JP6999039B2 - フッ素含有フルオレンオキシムエステル系光開始剤、それを含む光硬化組成物およびその適用 - Google Patents
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Description
Z及びZ’は、それぞれ独立に、不存在であるか、又はカルボニル基を示す。
R2及びR3は、それぞれ独立に、C1~C20の直鎖又は分岐鎖のアルキル基、C3~C12のシクロアルキル基、C4~C18のシクロアルキルアルキル基、C6~C20のアリール基、C7~C24のアリールアルキル基、置換もしくは無置換のC4~C20のヘテロアリール基を示すか、又はR2及びR3が互いに連結してC3~C10のシクロアルキル基を形成している。
なお、矛盾にならないのであれば、本願の実施様態及実施様態中の特徴は、互いに組み合わせることができる。以下は、実施様態と共に本発明を詳しく説明する。
n個のR1は、それぞれ独立に、-G-(M’)q、水素、ニトロ基、ハロゲン、又は
R2及びR3は、それぞれ独立に、C1~C20の直鎖又は分岐鎖のアルキル基、C3~C12のシクロアルキル基、C4~C18のシクロアルキルアルキル基、C6~C20のアリール基、C7~C24のアリールアルキル基、置換もしくは無置換のC4~C20のヘテロアリール基を示すか、又はR2及びR3が互いに連結してC3~C10のシクロアルキル基を形成している。
好ましくは、一般式(I)において、R2及びR2’は、それぞれ独立に、C3~C8のアルケニル基から選ばれる。R2中の一つ又は複数の-CH2-は、それぞれ独立に、
一つの好ましい実施様態において、一般式(I)において、R2及びR2’は、それぞれ独立に、オキシラニル基で置換されたC1~C10のアルキル基、又はエポキシプロピル基で置換されたC1~C10のアルキル基を示す。R2及びR2’中のC1~C10のアルキル基における一つ又は複数の-CH2-は、それぞれ独立に、
一つの好ましい実施様態において、一般式(I)において、R2及びR2’は、それぞれ独立に、オキシラニル基又はシクロプロピル基が封鎖基のC1~C8のアルキル基から選ばれ、R2及びR2’中のC1~C8のアルキル基における一つ又は複数の-CH2-は、それぞれ独立に、
三塩化アルミニウム又は塩化亜鉛の触媒作用によって、原料aと原料bを有機溶媒中でフリーデルクラフツアシル化反応させ、中間体aを得る。合成ルートは、以下の通りである。
(2)中間体bの製造
中間体aが塩化ヒドロキシルアンモニウム及び醋酸ナトリウムの作用下でオキシム化反応する場合に、Aが不存在であり、中間体bを得る。合成ルートは、以下の通りである。
中間体bと
前記合成中に用いられる原料は、いずれも既知の化合物であり、市販により入手できるか又は既知の合成法により便利で製造でき、そのうちの原料aは、中国特許出願番号201710274018.4に開示の合成法により得ることができる。当該合成過程は、順にフリーデルクラフツアシル化反応、オキシム化反応及びエステル化反応を含み、これらの工程は、いずれも有機化学合成分野の通常の反応種類である。反応のフローを明瞭にした後、具体的な反応条件は、当業者にとって容易に確定し得ることである。
MがHを示す場合に、R0が即ちR1であり、R0’が即ちR1’であり、
MがOHを示す場合に、R0、R0’は、それぞれR1、R1’に対応し、かつ、R1は、OR0を示し、R1’は、OR0’を示す、
Xは、Cl又はBrを示す。
以下、具体的な実施例と共とに本発明をさらに詳しく説明するが、本発明の保護範囲に対する制限と理解すべきではない。
(1)中間体1aの合成
