JP7262320B2

JP7262320B2 - moment sensor

Info

Publication number: JP7262320B2
Application number: JP2019112885A
Authority: JP
Inventors: 義之石倉; 達夫田中
Original assignee: Azbil Corp
Current assignee: Azbil Corp
Priority date: 2019-06-18
Filing date: 2019-06-18
Publication date: 2023-04-21
Anticipated expiration: 2039-06-18
Also published as: JP2020204563A

Description

この発明は、モーメントを計測するモーメントセンサに関する。 The present invention relates to a moment sensor that measures moment.

従来から、モーメントを計測するモーメントセンサが知られている（例えば特許文献１参照）。 2. Description of the Related Art Conventionally, a moment sensor for measuring moment is known (see Patent Document 1, for example).

特開２００２－１３９３９１号公報JP-A-2002-139391

一方、モーメントセンサが用いられるロボット等では高度化が進んでおり、モーメントセンサ自体の精度に対する要求レベルも向上し、常に改善が求められている。 On the other hand, robots and the like that use moment sensors are becoming more sophisticated, and the level of accuracy required for the moment sensors themselves is also increasing, and there is a constant demand for improvement.

図２に従来のモーメントセンサの構成例を示す。
従来のモーメントセンサは、図２に示すように、台座１０１、板状部１０２及びセンシング部１０３を備えている。なお、図２に示すモーメントセンサでは、計測対象である物体が有する設置面に台座１０１を連結するための連結部については図示を省略している。 FIG. 2 shows a configuration example of a conventional moment sensor.
A conventional moment sensor includes a pedestal 101, a plate-like portion 102, and a sensing portion 103, as shown in FIG. In the moment sensor shown in FIG. 2, illustration of a connecting portion for connecting the pedestal 101 to the installation surface of the object to be measured is omitted.

台座１０１は、１つのブロック状部材に矩形状の開口が２つ形成されることで、台座部１０１１、台座部１０１２及び台座部１０１３が構成されている。この場合、台座部１０１３は、３枚の薄板部材から構成される。
板状部１０２は、台座部１０１１と台座部１０１２とを橋渡しするように接続されている。
センシング部１０３は、板状部１０２上に取付けられている。 The pedestal 101 includes a pedestal portion 1011, a pedestal portion 1012, and a pedestal portion 1013 by forming two rectangular openings in one block-shaped member. In this case, the base portion 1013 is composed of three thin plate members.
Plate-like portion 102 is connected so as to bridge pedestal portion 1011 and pedestal portion 1012 .
The sensing part 103 is attached on the plate-like part 102 .

図２に示すモーメントセンサでは、台座部１０１１と台座部１０１２を互い違いに変位させる力が加えられると、センシング部１０３にせん断が生じる。よって、センシング部１０３は上記力により生じるモーメントを計測可能である。 In the moment sensor shown in FIG. 2 , when a force is applied to alternately displace the pedestal 1011 and the pedestal 1012 , the sensing section 103 is sheared. Therefore, the sensing unit 103 can measure the moment generated by the force.

一方、図２に示すモーメントセンサでは、温度変化が生じると、台座部１０１３での伸縮の影響が板状部１０２に伝達され、センシング部１０３にも不要な歪が生じてしまう。このため、台座１０１に使用できる材料が制約を受け、更に、計測対象も制約を受けることになる。 On the other hand, in the moment sensor shown in FIG. 2, when the temperature changes, the influence of the expansion and contraction of the pedestal portion 1013 is transmitted to the plate-like portion 102, and the sensing portion 103 is also distorted unnecessarily. Therefore, the material that can be used for the base 101 is restricted, and the measurement target is also restricted.

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、従来構成に対して精度を向上可能なモーメントセンサを提供することを目的としている。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a moment sensor capable of improving the accuracy as compared with the conventional structure.

