは、原子配列に周期性を有する領域である。なお、原子配列を格子配列とみなすと、結晶領域とは、格子配列の揃った領域でもある。さらに、CAAC-OSは、a-b面方向において複数の結晶領域が連結する領域を有し、当該領域は歪みを有する場合がある。なお、歪みとは、複数の結晶領域が連結する領域において、格子配列の揃った領域と、別の格子配列の揃った領域と、の間で格子配列の向きが変化している箇所を指す。つまり、CAAC-OSは、c軸配向し、a-b面方向には明らかな配向をしていない酸化物半導体である。
なお、上記複数の結晶領域のそれぞれは、1つまたは複数の微小な結晶(最大径が10nm未満である結晶)で構成される。結晶領域が1つの微小な結晶で構成されている場合、当該結晶領域の最大径は10nm未満となる。また、結晶領域が多数の微小な結晶で構成されている場合、当該結晶領域の大きさは、数十nm程度となる場合がある。
また、In-M-Zn酸化物(元素Mは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、スズ、チタンなどから選ばれた一種、または複数種)において、CAAC-OSは、インジウム(In)、及び酸素を有する層(以下、In層)と、元素M、亜鉛(Zn)、及び酸素を有する層(以下、(M,Zn)層)とが積層した、層状の結晶構造(層状構造ともいう)を有する傾向がある。なお、インジウムと元素Mは、互いに置換可能である。よって、(M,Zn)層にはインジウムが含まれる場合がある。また、In層には元素Mが含まれる場合がある。なお、In層にはZnが含まれる場合もある。当該層状構造は、例えば、高分解能TEM(Transmission Electron Microscope)像において、格子像として観察される。
CAAC-OS膜に対し、例えば、XRD装置を用いて構造解析を行うと、θ/2θスキャンを用いたOut-of-plane XRD測定では、c軸配向を示すピークが2θ=31°またはその近傍に検出される。なお、c軸配向を示すピークの位置(2θの値)は、CAAC-OSを構成する金属元素の種類、組成などにより変動する場合がある。
また、例えば、CAAC-OS膜の電子線回折パターンにおいて、複数の輝点(スポット)が観測される。なお、あるスポットと別のスポットとは、試料を透過した入射電子線のスポット(ダイレクトスポットともいう)を対称中心として、点対称の位置に観測される。
上記特定の方向から結晶領域を観察した場合、当該結晶領域内の格子配列は、六方格子を基本とするが、単位格子は正六角形とは限らず、非正六角形である場合がある。また、上記歪みにおいて、五角形、七角形などの格子配列を有する場合がある。なお、CAAC-OSにおいて、歪み近傍においても、明確な結晶粒界(グレインバウンダリー)を確認することはできない。即ち、格子配列の歪みによって、結晶粒界の形成が抑制されていることがわかる。これは、CAAC-OSが、a-b面方向において酸素原子の配列が稠密でないこと、金属原子が置換することなどで原子間の結合距離が変化することなどによって、歪みを許容することができるためと考えられる。
なお、明確な結晶粒界が確認される結晶構造は、いわゆる多結晶(polycrystal)と呼ばれる。結晶粒界は、再結合中心となり、キャリアが捕獲されトランジスタのオン電流の低下、電界効果移動度の低下などを引き起こす可能性が高い。よって、明確な結晶粒界が確認されないCAAC-OSは、トランジスタの半導体層に好適な結晶構造を有する結晶性の酸化物の一つである。なお、CAAC-OSを構成するには、Znを有する構成が好ましい。例えば、In-Zn酸化物、及びIn-Ga-Zn酸化物は、In酸化物よりも結晶粒界の発生を抑制できるため好適である。
CAAC-OSは、結晶性が高く、明確な結晶粒界が確認されない酸化物半導体である。よって、CAAC-OSは、結晶粒界に起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。また、酸化物半導体の結晶性は不純物の混入、欠陥の生成などによって低下する場合があるため、CAAC-OSは不純物、欠陥(酸素欠損など)の少ない酸化物半導体ともいえる。従って、CAAC-OSを有する酸化物半導体は、物理的性質が安定する。そのため、CAAC-OSを有する酸化物半導体は熱に強く、信頼性が高い。また、CAAC-OSは、製造工程における高い温度(所謂サーマルバジェット)に対しても安定である。従って、OSトランジスタにCAAC-OSを用いると、製造工程の自由度を広げることが可能となる。
[nc-OS]
nc-OSは、微小な領域(例えば、1nm以上10nm以下の領域、特に1nm以上3nm以下の領域)において原子配列に周期性を有する。別言すると、nc-OSは、微小な結晶を有する。なお、当該微小な結晶の大きさは、例えば、1nm以上10nm以下、特に1nm以上3nm以下であることから、当該微小な結晶をナノ結晶ともいう。また、nc-OSは、異なるナノ結晶間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、膜全体で配向性が見られない。従って、nc-OSは、分析方法によっては、a-like OSまたは非晶質酸化物半導体と区別が付かない場合がある。例えば、nc-OS膜に対し、XRD装置を用いて構造解析を行うと、θ/2θスキャンを用いたOut-of-plane XRD測定では、結晶性を示すピークが検出されない。また、nc-OS膜に対し、ナノ結晶よりも大きいプローブ径(例えば50nm以上)の電子線を用いる電子線回折(制限視野電子線回折ともいう。)を行うと、ハローパターンのような回折パターンが観測される。一方、nc-OS膜に対し、ナノ結晶の大きさと近いかナノ結晶より小さいプローブ径(例えば1nm以上30nm以下)の電子線を用いる電子線回折(ナノビーム電子線回折ともいう。)を行うと、ダイレクトスポットを中心とするリング状の領域内に複数のスポットが観測される電子線回折パターンが取得される場合がある。
