JP7551271B2

JP7551271B2 - 高液相線粘度ｅ－ガラス及びその製造方法

Info

Publication number: JP7551271B2
Application number: JP2023580923A
Authority: JP
Inventors: 李▲びょう▼; 曾召; 楊国洪; 王答成; 徐莉華
Original assignee: 彩虹顕示器件股▲ふん▼有限公司
Priority date: 2022-03-30
Filing date: 2023-03-29
Publication date: 2024-09-17
Anticipated expiration: 2043-03-29
Also published as: CN114685043A; WO2023185955A1; US20240124348A1; JP2024525053A

Description

本発明は、光電子表示の分野に属し、具体的には、高液相線粘度Ｅ－ガラス及びその製造方法に関する。

表示技術の発展に伴い、高解像度と高品質な画面が求められ、ＴＦＴのサイズや応答時間が求められるようになってきた。ＬＴＰＳ技術は、電子移動度が高く（アモルファスシリコン技術よりも１千倍高い）、ガラス基板上に駆動用ＩＣなどの電子デバイスを製造できるため、デバイスのコストの低減、後続のモジュール化工程の簡素化、良品率の向上などにより、現在主流のＴＦＴ製造技術となっている。

ＬＴＰＳプロセスでは、アモルファスシリコン層を結晶化するためのレーザーアニール技術が一般的に用いられており、６００℃以上の温度で動作するのは、最も効率的な多結晶シリコン（ｐ－Ｓｉ）処理法であり、このような方法は、非常に高い電子移動度（高速変換用）とＴＦＴの均一性に優れた多結晶Ｓｉ膜を大面積で形成することができる。この製造方法は、通常、基板を５００℃以上の温度に加熱する昇温法を用いて薄膜を順次堆積し、パターンを形成することを含む。このような高温では、ガラス基板が収縮して変形しやすく、画素の向上を妨げ、その後の熱間加工工程でのガラス基板の収縮変形を防止するためには、ガラス基板に高い歪点温度が必要となる。

一方、大型ディスプレイに対する市場の需要が高まり、ガラス製造も高世代化が進んでおり、世代から世代へとガラスの重量が増加し、ガラスを各加工点（工場や工程）に順次搬送する自動搬送装置が複雑化している。ヤング率の弾性垂れ下がり（たわみ）は、ガラス板を加工点間で搬送するボックスへのガラス板の装填、取り出し、及びセパレートする能力に悪影響を与える。

垂れ下がり量（たわみ）は、ガラス板の幾何学的形状、ガラスの密度及びヤング率の関数であり、これらは共に比弾性率として表現され得る。ガラス片の幾何学的形状は使用する具体的な技術によって決定され、ガラス製造者が制御可能な範囲を超えている。所定の密度では、ヤング率を増加させることが有利である。これは、大きなガラス板が輸送、処理、熱加工中に発現する垂れ下がり量を減少させるからである。同様に、密度の増加は、ヤング率の比例的な増加に伴うべきであり、そうでないと、垂れ下がりの増加につながることになる。これにより、ガラス板の合格率を向上させ、ガラス板の垂れ下がり量（たわみ）を低減させるために、ガラス母材のヤング率を７０Ｇｐ以上、密度を２．４５ｇ／ｃｍ^３以下に制御すべきである。

しかし、従来技術では、ガラスの歪点とヤング率を高めたが、ガラスの液相線粘度が小さく、その対応する温度と成形１００，０００ポアズに対応する温度の差が小さくなり、その結果、成形プロセスのマージンが小さくなり、ガラスが成形中に結晶化し、それによってガラス板がダウンドロー時に破裂し、生産安定性に影響するため、ガラスの液相線粘度を少なくとも２００，０００ポアズまで高める必要があり、ガラスの液相線温度から１００，０００ポアズに対応する温度を差し引いた最小値は２２℃、すなわち△Ｔ≧２２℃である。