500mLの四つ口フラスコ中に中間体1aを66.1g、三塩化アルミニウムを27.0g、及びジクロロメタンを100mL添加し、氷水浴を使用して四つ口フラスコ中の原料の温度を0℃まで降温させた。その後、攪拌しながら、前記原料中に57.0gの原料1bと50mLのジクロロメタンとの混合溶液を滴下すると同時に、反応系の温度を10℃以下に制御し、2hをかけて滴下が終了した。滴下終了後、2h攪拌し続け、反応が完全になるまで液相クロマトグラフィーによりトラッキングした。続いて、前記反応系を400g氷水と50mL濃塩酸(37%)とを配合してなる稀塩酸にゆっくりと注ぎ、添加しながら攪拌し、その後、それを分液ロートに注ぎ、下層のジクロロメタン層を分離し、そして50mLジクロロメタンで水層を引き続き洗浄し、ジクロロメタン層を合併した。5wt%の炭酸水素ナトリウム水溶液(1回ずつ150mL、合計3回)でジクロロメタン層を洗浄し、続いて、pHが中性となるまでジクロロメタン層を水洗浄し、80gの無水硫酸マグネシウムでジクロロメタン層を乾燥させ、濾過後に生成物のジクロロメタン溶液を回転蒸発し、メタノールを溶媒として再結晶させ、その後、80℃のオーブンで2h乾燥させ、97.2gの中間体1aを得、收率が84wt%であり、純度が98wt%であった。合成ルートは、以下の通りである。
1H-NMR(CDCl3、500MHz):1.2885-1.3307(8H、m)、1.8654-1.9975(8H、m)、2.3506(3H、s)、3.8098(2H、s)、4.9657-5.0342(4H、m)、5.6786-5.7153(2H、t)、6.1976(1H、s)、6.4672-6.8400(3H、m)、7.2813-7. 9503 (7H、m)。
(2)中間体1bの合成
500mLの四つ口フラスコに57.9gの中間体1a、塩化ヒドロキシルアンモニウム7.0g、醋酸ナトリウム8.2g、100mLのエタノール、50mLの水を仕込み、85℃で加熱還流しながら5h攪拌した後、反応をオフにし、内容物を1000mLの大型ビーカーに注ぎ、500mLの水を添加して攪拌し、100mLのジクロロメタンで抽出し、抽出液に30gの無水MgSO4を添加して乾燥させ、吸引濾過し、濾過液を減圧下で回転蒸発して溶媒を除去し、回転ボトル中にオイル状の粘稠物を得、粘稠物を100mLの石油エーテルに注ぎ、攪拌して析出させ、吸引濾過し、白色粉末状の固体を得、70℃で5hベークし、中間体1b 43.7gを得、收率が72wt%であり、純度が98wt%であり、MS(m/z):608(M+1)+であった。合成ルートは以下に示す。
250mLの四つ口フラスコに30.4gの中間体1b、100mLのジクロロメタンを添加し、室温で5min攪拌し、その後、5gの塩化プロピオニルを滴下し、約30minをかけて滴下が終了し、2h攪拌し続け、その後、5% NaHCO3水溶液を添加してpH値を中性となるように調節し、分液ロートで有機層を分離し、さらに100mLの水で2回洗浄し、20gの無水MgSO4で乾燥させ、濾過後、回転蒸発して溶媒を除去し、粘稠状の液体を得、メタノールで再結晶して白色固体粉末を得、濾過し、化合物1合計27.2gを得、收率が82%であり、純度が99%であった。合成ルートは、以下の通りである。
1H-NMR(CDCl3、500MHz):0.9869-1.0045(3H、t)、1.2895-1.3347(8H、m)、1.8678-1.9668(8H、m)、2.2678-2.3567(5H、m)、4.9678-5.0546(4H、m)、5.6695-5.7206(2H、m)、6.1996 (1H、s) 、6.7846-8. 0331 (10H、m)。
実施例2
(1)中間体2aの合成
500mLの四つ口フラスコに72.5gの中間体2a、三塩化アルミニウム27.0g、ジクロロメタン100mLを仕込み、氷水浴を使用して四つ口フラスコ中の原料の温度を0℃までに降温させた。その後、攪拌しながら、前記原料に54.5gの原料2bと50mLのジクロロメタンとの混合溶液を滴下し、同時に、反応系の温度を10℃以下に制御し、2hをかけて滴下が終了した。滴下終了後、2h攪拌し続け、反応が完全になるまで液相クロマトグラフィーによりトラッキングした。続いて、前記反応系を400gの氷水と50mLの濃塩酸(37%)を配合してなる稀塩酸にゆっくりと注ぎ、添加しながら攪拌し、その後、それを分液ロートに注ぎ、下層のジクロロメタン層を分離し、そして50mLのジクロロメタンで引き続き水層を洗浄し、ジクロロメタン層を合併し、5 wt%の炭酸水素ナトリウム水溶液(1回ずつ150mL、合計3回)でジクロロメタン層を洗浄し、続いて、pHが中性となるまでジクロロメタン層を水洗浄し、80gの無水硫酸マグネシウムでジクロロメタン層を乾燥させ、濾過後、生成物のジクロロメタン溶液を回転蒸発し、メタノールを溶媒として再結晶させ、その後、80℃のオーブンで2h乾燥させ、101.8gの中間体2aを得、收率が85wt%であり、純度98wt%であった。合成ルートは、以下の通りである。