[a-like OS]
a-like OSは、nc-OSと非晶質酸化物半導体との間の構造を有する酸化物半導体である。a-like OSは、鬆または低密度領域を有する。即ち、a-like OSは、nc-OS及びCAAC-OSと比べて、結晶性が低い。また、a-like OSは、nc-OS及びCAAC-OSと比べて、膜中の水素濃度が高い。
<<酸化物半導体の構成>>
次に、上述のCAC-OSの詳細について、説明を行う。なお、CAC-OSは材料構成に関する。
[CAC-OS]
CAC-OSとは、例えば、金属酸化物を構成する元素が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上3nm以下、またはその近傍のサイズで偏在した材料の一構成である。なお、以下では、金属酸化物において、一つまたは複数の金属元素が偏在し、該金属元素を有する領域が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上3nm以下、またはその近傍のサイズで混合した状態をモザイク状、またはパッチ状ともいう。
さらに、CAC-OSとは、第1の領域と、第2の領域と、に材料が分離することでモザイク状となり、当該第1の領域が、膜中に分布した構成(以下、クラウド状ともいう。)である。つまり、CAC-OSは、当該第1の領域と、当該第2の領域とが、混合している構成を有する複合金属酸化物である。
ここで、In-Ga-Zn酸化物におけるCAC-OSを構成する金属元素に対するIn、Ga、及びZnの原子数比のそれぞれを、[In]、[Ga]、及び[Zn]と表記する。例えば、In-Ga-Zn酸化物におけるCAC-OSにおいて、第1の領域は、[In]が、CAC-OS膜の組成における[In]よりも大きい領域である。また、第2の領域は、[Ga]が、CAC-OS膜の組成における[Ga]よりも大きい領域である。または、例えば、第1の領域は、[In]が、第2の領域における[In]よりも大きく、且つ、[Ga]が、第2の領域における[Ga]よりも小さい領域である。また、第2の領域は、[Ga]が、第1の領域における[Ga]よりも大きく、且つ、[In]が、第1の領域における[In]よりも小さい領域である。
具体的には、上記第1の領域は、インジウム酸化物、インジウム亜鉛酸化物などが主成分である領域である。また、上記第2の領域は、ガリウム酸化物、ガリウム亜鉛酸化物などが主成分である領域である。つまり、上記第1の領域を、Inを主成分とする領域と言い換えることができる。また、上記第2の領域を、Gaを主成分とする領域と言い換えることができる。
なお、上記第1の領域と、上記第2の領域とは、明確な境界が観察できない場合がある。
また、In-Ga-Zn酸化物におけるCAC-OSとは、In、Ga、Zn、及びOを含む材料構成において、一部にGaを主成分とする領域と、一部にInを主成分とする領域とが、それぞれモザイク状であり、これらの領域がランダムに存在している構成をいう。よって、CAC-OSは、金属元素が不均一に分布した構造を有していると推測される。
CAC-OSは、例えば基板を意図的に加熱しない条件で、スパッタリング法により形成することができる。また、CAC-OSをスパッタリング法で形成する場合、成膜ガスとして、不活性ガス(代表的にはアルゴン)、酸素ガス、及び窒素ガスの中から選ばれたいずれか一つまたは複数を用いればよい。また、成膜時の成膜ガスの総流量に対する酸素ガスの流量比は低いほど好ましく、例えば、成膜時の成膜ガスの総流量に対する酸素ガスの流量比を0%以上30%未満、好ましくは0%以上10%以下とすることが好ましい。
また、例えば、In-Ga-Zn酸化物におけるCAC-OSでは、エネルギー分散型X線分光法(EDX:Energy Dispersive X-ray spectroscopy)を用いて取得したEDXマッピングにより、Inを主成分とする領域(第1の領域)と、Gaを主成分とする領域(第2の領域)とが、偏在し、混合している構造を有することが確認できる。
ここで、第1の領域は、第2の領域と比較して、導電性が高い領域である。つまり、第1の領域を、キャリアが流れることにより、金属酸化物としての導電性が発現する。従って、第1の領域が、金属酸化物中にクラウド状に分布することで、高い電界効果移動度(μ)が実現できる。
一方、第2の領域は、第1の領域と比較して、絶縁性が高い領域である。つまり、第2の領域が、金属酸化物中に分布することで、リーク電流を抑制することができる。
従って、CAC-OSをトランジスタに用いる場合、第1の領域に起因する導電性と、第2の領域に起因する絶縁性とが、相補的に作用することにより、スイッチングさせる機能(On/Offさせる機能)をCAC-OSに付与することができる。つまり、CAC-OSとは、材料の一部では導電性の機能と、材料の一部では絶縁性の機能とを有し、材料の全体では半導体としての機能を有する。導電性の機能と絶縁性の機能とを分離させることで、双方の機能を最大限に高めることができる。よって、CAC-OSをトランジスタに用いることで、高いオン電流(Ion)、高い電界効果移動度(μ)、及び良好なスイッチング動作を実現することができる。
また、CAC-OSを用いたトランジスタは、信頼性が高い。従って、CAC-OSは、表示装置をはじめとするさまざまな半導体装置に最適である。
酸化物半導体は、多様な構造をとり、それぞれが異なる特性を有する。本発明の一態様の酸化物半導体は、非晶質酸化物半導体、多結晶酸化物半導体、a-like OS、CAC-OS、nc-OS、CAAC-OSのうち、二種以上を有していてもよい。
<酸化物半導体を有するトランジスタ>
