JP7126285B1 - 電子部品の処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】検査精度の向上に有用な電子部品の処理装置を提供する。【解決手段】本開示の一側面に係る電子部品の処理装置は、電子部品を保持する部品保持部と、所定の検査位置を通る円軌道に位置するように部品保持部を支持する支持部と、円軌道の中心軸まわりに支持部を回転させる搬送駆動部と、検査位置に配置された部品保持部が保持する電子部品の検査面を撮像可能な撮像部と、検査面の位置を示す位置情報を取得する位置センサと、検査面に対して撮像部のピントを合わせる焦点調節部と、を備える。【選択図】図２

Description

本開示は、電子部品の処理装置に関する。

特許文献１には、電子部品の側部の外観検査を行う外観検査装置が開示されている。この外観検査装置は、複数の電子部品をそれぞれ保持する複数の支持部が、回転軸を中心に間欠的に回転して、電子部品を撮像位置に配置する回転体と、撮像位置に配置された電子部品の側部を撮像する撮像手段とを備えている。

特開２０１６－９９２３６号公報

本開示は、検査精度の向上に有用な電子部品の処理装置を提供する。

本開示の一側面に係る電子部品の処理装置は、電子部品を保持する部品保持部と、所定の検査位置を通る円軌道に位置するように部品保持部を支持する支持部と、円軌道の中心軸まわりに支持部を回転させる搬送駆動部と、検査位置に配置された部品保持部が保持する電子部品の検査面を撮像可能な撮像部と、検査面の位置を示す位置情報を取得する位置センサと、検査面に対して撮像部のピントを合わせる焦点調節部と、を備える。

本開示によれば、検査精度の向上に有用な電子部品の処理装置が提供される。

図１は、第１実施形態に係る電子部品の処理装置の一例を模式的に示す側面図である。 図２は、外観検査ユニットの一例を示す模式図である。 図３は、コントローラの機能構成の一例を示すブロック図である。 図４は、コントローラのハードウェア構成の一例を示すブロック図である。 図５は、コントローラが実行する一連の制御処理の一例を示すフローチャートである。 図６（ａ）は、検査面の位置測定時に形成される光路の一例を示す模式図である。図６（ｂ）は、検査面の撮像時に形成される光路の一例を示す模式図である。 図７は、電子部品の処理装置の一例を模式的に示す側面図である。 図８は、段差を有する電子部品に対する外観検査の様子を模式的に示す側面図である。 図９は、コントローラが実行する一連の制御処理の一例を示すフローチャートである。 図１０（ａ）は、外観検査ユニット及び位置センサの一例を示す模式図である。図１０（ｂ）は、外観検査ユニット及び位置センサの一例を示す模式図である。 図１１は、第２実施形態に係る電子部品の処理装置の一例を模式的に示す側面図である。 図１２は、第３実施形態に係る電子部品の処理装置の一例を模式的に示す平面図である。 図１３は、電子部品の検査動作の様子を模式的に示す側面図である。

以下、図面を参照して一実施形態について説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。図面には必要に応じてＸＹＺ直交座標系が示される。例えば、Ｘ軸及びＹ軸が水平方向であり、Ｚ軸が鉛直方向である。

［第１実施形態］
最初に、図１～図９を参照しながら、第１実施形態に係る電子部品の処理装置について説明する。図１及び図２に示される電子部品の処理装置１は、所謂ダイソータである。処理装置１は、複数の電子部品Ｗを順に搬送しながら、外観検査等の処理を施した上でウェハシート、キャリアテープ、又はトレイ等の収容部材に梱包する装置である。処理対象の電子部品Ｗは、例えば、半導体製造の前工程で形成された後にダイシング等によって個片化された部品である。

図１に示されるように、処理装置１は、搬送処理ユニット２と、コントローラ１００とを備える。搬送処理ユニット２は、電子部品Ｗを搬送しながら、電子部品Ｗに対して所定の処理を施すユニットである。搬送処理ユニット２は、回転搬送ユニット４と、複数の処理ユニット６とを有する。

（回転搬送ユニット）
回転搬送ユニット４は、電子部品Ｗを所定の円軌道ＣＲに沿って搬送する。搬送対象の電子部品Ｗは、例えば、互いに平行な（互いに逆向きの）主面Ｗａ，Ｗｂと、主面Ｗａ及び主面Ｗｂを接続する４つの側面Ｗｃとを有する（図２も参照）。各側面Ｗｃは、主面Ｗａ，Ｗｂに対して直交していてもよい。各側面Ｗｃは、平面状に形成されていてもよい。回転搬送ユニット４は、例えば、支持部４２と、複数の部品保持部４４と、搬送駆動部４６と、複数の進退駆動部４８とを有する。

支持部４２は、複数の部品保持部４４を支持する。支持部４２は、各部品保持部４４が所定の円軌道ＣＲに位置するように、複数の部品保持部４４を支持する。支持部４２は、円軌道ＣＲの中心軸Ａｘまわりに回転可能となるように設けられている。円軌道ＣＲは鉛直な円軌道であってもよく、中心軸Ａｘは水平な軸線であってもよい（水平な一方向に沿って延びていてもよい）。支持部４２は、例えば、ターンテーブルである。

複数の部品保持部４４は、中心軸Ａｘを中心とする円周に沿って等間隔に配置されており、支持部４２に固定されている。複数の部品保持部４４それぞれは、電子部品Ｗを保持する。部品保持部４４は、いかなる方式で電子部品Ｗを保持してもよい。部品保持部４４は、例えば、中心軸Ａｘを中心とする円周の径方向において一方側から、主面Ｗａ，Ｗｂのいずれかを真空吸着する。以下の説明では、円軌道の中心軸を基準として「内」及び「外」の用語を使用する。部品保持部４４は、吸着部５２と、ホルダ５４とを有する。

吸着部５２（部品保持部）は、円軌道ＣＲの径方向に沿って延びるように形成されている。吸着部５２は、その吸着面が円軌道ＣＲの外を向くように、ホルダ５４を介して支持部４２に設けられている（固定されている）。吸着部５２は、その吸着面を含む先端部分が、円軌道ＣＲに位置するように支持部４２に設けられている。吸着部５２は、自身の外側に電子部品Ｗが位置するように、電子部品Ｗの一方の主面（例えば、主面Ｗａ）を吸着する。この場合、円軌道ＣＲの半径に沿って、中心軸Ａｘ、吸着部５２、及び電子部品Ｗがこの順で並ぶ。ホルダ５４は、吸着部５２を変位可能に保持し、支持部４２の外周部に固定されている。

搬送駆動部４６は、円軌道ＣＲの中心軸Ａｘまわりに支持部４２を回転させるように構成されている。搬送駆動部４６は、例えば、電動モータ等の動力源を用いて、ギヤを介さないダイレクトドライブによって中心軸Ａｘまわりに支持部４２を回転させる。支持部４２の回転により、中心軸Ａｘを中心とする鉛直な円軌道ＣＲに沿って、複数の部品保持部４４（複数の吸着部５２）が移動する。その結果、部品保持部４４によって保持されている電子部品Ｗが、円軌道ＣＲに沿って搬送される。

搬送駆動部４６は、円軌道ＣＲ上において隣り合う部品保持部４４同士の角度ピッチ（中心軸Ａｘまわりの角度ピッチ）にて、支持部４２の回転と停止とを繰り返すように制御される。以下では、搬送駆動部４６が支持部４２を停止させる際に複数の部品保持部４４それぞれが配置される複数の位置を「複数の停止位置ＳＰ」という。例えば、停止位置ＳＰに部品保持部４４が配置された状態では、その部品保持部４４の吸着部５２が停止位置ＳＰに位置する。

複数の進退駆動部４８は、いくつかの停止位置ＳＰにそれぞれ対応するように配置されている。進退駆動部４８は、対応する停止位置ＳＰにおいて、部品保持部４４を円軌道ＣＲの径方向に沿って移動させるように構成されている。進退駆動部４８は、例えば、対応する停止位置ＳＰにおいて、部品保持部４４の吸着部５２を中心軸Ａｘから円軌道ＣＲの外側に向かって移動させる。

吸着部５２を円軌道ＣＲの径方向に沿って移動させる必要がない停止位置ＳＰには、進退駆動部が設けられていなくてもよい。複数の進退駆動部４８は、支持部４２の回転と共に移動しないように設けられている。進退駆動部４８は、対応する停止位置ＳＰに配置された状態の部品保持部４４よりも内側に位置する。進退駆動部４８は、対応する停止位置ＳＰに順次配置されてくる部品保持部４４を円軌道ＣＲの径方向に沿って外方へ移動させる。

（処理ユニット）
複数の処理ユニット６は、いくつかの停止位置ＳＰにそれぞれ対応するように設けられている。処理ユニット６は、対応する停止位置ＳＰに配置された部品保持部４４が保持する電子部品Ｗに対して所定の処理を施すように構成されている。本開示において、電子部品Ｗに対して行う「処理」は、電子部品Ｗの状態を変化させるあらゆる行為を含む。