1H-NMR(CDCl3、500MHz):2.1489-2.1673(4H、t)、2.3507(3H、s)、4.1043-4.1554(4H、t)、5.7986-6.0521(4H、m)、6.4207-6.4332(2H、d)、7.1105-7. 8023 (10H、m)。
(2)中間体2bの合成
250mLの四つ口フラスコに59.8gの中間体2a、37wt%の塩酸10.0g、亜硝酸イソアミルエステル11.8g、100mLのテトラヒドロフランを添加し、常温で5h攪拌し、反応をオフにした。内容物を1000mLの大型ビーカーに注ぎ、500mLの水を添加して攪拌し、100mLのジクロロメタンで抽出し、抽出液に30gの無水MgSO4を添加して乾燥させ、吸引濾過し、濾過液を減圧下で回転蒸発して溶媒を除去し、回転ボトル中にオイル状の粘稠物を得、粘稠物を100mLの石油エーテルに注ぎ、攪拌して析出させ、吸引濾過し、白色粉末状の固体を得、70℃で5hベークし、中間体2b 44.8gを得、收率が75%であり、純度が98%であり、MS(m/z):614(M+1)+であった。合成ルートは、以下の通りである。
250mLの四つ口フラスコに30.7gの中間体2b、100mLのジクロロメタンを添加し、室温で5min攪拌し、その後、6.5gの無水プロピオン酸を滴下し、約30minをかけて滴下が終了し、2h攪拌し続け、その後、5% NaHCO3水溶液を添加してpH値を中性となるように調節し、分液ロートで有機層を分離し、そして200mLの水で2回洗浄し、50gの無水MgSO4で乾燥させ、濾過後、回転蒸発して溶媒を除去し、粘稠状液体を得、メタノールで再結晶して白色固体粉末を得、濾過し、製品28.5gを得、收率が85%であり、純度が99%であった。
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実施例3
実施例1及び2の方法を参照して、相応する原料から、表1に示される構造を有する化合物3~13を製造する。
代表的な光硬化樹脂組成物を調製することにより、本発明の式(I)で示される光開始剤の硬化速度、マイグレーション性、表面乾燥などの適用性能を評価する。具体的な手順は、以下に示す。
B:アクリル酸エステルコポリマー[ベンジルメタクリレート/メタアクリル酸/ヒドロキシエチルメタクリレート(モル比70/10/20)コポリマー(Mv:10000)]。
(2)硬化速度。
前記硬化膜を粉々に切断し、サンプルとする。0.5gの硬化膜サンプルを秤量して50mLのビーカーに置き、4.5mLのメタノールを添加し、超音波で30min超音波溶解させる。得られる溶液を10mLのメスフラスコに移し、サンプルをメタノールで引き続き2回洗浄(2mL×2)し、メスフラスコに注ぎ、ピペットで0.1mLのトルエンを採取して内部標準物質として添加し、メタノールを添加して容量を規定量にし、均一になるまで振盪し、静置する。
コットンボール吹き法(GB/T 1728-1979(1989))を採用して、硬化膜の表面に1個の1cm2のふわとした脱脂コットンボールを軽く置きながら、コットンボールから15cmの距離で口で水平方向に沿って軽くコットンボールを吹く。
コットンボールを吹き飛ばすことができるが、膜の表面に綿繊維が残る場合に、Bとする;
コットンボールを吹き飛ばすことができない場合に、Cとする;
コットンボールを吹き飛ばすことができ、かつ膜の表面に綿繊維が残らないのであれば、すなわち表面乾燥であり、膜の表面乾燥特性に優れていることを示す。
化合物1の合成
