JP7008791B2 - 組成物、塗布膜、硬化膜、レンズ、固体撮像素子、樹脂 - Google Patents
組成物、塗布膜、硬化膜、レンズ、固体撮像素子、樹脂 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7008791B2 JP7008791B2 JP2020503397A JP2020503397A JP7008791B2 JP 7008791 B2 JP7008791 B2 JP 7008791B2 JP 2020503397 A JP2020503397 A JP 2020503397A JP 2020503397 A JP2020503397 A JP 2020503397A JP 7008791 B2 JP7008791 B2 JP 7008791B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- general formula
- composition
- compound
- substituent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L79/00—Compositions of macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing nitrogen with or without oxygen or carbon only, not provided for in groups C08L61/00 - C08L77/00
- C08L79/04—Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain; Polyhydrazides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G73/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing nitrogen with or without oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule, not provided for in groups C08G12/00 - C08G71/00
- C08G73/06—Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain of the macromolecule
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G73/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing nitrogen with or without oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule, not provided for in groups C08G12/00 - C08G71/00
- C08G73/06—Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain of the macromolecule
- C08G73/0622—Polycondensates containing six-membered rings, not condensed with other rings, with nitrogen atoms as the only ring hetero atoms
- C08G73/0638—Polycondensates containing six-membered rings, not condensed with other rings, with nitrogen atoms as the only ring hetero atoms with at least three nitrogen atoms in the ring
- C08G73/0644—Poly(1,3,5)triazines
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K3/00—Use of inorganic substances as compounding ingredients
- C08K3/02—Elements
- C08K3/08—Metals
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
- C09D179/00—Coating compositions based on macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing nitrogen, with or without oxygen, or carbon only, not provided for in groups C09D161/00 - C09D177/00
- C09D179/04—Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain; Polyhydrazides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/04—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements made of organic materials, e.g. plastics
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/04—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements made of organic materials, e.g. plastics
- G02B1/041—Lenses
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
- H10F39/10—Integrated devices
- H10F39/12—Image sensors
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Wood Science & Technology (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Paints Or Removers (AREA)
- Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Description
例えば、特許文献1には、高耐熱性、高透明性、高屈折率、高溶解性、及び低体積収縮率性を有する材料としてトリアジン環含有重合体が開示されている。
また、本発明は、上記組成物により形成される塗布膜、上記塗布膜を硬化して形成される硬化膜、レンズ、及び固体撮像素子を提供することを課題とする。
また、本発明は、高屈折率材料として好適に用いられ得る新規樹脂を提供することを課題とする。
すなわち、以下の構成により上記目的を達成できることを見出した。
溶媒と、
ナトリウムイオン、カリウムイオン、及びカルシウムイオンからなる群より選ばれる特定金属イオンと、を含む組成物であって、
特定金属イオンの総含有量が、組成物全質量に対して、0.01~30質量ppmである、組成物。
(2) 溶媒がトルエンを含み、
トルエンの含有量が、組成物全質量に対して、0.001~10質量ppmである、(1)に記載の組成物。
(3) 一般式(I-1)中、Vが、後述する一般式(II)で表される基である、(1)又は(2)に記載の組成物。
(4) 一般式(II)中、mは0を表し、nは1を表し、R4は、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、アルキルチオ基、又はハロゲン原子を表す、(3)に記載の組成物。
(5) 後述する一般式(II)で表される基が、後述する一般式(IIA)で表される基である、(4)に記載の組成物。
(6) 一般式(I-1)中、X1~X3がいずれも-NR1-である、(1)~(5)のいずれかに記載の組成物。
(7) 一般式(I-1)におけるW1及び一般式(I-2)におけるW2が、それぞれ独立して、後述する一般式(III)で表される2価の連結基である、(1)~(6)のいずれかに記載の組成物。
(8) 一般式(I-2)のW2において、A1~A3がいずれもアリーレン基を表す、(7)に記載の組成物。
(9) 一般式(I-2)のW2において、アリーレン基が、1,4-フェニレン基である、(7)又は(8)に記載の組成物。
(10) 更に、硬化性化合物を含む、(1)~(9)のいずれかに記載の組成物。
(11) 更に、重合開始剤を含む、(1)~(10)のいずれかに記載の組成物。
(12) (1)~(11)のいずれかに記載の組成物により形成される塗布膜。
(13) (12)に記載の塗布膜を硬化して形成される硬化膜。
(14) (13)に記載の硬化膜からなるレンズ。
(15) (14)に記載のレンズを備える固体撮像素子。
(16) 後述する一般式(IV-1)で表される繰り返し単位を含む樹脂。
(17) 後述する一般式(IV-2)で表される繰り返し単位を含む樹脂。
また、本発明によれば、上記組成物により形成される塗布膜、上記塗布膜を硬化して形成される硬化膜、レンズ、及び固体撮像素子を提供できる。