この発明に係るモーメントセンサは、センシング部、及び当該センシング部が取付けられた取付部材から成るセンシングユニット部と、センシングユニット部が取付けられた台座とを備え、台座は、第１の台座部、第２の台座部、及び、当該第１の台座部が有する一側面と当該第２の台座部が有する一側面とを接続した第３の台座部を有し、センシングユニット部は、幅広面が第１の台座部が有する一側面を向き、一端が当該第１の台座部が有する上面に接続された第１の板状部と、幅広面が第２の台座部が有する一側面を向き、一端が当該第２の台座部が有する上面に接続された第２の板状部と、一端が第１の板状部の他端側に接続され、他端が第２の板状部の他端側に接続された連結棒とを備え、センシング部は、第１の板状部が有する２つの幅広面及び第２の板状部が有する２つの幅広面のうちの少なくとも１つの面に取付けられ、第１の板状部及び第２の板状部は、台座に対し、センシング部と熱物性の近い材料から構成され、連結棒は、第１の板状部及び第２の板状部に対し、台座と熱物性の近い材料から構成されたことを特徴とする。 A moment sensor according to the present invention includes a sensing unit portion including a sensing portion, a mounting member to which the sensing portion is mounted, and a pedestal to which the sensing unit portion is mounted. 2 pedestal portions, and a third pedestal portion connecting one side surface of the first pedestal portion and one side surface of the second pedestal portion. A first plate-shaped portion having one end facing one side surface of the first pedestal portion and connected to the upper surface of the first pedestal portion, and a wide surface facing one side surface of the second pedestal portion, is connected to the upper surface of the second pedestal, one end is connected to the other end of the first plate-shaped part, and the other end is the other end of the second plate-shaped part and a connecting rod connected to the side, and the sensing portion is attached to at least one of the two wide surfaces of the first plate-like portion and the two wide surfaces of the second plate-like portion. , the first plate-shaped portion and the second plate-shaped portion are made of a material having thermophysical properties similar to those of the sensing portion with respect to the pedestal, and the connecting rod is attached to the first plate-shaped portion and the second plate-shaped portion. On the other hand, it is characterized by being made of a material having thermophysical properties close to those of the pedestal.

この発明によれば、上記のように構成したので、従来構成に対して精度を向上可能である。 According to this invention, since it is configured as described above, it is possible to improve the accuracy compared to the conventional configuration.

実施の形態１に係るモーメントセンサの構成例を示す斜視図である。1 is a perspective view showing a configuration example of a moment sensor according to Embodiment 1; FIG. 従来のモーメントセンサの構成例を示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing a configuration example of a conventional moment sensor;

以下、この発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
実施の形態１．
図１は実施の形態１に係るモーメントセンサの構成例を示す斜視図である。
モーメントセンサは、モーメントを計測する。モーメントセンサは、図１に示すように、台座１、板状部（第１の板状部）２、板状部（第２の板状部）３、センシング部４、連結棒５、連結部（第１の連結部）６、連結部（第２の連結部）７、連結部（第３の連結部）８及び連結部（第４の連結部）９を備えている。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
Embodiment 1.
FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a moment sensor according to Embodiment 1. FIG.
A moment sensor measures a moment. The moment sensor, as shown in FIG. A (first connecting portion) 6 , a connecting portion (second connecting portion) 7 , a connecting portion (third connecting portion) 8 and a connecting portion (fourth connecting portion) 9 are provided.

台座１は、台座部（第１の台座部）１１、台座部（第２の台座部）１２及び台座部（第３の台座部）１３を有している。台座１は、例えばステンレスから構成される。 The pedestal 1 has a pedestal portion (first pedestal portion) 11 , a pedestal portion (second pedestal portion) 12 and a pedestal portion (third pedestal portion) 13 . The base 1 is made of, for example, stainless steel.

