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JP7543345B2 - Surface inspection device and detection processing method using the same - Google Patents

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JP7543345B2
JP7543345B2 JP2022111543A JP2022111543A JP7543345B2 JP 7543345 B2 JP7543345 B2 JP 7543345B2 JP 2022111543 A JP2022111543 A JP 2022111543A JP 2022111543 A JP2022111543 A JP 2022111543A JP 7543345 B2 JP7543345 B2 JP 7543345B2
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inspection
metal workpiece
camera
inspection unit
unit group
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拓巳 細川
潮 張
克哉 堀田
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University of Fukui NUC
Hitachi Zosen Fukui Corp
Original Assignee
University of Fukui NUC
Hitachi Zosen Fukui Corp
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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Description

本発明は、金属ワークの表面検査装置及びそれを用いた検出処理方法に関し、更に詳しくは、金属ワークをコンベアで搬送しながら、該金属ワークの欠点を検知するための表面検査装置及びそれを用いた検出処理方法に関する。 The present invention relates to a surface inspection device for metal workpieces and a detection processing method using the same, and more specifically, to a surface inspection device for detecting defects in a metal workpiece while the metal workpiece is being transported on a conveyor, and a detection processing method using the same.

金属加工の分野においては、製造過程における工業製品の欠点を、光学的手段を用いて検知するため検査装置が広く用いられている。 In the field of metal processing, inspection equipment is widely used to detect defects in industrial products during the manufacturing process using optical means.

例えば、被検査鋼板表面に投光し、反射光を集光して光電変換および二次元フーリエ変換を行い、その周波数空間でのパワースペクトル分布を考慮して欠陥の特徴を表面疵種類識別用パラメータとして抽出してこれに基づいて欠陥の種類を識別し、識別された欠陥種類に従って欠陥信号に対するスレシュホンドレベルを定めて欠陥有害度の判定を行う鋼板の表面欠陥検査方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。
また、直線状の光を放出する投光手段と、直線状の光を反射し、金属材料の表面に照射する反射手段と、金属材料表面の直線状の光が照射された部分を撮影する撮影手段と、を備える金属表面欠点検査装置が知られている(例えば、特許文献2参照)。
また、被検査物に対して第1の光を照射角度θで照射する第1の照明と、第1の光が照射された位置に対して第2の光を照射角度θとは異なる照射角度αで照射する第2の照明と、第1の光の反射光及び第2の光の反射光を受光するライン型カラーセンサと、第1の証明または第2の証明の調光を行う欠点検出部と、を有する欠点検査装置が知られている(例えば、特許文献3参照)。
For example, a surface defect inspection method for steel plate is known in which light is projected onto the surface of a steel plate to be inspected, the reflected light is collected, photoelectric conversion and two-dimensional Fourier transformation are performed, and the characteristics of the defect are extracted as parameters for identifying the type of surface defect based on the power spectrum distribution in frequency space, the type of defect is identified based on this, and a threshold level for the defect signal is set in accordance with the identified type of defect to determine the harmfulness of the defect (see, for example, Patent Document 1).
In addition, a metal surface defect inspection device is known that includes a light-projecting means that emits linear light, a reflecting means that reflects the linear light and irradiates it onto the surface of a metal material, and an imaging means that images the portion of the metal material surface that is irradiated with the linear light (see, for example, Patent Document 2).
Also known is a defect inspection device that has a first illumination that irradiates an object to be inspected with a first light at an illumination angle θ, a second illumination that irradiates a position irradiated with the first light at an illumination angle α different from the illumination angle θ, a line-type color sensor that receives reflected light of the first light and reflected light of the second light, and a defect detection unit that adjusts the brightness of the first light or the second light (see, for example, Patent Document 3).

特公昭61-42221号公報Special Publication No. 61-42221 特開2018-17629公報JP 2018-17629 A 特許第6901806号公報Patent No. 6901806

しかしながら、特許文献1記載の金属表面欠点検査装置、特許文献2記載の金属表面欠点検査装置、及び、特許文献3記載の欠点検査装置は、何れも、一定方向からの反射光を利用するため、例えば、欠点が線状の疵(以下「線疵」という。)である場合は、線疵の向きによって、検知し難くなるという問題がある。 However, the metal surface defect inspection device described in Patent Document 1, the metal surface defect inspection device described in Patent Document 2, and the defect inspection device described in Patent Document 3 all use reflected light from a certain direction, so there is a problem that, for example, if the defect is a linear flaw (hereinafter referred to as a "linear flaw"), it can be difficult to detect depending on the direction of the linear flaw.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、線疵の欠点であっても、その向きに関わらず、検知することが可能な表面検査装置及びそれを用いた検出処理方法を提供することを目的とする。 The present invention was made in consideration of the above circumstances, and aims to provide a surface inspection device and a detection processing method using the same that can detect even linear flaws, regardless of their orientation.

本発明者等は、上記課題を解決するため鋭意検討したところ、検査ユニットにおいて、筐体部を透過させた上面視で、カメラを中心に配置し、該カメラを囲繞するように光源部を配置することにより、上記課題を解決し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。 The inventors conducted extensive research to find a solution to the above-mentioned problems, and discovered that the above-mentioned problems could be solved by placing the camera at the center of the inspection unit when viewed from above through the housing, and arranging the light source unit so as to surround the camera, which led to the completion of the present invention.

本発明は、金属ワークをコンベアで搬送しながら、該金属ワークの欠点を検知するための表面検査装置であって、コンベアの上方に設けられた支持フレームと、該支持フレームに取り付けられた検査ユニットと、該検査ユニットに接続された制御部と、を備え、検査ユニットが、下壁部を有しない筐体部、該筐体部の上壁部に取り付けられたカメラ、及び、該筐体部の側壁部の内面側に取り付けられた光源部、を有し、筐体部を透過させた上面視で、カメラが中心に配置され、且つ、該カメラを囲繞するように光源部が配置されており、制御部が、カメラで撮影された金属ワークの画像データを受信し、該画像データに基づいて、金属ワークの欠点を検知するものである表面検査装置である。 The present invention is a surface inspection device for detecting defects in metal workpieces while the workpieces are being transported on a conveyor, the surface inspection device comprising a support frame provided above the conveyor, an inspection unit attached to the support frame, and a control unit connected to the inspection unit, the inspection unit having a housing portion having no bottom wall portion, a camera attached to the top wall portion of the housing portion, and a light source portion attached to the inner surface side of the side wall portion of the housing portion, the camera being disposed at the center when viewed from above through the housing portion, and the light source portion being disposed so as to surround the camera, the control unit receiving image data of the metal workpiece photographed by the camera, and detecting defects in the metal workpiece based on the image data.