1H-NMR(CDCl3、500MHz):1.3662-1.3772(6H、s)、1.8068-1.8925(8H、m)、2.3675-2.4704(7H、m)、3.6523-3.6744(4H、t)、7.3027-8.1823(6H、m)。
実施例2
化合物2の合成
1H-NMR(CDCl3、500MHz):0.9556-0.9918(3H、t)、1.5208-1.5476(2H、m)、2.2675-2.2807(6H、s)、2.7598-2.7604(2H、s)、5.9989-6.0387(2H、d)、7.1225-8.1783(16H、m)。
実施例3-20
実施例1の方法を参照して、相応する原料から、表4に示される構造を有する化合物を製造する。
代表的な光硬化樹脂組成物を調製し、本発明の一般式(II)で示される光開始剤の肝心な適用性能を評価する。
光硬化樹脂組成物は、以下の成分から構成される。
アクリル酸エステルコポリマー[ベンジルメタクリレート/メタアクリル酸/ヒドロキシエチルメタクリレート(モル比70/10/20)コポリマー、Mv=10000]
57重量部
光開始剤 3重量部
ブタノン(溶媒) 20重量部。
光硬化樹脂組成物に対する性能評価は、硬化速度、表面乾燥特性及び耐候性を含む。
光硬化樹脂組成物を黄光ランプ下で攪拌し、その後、採取してロール塗布でPET基板に塗布して成膜し、90℃で2min乾燥させ、乾燥膜の厚さが2μmである塗膜を得、その後、室温まで冷却し、高圧水銀ランプ(露光機型番:RW-UV70201、1回ずつの露光量 50mJ/cm2)で照射することで塗膜を露光し、硬化成膜させる。
GB/T-1740-2007に参照して、塗膜耐湿熱性の測定方法を採用する。十分に硬化した硬化膜を、予め調節済みの温度湿度制御ボックス中(温度50±1℃、相対湿度96±2%)に入れて、240h放置した後、硬化膜表面の発泡、亀裂、黄変などの破坏現象を評価する。
発泡、亀裂、黄変などの破坏現象がある場合に、Bとする。
GB/T 1728-1979(1989)に参照して、コットンボール吹き法を採用して測定する。硬化膜の表面に1個の1cm2程度のふわとした脱脂コットンボールを軽く置いておいて、コットンボールから15cmの距離で口で水平方向に沿って軽くコットンボールを吹く。
コットンボールを吹き飛ばすことができるが、膜の表面に綿繊維が残る場合に、Bとする;
コットンボールを吹き飛ばすことができない場合に、Cとする;
コットンボールを吹き飛ばすことができ、かつ膜の表面に綿繊維が残らないのであれば、すなわち表面乾燥であり、膜の表面乾燥特性に優れていることを示す。
Claims (25)
- 一般式(I)で示される構造を有することを特徴とするフッ素含有フルオレンオキシムエステル系光開始剤。
ここにおいて、前記一般式(I)において、前記nは、1~4の整数を示す。前記mは、1~4の整数を示す。
n個の前記R1は、それぞれ独立に、-G-(M’)q、水素、ニトロ基、ハロゲン、又は
から選ばれる。前記m’は、1~4の整数を示す。ここにおいて、前記Gは、ヘテロ原子又はカルボニル基から選ばれ、前記ヘテロ原子は、O、N又はSであり、前記M’は、C1~C20の直鎖又は分岐鎖のアルキル基、C3~C8のシクロアルキル基、C3~C8のシクロアルキル基で置換されたC1~C10のアルキル基、C6~C20のアリール基、C1~C10のアルキル基、ニトロ基で置換されたC6~C20のアリール基、シアノ基で置換されたC6~C20のアリール基、C4~C20のヘテロアリール基、ニトロ基で置換されたC6~C20のヘテロアリール基又はシアノ基で置換されたC6~C20のヘテロアリール基から選ばれる。前記M’における一つ又は複数の炭素原子は、前記ヘテロ原子に置換されてもよい。qが1又は2である。
前記R2及び前記R2’は、それぞれ独立に、重合可能基から選ばれる。
前記Z及び前記Z’は、それぞれ独立に、不存在であるか、又はカルボニル基を示す。
m個の前記R3及びm’個の前記R5は、それぞれ独立に、フッ素、一つ又は複数のフッ素で置換された直鎖又は分岐鎖のアルキル基、一つ又は複数のフッ素で置換された直鎖又は分岐鎖アルコキシ基から選ばれる。
