JP7281741B2 - 素子チップのスムージング方法および素子チップの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、素子チップのスムージング方法および素子チップの製造方法に関する。

基板から素子チップを製造するダイシング法として、ブレードを用いたブレードダイシング法、レーザを用いたレーザダイシング法やステルスダイシング法、プラズマを用いたプラズマダイシング法等が提案されている。なかでも、プラズマダイシング法は、基板への機械的ダメージが少なく、デバイス特性の低下が抑制された工法として開発が進められている（例えば、特許文献１および２）。プラズマダイシング法では、ボッシュ（Bosch）プロセスあるいは非ボッシュ（non-Bosch）プロセスといわれる方法により、エッチングが行われる。

特表２０１４－５１３８６８号公報 特開２０１６－１４６３９５号公報

非ボッシュプロセスでは、得られる素子チップの側壁が平滑になり易い一方で、サイドエッチングが発生し易い。特に、数百μｍ以上の厚みを有する基板を用いる場合、数十μｍ程度のサイドエッチングが生じる場合がある。

ボッシュプロセスは、基板の素子領域を画定するストリート（分割領域）に対して、フッ素系ガスのプラズマによるエッチングステップと、フッ化炭素ガスのプラズマによる膜堆積ステップとを、交互に含むサイクルを繰り返すことによって、ストリートに対応する溝を形成し、掘り進める方法である。この方法により、高アスペクト比の溝を形成することができる。しかし、ボッシュ法におけるエッチングステップは等方性エッチングであるため、プロセス機構上、加工面である溝の内壁には、スキャロップといわれる複数の凹凸が形成される。スキャロップはリーク電流の増大を招くため、素子チップの特性が低下し易い。

凹凸差を低減するために、エッチングステップの時間を短くする方法が考えられる。しかし、この方法によっても、得られる素子チップの側壁の凹凸差を十分に小さくすることは困難である。さらに、エッチングステップの１回あたりのエッチング量が小さくなるため、基板を分割するために必要なサイクル数（繰り返し回数）が多くなり、生産性が低下する。

本発明の一局面は、樹脂膜で覆われた第１の面と、前記第１の面とは反対側の第２の面と、前記第１の面と前記第２の面とを繋ぐとともにスキャロップが形成された側壁と、を備える少なくとも１つの素子チップを準備する素子チップ準備工程と、前記素子チップを第１のプラズマに晒して、前記樹脂膜を残存させながら前記側壁に付着する付着物を除去する側壁クリーニング工程と、前記側壁クリーニング工程の後、前記素子チップを第２のプラズマに晒して、前記樹脂膜を残存させながら前記側壁の表面を酸化させる側壁酸化工程と、前記側壁酸化工程の後、前記素子チップを第３のプラズマに晒して、前記樹脂膜を残存させながら前記側壁をエッチングする側壁エッチング工程と、を備える、素子チップのスムージング方法に関する。

本発明の他の一局面は、複数の素子領域および前記素子領域を画定する分割領域を備えるとともに、第１の面および前記第１の面とは反対側の第２の面を有する基板を準備する基板準備工程と、前記第１の面を被覆する樹脂膜を形成する樹脂膜形成工程と、前記樹脂膜に開口を形成して、前記第１の面における前記分割領域を露出させる開口形成工程と、露出した前記分割領域に対応する溝を形成するエッチングステップと、前記溝の内壁に膜を堆積させる堆積ステップと、を含むサイクルを繰り返して、前記基板を、前記樹脂膜で覆われた前記第１の面と、前記第２の面と、前記第１の面と前記第２の面とを繋ぐとともにスキャロップが形成された側壁と、を備える少なくとも１つの素子チップに個片化するプラズマダイシング工程と、前記側壁の凹凸差を低減するスムージング工程と、前記スムージング工程の後、前記素子チップの前記第１の面を被覆する前記樹脂膜を除去する樹脂膜除去工程と、を備え、前記スムージング工程は、前記素子チップを第１のプラズマに晒して、前記樹脂膜を残存させながら前記側壁に付着する付着物を除去する側壁クリーニング工程と、前記側壁クリーニング工程の後、前記素子チップを第２のプラズマに晒して、前記樹脂膜を残存させながら前記側壁の表面を酸化させる側壁酸化工程と、前記側壁酸化工程の後、前記素子チップを第３のプラズマに晒して、前記樹脂膜を残存させながら前記側壁をエッチングする側壁エッチング工程と、を含む、素子チップの製造方法に関する。

本発明によれば、平坦な側壁を有する素子チップを得ることができる。

本実施形態に係る素子チップのスムージング方法を示すフローチャートである。 本発明の一実施形態に係る素子チップ準備工程で準備された複数の素子チップを模式的に示す上面図である。 図２ＡのＡ－Ａ線における断面図である。 準備された素子チップの要部を模式的に示す断面図である。 本発明の一実施形態で使用されるプラズマ処理装置の構造を概略的に示す断面図である。 本発明の一実施形態で使用されるプラズマ処理装置のブロック図である。 側壁クリーニング工程後の素子チップの要部を模式的に示す断面図である。 側壁酸化工程後の素子チップの要部を模式的に示す断面図である。 側壁エッチング工程後の素子チップの要部を模式的に示す断面図である。 本発明の一実施形態に係る素子チップの他のスムージング方法を示すフローチャートである。 本発明の一実施形態に係る素子チップの製造方法を示すフローチャートである。 本発明の一実施形態に係る準備工程により準備された基板を模式的に示す上面図である。 本発明の一実施形態に係る準備工程により準備された基板の一部を模式的に示す断面図である。 本発明の実施形態に係る樹脂膜形成工程後の基板の一部を模式的に示す断面図である。 本発明の一実施形態に係る開口形成工程後の基板の一部を模式的に示す断面図である。 本発明の一実施形態に係るプラズマダイシング工程で作製された素子チップを模式的に示す断面図である。 本発明の一実施形態に係る樹脂膜除去工程後の素子チップを模式的に示す断面図である。 実施例１におけるプラズマダイシングにより得られた素子チップの要部の断面におけるＳＥＭ画像（倍率１０００倍）である。 実施例１におけるスムージング工程後の素子チップの要部の断面におけるＳＥＭ画像（倍率１０００倍）である。

本実施形態では、ボッシュプロセスを用いたプラズマダイシング法により作製された素子チップの側壁の凹凸差を低減する。本実施形態に係るプラズマ処理方法は、素子チップに対して、さらに３ステップのプラズマを用いた後処理を行う。これら後処理は、素子チップを保護するための樹脂膜（マスク）が配置された状態で行われる。

側壁の凹凸差とは、任意の１つのスキャロップの凹部の最も低い部分（底部）と、この凹部に隣接する２つの凸部のうち、当該底部との高低差が大きい方の凸部の最も高い部分（頂部）と、の高低差である。凹凸差が低減されるとは、任意の１つのスキャロップにおける上記高低差が小さくなることをいう。本実施形態によれば、側壁に形成されたほとんどのスキャロップにおいて、後処理の前後で凹凸差が低減する。凹凸差は小さいほど望ましいが、凹凸差がなくなって平滑になることまでは要求されない。