一例では、電子部品Ｗにマーキング等を施すこと、電子部品Ｗを部品保持部４４に保持させること（引き渡すこと）、及び部品保持部４４から電子部品Ｗを回収すること（受け取ること）は、「処理」に該当する。また、電子部品Ｗに対する何らかの検査を実行することも、検査データが未知の状態を検査データが既知の状態に変化させるので「処理」に該当する。複数の処理ユニット６は、例えば、部品供給ユニット１２と、部品回収ユニット１４と、外観検査ユニット２０とを含む。

部品供給ユニット１２は、回転搬送ユニット４に対して電子部品Ｗを供給するユニットである。部品供給ユニット１２は、いずれかの停止位置ＳＰに対応するように配置されており、その停止位置ＳＰに配置される部品保持部４４に対して電子部品Ｗを供給する。以下では、部品供給ユニット１２から回転搬送ユニット４に対して電子部品Ｗが供給される停止位置ＳＰを「供給用の停止位置ＳＰ」という。供給用の停止位置ＳＰは、中心軸Ａｘに垂直な水平方向（例えば、図示のＸ軸方向）において、一方の端部に位置していてもよい。供給用の停止位置ＳＰでは、上記進退駆動部４８によって、部品保持部４４が電子部品Ｗを受け取るために円軌道ＣＲの径方向に沿って移動する。

部品供給ユニット１２は、例えば、複数の電子部品Ｗが貼付されたウェハシートから、回転搬送ユニット４に対して電子部品Ｗを供給する。部品供給ユニット１２は、ウェハシートに貼付されている複数の電子部品Ｗそれぞれを、供給用の停止位置ＳＰに配置された吸着部５２に対向する位置まで順に搬送する。ウェハシート上の一つの電子部品Ｗが、吸着部５２に対向する位置まで搬送された状態で、その吸着部５２が、進退駆動部４８により円軌道ＣＲの径方向に移動しつつ、部品供給ユニット１２から電子部品Ｗを受け取る。供給用の停止位置ＳＰにおいて吸着部５２が電子部品Ｗを受け取ることで、部品供給ユニット１２から回転搬送ユニット４に電子部品Ｗが供給される。

部品回収ユニット１４は、回転搬送ユニット４から電子部品Ｗを回収するユニットである。部品回収ユニット１４は、供給用の停止位置ＳＰ以外のいずれかの停止位置ＳＰに対応するように配置されており、その停止位置ＳＰに配置された部品保持部４４から電子部品Ｗを回収する。以下では、回転搬送ユニット４から部品回収ユニット１４に電子部品Ｗが回収される停止位置ＳＰを「回収用の停止位置ＳＰ」という。回収用の停止位置ＳＰは、中心軸Ａｘに垂直な上記水平方向において、供給用の停止位置ＳＰとは反対側の他方の端部に位置していてもよい。回収用の停止位置ＳＰでは、上記進退駆動部４８によって、部品保持部４４が電子部品Ｗを受け取るために円軌道ＣＲの径方向に沿って移動する。

部品回収ユニット１４は、例えば、複数の電子部品Ｗを貼付により収容可能なウェハシートに、回転搬送ユニット４から電子部品Ｗを回収する。部品回収ユニット１４は、ウェハシート上の貼付予定の複数の領域それぞれを、回収用の停止位置ＳＰに配置された吸着部５２に対向する位置まで順に搬送する。ウェハシート上の一つの収容予定の領域が吸着部５２に対向する位置まで搬送された状態で、吸着部５２が、進退駆動部４８により円軌道ＣＲの径方向に移動しつつ、部品回収ユニット１４に電子部品Ｗを引き渡す。回収用の停止位置ＳＰにおいて吸着部５２が電子部品Ｗを引き渡すことで、回転搬送ユニット４から部品回収ユニット１４に電子部品Ｗが回収される。

上述の例では、供給用の停止位置ＳＰ、中心軸Ａｘ、及び回収用の停止位置ＳＰが、上記水平方向において、この順で並ぶ。供給用の停止位置ＳＰに供給された電子部品Ｗは、最も下方に位置する停止位置ＳＰを通り、回収用の停止位置ＳＰまで搬送されてもよい。すなわち、回転搬送ユニット４は、円軌道ＣＲの下半分の軌道において、電子部品Ｗを搬送してもよい。

＜外観検査ユニット＞
外観検査ユニット２０は、円軌道ＣＲのうちの供給用の停止位置ＳＰと回収用の停止位置ＳＰとの間の経路（電子部品Ｗが搬送される経路）上に位置するいずれかの停止位置ＳＰにおいて、電子部品Ｗに対する外観検査を行うユニットである。以下では、外観検査ユニット２０による外観検査が行われる停止位置ＳＰを「検査位置ＩＰ」と称する。例えば、最も下方に位置する停止位置ＳＰが、検査位置ＩＰに設定されている。円軌道ＣＲは、検査位置ＩＰを通っている。

外観検査ユニット２０は、電子部品Ｗに含まれるいずれかの面に対して外観検査を行ってもよい。一例では、電子部品Ｗの一つの側面Ｗｃが、外観検査ユニット２０による検査対象面に設定される。外観検査ユニット２０による外観検査では、検査対象面における異常の有無が検査される。異常の具体例としては、クラックの発生、傷又はチッピング（欠け）の発生、及び、異物の付着が挙げられる。外観検査ユニット２０は、検査対象の側面Ｗｃ（検査面）を撮像することで、検査用の画像データを生成する。

検査対象の側面Ｗｃは、中心軸Ａｘが延びる方向（例えば、図示のＹ軸方向）の一方を向く側面であってもよく、外観検査ユニット２０は、その側面に対向するように配置されていてもよい。図２は、外観検査ユニット２０の一例を示す模式図である。外観検査ユニット２０は、例えば、照明部２２と、撮像部２４と、焦点調節部３６とを有する。

図２には、中心軸Ａｘ（又は、Ｙ軸方向）と平行であり、且つ、検査位置ＩＰに配置された状態の電子部品Ｗを通る仮想的なラインである仮想ラインＩＬ１が示されている。仮想ラインＩＬ１は、理想状態で保持された電子部品Ｗの中心を通る。仮想ラインＩＬ１に沿って、電子部品Ｗ、照明部２２、及び撮像部２４が、この順で配置されている。照明部２２は、検査対象の側面Ｗｃに撮像用の光を照射するように構成されている。照明部２２から照射された光が検査対象の側面Ｗｃで反射し、その反射に伴い発生する反射光の一部が撮像部２４に到達する。照明部２２から照射される光は、可視光であってもよい。照明部２２は、電子部品Ｗと撮像部２４との間での光の進行を阻止しないように形成されている。

撮像部２４は、検査位置ＩＰに配置された部品保持部４４が保持する電子部品Ｗの検査対象面を撮像する。撮像部２４は、検査対象の側面Ｗｃから出射される上記反射光を結像することで、検査対象の側面Ｗｃの撮像を実行するように構成されている。撮像部２４は、例えば、対物レンズ２６と、カメラ２８とを含む。対物レンズ２６及びカメラ２８は、互いに間隔を設けて配置されており、カメラ２８は、仮想ラインＩＬ１に沿って検査対象の側面Ｗｃとの間に対物レンズ２６を挟む。対物レンズ２６は、撮像部２４による被写体である側面Ｗｃの最も近くに配置されるレンズ（光学部品）である。

カメラ２８は、検査位置ＩＰに配置された部品保持部４４が保持する電子部品Ｗの検査対象の側面Ｗｃを撮像可能に設けられる。カメラ２８は、検査対象の側面Ｗｃ全体を撮像可能であってもよい。カメラ２８は、レンズ２８ａと、撮像素子２８ｂとを含んでもよい。レンズ２８ａは、カメラ２８に入射した光を撮像素子２８ｂに結像させる光学部品である。撮像素子２８ｂは、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサ、又はＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサである。

撮像部２４では、対物レンズ２６及びレンズ２８ａを含む複数の光学部品によって、検査対象面からの反射光が撮像素子２８ｂにおいて結像可能である。検査対象からの反射光が結像することで、検査対象の側面Ｗｃの画像データ（撮像データ）が得られる。撮像部２４は、自身に含まれる少なくとも１つの光学部品と、撮像素子２８ｂとの間の相対距離が調節可能に構成されてもよい。この相対距離の変化によって、検査対象の側面Ｗｃに対して撮像部２４のピントが合わせられてもよい。

焦点調節部３６は、検査対象の側面Ｗｃに対して撮像部２４のピントを合わせるように構成されている。焦点調節部３６は、例えば、検査対象の側面Ｗｃに対して撮像部２４のピントを合わせるように、撮像部２４を駆動する。撮像部２４を駆動するとは、撮像部２４自体を移動させること、又は、撮像部２４に含まれる少なくとも１つの部品を移動させることを意味する。上記の少なくとも１つの部品は、光学部品又は撮像素子を含む。