台座部１１は、ブロック状の部材である。
台座部１２は、ブロック状の部材である。
台座部１３は、台座部１１が有する一側面と台座部１２が有する一側面とを接続する。 The pedestal portion 11 is a block-shaped member.
The pedestal portion 12 is a block-shaped member.
The pedestal portion 13 connects one side surface of the pedestal portion 11 and one side surface of the pedestal portion 12 .

台座１は、例えば、１つのブロック状部材に矩形状の開口が１つ以上（図１では２つ）形成されることで、台座部１１、台座部１２及び台座部１３が構成される。図１に示す台座１では、台座部１３は３枚の薄板部材から構成される。 The pedestal 1 includes, for example, one block-shaped member and one or more rectangular openings (two in FIG. 1), thereby forming a pedestal 11, a pedestal 12, and a pedestal 13. As shown in FIG. In the pedestal 1 shown in FIG. 1, the pedestal portion 13 is composed of three thin plate members.

板状部２は、幅広面が台座部１１が有する上記一側面を向き、一端が台座部１１が有する上面に接続されている。板状部２は、台座１に対し、センシング部４と熱物性（熱膨張係数）の近い材料から構成されている。例えば、センシング部４がシリコンから構成されたセンサ素子である場合には、板状部２は、鉄にニッケル及びコバルトを配合した合金等から構成される。
図１では、板状部２は、台座部１１が有する上面における、台座部１１が有する上記一側面付近に、配置されている。 The plate-like portion 2 has a wide surface facing the one side surface of the pedestal portion 11 and one end connected to the upper surface of the pedestal portion 11 . The plate-like portion 2 is made of a material having thermophysical properties (thermal expansion coefficient) similar to those of the sensing portion 4 with respect to the base 1 . For example, when the sensing part 4 is a sensor element made of silicon, the plate-like part 2 is made of an alloy of iron mixed with nickel and cobalt.
In FIG. 1 , the plate-like portion 2 is arranged near the one side surface of the base portion 11 on the upper surface of the base portion 11 .

板状部３は、幅広面が台座部１２が有する上記一側面を向き、一端が台座部１２が有する上面に接続されている。板状部３は、台座１に対し、センシング部４と熱物性（熱膨張係数）の近い材料から構成されている。例えば、センシング部４がシリコンから構成されたセンサ素子である場合には、板状部３は、鉄にニッケル及びコバルトを配合した合金等から構成される。
図１では、板状部３は、台座部１２が有する上面における、台座部１２が有する上記一側面付近に、配置されている。 The plate-like portion 3 has a wide surface facing the one side surface of the pedestal portion 12 and one end connected to the upper surface of the pedestal portion 12 . The plate-like portion 3 is made of a material having a thermophysical property (thermal expansion coefficient) close to that of the sensing portion 4 with respect to the base 1 . For example, when the sensing part 4 is a sensor element made of silicon, the plate-like part 3 is made of an alloy of iron mixed with nickel and cobalt.
In FIG. 1 , the plate-like portion 3 is arranged near the one side surface of the base portion 12 on the upper surface of the base portion 12 .

センシング部４は、板状部２が有する２つの幅広面及び板状部３が有する２つの幅広面のうちの少なくとも１つの面に取付けられている。図１では、センシング部４は、板状部２が有する外側の幅広面に搭載されている。センシング部４としては、例えば、センサ素子、歪ゲージ、又は成膜された抵抗ゲージが挙げられる。図１では、センシング部４としてセンサ素子が用いられている。 The sensing portion 4 is attached to at least one of the two wide surfaces of the plate-like portion 2 and the two wide surfaces of the plate-like portion 3 . In FIG. 1 , the sensing section 4 is mounted on the wide outer surface of the plate-like section 2 . The sensing unit 4 may be, for example, a sensor element, a strain gauge, or a film-formed resistance gauge. A sensor element is used as the sensing unit 4 in FIG.