１ステップ目は、素子チップの側壁に付着している付着物を除去する側壁クリーニングである。ボッシュプロセスは、基板に、ストリート（分割領域）に対応する溝を形成するエッチングステップと、溝の内壁に膜（堆積膜）を堆積させる堆積ステップと、が交互に繰り返される。そのため、素子チップの側壁にはスキャロップが形成されるとともに、堆積膜や堆積膜とプラズマとの反応生成物等（以下、単に付着物と称す。）が付着している。堆積膜は、プラズマが照射され易いスキャロップの凸部に厚く堆積するため、付着物もスキャロップの凸部により多く付着している。凸部に多くの付着物が付着していると、後の側壁エッチング工程において凸部自体のエッチングは十分に行われず、凹凸差を低減する効果が小さくなる。そのため、まず側壁の付着物を除去して、素子チップの側壁を露出させる。これにより、凸部がエッチングされ易くなる。

２ステップ目は、露出した側壁の表面を酸化させる側壁酸化である。このステップにより、素子チップの側壁の最表面に、素子チップの材料の酸化物（例えば、酸化ケイ素等）を含む層が形成される酸化物層は、側壁が過剰にエッチングされることを抑制する。

３ステップ目は、側壁をエッチングする側壁エッチングである。２ステップ目で形成された酸化物を含む層は絶縁体であるため、プラズマ雰囲気下において帯電している。そのため、素子チップの側壁には、プラズマに含まれるエッチング性のイオン（例えば、フッ素イオン）が衝突し難い。ただし、上記の通り、スキャロップの凸部にはプラズマが照射され易いため、凹部に比較して凸部はエッチングされ易い。つまり、本ステップでは、スキャロップの凸部が優先的にエッチングされて、凹部のエッチングが抑制される。よって、効率よく凹凸差を低減することができる。

本実施形態に係るプラズマ処理方法は、ボッシュプロセスによるプラズマダイシングにより作製された素子チップの側壁をスムージングする方法として特に適している。本実施形態は、プラズマダイシング工程を備える素子チップの製造方法を包含する。

Ａ．素子チップのスムージング方法
本実施形態に係る素子チップのスムージング方法は、樹脂膜で覆われた第１の面と、第１の面とは反対側の第２の面と、第１の面と第２の面とを繋ぐとともにスキャロップが形成された側壁と、を備える少なくとも１つの素子チップを準備する素子チップ準備工程と、素子チップを第１のプラズマに晒して、樹脂膜を残存させながら側壁に付着する付着物を除去する側壁クリーニング工程と、側壁クリーニング工程の後、素子チップを第２のプラズマに晒して、樹脂膜を残存させながら側壁の表面を酸化させる側壁酸化工程と、側壁酸化工程の後、素子チップを第３のプラズマに晒して、樹脂膜を残存させながら側壁をエッチングする側壁エッチング工程と、を備える。
図１は、本実施形態に係るスムージング方法を示すフローチャートである。

（ｉ）素子チップ準備工程（Ｓ１）
樹脂膜で覆われた第１の面と、第１の面とは反対側の第２の面と、第１の面と第２の面とを繋ぐ側壁と、を備える少なくとも１つの素子チップを準備する。側壁には、スキャロップ、すなわち凹部と凸部とが形成されている。このような素子チップは、例えば、ボッシュプロセスによるプラズマダイシングにより作製される。

素子チップは、例えば、半導体層と配線層とを備える。
半導体層は、例えば、シリコン（Ｓｉ）、ガリウム砒素（ＧａＡｓ）、窒化ガリウム（ＧａＮ）、炭化ケイ素（ＳｉＣ）等を含む。素子チップにおける半導体層の厚みは特に限定されず、例えば、２０μｍ以上１０００μｍ以下であり、１００μｍ以上３００μｍ以下であってもよい。
配線層は、例えば、半導体回路、電子部品素子（ＬＥＤ、レーザ、ＭＥＭＳ等）等を構成しており、絶縁膜、金属材料、樹脂層（例えば、ポリイミド）、レジスト層、電極パッド、バンプ等を備えてもよい。絶縁膜は、配線用の金属材料との積層体（多層配線層あるいは再配線層）として含まれてもよい。

樹脂膜は、例えば、ポリイミド等の熱硬化性樹脂、フェノール樹脂等のフォトレジスト、あるいは、アクリル樹脂等の水溶性レジスト等の、いわゆるレジスト材料を含む。

樹脂膜の厚みは特に限定されないが、プラズマダイシング工程およびスムージング工程におけるプラズマエッチングにより完全には除去されない程度であることが好ましい。樹脂膜の厚みは、例えば、プラズマダイシング工程およびスムージング工程において樹脂膜がエッチングされる量（厚み）を算出し、このエッチング量以上になるように設定される。樹脂膜の厚みは、例えば、５μｍ以上６０μｍ以下である。

ハンドリング性の観点から、複数の素子チップが、これらを囲むフレームに固定された保持シートに貼着されていてもよい。この場合、一度に複数の素子チップを処理することができる。複数の素子チップは、間隔を空けて配置されている。隣接する素子チップの間隔は特に限定されず、素子チップの大きさ等に応じて、適宜設定すればよい。フレームとフレームに固定された保持シートとを備える部材を搬送キャリアと称す。

（搬送キャリア）
フレームは、複数の素子チップを囲める程度の開口を有した枠体であり、所定の幅および略一定の薄い厚みを有している。フレームは、保持シートおよび複数の素子チップを保持した状態で搬送できる程度の剛性を有している。フレームの開口の形状は特に限定されないが、例えば、円形や、矩形、六角形など多角形であってもよい。フレームの材質としては、例えば、アルミニウム、ステンレス鋼等の金属や、樹脂等が挙げられる。

保持シートの材質は特に限定されない。なかでも、複数の素子チップが貼着され易い点で、保持シートは、粘着層と柔軟性のある非粘着層とを含むことが好ましい。

非粘着層の材質は特に限定されず、例えば、ポリエチレンおよびポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル等の熱可塑性樹脂が挙げられる。樹脂フィルムには、伸縮性を付加するためのゴム成分（例えば、エチレン－プロピレンゴム（ＥＰＭ）、エチレン－プロピレン－ジエンゴム（ＥＰＤＭ）等）、可塑剤、軟化剤、酸化防止剤、導電性材料等の各種添加剤が配合されていてもよい。また、上記熱可塑性樹脂は、アクリル基等の光重合反応を示す官能基を有していてもよい。非粘着層の厚みは特に限定されず、例えば、５０μｍ以上３００μｍ以下であり、好ましくは５０μｍ以上１５０μｍ以下である。