また、本発明によれば、高屈折率材料として好適に用いられ得る新規樹脂を提供できる。
本明細書において「~」を用いて表される数値範囲は、「~」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
本明細書中における「活性光線」又は「放射線」とは、例えば、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、極紫外線(EUV光)、X線、及び、電子線等を意味する。また本発明において光とは、活性光線又は放射線を意味する。本明細書中における「露光」とは、特に断らない限り、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、X線、及び、EUV光等による露光のみならず、電子線及びイオンビーム等の粒子線による描画も露光に含める。
本明細書において、「(メタ)アクリレート」は、アクリレート及びメタアクリレートを表し、「(メタ)アクリル」はアクリル及びメタアクリルを表し、「(メタ)アクリロイル」は、アクリロイル及びメタクリロイルを表す。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
本明細書において、重量平均分子量及び数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)測定でのポリスチレン換算値として定義される。本明細書において、重量平均分子量(Mw)及び数平均分子量(Mn)は、例えば、測定装置としてHLC-8220(東ソー(株)製)を用い、カラムとしてTSKgel Super AWM―H(東ソー(株)製、6.0mmID(内径)×15.0cm)を用い、溶離液として10mmol/L リチウムブロミドNMP(N-メチルピロリジノン)溶液を用いることによって求められる。
本明細書中において、重合性化合物とは、重合性基を有する化合物のことをいい、単量体であっても、ポリマーであってもよい。重合性基とは、重合反応に関与する基をいう。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全体から溶媒を除いた成分の合計質量をいう。
置換基Tとしては、ハロゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、シクロアルケニル基、アルキニル基、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、ヒドロキシル基、ニトロ基、カルボキシル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、シリルオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシルオキシ基、カルバモイルオキシ基、アミノ基(アルキルアミノ基及びアニリノ基を含む)、アシルアミノ基、アミノカルボニルアミノ基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、スルファモイルアミノ基、アルキル又はアリールスルホニルアミノ基、メルカプト基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、スルファモイル基、スルホ基、アルキル又はアリールスルフィニル基、アルキル又はアリールスルホニル基、アシル基、アリールオキシカルボニル基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、アリール又はヘテロ環アゾ基、イミド基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスフィニルオキシ基、ホスフィニルアミノ基、及びシリル基等が挙げられる。以下に、各基について詳述する。
直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基(直鎖状又は分岐鎖状の、置換又は無置換のアルキル基であり、好ましくは炭素数1~30のアルキル基。例えば、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、tert-ブチル基、n-オクチル基、2-クロロエチル基、2-シアノエチル基、及び2-エチルヘキシル基等)、
シクロアルキル基(好ましくは炭素数3~30の置換又は無置換のシクロアルキル基。シクロアルキル基は、単環であっても多環であってもよい。単環のシクロアルキル基としては、例えば、シクロヘキシル基、及びシクロペンチル基等が挙げられる。また、多環のシクロアルキル基としては、例えば、ビシクロアルキル基(好ましくは炭素数5~30の置換又は無置換のビシクロアルキル基であり、具体的には、ビシクロ[1,2,2]ヘプタン-2-イル基、及びビシクロ[2,2,2]オクタン-3-イル基等)、及びトリシクロアルキル基等が挙げられる。シクロアルキル基としては、なかでも、単環のシクロアルキル基、又はビシクロアルキル基が好ましく、単環のシクロアルキル基がより好ましい。)、
シクロアルケニル基(好ましくは炭素数3~30の置換又は無置換のシクロアルケニル基。シクロアルケニル基は、単環であっても多環であってもよい。単環のシクロアルケニル基としては、例えば、2-シクロペンテン-1-イル基、及び2-シクロヘキセン-1-イル基が挙げられる。また、多環のシクロアルケニル基としては、ビシクロアルケニル基(好ましくは炭素数5~30の置換又は無置換のビシクロアルケニル基。具体的には、ビシクロ[2,2,1]ヘプト-2-エン-1-イル基、及びビシクロ[2,2,2]オクト-2-エン-4-イル基等)、及びトリシクロアルケニル基等が挙げられる。シクロアルケニル基としては、なかでも、単環のシクロアルケニル基が好ましい。)、
アルキニル基(好ましくは炭素数2~30の置換又は無置換のアルキニル基。例えば、エチニル基、プロパルギル基、及びトリメチルシリルエチニル基等)、
ヘテロ環基(ヘテロ環基は、置換若しくは無置換の脂環ヘテロ環基及び芳香族ヘテロ環基のいずれであってもよい。また、脂環ヘテロ環基は、飽和及び不飽和のいずれであってもよい。また、ヘテロ環基は、単環であっても縮環であってもよい。ヘテロ環基としては、窒素原子、酸素原子、及び硫黄原子からなる群より選ばれるヘテロ原子を1つ以上含むことが好ましく、炭素数3~30の5員又は6員の芳香族ヘテロ環基がより好ましい。例えば、2-フリル基、2-チエニル基、2-ピリジル基、4-ピリジル基、2-ピリミジニル基、及び2-ベンゾチアゾリル基等が挙げられる。)、
シアノ基、ヒドロキシル基、ニトロ基、カルボキシル基、
アリールオキシ基(好ましくは炭素数6~30の置換又は無置換のアリールオキシ基。例えば、フェノキシ基、2-メチルフェノキシ基、2,4-ジ-tert-アミルフェノキシ基、4-tert-ブチルフェノキシ基、3-ニトロフェノキシ基、及び2-テトラデカノイルアミノフェノキシ基等)、
シリルオキシ基(好ましくは炭素数3~20のシリルオキシ基。例えば、トリメチルシリルオキシ基、及びtert-ブチルジメチルシリルオキシ基等)、
ヘテロ環オキシ基(好ましくは炭素数2~30の置換又は無置換のヘテロ環オキシ基。ヘテロ環オキシ基中のヘテロ環基としては、上述したヘテロ環基から水素原子を1つ除いた2価のヘテロ環基が挙げられる。ヘテロ環オキシ基としては、例えば、1-フェニルテトラゾール-5-オキシ基、及び2-テトラヒドロピラニルオキシ基等が挙げられる。)、
カルバモイルオキシ基(好ましくは炭素数1~30の置換又は無置換のカルバモイルオキシ基。例えば、N,N-ジメチルカルバモイルオキシ基、N,N-ジエチルカルバモイルオキシ基、モルホリノカルボニルオキシ基、N,N-ジ-n-オクチルアミノカルボニルオキシ基、及びN-n-オクチルカルバモイルオキシ基等)、
アルコキシカルボニルオキシ基(好ましくは炭素数2~30の置換又は無置換アルコキシカルボニルオキシ基。例えば、メトキシカルボニルオキシ基、エトキシカルボニルオキシ基、tert-ブトキシカルボニルオキシ基、及びn-オクチルカルボニルオキシ基等)、
アリールオキシカルボニルオキシ基(好ましくは炭素数7~30の置換又は無置換のアリールオキシカルボニルオキシ基。例えば、フェノキシカルボニルオキシ基、p-メトキシフェノキシカルボニルオキシ基、及びp-n-ヘキサデシルオキシフェノキシカルボニルオキシ基等)、
アシルアミノ基(好ましくは、ホルミルアミノ基、炭素数1~30の置換若しくは無置換のアルキルカルボニルアミノ基、又は炭素数6~30の置換若しくは無置換のアリールカルボニルアミノ基。例えば、ホルミルアミノ基、アセチルアミノ基、ピバロイルアミノ基、ラウロイルアミノ基、ベンゾイルアミノ基、3,4,5-トリ-n-オクチルオキシフェニルカルボニルアミノ基、アクリロイルアミノ基、及びメタクリロイルアミノ基等)、
アミノカルボニルアミノ基(好ましくは炭素数1~30の置換又は無置換のアミノカルボニルアミノ基。例えば、カルバモイルアミノ基、N,N-ジメチルアミノカルボニルアミノ基、N,N-ジエチルアミノカルボニルアミノ基、及びモルホリノカルボニルアミノ基等)、
アルコキシカルボニルアミノ基(好ましくは炭素数2~30の置換又は無置換アルコキシカルボニルアミノ基。例えば、メトキシカルボニルアミノ基、エトキシカルボニルアミノ基、tert-ブトキシカルボニルアミノ基、n-オクタデシルオキシカルボニルアミノ基、及びN-メチル-メトキシカルボニルアミノ基等)、
スルファモイルアミノ基(好ましくは炭素数0~30の置換又は無置換のスルファモイルアミノ基。例えば、スルファモイルアミノ基、N,N-ジメチルアミノスルホニルアミノ基、及びN-n-オクチルアミノスルホニルアミノ基等)、