上記の技術的課題を解決するために、本発明は、高液相線粘度Ｅ－ガラス及びその製造方法を提供する。

上記の目的を達成させるために、本発明は、以下の技術的解決手段を提供する。

高液相線粘度Ｅ－ガラスであって、使用される原材料は、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６５．５６～６８．６％、Ａｌ_２Ｏ_３：１０．５８～１４％、Ｂ_２Ｏ_３：７～１１％、ＳｒＯ：０．２７～３．２６％、ＢａＯ：７．２０～１０．１２％、ＣａＯ：０．２２～１．２２％、ＭｇＯ：０～１．０５％、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ＜１３％であり、
液相線粘度が２００，０００ポイズを上回る。

好ましくは、前記Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いた最小値が２２℃である。

好ましくは、前記Ｅ－ガラスの歪点温度Ｔｓの範囲が６７０～７３９℃である。

好ましくは、前記Ｅ－ガラスのヤング率の範囲が７０～８３ＧＰａである。

前記Ｅ－ガラスの密度の範囲が２．３８～２．４５ｇ／ｃｍ^３である。

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法であって、
原材料として、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６５．５６～６８．６％、Ａｌ_２Ｏ_３：１０．５８～１４％、Ｂ_２Ｏ_３：７～１１％、ＳｒＯ：０．２７～３．２６％、ＢａＯ：７．２０～１０．１２％、ＣａＯ：０．２２～１．２２％、ＭｇＯ：０～１．０５％をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにするステップ１であって、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ＜１３％である、ステップ１と、
ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて清澄化し、ガラスメルトを製造するステップ２と、
ダウンドロー法によって、ガラスメルトを液相線粘度＞２００，０００ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形するステップ３と、を含む。

好ましくは、前記ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いた最小値が２２℃である。

好ましくは、前記Ｅ－ガラスの歪点温度Ｔｓの範囲が６７０～７３９℃であり、前記Ｅ－ガラスのヤング率の範囲が７０～８３ＧＰａであり、Ｅ－ガラスの密度の範囲が２．３８～２．４５ｇ／ｃｍ^３である。

好ましくは、ステップ２では、清澄化における清澄化剤はＳｎＯ_２であり、原材料に占めるＳｎＯ_２の割合が０．０５％である。

従来技術と比べて、本発明は以下の有益な効果を有する。

本発明は、高液相線粘度のガラス基板を得て、安定生産の要求を満たすことができる、高液相線粘度Ｅ－ガラスの最適化組成を提供する。本発明では、ＳｉＯ_２は、主に、粘度の特性を向上させるものであり、ＳｉＯ_２の総モル％を６５．５６％～６８．６％に制御すると、このガラス基板の成形温度が過度に高くならず、オーバーフロー煉瓦寿命やガラス欠陥に悪影響を与えず、生産難度を下げ、一方、ＳｉＯ_２の総モル％は６５．５６％以上に保持され、このようにして、液相線粘度が２００，０００ポアズを上回ることを保証することができ、オーバーフローダウンドロー成形に有利で、しかも、小さな密度値が得られる。

Ａｌ_２Ｏ_３は、ガラスの熱安定性を大幅に改善することができ、ガラスの結晶化傾向を低下させることができ、また、ガラスの硬度と機械的強度を高めることができ、寸法精度の高い板ガラスの生産に適しているが、その総含有量が１４％以上の場合、ガラスの結晶化温度を上昇させ、結晶化粘度を低下させ、オーバーフローダウンドローに不利であり、熱安定性、ガラスの結晶化粘度、ガラスの機械的強度や硬度を配慮しなければならないため、Ａｌ_２Ｏ_３の含有量は１０．５８％～１４％である。

Ｂ_２Ｏ_３は、フラックスとして作用する成分で、粘度を下げてガラスの溶解を促進して、ガラスの生産プロセスの温度を下げることができるが、その含有量が高すぎると、ガラスの歪点の温度を急速に下げて、熱安定性の劣化を引き起こす。したがって、一実施形態では、Ｂ_２Ｏ_３の含有量は７％～１１％に維持される。Ｂ_２Ｏ_３の含有量が７％未満であると、フラックスとしての効果が不十分であり、単にＢ_２Ｏ_３含有量を低下させると、溶融能力の低下や気泡の増加などの問題を引き起こす。一方、Ｂ_２Ｏ_３含有量が高いと、耐酸性を低下させる傾向があり、また、ガラスの歪み点を下げて、熱安定性を低下させる。