粘着層を備える面（粘着面）の外周縁は、フレームの一方の面に貼着しており、フレームの開口を覆っている。粘着面のフレームの開口から露出した部分に、素子チップの一方の主面（第２の面）が貼着されることにより、素子チップは保持シートに保持される。素子チップは、ダイアタッチフィルム（ＤＡＦ）を介して、保持シートに保持されてもよい。

粘着層は、紫外線（ＵＶ）の照射によって粘着力が減少する粘着成分からなることが好ましい。これにより、樹脂膜除去工程後に素子チップをピックアップする際、ＵＶ照射を行うことにより、素子チップが粘着層から容易に剥離されて、ピックアップし易くなる。例えば、粘着層は、非粘着層の片面に、ＵＶ硬化型アクリル粘着剤を５μｍ以上１００μｍ以下（好ましくは５μｍ以上１５μｍ以下）の厚みに塗布することにより得られる。

図２Ａは、素子チップ準備工程で準備された複数の素子チップを模式的に示す上面図である。図２Ｂは、図２ＡのＡ－Ａ線における断面図である。図２Ｂでは、便宜上、スキャロップおよび付着物を省略している。

搬送キャリア２０は、フレーム２１とフレーム２１に固定された保持シート２２とを備える。フレーム２１には、位置決めのためのノッチ２１ａやコーナーカット２１ｂが設けられていてもよい。保持シート２２は、粘着面２２Ｘと非粘着面２２Ｙとを備えており、粘着面２２Ｘの外周縁は、フレーム２１の一方の面に貼着している。粘着面２２Ｘのフレーム２１の開口から露出した部分に、素子チップ２００の第２の面１０Ｙが貼着される。

保持シート２２の粘着面２２Ｘには、複数の素子チップ２００が間隔を空けて貼着されている。各素子チップ２００は、半導体層１１と、半導体層１１の第１の面側に配置された配線層１２と、を備える。第１の面１０Ｘは、樹脂膜４０により被覆されている。

図３は、準備された素子チップの要部を模式的に示す断面図である。素子チップ２００の側壁１０Ｚにはスキャロップが形成されている。スキャロップは、複数の凸部Ｓｔと凹部Ｓｂとを有しており、凸部Ｓｔには、凹部Ｓｂよりも付着物６０が厚く付着している。第２の面１０Ｙ側に形成されたスキャロップの凸部Ｓｔｙと凹部Ｓｂｙとの間には、△Ｄ１の凹凸差が生じている。なお、図示例において、スキャロップおよび付着物は、誇張して示されている。

続く側壁クリーニング工程、側壁酸化工程および側壁エッチング工程は、プラズマ処理装置を用いて実行される。図４を参照しながら、上記工程で使用されるプラズマ処理装置の一例を具体的に説明する。ただし、プラズマ処理装置は、これに限定されるものではない。図４は、プラズマ処理装置１００の構造を概略的に示す断面図である。図４では、複数の素子チップは、搬送キャリアに保持されている。

（プラズマ処理装置）
プラズマ処理装置１００は、ステージ１１１を備えている。搬送キャリア２０は、保持シート２２の基板１０を保持している面が上方を向くように、ステージ１１１に搭載される。ステージ１１１は、搬送キャリア２０の全体を載置できる程度の大きさを備える。ステージ１１１の上方には、少なくとも１つの素子チップ２００を露出させるための窓部１２４Ｗを有するカバー１２４が配置されている。カバー１２４には、フレーム２１がステージ１１１に載置されている状態のとき、フレーム２１を押圧するための押さえ部材１０７が配置されている。押さえ部材１０７は、フレーム２１と点接触できる部材（例えば、コイルバネや弾力性を有する樹脂）であることが好ましい。これにより、フレーム２１およびカバー１２４の熱が互いに影響し合うことを抑制しながら、フレーム２１の歪みを矯正することができる。

ステージ１１１およびカバー１２４は、真空チャンバ１０３内に配置されている。真空チャンバ１０３は、上部が開口した概ね円筒状であり、上部開口は蓋体である誘電体部材１０８により閉鎖されている。真空チャンバ１０３を構成する材料としては、アルミニウム、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、表面をアルマイト加工したアルミニウム等が例示できる。誘電体部材１０８を構成する材料としては、酸化イットリウム（Ｙ₂Ｏ₃）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）、石英（ＳｉＯ₂）等の誘電体材料が例示できる。誘電体部材１０８の上方には、上部電極としての第１の電極１０９が配置されている。第１の電極１０９は、第１の高周波電源１１０Ａと電気的に接続されている。ステージ１１１は、真空チャンバ１０３内の底部側に配置される。

真空チャンバ１０３には、ガス導入口１０３ａが接続されている。ガス導入口１０３ａには、プラズマ発生用ガス（プロセスガス）の供給源であるプロセスガス源１１２およびアッシングガス源１１３が、それぞれ配管によって接続されている。また、真空チャンバ１０３には、排気口１０３ｂが設けられており、排気口１０３ｂには、真空チャンバ１０３内のガスを排気して減圧するための真空ポンプを含む減圧機構１１４が接続されている。真空チャンバ１０３内にプロセスガスが供給された状態で、第１の電極１０９に第１の高周波電源１１０Ａから高周波電力が供給されることにより、真空チャンバ１０３内にプラズマが発生する。

ステージ１１１は、それぞれ略円形の電極層１１５と、金属層１１６と、電極層１１５および金属層１１６を支持する基台１１７と、電極層１１５、金属層１１６および基台１１７を取り囲む外周部１１８とを備える。外周部１１８は導電性および耐エッチング性を有する金属により構成されており、電極層１１５、金属層１１６および基台１１７をプラズマから保護する。外周部１１８の上面には、円環状の外周リング１２９が配置されている。外周リング１２９は、外周部１１８の上面をプラズマから保護する役割をもつ。電極層１１５および外周リング１２９は、例えば、上記の誘電体材料により構成される。

電極層１１５の内部には、静電吸着（Electrostatic Chuck）用電極（以下、ＥＳＣ電極１１９と称す。）と、第２の高周波電源１１０Ｂに電気的に接続された第２の電極１２０とが配置されている。ＥＳＣ電極１１９には、直流電源１２６が電気的に接続されている。静電吸着機構は、ＥＳＣ電極１１９および直流電源１２６により構成されている。静電吸着機構によって、保持シート２２はステージ１１１に押し付けられて固定される。以下、保持シート２２をステージ１１１に固定する固定機構として、静電吸着機構を備える場合を例に挙げて説明するが、これに限定されない。保持シート２２のステージ１１１への固定は、図示しないクランプによって行われてもよい。

金属層１１６は、例えば、表面にアルマイト被覆を形成したアルミニウム等により構成される。金属層１１６内には、冷媒流路１２７が形成されている。冷媒流路１２７は、ステージ１１１を冷却する。ステージ１１１が冷却されることにより、ステージ１１１に搭載された保持シート２２が冷却されるとともに、ステージ１１１にその一部が接触しているカバー１２４も冷却される。これにより、素子チップ２００や保持シート２２が、プラズマ処理中に加熱されることによって損傷されることが抑制される。冷媒流路１２７内の冷媒は、冷媒循環装置１２５により循環される。