焦点調節部３６は、対物レンズ２６を移動させる駆動部３８を含んでもよい。駆動部３８は、検査対象の側面Ｗｃとカメラ２８とが並ぶ方向（仮想ラインＩＬ１）に沿って、対物レンズ２６の位置を変化させる。仮想ラインＩＬ１に沿って対物レンズ２６の位置が変化することで、検査位置ＩＰに対する撮像部２４の焦点位置が変化する。その結果、検査位置ＩＰに配置された部品保持部４４が保持する電子部品Ｗの検査対象の側面Ｗｃに対して撮像部２４のピントを合わせることができる。駆動部３８は、いずれの駆動方式のものでもあってもよいが、例えば、ピエゾ（圧電素子）を含むピエゾアクチュエータである。

図２には、撮像部２４による被写界深度が「ＤＯＦ」で示されている。被写界深度ＤＯＦは、仮想ラインＩＬ１上の範囲であり、被写体に対して撮像部２４のピント（焦点）が実質的に合った状態で結像する範囲である。被写界深度ＤＯＦに被写体である検査対象の側面Ｗｃが含まれていると、側面Ｗｃの像がばやけることなく撮像素子２８ｂで結像する。検査対象の側面Ｗｃが被写界深度ＤＯＦから外れていると、撮像素子２８ｂの結像面において、その側面Ｗｃの外観検査を行うことができない程度に側面Ｗｃの像がぼやける。撮像部２４の焦点位置の変化によって、被写界深度ＤＯＦの位置が変化する。被写界深度ＤＯＦの大きさ（広さ）は、撮像部２４に含まれるレンズ等の光学系に応じて変化する。撮像部２４の光学系は、外観検査において要求される検査精度に応じて選択されてもよい。

外観検査ユニット２０は、分岐部３２と、位置センサ３０と、フィルタ部３４とを有する。分岐部３２は、仮想ラインＩＬ１に沿って、対物レンズ２６とカメラ２８との間に配置されている。図２には、仮想ラインＩＬ１に直交し、且つ、分岐部３２が配置される位置を起点に鉛直下方に延びる仮想的なラインである仮想ラインＩＬ２が示されている。分岐部３２、フィルタ部３４、及び位置センサ３０は、仮想ラインＩＬ２に沿って、この順で並ぶ。

分岐部３２は、検査対象の側面Ｗｃから仮想ラインＩＬ１に沿って出射される光を分岐する。分岐部３２は、例えば、検査対象の側面Ｗｃからの光を、そのまま仮想ラインＩＬ１に沿ってカメラ２８に向かう第１の光と、仮想ラインＩＬ２に沿って位置センサ３０に向かう第２の光とに分岐する。分岐部３２は、例えば、ビームスプリッタ又はハーフミラーである。

位置センサ３０は、検査対象の側面Ｗｃの位置を示す情報（以下、「位置情報」という。）を取得するセンサである。位置情報は、吸着部５２が保持する電子部品Ｗの側面Ｗｃの位置を示す情報である。位置センサ３０は、検査対象の電子部品Ｗを保持する部品保持部４４が検査位置ＩＰに配置された状態で（検査位置ＩＰに配置されたタイミングで）、上記位置情報を取得する。位置センサ３０は、例えば、レーザ光を用いて距離を測定するセンサである。

位置センサ３０は、レーザ光を検査対象の側面Ｗｃに向けて照射し、その照射に起因して生じる側面Ｗｃからの反射光を受光するように構成されている。位置センサ３０は、仮想ラインＩＬ２に沿って分岐部３２に向けてレーザ光を照射する。分岐部３２に照射されたレーザ光は、分岐部３２によって検査対象の側面Ｗｃに向かって進む。検査対象の側面Ｗｃから出射されるレーザ光の反射光は、分岐部３２に向かって進み、分岐部３２において分岐された後に位置センサ３０に到達する。

位置センサ３０からレーザ光を照射したタイミングと、位置センサ３０がレーザ光の反射光を受光したタイミングとの差によって、位置センサ３０と検査対象の側面Ｗｃとの間の光路上での距離が測定される。フィルタ部３４は、バンドパスフィルタである。フィルタ部３４は、位置センサ３０が距離の測定に用いるレーザ光の周波数範囲を有する光を透過させ、その周波数範囲以外の周波数を有する光を透過させないよう（減衰させるよう）に構成されている。

外観検査ユニット２０による検査対象面の撮像により得られた画像データに基づいて、その検査対象面での異常の有無が判定される。図１に示されるように、回転搬送ユニット４は、部品排出ユニット１６を有してもよい。部品排出ユニット１６は、例えば、検査位置ＩＰよりも下流に位置する停止位置ＳＰに対応するように配置される。回転搬送ユニット４では、電子部品Ｗは、円軌道ＣＲに沿って上流から下流に向けて搬送される。部品排出ユニット１６は、検査対象面において異常が検出された電子部品Ｗを回収するユニットである。

（コントローラ）
コントローラ１００は、搬送処理ユニット２を制御する。コントローラ１００は、１つ又は複数の制御用コンピュータによって構成される。コントローラ１００は、複数の電子部品Ｗに対して所定の処理が順に施されるように、予め定められた制御手順に従って搬送処理ユニット２を制御する。

コントローラ１００は、機能上の構成（以下、「機能モジュール」という。）として、例えば、図３に示されるように、搬送制御部１１２と、受渡制御部１１４と、位置情報取得部１２２と、調節量記憶部１２４と、焦点制御部１２６と、撮像制御部１２８と、異常判定部１３０とを有する。これらの機能モジュールが実行する処理は、コントローラ１００が実行する処理に相当する。以下では、各機能モジュール（コントローラ１００）が実行する処理を、処理ユニット６による電子部品Ｗへの処理と区別するために「制御処理」と称する。

搬送制御部１１２は、円軌道ＣＲにおいて隣り合う部品保持部４４同士の角度ピッチにて、支持部４２の回転と停止とを繰り返すように搬送駆動部４６を制御する。支持部４２の回転と停止とが交互に繰り返されることで、上述の停止位置ＳＰにおける部品保持部４４（吸着部５２）の停止と、停止位置ＳＰから次の停止位置ＳＰへの部品保持部４４（吸着部５２）の移動とが繰り返される。

受渡制御部１１４は、供給用の停止位置ＳＰにおいて、回転搬送ユニット４への電子部品Ｗの供給が実行されるように、部品保持部４４、進退駆動部４８、及び部品供給ユニット１２を制御する。受渡制御部１１４は、回収用の停止位置ＳＰにおいて、回転搬送ユニット４からの電子部品Ｗの回収が実行されるように、部品保持部４４、進退駆動部４８、及び部品回収ユニット１４を制御する。

位置情報取得部１２２は、検査対象の側面Ｗｃの位置を示す上記位置情報を位置センサ３０から取得する。位置情報取得部１２２は、例えば、検査対象の電子部品Ｗを保持する吸着部５２が検査位置ＩＰに配置された後に、位置センサ３０から検査対象の側面Ｗｃに向けてレーザ光を照射させて、側面Ｗｃからのレーザ光の反射光を位置センサ３０に受光させる。位置情報取得部１２２は、レーザ光の照射を開始したタイミングとレーザ光の反射光を受光したタイミングとの差に応じて上記位置情報を取得する。

調節量記憶部１２４は、撮像部２４の駆動量を示す情報を記憶する。調節量記憶部１２４は、例えば、位置情報によって示される検査対象の側面Ｗｃの位置と基準位置との間のずれ量と、撮像部２４の駆動量とを対応付けたテーブルを記憶している。上記ずれ量と駆動量とが対応付けられたテーブルは、作業員等によって予め準備されてもよい。検査対象の側面Ｗｃの位置の基準位置は、例えば、吸着部５２に保持された電子部品Ｗの側面Ｗｃの理論上の（設計上の）位置である。検査対象の側面Ｗｃが基準位置に位置する場合、撮像部２４のピント合わせを行わなくても、上記被写界深度ＤＯＦ内に検査対象の側面Ｗｃが含まれる。上記駆動量は、検査対象の側面Ｗｃの仮想ラインＩＬ１に沿う位置が基準位置からずれていても、被写界深度ＤＯＦが検査対象の側面Ｗｃを含む範囲に変化（移動）するように設定されている。

焦点制御部１２６は、検査対象の側面Ｗｃに対して撮像部２４のピントを合わせるように、焦点調節部３６を制御する。焦点制御部１２６は、例えば、側面Ｗｃの位置を示す上記位置情報に応じた駆動量に基づいて、対物レンズ２６の駆動部３８により対物レンズ２６を仮想ラインＩＬ１に沿って移動させる。これにより、外観検査前において、検査対象の側面Ｗｃが被写界深度ＤＯＦに含まれていない場合であっても、被写界深度ＤＯＦが検査対象の側面Ｗｃを含む範囲に変化し得る。検査対象の側面Ｗｃが被写界深度ＤＯＦに含まれていない状況は、電子部品Ｗの個体差、吸着部５２の個体差、又は吸着部５２に保持された電子部品Ｗの理想の保持位置からのずれによって生じ得る。