続いて、上記酸化物半導体をトランジスタに用いる場合について説明する。
上記酸化物半導体をトランジスタに用いることで、高い電界効果移動度のトランジスタを実現することができる。また、信頼性の高いトランジスタを実現することができる。
トランジスタには、キャリア濃度の低い酸化物半導体を用いることが好ましい。例えば、酸化物半導体のキャリア濃度は1×1017cm-3以下、好ましくは1×1015cm-3以下、さらに好ましくは1×1013cm-3以下、より好ましくは1×1011cm-3以下、さらに好ましくは1×1010cm-3未満であり、1×10-9cm-3以上である。なお、酸化物半導体膜のキャリア濃度を低くする場合においては、酸化物半導体膜中の不純物濃度を低くし、欠陥準位密度を低くすればよい。本明細書等において、不純物濃度が低く、欠陥準位密度の低いことを高純度真性または実質的に高純度真性と言う。なお、キャリア濃度の低い酸化物半導体を、高純度真性または実質的に高純度真性な酸化物半導体と呼ぶ場合がある。
また、高純度真性または実質的に高純度真性である酸化物半導体膜は、欠陥準位密度が低いため、トラップ準位密度も低くなる場合がある。
また、酸化物半導体のトラップ準位に捕獲された電荷は、消失するまでに要する時間が長く、あたかも固定電荷のように振る舞うことがある。そのため、トラップ準位密度の高い酸化物半導体にチャネル形成領域が形成されるトランジスタは、電気特性が不安定となる場合がある。
従って、トランジスタの電気特性を安定にするためには、酸化物半導体中の不純物濃度を低減することが有効である。また、酸化物半導体中の不純物濃度を低減するためには、近接する膜中の不純物濃度も低減することが好ましい。不純物としては、水素、窒素、アルカリ金属、アルカリ土類金属、鉄、ニッケル、シリコン等がある。
<不純物>
ここで、酸化物半導体中における各不純物の影響について説明する。
酸化物半導体において、第14族元素の一つであるシリコン、炭素などが含まれると、酸化物半導体において欠陥準位が形成される。このため、酸化物半導体におけるシリコンまたは炭素の濃度と、酸化物半導体との界面近傍のシリコンまたは炭素の濃度(二次イオン質量分析法(SIMS:Secondary Ion Mass Spectrometry)により得られる濃度)を、2×1018atoms/cm以下、好ましくは2×1017atoms/cm以下とする。
また、酸化物半導体にアルカリ金属またはアルカリ土類金属が含まれると、欠陥準位を形成し、キャリアを生成する場合がある。従って、アルカリ金属またはアルカリ土類金属が含まれている酸化物半導体を用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。このため、SIMSにより得られる酸化物半導体中のアルカリ金属またはアルカリ土類金属の濃度を、1×1018atoms/cm以下、好ましくは2×1016atoms/cm以下にする。
また、酸化物半導体において、窒素が含まれると、キャリアである電子が生じ、キャリア濃度が増加し、n型化しやすい。この結果、窒素が含まれている酸化物半導体を半導体に用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。または、酸化物半導体において、窒素が含まれると、トラップ準位が形成される場合がある。この結果、トランジスタの電気特性が不安定となる場合がある。このため、SIMSにより得られる酸化物半導体中の窒素濃度を、5×1019atoms/cm未満、好ましくは5×1018atoms/cm以下、より好ましくは1×1018atoms/cm以下、さらに好ましくは5×1017atoms/cm以下にする。
また、酸化物半導体に含まれる水素は、金属原子と結合する酸素と反応して水になるため、酸素欠損を形成する場合がある。該酸素欠損に水素が入ることで、キャリアである電子が生成される場合がある。また、水素の一部が金属原子と結合する酸素と結合して、キャリアである電子を生成することがある。従って、水素が含まれている酸化物半導体を用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。このため、酸化物半導体中の水素はできる限り低減されていることが好ましい。具体的には、酸化物半導体において、SIMSにより得られる水素濃度を、1×1020atoms/cm未満、好ましくは1×1019atoms/cm未満、より好ましくは5×1018atoms/cm未満、さらに好ましくは1×1018atoms/cm未満にする。
不純物が十分に低減された酸化物半導体をトランジスタのチャネル形成領域に用いることで、安定した電気特性を付与することができる。
本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態4)
本実施の形態では、本発明の一態様の電子機器について、図26~図28を用いて説明する。
本実施の形態の電子機器は、本発明の一態様の表示装置を有する。例えば、電子機器の表示部に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。本発明の一態様の表示装置は、光を検出する機能を有するため、表示部で生体認証を行うこと、タッチ動作(接触または接近)を検出すること、などができる。これにより、電子機器の機能性、及び利便性などを高めることができる。
電子機器としては、例えば、テレビジョン装置、デスクトップ型もしくはノート型のパーソナルコンピュータ、コンピュータ用などのモニタ、デジタルサイネージ、パチンコ機などの大型ゲーム機などの比較的大きな画面を備える電子機器の他、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、などが挙げられる。