ステージ１１１の外周付近には、ステージ１１１を貫通する複数の支持部１２２が配置されている。支持部１２２は、搬送キャリア２０のフレーム２１を支持する。支持部１２２は、第１の昇降機構１２３Ａにより昇降駆動される。搬送キャリア２０が真空チャンバ１０３内に搬送されると、所定の位置まで上昇した支持部１２２に受け渡される。支持部１２２の上端面がステージ１１１と同じレベル以下にまで降下することにより、搬送キャリア２０は、ステージ１１１の所定の位置に載置される。

カバー１２４の端部には、複数の昇降ロッド１２１が連結しており、カバー１２４を昇降可能にしている。昇降ロッド１２１は、第２の昇降機構１２３Ｂにより昇降駆動される。第２の昇降機構１２３Ｂによるカバー１２４の昇降の動作は、第１の昇降機構１２３Ａとは独立して行うことができる。

制御装置１２８は、第１の高周波電源１１０Ａ、第２の高周波電源１１０Ｂ、プロセスガス源１１２、アッシングガス源１１３、減圧機構１１４、冷媒循環装置１２５、第１の昇降機構１２３Ａ、第２の昇降機構１２３Ｂおよび静電吸着機構を含むプラズマ処理装置１００を構成する要素の動作を制御する。図５は、本実施形態で使用されるプラズマ処理装置のブロック図である。

素子チップ２００へのプラズマ処理は、素子チップ２００が保持された搬送キャリア２０を真空チャンバ内に搬入し、素子チップ２００がステージ１１１に載置された状態で行われる。
基板１０の搬入の際、真空チャンバ１０３内では、昇降ロッド１２１の駆動により、カバー１２４が所定の位置まで上昇している。図示しないゲートバルブが開いて搬送キャリア２０が搬入される。複数の支持部１２２は、上昇した状態で待機している。搬送キャリア２０がステージ１１１上方の所定の位置に到達すると、支持部１２２に搬送キャリア２０が受け渡される。搬送キャリア２０は、保持シート２２の粘着面２２Ｘが上方を向くように、支持部１２２の上端面に受け渡される。

搬送キャリア２０が支持部１２２に受け渡されると、真空チャンバ１０３は密閉状態に置かれる。次に、支持部１２２が降下を開始する。支持部１２２の上端面が、ステージ１１１と同じレベル以下にまで降下することにより、搬送キャリア２０は、ステージ１１１に載置される。続いて、昇降ロッド１２１が駆動する。昇降ロッド１２１は、カバー１２４を所定の位置にまで降下させる。このとき、カバー１２４に配置された押さえ部材１０７がフレーム２１に点接触できるように、カバー１２４とステージ１１１との距離は調節されている。これにより、フレーム２１が押さえ部材１０７によって押圧されるとともに、フレーム２１がカバー１２４によって覆われ、基板１０は窓部１２４Ｗから露出する。

カバー１２４は、例えば、略円形の外形輪郭を有したドーナツ形であり、一定の幅および薄い厚みを備えている。窓部１２４Ｗの直径はフレーム２１の内径よりも小さく、その外径はフレーム２１の外径よりも大きい。したがって、搬送キャリア２０をステージ１１１の所定の位置に搭載し、カバー１２４を降下させると、カバー１２４は、フレーム２１を覆うことができる。窓部１２４Ｗからは、少なくとも１つの素子チップ２００が露出する。

カバー１２４は、例えば、セラミックス（例えば、アルミナ、窒化アルミニウムなど）や石英などの誘電体や、アルミニウムあるいは表面がアルマイト処理されたアルミニウムなどの金属で構成される。押さえ部材１０７は、上記の誘電体や金属の他、樹脂材料で構成され得る。

搬送キャリア２０が支持部１２２に受け渡された後、直流電源１２６からＥＳＣ電極１１９に電圧を印加する。これにより、保持シート２２がステージ１１１に接触すると同時にステージ１１１に静電吸着される。なお、ＥＳＣ電極１１９への電圧の印加は、保持シート２２がステージ１１１に載置された後（接触した後）に、開始されてもよい。

プラズマ処理が終了すると、真空チャンバ１０３内のガスが排出され、ゲートバルブが開く。複数の素子チップ２００を保持する搬送キャリア２０は、ゲートバルブから進入した搬送機構によって、プラズマ処理装置１００から搬出される。搬送キャリア２０が搬出されると、ゲートバルブは速やかに閉じられる。搬送キャリア２０の搬出プロセスは、上記のような搬送キャリア２０をステージ１１１に搭載する手順とは逆の手順で行われてもよい。すなわち、カバー１２４を所定の位置にまで上昇させた後、ＥＳＣ電極１１９への印加電圧をゼロにして、搬送キャリア２０のステージ１１１への吸着を解除し、支持部１２２を上昇させる。支持部１２２が所定の位置まで上昇した後、搬送キャリア２０は搬出される。

（ｉｉ）側壁クリーニング工程（Ｓ２）
素子チップ２００の側壁には、例えば、ボッシュプロセスによって堆積する膜（堆積膜）、当該堆積膜とプラズマとの反応生成物等を含む付着物が付着している。このような付着物は、有機物を主成分（５０質量％以上を占める成分）として含んでいる。本工程では、素子チップの側壁に付着する上記付着物を、第１のプラズマにより除去する。

付着物は、スキャロップの凸部に特に多く付着し易い。側壁の凸部に付着物が残っていると、後の側壁エッチング工程において、付着物の除去にイオンの多くが消費されて、凸部のエッチングが進行し難い。一方、付着物の少ない凹部ではエッチングが進行し易くなるため、凹凸差が強調され易くなる。側壁クリーニング工程では、スキャロップの凸部における基板が露出する程度に、付着物が除去されることが望ましい。側壁クリーニング工程によって凸部における基板を露出させることにより、凹凸差が低減され易くなる。

付着物の除去には、例えば、酸素（Ｏ_２）を含む第１のプロセスガスにより発生する第１のプラズマが用いられる。有機物を主成分として含む付着物は、酸素由来の第１のプラズマにより効率よく除去される。第１のプロセスガスは、Ｏ_２とともにフッ素含有ガスを含んでもよい。これにより、付着物の除去効果が高まり易くなる。フッ素含有ガスとしては、例えば、ＣＦ_４、Ｃ_４Ｆ_８等のフッ化炭素ガスおよびＣＨＦ_３等のフッ化炭化水素、ＳＦ_６等が挙げられる。Ｏ_２の第１のプロセスガスに占める割合は、１０体積％以上１００体積％未満であってよく、３０体積％以上９８体積％以下であってよい。