撮像制御部１２８は、検査対象の側面Ｗｃの画像データを取得するようにカメラ２８を制御する。撮像制御部１２８は、焦点調節部３６の駆動部３８による対物レンズ２６の駆動が行われた後に、撮像部２４に側面Ｗｃの撮像を実行させる。焦点制御部１２６及び撮像制御部１２８は、複数の部品保持部４４（吸着部５２）のいずれか１つが検査位置ＩＰに配置される度に、対物レンズ２６の移動によるピント合わせとカメラ２８による撮像とを、駆動部３８と撮像部２４とにそれぞれ実行させる。この場合、撮像部２４は、いずれかの吸着部５２が検査位置ＩＰに配置される度に、焦点調節部３６による撮像部２４のピント合わせが行われた後に、検査対象の側面Ｗｃを撮像する。撮像部２４のピント合わせと撮像部２４による撮像とが、電子部品Ｗごとに繰り返される場合において、位置情報によって示される側面Ｗｃの位置によっては、撮像部２４の駆動量がゼロの場合もある。

異常判定部１３０は、検査対象の側面Ｗｃを撮像して得られる画像データに基づいて、その側面Ｗｃにおける異常の有無を判定する。異常判定部１３０は、例えば、上記画像データに基づいて、検査対象の側面Ｗｃに微細なクラック又はチッピングが発生しているか否かを判定する。検出が要求されるクラック又はチッピングの幅は、０．１μｍ～３．５μｍ程度であってもよい。クラック等の幅が微細であるほど、そのクラック等を検出するには高解像度の画像を取得する必要がある。撮像部２４において高解像度の画像を取得できるレンズ等の光学系を選択すると、被写界深度ＤＯＦが狭くなる傾向がある。この場合、検査対象の側面Ｗｃの基準位置からの僅かなずれによって、被写界深度ＤＯＦ内に側面Ｗｃが含まれない状況が生じ得る。

コントローラ１００は、図４に示されるように、回路１５０を有する。回路１５０は、１つ又は複数のプロセッサ１５２と、メモリ１５４と、ストレージ１５６と、入出力ポート１５８と、タイマ１６２とを含む。ストレージ１５６は、例えば不揮発性の半導体メモリ等、コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体を有する。ストレージ１５６は、予め設定された制御手順で搬送処理ユニット２に含まれる各要素を制御することをコントローラ１００に実行させるためのプログラムを記憶している。例えばストレージ１５６は、上述した各機能モジュールを構成するためのプログラムを記憶している。

メモリ１５４は、ストレージ１５６の記憶媒体からロードしたプログラム及びプロセッサ１５２による演算結果を一時的に記憶する。プロセッサ１５２は、メモリ１５４と協働して上記プログラムを実行することで、コントローラ１００の各機能モジュールを構成する。入出力ポート１５８は、プロセッサ１５２からの指令に従って、搬送処理ユニット２の各要素との間で電気信号の入出力を行う。

タイマ１６２は、例えば一定周期の基準パルスをカウントすることで経過時間を計測する。なお、回路１５０は、必ずしもプログラムにより各機能を構成するものに限られない。例えば回路１５０は、専用の論理回路又はこれを集積したＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）により少なくとも一部の機能を構成してもよい。

（制御方法）
続いて、コントローラ１００が実行する制御手順（制御方法）の一例を説明する。図５は、１つの電子部品Ｗに含まれる検査対象の１つの側面Ｗｃに対して外観検査を行う際に、コントローラ１００が実行する一連の制御処理を示すフローチャートである。この一連の制御処理では、検査対象の電子部品Ｗを保持する吸着部５２が、検査位置ＩＰの１つ上流の停止位置ＳＰに配置されている状態で、コントローラ１００がステップＳ１１を実行する。ステップＳ１１では、例えば、搬送制御部１１２が、検査対象の電子部品Ｗを保持する吸着部５２が、検査位置ＩＰに配置されるように搬送駆動部４６を制御する。

次に、コントローラ１００は、ステップＳ１２を実行する。ステップＳ１２では、例えば、位置情報取得部１２２が、検査位置ＩＰに配置された吸着部５２が保持する電子部品Ｗにおける検査対象の側面Ｗｃの位置を示す上記位置情報を位置センサ３０から取得する。位置情報取得部１２２は、例えば、位置センサ３０から照射され、検査対象の側面Ｗｃで反射するレーザ光の光路上において、位置センサ３０から検査対象の側面Ｗｃまでの距離を示す情報を取得する。図６（ａ）には、距離測定時の位置センサ３０と側面Ｗｃとの間に発生するレーザ光の光路が例示されている。位置センサ３０による位置（距離）の測定時には、位置センサ３０から分岐部３２を介して検査対象の側面Ｗｃに向かう光路Ｌｉ１と、検査対象の側面Ｗｃから分岐部３２を介して位置センサ３０に戻る光路Ｌｒ１とが形成される。

次に、コントローラ１００は、ステップＳ１３を実行する。ステップＳ１３では、例えば、焦点制御部１２６が、ステップＳ１２で得られた位置情報に応じて、検査対象の側面Ｗｃに対して撮像部２４のピントを合わせるように焦点調節部３６を制御する。焦点制御部１２６は、焦点調節部３６の駆動部３８によって対物レンズ２６を移動させることで、撮像部２４の焦点位置を調節してもよい。一例では、焦点制御部１２６は、撮像部２４による被写界深度ＤＯＦ内に検査対象の側面Ｗｃが含まれるように、対物レンズ２６とカメラ２８とが並ぶ方向に沿って、駆動部３８により対物レンズ２６を移動させる。位置情報に応じた対物レンズ２６の駆動量（移動量）は、例えば、調節量記憶部１２４に予め記憶されている。

次に、コントローラ１００は、ステップＳ１４を実行する。ステップＳ１４では、撮像制御部１２８が、検査対象の側面Ｗｃに対する撮像を撮像部２４に実行させることで、その側面Ｗｃの画像データを取得する。図６（ｂ）には、撮像部２４による撮像が実行される際に撮像部２４と側面Ｗｃとの間に生成される光の光路が例示されている。撮像部２４による撮像時には、照明部２２から側面Ｗｃに向かう光路Ｌｉ２と、検査対象の側面Ｗｃから対物レンズ２６及び分岐部３２を通り、カメラ２８に集光される光路Ｌｒ２とが形成される。

次に、コントローラ１００は、ステップＳ１５，Ｓ１６を実行する。ステップＳ１５では、例えば、異常判定部１３０が、ステップＳ１４で得られる画像データに基づいて、検査対象の側面Ｗｃにおける異常の有無を判定する。ステップＳ１６では、例えば、焦点制御部１２６が、ステップＳ１３の実行前の位置に対物レンズ２６が戻るように、駆動部３８を制御する。以上により、１つの電子部品Ｗの検査対象の側面Ｗｃに対する外観検査を実行する一連の制御処理が終了する。コントローラ１００は、後続の複数の電子部品Ｗそれぞれについて、ステップＳ１１～Ｓ１６の一連の制御処理を繰り返し実行してもよい。

コントローラ１００は、ステップＳ１５において異常が検出されなかった場合に、検査対象の電子部品Ｗを部品回収ユニット１４に回収するように搬送処理ユニット２を制御してもよい。コントローラ１００は、ステップＳ１５において異常が検出された場合に、検査対象の電子部品Ｗを部品排出ユニット１６に排出するように、搬送処理ユニット２を制御してもよい。

（変形例）
図５に示される上述の一連の制御処理は一例であり、適宜変更可能である。上記一連の制御処理において、コントローラ１００は、一のステップと次のステップとを並列に実行してもよく、上述した例とは異なる順序で各ステップを実行してもよい。コントローラ１００は、いずれかのステップを省略してもよく、いずれかのステップにおいて上述の例とは異なる処理を実行してもよい。コントローラ１００は、例えば、ステップＳ１６を実行せずに、後続の電子部品ＷについてのステップＳ１３において、ピント合わせのための調節量と、ステップＳ１３の実行前における駆動部３８のモータの現在位置とに応じて、駆動部３８により対物レンズ２６を移動させてもよい。

上述の例では、対物レンズ２６の移動によって、検査対象の側面Ｗｃに対するピント合わせが行われるが、撮像部２４のピントを合わせる方法は、この例に限られない。焦点調節部３６は、対物レンズ２６に代えて又は加えて、レンズ２８ａを移動させることで撮像部２４の焦点位置を調節してもよい。焦点調節部３６は、対物レンズ２６に代えて又は加えて、撮像素子２８ｂを移動させることで撮像部２４の焦点位置を調節してもよい。