本発明においては、少なくとも、金属ワークの幅方向に複数の検査ユニットが直線状に配置された第1検査ユニット群及び第2検査ユニット群が形成されていることが好ましい。
このとき、本発明においては、第1検査ユニット群及び第2検査ユニット群の検査ユニットが、上面視で千鳥状となるように配置されており、金属ワークの幅方向における特定の部位が、第1検査ユニット群の検査ユニット、及び、第2検査ユニット群の検査ユニット、の少なくとも何れか一方の撮影可能範囲を通過するものであることが好ましい。
In the present invention, it is preferable that at least a first inspection unit group and a second inspection unit group are formed in which a plurality of inspection units are linearly arranged in the width direction of the metal workpiece.
In this case, in the present invention, it is preferable that the inspection units of the first inspection unit group and the second inspection unit group are arranged in a staggered pattern when viewed from above, and that a specific portion of the metal workpiece in the width direction passes through the photographable range of at least one of the inspection units of the first inspection unit group and the inspection unit of the second inspection unit group.

本発明においては、カメラの金属ワークの搬送方向における画角が28~53度であり、金属ワークの幅方向における画角が45~61度であり、光源部とカメラとの鉛直方向における最短距離が300mm以下であり、金属ワークとカメラとの鉛直方向における最短距離が350mm以下であることが好ましい。 In the present invention, it is preferable that the angle of view of the camera in the conveying direction of the metal workpiece is 28 to 53 degrees, the angle of view in the width direction of the metal workpiece is 45 to 61 degrees, the shortest vertical distance between the light source unit and the camera is 300 mm or less, and the shortest vertical distance between the metal workpiece and the camera is 350 mm or less.

また、本発明は、表面検査装置を用いた検出処理方法であって、制御部が、それぞれのカメラで撮影された静止画の画像データを受信する受信ステップと、複数の画像データを組み合わせて統合データとする統合ステップと、該統合データに対して画像処理を施す処理ステップと、該画像処理を施した統合データを、金属ワークに欠点がない場合の画像処理を施した統合データと比較して、値に差異がある部位を欠点として検出する検出ステップと、を遂行する検出処理方法である。
このとき、画像処理が、二値化処理であることが好ましい。
The present invention also relates to a detection processing method using a surface inspection device, in which a control unit carries out a receiving step of receiving image data of still images taken by each camera, an integration step of combining the multiple image data into integrated data, a processing step of applying image processing to the integrated data, and a detection step of comparing the integrated data after image processing with integrated data after image processing in a case in which there is no defect in the metal workpiece, and detecting areas where there are differences in values as defects.
In this case, the image processing is preferably a binarization process.

本発明の表面検査装置においては、搬送される金属ワークをカメラで撮影し、その画像データに基づいて、制御部が分析することにより、金属ワークの欠点を検知することができる。
このとき、検査ユニットにおいては、筐体部を透過させた上面視で、カメラが中心に配置され、且つ、該カメラを囲繞するように光源部が配置されているので、金属ワークに照射される光には方向性がない。
これにより、線疵等の欠点であっても、その向きに関わらず、検知することが可能となる。
In the surface inspection device of the present invention, the transported metal workpiece is photographed by a camera, and the control unit analyzes the image data, thereby making it possible to detect defects in the metal workpiece.
In this case, in the inspection unit, when viewed from above through the housing part, the camera is positioned at the center and the light source part is positioned to surround the camera, so that the light irradiated to the metal workpiece has no directionality.
This makes it possible to detect defects such as line scratches, regardless of their orientation.

本発明の表面検査装置においては、検査ユニットが支持フレームに取り付けられているので、既存のコンベア等に後付けで設置することができる。
また、検査ユニットの位置調整等も容易に行うことができる。
In the surface inspection device of the present invention, since the inspection unit is attached to the support frame, it can be installed later on an existing conveyor or the like.
Furthermore, the position of the inspection unit can be easily adjusted.

本発明の表面検査装置においては、第1検査ユニット群及び第2検査ユニット群が形成されているので、欠点を検知する精度をより向上させることができる。
このとき、第1検査ユニット群及び第2検査ユニット群の検査ユニットを、上面視で千鳥状となるように配置し、金属ワークの幅方向における特定の部位が、第1検査ユニット群の検査ユニット、及び、第2検査ユニット群の検査ユニット、の少なくとも何れか一方の撮影可能範囲を通過するものとすることにより、検知漏れが生じることを防止することができる。
また、場合によっては、一方の検査ユニット群の検査ユニット同士の間における金属ワークの欠点の検知を、他方の検査ユニット群の検査ユニットでも行うことが可能となる。
すなわち、金属ワーク全体を部分ごとに各カメラの撮影可能範囲の中央付近で撮影することが可能となるので、撮影可能範囲の端部付近における歪みを捨象することができる。その結果、欠点を検知する精度をより向上させることができる。
In the surface inspection apparatus of the present invention, since the first inspection unit group and the second inspection unit group are formed, the accuracy of defect detection can be further improved.
In this case, the inspection units of the first inspection unit group and the second inspection unit group are arranged in a staggered pattern when viewed from above, and a specific portion of the metal workpiece in the width direction passes through the photographable range of at least one of the inspection units of the first inspection unit group and the inspection unit of the second inspection unit group, thereby preventing missed detections.
In some cases, it may be possible to detect defects in metal workpieces between the inspection units of one inspection unit group using the inspection units of the other inspection unit group.
In other words, since it is possible to capture images of the entire metal workpiece in parts near the center of the imageable range of each camera, distortion near the edges of the imageable range can be ignored, resulting in improved accuracy in detecting defects.