アルキル又はアリールスルホニルアミノ基(好ましくは、炭素数1~30の置換若しくは無置換のアルキルスルホニルアミノ基、又は、炭素数6~30の置換若しくは無置換のアリールスルホニルアミノ基。例えば、メチルスルホニルアミノ基、ブチルスルホニルアミノ基、フェニルスルホニルアミノ基、2,3,5-トリクロロフェニルスルホニルアミノ基、及びp-メチルフェニルスルホニルアミノ基等)、
メルカプト基、
アリールチオ基(好ましくは炭素数6~30の置換又は無置換のアリールチオ基。例えば、フェニルチオ基、p-クロロフェニルチオ基、及びm-メトキシフェニルチオ基等)、
ヘテロ環チオ基(好ましくは炭素数2~30の置換又は無置換のヘテロ環チオ基。ヘテロ環チオ基中のヘテロ環基としては、上述したヘテロ環基から水素原子を1つ除いた2価のヘテロ環基が挙げられる。ヘテロ環チオ基としては、例えば、2-ベンゾチアゾリルチオ基、及び1-フェニルテトラゾール-5-イルチオ基が挙げられる。)、
スルファモイル基(好ましくは炭素数0~30の置換又は無置換のスルファモイル基。例えば、N-エチルスルファモイル基、N-(3-ドデシルオキシプロピル)スルファモイル基、N,N-ジメチルスルファモイル基、N-アセチルスルファモイル基、N-ベンゾイルスルファモイル基、及びN-(N’-フェニルカルバモイル)スルファモイル基等)、
スルホ基、
アルキル又はアリールスルホニル基(好ましくは、炭素数1~30の置換若しくは無置換のアルキルスルホニル基、又は炭素数6~30の置換若しくは無置換のアリールスルホニル基。例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、フェニルスルホニル基、及びp-メチルフェニルスルホニル基等)、
アシル基(好ましくは、ホルミル基、炭素数2~30の置換若しくは無置換のアルキルカルボニル基、又は炭素数7~30の置換若しくは無置換のアリールカルボニル基。例えば、アセチル基、ピバロイル基、2-クロロアセチル基、ステアロイル基、ベンゾイル基、p-n-オクチルオキシフェニルカルボニル基、アクリロイル基、及びメタクリロイル基等)、
アリールオキシカルボニル基(好ましくは炭素数7~30の置換又は無置換のアリールオキシカルボニル基。例えば、フェノキシカルボニル基、o-クロロフェノキシカルボニル基、m-ニトロフェノキシカルボニル基、及びp-tert-ブチルフェノキシカルボニル基等)、
カルバモイル基(好ましくは炭素数1~30の置換又は無置換のカルバモイル基。例えば、カルバモイル基、N-メチルカルバモイル基、N,N-ジメチルカルバモイル基、N,N-ジ-n-オクチルカルバモイル基、及びN-(メチルスルホニル)カルバモイル基等)、
アリール又はヘテロ環アゾ基(好ましくは、炭素数6~30の置換若しくは無置換のアリールアゾ基、又は炭素数3~30の置換若しくは無置換のヘテロ環アゾ基(ヘテロ環アゾ基中のヘテロ環基としては、上述したヘテロ環基から水素原子を1つ除いた2価のヘテロ環基が挙げられる)。例えば、フェニルアゾ基、p-クロロフェニルアゾ基、及び5-エチルチオ-1,3,4-チアジアゾール-2-イルアゾ基等)、
イミド基(好ましくは炭素数2~30の置換又は無置換のイミド基。例えば、N-スクシンイミド基、及びN-フタルイミド基等)、
ホスフィノ基(好ましくは炭素数2~30の置換又は無置換のホスフィノ基。例えば、ジメチルホスフィノ基、ジフェニルホスフィノ基、及びメチルフェノキシホスフィノ基等)、
ホスフィニル基(好ましくは炭素数2~30の置換又は無置換のホスフィニル基。例えば、ホスフィニル基、ジオクチルオキシホスフィニル基、及びジエトキシホスフィニル基等)、
ホスフィニルアミノ基(好ましくは炭素数2~30の置換又は無置換のホスフィニルアミノ基。例えば、ジメトキシホスフィニルアミノ基、及びジメチルアミノホスフィニルアミノ基等)、及び、
シリル基(好ましくは炭素数3~30の置換又は無置換のシリル基。例えば、トリメチルシリル基、tert-ブチルジメチルシリル基、及びフェニルジメチルシリル基等)が挙げられる。
本発明の組成物は、後述する一般式(I-1)で表される繰り返し単位又は後述する一般式(I-2)で表される繰り返し単位を含む樹脂と、溶媒と、ナトリウムイオン、カリウムイオン、及びカルシウムイオンからなる群より選ばれる特定金属イオンと、を含み、上記特定金属イオンの総含有量が、組成物全質量に対して、0.01~30質量ppmである。
トリアジン系樹脂に代表される高屈折率性を示す材料は、その分子間相互作用により会合して凝集体を形成しやすい。今般、本発明者らは、上記凝集体を含む硬化膜について検討したところ、上記硬化膜は高温-低温環境下に繰り返し晒されるとミクロ相分離(凝集部分と非凝集部分との相分離)を生じ易く、このミクロ相分離に起因して、硬化膜は、欠陥が増加することを知見している。
本発明者らは、上記知見に基づいて更に検討を進めたところ、特定トリアジン系樹脂と、所定含有量の特定金属イオンとを配合した組成物によれば、形成される硬化膜はミクロ相分離が生じにくく、結果として、上記硬化膜は、高温-低温環境下に繰り返し晒された後でも欠陥発生が抑制されていることを明らかとした。
上記作用機序は明らかではないが、上記特定金属イオンは、特定トリアジン系樹脂中の窒素原子等とイオン相互作用し易いため、組成物により塗布膜を形成する過程において、特定トリアジン系樹脂の会合を抑制すると推測される。一方で、組成物中の上記特定金属イオンの含有量が多すぎると、組成物により塗布膜を形成する過程において、上記特定金属イオンと特定トリアジン系樹脂とが錯化し易く、これに起因して、硬化膜のミクロ相分離(錯化部分と非錯化部分との相分離)が生じ易くなる。特に、硬化膜が、高温-低温環境下に繰り返し晒されると、系内の上記特定金属イオンと特定トリアジン系樹脂との錯化が更に進行し、ミクロ相分離の発生量がより増加する。この結果、高温-低温環境下に繰り返し晒された硬化膜は、欠陥が増加する。
本発明者らは、組成物中において、上記特定金属イオンの総含有量が、組成物全質量に対して、0.01~30質量ppmである場合、特定トリアジン系樹脂の会合、及び特定トリアジン系樹脂と特定金属イオンとの錯化が抑制され、得られる硬化膜は、高温-低温環境下に繰り返し晒された後でも欠陥発生が抑制されることを明らかとしている。また、上記硬化膜は、高温-低温環境下に繰り返し晒された後でも分光変動(透過率の変化)が小さいことも確認されている。
上記組成物は、一般式(I-1)で表される繰り返し単位又は一般式(I-2)で表される繰り返し単位を含む樹脂(特定トリアジン系樹脂)を含む。
(一般式(I-1)で表される繰り返し単位)
X1、X2、及びX3としては、高温-低温環境下に繰り返し晒された後の硬化膜の屈折率がより優れる点、及び高温-低温環境下に繰り返し晒されても硬化膜の分光変動が小さい点で、-NR1-が好ましい。
R1で表される置換基としては特に制限されないが、例えば、上述した置換基群Tで例示された基が挙げられ、なかでも、アルキル基、又はアリール基が好ましい。
R1で表されるアルキル基(直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれでもよい)としては特に制限されないが、例えば、炭素数1~10のアルキル基が挙げられ、炭素数1~6のアルキル基が好ましく、炭素数1~3のアルキル基がより好ましい。また、R1で表されるアリール基としては特に制限されないが、例えば、フェニル基等が挙げられる。
R1としては、なかでも、水素原子、又は炭素数1~3のアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。
また、R1で表されるアルキル基及びアリール基は、置換基(例えば、置換基群Tに例示された基)を有していてもよい。
W1で表される2価の連結基としては特に制限されないが、例えば、-O-、-CO-、-S-、-SO2-、-NRA-、アリーレン基、アルキレン基、ヘテロアリーレン基、及びこれらの組み合わせからなる基が挙げられる。アルキレン基は、ハロゲン原子などの置換基(例えば、置換基群Tに例示された基)で置換されていてもよい。
上記アリーレン基は、置換基(例えば、置換基群Tに例示された基)を有していてもよい。
上記RAで表される置換基としては、上記R1で表される置換基と同義である。
なかでも、A1~A3で表されるアリーレン基としては、1,4-フェニレン基であることが好ましい。
Vで表されるアルキル基(直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれでもよい)としては特に制限されないが、例えば、炭素数1~10のアルキル基が挙げられ、炭素数1~6のアルキル基がより好ましく、炭素数1~3のアルキル基が更に好ましい。
Vで表されるアリール基としては、例えば、6~10員環又はその縮合環からなるアリール基が挙げられる。
アリール基を構成する環の具体例としては、特に制限されないが、例えば、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、トリフェニレン環、ピレン環、及びナフタセン環等が挙げられ、ベンゼン環又はナフタレン環が好ましく、ベンゼン環がより好ましい。なお、上記環は、環上の水素原子が1個除かれることにより、アリール基を構成する。
Vで表されるヘテロ環基としては特に制限されず、例えば、脂肪族ヘテロ環基、及び、芳香族ヘテロ環基が挙げられる。なお、脂肪族ヘテロ環としては、5員環、6員環若しくは7員環、又はその縮合環が挙げられる。また、芳香族ヘテロ環としては、5員環、6員環若しくは7員環、又はその縮合環が挙げられる。