焦点調節部３６は、対物レンズ２６に代えて又は加えて、カメラ２８全体を仮想ラインＩＬ１に沿って移動させてもよい。以上のように、焦点調節部３６は、撮像部２４に含まれる少なくとも１つの部品、又は、撮像部２４全体を移動させることで、検査対象の側面Ｗｃに撮像部２４のピントが合うように撮像部２４を駆動する。

検査対象面の撮像前に、撮像部２４に対する検査対象面の傾きの検出と、その傾きの調節とが実行されてもよい。図７に示されるように、搬送処理ユニット２は、姿勢検出ユニット６６（姿勢センサ）を有してもよい。姿勢検出ユニット６６は、検査位置ＩＰに配置されている吸着部５２が保持する電子部品Ｗの検査対象の側面Ｗｃについて、撮像部２４に対する傾きを検出する。姿勢検出ユニット６６は、例えば、検査位置ＩＰに配置された吸着部５２が保持する電子部品Ｗの主面Ｗｂを撮像可能なカメラ（姿勢センサ）を含む。

検査対象の電子部品Ｗを保持する吸着部５２が検査位置ＩＰに配置された状態で、姿勢検出ユニット６６のカメラは、その電子部品Ｗの円軌道ＣＲの外を向く主面Ｗｂを撮像する。主面Ｗｂの画像データから、例えば、撮像部２４に正対した状態からの検査対象の側面Ｗｃの傾きを示す情報（姿勢情報）が得られる。上述のように被写界深度ＤＯＦは狭い範囲であるので、側面Ｗｃの傾きが大きいと、側面Ｗｃの一部が被写界深度ＤＯＦから外れてしまうおそれがある。そのため、検査対象の側面Ｗｃの撮像前に、側面Ｗｃの傾きが調節される。

回転搬送ユニット４は、複数の吸着部５２それぞれに対応するように設けられた複数の回転駆動部５６を有してもよい。複数の回転駆動部５６は、支持部４２に設けられてもよい。回転駆動部５６は、対応する吸着部５２を、その吸着部５２を通り且つ円軌道ＣＲの径方向に沿って延びる中心軸線ＡＬまわりに回転させる。中心軸線ＡＬは、例えば、吸着部５２の先端面（吸着穴が設けられる面）の中心を通る。電子部品Ｗを保持する吸着部５２が、中心軸線ＡＬまわりに回転することで、その電子部品Ｗも中心軸線ＡＬまわりに回転する。これにより、外観検査ユニット２０のカメラ２８に対向する側面Ｗｃのカメラ２８に対する傾きが変化する。回転駆動部５６は、検査対象の側面Ｗｃの傾きを調節する姿勢調節部として機能する。

コントローラ１００は、図３に示されるように、機能モジュールとして、姿勢情報取得部１３２と、姿勢制御部１３４とを有してもよい。姿勢情報取得部１３２は、カメラ２８に対する検査対象面の傾きを示す情報を取得する。姿勢情報取得部１３２は、例えば、検査位置ＩＰに配置された電子部品Ｗの主面Ｗｂを姿勢検出ユニット６６に撮像させることで、主面Ｗｂの画像データから、カメラ２８に対する検査対象面の側面Ｗｃの傾きを示す情報を取得する。

姿勢制御部１３４は、カメラ２８に対する検査対象面の傾きを示す情報に応じて、検査対象の側面Ｗｃの姿勢が目標姿勢に近づくように、回転駆動部５６により対応する吸着部５２を中心軸線ＡＬまわりに回転させる。姿勢制御部１３４は、例えば、上述の仮想ラインＩＬ１に対する検査対象の側面Ｗｃの傾きが９０°に近づくように（側面Ｗｃがカメラ２８に対して正対するように）、検査位置ＩＰにおいて、回転駆動部５６により電子部品Ｗを保持する吸着部５２を中心軸線ＡＬまわりに回転させる。

回転駆動部５６及び姿勢検出ユニット６６を備える処理装置１において、コントローラ１００が、図５に示される一連の制御処理と同様の一連の制御処理を実行してもよい。コントローラ１００は、ステップＳ１２の実行前において、以下のステップＳ０２，Ｓ０３を実行してもよい。ステップＳ０２では、例えば、姿勢情報取得部１３２が、検査位置ＩＰに位置する電子部品Ｗの検査対象の側面Ｗｃのカメラ２８に対する傾きを示す姿勢情報を姿勢検出ユニット６６に取得させる。ステップＳ０３では、例えば、姿勢制御部１３４が、検査対象の側面Ｗｃがカメラ２８に対して正対するように、回転駆動部５６による吸着部５２の回転によって、検査対象の側面Ｗｃの傾きを調節する。

検査対象面の傾きの検出方法、及び傾きの調節方法は、上述の例に限られない。姿勢検出ユニット６６が、検査位置ＩＰよりも上流の停止位置ＳＰにおいて、主面Ｗｂを撮像してもよい。搬送処理ユニット２は、姿勢検出ユニット６６に代えて、電子部品Ｗに対してレーザ光等を照射して、電子部品Ｗから反射した光又は電子部品Ｗを通過する光を受光することで、検査対象面の傾きを示す姿勢情報を取得するセンサを有してもよい。搬送処理ユニット２は、回転駆動部５６に代えて、吸着部５２から電子部品Ｗを受け取って、電子部品Ｗの姿勢を調節したうえで、電子部品Ｗを吸着部５２に戻すアライメントユニット（姿勢調節部）を有してもよい。

上述の例では、平面状の側面Ｗｃに対する撮像が行われるが、処理対象の電子部品の種類によっては、検査対象となる側面に段差が形成されている場合もある。この場合に、外観検査ユニット２０は、段差を形成する複数の段差面それぞれに対して撮像を実行してもよい。一例では、処理装置１は、電子部品Ｗに代えて、図８に示される電子部品Ｗ１に対して処理を行う。電子部品Ｗ１は、側面Ｗｃ１を有する。側面Ｗｃ１は、段差面Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３（複数の段差面）を含む。

検査位置ＩＰにおいて、電子部品Ｗ１と外観検査ユニット２０とが対向した際に、これらが対向する方向において（仮想ラインＩＬ１に沿って）、段差面Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３それぞれとカメラ２８との間の距離は、互いに異なる。言い換えると、段差面Ｓ１とカメラ２８との最短距離、段差面Ｓ２とカメラ２８との最短距離、及び段差面Ｓ３とカメラ２８との最短距離が、互いに異なっている。

上述の被写界深度ＤＯＦが狭いと、被写界深度ＤＯＦには、１つの段差面が含まれ、他の全ての段差面が含まれない場合がある。コントローラ１００は、段差面ごとに、側面Ｗｃ１に対して撮像部２４のピントを合わせる制御処理を行ってもよい。外観検査ユニット２０の位置センサ３０は、側面Ｗｃ１の段差面Ｓ２にレーザ光を照射し、段差面Ｓ１，Ｓ３にレーザ光を照射しないように構成されていてもよい。位置センサ３０は、自身と段差面Ｓ２との間の光路上の距離を測定することで、側面Ｗｃ１の位置を示す情報を取得してもよい。

図９は、検査対象面に複数の段差面が含まれる電子部品Ｗ１に対する外観検査を実行する際の一連の制御処理の一例を示すフローチャートである。この一連の制御処理では、検査対象の電子部品Ｗ１を保持する吸着部５２が検査位置ＩＰに配置されるように、コントローラ１００（搬送制御部１１２）が、ステップＳ１１と同様に、ステップＳ２１を実行する。

次に、コントローラ１００は、ステップＳ２２を実行する。ステップＳ２２では、例えば、位置情報取得部１２２が、検査位置ＩＰに配置された吸着部５２が保持する電子部品Ｗにおける検査対象の側面Ｗｃ１の位置を示す情報を位置センサ３０から取得する。位置情報取得部１２２は、例えば、位置センサ３０から照射され、検査対象の側面Ｗｃ１の段差面Ｓ２で反射するレーザ光の光路上において、位置センサ３０から段差面Ｓ２までの距離を示す情報を取得する。

次に、コントローラ１００は、ステップＳ２３を実行する。ステップＳ２３では、例えば、焦点制御部１２６が、段差面Ｓ２の位置を示す情報に応じて、撮像部２４の焦点位置を調節するように焦点調節部３６を制御する。焦点制御部１２６は、焦点調節部３６の駆動部３８によって対物レンズ２６を移動させることで、段差面Ｓ２に対して撮像部２４のピントを合わせる。一例では、焦点制御部１２６は、撮像部２４による被写界深度ＤＯＦ内に段差面Ｓ２が含まれるように、対物レンズ２６とカメラ２８とが互いに対向する方向に沿って、駆動部３８により対物レンズ２６を移動させる。