本発明の表面検査装置においては、金属ワークの搬送方向における画角が上記範囲内であるカメラを採用することにより、欠点を検知する精度を低下させることなく、金属ワークの搬送速度を一定の速度とすることが可能となる。
また、これに加え、光源部とカメラとの鉛直方向における最短距離を上記範囲内とし、金属ワークとカメラとの鉛直方向における最短距離を上記範囲内とすることにより、カメラの撮影可能範囲に十分な照度を維持し、欠点を検知する精度をより向上させることができる。
In the surface inspection device of the present invention, by adopting a camera whose angle of view in the transport direction of the metal workpiece is within the above-mentioned range, it is possible to maintain a constant transport speed for the metal workpiece without reducing the accuracy of defect detection.
In addition, by setting the shortest vertical distance between the light source unit and the camera within the above range, and setting the shortest vertical distance between the metal workpiece and the camera within the above range, sufficient illuminance can be maintained within the camera's shooting range, and the accuracy of defect detection can be further improved.

本発明の検出処理方法は、上述した表面検査装置を用い、制御部が、受信ステップと、統合ステップと、処理ステップと、検出ステップと、を遂行することにより、線疵の欠点であっても、その向きに関わらず、検知することが可能となる。
このとき、画像処理が、二値化処理である場合、欠点を検知する精度をより向上させることができ、且つ、欠点の検知速度も向上させることができる。
The detection processing method of the present invention uses the above-mentioned surface inspection device, and the control unit carries out a receiving step, an integration step, a processing step, and a detection step, making it possible to detect even linear flaws regardless of their orientation.
At this time, if the image processing is a binarization process, the accuracy of defect detection can be further improved, and the defect detection speed can also be improved.

図1は、本実施形態に係る表面検査装置を模式的に示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view that shows a schematic diagram of a surface inspection apparatus according to the present embodiment. 図2は、本実施形態に係る表面検査装置の検査ユニットを模式的に示す透過斜視図である。FIG. 2 is a perspective view that shows a schematic diagram of an inspection unit of the surface inspection apparatus according to the present embodiment. 図3の(a)及び(b)は、本実施形態に係る表面検査装置においてカメラ及び光源部と金属ワークとの位置関係を説明するための説明図である。3A and 3B are explanatory diagrams for explaining the positional relationship between the camera and light source unit and the metal workpiece in the surface inspection device according to this embodiment. 図4は、本実施形態に係る検出処理方法のフローチャートである。FIG. 4 is a flowchart of the detection processing method according to this embodiment. 図5は、他の実施形態に係る表面検査装置を模式的に示す上面図である。FIG. 5 is a top view that shows a schematic diagram of a surface inspection apparatus according to another embodiment.

以下、必要に応じて図面を参照しつつ、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
なお、図面中、同一要素には同一符号を付すこととし、重複する説明は省略する。
また、上下左右等の位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。更に、図面の寸法比率は図示の比率に限られるものではない。
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as necessary.
In the drawings, the same elements are given the same reference numerals and duplicated explanations are omitted.
In addition, unless otherwise specified, the positional relationships such as up, down, left, right, etc. are based on the positional relationships shown in the drawings. Furthermore, the dimensional ratios of the drawings are not limited to the ratios shown in the drawings.

図1は、本実施形態に係る表面検査装置を模式的に示す斜視図である。
図1に示すように、本実施形態に係る表面検査装置100は、金属ワークWをコンベアCで搬送しながら、当該金属ワークWの欠点を検知するための装置である。
ここで、金属ワークは、平板状の金属製のワークであり、磁性の有無は問わない。
具体例としては、鉄、銅、アルミニウム、チタン、鋼(ハイテン材、超ハイテン材を含む)等を採用することができる。
また、表面検査装置100が検知する金属ワークWの「欠点」としては、線疵、圧痕、汚染物の付着、擦傷等が挙げられる。
FIG. 1 is a perspective view that shows a schematic diagram of a surface inspection apparatus according to the present embodiment.
As shown in FIG. 1, a surface inspection device 100 according to this embodiment is a device for detecting defects in a metal workpiece W while the metal workpiece W is being transported by a conveyor C.
Here, the metal workpiece is a flat metal workpiece, and it does not matter whether it is magnetic or not.
Specific examples of materials that can be used include iron, copper, aluminum, titanium, and steel (including high tensile materials and ultra-high tensile materials).
Furthermore, the "defects" of the metal workpiece W that can be detected by the surface inspection device 100 include linear defects, indentations, adhesion of contaminants, scratches, and the like.

表面検査装置100において、コンベアCは、ベルトC1と、該ベルトC1が架設されたロールC2とを有する一般的なものを採用することができる。
また、ロールC2には、金属ワークWの搬送距離を算出するためのエンコーダC3が取り付けられる。
また、コンベアCによる金属ワークWの搬送速度は、表面検査装置100が欠点を樹分に検知することが可能であり、且つ、生産性を損なわない観点から、60~90m/minであることが好ましい。
In the surface inspection apparatus 100, the conveyor C may be a general one having a belt C1 and a roll C2 on which the belt C1 is stretched.
In addition, an encoder C3 for calculating the transport distance of the metal workpiece W is attached to the roll C2.
In addition, the transport speed of the metal workpiece W by the conveyor C is preferably 60 to 90 m/min, from the viewpoint of enabling the surface inspection device 100 to accurately detect defects and not impairing productivity.

表面検査装置100は、コンベアCの上方に設けられた支持フレームFと、該支持フレームFに取り付けられた複数の検査ユニット10と、該検査ユニット10に接続された制御部20と、を備える。
表面検査装置100においては、コンベアCにより搬送される金属ワークWが、検査ユニット10の直下を通過する際に、当該検査ユニット10のカメラ2により撮影される。そして、後述するように、制御部20が、その撮影された画像データに基づいて分析することにより、金属ワークWの欠点を検知するようになっている。
The surface inspection device 100 includes a support frame F provided above a conveyor C, a plurality of inspection units 10 attached to the support frame F, and a control unit 20 connected to the inspection units 10 .
In the surface inspection device 100, when a metal workpiece W transported by a conveyor C passes directly below the inspection unit 10, it is photographed by the camera 2 of the inspection unit 10. Then, as described below, the control unit 20 detects defects in the metal workpiece W by analyzing the photographed image data.