本実施の形態の電子機器は、センサ(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの)を有していてもよい。
本実施の形態の電子機器は、様々な機能を有することができる。例えば、様々な情報(静止画、動画、テキスト画像など)を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付または時刻などを表示する機能、様々なソフトウェア(プログラム)を実行する機能、無線通信機能、記録媒体に記録されているプログラムまたはデータを読み出す機能等を有することができる。
図26Aに示す電子機器6500は、スマートフォンとして用いることのできる携帯情報端末機である。
電子機器6500は、筐体6501、表示部6502、電源ボタン6503、ボタン6504、スピーカ6505、マイク6506、カメラ6507、及び光源6508等を有する。表示部6502はタッチパネル機能を備える。
表示部6502に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
図26Bは、筐体6501のマイク6506側の端部を含む断面概略図である。
筐体6501の表示面側には透光性を有する保護部材6510が設けられ、筐体6501と保護部材6510に囲まれた空間内に、表示パネル6511、光学部材6512、タッチセンサパネル6513、プリント基板6517、バッテリ6518等が配置されている。
保護部材6510には、表示パネル6511、光学部材6512、及びタッチセンサパネル6513が接着層(図示しない)により固定されている。
表示部6502よりも外側の領域において、表示パネル6511の一部が折り返されており、当該折り返された部分にFPC6515が接続されている。FPC6515には、IC6516が実装されている。FPC6515は、プリント基板6517に設けられた端子に接続されている。
表示パネル6511には本発明の一態様のフレキシブルディスプレイを適用することができる。そのため、極めて軽量な電子機器を実現できる。また、表示パネル6511が極めて薄いため、電子機器の厚さを抑えつつ、大容量のバッテリ6518を搭載することもできる。また、表示パネル6511の一部を折り返して、画素部の裏側にFPC6515との接続部を配置することにより、狭額縁の電子機器を実現できる。
表示パネル6511に、本発明の一態様の表示装置を用いることで、表示部6502で撮像を行うことができる。例えば、表示パネル6511で指紋を撮像し、指紋認証を行うことができる。
表示部6502が、さらに、タッチセンサパネル6513を有することで、表示部6502に、タッチパネル機能を付与することができる。タッチセンサパネル6513としては、静電容量方式、抵抗膜方式、表面弾性波方式、赤外線方式、光学方式、感圧方式など様々な方式を用いることができる。または、表示パネル6511を、タッチセンサとして機能させてもよく、その場合、タッチセンサパネル6513を設けなくてもよい。
図27Aにテレビジョン装置の一例を示す。テレビジョン装置7100は、筐体7101に表示部7000が組み込まれている。ここでは、スタンド7103により筐体7101を支持した構成を示している。
表示部7000に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
図27Aに示すテレビジョン装置7100の操作は、筐体7101が備える操作スイッチ、別体のリモコン操作機7111などにより行うことができる。または、表示部7000にタッチセンサを備えていてもよく、指等で表示部7000に触れることでテレビジョン装置7100を操作してもよい。リモコン操作機7111は、当該リモコン操作機7111から出力する情報を表示する表示部を有していてもよい。リモコン操作機7111が備える操作キーまたはタッチパネルにより、チャンネル及び音量の操作を行うことができ、表示部7000に表示される映像を操作することができる。
なお、テレビジョン装置7100は、受信機及びモデムなどを備えた構成とする。受信機により一般のテレビ放送の受信を行うことができる。また、モデムを介して有線または無線による通信ネットワークに接続することにより、一方向(送信者から受信者)または双方向(送信者と受信者間、あるいは受信者間同士など)の情報通信を行うことも可能である。
図27Bに、ノート型パーソナルコンピュータの一例を示す。ノート型パーソナルコンピュータ7200は、筐体7211、キーボード7212、ポインティングデバイス7213、外部接続ポート7214等を有する。筐体7211に、表示部7000が組み込まれている。
表示部7000に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
図27C、図27Dに、デジタルサイネージの一例を示す。
図27Cに示すデジタルサイネージ7300は、筐体7301、表示部7000、及びスピーカ7303等を有する。さらに、LEDランプ、操作キー(電源スイッチ、または操作スイッチを含む)、接続端子、各種センサ、マイクロフォン等を有することができる。
図27Dは円柱状の柱7401に取り付けられたデジタルサイネージ7400である。デジタルサイネージ7400は、柱7401の曲面に沿って設けられた表示部7000を有する。
図27C、図27Dにおいて、表示部7000に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
表示部7000が広いほど、一度に提供できる情報量を増やすことができる。また、表示部7000が広いほど、人の目につきやすく、例えば、広告の宣伝効果を高めることができる。