連結棒５は、一端が板状部２の他端側に接続され、他端が板状部３の他端側に接続されている。連結棒５は、板状部２及び板状部３に対し、台座１と熱物性（熱膨張係数）の近い材料から構成されている。連結棒５は、例えば、台座１と同一材料から構成される。 The connecting rod 5 has one end connected to the other end side of the plate-like portion 2 and the other end connected to the other end side of the plate-like portion 3 . The connecting rod 5 is made of a material having a thermophysical property (thermal expansion coefficient) close to that of the base 1 with respect to the plate-like portions 2 and 3 . The connecting rod 5 is made of the same material as the base 1, for example.

なお、板状部（第１の板状部）２、板状部（第２の板状部）３及び連結棒５は、センシング部４が取付けられた取付部材を構成する。
また、センシング部４及び取付部材は、センシングユニット部を構成する。 The plate-like portion (first plate-like portion) 2, the plate-like portion (second plate-like portion) 3, and the connecting rod 5 constitute an attachment member to which the sensing portion 4 is attached.
Further, the sensing section 4 and the mounting member constitute a sensing unit section.

連結部６～９は、計測対象である物体が有する設置面に台座１をネジ等により連結するための部位である。図１では、連結部６～９は台座１と一体に構成されているが、これに限らず、別体に構成されていてもよい。 The connecting portions 6 to 9 are portions for connecting the pedestal 1 to the installation surface of the object to be measured by screws or the like. In FIG. 1, the connecting portions 6 to 9 are configured integrally with the pedestal 1, but the configuration is not limited to this, and they may be configured separately.

連結部６は、板状部材である。連結部６は、一端が、台座１が有する一対の側面のうちの一方に接続されている。図１では、連結部６は、一端が、台座１の短手方向における一方の側面の一端側に、下面が台座１が有する下面に連なって接続されている。また、連結部６には、ネジ穴６１が設けられている。 The connecting portion 6 is a plate-like member. One end of the connecting portion 6 is connected to one of the pair of side surfaces of the base 1 . In FIG. 1 , one end of the connecting portion 6 is connected to one end of one lateral side of the pedestal 1 in the lateral direction, and the lower surface thereof is connected to the lower surface of the pedestal 1 . Further, the connecting portion 6 is provided with a screw hole 61 .

連結部７は、板状部材である。連結部７は、一端が、台座１が有する一対の側面のうちの一方に、連結部６と並んで接続されている。図１では、連結部７は、一端が、台座１の短手方向における一方の側面の他端側に、下面が台座１が有する下面に連なって接続されている。また、連結部７には、ネジ穴７１が設けられている。 The connecting portion 7 is a plate-like member. One end of the connecting portion 7 is connected to one of the pair of side surfaces of the base 1 in parallel with the connecting portion 6 . In FIG. 1 , the connecting portion 7 has one end connected to the other side of one lateral side of the pedestal 1 , and a lower surface connected to the lower surface of the pedestal 1 . Further, the connecting portion 7 is provided with a screw hole 71 .

連結部８は、板状部材である。連結部８は、一端が、台座１が有する一対の側面のうちの他方に接続されている。図１では、連結部８は、一端が、台座１の短手方向における他方の側面の一端側に、下面が台座１が有する下面に連なって接続されている。また、連結部８には、ネジ穴８１（不図示）が設けられている。 The connecting portion 8 is a plate-like member. One end of the connecting portion 8 is connected to the other of the pair of side surfaces of the base 1 . In FIG. 1 , one end of the connecting portion 8 is connected to one end of the other side surface of the base 1 in the short direction, and the lower surface thereof is connected to the lower surface of the base 1 . Further, the connecting portion 8 is provided with a screw hole 81 (not shown).