アルカリ土類金属酸化物は、溶融ガラス全体の粘度を下げることができ、生産プロセスの温度を下げるのに有利であるが、その含有量が高すぎると、密度が増加し、歪点温度が低下し、化学的耐久性が低下し、熱膨張係数が増大するため、総量は１３％を超えてはならない。アルカリ土類金属の混合酸化物は、液相線温度を下げ、液相線の粘度を高め、オーバーフローダウンドローによる生産を容易にすることができる。

さらに、ガラスの液相線温度から１００，０００ポアズに対応する温度を差し引いた最小値を２２℃とすることにより、ガラス成形時の結晶化を回避し、結晶化後のガラスの破断を回避し、生産を確実に進める。

以下、特定実施例を参照して本発明をさらに詳細に説明するが、上記の実施例は本発明を説明するものであり、限定するものではない。

本発明の高液相線粘度Ｅ－ガラスでは、下記実施例の表に記載のデータによれば、使用される原材料は、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６５．５６～６８．６％、Ａｌ_２Ｏ_３：１０．５８～１４％、Ｂ_２Ｏ_３：７～１１％、ＳｒＯ：０．２７～３．２６％、ＢａＯ：７．２０～１０．１２％、ＣａＯ：０．２２～１．２２％、ＭｇＯ：０～１．０５％、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ＜１３％であり、このＥ－ガラスの液相線粘度が２００，０００ポイズを上回る。

本発明のＥ－ガラスの歪点温度Ｔｓの範囲が６７０～７３９℃であり、ヤング率の範囲が７０～８３ＧＰａであり、密度の範囲が２．３８～２．４５ｇ／ｃｍ^３である。

Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポアズに対応する温度を差し引いた最小値は２２℃であった。ガラスの液相線温度から１００，０００ポアズに対応する温度を差し引いた最小値を２２℃とすることにより、ガラス成形時の結晶化を回避し、結晶化後のガラスの破断を回避し、生産を確実に進める。

本発明の高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、ＳｉＯ_２：６５．５６～６８．６％、Ａｌ_２Ｏ_３：１０．５８～１４％、Ｂ_２Ｏ_３：７～１１％、ＳｒＯ：０．２７～３．２６％、ＢａＯ：７．２０～１０．１２％、ＣａＯ：０．２２～１．２２％、ＭｇＯ：０～１．０５％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを液相線粘度＞２００，０００ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例１

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６６．００％、Ａｌ_２Ｏ_３：１３．００％、Ｂ_２Ｏ_３：１０．０１％、ＳｒＯ：１．２７％、ＢａＯ：８．８６％、ＣａＯ：０．７３％、ＭｇＯ：０．０７％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が２６７７１９．７ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例１では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが７２３℃、ヤング率が８２ＧＰａ、密度が２．３９ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると２５℃になる。
実施例２

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６８．６０％、Ａｌ_２Ｏ_３：１４．００％、Ｂ_２Ｏ_３：７．３２％、ＳｒＯ：０．２７％、ＢａＯ：８．９５％、ＣａＯ：０．７４％、ＭｇＯ：０．０７％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が２１８３５１．３ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例２では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが７３９℃、ヤング率が８３ＧＰａ、密度が２．３８ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると３０℃になる。
実施例３

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６７．００％、Ａｌ_２Ｏ_３：１０．８７％、Ｂ_２Ｏ_３：９．８２％、ＳｒＯ：３．２３％、ＢａＯ：８．２４％、ＣａＯ：０．７１％、ＭｇＯ：０．０８％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が２０６３４７．１ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例３では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが６８７℃、ヤング率が７５ＧＰａ、密度が２．４２ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると２８℃になる。
実施例４

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６６．５６％、Ａｌ_２Ｏ_３：１０．８７％、Ｂ_２Ｏ_３：９．８２％、ＳｒＯ：２．２４％、ＢａＯ：９．６７％、ＣａＯ：０．７１％、ＭｇＯ：０．０７％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が３１７２８０．６ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例４では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが６８０℃、ヤング率が７６ＧＰａ、密度が２．４５ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると３８℃になる。
実施例５

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６６．２３％、Ａｌ_２Ｏ_３：１０．８２％、Ｂ_２Ｏ_３：１１．００％、ＳｒＯ：１．２２％、ＢａＯ：１０．１２％、ＣａＯ：０．４９％、ＭｇＯ：０．０７％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が２９０９９９．８ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例５では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが６７３℃、ヤング率が７０ＧＰａ、密度が２．４３ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると２６℃になる。
実施例６

