JP7530461B1 - 観察装置および観察方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】観察装置1Aは、光源11、ミラー22、コンデンサレンズ24、対物レンズ25、ビームスプリッタ41、撮像部43および解析部50などを備える。解析部50は、ミラー22の反射面の方位を変化させることにより観察対象物Sに対して複数の光照射方向それぞれに沿って光を照射させ、複数の光照射方向それぞれについて基準位置における干渉強度画像を撮像部43から取得し、これらの干渉強度画像に基づいて所要の処理をすることにより観察対象物の位相微分画像を求める。
【選択図】図1
Description
第2態様では、第1態様に加えて、干渉強度画像取得部は、複数の光照射方向それぞれに沿って光が照射された観察対象物の干渉強度画像を取得する。
第2態様では、第1態様に加えて、干渉強度画像取得部は、複数の光照射方向それぞれに沿って光が照射された観察対象物の干渉強度画像を取得する。
Claims (16)
- 複数の光照射方向それぞれに沿って光が照射された観察対象物の干渉強度画像を取得する干渉強度画像取得部と、
前記複数の光照射方向それぞれについて、前記干渉強度画像に基づいて複素振幅画像を生成する複素振幅画像生成部と、
前記複数の光照射方向それぞれの前記複素振幅画像に基づいて、前記観察対象物が存在しない場合の第1面上の各位置rinの光の波面に対して、前記観察対象物が存在する場合の前記第1面と同じ第2面上の各位置routの光の波面を関係づけるトランスミッション行列Trr(rout;rin)を生成するトランスミッション行列生成部と、
前記トランスミッション行列Trr(rout;rin)に基づいて、Trr(rout;rin)とTrr *(rout-δr;rin-δr)との要素ごとの積であるC(rout;rin)を生成し、要素ごとにC(rout;rin)の振幅でC(rout;rin)を重み付けし、前記第1面上の各位置rinについて前記第2面において、または、前記第2面上の各位置routについて前記第1面において、重み付けしたC(rout;rin)の総和を求めることで、複素微分干渉画像を生成する複素微分干渉画像生成部と、
前記複素微分干渉画像に基づいて位相微分画像を生成する位相微分画像生成部と、
を備える観察装置。 - 前記干渉強度画像取得部は、複数の光照射方向それぞれに沿って前記観察対象物に照射されて前記観察対象物を経た光と参照光との干渉による干渉強度画像を撮像した撮像部から、前記複数の光照射方向それぞれの前記干渉強度画像を取得する、
請求項1記載の観察装置。 - 前記干渉強度画像取得部は、波数空間において光照射方向を表す波数ベクトルの位置が離散的かつ周期的に分布する前記複数の光照射方向それぞれに沿って光が観察対象物に照射されたときに前記干渉強度画像を撮像した撮像部から、前記複数の光照射方向それぞれの前記干渉強度画像を取得し、
前記複素微分干渉画像生成部は、前記複数の光照射方向それぞれの波数ベクトルの前記波数空間における位置の周期的分布に基づいて区分される前記第2面の複数の領域それぞれにおいて、前記第1面上の各位置rinについて、重み付けしたC(rout;rin)の総和を求めることで、前記複素微分干渉画像を生成する、
請求項2に記載の観察装置。 - 前記干渉強度画像取得部は、複数の光照射方向それぞれに沿って前記観察対象物に照射されて前記観察対象物を経た光と、一定の照射方向に沿って前記観察対象物に照射されて前記観察対象物を経た光と、の干渉による干渉強度画像を取得する、
請求項1に記載の観察装置。 - 前記位相微分画像生成部は、
撮像部に対し相対的に遠い位置については、前記第1面上の各位置rinについて、前記第2面において、重み付けしたC(rout;rin)の総和を求めることで、前記複素微分干渉画像を生成し、
撮像部に対し相対的に近い位置については、前記第2面上の各位置routについて、前記第1面において、重み付けしたC(rout;rin)の総和を求めることで、前記複素微分干渉画像を生成する、
請求項1~4いずれか一項に記載の観察装置。 - 前記位相微分画像生成部は、撮像部の光軸に沿った各位置における位相微分画像を生成することで、3次元位相微分画像を生成する、