なお、上記縮合環においては、ベンゼン環などのヘテロ環基以外の環が含まれていてもよい。
上記脂肪族ヘテロ環の具体例としては、特に制限されないが、例えば、オキソラン環、オキサン環、ピぺリジン環、及びピペラジン環等が挙げられる。なお、上記脂肪族ヘテロ環は、環上の水素原子が1個除かれることにより、脂肪族ヘテロ環基を構成する。
上記芳香族ヘテロ環の具体例としては特に制限されないが、フラン環、チオフェン環、ピロール環、オキサゾール環、イソオキサゾール環、オキサジアゾール環、チアゾール環、イソチアゾール環、チアジアゾール環、イミダゾール環、ピラゾール環、トリアゾール環、フラザン環、テトラゾール環、ピリジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、ピラジン環、トリアジン環、テトラジン環、ベンゾフラン環、イソベンゾフラン環、ベンゾチオフェン環、インドール環、インドリン環、イソインドール環、ベンゾオキサゾール環、ベンゾチアゾール環、インダゾール環、ベンゾイミダゾール環、キノリン環、イソキノリン環、シンノリン環、フタラジン環、キナゾリン環、キノキサリン環、ジベンゾフラン環、ジベンゾチオフェン環、カルバゾール環、アクリジン環、フェナントリジン環、フェナントロリン環、フェナジン環、ナフチリジン環、プリン環、及びプテリジン環等が挙げられる。なお、上記芳香族ヘテロ環は、環上の水素原子が1個除かれることにより、芳香族ヘテロ環基を構成する。
R3は、置換基を表す。なかでも、R3としては、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、アルキルチオ基、又はハロゲン原子が好ましい。
R3で表されるアルキル基(直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれでもよい)としては特に制限されないが、例えば、炭素数1~10のアルキル基が挙げられ、炭素数1~6のアルキル基がより好ましく、炭素数1~3のアルキル基が更に好ましい。
R3で表されるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、及びヨウ素原子等が挙げられる。
R3で表されるアルキルチオ基としては特に制限されないが、例えば、炭素数1~10のアルキルチオ基が挙げられ、炭素数1~6のアルキルチオ基がより好ましく、炭素数1~3のアルキルチオ基が更に好ましい。なお、アルキルチオ基中のアルキレン基は、直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれでもよい。
なお、R3で表されるアルキル基及びアルキルチオ基は、更に置換基(例えば、置換基群Tに例示された基)を有していてもよい。
R4で表されるアリール基及びヘテロ環基としては、上記Vで表されるアリール基及びヘテロ環基と同義である。R4で表されるアリール基としては、フェニル基が好ましい。
R4で表されるアルキル基、アルキルチオ基、及びハロゲン原子としては、上記R3で表されるアルキル基、アルキルチオ基、及びハロゲン原子と同義であり、好適態様も同じである。
R4としては、高温-低温環境下に繰り返し晒された後の硬化膜の屈折率がより優れる点で、アリール基、シアノ基、ニトロ基、又はハロゲン原子が好ましい。
高温-低温環境下に繰り返し晒された後の硬化膜の屈折率がより優れる点で、mは0であることが好ましく、nは1であることがより好ましい。
一般式(IIA)中、R4は、一般式(II)中のR4と同義であり、好適態様も同じである。
R4としては、なかでも、R4が置換しているフェニル基において、上記フェニル基に隣接するフェニレン基との結合位置に対して、パラ位に位置することが好ましい。つまり、例えば、R4がアリール基を表す場合、一般式(IIA)で表される基は、p-ターフェニレン基であることが好ましい。
一般式(I-2)中、W2としては、一般式(I-1)中のW1と同義である。
また、W2で表される2価の連結基としては、高温-低温環境下に繰り返し晒された後の硬化膜の屈折率がより優れる点、及び高温-低温環境下に繰り返し晒されても硬化膜の分光変動が小さい点で、A1~A3で表されるアリーレン基としては、1,4-フェニレン基であることが好ましい。
W2で表される2価の連結基としては、高温-低温環境下に繰り返し晒された後の硬化膜の屈折率がより優れる点、及び高温-低温環境下に繰り返し晒されても硬化膜の分光変動が小さい点で、A1~A3がいずれもアリーレン基(好ましくは1,4-フェニレン基)を表すことがより好ましい。
上記一般式(VI)中、X7及びX8は、それぞれ独立して、-NR2-、-O-、又は-S-を表す。R2は、水素原子、又は置換基を表す。W3は、2価の連結基を表す。
上記R2で表される置換基としては、上述した一般式(II-2)中のR2と同様のものが挙げられる。
上記W3で表される2価の連結基としては、上述した一般式(II-2)中のW2と同様のものが挙げられる。
上記R2で表される置換基としては、上述した一般式(II-2)中のR2と同様のものが挙げられる。
上記一般式(VIII)中、Y4及びY5は、脱離基(例えば、ハロゲン原子)、又はイソシアネート基を表す。W4は、2価の連結基を表す。
上記W4で表される2価の連結基としては、上述した一般式(II-2)中のW2と同様のものが挙げられる。
上記組成物中、特定トリアジン系樹脂の含有量(複数種存在する場合はその合計)は、組成物の全固形分に対して、一般的に80.0質量%以上の場合が多く、85.0質量%以上が好ましく、90.0質量%以上がより好ましい。上限は特に制限されないが、99.9質量%以下が好ましく、99.5質量%以下がより好ましい。
上記組成物は、ナトリウムイオン、カリウムイオン、及びカルシウムイオンからなる群より選ばれる特定金属イオンを含む。
上記組成物中、上記特定金属イオンの総含有量は、組成物全質量に対して、0.01~30質量ppmであり、高温-低温環境下に繰り返し晒された後の硬化膜の欠陥抑制性により優れる点で、0.03~10質量ppmが好ましい。
また、上記組成物中、上記特定金属イオンの総含有量は、特定トリアジン系樹脂に対して、0.1~300質量ppmであることが好ましく、高温-低温環境下に繰り返し晒された後の硬化膜の欠陥抑制性により優れる点で、0.3~100質量ppmが好ましい。
なお、上記組成物中における特定金属イオンの含有量は、ICP(Inductively Coupled Plasma)発光分光分析装置(例えば、パーキンエルマー製「Optima7300DV」)により測定できる。
上記組成物は、溶媒を含む。
上記溶媒としては、例えば、エチルセロソルブアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3-メトキシプロピルアセテート、3-メトキシブチルアセテート、3-メトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル、プロピレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセタート、γ-ブチロラクトン、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、酢酸シクロヘキシル等のエステル類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)、プロピレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、3-メトキシプロパノール、1-メトキシ-2-プロパノール、メトキシメトキシエタノール、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、及びジエチレングリコールジエチルエーテル等のアルコール類;ベンゼン、キシレン、エチルベンゼン、及びアニソール等の芳香族炭化水素類;シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素類;アセトニトリル等のニトリル類;アセトン、メチルエチルケトン、アセチルアセトン、シクロヘキサノン、2-ヘプタノン、シクロペンタノン、及びジアセトンアルコール等のケトン類;エチレンジクロライド等のハロゲン化合物;シクロヘキシルメチルエーテル、及びジブチルエーテル等のエーテル類;3-メトキシ-N,N-ジメチルプロパンアミド、N-エチル-2-ピロリドン、及び3-ブトキシ-N,N-ジメチルプロパンアミド等のアミド類;等が挙げられる。
なお、上記溶媒の詳細は、国際公開WO2015/166779号公報の段落番号0223の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。ただし、上記溶媒としての芳香族炭化水素類は、環境面等の理由により低減したほうがよい場合がある(例えば、溶媒全量に対して、50質量ppm(parts per million)以下とすることもでき、10質量ppm以下とすることもでき、1質量ppm以下とすることもできる)。
上記組成物は、溶媒としてトルエンを含んでいてもよい。
上記組成物中、トルエンの総含有量は、組成物全質量に対して、0.001~10質量ppmであることが好ましい。組成物中におけるトルエンの総含有量が上記数値範囲である場合、組成物により形成される塗布膜の表面外観に優れる。
また、上記組成物中、上記トルエンの総含有量は、特定トリアジン系樹脂に対して、0.01~100質量ppmであることが好ましい。