連結部９（不図示）は、板状部材である。連結部９は、一端が、台座１が有する一対の側面のうちの他方に、連結部８と並んで接続されている。図１では、連結部９は、一端が、台座１の短手方向における他方の側面の他端側に、下面が台座１が有する下面に連なって接続されている。また、連結部９には、ネジ穴９１（不図示）が設けられている。 The connecting portion 9 (not shown) is a plate-like member. One end of the connecting portion 9 is connected to the other of the pair of side surfaces of the base 1 in parallel with the connecting portion 8 . In FIG. 1 , one end of the connecting portion 9 is connected to the other end of the other side surface of the base 1 in the short direction, and the lower surface thereof is connected to the lower surface of the base 1 . Further, the connecting portion 9 is provided with a screw hole 91 (not shown).

なお図１では、連結部６～９がそれぞれ板状部材である場合を示した。しかしながら、これに限らず、連結部６～９は、計測対象である物体が有する設置面に台座１を連結可能であればよい。 Note that FIG. 1 shows a case where the connecting portions 6 to 9 are each plate-shaped members. However, the connection parts 6 to 9 are not limited to this, as long as they can connect the pedestal 1 to the installation surface of the object to be measured.

図１に示すモーメントセンサでは、台座部１１と台座部１２を互い違いに変位させる力が加えられると、台座部１１及び台座部１２は変位するが連結棒５は変位しないため、センシング部４にせん断が生じる。よって、センシング部４は上記力により生じるモーメントを計測可能である。 In the moment sensor shown in FIG. 1, when a force is applied to alternately displace the pedestals 11 and 12, the pedestals 11 and 12 are displaced but the connecting rod 5 is not displaced. occurs. Therefore, the sensing unit 4 can measure the moment generated by the force.

次に、図１に示すモーメントセンサによる効果について説明する。
図２に示す従来のモーメントセンサでは、板状部１０２が台座部１０１１及び台座部１０１２を橋渡しするように配置されており、すなわち、板状部１０２が熱変形を抑制するような配置とされている。この従来のモーメントセンサでは、十分な熱応力の抑制がされず、温度変化によりセンシング部１０３に不要な歪が生じることになる。 Next, the effect of the moment sensor shown in FIG. 1 will be described.
In the conventional moment sensor shown in FIG. 2, the plate-like portion 102 is arranged to bridge the pedestal portions 1011 and 1012, that is, the plate-like portion 102 is arranged to suppress thermal deformation. there is In this conventional moment sensor, the thermal stress is not sufficiently suppressed, and unnecessary distortion occurs in the sensing section 103 due to temperature changes.

これに対し、実施の形態１に係るモーメントセンサでは、板状部２及び板状部３は、連結棒５側が拘束されておらず、長手方向に自由に伸縮可能に構成されている。また、板状部２及び板状部３は、台座１に対し、センシング部４と熱物性の近い材料から構成されている。これにより、実施の形態１に係るモーメントセンサは、従来構成に対して熱応力が抑制され、すなわち、温度変化によりセンシング部４に不要な歪が生じることを軽減可能となる。
また、実施の形態１に係るモーメントセンサは、連結棒５が、板状部２及び板状部３に対し、台座１と熱物性の近い材料から構成されている。これにより、実施の形態１に係るモーメントセンサは、温度変化により板状部２及び板状部３が曲げられる影響も軽減可能となる。 In contrast, in the moment sensor according to the first embodiment, the plate-like portions 2 and 3 are not constrained on the connecting rod 5 side, and are configured to be freely extendable and contractible in the longitudinal direction. Further, the plate-like portion 2 and the plate-like portion 3 are made of a material having thermophysical properties similar to those of the sensing portion 4 with respect to the base 1 . As a result, the moment sensor according to the first embodiment has less thermal stress than the conventional configuration, that is, it is possible to reduce unnecessary strain in the sensing section 4 due to temperature change.
Further, in the moment sensor according to the first embodiment, the connecting rod 5 is made of a material having thermophysical properties close to those of the base 1 with respect to the plate-like portions 2 and 3 . As a result, the moment sensor according to the first embodiment can reduce the influence of bending of the plate-like portions 2 and 3 due to temperature changes.