表示部7000にタッチパネルを適用することで、表示部7000に画像または動画を表示するだけでなく、ユーザーが直感的に操作することができ、好ましい。また、路線情報もしくは交通情報などの情報を提供するための用途に用いる場合には、直感的な操作によりユーザビリティを高めることができる。
また、図27C、図27Dに示すように、デジタルサイネージ7300またはデジタルサイネージ7400は、ユーザーが所持するスマートフォン等の情報端末機7311または情報端末機7411と無線通信により連携可能であることが好ましい。例えば、表示部7000に表示される広告の情報を、情報端末機7311または情報端末機7411の画面に表示させることができる。また、情報端末機7311または情報端末機7411を操作することで、表示部7000の表示を切り替えることができる。
また、デジタルサイネージ7300またはデジタルサイネージ7400に、情報端末機7311または情報端末機7411の画面を操作手段(コントローラ)としたゲームを実行させることもできる。これにより、不特定多数のユーザーが同時にゲームに参加し、楽しむことができる。
図28A~図28Fに示す電子機器は、筐体9000、表示部9001、スピーカ9003、操作キー9005(電源スイッチ、または操作スイッチを含む)、接続端子9006、センサ9007(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの)、マイクロフォン9008、等を有する。
図28A~図28Fに示す電子機器は、様々な機能を有する。例えば、様々な情報(静止画、動画、テキスト画像など)を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付または時刻などを表示する機能、様々なソフトウェア(プログラム)によって処理を制御する機能、無線通信機能、記録媒体に記録されているプログラムまたはデータを読み出して処理する機能、等を有することができる。なお、電子機器の機能はこれらに限られず、様々な機能を有することができる。電子機器は、複数の表示部を有していてもよい。また、電子機器にカメラ等を設け、静止画、動画などを撮影し、記録媒体(外部またはカメラに内蔵)に保存する機能、撮影した画像を表示部に表示する機能、等を有していてもよい。
図28A~図28Fに示す電子機器の詳細について、以下説明を行う。
図28Aは、携帯情報端末9101を示す斜視図である。携帯情報端末9101は、例えばスマートフォンとして用いることができる。なお、携帯情報端末9101は、スピーカ9003、接続端子9006、センサ9007等を設けてもよい。また、携帯情報端末9101は、文字、画像情報などをその複数の面に表示することができる。図28Aでは3つのアイコン9050を表示した例を示している。また、破線の矩形で示す情報9051を表示部9001の他の面に表示することもできる。情報9051の一例としては、電子メール、SNS、電話などの着信の通知、電子メール、SNSなどの題名、送信者名、日時、時刻、バッテリの残量、アンテナ受信の強度などがある。または、情報9051が表示されている位置にはアイコン9050などを表示してもよい。
図28Bは、携帯情報端末9102を示す斜視図である。携帯情報端末9102は、表示部9001の3面以上に情報を表示する機能を有する。ここでは、情報9052、情報9053、情報9054がそれぞれ異なる面に表示されている例を示す。例えばユーザーは、洋服の胸ポケットに携帯情報端末9102を収納した状態で、携帯情報端末9102の上方から観察できる位置に表示された情報9053を確認することもできる。ユーザーは、携帯情報端末9102をポケットから取り出すことなく表示を確認し、例えば電話を受けるか否かを判断できる。
図28Cは、腕時計型の携帯情報端末9200を示す斜視図である。また、表示部9001はその表示面が湾曲して設けられ、湾曲した表示面に沿って表示を行うことができる。また、携帯情報端末9200は、例えば無線通信可能なヘッドセットと相互通信することによって、ハンズフリーで通話することもできる。また、携帯情報端末9200は、接続端子9006により、他の情報端末と相互にデータ伝送を行うこと、充電を行うことなどもできる。なお、充電動作は無線給電により行ってもよい。
図28D~図28Fは、折り畳み可能な携帯情報端末9201を示す斜視図である。また、図28Dは携帯情報端末9201を展開した状態、図28Fは折り畳んだ状態、図28Eは図28Dと図28Fの一方から他方に変化する途中の状態の斜視図である。携帯情報端末9201は、折り畳んだ状態では可搬性に優れ、展開した状態では継ぎ目のない広い表示領域により表示の一覧性に優れる。携帯情報端末9201が有する表示部9001は、ヒンジ9055によって連結された3つの筐体9000に支持されている。例えば、表示部9001は、曲率半径0.1mm以上150mm以下で曲げることができる。
本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
Tr1:トランジスタ:SW1:スイッチ:SW2:スイッチ:SW3:スイッチ:SW4:スイッチ:SA:受発光素子:CS:容量:AL:配線:CL:配線:WX:配線:SL:配線:Vdata:データ電位:Vgp:電位:Vgs:電圧:Voff:電位:VRS:電位:Vsig:電位:SL1:配線:SL2:配線:SL3:配線:GL:配線:SE:配線:AEN:配線:REN:配線:SR:受発光素子:ELB:発光素子:ELG:発光素子:M1:トランジスタ:M2:トランジスタ:M3:トランジスタ:M4:トランジスタ:M5:トランジスタ:M6:トランジスタ:10:表示装置:11:表示部:12:駆動回路部:13:駆動回路部:14:駆動回路部:15:回路部:20R:画素:20B:画素:20G:画素:21R:回路:21B:回路:21G:回路:30:画素:30A:画素:30B:画素:30G:画素