第１のプラズマを発生させる条件は、付着物の量および成分等に応じて適宜設定される。ただし、第１のプラズマは、側壁が過度に酸化されないような条件で行うことが望ましい。側壁が過度に酸化されると、側壁が帯電し易くなって、付着物が除去され難くなる。付着物が残存していると、後述する側壁酸化工程および側壁エッチング工程を行っても、所望の平滑性は得られ難い。

側壁を過度に酸化しない第１のプラズマを発生させるには、例えば、Ｏ_２とともにフッ化炭素ガスを用いることが好ましい。フッ化炭素ガスを併用することで、第１のプロセスガスに占めるＯ_２の割合が小さくなって、側壁の酸化速度が低下し易くなる。さらに、側壁が酸化されても、側壁がフッ素イオンと反応することにより側壁自体のエッチングが進行する。よって、側壁の過度な酸化は抑制される。

具体的には、例えば、プロセスガスとしてＯ_２（６０体積％）およびＣＦ_４（４０体積％）の混合ガスを、５ｓｃｃｍ以上５００ｓｃｃｍ以下で、真空チャンバに供給する。真空チャンバ内の圧力は０．５Ｐａ以上３０Ｐａ以下であってよい。第１の高周波電源から第１の電極への投入電力は、５００Ｗ以上４８００Ｗ以下であってよい。さらに、第２の電極に２０Ｗ以上１０００Ｗ以下の高周波電力を投入して、基板が載置されるステージにバイアス電圧をかけてもよい。処理時間は、例えば、３秒以上、３００秒以下であってよい。

図６は、側壁クリーニング工程後の素子チップの要部を模式的に示す断面図である。素子チップ２００の側壁１０Ｚの凸部Ｓｔおよび凹部Ｓｂに付着していた付着物がいずれも除去されて、半導体層１１が露出している。一方、樹脂膜４０は除去されずに残存している。そのため、次工程（側壁酸化工程）において、素子チップの上面がプラズマによって損傷することを抑制できる。

（ｉｉｉ）側壁酸化工程（Ｓ３）
基板の側壁の表面を酸化させる。これにより、側壁の最表面に素子チップの材料の酸化物（例えば、酸化ケイ素等）を含む、絶縁性の層が形成される。絶縁性の酸化物層は、側壁が過剰にエッチングされることを抑制する。

側壁の酸化には、例えば、酸素（Ｏ_２）を含む第２のプロセスガスにより発生する第２のプラズマが用いられる。第２のプロセスガスは、Ｏ_２とともにＣＯ_２、ＣＯ等の酸化炭素ガスを含んでもよい。ただし、酸化効果の点から、Ｏ_２の第２のプロセスガスに占める割合は、１０体積％以上１００体積％未満であってよく、３０体積％以上９８体積％以下であってよい。

第２のプラズマを発生させる条件は特に限定されない。
具体的には、例えば、プロセスガスとしてＯ_２を、５ｓｃｃｍ以上、５００ｓｃｃｍ以下で、真空チャンバに供給する。真空チャンバ内の圧力は０．５Ｐａ以上、３０Ｐａ以下であってよい。第１の高周波電源から第１の電極への投入電力は、５００Ｗ以上、４８００Ｗ以下であってよい。さらに、第２の電極に２０Ｗ以上、１０００Ｗ以下の高周波電力を投入して、基板が載置されるステージにバイアス電圧をかけてもよい。処理時間は、例えば、３秒以上、３００秒以下であってよい。

図７は、側壁酸化工程後の素子チップの要部を模式的に示す断面図である。素子チップ２００の側壁１０Ｚの最表面が酸化されて、半導体層１１の酸化物層１１ａが形成されている。樹脂膜４０は依然として除去されずに残存している。そのため、次工程（側壁エッチング工程）において、素子チップの上面がプラズマによって損傷することを抑制できる。

（ｉｖ）側壁エッチング工程（Ｓ４）
側壁をエッチングする。側壁の最表面には絶縁体である酸化物層が形成されているため、エッチングされ難い。そのなかでも、スキャロップの凸部にはプラズマが照射され易いため、凸部は比較的エッチングされ易い。そのため、本工程では、スキャロップの凸部がエッチングされる一方、凹部のエッチングが抑制される。よって、凹凸差が低減される。

側壁のエッチングには、フッ素含有ガスを含む第３のプロセスガスにより発生する第３のプラズマが用いられる。フッ素を含有するプラズマを用いることにより、側壁（半導体層）は効率よくエッチングされる。フッ素含有ガスとしては、上記したように、ＣＦ_４、Ｃ_４Ｆ_８等のフッ化炭素ガスおよびＣＨＦ_３等のフッ化炭化水素、ＳＦ_６等が挙げられる。なかでも、エッチング効果が高い点でＳＦ_６が好ましい。

第３のプロセスガスは、さらに酸素ガスを含んでもよい。これにより、エッチング量が制御し易くなって、側壁を過剰にエッチングすることが抑制される。このとき、ＳＦ_６の第３のプロセスガスに占める割合は、１０体積％以上１００体積％未満であってよく、３０体積％以上８０体積％以下であってよい。

第３のプラズマを発生させる条件は特に限定されない。
具体的には、例えば、プロセスガスとしてプロセスガスとしてＳＦ_６（５０体積％）およびＯ_２（５０体積％）の混合ガスを、５ｓｃｃｍ以上、５００ｓｃｃｍ以下で、真空チャンバに供給する。真空チャンバ内の圧力は０．５Ｐａ以上、３０Ｐａ以下であってよい。第１の高周波電源から第１の電極への投入電力は、５００Ｗ以上、４８００Ｗ以下であってよい。さらに、第２の電極に２０Ｗ以上、１０００Ｗ以下の高周波電力を投入して、基板が載置されるステージにバイアス電圧をかけてもよい。処理時間は、例えば、３秒以上、３００秒以下であってよい。

図８は、側壁エッチング工程後の素子チップの要部を模式的に示す断面図である。素子チップ２００の側壁１０Ｚの凸部Ｓｔが優先的にエッチングされて、第２の面１０Ｙ側に形成されたスキャロップの凸部Ｓｔｙと凹部Ｓｂｙとの間の凹凸差△Ｄ２は、側壁クリーニング工程前の凹凸差△Ｄ１（図３参照）より小さくなっている（△Ｄ２＜△Ｄ１）。樹脂膜４０は依然として除去されずに残存している。

側壁酸化工程と側壁エッチング工程とを交互に複数回繰り返してもよい。側壁酸化工程により凹部に形成される酸化物層は、側壁エッチング工程において多少エッチングされる。そのため、エッチング工程の後、再びエッチングを抑制する酸化物層を新たに形成して、凹部を酸化物層で保護させる。その後、エッチング工程を行う。これを繰り返すことにより、側壁の後退、つまりサイドエッチングを抑制しながら、凹凸差を低減することができる。