なお、上記組成物中におけるトルエンの含有量は、ガスクロマトグラフィーにて測定できる。
なお、組成物の固形分濃度とは、組成物全質量に対する全固形分の濃度を意図する(つまり、組成物中における、硬化膜を形成する成分の濃度を意図する)。なお、全固形分の定義については、上述した通りである。
上記組成物は、上述した成分以外のその他の成分を含んでもよい。その他の成分としては、硬化性化合物(重合性化合物を含む。)、重合開始剤、酸化防止剤、シランカップリング剤、重合禁止剤、界面活性剤、紫外線吸収剤、充填材(例えば、無機粒子)、硬化促進剤、可塑剤、低分子量有機カルボン酸等の現像性向上剤、及び凝集防止剤等の各種添加剤が挙げられる。
上記組成物は、硬化性化合物を含むことが好ましい。
硬化性化合物としては、ラジカル、酸、又は、熱により硬化可能な公知の化合物を使用できる。例えば、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物、エポキシ基を有する化合物、並びに、メチロール基及びチオール基等の反応性基を有する化合物等が挙げられる。エチレン性不飽和結合を有する基としては、ビニル基、(メタ)アクリル基、(メタ)アクリロイル基、及び(メタ)アクリロイルオキシ基等が挙げられ、(メタ)アクリロイル基、又は(メタ)アクリロイルオキシ基が好ましい。硬化性化合物は、重合性化合物であることが好ましく、ラジカル重合性化合物であることがより好ましい。重合性化合物としては、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物等が挙げられる。
上記組成物中、硬化性化合物は、1種単独であってもよいし、2種以上を併用してもよい。上記組成物が、硬化性化合物を2種以上含む場合、合計含有量が上記範囲となることが好ましい。
本発明において、硬化性化合物として、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物(以下、重合性化合物ともいう)を使用できる。重合性化合物は、モノマーであることが好ましい。重合性化合物の分子量は、100~3000が好ましい。上限は、2000以下がより好ましく、1500以下が更に好ましい。下限は、150以上がより好ましく、250以上が更に好ましい。重合性化合物は、3~15官能の(メタ)アクリレート化合物であることが好ましく、3~6官能の(メタ)アクリレート化合物であることがより好ましい。
酸基を有する重合性化合物の酸価は、0.1~40mgKOH/gが好ましい。下限は5mgKOH/g以上がより好ましい。上限は、30mgKOH/g以下がより好ましい。
硬化性化合物として、エポキシ基を有する化合物を用いることもできる。エポキシ基を有する化合物は、1分子内にエポキシ基を1つ以上有する化合物が挙げられ、1分子内にエポキシ基を2つ以上有する化合物が好ましい。エポキシ基は1分子内に1~100個有することが好ましい。上限は、例えば、10個以下とすることもでき、5個以下とすることもできる。下限は、2個以上が好ましい。
上記組成物は、重合開始剤を含んでいてもよく、光重合開始剤を含むことが好ましい。光重合開始剤としては、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択できる。例えば、光重合開始剤は、紫外領域から可視領域の光線に対して感光性を有する化合物が好ましい。
オキシム化合物の365nm又は405nmにおけるモル吸光係数は、感度の観点から、1,000~300,000であることが好ましく、2,000~300,000であることがより好ましく、5,000~200,000であることが更に好ましい。
化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いて測定できる。例えば、紫外可視分光光度計(Varian社製Cary-5 spectrophotometer)にて、酢酸エチル溶媒を用い、0.01g/Lの濃度で測定することが好ましい。
重合開始剤の含有量が上記範囲の場合、感度により優れ、且つ、矩形性に優れたパターンを形成しやすい。上記組成物は、重合開始剤を1種類のみ含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。上記組成物が、重合開始剤を2種類以上含む場合、その合計含有量が上記範囲となることが好ましい。
上記組成物は、酸化防止剤を含んでもよい。
酸化防止剤としては、フェノール化合物、亜リン酸エステル化合物、及びチオエーテル化合物等が挙げられる。酸化防止剤としては、分子量500以上のフェノール化合物、分子量500以上の亜リン酸エステル化合物、又は分子量500以上のチオエーテル化合物が好ましい。これらは2種以上を混合して使用してもよい。フェノール化合物としては、フェノール系酸化防止剤として知られる任意のフェノール化合物を使用することができ、多置換フェノール系化合物が好ましい。多置換フェノール系化合物は、大きく分けてその置換位置及び構造の異なる3種類(ヒンダードタイプ、セミヒンダードタイプ、及びレスヒンダードタイプ)がある。また、酸化防止剤としては、同一分子内にフェノール基と亜リン酸エステル基を有する化合物が好ましく用いられる。また、酸化防止剤としては、リン系酸化防止剤も好ましく用いられる。酸化防止剤は市販品を用いることもできる。酸化防止剤の市販品としては、例えば、アデカスタブ AO-20、アデカスタブ AO-30、アデカスタブ AO-40、アデカスタブ AO-50、アデカスタブ AO-50F、アデカスタブ AO-60、アデカスタブ AO-60G、アデカスタブ AO-80、及びアデカスタブ AO-330((株)ADEKA)等が挙げられる。また、酸化防止剤としては、特開2014-032380号公報の段落番号0033~0043の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
上記組成物は、シランカップリング剤を含んでもよい。
本発明において、シランカップリング剤は、加水分解性基とそれ以外の官能基とを有するシラン化合物を意味する。また、加水分解性基とは、ケイ素原子に直結し、加水分解反応及び縮合反応の少なくともいずれかによってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、及びアシルオキシ基等が挙げられ、アルコキシ基が好ましい。すなわち、シランカップリング剤は、アルコキシシリル基を有する化合物が好ましい。また、加水分解性基以外の官能基は、樹脂との間で相互作用若しくは結合を形成して親和性を示す基が好ましい。例えば、ビニル基、スチリル基、(メタ)アクリロイル基、メルカプト基、エポキシ基、オキセタニル基、アミノ基、ウレイド基、スルフィド基、イソシアネート基、及びフェニル基等が挙げられ、(メタ)アクリロイル基、又はエポキシ基が好ましい。
上記組成物は、重合禁止剤を含んでもよい。
重合禁止剤は、ハイドロキノン、p-メトキシフェノール、ジ-tert-ブチル-p-クレゾール、ピロガロール、tert-ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4'-チオビス(3-メチル-6-tert-ブチルフェノール)、2,2'-メチレンビス(4-メチル-6-tert-ブチルフェノール)、及びN-ニトロソフェニルヒドロキシアミン塩(アンモニウム塩、及び第一セリウム塩等)が挙げられる。中でも、p-メトキシフェノールが好ましい。なお、重合禁止剤は、酸化防止剤として機能することもある。
上記組成物は、塗布性をより向上させる観点から、各種の界面活性剤を含んでもよい。
界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、及びシリコーン系界面活性剤等の各種界面活性剤を使用できる。界面活性剤は、国際公開WO2015/166779号公報の段落番号0238~0245を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
上記組成物は、紫外線吸収剤を含んでもよい。
紫外線吸収剤としては、共役ジエン化合物、アミノジエン化合物、サリシレート化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、アクリロニトリル化合物、及びヒドロキシフェニルトリアジン化合物等が挙げられる。これらの詳細については、特開2012-208374号公報の段落番号0052~0072、及び特開2013-68814号公報の段落番号0317~0334の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。共役ジエン化合物の市販品としては、例えば、UV-503(大東化学(株)製)等が挙げられる。また、ベンゾトリアゾール化合物としてはミヨシ油脂製のMYUAシリーズ(化学工業日報、2016年2月1日)を用いてもよい。
紫外線吸収剤の含有量は、組成物の全固形分に対して、0.1~10質量%が好ましく、0.1~5質量%がより好ましく、0.1~3質量%が更に好ましい。また、紫外線吸収剤は、1種類のみでもよく、2種類以上でもよい。上記組成物が、紫外線吸収剤を2種類以上含む場合、その合計含有量が上記範囲となることが好ましい。
充填材としては、例えば無機粒子が挙げられる。無機粒子としては、屈折率が高く、無色、白色又は透明な無機粒子が好ましく、チタン(Ti)、ジルコニウム(Zr)、アルミニウム(Al)、ケイ素(Si)、亜鉛(Zn)、又はマグネシウム(Mg)等の酸化物粒子が好ましく、二酸化チタン(TiO2)粒子、酸化ジルコニウム(ZrO2)粒子、又は二酸化珪素(SiO2)粒子がより好ましい。