次に、コントローラ１００は、ステップＳ２４，Ｓ２５を実行する。ステップＳ２４では、例えば、撮像制御部１２８が、検査対象の側面Ｗｃ１に対する撮像を撮像部２４に実行させることで、段差面Ｓ２にピントが合わせられて得られる側面Ｗｃ１の画像データを取得する。このときに得られる画像データの撮像範囲には、段差面Ｓ１及び段差面Ｓ３も含まれてもよい。ステップＳ２５では、例えば、異常判定部１３０が、ステップＳ２４で得られた画像データに基づいて、段差面Ｓ２における異常の有無を判定する。このとき、異常判定部１３０は、段差面Ｓ１，Ｓ３における異常の有無を判定しない。

次に、コントローラ１００は、ステップＳ２６を実行する。ステップＳ２６では、例えば、コントローラ１００が、側面Ｗｃ１に含まれる全ての段差面について、検査を行ったか否かを判定する。ステップＳ２６において、全ての段差面について検査が行われていないと判断された場合（ステップＳ２６：ＮＯ）、コントローラ１００が実行する処理は、ステップＳ２３に戻る。

コントローラ１００は、検査対象の段差面を替えて、次の段差面（例えば、段差面Ｓ１）についてステップＳ２３～Ｓ２６の一連の制御処理を実行する。コントローラ１００は、検査対象の電子部品Ｗ１とカメラ２８とが対向する方向における、段差面Ｓ１と段差面Ｓ２との間の距離、及び、段差面Ｓ２と段差面Ｓ３との間の距離を示す情報を予め記憶していてもよい。段差面Ｓ１についてのステップＳ２３では、焦点制御部１２６が、段差面Ｓ１と段差面Ｓ２との間の上記距離に基づいて、段差面Ｓ１に被写界深度ＤＯＦが含まれるように対物レンズ２６の位置を変化させる。

そして、段差面Ｓ１についてのステップＳ２４では、例えば、撮像制御部１２８が、検査対象の側面Ｗｃ１に対する撮像を撮像部２４に実行させることで、段差面Ｓ１にピントを合わせて得られる側面Ｗｃ１の画像データを取得する。段差面Ｓ１についてのステップＳ２５では、例えば、異常判定部１３０が、段差面Ｓ１にピントを合わせて得られる側面Ｗｃ１の画像データに基づいて、段差面Ｓ２における異常の有無を判定する。コントローラ１００は、段差面Ｓ３についても、段差面Ｓ１と同様にステップＳ２３～Ｓ２６を実行する。

一方、ステップＳ２６において、全ての段差面について検査が行われたと判断された場合（ステップＳ２６：ＹＥＳ）、コントローラ１００が実行する処理は、ステップＳ２７に進む。ステップＳ２７では、例えば、焦点制御部１２６が、最初のステップＳ２３の実行前の位置に対物レンズ２６が戻るように駆動部３８を制御する。以上の一連の制御処理では、側面Ｗｃ１全体を視野に含み、撮像部２４のピントの位置が互いに異なる３種類の画像データ（複数の画像）が得られる。

コントローラ１００は、後続の他の電子部品Ｗ１についても、ステップＳ２１～Ｓ２７の一連の制御処理を実行する。この場合、撮像部２４は、複数の吸着部５２のうちのいずれか１つが検査位置ＩＰに配置される度に、撮像部２４のピントの位置が互いに異なる複数の画像を取得するように、側面Ｗｃ１に対する複数回の撮像を実行する。撮像部２４は、撮像対象の側面Ｗｃ１について１回の位置情報の取得（段差面Ｓ２の位置を示す情報の取得）が行われた後に、上記複数回の撮像を実行する。

上述の例では、位置センサ３０が、レーザ光を用いて検査対象の側面Ｗｃの位置を示す位置情報を取得するが、位置情報の取得（検出）方法は、これに限られない。定位置に配置されたカメラによる画像データに基づいて、検査対象の側面Ｗｃの位置情報が取得されてもよい。例えば、図１０（ａ）に示されるように、搬送処理ユニット２は、外観検査ユニット２０に代えて、外観検査ユニット２０Ａを有してもよい。外観検査ユニット２０Ａは、位置センサ３０、分岐部３２、及びフィルタ部３４を有しない点で、外観検査ユニット２０と相違する。

搬送処理ユニット２は、外観検査ユニット２０Ａに加えて、位置センサ７０を有してもよい。位置センサ７０は、検査対象の側面Ｗｃの位置を取得可能な画像データを生成するカメラである。位置センサ７０は、検査位置ＩＰに配置された電子部品Ｗの主面Ｗｂと対向するように配置されており、主面Ｗｂを撮像可能である。位置センサ７０は定位置に固定されており、主面Ｗｂの画像データから、検査対象の側面Ｗｃの基準位置からのずれ量を得ることができる。すなわち、位置センサ７０による撮像で得られる画像データには、検査対象の側面Ｗｃの位置を示す情報が含まれている。

搬送処理ユニット２は、図１０（ｂ）に示されるように、外観検査ユニット２０Ａと、位置センサ７２とを有してもよい。位置センサ７２は、レーザ光等の照射光を電子部品Ｗに対して照射して、受けた光に基づいて側面Ｗｃの位置を示す情報（信号）を生成するセンサである。位置センサ７２は、仮想ラインＩＬ１（検査対象の側面Ｗｃとカメラ２８とが対向する方向）に沿って延びる照射範囲に光を照射してもよい。位置センサ７２は、検査対象の側面Ｗｃに接続された他の側面に対して光を照射する。位置センサ７２は、照射光の照射に伴う電子部品Ｗからの反射光、又は電子部品Ｗに遮られずに通過する照射光の一部を受光してもよい。

位置センサ７２は、例えば、照射部７２ａと受光部７２ｂとを含む。照射部７２ａと受光部７２ｂとは、検査位置ＩＰに位置する電子部品Ｗとカメラ２８とが対向する方向に直交する方向において、その電子部品Ｗを間に挟むように配置されている。照射部７２ａは、検査対象の側面Ｗｃに接続される一対の側面Ｗｃの一方に対向し、受光部７２ｂは、上記一対の側面Ｗｃの他方に対向する。照射部７２ａからの光の照射範囲は、検査対象の側面Ｗｃの位置がずれていても、側面Ｗｃが含まれるように設定されている。

照射部７２ａは、対向する側面Ｗｃに対して直交する方向に照射光を照射する。照射部７２ａから照射された照射光の一部は、電子部品Ｗに遮られ、受光部７２ｂに到達しない。照射部７２ａから照射された照射光の残りの一部は、電子部品Ｗに遮られず、受光部７２ｂに到達する。受光部７２ｂは、受光した光に応じて信号を生成する。受光部７２ｂによって生成される信号は、検査対象の側面Ｗｃの位置に応じて変化する。受光部７２ｂが生成した信号において、光が遮られる領域と光が遮られずに通過する領域との境界を検出することで、検査対象の側面Ｗｃの位置を示す情報が得られる。

以上に説明した種々の変形例のうちの任意の例が互いに組合せられてもよい。例えば、図１０（ａ）に例示される搬送処理ユニット２において、図７に例示される搬送処理ユニット２と同様に、検査対象の側面Ｗｃの傾きの検出と調節とが行われてもよい。この場合、姿勢検出ユニット６６及び位置センサ７２に代えて、１つのカメラが、主面Ｗｂの撮像を行うことで、検査対象の側面Ｗｃの傾き及び位置を示す情報を取得してもよい。

（第１実施形態の効果）
電子部品の外観を検査する際の検査精度を向上させるために、高解像度の画像を取得可能な撮像部を用いて電子部品の検査対象である検査面を撮像しようとすると、撮像部による被写界深度が狭くなってしまう。一方、検査面の位置は、種々の要因により変動し得るので、検査面が被写界深度から外れてしまうおそれがある。これに対して、上述の処理装置１では、検査面の位置を示す位置情報を取得する位置センサ３０，７０，７２と、電子部品Ｗの検査面に対して撮像部２４のピントを合わせる焦点調節部３６が備えられる。焦点調節部３６によるピント合わせによって、撮像部２４による被写界深度ＤＯＦの位置が変化する。そのため、取得した位置情報に応じて、被写界深度ＤＯＦ内に検査面が含まれるように、上記のピント合わせを行うことができる。これにより、被写界深度ＤＯＦに検査面を含めた状態で、その検査面を撮像することが可能となる。従って、処理装置１は、検査精度の向上に有用である。

位置センサ３０，７０，７２は、電子部品Ｗを保持する部品保持部４４（吸着部５２）が検査位置ＩＰに配置された状態で位置情報を取得する。この場合、電子部品Ｗの検査面を撮像するときと同じ位置で位置情報が取得されるので、検査面の位置を高精度に検出することができ、被写界深度を精度良く検査面に合わせることができる。従って、検査精度の向上に更に有用である。

焦点調節部３６は、検査面に対して撮像部２４のピントを合わせるように、撮像部２４を駆動する。撮像部２４に含まれる部品は、電子部品Ｗを回転搬送させるユニットに比べて小さい傾向がある。そのため、被写界深度ＤＯＦの位置を細かく調節できるので、被写界深度ＤＯＦを精度良く検査面に合わせることができる。従って、検査精度の向上に更に有用である。