なお図１では、モーメントセンサが板状部２，３を有する場合を示した。しかしながら、これに限らず、モーメントセンサは、板状部２，３に代えて、２つの四角柱部材である棒部（第１の棒部及び第２の棒部）を有していてもよい。
この場合、一方の棒部は、一側面が台座部１１が有する上記一側面を向き、一端が台座部１１が有する上面に接続される。また、他方の棒部は、一側面が台座部１２が有する上記一側面を向き、一端が台座部１２が有する上面に接続される。２つの棒部の材質については板状部２，３と同様である。また、センシング部４は、一方の棒部が有する４つの側面及び他方の棒部が有する４つの側面のうちの少なくとも１つの面に取付けられる。 Note that FIG. 1 shows the case where the moment sensor has plate-like portions 2 and 3 . However, the present invention is not limited to this, and instead of the plate-like portions 2 and 3, the moment sensor may have rod portions (a first rod portion and a second rod portion) that are two quadrangular prism members. .
In this case, one of the rods has one side facing the one side of the pedestal 11 and one end connected to the upper surface of the pedestal 11 . The other rod portion has one side surface facing the one side surface of the pedestal portion 12 and one end connected to the upper surface of the pedestal portion 12 . The materials of the two bar portions are the same as those of the plate-like portions 2 and 3 . Also, the sensing part 4 is attached to at least one of the four side surfaces of one rod and the four side surfaces of the other rod.

以上のように、この実施の形態１によれば、モーメントセンサは、センシング部４、及び当該センシング部４が取付けられた取付部材から成るセンシングユニット部と、センシングユニット部が取付けられた台座１とを備え、台座１は、台座部１１、台座部１２、及び、当該台座部１１が有する一側面と当該台座部１２が有する一側面とを接続した台座部１３を有し、センシングユニット部は、幅広面が台座部１１が有する一側面を向き、一端が当該台座部１１が有する上面に接続された板状部２と、幅広面が台座部１２が有する一側面を向き、一端が当該台座部１２が有する上面に接続された板状部３と、一端が板状部２の他端側に接続され、他端が板状部３の他端側に接続された連結棒５とを備え、センシング部４は、板状部２が有する２つの幅広面及び板状部３が有する２つの幅広面のうちの少なくとも１つの面に取付けられ、板状部２及び板状部３は、台座１に対し、センシング部４と熱物性の近い材料から構成され、連結棒５は、板状部２及び板状部３に対し、台座１と熱物性の近い材料から構成された。これにより、実施の形態１に係るモーメントセンサは、従来構成に対して精度を向上可能である。 As described above, according to the first embodiment, the moment sensor includes the sensing unit portion including the sensing portion 4 and the mounting member to which the sensing portion 4 is mounted, and the pedestal 1 to which the sensing unit portion is mounted. The pedestal 1 has a pedestal portion 11, a pedestal portion 12, and a pedestal portion 13 connecting one side surface of the pedestal portion 11 and one side surface of the pedestal portion 12, and the sensing unit portion includes: A plate-like portion 2 having a wide surface facing one side surface of the pedestal portion 11 and having one end connected to the upper surface of the pedestal portion 11; A plate-shaped portion 3 connected to the upper surface of 12, and a connecting rod 5 having one end connected to the other end side of the plate-shaped portion 2 and the other end connected to the other end side of the plate-shaped portion 3, The sensing part 4 is attached to at least one of the two wide surfaces of the plate-like part 2 and the two wide surfaces of the plate-like part 3 . On the other hand, the connecting rod 5 is made of a material having a thermophysical property close to that of the sensing portion 4 , and the connecting rod 5 is made of a material having a thermophysical property similar to that of the base 1 with respect to the plate-like portions 2 and 3 . Thereby, the moment sensor according to the first embodiment can improve the accuracy as compared with the conventional configuration.