Claims (3)

  1. 第1乃至第4のスイッチと、第1のトランジスタと、容量と、受発光素子と、第1乃至第4の配線と、を有し、
    前記第1の配線は、前記第1のスイッチを介して前記第1のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
    前記第2の配線は、前記第2のスイッチを介して前記第1のトランジスタのソース及びドレインの一方と電気的に接続され、
    前記受発光素子は、アノードが前記第3のスイッチを介して前記第1のトランジスタのソース及びドレインの他方と電気的に接続され、カソードが前記第3の配線と電気的に接続され、
    前記第4の配線は、前記第4のスイッチを介して前記第1のトランジスタのソース及びドレインの他方と電気的に接続され、
    前記容量は、一方の電極が前記第1のトランジスタのゲートと電気的に接続され、他方の電極が前記第1のトランジスタのソース及びドレインの他方と電気的に接続され、
    前記第2の配線には、第1の電位が与えられ、
    前記第3の配線には、前記第1の電位よりも低い第2の電位が与えられ、
    前記受発光素子は、第1の色の光を発する機能と、第2の色の光を受光し、電気信号に変換する機能と、を有し、
    第1の期間において、前記第1乃至前記第4のスイッチは導通状態であり、前記第1の配線にはデータ電位が与えられ、前記第4の配線には、第3の電位が与えられ、
    第2の期間において、前記第1のスイッチ及び前記第4のスイッチは非導通状態であり、前記第2のスイッチ及び前記第3のスイッチは導通状態であり、
    第3の期間において、前記第1のスイッチ、前記第3のスイッチ、及び前記第4のスイッチは導通状態であり、前記第2のスイッチは非導通状態であり、前記第1の配線には、前記第1の電位よりも低い第4の電位が与えられ、前記第4の配線には、前記第2の電位よりも低い第5の電位が与えられ、
    の期間において、前記第1乃至前記第4のスイッチは、非導通状態であり、
    第5の期間において、前記第1のスイッチ及び前記第3のスイッチは導通状態であり、前記第2のスイッチ及び前記第4のスイッチは非導通状態であり、前記第1の配線には、前記第2の電位よりも高い第6の電位が与えられ、
    第6の期間において、前記第1のスイッチおよび前記第3のスイッチは非導通状態であり、前記第2のスイッチ及び前記第4のスイッチは導通状態である、表示装置。
  2. 請求項に記載の表示装置と、コネクターまたは集積回路と、を有する、表示モジュール。
  3. 請求項に記載の表示モジュールと、
    アンテナ、バッテリ、筐体、カメラ、スピーカ、マイク、タッチセンサ、及び操作ボタンのうち、少なくとも一つと、を有する、電子機器。
JP2022522078A 2020-05-14 2021-04-30 表示装置、表示モジュール、及び電子機器 Active JP7711051B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2025116128A JP2025164772A (ja) 2020-05-14 2025-07-09 表示装置