支持フレームFは、コンベアCの上方に設けられており、その両側が支持台FDにより支持されている。
したがって、支持フレームF及び支持台FDは、正面視逆U字状となっており、コンベアCを跨ぐように配置される。このため、表面検査装置100は、既存のコンベア等に後付けで設置することが可能となっている。
また、支持フレームFには、複数の検査ユニット10が直接取り付けられている。
すなわち、複数の検査ユニット10は、支持フレームに垂設されている。
また、かかる検査ユニット10は、上下左右に位置調整をすることが可能となっている。
The support frame F is provided above the conveyor C and is supported on both sides by support tables FD.
Therefore, the support frame F and the support table FD have an inverted U-shape when viewed from the front, and are disposed so as to straddle the conveyor C. This makes it possible to install the surface inspection device 100 on an existing conveyor or the like as a retrofit.
In addition, a plurality of inspection units 10 are directly attached to the support frame F.
That is, a plurality of inspection units 10 are suspended from a support frame.
Moreover, the position of the inspection unit 10 can be adjusted vertically and horizontally.

図2は、本実施形態に係る表面検査装置の検査ユニットを模式的に示す透過斜視図である。
なお、図2においては、検査ユニットの筐体部を透過させて示している。
図2に示すように、検査ユニット10は、筐体部1と、当該筐体部1に取り付けられたカメラ2及び光源部3とを有する。
FIG. 2 is a perspective view that shows a schematic diagram of an inspection unit of the surface inspection apparatus according to the present embodiment.
In FIG. 2, the housing of the inspection unit is shown in a see-through manner.
As shown in FIG. 2, the inspection unit 10 has a housing part 1 , and a camera 2 and a light source part 3 attached to the housing part 1 .

筺体部1は、板状の上壁部1aと、当該上壁部1aの四辺から垂下するように設けられた側壁部1bとからなる。
すなわち、筐体部1は、下面が開口し(下壁部を有しない)、四方が側壁部1bに囲まれた四角柱状であり、内部が中空となっている。
The housing 1 is made up of a plate-like upper wall 1a and side walls 1b extending downward from the four sides of the upper wall 1a.
That is, the housing 1 is in the shape of a rectangular prism having an open bottom (having no bottom wall) and surrounded on all four sides by side walls 1b, and is hollow inside.

筺体部1においては、上壁部1aの略中央に、撮影方向が鉛直下向きとなるようにカメラ2が取り付けられている。
かかるカメラ2としては、特に限定されないが、いわゆる、ラインセンサカメラ、USBカメラ、WEBカメラ、CMOSカメラ等を採用することができる。
また、カメラ2は、動画を撮影するものであっても、静止画を撮影するものであってもよいが、連続的な静止画の画像データを保存する機能を有するものであることが好ましい。
このとき、カメラ2が撮影する静止画の画像データの解像度は、640×480ピクセル以上であることが好ましい。
なお、カメラ2が撮影した静止画の画像データは、後述する制御部20に送信される。
In the housing 1, a camera 2 is attached substantially at the center of the upper wall 1a so that the shooting direction faces vertically downward.
The camera 2 is not particularly limited, but may be a so-called line sensor camera, a USB camera, a WEB camera, a CMOS camera, or the like.
Furthermore, the camera 2 may be one that shoots moving images or one that shoots still images, but it is preferable that the camera 2 has a function of saving image data of continuous still images.
In this case, it is preferable that the resolution of the image data of the still image captured by the camera 2 is 640×480 pixels or more.
The image data of the still image captured by the camera 2 is transmitted to a control unit 20, which will be described later.

筐体部1において、四方の側壁部1bの内面側の下端には、それぞれ、水平方向に延びる帯状の光源部3が取り付けられている。
すなわち、光源部3は、四方の側壁部1bにそれぞれ取り付けられている。
かかる光源部3としては、特に限定されないが、白熱電灯、蛍光灯、放電灯、LED等を採用することができる。
In the housing 1, a strip-shaped light source unit 3 extending horizontally is attached to the lower end of each of the inner faces of the four side walls 1b.
That is, the light source unit 3 is attached to each of the four side wall portions 1b.
The light source unit 3 is not particularly limited, but may be an incandescent lamp, a fluorescent lamp, a discharge lamp, an LED, or the like.

これらのことから、検査ユニット10においては、筐体部1を透過させた上面視で、カメラ2が中心に配置され、且つ、該カメラ2を囲繞するように光源部3が配置されている。
これにより、カメラ2の直下において、金属ワークWに照射される光は方向性を示さないことになる。
その結果、線疵等の欠点であっても、その向きに関わらず、容易に検知することが可能となる。
For these reasons, in the inspection unit 10 , when viewed from above through the housing part 1 , the camera 2 is disposed at the center, and the light source part 3 is disposed so as to surround the camera 2 .
As a result, the light irradiated onto the metal workpiece W directly below the camera 2 does not exhibit directionality.
As a result, defects such as line scratches can be easily detected regardless of their orientation.

図3の(a)及び(b)は、本実施形態に係る表面検査装置においてカメラ及び光源部と金属ワークとの位置関係を説明するための説明図である。
図3に示すように、カメラ2は、金属ワークWの搬送方向Xにおける画角θ1が28~53度であることが好ましい。
金属ワークWの搬送方向Xにおけるカメラ2の画角θ1が28度未満であると、画角θ1が上記範囲内にある場合と比較して、金属ワークWの搬送速度を遅くする必要があるため、生産性が低下するという欠点がある。
一方、金属ワークWの搬送方向Xにおけるカメラ2の画角θ1が53度を超えると、画角θ1が上記範囲内にある場合と比較して、欠点の位置によっては検知の精度が不十分となる恐れがある。
3A and 3B are explanatory diagrams for explaining the positional relationship between the camera and light source unit and the metal workpiece in the surface inspection device according to this embodiment.
As shown in FIG. 3, it is preferable that the camera 2 has a viewing angle θ1 in the conveying direction X of the metal workpiece W of 28 to 53 degrees.
If the angle of view θ1 of the camera 2 in the conveying direction X of the metal workpiece W is less than 28 degrees, the conveying speed of the metal workpiece W needs to be slower than when the angle of view θ1 is within the above range, which has the disadvantage of reducing productivity.
On the other hand, if the angle of view θ1 of the camera 2 in the transport direction X of the metal workpiece W exceeds 53 degrees, the detection accuracy may be insufficient depending on the location of the defect, compared to when the angle of view θ1 is within the above range.