なお、本願発明はその発明の範囲内において、実施の形態の任意の構成要素の変形、若しくは実施の形態の任意の構成要素の省略が可能である。 It should be noted that, within the scope of the present invention, any component of the embodiment can be modified or any component of the embodiment can be omitted.

１台座
２板状部（第１の板状部）
３板状部（第２の板状部）
４センシング部
５連結棒
６連結部（第１の連結部）
７連結部（第２の連結部）
８連結部（第３の連結部）
９連結部（第４の連結部）
１１台座部
１２台座部
１３台座部
６１ネジ穴
７１ネジ穴
８１ネジ穴
９１ネジ穴 1 pedestal 2 plate-like portion (first plate-like portion)
3 plate-shaped part (second plate-shaped part)
4 sensing part 5 connecting rod 6 connecting part (first connecting part)
7 connecting part (second connecting part)
8 connecting part (third connecting part)
9 connecting portion (fourth connecting portion)
11 Pedestal 12 Pedestal 13 Pedestal 61 Screw hole 71 Screw hole 81 Screw hole 91 Screw hole

Claims

a sensing unit portion comprising a sensing portion and an attachment member to which the sensing portion is attached;
a pedestal on which the sensing unit is attached,
The pedestal has a first pedestal, a second pedestal, and a third pedestal connecting one side of the first pedestal and one side of the second pedestal. death,
The sensing unit section
a first plate-shaped portion having a wide surface facing the one side surface of the first pedestal portion and having one end connected to the upper surface of the first pedestal portion;
a second plate-shaped portion having a wide surface facing the one side surface of the second pedestal portion and having one end connected to the upper surface of the second pedestal portion;
a connecting rod having one end connected to the other end side of the first plate-shaped portion and the other end connected to the other end side of the second plate-shaped portion;
The sensing unit is attached to at least one surface of two wide surfaces of the first plate-shaped portion and two wide surfaces of the second plate-shaped portion,
The first plate-shaped portion and the second plate-shaped portion are made of a material having a thermophysical property similar to that of the sensing portion with respect to the pedestal,
The moment sensor, wherein the connecting rod is made of a material having a thermophysical property similar to that of the pedestal with respect to the first plate-like portion and the second plate-like portion.

a sensing unit portion comprising a sensing portion and an attachment member to which the sensing portion is attached;
a pedestal on which the sensing unit is attached,
The pedestal has a first pedestal, a second pedestal, and a third pedestal connecting one side of the first pedestal and one side of the second pedestal. death,
The sensing unit section
a first rod portion which is a quadrangular prism member having one side surface facing the one side surface of the first pedestal portion and one end connected to the upper surface of the first pedestal portion;
a second rod portion which is a quadrangular prism member having one side surface facing the one side surface of the second pedestal portion and one end connected to the upper surface of the second pedestal portion;
A connecting rod having one end connected to the other end side of the first rod portion and the other end connected to the other end side of the second rod portion,
The sensing unit is attached to at least one of the four side surfaces of the first rod and the four side surfaces of the second rod;
The first rod portion and the second rod portion are made of a material having a thermophysical property similar to that of the sensing portion with respect to the pedestal,
The moment sensor, wherein the connecting rod is made of a material having a thermophysical property close to that of the pedestal with respect to the first rod portion and the second rod portion.

The sensing unit is a sensor element made of silicon,
2. The moment sensor according to claim 1, wherein the first plate-like portion and the second plate-like portion are made of an alloy of iron mixed with nickel and cobalt.

The sensing unit is a sensor element made of silicon,
3. The moment sensor according to claim 2, wherein the first rod portion and the second rod portion are made of an alloy of iron mixed with nickel and cobalt.

The moment sensor according to any one of claims 1 to 4, wherein the connecting rod is made of the same material as the pedestal .

The pedestal is characterized in that the first pedestal portion, the second pedestal portion, and the third pedestal portion are configured by forming a rectangular opening in one block-shaped member. Moment sensor according to any one of claims 1 to 5.