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020085200 2020-05-14
JP2020085200 2020-05-14
PCT/IB2021/053604 WO2021229350A1 (ja) 2020-05-14 2021-04-30 表示装置、表示モジュール、及び電子機器

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2025116128A Division JP2025164772A (ja) 2020-05-14 2025-07-09 表示装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JPWO2021229350A1 JPWO2021229350A1 (ja) 2021-11-18
JPWO2021229350A5 JPWO2021229350A5 (ja) 2024-05-10
JP7711051B2 true JP7711051B2 (ja) 2025-07-22

Family

ID=78525389

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022522078A Active JP7711051B2 (ja) 2020-05-14 2021-04-30 表示装置、表示モジュール、及び電子機器
JP2025116128A Pending JP2025164772A (ja) 2020-05-14 2025-07-09 表示装置

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2025116128A Pending JP2025164772A (ja) 2020-05-14 2025-07-09 表示装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20230165055A1 (ja)
JP (2) JP7711051B2 (ja)
KR (1) KR20230010666A (ja)
CN (1) CN115461804A (ja)
WO (1) WO2021229350A1 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021220141A1 (ja) 2020-05-01 2021-11-04 株式会社半導体エネルギー研究所 表示装置、表示モジュール、及び電子機器
KR102895315B1 (ko) * 2021-12-23 2025-12-04 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005148285A (ja) 2003-11-13 2005-06-09 Sony Corp 表示装置およびその駆動方法
JP2006267696A (ja) 2005-03-24 2006-10-05 Sony Corp 表示装置及び表示方法
CN105825815A (zh) 2016-05-24 2016-08-03 上海天马有机发光显示技术有限公司 一种有机发光像素电路及其驱动方法
US20170269783A1 (en) 2015-09-28 2017-09-21 Boe Technology Group Co., Ltd. Pixel driving circuit, display panel, method for driving display panel, and display device
CN109872692A (zh) 2017-12-04 2019-06-11 京东方科技集团股份有限公司 像素电路及其驱动方法、显示装置