図９は、本実施形態に係る素子チップの他のスムージング方法を示すフローチャートである。１回目の側壁エッチング工程（Ｓ４）の後、凹凸差が所望の程度にまで低減されているかどうかが判断される。凹凸差の低減が不十分であると判断されると、再び、側壁酸化工程（Ｓ３）および側壁エッチング工程（Ｓ４）が行われる。その後、再び凹凸差の低減を確認する。側壁酸化工程（Ｓ３）および側壁エッチング工程（Ｓ４）は、凹凸差の低減が十分と判断されるまで繰り返される。凹凸差の低減が十分であれば、処理は終了する。

Ｂ．素子チップの製造方法
本実施形態に係る素子チップの製造方法は、複数の素子領域および素子領域を画定する分割領域を備えるとともに、第１の面および第１の面とは反対側の第２の面を有する基板を準備する基板準備工程と、第１の面を被覆する樹脂膜を形成する樹脂膜形成工程と、樹脂膜に開口を形成して、第１の面における分割領域を露出させる開口形成工程と、露出した分割領域に対応する溝を形成するエッチングステップと、溝の内壁に膜を堆積させる堆積ステップと、を含むサイクルを繰り返して、基板を、樹脂膜で覆われた第１の面と、第２の面と、第１の面と第２の面とを繋ぐとともにスキャロップが形成された側壁と、を備える少なくとも１つの素子チップに個片化するプラズマダイシング工程と、側壁の凹凸差を低減するスムージング工程と、スムージング工程の後、素子チップの第１の面を被覆する樹脂膜を除去する樹脂膜除去工程と、を備える。

スムージング工程は、素子チップを第１のプラズマに晒して、樹脂膜を残存させながら側壁に付着する付着物を除去する側壁クリーニング工程と、側壁クリーニング工程の後、素子チップを第２のプラズマに晒して、樹脂膜を残存させながら側壁の表面を酸化させる側壁酸化工程と、側壁酸化工程の後、素子チップを第３のプラズマに晒して、樹脂膜を残存させながら側壁をエッチングする側壁エッチング工程と、備える。
図１０は、本実施形態に係る製造方法を示すフローチャートである。

（１）基板準備工程（Ｓ１１）
まず、ダイシングの対象となる基板を準備する。

（基板）
基板は、第１の面および第２の面を備えるとともに、複数の素子領域と素子領域を画定する分割領域とを備える。基板は、半導体層を備える。基板の素子領域は、さらに配線層を備えてよい。基板の分割領域は、さらに絶縁膜とＴＥＧ（Test Element Group）等の金属材料とを備えてよい。分割領域における基板をエッチングすることにより、複数の素子チップが得られる。

基板の大きさは特に限定されず、例えば、最大径５０ｍｍ～３００ｍｍ程度である。基板の形状も特に限定されず、例えば、円形、角型である。また、基板には、オリエンテーションフラット（オリフラ）、ノッチ等の切欠きが設けられていてもよい。

分割領域の形状は、直線に限られず、所望の素子チップの形状に応じて設定されればよく、ジグザグであってもよいし、波線であってもよい。なお、素子チップの形状としては、例えば、矩形、六角形等が挙げられる。

分割領域の幅は特に限定されず、基板や素子チップの大きさ等に応じて、適宜設定すればよい。分割領域の幅は、例えば、１０μｍ以上３００μｍ以下である。複数の分割領域の幅は、同じであってもよいし、異なっていてもよい。分割領域は、通常、複数本、基板に配置されている。隣接する分割領域同士のピッチも特に限定されず、基板や素子チップの大きさ等に応じて、適宜設定すればよい。

基板の第２の面を、フレームに固定された保持シートに貼着してもよい。これにより、ハンドリング性が向上する。保持シートに貼着された基板を個片化することにより、保持シート上に間隔を空けて配置された複数の素子チップが得られる。フレームおよび保持シートの形状、材質等は上記の通りである。

図１１は、本実施形態に係る準備工程により準備された基板を模式的に示す上面図である。図１２は、本実施形態に係る準備工程により準備された基板の一部を模式的に示す断面図である。
基板１０は、第１の面１０Ｘおよび第２の面１０Ｙを備えるとともに、複数の素子領域１０１と素子領域１０１を画定する分割領域１０２とを備える。素子領域１０１は、半導体層１１と、半導体層１１の第１の面１０Ｘ側に積層される配線層１２と、を備える。分割領域１０２は、半導体層１１と、絶縁膜１４とを備える。基板１０の第２の面１０Ｙは搬送キャリア２０が備える保持シート２２に貼着されている。

（２）樹脂膜形成工程（Ｓ１２）
基板の第１の面を被覆する樹脂膜を形成する。
樹脂膜は、基板の素子領域をプラズマ等から保護するために設けられる。プラズマダイシング工程後、樹脂膜は除去される。樹脂膜の材料、厚みは上記の通りである。

樹脂膜は、例えば、レジスト材料をシート状に成型した後、このシートを基板に貼り付けるか、あるいは、レジスト材料の原料液を、スピンコートやスプレー塗布等の方法を用いて、基板に塗布することにより形成される。原料液の塗布量を変えなから塗布することにより、樹脂膜の厚みを部分的に変えることができる。スピンコートとスプレー塗布とを併用して、塗布量を調整してもよい。

図１３は、本実施形態に係る樹脂膜形成工程後の基板の一部を模式的に示す断面図である。基板１０の第１の面１０Ｘに、樹脂膜４０が形成されている。

（３）開口形成工程（Ｓ１３）
樹脂膜に開口を形成して、基板の分割領域を露出させる。

開口は、例えば、フォトレジストにより形成された樹脂膜のうち、分割領域に対応する領域をフォトリソグラフィ法によって除去することにより形成される。熱硬化性樹脂あるいは水溶性レジストにより形成された樹脂膜のうち、分割領域に対応する領域をレーザスクライビングによりパターニングして、開口を形成してもよい。

開口は、分割領域における樹脂膜および配線層が除去されることにより形成されてもよい。分割領域における配線層の除去は、後述するプラズマダイシング工程において行ってもよい。この場合、配線層を除去するためのプラズマを発生させる条件と、基板をエッチングするためのプラズマを発生させる条件とは異なり得る。

開口形成工程の後、プラズマダイシング工程を行う前に、開口にレーザ光あるいはプラズマを照射してもよい。この工程は、例えば、開口形成工程に起因する残渣を低減する目的で行われる。これにより、高品質のプラズマエッチングを行うことが可能になる。

図１４は、本実施形態に係る開口形成工程後の基板の一部を模式的に示す断面図である。分割領域１０２における樹脂膜４０および配線層１２が除去されて、開口から分割領域１０２において半導体層１１が露出している。

（４）プラズマダイシング工程（Ｓ１４）
基板をプラズマに晒して、開口から露出する分割領域を第２の面までエッチングし、基板から複数の素子チップを形成する。複数の素子チップは、保持シートに保持された状態で得られる。