処理装置１は、カメラ２８に対する検査面の姿勢を示す姿勢情報を取得する姿勢センサ（姿勢検出ユニット６６）と、検査面の姿勢を調節する姿勢調節部（回転駆動部５６）とを更に備える。被写界深度ＤＯＦが狭いと、検査面の姿勢によっては、検査面の一部が被写界深度ＤＯＦから外れてしまうおそれがある。上記構成では、姿勢情報に応じて検査面の姿勢を調節できるので、被写界深度ＤＯＦに対する検査面の姿勢ずれに起因した精度低下を抑制できる。従って、検査精度の向上に更に有用である。

処理装置１は、複数の部品保持部４４を備える。複数の部品保持部４４のいずれか１つが検査位置ＩＰに配置される度に、焦点調節部３６によるピント合わせが行われた後に、撮像部２４が検査面に対する撮像を実行する。この場合、部品保持部４４ごとに、検査面にピントを合わせて検査面の撮像を行えるので、電子部品Ｗ同士の間での検査精度のばらつきが抑制される。従って、検査面の撮像による検査精度の安定化に有用である。

撮像部２４は、複数の部品保持部４４のいずれか１つが検査位置ＩＰに配置される度に、撮像部２４のピントの位置が互いに異なる複数の画像を取得するように、検査面に対する複数回の撮像を実行する。この場合、検査面に撮像部２４との間の距離が互いに異なる段差面が含まれていても、段差面ごとに、撮像部２４のピントを合わせて撮像を実行することができる。従って、段差を含む検査面に対する外観検査での検査精度の向上に有用である。

位置センサ３０が検査面について１回の上記位置情報の取得を行った後に、撮像部２４が検査面に対する複数回の撮像を実行する。この場合、１つの検査面についての複数回の撮像にそれぞれに対応して複数回の位置情報の取得が行われる場合に比べて、検査面の外観検査に要する時間が短縮される。従って、処理効率の向上に有用である。

［第２実施形態］
続いて、図１１を参照しながら、第２実施形態に係る電子部品の処理装置について説明する。図１１に示される処理装置１Ａは、検査位置ＩＰとは異なる停止位置ＳＰにおいて、検査対象の側面Ｗｃの位置を示す情報を取得する。処理装置１Ａは、例えば、外観検査ユニット２０に代えて、外観検査ユニット２０Ａと、測定ユニット２１Ａとを備える。外観検査ユニット２０Ａは、検査位置ＩＰに対応するように配置されており、円軌道ＣＲの外を向く主面Ｗｂについて外観検査を実行する。外観検査ユニット２０Ａは、検査対象が主面Ｗｂである点を除き、図１０（ａ）又は図１０（ｂ）に示される外観検査ユニット２０Ａと同様に構成されている。

測定ユニット２１Ａは、検査位置ＩＰよりも１つ上流の停止位置ＳＰに対応するように配置されており、その停止位置ＳＰおいて、検査対象の主面Ｗｂの位置を測定する。以下、測定ユニット２１Ａが測定を行う停止位置ＳＰを「測定位置ＭＰ」と称する。測定ユニット２１Ａは、位置センサ３０とフィルタ部３４とを有する。測定ユニット２１Ａの位置センサ３０は、検査対象の電子部品Ｗを保持する部品保持部４４（吸着部５２）が測定位置ＭＰに配置された状態で、検査対象の主面Ｗｂの位置を示す情報（位置情報）を取得する。フィルタ部３４は、位置センサ３０と主面Ｗｂとの間に配置される。

検査対象の電子部品Ｗを保持する吸着部５２が測定位置ＭＰに配置されたときの主面Ｗｂの位置は、その吸着部５２が検査位置ＩＰに配置された状態でのカメラ２８に対する主面Ｗｂの位置に相関する。そのため、測定位置ＭＰにおいて主面Ｗｂの位置を示す情報を取得しても、その位置情報に応じて、撮像部２４による被写界深度ＤＯＦ（撮像部２４のピント）を検査対象の主面Ｗｂに合わせることができる。

処理装置１Ａにおいても、上述の図５に示される一連の制御処理と同様の一連の制御処理が実行されてもよい。この場合、コントローラ１００は、ステップＳ１２を実行せずに、ステップＳ１１の実行前に、ステップＳ０１を実行してもよい。ステップＳ０１では、例えば、位置情報取得部１２２が、測定位置ＭＰに配置されている吸着部５２が保持する電子部品Ｗの主面Ｗｂの位置を示す位置情報を、測定ユニット２１Ａの位置センサ３０から取得する。ステップＳ１３では、例えば、焦点制御部１２６が、ステップＳ０１で得られた位置情報に応じて、焦点調節部３６の駆動部３８により対物レンズ２６を移動させて、検査対象の主面Ｗｂに対して撮像部２４のピントを合わせる。

第２実施形態に係る処理装置１Ａにおいても、第１実施形態に係る種々の変形例が適用されてもよい。処理装置１Ａにおいても、第１実施形態に係る処理装置１と同様に、検査精度の向上に有用である。

位置センサ３０は、電子部品Ｗを保持する部品保持部４４が円軌道ＣＲにおいて検査位置ＩＰとは異なる位置（測定位置ＭＰ）に配置された状態で、検査面の位置を示す位置情報を取得する。この場合、測定位置ＭＰでの位置情報の取得と、検査位置ＩＰでの撮像とを、別々の電子部品Ｗについて並行して実行することができる。そのため、検査位置ＩＰにおいて位置情報の取得と撮像部２４の取得とを順に行う場合に比べて、処理時間を短縮できる。従って、処理効率の向上に有用である。

［第３実施形態］
続いて、図１２及び図１３を参照しながら、第３実施形態に係る電子部品の処理装置について説明する。図１２に示される処理装置１Ｂは、電子部品Ｗを保持する部品保持部を駆動することで、検査対象面に対して撮像部２４のピントを合わせる。処理装置１Ｂは、搬送処理ユニット２に代えて搬送処理ユニット２Ｂを有する。搬送処理ユニット２Ｂは、支持部４２Ｂと、複数の部品保持部４４Ｂと、搬送駆動部４６Ｂと、複数の昇降駆動部５８と、複数の処理ユニット６とを有する。

支持部４２Ｂは、水平な円軌道ＣＲ２に位置するように複数の部品保持部４４Ｂを支持する。支持部４２Ｂは、円軌道ＣＲ２の中心軸Ａｘ２まわりに回転可能となるように設けられている。中心軸Ａｘ２は、鉛直な軸線であってもよい（鉛直方向に沿って延びていてもよい）。支持部４２Ｂは、例えば、ターンテーブルである。複数の部品保持部４４Ｂは、上述した複数の部品保持部４４と同様に配置されており、支持部４２Ｂの外周部に固定されている。

部品保持部４４Ｂは、例えば、図１３に示されるように、吸着部５２Ｂと、ホルダ５４Ｂとを有する。吸着部５２Ｂ（部品保持部）は、その吸着穴が向く方向を除き、吸着部５２と同様に構成されている。吸着部５２Ｂは、支持部４２に垂直な方向の一方側から、主面Ｗａを吸着することで電子部品Ｗを保持する。ホルダ５４Ｂは、吸着部５２Ｂを昇降可能に保持しており、円軌道ＣＲ２の径方向に沿って移動可能となるように支持部４２Ｂに固定されている。

搬送処理ユニット２Ｂは、進退駆動部５７を有する。進退駆動部５７は、部品保持部４４Ｂ（吸着部５２Ｂ）を円軌道ＣＲ２の径方向に沿って移動させる。進退駆動部５７は、支持部４２Ｂに設けられてもよく、ホルダ５４Ｂに対して外向きの駆動力を付与するように構成されている。進退駆動部５７が吸着部５２Ｂを円軌道ＣＲ２の径方向に沿って移動させることで、その吸着部５２Ｂが保持する電子部品Ｗのうちの円軌道ＣＲ２の外を向く側面Ｗｃと中心軸Ａｘ２との間の距離が変化する。

搬送駆動部４６Ｂは、搬送駆動部４６と同様に、円軌道ＣＲ２の中心軸Ａｘ２まわりに支持部４２Ｂを間欠的に回転させる。間欠的に回転とは、中心軸まわりの円周に沿った移動と停止とを交互に繰り返すことをいう。搬送駆動部４６Ｂの回転により、部品保持部４４Ｂ（吸着部５２Ｂ）が保持する電子部品Ｗが、円軌道ＣＲ２に沿って搬送される。以下では、搬送駆動部４６Ｂが支持部４２Ｂを間欠的に回転させる際に複数の部品保持部４４Ｂがそれぞれ停止する位置についても「停止位置ＳＰ」と称する。

昇降駆動部５８は、部品保持部４４Ｂと、その部品保持部４４Ｂによって保持されている電子部品Ｗとが対向する方向（鉛直方向：図示のＺ軸方向）に沿って吸着部５２Ｂを移動させる。昇降駆動部５８は、停止位置ＳＰの上方に配置されており、その停止位置ＳＰに配置された部品保持部４４Ｂの吸着部５２Ｂに下向きの力を付与することにより、吸着部５２Ｂを下降させてもよい。