同様に、カメラ2は、金属ワークWの幅方向Yにおける画角θ2が45~61度であることが好ましい。
金属ワークWの幅方向Yにおけるカメラ2の画角θ2が45度未満であると、画角θ2が上記範囲内にある場合と比較して、カメラを多数設置する必要が生じ、コスト高となる欠点がある。
一方、金属ワークWの幅方向Yにおけるカメラ2の画角θ2が61度を超えると、画角θ2が上記範囲内にある場合と比較して、欠点の位置によっては検知の精度が不十分となる恐れがある。
Similarly, it is preferable that the angle of view θ2 of the camera 2 in the width direction Y of the metal workpiece W is 45 to 61 degrees.
If the angle of view θ2 of the camera 2 in the width direction Y of the metal workpiece W is less than 45 degrees, it will be necessary to install a large number of cameras, which will result in higher costs compared to when the angle of view θ2 is within the above range.
On the other hand, if the angle of view θ2 of the camera 2 in the width direction Y of the metal workpiece W exceeds 61 degrees, the detection accuracy may be insufficient depending on the location of the defect, compared to when the angle of view θ2 is within the above range.

光源部3とカメラ2との鉛直方向における最短距離D1は300mm以下であり、金属ワークWとカメラ2との鉛直方向における最短距離D2が350mm以下であることが好ましい。
この場合、カメラ2を極力金属ワークWに近付けた状態で十分な照度を維持することができるため、欠点を検知する精度をより向上させることができる。
It is preferable that the shortest distance D1 in the vertical direction between the light source unit 3 and the camera 2 is 300 mm or less, and the shortest distance D2 in the vertical direction between the metal workpiece W and the camera 2 is 350 mm or less.
In this case, sufficient illuminance can be maintained while the camera 2 is positioned as close as possible to the metal workpiece W, thereby further improving the accuracy of defect detection.

図1に戻り、表面検査装置100においては、金属ワークWの幅方向Yに複数の検査ユニット10が直線状に配置された検査ユニット群10aを形成している。
また、これに加え、金属ワークWの搬送方向Xに検査ユニット群10aが複数配置されている。
具体的には、金属ワークWの幅方向Yに沿って7個の検査ユニット10が直線状に配置された下流側の検査ユニット群(以下「第1検査ユニット群」という。)10a1と、金属ワークWの幅方向Yに沿って6個の検査ユニット10が直線状に配置された上流側の検査ユニット群(以下「第2検査ユニット群」という。)10a2とを有しており、第1検査ユニット群10a1と、第2検査ユニット群10a2とが、金属ワークWの搬送方向Xに沿って並んで配置されている。
このとき、第1検査ユニット群10a1の検査ユニット10の列と、第2検査ユニット群10a2の検査ユニット10の列とは、互いに平行となっている。
これにより、金属ワークWの特定の部位においては、繰り返し検査することが可能となるので、欠点を検知する精度をより向上させることができる。
Returning to FIG. 1, in the surface inspection device 100, a plurality of inspection units 10 are linearly arranged in the width direction Y of the metal workpiece W to form an inspection unit group 10a.
In addition, a plurality of inspection unit groups 10a are arranged in the transport direction X of the metal workpiece W.
Specifically, it has a downstream inspection unit group (hereinafter referred to as the "first inspection unit group") 10a1 in which seven inspection units 10 are arranged in a line along the width direction Y of the metal workpiece W, and an upstream inspection unit group (hereinafter referred to as the "second inspection unit group") 10a2 in which six inspection units 10 are arranged in a line along the width direction Y of the metal workpiece W, and the first inspection unit group 10a1 and the second inspection unit group 10a2 are arranged side by side along the transport direction X of the metal workpiece W.
At this time, the row of the inspection units 10 in the first inspection unit group 10a1 and the row of the inspection units 10 in the second inspection unit group 10a2 are parallel to each other.
This makes it possible to repeatedly inspect specific areas of the metal workpiece W, thereby further improving the accuracy of detecting defects.

表面検査装置100においては、第1検査ユニット群10a1の検査ユニット10と、第2検査ユニット群10a2の検査ユニット10とが、第1検査ユニット群10a1の検査ユニット10同士の間の上流側に、第2検査ユニット群10a2の検査ユニット10が位置するように、上面視で千鳥状となるように配置されている。
これにより、金属ワークWの幅方向における特定の部位は、第1検査ユニット群10a1の検査ユニット10、及び、第2検査ユニット群10a2の検査ユニット10、の少なくとも何れか一方の撮影可能範囲を通過するようになる。なお、撮影可能範囲Rとは、撮影が可能な範囲であり、具体的には、カメラ2の画角に含まれる範囲のうち、筐体部に阻害されず、且つ、カメラ2から金属ワークWまでの間の領域である(図3参照)。
In the surface inspection apparatus 100, the inspection units 10 of the first inspection unit group 10a1 and the inspection units 10 of the second inspection unit group 10a2 are arranged in a staggered pattern when viewed from above, so that the inspection units 10 of the second inspection unit group 10a2 are located upstream between the inspection units 10 of the first inspection unit group 10a1.
As a result, a specific portion in the width direction of the metal workpiece W passes through the photographable range of at least one of the inspection units 10 of the first inspection unit group 10a1 and the inspection units 10 of the second inspection unit group 10a2. The photographable range R is a range in which photographing is possible, specifically, a region included in the angle of view of the camera 2 that is not obstructed by the housing and is between the camera 2 and the metal workpiece W (see FIG. 3).

これにより、金属ワークWの全幅における特定の部位は、少なくとも、第1検査ユニット群10a1の検査ユニット10、又は、第2検査ユニット群10a2の検査ユニット10により検査されるので、検知漏れが生じることを防止することができる。
また、第1検査ユニット群10a1の検査ユニット10、及び、第2検査ユニット群10a2の検査ユニット10により検査された場合は、例えば、第1検査ユニット群10a1の検査ユニット10では、撮影可能範囲Rの端部付近での撮影であっても、第2検査ユニット群10a2の検査ユニット10では、撮影可能範囲Rの中央付近で撮影することが可能となるので、撮影可能範囲Rの端部付近における歪みを捨象することができる。
その結果、金属ワークWの欠点を検知する精度をより向上させることができる。
As a result, specific areas across the entire width of the metal workpiece W are inspected at least by the inspection unit 10 of the first inspection unit group 10a1 or the inspection unit 10 of the second inspection unit group 10a2, thereby preventing detection misses.
Furthermore, when inspection is performed using the inspection units 10 of the first inspection unit group 10a1 and the inspection units 10 of the second inspection unit group 10a2, for example, even if the inspection units 10 of the first inspection unit group 10a1 photograph near the end of the photographable range R, the inspection units 10 of the second inspection unit group 10a2 can photograph near the center of the photographable range R, so distortion near the end of the photographable range R can be ignored.
As a result, the accuracy of detecting defects in the metal workpiece W can be further improved.