プラズマダイシングは、いわゆるボッシュプロセスにより行われる。ボッシュプロセスでは、基板に、分割領域に対応する溝を形成するエッチングステップと、溝の内壁に膜を堆積させる堆積ステップと、を含むサイクルが１回以上、行われる。さらに、エッチングステップと堆積ステップとの間には、上記膜（堆積膜）の除去ステップが行われる。

１回目のサイクルのエッチングステップにより、まず、分割領域に対応する浅い溝が形成される。続いて、堆積ステップにより、形成された浅い溝の内壁に堆積膜が形成される。２回目のサイクルは、堆積膜の除去ステップから開始される。堆積膜除去ステップでは、異方性エッチングが行われる。つまり、溝の内壁のうち、底部を被覆する堆積膜が除去される。続いて、エッチングステップが行われ、溝の底部が等方的にエッチングされる。エッチングステップの後、再び堆積ステップを行い、溝の内壁に堆積膜を形成する。このように２回目のサイクル（堆積膜除去ステップ、エッチングステップおよび堆積ステップ）を繰り返すことにより、樹脂膜で覆われた第１の面と、第２の面と、スキャロップが形成された側壁と、を備える少なくとも１つの素子チップが得られる。

堆積膜除去ステップは、例えば、プロセスガスとしてＳＦ_６を２００ｓｃｃｍ～１０００ｓｃｃｍで供給しながら、真空チャンバ内の圧力を５Ｐａ～１５Ｐａに調整し、第１の高周波電源から第１の電極への投入電力を１５００Ｗ～４８００Ｗとして、第２の高周波電源から第２の電極への投入電力を０Ｗ～１０００Ｗとして、２秒間～１０秒間、処理する条件で行われる。

エッチングステップは、例えば、プロセスガスとしてＳＦ_６を２００ｓｃｃｍ～１０００ｓｃｃｍで供給しながら、真空チャンバ内の圧力を５Ｐａ～１５Ｐａに調整し、第１の高周波電源から第１の電極への投入電力を１５００Ｗ～４８００Ｗとして、第２の高周波電源から第２の電極への投入電力を１０Ｗ～５００Ｗとして、５秒間～２０秒間、処理する条件で行われる。

堆積ステップは、例えば、プロセスガスとしてＣ_４Ｆ_８を１５０ｓｃｃｍ～１０００ｓｃｃｍで供給しながら、真空チャンバ内の圧力を１０Ｐａ～２５Ｐａに調整し、第１の高周波電源から第１の電極への投入電力を１５００Ｗ～４８００Ｗとして、第２の高周波電源から第２の電極への投入電力を０Ｗ～５０Ｗとして、２秒間～１５秒間、処理する条件で行われる。

上記のような条件で、堆積膜除去ステップ、エッチングステップおよび堆積ステップを繰り返すことにより、Ｓｉを含む半導体層は、１０μｍ／分～２０μｍ／分の速度で深さ方向に垂直にエッチングされ得る。

図１５は、本実施形態に係るプラズマダイシング工程で作製された素子チップを、模式的に示す断面図である。基板の分割領域がエッチングされて、基板から複数の素子チップ２００が形成されている。素子チップの側壁１０Ｚにはスキャロップが形成されている。素子チップ２００の第１の面１０Ｘは、樹脂膜４０により覆われている。

（５）スムージング工程（Ｓ１５）
素子チップの側壁の凹凸差を低減する。
スムージング工程は、上記の素子チップのスムージング方法における側壁クリーニング工程（ｉｉ）、側壁酸化工程（ｉｉｉ）および側壁エッチング工程（ｉｖ）により実行される。上記スムージング方法によれば、サイドエッチングを抑制しながら側壁の凹凸差を低減することができる。

（６）樹脂膜除去工程（Ｓ１６）
スムージング工程の後、プラズマ処理装置においてアッシングを行ってもよい。これにより、樹脂膜が除去される。アッシング用のプロセスガス（例えば、酸素ガス（Ｏ_２）や、Ｏ_２ガスとフッ素を含むガスとの混合ガス等）を、アッシングガス源から真空チャンバ内に導入する。一方、減圧機構による排気を行い、真空チャンバ内を所定の圧力に維持する。第１の高周波電源からの高周波電力の投入により、真空チャンバ内には酸素プラズマが発生し、カバーの窓部から露出している個片化された素子チップの表面の樹脂膜が除去される。

具体的には、アッシングは、例えば、アッシングガスとしてＣＦ_４とＯ_２との混合ガス（流量比ＣＦ_４：Ｏ_２＝１：１０）を１５０ｓｃｃｍ～３００ｓｃｃｍで供給しながら、真空チャンバ内の圧力を１Ｐａ～１５Ｐａに調整し、第１の高周波電源から第１の電極への印加電力を１５００Ｗ～５０００Ｗとして、第２の高周波電源から第２の電極への印加電力を０Ｗ～３００Ｗとする条件により行われる。なお、アッシング工程における第２の電極への印加電力は、プラズマダイシング工程における第２の電極への印加電力よりも小さくなるように設定することが望ましい。

樹脂膜が水溶性である場合、アッシングに替えて、水洗により樹脂膜を除去してもよい。

図１６は、本実施形態に係る樹脂膜除去工程で作製された素子チップを、模式的に示す断面図である。配線層１２を覆っていた樹脂膜４０が除去されている。

樹脂膜除去工程の後、素子チップは、保持シートから取り外される。
素子チップを、例えば、保持シートの非粘着面側から、保持シートとともに突き上げピンで突き上げる。これにより、素子チップの少なくとも一部は、保持シートから浮き上がる。その後、ピックアップ装置により、素子チップは保持シートから取り外される。

以下、実施例を挙げて本発明をさらに詳しく説明するが、本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。

［実施例１］
（ａ）準備工程、樹脂膜形成工程および開口形成工程
半導体層（厚み約９０μｍ）と配線層（厚み約７μｍ）とを備える基板を準備した。スピンコート法により、基板の配線層を覆う樹脂膜（厚み約１７μｍ、ノボラック樹脂）を形成した。分割領域に樹脂膜側からレーザ光を照射して、分割領域における樹脂膜と配線層とを除去した。

（ｂ）プラズマダイシング工程
続いて、図４に示すプラズマ処理装置を用いて、ボッシュプロセスにより基板を素子チップに分割した。図１７は、製造された素子チップの要部の断面におけるＳＥＭ画像（倍率１０００倍）である。中央付近の縦線は素子チップの側壁であり、右側が素子チップの断面である。側壁には、１μｍ～２μｍ程度の高さの凹凸が形成されていることがわかる。