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６７．９１％、Ａｌ_２Ｏ_３：１３．２０％、Ｂ_２Ｏ_３：７．００％、ＳｒＯ：２．３１％、ＢａＯ：７．８５％、ＣａＯ：０．７３％、ＭｇＯ：０．９５％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が４１２５０１．０ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例６では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが７２３℃、ヤング率が８２ＧＰａ、密度が２．４３ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると４６℃になる。
実施例７

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６８．０８％、Ａｌ_２Ｏ_３：１１．０４％、Ｂ_２Ｏ_３：９．２４％、ＳｒＯ：２．２２％、ＢａＯ：８．８３％、ＣａＯ：０．４９％、ＭｇＯ：０．０２％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が２２３９７８．５ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例７では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが７０４℃、ヤング率が８１ＧＰａ、密度が２．４４ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると３１℃になる。
実施例８

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６７．５６％、Ａｌ_２Ｏ_３：１１．０４％、Ｂ_２Ｏ_３：９．９６％、ＳｒＯ：２．２７％、ＢａＯ：８．８２％、ＣａＯ：０．２２％、ＭｇＯ：０．０７％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が２６０４８７．４ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例８では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが６９４℃、ヤング率が８１ＧＰａ、密度が２．３８ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると３６℃になる。
実施例９

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６６．８９％、Ａｌ_２Ｏ_３：１０．９３％、Ｂ_２Ｏ_３：９．８６％、ＳｒＯ：２．２５％、ＢａＯ：８．７３％、ＣａＯ：１．２２％、ＭｇＯ：０．０７％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が３９５８７６．８ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例９では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが６７９℃、ヤング率が７４ＧＰａ、密度が２．４２ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると５２℃になる。
実施例１０

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６７．２８％、Ａｌ_２Ｏ_３：１０．９９％、Ｂ_２Ｏ_３：９．９２％、ＳｒＯ：２．２１％、ＢａＯ：７．７８％、ＣａＯ：０．７２％、ＭｇＯ：１．０５％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が３６３６９７．３ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例１０では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが６８８℃、ヤング率が７６ＧＰａ、密度が２．４３ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると４２℃になる。
実施例１１

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６７．０９％、Ａｌ_２Ｏ_３：１０．９６％、Ｂ_２Ｏ_３：９．８９％、ＳｒＯ：２．２６％、ＢａＯ：８．７５％、ＣａＯ：０．７２％、ＭｇＯ：０．２７％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が３５９８０５．６ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例１１では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが６９１℃、ヤング率が７５ＧＰａ、密度が２．４ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると４４℃になる。
実施例１２

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６７．２３％、Ａｌ_２Ｏ_３：１２．９８％、Ｂ_２Ｏ_３：８．４２％、ＳｒＯ：２．２６％、ＢａＯ：８．２７％、ＣａＯ：０．７２％、ＭｇＯ：０．０７％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が２５８４４２．４ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例１２では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが７１５℃、ヤング率が７５ＧＰａ、密度が２．４１ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると３４℃になる。
実施例１３

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６７．２３％、Ａｌ_２Ｏ_３：１１．９８％、Ｂ_２Ｏ_３：８．４１％、ＳｒＯ：２．２６％、ＢａＯ：９．２７％、ＣａＯ：０．７２％、ＭｇＯ：０．０７％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が２７６７２８．３ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例１３では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが７１５℃、ヤング率が７９ＧＰａ、密度が２．４ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると３７℃になる。
実施例１４

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６７．０８％、Ａｌ_２Ｏ_３：１０．９９％、Ｂ_２Ｏ_３：１０．１２％、ＳｒＯ：２．２６％、ＢａＯ：８．７８％、ＣａＯ：０．７２％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が２２９８９２．２ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例１４では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが６９０℃、ヤング率が７２ＧＰａ、密度が２．３９ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると３１℃になる。
実施例１５