制御部20は、検査ユニット10のカメラ2と有線又は無線で接続されており、カメラ2で撮影された金属ワーク2の画像データを受信することが可能となっている。
そして、制御部20においては、受信した画像データに画像処理として、二値化処理を施した後、金属ワーク2の欠点を検知する。
これにより、表面検査装置100においては、欠点を検知する精度をより向上させることができ、且つ、欠点の検知速度も向上させることができる。
なお、かかる制御部20は、一般的な中央処理部(CPU)、演算処理部、記録部、画像処理部、入出力部(キーボード、ディスプレイ)等を備える汎用のコンピュータである。
The control unit 20 is connected to the camera 2 of the inspection unit 10 via a wired or wireless connection, and is capable of receiving image data of the metal workpiece 2 captured by the camera 2 .
Then, in the control unit 20, the received image data is subjected to image processing, such as binarization, and then defects in the metal workpiece 2 are detected.
This makes it possible to improve the accuracy of defect detection in the surface inspection device 100 and also to improve the defect detection speed.
The control unit 20 is a general-purpose computer equipped with a general central processing unit (CPU), an arithmetic processing unit, a recording unit, an image processing unit, an input/output unit (keyboard, display), and the like.

次に、本実施形態に係る表面検査装置100を用いた検出処理方法について説明する。
図4は、本実施形態に係る検出処理方法のフローチャートである。
図4に示すように、本実施形態に係る検出処理方法は、表面検査装置100の制御部20が、少なくとも、受信ステップS1と、統合ステップS3と、処理ステップS4と、検出ステップS5と、を遂行する。
これにより、線疵の欠点であっても、その向きに関わらず、検知することが可能となる。
Next, a detection processing method using the surface inspection apparatus 100 according to this embodiment will be described.
FIG. 4 is a flowchart of the detection processing method according to this embodiment.
As shown in FIG. 4, in the detection processing method according to this embodiment, the control unit 20 of the surface inspection apparatus 100 executes at least a receiving step S1, a integrating step S3, a processing step S4, and a detecting step S5.
This makes it possible to detect even linear flaws, regardless of their orientation.

まず、受信ステップS1として、各カメラ2が撮影した連続的な静止画の画像データをそれぞれ受信する。
ここで、連続的な静止画の画像データは、同一のカメラ2が、搬送中の金属ワークWを連続的に複数枚撮影したものであり、特定の部位に対し、光の当たり方が異なるものである。
なお、制御部20は、この画像データをカメラ2の個数分受信することになる。そして、制御部20は、受信した画像データを記録部に記録する。
次に、制御部20においては、プレ処理ステップS2として、複数の画像データに対して第1次二値化処理を施す。これにより、画像データのデータ容量を削減でき、後続の処理を高速化することが可能となる。
First, in a receiving step S1, image data of successive still images captured by each camera 2 is received.
Here, the image data of successive still images is obtained by successively photographing the metal workpiece W being transported by the same camera 2, and the way the light hits a specific portion varies.
The control unit 20 receives this image data for each camera 2. The control unit 20 then records the received image data in the recording unit.
Next, in the control unit 20, a first binarization process is performed on the plurality of image data in a pre-processing step S2, whereby the data volume of the image data can be reduced and the subsequent processing can be performed at a higher speed.

次に、制御部20においては、統合ステップS3として、二値化された複数の画像データを組み合わせるいわゆる画像合成を行い、統合データとする。
かかる画像合成は、金属ワークWの搬送速度、エンコーダC3により算出される金属ワークWの搬送位置、及び、カメラの撮影速度、から、カメラ2が撮影した金属ワークWの部位が特定され、同一の部位を撮影した画像データが重ね合わされるようにして行われる。
これにより、画像データの端部付近における歪みを捨象することが可能となる。
また、光の当たり方が異なる画像を重ねることで、ある当たり方ではカメラで撮影できなかった疵が見えるようになり検出精度が向上する
Next, in the control unit 20, in an integration step S3, a so-called image synthesis is performed in which the multiple binarized image data are combined to generate integrated data.
This image synthesis is performed by identifying the part of the metal work W photographed by camera 2 based on the transport speed of the metal work W, the transport position of the metal work W calculated by encoder C3, and the camera's shooting speed, and then overlaying image data of the same part.
This makes it possible to ignore distortion near the edges of the image data.
In addition, by overlaying images with different lighting conditions, defects that could not be captured by a camera with a certain lighting condition can be seen, improving detection accuracy.

次に、制御部20においては、処理ステップS4として、画像データが統合された統合データに対して第2次二値化処理を施す。
次に、検出ステップS5として、再度、二値化された統合データを、欠点が無い金属ワークWの二値化データと比較して、値に差異がある部位を欠点として検出する検出処理が行われる。
これにより、線疵の欠点であっても、その向きに関わらず、検知されることになる。
なお、検知された欠点は、必要に応じて、その旨と、欠点が検知された位置とがディスプレイ等に表示される。
Next, in the control unit 20, in processing step S4, a second binarization process is performed on the integrated data in which the image data has been integrated.
Next, in a detection step S5, the binarized integrated data is again compared with the binarized data of a defect-free metal workpiece W, and a detection process is performed in which areas with differences in value are detected as defects.
This allows even line flaws to be detected regardless of their orientation.
If necessary, a detected defect is displayed on a display or the like along with the position where the defect is detected.

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。 Although the above describes a preferred embodiment of the present invention, the present invention is not limited to the above embodiment.

本実施形態に係る表面検査装置100においては、検査ユニット10の筐体部1が、下面が開口した四角柱状となっているが、下面が開口しており、内部が中空となっていれば、四角柱状に限定されず、四角柱以外の多角柱状、多角錘台状、円柱状、円錐台状等であってもよい。 In the surface inspection device 100 according to this embodiment, the housing 1 of the inspection unit 10 is in the shape of a rectangular prism with an open bottom surface, but as long as the bottom surface is open and the interior is hollow, the shape is not limited to a rectangular prism, and may be a polygonal prism other than a rectangular prism, a polygonal truncated pyramid, a cylinder, a truncated cone, etc.