無機粒子の一次粒子径は特に制限されず、1~100nmが好ましく、1~80nmがより好ましく、1~50nmが更に好ましい。無機粒子の一次粒子径が上記範囲内であれば、分散性がより優れると共に、屈折率及び透過率がより向上する。
無機粒子の屈折率は特に制限はないが、高屈折率を得る観点から、1.75~2.70が好ましく、1.90~2.70がより好ましい。
無機粒子の比表面積は特に制限はないが、10~400m2/gが好ましく、20~200m2/gがより好ましく、30~150m2/gが更に好ましい。
また、無機粒子の形状には特に制限はなく、例えば、米粒状、球形状、立方体状、紡錘形状、及び不定形状等が挙げられる。
無機粒子は、有機化合物により表面処理されたものであってもよい。表面処理に用いる有機化合物としては、例えば、ポリオール、アルカノールアミン、ステアリン酸、シランカップリング剤、及びチタネートカップリング剤が挙げられる。なかでも、ステアリン酸又はシランカップリング剤が好ましい。
また、無機粒子の表面は、耐候性がより向上する点で、アルミニウム、ケイ素、及びジルコニア等の酸化物により覆われていることも好ましい。
無機粒子としては、市販されているものを好ましく使用できる。
上記組成物中、無機粒子は、1種単独でも、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
上記組成物が、硬化性化合物として、カチオン重合性基を含む化合物(例えば、エポキシ基を有する化合物)を含む場合、組成物は、硬化促進剤を含むことが好ましい。
硬化速度を向上させる硬化促進剤としては、酸無水物、塩基(脂肪族アミン、芳香族アミン、及び変性アミン等)、酸(スルホン酸、リン酸、及びカルボン酸等)、及びポリメルカプタン等が挙げられる。なかでも、酸無水物が好ましく、脂肪族酸無水物が更に好ましい。
上記組成物は、前述の成分を混合して調製できる。組成物の調製に際しては、各成分を一括配合してもよいし、各成分を溶媒に溶解又は分散した後に逐次配合してもよい。例えば、全成分を同時に溶媒に溶解又は分散して組成物を調製してもよい。また、粒子性を示す成分を溶媒及び樹脂中で分散させて組成物を調製し、得られた組成物と他の成分(例えば、特定トリアジン系樹脂及び硬化性化合物等)とを混合してもよい。
フィルタの孔径は、0.01~7.0μm程度が好ましく、0.01~3.0μm程度がより好ましく、0.05~0.5μm程度が更に好ましい。フィルタの孔径が上記範囲であれば、微細な異物を確実に除去できる。ファイバ状のろ材を用いることも好ましい。ファイバ状のろ材としては、例えばポリプロピレンファイバ、ナイロンファイバ、及びグラスファイバ等が挙げられる。具体的には、ロキテクノ社製のSBPタイプシリーズ(SBP008等)、TPRタイプシリーズ(TPR002、及びTPR005等)、及びSHPXタイプシリーズ(SHPX003等)等のフィルタカートリッジが挙げられる。
上記組成物、及び後述する本発明の樹脂の用途は特に制限されないが、例えば、固体撮像素子の高屈折部材(マイクロレンズ、カラーフィルタの下地層及び隣接層等の透明膜、並びに、カラーフィルタのホワイトピクセル等)、レンズ(眼鏡レンズ、デジタルカメラ用レンズ、フレネルレンズ、及びプリズムレンズ等)、光学用オーバーコート剤、ハードコート剤、反射防止膜、光ファイバ、光導波路、LED(Light Emitting Diode)用封止材料、LED用平坦化材料、及び太陽光電池用コーティング材として有用である。
本発明の膜は、本発明の組成物から得られる膜である。
ここで、上記「膜」は、本発明の組成物により形成される塗布膜(未硬化の膜)、及び塗布膜を硬化して形成される硬化膜をいずれも意図している。
なお、硬化膜は、組成物中に硬化性化合物が含まれる場合、上記組成物により形成される塗布膜に対して硬化処理を施すことによって得られる。
上記膜の屈折率(波長589nm)は特に制限されないが、1.55以上であることが好ましく、1.6~2.0であることがより好ましい。
上記膜の光透過率は特に制限されないが、400~700nmの波長領域全域に渡って90%以上であることが好ましく、95%以上であることがより好ましく、100%であることが更に好ましい。
上記膜の厚みは特に制限されないが、0.1~20μmであることが好ましく、0.1~10μmであることがより好ましく、0.5~4μmであることが更に好ましい。
以下、硬化膜の製造方法の一例として、パターン状の硬化膜を製造する方法について詳述する。
なお、上記で使用される組成物には、通常、硬化性化合物及び光重合開始剤が含まれる。
以下、各工程について説明する。
組成物層形成工程では、基板上に、上記組成物を塗布して組成物層(塗布膜)を形成する。
露光工程では、組成物層形成工程において形成された組成物層(塗布膜)を、マスクを介して露光し、光照射された塗布膜部分だけを硬化させる。
露光は、活性光線又は放射線の照射により行うことが好ましく、特に、g線、h線、又はi線等の紫外線がより好ましい。照射強度は5~1500mJ/cm2が好ましく、10~1000mJ/cm2がより好ましい。
露光工程に次いで、アルカリ現像処理(現像工程)を行い、露光工程における光未照射部分をアルカリ水溶液に溶出させる。これにより、光硬化した部分(光照射された塗布膜部分)だけが残る。
現像液としては、下地の回路等にダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。現像温度としては通常20~30℃であり、現像時間は20~90秒である。
本発明の膜(好ましくは硬化膜)は、レンズとして使用することもできる。レンズとしては、なかでも、上述した固体撮像素子のマイクロレンズに好適に使用できる。
本発明の膜(好ましくは硬化膜)は、固体撮像素子に好適に適用できる。
本発明の固体撮像素子の構成としては、例えば、基板上に、固体撮像素子(CCDイメージセンサ、CMOSイメージセンサ等)の受光エリアを構成する複数のフォトダイオード及びポリシリコン等からなる受光素子を有するとともに、カラーフィルタの下に本発明の膜である下塗り膜を備えた構成等が挙げられる。
本発明は、高屈折率材料として好適に用いられ得る新規樹脂にも関する。本発明の樹脂は、下記一般式(IV-1)で表される繰り返し単位、又は下記一般式(IV-2)で表される繰り返し単位を含む樹脂である。なお、下記一般式(IV-1)で表される繰り返し単位、又は下記一般式(IV-2)で表される繰り返し単位を含む樹脂は、上述した特定トリアジン系樹脂の一形態に該当する。
以下に、本発明の樹脂について詳述する。
<一般式(IV-1)で表される繰り返し単位>
上記R5で表される、ヘテロ環基、アルキル基、アルキルチオ基、及びハロゲン原子の好適態様としては、上述した一般式(II)中のR4で表される、ヘテロ環基、アルキル基、アルキルチオ基、及びハロゲン原子と各々同様である。
<合成例1:樹脂(A-1)>
4-アミノ-4’-シアノビフェニルと1,4-フェニレンジアミンとを、それぞれ、4-アミノ-p-ターフェニルと1,3-フェニレンジアミンに変更し、同じモル当量で反応させた以外は合成例1と同様の操作を実施し、化合物(A-2)を得た。
4-アミノ-4’-シアノビフェニルと1,4-フェニレンジアミンとを、それぞれ、4-アミノ-4’-クロロビフェニルと4,4’-ジアミノベンズアニリドに変更し、同じモル当量で反応させた以外は合成例1と同様の操作を実施し、化合物(A-3)を得た。
4-アミノ-4’-シアノビフェニルと1,4-フェニレンジアミンとを、それぞれ、4-アミノ-4’-メチルビフェニルと4,4’-ジアミノジフェニルエーテルに変更し、同じモル当量で反応させた以外は合成例1と同様の操作を実施し、化合物(A-4)を得た。
4-アミノ-4’-シアノビフェニルと1,4-フェニレンジアミンとを、それぞれ、4-アミノ-4’-ニトロビフェニルとビス(4-アミノフェニル)スルフィドに変更し、同じモル当量で反応させた以外は合成例1と同様の操作を実施し、化合物(A-5)を得た。
4-アミノ-4’-シアノビフェニルと1,4-フェニレンジアミンとを、それぞれ、4-アミノ-4’-メチルチオビフェニルとビス(4-アミノフェニル)スルホンに変更し、同じモル当量で反応させた以外は合成例1と同様の操作を実施し、化合物(A-6)を得た。
4-アミノ-4’-シアノビフェニルと1,4-フェニレンジアミンとを、それぞれ、p-シアノアニリンと4,4”-ジアミノ-p-ターフェニルに変更し、同じモル当量で反応させた以外は合成例1と同様の操作を実施し、化合物(A-7)を得た。
4-アミノ-4’-シアノビフェニルと1,4-フェニレンジアミンとを、それぞれ、4-アミノ-p-ターフェニルと4,4”-ジアミノ-p-ターフェニルに変更し、同じモル当量で反応させた以外は合成例1と同様の操作を実施し、化合物(A-8)を得た。
4,4”-ジアミノ-p-ターフェニルを、1,3-フェニレンジアミンに変更し、同じモル当量で反応させた以外は合成例9と同様の操作を実施し、化合物(A-10)を得た。
なお、樹脂中のトルエン濃度は、公知の方法に従い、ガスクロマトグラフィーにて検量線を作成した上で定量した。
以下に、組成物に含まれる各種成分を示す。
<特定トリアジン系樹脂>
特定トリアジン系樹脂(一般式(I-1)で表される繰り返し単位又は下記一般式(I-2)で表される繰り返し単位を含む樹脂)については、上述した樹脂(A-1)~(A-11)を使用した。
以下に示す硬化性化合物M-1~M-7を使用した。
以下に示す光重合開始剤I-1~I-12を使用した。
構造式中「Me」はメチル基を示し、「Ph」はフェニル基を示す。