図１２に示されるように、複数の処理ユニット６は、部品供給ユニット１２と、部品回収ユニット１４と、外観検査ユニット２０Ｂと、測定ユニット２１Ｂとを有する。外観検査ユニット２０Ｂは、円軌道ＣＲ２において、供給用の停止位置ＳＰと回収用の停止位置ＳＰとの間のいずれかの停止位置ＳＰ（検査位置ＩＰ）に対応するように配置されている。外観検査ユニット２０Ｂは、対物レンズ２６を有しない点において、外観検査ユニット２０Ａと相違する（図１３を参照）。この場合、外観検査ユニット２０Ｂは、照明部２２と、撮像部２４Ｂとを有する。

撮像部２４Ｂは、対物レンズ２６を有さずにカメラ２８を有する。外観検査ユニット２０Ｂは、外観検査ユニット２０，２０Ａと異なり、撮像部の焦点位置を変化させる機能を有しない。外観検査ユニット２０Ｂは、円軌道ＣＲ２の外を向く側面Ｗｃに対して外観検査を実行してもよい。この場合、撮像部２４Ｂのカメラ２８は、中心軸Ａｘ２から離れる方向を向く側面Ｗｃを撮像する。外観検査ユニット２０Ｂの撮像部２４Ｂ（カメラ２８）と、検査位置ＩＰに配置された電子部品Ｗの検査対象の側面Ｗｃとは、円軌道ＣＲ２の径方向に沿って対向する。

測定ユニット２１Ｂは、円軌道ＣＲ２において検査位置ＩＰよりも１つ上流の停止位置ＳＰ（測定位置ＭＰ）に対応するように配置されている。測定ユニット２１Ｂは、測定位置ＭＰにおいて、円軌道ＣＲ２の外を向く検査対象の側面Ｗｃの位置を示す情報（位置情報）を取得する。測定ユニット２１Ｂは、カメラ７０Ｂと、ミラー７１Ｂとを有する。カメラ７０Ｂは、ミラー７１Ｂを介して、検査対象の側面Ｗｃに接続された別の側面Ｗｃ（例えば、円軌道ＣＲ２において上流を向く側面Ｗｃ）を撮像する。カメラ７０Ｂが上記別の側面Ｗｃを撮像することで得られる画像データには、検査対象の側面Ｗｃの位置を示す情報が含まれる。

処理装置１Ｂでは、進退駆動部５７によって吸着部５２Ｂが円軌道ＣＲ２の径方向に沿って移動することで、その吸着部５２Ｂに保持されている電子部品Ｗの検査対象の側面Ｗｃと撮像部２４Ｂのカメラ２８との間の距離が変化する。進退駆動部５７は、検査対象の側面Ｗｃに対して撮像部２４のピントを合わせるように、吸着部５２Ｂを移動させる。進退駆動部５７は、焦点調節部として機能する。

処理装置１Ｂにおいても、第２実施形態に係る処理装置１Ａにおいて実行される上記一連の制御処理が実行されてもよい。この場合、ステップＳ０１では、位置情報取得部１２２が、測定位置ＭＰに配置されている吸着部５２Ｂが保持する電子部品Ｗの検査対象の側面Ｗｃの位置を示す位置情報を、測定ユニット２１Ｂのカメラ７０Ｂ（位置センサ）から取得する。ステップＳ１３では、例えば、焦点制御部１２６が、ステップＳ０１で得られた位置情報に応じて、撮像部２４Ｂによる被写界深度ＤＯＦに検査対象の側面Ｗｃが含まれるように進退駆動部５７を制御する。進退駆動部５７が吸着部５２の径方向の位置を変化させることで、撮像部２４の焦点位置に対する検査対象の側面Ｗｃの位置が調節される。

上述の例では、円軌道ＣＲ２の径方向に沿って進退駆動部５７が吸着部５２Ｂを移動させることで、側面Ｗｃと撮像部２４Ｂの焦点位置との間の距離を調節しているが、外観検査の対象の面に応じて、他の駆動部（焦点調節部）が吸着部５２Ｂを移動させてもよい。一例では、検査対象面が主面Ｗｂであり、主面Ｗｂに対向するように外観検査ユニット２０Ｂが配置されている場合に、昇降駆動部５８（焦点調節部）が、検査対象の側面Ｗｃと撮像部２４Ｂの焦点位置との間の距離を変化させるように、吸着部５２Ｂを移動させてもよい。この場合、昇降駆動部５８が、検査位置ＩＰの上方にも配置されてもよい。

第３実施形態に係る処理装置１Ｂにおいて、第１実施形態、第１実施形態の変形例、及び第２実施形態に記載された内容が適用されてもよい。処理装置１Ｂにおいても、第１実施形態に係る処理装置１と同様に、検査精度の向上に有用である。

焦点調節部は、撮像部２４Ｂに対する検査面の位置を変化させるように、部品保持部４４Ｂ（吸着部５２Ｂ）を駆動する。この場合、外観検査を行うユニットにおいて、撮像部２４Ｂの焦点位置を調節する部材を設ける必要がないので、外観検査を行うユニットの簡素化に有用である。

１…電子部品の処理装置、Ｗ…電子部品、２４，２４Ｂ…撮像部、２６…対物レンズ、２８…カメラ、２８ａ…レンズ、２８ｂ…撮像素子、３０，７０，７２…位置センサ、３６…焦点調節部、３８…駆動部、ＩＰ…検査位置、ＭＰ…測定位置、４２，４２Ｂ…支持部、４４，４４Ｂ…部品保持部、５２，５２Ｂ…吸着部、４６，４６Ｂ…搬送駆動部、５６…回転駆動部、５７…進退駆動部、５８…昇降駆動部、６６…姿勢検出ユニット、ＣＲ，ＣＲ２…円軌道、Ａｘ，Ａｘ２…中心軸。

Claims (6)

1. 電子部品を保持する部品保持部と、
   所定の検査位置を通る円軌道に位置するように前記部品保持部を支持する支持部と、
   前記円軌道の中心軸まわりに前記支持部を回転させる搬送駆動部と、
   前記検査位置に配置された前記部品保持部が保持する前記電子部品の検査面を撮像可能な撮像部と、
   前記電子部品を保持する前記部品保持部が前記円軌道において前記検査位置とは異なる位置に配置された状態で、前記検査面の位置を示す位置情報を取得する位置センサと、
   前記位置情報に基づいて、前記検査面に対して前記撮像部のピントを合わせる焦点調節部と、を備える電子部品の処理装置。
2. 前記焦点調節部は、前記検査面に対して前記撮像部のピントを合わせるように、前記撮像部を駆動する、請求項１に記載の処理装置。
3. 前記焦点調節部は、前記検査面に対して前記撮像部のピントを合わせるように、前記部品保持部を駆動する、請求項１又は２に記載の処理装置。
4. 前記撮像部に対する前記検査面の姿勢を示す姿勢情報を取得する姿勢センサと、
   前記撮像部に対する前記検査面の姿勢を調節する姿勢調節部と、を更に備える、請求項１～３のいずれか一項に記載の処理装置。
5. 電子部品を保持する部品保持部と、
   所定の検査位置を通る円軌道に位置するように前記部品保持部を支持する支持部と、
   前記円軌道の中心軸まわりに前記支持部を回転させる搬送駆動部と、
   前記検査位置に配置された前記部品保持部が保持する前記電子部品の検査面を撮像可能な撮像部と、
   前記部品保持部に前記電子部品が保持された状態で、前記検査面の位置を示す位置情報を取得する位置センサと、
   前記部品保持部に前記電子部品が保持された状態で、前記位置情報に基づいて、前記検査面に対して前記撮像部のピントを合わせる焦点調節部と、
   前記部品保持部に前記電子部品が保持された状態で、前記撮像部に対する前記検査面の姿勢を示す姿勢情報を取得する姿勢センサと、
   前記支持部に設けられた姿勢調節部と、を備え、
   前記姿勢調節部は、前記撮像部による前記検査面の撮像が実行される前に、前記姿勢情報に基づいて、前記電子部品を保持した状態の前記部品保持部を所定の中心軸線まわりに回転させることで、前記撮像部による被写界深度に対する前記検査面の姿勢を調節する、電子部品の処理装置。
6. 前記位置センサは、前記電子部品を保持する前記部品保持部が前記検査位置に配置された状態で、前記位置情報を取得し、
   前記姿勢センサは、前記電子部品を保持する前記部品保持部が前記検査位置に配置された状態で、前記姿勢情報を取得し、
   前記姿勢調節部は、前記電子部品を保持する前記部品保持部が前記検査位置に配置された状態で、前記撮像部による被写界深度に対する前記検査面の姿勢を調節する、請求項５に記載の処理装置。

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