本実施形態に係る表面検査装置100においては、金属ワークWの幅方向Yに沿って5個の検査ユニット10が直線状に配置された下流側1と、金属ワークWの幅方向Yに沿って4個の検査ユニット10が直線状に配置された第2検査ユニット群10a2とを有しているが、検査ユニット10の個数は特に限定されない。
また、第1検査ユニット群10a1と、第2検査ユニット群10a2とが金属ワークWの搬送方向Xに沿って並んで配置されているが、更に別の検査ユニット群10aが配置されていてもよい。
The surface inspection apparatus 100 of this embodiment has a downstream side 1 in which five inspection units 10 are arranged in a line along the width direction Y of the metal workpiece W, and a second inspection unit group 10a2 in which four inspection units 10 are arranged in a line along the width direction Y of the metal workpiece W, but the number of inspection units 10 is not particularly limited.
Furthermore, the first inspection unit group 10a1 and the second inspection unit group 10a2 are arranged side by side along the transport direction X of the metal workpiece W, but another inspection unit group 10a may also be arranged.

図5は、他の実施形態に係る表面検査装置を模式的に示す上面図である。
図5に示すように、他の実施形態に係る表面検査装置101においては、4列の検査ユニット群10aが金属ワークWの搬送方向Xに沿って並んで配置されている。
なお、これらの検査ユニット10の配置は、上面視で千鳥状となっている。
かかる表面検査装置101においては、上流側の2列の検査ユニット群10aと、下流側の2列の検査ユニット群10aとに分かれており、上流側の2列の検査ユニット群10aにおいては、主に、線疵の欠点を検知するようになっており、下流側の2列の検査ユニット群10aにおいては、主に、圧痕の欠点を検知するようになっている。
これにより、検知の精度をより一層向上させることができる。
また、金属ワークWの搬送速度を向上させることも可能となる。
FIG. 5 is a top view that shows a schematic diagram of a surface inspection apparatus according to another embodiment.
As shown in FIG. 5, in a surface inspection apparatus 101 according to another embodiment, four rows of inspection unit groups 10a are arranged side by side along the transport direction X of the metal workpiece W.
The inspection units 10 are arranged in a staggered manner when viewed from above.
Such a surface inspection device 101 is divided into two rows of inspection unit groups 10a on the upstream side and two rows of inspection unit groups 10a on the downstream side, with the two rows of inspection unit groups 10a on the upstream side being mainly designed to detect linear flaws, and the two rows of inspection unit groups 10a on the downstream side being mainly designed to detect indentation defects.
This makes it possible to further improve the detection accuracy.
It is also possible to improve the transport speed of the metal workpiece W.

本実施形態に係る検出処理方法においては、制御部が、受信ステップS1と、プレ処理ステップS2、統合ステップS3と、処理ステップS4と、検出ステップS5と、を遂行しているが、プレ処理ステップS2は必須ではない。
また、画像処理として、二値化処理を行っているが、これに限定されず、画像の重ね合わせ及び重みマップの作成等を行ってもよい。
In the detection processing method according to this embodiment, the control unit executes a receiving step S1, a pre-processing step S2, an integrating step S3, a processing step S4, and a detection step S5, but the pre-processing step S2 is not essential.
Furthermore, although binarization is performed as the image processing, the present invention is not limited to this, and image superposition and creation of a weight map may also be performed.

本実施形態に係る検出処理方法においては、制御部が、画像データに第1二値化処理を施す前に、画像の歪みを修正するための画像補正を行ってもよい。 In the detection processing method according to this embodiment, the control unit may perform image correction to correct image distortion before performing the first binarization process on the image data.

本発明の表面検査装置及びそれを用いた検出処理方法は、金属加工の分野において、金属ワークをコンベアで搬送しながら、該金属ワークの欠点を検知するための装置として用いることができる。
本発明の表面検査装置及びそれを用いた検出処理方法によれば、線疵の欠点であっても、その向きに関わらず、検知することができ、金属ワーク全体に対して高精度で検知することができる。
INDUSTRIAL APPLICABILITY The surface inspection apparatus and the detection processing method using the same of the present invention can be used in the field of metal processing as an apparatus for detecting defects in a metal workpiece while the metal workpiece is being transported on a conveyor.
According to the surface inspection device and the detection processing method using the same of the present invention, even linear flaws can be detected regardless of their orientation, and detection can be performed with high accuracy for the entire metal workpiece.

1・・・筐体部
1a・・・上壁部
1b・・・側壁部
10・・・検査ユニット
10a・・・検査ユニット群
10a1・・・第1検査ユニット群
10a2・・・第2検査ユニット群
100,101・・・表面検査装置
2・・・カメラ
20・・・制御部
3・・・光源部
C・・・コンベア
C1・・・ベルト
C2・・・ロール
C3・・・エンコーダ
R・・・撮影可能範囲
W・・・金属ワーク
Reference Signs List 1: Housing 1a: Upper wall 1b: Side wall 10: Inspection unit 10a: Inspection unit group 10a1: First inspection unit group 10a2: Second inspection unit group 100, 101: Surface inspection device 2: Camera 20: Control unit 3: Light source unit C: Conveyor C1: Belt C2: Roll C3: Encoder R: Photographable range W: Metal workpiece

Claims (6)