請求項1~4いずれか一項に記載の観察装置。 - 前記3次元位相微分画像に基づいて前記観察対象物の3次元屈折率分布画像を生成する屈折率分布画像生成部を更に備える、
請求項6に記載の観察装置。 - 複数の光照射方向それぞれに沿って光が照射された観察対象物の干渉強度画像を取得する干渉強度画像取得ステップと、
前記複数の光照射方向それぞれについて、前記干渉強度画像に基づいて複素振幅画像を生成する複素振幅画像生成ステップと、
前記複数の光照射方向それぞれの前記複素振幅画像に基づいて、前記観察対象物が存在しない場合の第1面上の各位置rinの光の波面に対して、前記観察対象物が存在する場合の前記第1面と同じ第2面上の各位置routの光の波面を関係づけるトランスミッション行列Trr(rout;rin)を生成するトランスミッション行列生成ステップと、
前記トランスミッション行列Trr(rout;rin)に基づいて、Trr(rout;rin)とTrr *(rout-δr;rin-δr)との要素ごとの積であるC(rout;rin)を生成し、要素ごとにC(rout;rin)の振幅でC(rout;rin)を重み付けし、前記第1面上の各位置rinについて前記第2面において、または、前記第2面上の各位置routについて前記第1面において、重み付けしたC(rout;rin)の総和を求めることで、複素微分干渉画像を生成する複素微分干渉画像生成ステップと、
前記複素微分干渉画像に基づいて位相微分画像を生成する位相微分画像生成ステップと、
を備える観察方法。 - 前記干渉強度画像取得ステップにおいて、複数の光照射方向それぞれに沿って観察対象物に照射されて前記観察対象物を経た光と参照光との干渉による干渉強度画像を撮像した撮像部から、前記複数の光照射方向それぞれの前記干渉強度画像を取得する、
請求項8記載の観察方法。 - 前記干渉強度画像取得ステップにおいて、波数空間において光照射方向を表す波数ベクトルの位置が離散的かつ周期的に分布する前記複数の光照射方向それぞれに沿って光が観察対象物に照射されたときに前記干渉強度画像を撮像した撮像部から、前記複数の光照射方向それぞれの前記干渉強度画像を取得し、
前記複素微分干渉画像生成ステップにおいて、前記複数の光照射方向それぞれの波数ベクトルの前記波数空間における位置の周期的分布に基づいて区分される前記第2面の複数の領域それぞれにおいて、前記第1面上の各位置rinについて、重み付けしたC(rout;rin)の総和を求めることで、前記複素微分干渉画像を生成する、
請求項9に記載の観察方法。 - 前記干渉強度画像取得ステップにおいて、複数の光照射方向それぞれに沿って前記観察対象物に照射されて前記観察対象物を経た光と、一定の照射方向に沿って前記観察対象物に照射されて前記観察対象物を経た光と、の干渉による干渉強度画像を取得する、
請求項8に記載の観察方法。 - 前記位相微分画像生成ステップにおいて、
撮像部に対し相対的に遠い位置については、前記第1面上の各位置rinについて、前記第2面において、重み付けしたC(rout;rin)の総和を求めることで、前記複素微分干渉画像を生成し、
撮像部に対し相対的に近い位置については、前記第2面上の各位置routについて、前記第1面において、重み付けしたC(rout;rin)の総和を求めることで、前記複素微分干渉画像を生成する、
請求項8に記載の観察方法。 - 前記位相微分画像生成ステップにおいて、撮像部の光軸に沿った各位置における位相微分画像を生成することで、3次元位相微分画像を生成する、
請求項8に記載の観察方法。 - 前記3次元位相微分画像に基づいて前記観察対象物の3次元屈折率分布画像を生成する屈折率分布画像生成ステップを更に備える、
請求項13に記載の観察方法。 - 請求項8~14の何れか1項に記載の観察方法の各ステップをコンピュータに実行させるためのプログラム。
- 請求項15に記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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