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６６．８９％、Ａｌ_２Ｏ_３：１０．９３％、Ｂ_２Ｏ_３：９．８６％、ＳｒＯ：２．２５％、ＢａＯ：８．７３％、ＣａＯ：０．７２％、ＭｇＯ：０．５７％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が２００５５０．０ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例１５では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが６８６℃、ヤング率が７６ＧＰａ、密度が２．４ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると２３℃になる。
実施例１６

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６５．５６％、Ａｌ_２Ｏ_３：１３．８７％、Ｂ_２Ｏ_３：７．８２％、ＳｒＯ：２．２４％、ＢａＯ：８．６８％、ＣａＯ：１．７０％、ＭｇＯ：０．０７％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が２２９３４２．６ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例１６では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが７２２℃、ヤング率が８３ＧＰａ、密度が２．４２ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると２８℃になる。
実施例１７

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６６．５５％、Ａｌ_２Ｏ_３：１１．８７％、Ｂ_２Ｏ_３：９．８２％、ＳｒＯ：２．２４％、ＢａＯ：８．６８％、ＣａＯ：０．７１％、ＭｇＯ：０．０７％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が２２９３４２．６ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例１７では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが６９６℃、ヤング率が７８ＧＰａ、密度が２．４１ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると３７℃になる。
実施例１８

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６７．７３％、Ａｌ_２Ｏ_３：１０．９８％、Ｂ_２Ｏ_３：９．４１％、ＳｒＯ：２．２６％、ＢａＯ：８．７７％、ＣａＯ：０．７２％、ＭｇＯ：０．０７％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が２６９９２５．４ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例１８では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが６９５℃、ヤング率が７４ＧＰａ、密度が２．４１ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると３９℃になる。
実施例１９

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６８．３０％、Ａｌ_２Ｏ_３：１０．８８％、Ｂ_２Ｏ_３：１０．５０％、ＳｒＯ：２．２０％、ＢａＯ：７．２０％、ＣａＯ：０．８０％、ＭｇＯ：０．０７％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が３４８０８１．８ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例１９では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが６８３℃、ヤング率が７２ＧＰａ、密度が２．４ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると４９℃になる。
実施例２０

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６７．５３％、Ａｌ_２Ｏ_３：１１．６８％、Ｂ_２Ｏ_３：８．９８％、ＳｒＯ：２．７６％、ＢａＯ：８．２８％、ＣａＯ：０．７２％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が２１００８１．０ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例２０では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが６８９℃、ヤング率が７４ＧＰａ、密度が２．４ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると２２℃になる。
実施例２１

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６７．６４％、Ａｌ_２Ｏ_３：１０．５８％、Ｂ_２Ｏ_３：９．９８％、ＳｒＯ：３．２６％、ＢａＯ：７．７７％、ＣａＯ：０．７２％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が４１５８１８．６ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例２１では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが６８６℃、ヤング率が７１ＧＰａ、密度が２．３９ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると４６℃になる。
実施例２２

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６７．９３％、Ａｌ_２Ｏ_３：１２．７８％、Ｂ_２Ｏ_３：７．４２％、ＳｒＯ：２．２６％、ＢａＯ：８．７７％、ＣａＯ：０．７２％、ＭｇＯ：０．０７％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が２７３２５５．６ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例２２では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが７２９℃、ヤング率が８１ＧＰａ、密度が２．３９ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると３６℃になる。
実施例２３

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６６．７３％、Ａｌ_２Ｏ_３：１１．００％、Ｂ_２Ｏ_３：１０．４０％、ＳｒＯ：２．２６％、ＢａＯ：８．７７％、ＣａＯ：０．７２％、ＭｇＯ：０．０７％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が４０８８１９．２ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例２３では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが６８７℃、ヤング率が７２ＧＰａ、密度が２．４ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると５５℃になる。
実施例２４

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６７．２３％、Ａｌ_２Ｏ_３：１０．９８％、Ｂ_２Ｏ_３：１０．４２％、ＳｒＯ：２．１６％、ＢａＯ：８．４０％、ＣａＯ：０．６９％、ＭｇＯ：０．０７％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が３３８６６０．９ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例２４では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが６７０℃、ヤング率が７０ＧＰａ、密度が２．３９ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると４０℃になる。
実施例２５