ボッシュプロセスでは、堆積ステップと堆積膜除去ステップとエッチングステップとを、順次繰り返した。繰り返し回数は２５回であった。
堆積ステップでは、プロセスガスとしてＣ_４Ｆ_８を用いた。Ｃ_４Ｆ_８の供給量は４００ｓｃｃｍとした。真空チャンバ内の圧力は１５Ｐａ、第１の電極への投入電力は４８００Ｗ、第２の電極への投入電力は５０Ｗとして、３秒間処理した。
堆積膜除去ステップでは、プロセスガスとしてＳＦ_６を用いた。ＳＦ_６の供給量は６００ｓｃｃｍとした。真空チャンバ内の圧力は２０Ｐａ、第１の電極への投入電力は４８００Ｗ、第２の電極への投入電力は２００Ｗとして、２秒間処理した。
エッチングステップでは、プロセスガスとしてＳＦ_６を用いた。ＳＦ_６の供給量は６００ｓｃｃｍとした。真空チャンバ内の圧力は２０Ｐａ、第１の電極への投入電力は４８００Ｗ、第２の電極への投入電力は５０Ｗとして、５秒間処理した。

（ｃ）スムージング工程
（ｃ－１）側壁クリーニング工程
同じプラズマ処理装置の真空チャンバ内のガスを排気した後、スムージング工程を行った。
基板を第１のプラズマに晒して、側壁に付着する付着物を除去した。プロセスガスとしてＯ_２およびＣＦ_４の混合ガスを用いた。Ｏ_２およびＣＦ_４の供給量は、いずれも１００ｓｃｃｍとした。真空チャンバ内の圧力は５Ｐａ、第１の電極への投入電力は３５００Ｗ、第２の電極への投入電力は１００Ｗとして１２０秒間処理した。その後、真空チャンバ内のガスを排気した。

（ｃ－２）側壁酸化工程
続いて、基板を第２のプラズマに晒して、側壁の表面を酸化した。プロセスガスとしてＯ_２を用いた。Ｏ_２の供給量は１５０ｓｃｃｍとした。真空チャンバ内の圧力は５Ｐａ、第１の電極への投入電力は２５００Ｗ、第２の電極への投入電力は２００Ｗとして６０秒間処理した。その後、真空チャンバ内のガスを排気した。

（ｃ－３）側壁エッチング工程
さらに基板を第３のプラズマに晒して、側壁をエッチングした。プロセスガスとしてＳＦ_６およびＯ_２の混合ガスを用いた。ＳＦ_６およびＯ_２の供給量は、いずれも１００ｓｃｃｍとした。真空チャンバ内の圧力は５Ｐａ、第１の電極への投入電力は２５００Ｗ、第２の電極への投入電力は１５０Ｗとして１２０秒間処理した。

図１８は、スムージング工程後の素子チップの要部の断面におけるＳＥＭ画像（倍率１０００倍）である。中央付近の縦線は素子チップの側壁であり、右側が素子チップの断面である。側壁はほぼ平坦である。また、サイドエッチングやアンダーカットといった形状異常も抑制されている。

（ｄ）樹脂膜除去工程
水洗により、樹脂膜を溶解させて除去した。

本発明のスムージング方法は、サイドエッチングを抑制しながら素子チップの側壁の凹凸差を低減できるため、特にボッシュプロセスによるプラズマダイシングにより製造された素子チップの後処理として好適である。

１０：基板
１０Ｘ：第１の面
１０Ｙ：第２の面
１０Ｚ：側壁
１１：半導体層
１１ａ：酸化物層
１２：配線層
２０：搬送キャリア
２１：フレーム
２１ａ：ノッチ
２１ｂ：コーナーカット
２２：保持シート
２２Ｘ：粘着面
２２Ｙ：非粘着面
４０：樹脂膜
６０：付着物
１００：プラズマ処理装置
１０３：真空チャンバ
１０３ａ：ガス導入口
１０３ｂ：排気口
１０８：誘電体部材
１０９：第１の電極
１１０Ａ：第１の高周波電源
１１０Ｂ：第２の高周波電源
１１１：ステージ
１１２：プロセスガス源
１１３：アッシングガス源
１１４：減圧機構
１１５：電極層
１１６：金属層
１１７：基台
１１８：外周部
１１９：ＥＳＣ電極
１２０：第２の電極
１２１：昇降ロッド
１２２：支持部
１２３Ａ、１２３Ｂ：昇降機構
１２４：カバー
１２４Ｗ：窓部
１２５：冷媒循環装置
１２６：直流電源
１２７：冷媒流路
１２８：制御装置
１２９：外周リング
２００：素子チップ

Claims (4)

1. 樹脂膜で覆われた第１の面と、前記第１の面とは反対側の第２の面と、前記第１の面と前記第２の面とを繋ぐとともにスキャロップが形成された側壁と、を備える少なくとも１つの素子チップを準備する素子チップ準備工程と、
   前記素子チップを第１のプラズマに晒して、前記樹脂膜を残存させながら前記側壁に付着する付着物を除去する側壁クリーニング工程と、
   前記側壁クリーニング工程の後、前記素子チップを第２のプラズマに晒して、前記樹脂膜を残存させながら前記側壁の表面を酸化させる側壁酸化工程と、
   前記側壁酸化工程の後、前記素子チップを第３のプラズマに晒して、前記樹脂膜を残存させながら前記側壁をエッチングする側壁エッチング工程と、を備える、素子チップのスムージング方法。
2. 前記側壁酸化工程と前記側壁エッチング工程とが交互に複数回繰り返される、請求項１に記載の素子チップのスムージング方法。
3. 複数の素子領域および前記素子領域を画定する分割領域を備えるとともに、第１の面および前記第１の面とは反対側の第２の面を有する基板を準備する基板準備工程と、
   前記第１の面を被覆する樹脂膜を形成する樹脂膜形成工程と、
   前記樹脂膜に開口を形成して、前記第１の面における前記分割領域を露出させる開口形成工程と、
   露出した前記分割領域に対応する溝を形成するエッチングステップと、前記溝の内壁に膜を堆積させる堆積ステップと、を含むサイクルを繰り返して、前記基板を、前記樹脂膜で覆われた前記第１の面と、前記第２の面と、前記第１の面と前記第２の面とを繋ぐとともにスキャロップが形成された側壁と、を備える少なくとも１つの素子チップに個片化するプラズマダイシング工程と、
   前記側壁の凹凸差を低減するスムージング工程と、
   前記スムージング工程の後、前記素子チップの前記第１の面を被覆する前記樹脂膜を除去する樹脂膜除去工程と、を備え、
   前記スムージング工程は、
   前記素子チップを第１のプラズマに晒して、前記樹脂膜を残存させながら前記側壁に付着する付着物を除去する側壁クリーニング工程と、
   前記側壁クリーニング工程の後、前記素子チップを第２のプラズマに晒して、前記樹脂膜を残存させながら前記側壁の表面を酸化させる側壁酸化工程と、
   前記側壁酸化工程の後、前記素子チップを第３のプラズマに晒して、前記樹脂膜を残存させながら前記側壁をエッチングする側壁エッチング工程と、を含む、素子チップの製造方法。
4. 前記側壁酸化工程と前記側壁エッチング工程とが交互に複数回繰り返される、請求項３に記載の素子チップの製造方法。
   

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