トルエン以外の溶媒として、以下に示す溶媒を使用した。
NEP:N-エチル-2-ピロリドン
MFG:1-メトキシ-2-プロパノール
CPN:シクロペンタノン
以下に示す界面活性剤を使用した。
メガファックR-40(DIC株式会社製)
上述した各成分については、各々精製を実施し、各成分中のナトリウムイオン、カリウムイオン、及びカルシウムイオンの含有量が、各々0.01質量ppm未満であることを確認してから使用している。なお、ナトリウムイオン、カリウムイオン、及びカルシウムイオンの定量方法については、上述した通りである。
上述した各成分については、真空乾燥により、各成分中のトルエンの含有量が、0.001質量ppm未満であることを確認してから使用している。なお、各成分中のトルエンの含有量の定量方法については、上述した通りである。
上述の各種成分(樹脂、トルエン以外の溶媒、硬化性化合物、重合開始剤、及び界面活性剤)を表2に示す配合比で混合した後、得られた混合物を真空乾燥して、乾燥物中のナトリウムイオン、カリウムイオン、及びカルシウムイオンの含有量が、各々0.01質量ppm未満であることを確認した。また、トルエンの含有量が0.001質量ppm未満であることを確認した。
また、得られた組成物中におけるトルエンの含有量については、公知の方法に従い、ガスクロマトグラフィーにて検量線を作成した上で定量した。
得られた組成物を用いて、サーモサイクル後における硬化膜の屈折率の評価、サーモサイクル後における硬化膜の分光変動、サーモサイクル後における硬化膜の欠陥抑制性の評価、及び、塗布膜の表面外観評価を行った。
エポキシ樹脂(JER-827、ジャパンエポキシレジン社製)を用いてエポキシ樹脂層を形成した5cm×5cmのガラス基板上に、表2に記載の組成物をそれぞれスピン塗布し、100℃で3分間ベーク(加熱)した。次に、得られた塗布膜に対して、高圧水銀灯を用いて、積算露光量が200mJ/cm2となるように露光を行った。その後、ガラス基板を、200℃で3分間ベークし、膜厚が1μmの硬化膜を得た。得られた硬化膜を、冷熱衝撃試験装置(ESPEC THERMAL Shock CHAMBER TSA-70L (TABAI ESPEC社製))に入れ、-65℃/30分間→125℃/30分間の冷熱サイクルを300サイクルかけた。J.A.Woollam社製VASEを用いて、波長300~1500nmの屈折率を測定し、波長589nmにおける屈折率の値を各膜の屈折率とした。
「A」:屈折率が1.85以上
「B」:屈折率が1.70以上1.85未満
「C」:屈折率が1.70未満
上記屈折率の評価において、冷熱衝撃試験前後の硬化膜の波長450nmの透過率の変化量(|冷熱衝撃試験前の透過率-冷熱衝撃試験前の透過率|(絶対値))を測定した。
測定された透過率の変化量を以下の基準に照らして、サーモサイクル後における硬化膜の分光変動(透過率の変化)を評価した。
「A」:透過率の変動率が1%未満である。
「B」:透過率の変動率が1%以上5%未満である。
「C」:透過率の変動率が5%以上であり、実用上問題となるレベルである。
なお、上記透過率の変動率(%)は、{(透過率の変化量)/(冷熱衝撃試験前の透過率)}×100によって算出される値である。
エポキシ樹脂(JER-827、ジャパンエポキシレジン社製)を用いてエポキシ樹脂層を形成したシリコンウエハ上に、表2に記載の組成物をそれぞれスピン塗布し、更に100℃で3分間ベーク(加熱)し、膜厚1μmの塗布膜を形成した。次に、得られた塗布膜に対して、高圧水銀灯を用いて、積算露光量が200mJ/cm2となるように露光を行った。その後、ガラス基板を、200℃で3分間ベークし、膜厚が1μmの硬化膜を得た。得られた硬化膜を、冷熱衝撃試験装置(ESPEC THERMAL Shock CHAMBER TSA-70L (TABAI ESPEC社製))に入れ、-65℃/30分間→125℃/30分間の冷熱サイクルを300サイクルかけた後、欠陥検査装置(アプライドマテリアルズ社製ComPlus)を用いて硬化膜の欠陥数(個/cm2)測定を行った。
「A」:欠陥数が0個/cm2以上10個/cm2未満
「B」:欠陥数が10個/cm2以上20個/cm2未満
「C」:欠陥数が20個/cm2以上であり、実用上問題となるレベルである。
エポキシ樹脂(JER-827、ジャパンエポキシレジン社製)を用いてエポキシ樹脂層を形成したシリコンウエハ上に、表2に記載の組成物をそれぞれスピン塗布し、更に100℃で3分間ベーク(加熱)し、膜厚1μmの塗布膜Aを形成し、光学顕微鏡で異常がないことを観察した。この塗布膜Aを25℃で100時間放置し、光学顕微鏡で塗布膜Bを観察した。
「A」:膜の表面荒れ又は異物は観測されない。
「B」:膜の表面荒れ又は異物が一部観測されるものの、実用上問題とならないレベルである。
「C」:膜の表面荒れ又は異物が一部観測され、実用上問題となるレベルである。
なお、表2において、「特定金属イオン」欄中の「0」は、組成物中の特定金属イオンの含有量が0.01質量ppm未満であったことを意図する。また、「トルエン」欄中の「0」は、組成物中のトルエンの含有量が0.001質量ppm未満であったことを意図する。
また、表2中の「トルエン以外の溶媒」欄の「残量」とは、組成物の全割合(100%)から、組成物中の「トルエン以外の溶媒」以外の構成成分の合計質量割合を除いた量を意図する。
また、実施例1~21の対比から、上記組成物中、特定金属イオンの総含有量が、組成物全質量に対して0.03~10質量ppmである場合、高温-低温環境下に繰り返し晒された後の硬化膜の欠陥抑制性により優れることが確認された。
また、実施例1~21の対比から、上記組成物中、トルエンの含有量が、組成物全質量に対して0.001~10質量ppmである場合、表面外観特性により優れることが確認された。
また、実施例9、実施例15、及び実施例19の対比から、上記組成物が上述した一般式(I-2)で表されるトリアジン樹脂を含む場合において、W2が上述した一般式(III)で表される2価の連結基であって、A1~A3中に含まれるアリーレン基が1,4-フェニレン基であるとき、又はA1~A3がいずれもアリーレン基を表すときは、高温-低温環境下に繰り返し晒された後の硬化膜の屈折率がより優れ、且つ、高温-低温環境下に繰り返し晒された後でも硬化膜の分光変動(透過率の変化)が小さいことが確認された。
また、実施例1~3、実施例7、8、実施例10~14、及び実施例17~18と、実施例16の対比から、上記組成物が、上述した一般式(I-1)中のX1~X3がいずれも-NR1-である特定トリアジン系樹脂を含む場合、高温-低温環境下に繰り返し晒された後の硬化膜の屈折率がより優れ、且つ、高温-低温環境下に繰り返し晒された後でも硬化膜の分光変動(透過率の変化)が小さいことが確認された。
Claims (15)
- 一般式(I-1)で表される繰り返し単位又は一般式(I-2)で表される繰り返し単位を含む樹脂と、
溶媒と、
ナトリウムイオン、カリウムイオン、及びカルシウムイオンからなる群より選ばれる特定金属イオンと、
硬化性化合物と、
重合開始剤と、を含む組成物であって、
前記特定金属イオンの総含有量が、組成物全質量に対して、0.01~30質量ppmである、組成物。
一般式(I-1)中、X1、X2、及びX3は、それぞれ独立して、-NR1-、-O-、又は-S-を表す。W1は、2価の連結基を表す。Vは、アルキル基、アリール基、又はヘテロ環基を表す。R1は、水素原子、又は置換基を表す。
一般式(I-2)中、X4、X5、及びX6は、それぞれ独立して、-NR2-、-O-、又は-S-を表す。W2は、2価の連結基を表す。R2は、水素原子、又は置換基を表す。 - 前記溶媒がトルエンを含み、
前記トルエンの含有量が、組成物全質量に対して、0.001~10質量ppmである、請求項1に記載の組成物。 - 一般式(II)中、前記mは0を表し、前記nは1を表し、前記R4は、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、アルキルチオ基、又はハロゲン原子を表す、請求項3に記載の組成物。
- 一般式(I-1)中、前記X1~X3がいずれも-NR1-である、請求項1~5のいずれか1項に記載の組成物。
- 一般式(I-2)の前記W2において、前記A1~A3がいずれもアリーレン基を表す、請求項7に記載の組成物。
- 一般式(I-2)の前記W2において、前記アリーレン基が、1,4-フェニレン基である、請求項7又は8に記載の組成物。
- 請求項1~9のいずれか1項に記載の組成物により形成される塗布膜。
- 請求項10に記載の塗布膜を硬化して形成される硬化膜。
- 請求項11に記載の硬化膜からなるレンズ。
- 請求項12に記載のレンズを備える固体撮像素子。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018035340 | 2018-02-28 | ||
| JP2018035340 | 2018-02-28 | ||
| PCT/JP2019/005653 WO2019167681A1 (ja) | 2018-02-28 | 2019-02-15 | 組成物、塗布膜、硬化膜、レンズ、固体撮像素子、樹脂 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2019167681A1 JPWO2019167681A1 (ja) | 2021-02-12 |
| JP7008791B2 true JP7008791B2 (ja) | 2022-02-10 |
Family
ID=67805395