前記R4及び前記R6は、それぞれ独立に、C1~C20の直鎖又は分岐鎖のアルキル基、C3~C20のシクロアルキル基、C3~C8のシクロアルキル基で置換されたC1~C10のアルキル基、C1~C10のアルキル基で置換されたC3~C8のシクロアルキル基、C6~C20のアリール基、C4~C20のヘテロアリール基又はC2~C20のアルケニル基から選ばれる。 - 前記一般式(I)において、前記M’は、C1~C10の直鎖又は分岐鎖のアルキル基、C3~C6のシクロアルキル基、C3~C6のシクロアルキル基で置換されたC1~C5のアルキル基、C6~C10のアリール基、C1~C5のアルキル基、ニトロ基で置換されたC6~C10アリール基、シアノ基で置換されたC6~C10のアリール基、C4~C10のヘテロアリール基、ニトロ基で置換されたC6~C10のヘテロアリール基又はシアノ基で置換されたC6~C10のヘテロアリール基から選ばれることを特徴とする、請求項1に記載のフッ素含有フルオレンオキシムエステル系光開始剤。
- 前記一般式(I)において、前記R2及び前記R2’は、それぞれ独立に、二重結合又はエポキシ基を含む重合可能基から選ばれることを特徴とする、請求項1に記載のフッ素含有フルオレンオキシムエステル系光開始剤。
- 前記一般式(I)において、前記R4及び前記R6は、それぞれ独立に、C1~C6の直鎖又は分岐鎖のアルキル基、C3~C10のシクロアルキル基、C3~C6のシクロアルキル基で置換されたC1~C8のアルキル基、C1~C8のアルキル基で置換されたC3~C6のシクロアルキル基、又はC6~C12のアリール基から選ばれることを特徴とする、請求項1~4のいずれか一項に記載のフッ素含有フルオレンオキシムエステル系光開始剤。
- 前記一般式(I)において、前記R4及び前記R6は、それぞれ独立に、フェニル基、C1~C4の直鎖又は分岐鎖のアルキル基、C3~C8のシクロアルキル基、又はC3~C6のシクロアルキル基で置換されたC1~C4アルキル基から選ばれることを特徴とする、請求項9に記載のフッ素含有フルオレンオキシムエステル系光開始剤。
- 一般式(II)で示される構造を有することを特徴とするフッ素含有フルオレン類光開始剤。
前記一般式(II)において、前記R 1 及び前記R 1 ’は、それぞれ独立に、フッ素含有基を示す。
前記R 2 及び前記R 3 は、それぞれ独立に、C 1 ~C 20 の直鎖又は分岐鎖のアルキル基、C 3 ~C 12 のシクロアルキル基、C 4 ~C 18 のシクロアルキルアルキル基、C 6 ~C 20 のアリール基、C 7 ~C 24 のアリールアルキル基、置換もしくは無置換のC 4 ~C 20 のヘテロアリール基を示すか、又はR 2 及びR 3 が互いに連結してC 3 ~C 10 のシクロアルキル基を形成している。
前記R 4 は、ヒドロキシル基、N-モルホリニル基、N-ピペリジニル基、N-ピペラジニル基、N-ピロリル基又はN-第3級アミノ基を示す。
前記Aは、水素、ニトロ基、-CO-CR 2 R 3 R 4 基、又は-R 5 -(R 6 ) n を示し、ここにおいて、R 2 、R 3 及びR 4 は、前記一般式(II)中と同義であり、前記R 5 は、O、S、N又はカルボニル基を示し、前記R 6 は、C 1 ~C 20 の直鎖又は分岐鎖のアルキル基、C 3 ~C 12 のシクロアルキル基、C 4 ~C 18 のシクロアルキルアルキル基、置換もしくは無置換のC 6 ~C 20 のアリール基、C 7 ~C 24 のアリールアルキル基、5員環又は6員環の不飽和ヘテロ環基、又は置換もしくは無置換のC 4 ~C 20 のヘテロアリール基を示し、nは、1又は2を示す。 - 前記一般式(II)において、前記R1及び前記R1’は、それぞれ独立に、C2~C10の直鎖又は分岐鎖のフッ素含有アルキル基から選ばれ、任意に、その中の-CH2-は、-O-又はフェニレン基に置換されてもよく、また、フェニレン基上のHは、任意にC1~C4のアルキル基で置換されてもよいことを特徴とする、請求項12に記載のフッ素含有フルオレン類光開始剤。