平板状の金属ワークをコンベアで搬送しながら、該金属ワークの欠点を検知するための表面検査装置であって、
前記コンベアの上方に設けられた支持フレームと、
該支持フレームに取り付けられた検査ユニットと、
該検査ユニットに接続された制御部と、
を備え、
少なくとも、前記金属ワークの幅方向に複数の前記検査ユニットが直線状に配置された第1検査ユニット群及び第2検査ユニット群が形成され、
前記第1検査ユニット群及び前記第2検査ユニット群の前記検査ユニットが、上面視で千鳥状となるように配置されており、
前記金属ワークの幅方向における特定の部位が、前記第1検査ユニット群の前記検査ユニット、及び、前記第2検査ユニット群の前記検査ユニット、の少なくとも何れか一方の撮影可能範囲を通過するものであり、
前記検査ユニットが、下壁部を有しない筐体部、該筐体部の上壁部に取り付けられたカメラ、及び、該筐体部の側壁部の内面側に取り付けられた光源部、を有し、
前記筐体部を透過させた上面視で、前記カメラが中心に配置され、且つ、該カメラを囲繞するように前記光源部が配置されており、
前記光源部と前記カメラとの鉛直方向における最短距離が300mm以下であり、
前記金属ワークと前記カメラとの鉛直方向における最短距離が350mm以下であり、
前記制御部が、前記カメラで撮影された前記金属ワークの連続的な静止画の画像データを受信し、該画像データに基づいて、前記金属ワークの欠点を検知するものである表面検査装置。
A surface inspection device for detecting defects in a flat metal workpiece while the metal workpiece is being transported by a conveyor, comprising:
A support frame provided above the conveyor;
an inspection unit attached to the support frame;
A control unit connected to the inspection unit;
Equipped with
At least a first inspection unit group and a second inspection unit group are formed in which a plurality of the inspection units are linearly arranged in the width direction of the metal workpiece,
the inspection units of the first inspection unit group and the second inspection unit group are arranged in a staggered manner in a top view,
A specific portion of the metal workpiece in the width direction passes through a photographable range of at least one of the inspection units of the first inspection unit group and the inspection unit of the second inspection unit group,
the inspection unit includes a housing portion having no bottom wall portion, a camera attached to an upper wall portion of the housing portion, and a light source portion attached to an inner surface side of a side wall portion of the housing portion,
When viewed from above through the housing, the camera is disposed at the center, and the light source unit is disposed so as to surround the camera,
The shortest distance between the light source unit and the camera in the vertical direction is 300 mm or less,
The shortest distance between the metal workpiece and the camera in the vertical direction is 350 mm or less,
A surface inspection device in which the control unit receives image data of continuous still images of the metal workpiece taken by the camera, and detects defects in the metal workpiece based on the image data.
前記金属ワークの特定の部位の撮影において、前記第1検査ユニット群の前記検査ユニット、及び、前記第2検査ユニット群の前記検査ユニット、のうちの一方が撮影可能範囲の端部付近での撮影である場合、他方が撮影可能範囲の中央付近での撮影となる請求項1記載の表面検査装置。 A surface inspection device as described in claim 1, wherein, when photographing a specific portion of the metal workpiece, one of the inspection units of the first inspection unit group and the inspection unit of the second inspection unit group photographs near the edge of the photographable range, the other photographs near the center of the photographable range . 前記支持フレームは、前記コンベアの上方に設けられ、その両側が支持台により支持されており、
前記支持フレーム及び前記支持台は、前記コンベアを跨ぐように配置された正面視逆U字状であり、
前記支持フレームには、複数の前記検査ユニットが垂設されており、
前記検査ユニットは、上下左右に位置調整可能となっている請求項記載の表面検査装置。
The support frame is provided above the conveyor and is supported on both sides by support bases.
The support frame and the support base are in an inverted U-shape when viewed from the front and are arranged to straddle the conveyor,
A plurality of the inspection units are suspended from the support frame,
2. The surface inspection apparatus according to claim 1 , wherein the inspection unit is adjustable in position up, down, left and right .
前記欠点が、線疵、圧痕、汚染物の付着又は擦傷であり、
金属ワークの搬送速度が60~90m/minであり、
前記カメラの前記金属ワークの搬送方向における画角が28~53度であり、前記金属ワークの幅方向における画角が45~61度であ請求項記載の表面検査装置。
The defect is a line defect, an indentation, an adhesion of a contaminant, or a scratch,
The conveying speed of the metal workpiece is 60 to 90 m/min.
2. A surface inspection device according to claim 1 , wherein the camera has an angle of view of 28 to 53 degrees in the conveying direction of the metal workpiece, and an angle of view of 45 to 61 degrees in the width direction of the metal workpiece.
金属ワークをコンベアで搬送しながら、該金属ワークの欠点を検知するため、
前記コンベアの上方に設けられた支持フレームと、該支持フレームに取り付けられた検査ユニットと、該検査ユニットに接続された制御部と、を備え、
前記検査ユニットが、下壁部を有しない筐体部、該筐体部の上壁部に取り付けられたカメラ、及び、該筐体部の側壁部の内面側に取り付けられた光源部、を有し、
前記筐体部を透過させた上面視で、前記カメラが中心に配置され、且つ、該カメラを囲繞するように前記光源部が配置されており、
前記制御部が、前記カメラで撮影された前記金属ワークの画像データを受信し、該画像データに基づいて、前記金属ワークの欠点を検知するものである表面検査装置を用いた検出処理方法であって、
前記制御部が、
それぞれの前記カメラで撮影された連続的な静止画の画像データを受信する受信ステップと、
複数の画像データを組み合わせて統合データとする統合ステップと、
該統合データに対して画像処理を施す処理ステップと、
該画像処理を施した前記統合データを、金属ワークに欠点がない場合の画像処理を施した統合データと比較して、値に差異がある部位を欠点として検出する検出ステップと、
を遂行する検出処理方法。
In order to detect defects in metal workpieces while the workpieces are being transported on a conveyor,
A support frame provided above the conveyor, an inspection unit attached to the support frame, and a control unit connected to the inspection unit,
the inspection unit includes a housing portion having no bottom wall portion, a camera attached to an upper wall portion of the housing portion, and a light source portion attached to an inner surface side of a side wall portion of the housing portion,
When viewed from above through the housing, the camera is disposed at the center, and the light source unit is disposed so as to surround the camera,
A detection processing method using a surface inspection device, in which the control unit receives image data of the metal workpiece photographed by the camera and detects defects in the metal workpiece based on the image data,
The control unit:
A receiving step of receiving image data of successive still images captured by each of the cameras;
An integration step of combining a plurality of image data into integrated data;
a processing step of performing image processing on the integrated data;
a detection step of comparing the integrated data after the image processing with integrated data after the image processing when the metal workpiece has no defects, and detecting areas where there is a difference in value as defects;
A detection processing method for carrying out the above.
前記画像処理が、二値化処理である請求項5記載の検出処理方法。 The detection processing method according to claim 5, wherein the image processing is a binarization process.
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