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６７．５７％、Ａｌ_２Ｏ_３：１１．０４％、Ｂ_２Ｏ_３：９．９６％、ＳｒＯ：２．１７％、ＢａＯ：８．４４％、ＣａＯ：０．６９％、ＭｇＯ：０．０７％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が４９１４９０．０ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例２５では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが６９３℃、ヤング率が７６ＧＰａ、密度が２．４ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると４９℃になる。
実施例２６

高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法は、以下のステップを含む。
ステップ１、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６６．７３％、Ａｌ_２Ｏ_３：１２．５６％、Ｂ_２Ｏ_３：７．９１％、ＳｒＯ：２．５９％、ＢａＯ：８．４０％、ＣａＯ：０．６９％、ＭｇＯ：０．０７％の原材料をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにし、ＭｇＯ+ＣａＯ+ＳｒＯ+ＢａＯ＜１３％である。
ステップ２、ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて、ＳｎＯ_２０．０５％を加えて清澄化し、ガラスメルトを製造する。
ステップ３、ダウンドロー法を用いて、ガラスメルトを、液相線粘度が２６３６８９．７ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形する。
実施例２６では、Ｅ－ガラスは、歪点温度Ｔｓが７１７℃、ヤング率が８２ＧＰａ、密度が２．４２ｇ／ｃｍ^３であり、Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いると２４℃になる。

上記の実施例における成分の配合比のデータを示す表

Claims

高液相線粘度Ｅ－ガラスであって、
使用される原材料は、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６５．５６～６８．６％、Ａｌ_２Ｏ_３：１０．５８～１４％、Ｂ_２Ｏ_３：７～１１％、ＳｒＯ：０．２７～３．２６％、ＢａＯ：７．２０～１０．１２％、ＣａＯ：０．２２～１．２２％、ＭｇＯ：０～１．０５％、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ＜１３％であり、
液相線粘度が２００，０００ポイズを上回る、ことを特徴とする高液相線粘度Ｅ－ガラス。
前記Ｅ－ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いた最小値が２２℃である、ことを特徴とする請求項１に記載の高液相線粘度Ｅ－ガラス。
前記Ｅ－ガラスの歪点温度Ｔｓの範囲が６７０～７３９℃である、ことを特徴とする請求項１に記載の高液相線粘度Ｅ－ガラス。
前記Ｅ－ガラスのヤング率の範囲が７０～８３ＧＰａである、ことを特徴とする請求項１に記載の高液相線粘度Ｅ－ガラス。
前記Ｅ－ガラスの密度の範囲が２．３８～２．４５ｇ／ｃｍ^３である、ことを特徴とする請求項１に記載の高液相線粘度Ｅ－ガラス。
高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法であって、
原材料として、モル百分率で、ＳｉＯ_２：６５．５６～６８．６％、Ａｌ_２Ｏ_３：１０．５８～１４％、Ｂ_２Ｏ_３：７～１１％、ＳｒＯ：０．２７～３．２６％、ＢａＯ：７．２０～１０．１２％、ＣａＯ：０．２２～１．２２％、ＭｇＯ：０～１．０５％をミキサーに投入し、均一に混合してミックスにするステップ１であって、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ＜１３％である、ステップ１と、
ステップ１のミックスをガラス窯に加え、加熱してガラスを溶解し、溶融ガラスをプラチナ供給チャネルに入れて清澄化し、ガラスメルトを製造するステップ２と、
ダウンドロー法によって、ガラスメルトを液相線粘度＞２００，０００ポイズの高液相線粘度Ｅ－ガラスに成形するステップ３と、を含む、ことを特徴とする製造方法。
前記ガラスの液相線温度から１００，０００ポイズに対応する温度を差し引いた最小値が２２℃である、ことを特徴とする請求項６に記載の高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法。
前記Ｅ－ガラスの歪点温度Ｔｓの範囲が６７０～７３９℃であり、前記Ｅ－ガラスのヤング率の範囲が７０～８３ＧＰａであり、Ｅ－ガラスの密度の範囲が２．３８～２．４５ｇ／ｃｍ^３である、ことを特徴とする請求項６に記載の高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法。
ステップ２では、清澄化における清澄化剤はＳｎＯ_２であり、原材料に占めるＳｎＯ_２の割合が０．０５％である、ことを特徴とする請求項６に記載の高液相線粘度Ｅ－ガラスの製造方法。