- 前記一般式(II)において、前記R1及び前記R1’は、それぞれ独立に、-CF3、-CF2CF3、-CF2-CH2F又は-CF2-CHF2を末端基とするC3~C8の直鎖又は分岐鎖のフッ素含有アルキル基を示し、任意に、その中の-CH2-は、-O-又は1,4-フェニレン基に置換されてもよく、また、1,4-フェニレン基上のHは、任意にC1~C4のアルキル基で置換されてもよいことを特徴とする、請求項12に記載のフッ素含有フルオレン類光開始剤。
- 前記一般式(II)において、前記R2及び前記R3は、それぞれ独立に、C1~C8の直鎖又は分岐鎖のアルキル基、C4~C12のシクロアルキルアルキル基、C7~C14のアリールアルキル基を示すか、又はR2及びR3が互いに連結してC3~C8のシクロアルキル基を形成していることを特徴とする、請求項12に記載のフッ素含有フルオレン類光開始剤。
- 前記一般式(II)において、前記R2及び前記R3は、それぞれ独立に、C1~C4の直鎖又は分岐鎖のアルキル基、C4~C10のシクロアルキルアルキル基、C7~C10のフェニルアルキル基を示すか、又はR2及びR3が互いに連結してC3~C8のシクロアルキル基を形成していることを特徴とする、請求項15に記載のフッ素含有フルオレン類光開始剤。
- 前記一般式(II)において、前記R4は、ヒドロキシル基、N-モルホリニル基、N-ピペリジニル基、又は二つの水素がC1~C4のアルキル基で置換されたアミノ基を示すことを特徴とする、請求項12に記載のフッ素含有フルオレン類光開始剤。
- 前記一般式(II)において、前記Aは、水素、ニトロ基、-CO-CR2R3R4基、又は-R5-(R6)nを示し、ここにおいて、R 2 及びR 3 は、それぞれ独立に、C 1 ~C 8 の直鎖又は分岐鎖のアルキル基、C 4 ~C 12 のシクロアルキルアルキル基、C 7 ~C 14 のアリールアルキル基を示すか、又はR 2 及びR 3 が互いに連結してC 3 ~C 8 のシクロアルキル基を形成している;前記R 4 は、ヒドロキシル基、N-モルホリニル基、N-ピペリジニル基、又は二つの水素がC 1 ~C 4 のアルキル基で置換されたアミノ基を示す;R5は、O、S、N又はカルボニル基を示し、R6は、C1~C8の直鎖又は分岐鎖のアルキル基;C6~C12のアリール基;C1~C5のアルキル基、ニトロ基又はシアノ基で置換されたC6~C12のアリール基;又は5員環の不飽和ヘテロ環基を示し、nは、1又は2を示すことを特徴とする、請求項12に記載のフッ素含有フルオレン類光開始剤。
- 前記一般式(II)において、前記R6は、C1~C4の直鎖又は分岐鎖のアルキル基、フラニル基、ピロリル基、チエニル基、C6~C10のアリール基;C1~C4のアルキル基、ニトロ基又はシアノ基で置換されたC6~C10のアリール基を示すことを特徴とする、請求項18に記載のフッ素含有フルオレン類光開始剤。
- 前記触媒は、アルカリ性触媒であることを特徴とする、請求項20に記載の製造法。
- 前記触媒は、リチウムtert-ブトキシド、ナトリウムtert-ブトキシド及びカリウムtert-ブトキシドのうちの少なくとも一種であることを特徴とする、請求項20に記載の製造法。
- 光硬化組成物であって、前記光硬化組成物が光開始剤を含み、前記光開始剤が請求項1~11のいずれか一項に記載のフッ素含有フルオレンオキシムエステル系光開始剤、又は請求項12~19のいずれか一項に記載のフッ素含有フルオレン類光開始剤を含むことを特徴とする光硬化組成物。
- カラーレジスト、ブラックマトリックス、フォトスペーサー、リブ、ドライフィルム、半導体フォトレジスト又はインクの製造に適用されることを特徴とする、請求項1~11のいずれか一項に記載のフッ素含有フルオレンオキシムエステル系光開始剤。
- カラーレジスト、ブラックマトリックス、フォトスペーサー、リブ、ドライフィルム、半導体フォトレジスト又はインクの製造に適用されることを特徴とする、請求項12~19のいずれか一項に記載のフッ素含有フルオレン類光開始剤。
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