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2668212B2 (ja) * 1987-03-04 1997-10-27 アンリツ株式会社 スイッチ付きダイヤル装置
JP2005009972A (ja) * 2003-06-18 2005-01-13 Seiko Instruments Inc 通信端末装置及び補正時刻表示プログラム
JP4042721B2 (ja) * 2004-05-27 2008-02-06 ソニー株式会社 制御装置および方法、記録媒体、プログラム、並びに入出力装置
JP2006260927A (ja) * 2005-03-17 2006-09-28 Sony Corp 照明装置、照明装置の制御方法および表示装置
JP2008262176A (ja) * 2007-03-16 2008-10-30 Hitachi Displays Ltd 有機el表示装置
US20090079345A1 (en) * 2007-09-26 2009-03-26 Fujifilm Corporation Light emitting/receiving element
KR101074799B1 (ko) * 2009-08-18 2011-10-19 삼성모바일디스플레이주식회사 터치 스크린 디스플레이 장치, 및 이의 제조 방법
JP2013057726A (ja) * 2011-09-07 2013-03-28 Sony Corp 表示パネル、表示装置および電子機器
KR102079188B1 (ko) 2012-05-09 2020-02-19 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 발광 장치 및 전자 기기
CN103295525B (zh) * 2013-05-31 2015-09-30 京东方科技集团股份有限公司 像素电路及其驱动方法、有机发光显示面板及显示装置
US9761638B2 (en) * 2013-11-15 2017-09-12 Joled Inc. Organic EL display panel, display device using same, and method for producing organic EL display panel
US10490130B2 (en) * 2017-02-10 2019-11-26 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display system comprising controller which process data
US10483478B2 (en) * 2017-03-01 2019-11-19 Emagin Corporation Buffer assisted charge generation layer for tandem OLEDs
CN111919246B (zh) * 2018-03-27 2022-07-26 夏普株式会社 显示装置
KR102550867B1 (ko) * 2018-12-28 2023-07-04 엘지디스플레이 주식회사 발광표시장치, 발광표시패널, 구동회로 및 구동방법
CN110634432B (zh) * 2019-10-25 2023-05-12 京东方科技集团股份有限公司 Oled像素电路、驱动方法、老化检测方法和显示面板
CN111048685A (zh) * 2019-11-08 2020-04-21 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板及其制备方法
US11087684B1 (en) * 2020-04-16 2021-08-10 Novatek Microelectronics Corp. Pixel driver and pixel driving method

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005148285A (ja) 2003-11-13 2005-06-09 Sony Corp 表示装置およびその駆動方法
JP2006267696A (ja) 2005-03-24 2006-10-05 Sony Corp 表示装置及び表示方法
US20170269783A1 (en) 2015-09-28 2017-09-21 Boe Technology Group Co., Ltd. Pixel driving circuit, display panel, method for driving display panel, and display device
CN105825815A (zh) 2016-05-24 2016-08-03 上海天马有机发光显示技术有限公司 一种有机发光像素电路及其驱动方法
CN109872692A (zh) 2017-12-04 2019-06-11 京东方科技集团股份有限公司 像素电路及其驱动方法、显示装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2025164772A (ja) 2025-10-30
US20230165055A1 (en) 2023-05-25
KR20230010666A (ko) 2023-01-19
CN115461804A (zh) 2022-12-09
JPWO2021229350A1 (ja) 2021-11-18
WO2021229350A1 (ja) 2021-11-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7585540B2 (ja) 表示装置
JP7650822B2 (ja) 表示装置、表示モジュール及び電子機器
JP7615040B2 (ja) 表示装置、表示モジュール、及び電子機器
JP7637297B2 (ja) 表示装置、表示モジュールおよび電子機器
JP7658951B2 (ja) 表示装置
JP2025164772A (ja) 表示装置
US11847942B2 (en) Semiconductor device
US20250316237A1 (en) Display device, display module, and electronic device
JP7809231B2 (ja) 表示装置
KR102912734B1 (ko) 표시 장치, 표시 모듈, 및 전자 기기
KR20260004551A (ko) 표시 장치, 표시 모듈, 및 전자 기기

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20240426

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20240426

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20250318

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20250519

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20250610

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20250709

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7711051

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150