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020503397A Active JP7008791B2 (ja) | 2018-02-28 | 2019-02-15 | 組成物、塗布膜、硬化膜、レンズ、固体撮像素子、樹脂 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7008791B2 (ja) |
| KR (1) | KR102335574B1 (ja) |
| TW (1) | TWI798366B (ja) |
| WO (1) | WO2019167681A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7210231B2 (ja) * | 2018-11-07 | 2023-01-23 | 東京応化工業株式会社 | 化学増幅型ポジ型感光性樹脂組成物、感光性ドライフィルム、感光性ドライフィルムの製造方法、パターン化されたレジスト膜の製造方法、鋳型付き基板の製造方法及びめっき造形物の製造方法 |
| CN114599704B (zh) * | 2019-10-25 | 2025-02-14 | 日产化学株式会社 | 含三嗪环的聚合物及含有该聚合物的膜形成用组合物 |
| CN114616700B (zh) * | 2019-11-08 | 2024-12-24 | 国立研究开发法人产业技术综合研究所 | 电化学氧还原用催化剂 |
| KR20230174249A (ko) * | 2021-04-23 | 2023-12-27 | 닛산 가가쿠 가부시키가이샤 | 무용제형 조성물 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004156001A (ja) | 2002-11-07 | 2004-06-03 | Sanei Kagaku Kk | フェノール性水酸基を含有するトリアジンジハライド及び芳香族(ポリ)グアナミン、並びにその組成物 |
| JP2007077230A (ja) | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Toyobo Co Ltd | ポリイミドフィルム |
| WO2015098788A1 (ja) | 2013-12-24 | 2015-07-02 | 日産化学工業株式会社 | トリアジン系重合体含有組成物 |
| WO2016114337A1 (ja) | 2015-01-15 | 2016-07-21 | 日産化学工業株式会社 | トリアジン環含有重合体およびそれを含む組成物 |
| WO2017138547A1 (ja) | 2016-02-09 | 2017-08-17 | 日産化学工業株式会社 | トリアジン環含有重合体およびそれを含む組成物 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2457154A1 (de) * | 1974-12-04 | 1976-06-10 | Bayer Ag | S-triazin-vorpolymerisate und ein verfahren zu deren herstellung |
| US8618243B2 (en) | 2009-05-07 | 2013-12-31 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Triazine ring-containing polymer and film-forming composition comprising same |
| JP6412316B2 (ja) * | 2013-10-01 | 2018-10-24 | 出光興産株式会社 | トリアジン環含有ポリマーを含む組成物 |
| KR102647609B1 (ko) * | 2015-12-21 | 2024-03-14 | 닛산 가가쿠 가부시키가이샤 | 트라이아진환 함유 중합체 및 그것을 포함하는 막 형성용 조성물 |
-
2019
- 2019-02-15 JP JP2020503397A patent/JP7008791B2/ja active Active
- 2019-02-15 WO PCT/JP2019/005653 patent/WO2019167681A1/ja not_active Ceased
- 2019-02-15 KR KR1020207016900A patent/KR102335574B1/ko active Active
- 2019-02-22 TW TW108106080A patent/TWI798366B/zh active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004156001A (ja) | 2002-11-07 | 2004-06-03 | Sanei Kagaku Kk | フェノール性水酸基を含有するトリアジンジハライド及び芳香族(ポリ)グアナミン、並びにその組成物 |
| JP2007077230A (ja) | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Toyobo Co Ltd | ポリイミドフィルム |
| WO2015098788A1 (ja) | 2013-12-24 | 2015-07-02 | 日産化学工業株式会社 | トリアジン系重合体含有組成物 |
| WO2016114337A1 (ja) | 2015-01-15 | 2016-07-21 | 日産化学工業株式会社 | トリアジン環含有重合体およびそれを含む組成物 |
| WO2017138547A1 (ja) | 2016-02-09 | 2017-08-17 | 日産化学工業株式会社 | トリアジン環含有重合体およびそれを含む組成物 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20200074239A (ko) | 2020-06-24 |
| WO2019167681A1 (ja) | 2019-09-06 |
| KR102335574B1 (ko) | 2021-12-06 |
| JPWO2019167681A1 (ja) | 2021-02-12 |
| TW201936788A (zh) | 2019-09-16 |
| TWI798366B (zh) | 2023-04-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101924825B1 (ko) | 조성물, 경화막, 패턴 형성 방법, 컬러 필터, 컬러 필터의 제조 방법, 고체 촬상 소자 및 화상 표시 장치 | |
| JP6913167B2 (ja) | 組成物、膜、レンズ、固体撮像素子、化合物 | |
| KR101892548B1 (ko) | 착색 조성물, 및 이것을 이용한 경화막, 컬러 필터, 패턴 형성 방법, 컬러 필터의 제조 방법, 고체 촬상 소자 및 화상 표시 장치 | |
| KR101920742B1 (ko) | 착색 조성물, 경화막, 컬러 필터, 컬러 필터의 제조 방법, 고체 촬상 소자, 및 화상 표시 장치 | |
| JP7008791B2 (ja) | 組成物、塗布膜、硬化膜、レンズ、固体撮像素子、樹脂 | |
| KR101899415B1 (ko) | 착색 조성물, 경화막, 컬러 필터의 제조 방법, 컬러 필터, 고체 촬상 소자 및 화상 표시 장치 | |
| JP6691134B2 (ja) | 硬化性組成物、光学フィルタ、カラーフィルタ、パターン形成方法、固体撮像素子および画像表示装置 | |
| KR20180133568A (ko) | 착색 조성물, 및 이것을 이용한 경화막, 컬러 필터, 패턴 형성 방법, 컬러 필터의 제조 방법, 고체 촬상 소자 및 화상 표시 장치 | |
| JP6907312B2 (ja) | 組成物、膜、レンズ、固体撮像素子、化合物 | |
| JP7296960B2 (ja) | 組成物、膜、レンズ、固体撮像素子、化合物 | |
| JP2023055728A (ja) | 硬化性組成物、膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子、画像表示装置、及び、高分子化合物 | |
| KR101845728B1 (ko) | 색소 다량체의 제조 방법, 및 착색 조성물의 제조 방법 | |
| JP7042832B2 (ja) | 組成物、膜、レンズ、固体撮像素子、化合物 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200804 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210720 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210813 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220104 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220111 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7008791 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |