JP6791145B2 - 樹脂組成物 - Google Patents
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Description
〔1〕バインダー樹脂(A)、水酸基当量が300以上であるフェノキシ樹脂(B)、及び架橋剤(C)を含有する樹脂組成物、
〔2〕前記樹脂組成物を形成する固形分全体に対して、フィラーを80重量%以下の含有量で含む、前記〔1〕に記載の樹脂組成物、
〔3〕前記樹脂組成物を形成する固形分全体に対する、前記フィラーの含有量が0重量%である前記〔2〕に記載の樹脂組成物、
〔4〕前記架橋剤(C)が分子内にアルコキシメチル基またはメチロール基を2以上含む化合物である前記〔1〕〜〔3〕のいずれかに記載の樹脂組成物、
〔5〕前記架橋剤(C)が脂環式エポキシ化合物である前記〔1〕〜〔3〕のいずれかに記載の樹脂組成物、
〔6〕前記架橋剤(C)が、分子内にアルコキシメチル基またはメチロール基を2以上含む化合物、および脂環式エポキシ化合物である前記〔1〕〜〔3〕のいずれかに記載の樹脂組成物、
〔7〕光酸発生剤(D)をさらに含有する前記〔1〕〜〔6〕のいずれかに記載の樹脂組成物、
〔8〕前記光酸発生剤(D)が、キノンジアジド化合物である前記〔1〕〜〔7〕のいずれかに記載の樹脂組成物、
〔9〕前記バインダー樹脂(A)が、プロトン性極性基を有する環状オレフィン重合体である前記〔1〕〜〔8〕のいずれかに記載の樹脂組成物、
〔10〕前記樹脂組成物を形成する固形分全体に対する前記フェノキシ樹脂(B)の含有割合が2〜75重量%である前記〔1〕〜〔9〕のいずれかに記載の樹脂組成物、
〔11〕前記フェノキシ樹脂(B)が、ビスフェノール構造を備えるフェノキシ樹脂である前記〔1〕〜〔10〕のいずれかに記載の樹脂組成物、ならびに、
〔12〕前記〔1〕〜〔11〕のいずれかに記載の樹脂組成物からなる樹脂膜を備える電子部品、
が提供される。
本発明で用いるバインダー樹脂(A)としては、特に限定されないが、プロトン性極性基を有する環状オレフィン重合体(A1)、アクリル樹脂(A2)、ポリイミド、またはその前駆体(A3)、ポリベンゾオキサゾール、またはその前駆体(A4)、ポリシロキサン(A5)、又はフェノール樹脂(A6)であることが好ましく、これらの中でも、プロトン性極性基を有する環状オレフィン重合体(A1)が特に好ましい。
これらのバインダー樹脂(A)は、それぞれ単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。
本発明において、プロトン性極性基を有する環状オレフィン樹脂に結合しているプロトン性極性基の数に特に限定はなく、また、相異なる種類のプロトン性極性基が含まれていてもよい。
これら単量体(b2)は、それぞれ単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
これら単量体(b3)は、それぞれ単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
プロトン性極性基を有しない重合体は、上述した単量体(b1)及び(b2)のうち少なくとも一種と、必要に応じて単量体(b3)とを任意に組み合わせて重合することによって得ることができる。
このような化合物の具体例としては、アクリル酸、メタクリル酸、アンゲリカ酸、チグリン酸、オレイン酸、エライジン酸、エルカ酸、ブラシジン酸、マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸、アトロパ酸、ケイ皮酸等の不飽和カルボン酸;アリルアルコール、メチルビニルメタノール、クロチルアルコール、メタリルアルコール、1−フェニルエテン−1−オール、2−プロペン−1−オール、3−ブテン−1−オール、3−ブテン−2−オール、3−メチル−3−ブテン−1−オール、3−メチル−2−ブテン−1−オール、2−メチル−3−ブテン−2−オール、2−メチル−3−ブテン−1−オール、4−ペンテン−1−オール、4−メチル−4−ぺンテン−1−オール、2−ヘキセン−1−オール等の不飽和アルコール;等が挙げられる。
これら変性剤を用いた重合体の変性反応は、常法に従えばよく、通常、ラジカル発生剤の存在下で行われる。
アクリル基を有するカルボン酸無水物の具体例としては、無水マレイン酸、シトラコン酸無水物等が挙げられる。
エポキシ基含有アクリレート化合物の具体例としては、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、α−エチルアクリル酸グリシジル、α−n−プロピルアクリル酸グリシジル、α−n−ブチルアクリル酸グリシジル、アクリル酸−3,4−エポキシブチル、メタクリル酸−3,4−エポキシブチル、アクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、メタクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、α−エチルアクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、アクリル酸−3,4−エポキシシクロヘキシルメチル、メタクリル酸−3,4−エポキシシクロヘキシルメチル等が挙げられる。
オキセタン基含有アクリレート化合物の具体例としては、(メタ)アクリル酸(3−メチルオキセタン−3−イル)メチル、(メタ)アクリル酸(3−エチルオキセタン−3−イル)メチル、(メタ)アクリル酸(3−メチルオキセタン−3−イル)エチル、(メタ)アクリル酸(3−エチルオキセタン−3−イル)エチル、(メタ)アクリル酸(3−クロロメチルオキセタン−3−イル)メチル、(メタ)アクリル酸(オキセタン−2−イル)メチル、(メタ)アクリル酸(2−メチルオキセタン−2−イル)メチル、(メタ)アクリル酸(2−エチルオキセタン−2−イル)メチル、(1−メチル−1−オキセタニル−2−フェニル)−3−(メタ)アクリレート、(1−メチル−1−オキセタニル)−2−トリフロロメチル−3−(メタ)アクリレート、及び(1−メチル−1−オキセタニル)−4−トリフロロメチル−2−(メタ)アクリレート等が挙げられる。
これらのうち、(メタ)アクリル酸、無水マレイン酸、(メタ)アクリル酸グリシジル、メタクリル酸−6,7−エポキシヘプチル等が好ましい。
これらのなかでも、メチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、2−メチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、トリシクロ[5.2.1.0 2 , 6 ]デカン−8−イル(メタ)アクリレート、N−フェニルマレイミド及びN−シクロヘキシルマレイミド等が好ましい。
これらの化合物は、それぞれ単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
上記単量体の重合方法は、常法に従えばよく、例えば、懸濁重合法、乳化重合法、溶液重合法等が採用される。
(R2)p−Si−(OR3)4−p (2)
これらのオルガノシランのうち、得られる樹脂膜の耐クラック性や硬度の点から3官能性シランが好ましく用いられる。これらのオルガノシランは単独で使用しても、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
また、バインダー樹脂(A)の分子量分布は、重量平均分子量/数平均分子量(Mw/Mn)比で、通常、4以下、好ましくは3以下、より好ましくは2.5以下である。
バインダー樹脂(A)の重量平均分子量(Mw)や分子量分布(Mw/Mn)は、テトラヒドロフラン等の溶媒を溶離液としたゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー(GPC)により、ポリスチレン換算値として求められる値である。
本発明の樹脂組成物は、バインダー樹脂(A)に加えて、水酸基当量が300以上であるフェノキシ樹脂(B)(以下、適宜、「フェノキシ樹脂(B)」と略記する。)を含有する。水酸基当量が300以上であるフェノキシ樹脂(B)を配合することで、耐熱性及びハンダ耐熱性を良好なものとしながら、樹脂膜の伸びを向上させることができ、これにより、得られる樹脂膜を、耐熱衝撃性に優れたものとすることができる。また、樹脂膜の伸びを向上させることができることで、得られる樹脂膜の可撓性を上げ、樹脂膜と基板との界面の応力集中を抑制させることができ、得られる樹脂膜を、基板に対する密着性に優れたものとすることができる。
本発明の樹脂組成物は、バインダー樹脂(A)及びフェノキシ樹脂(B)に加えて、架橋剤(C)を含有する。架橋剤(C)としては、加熱により架橋剤分子間に架橋構造を形成するものや、バインダー樹脂(A)と反応して樹脂分子間に架橋構造を形成するものであり、具体的には、2以上の反応性基を有する化合物が挙げられる。このような反応性基を有する化合物としては、特に限定されないが、例えば、エポキシ基含有架橋剤や、オキセタン基含有架橋剤、イソシアネート基含有架橋剤、ブロックイソシアネート基含有架橋剤、オキサゾリン基含有架橋剤、マレイミド基含有架橋剤、(メタ)アクリレート基含有架橋剤、分子内にアルコキシメチル基またはメチロール基を2以上含む化合物などが挙げられる。これらの中でも、エポキシ基含有架橋剤や、分子内にアルコキシメチル基またはメチロール基を2以上含む化合物が好ましく、本発明の作用効果をより顕著なものとすることが出来るという点より、エポキシ基含有架橋剤と、分子内にアルコキシメチル基またはメチロール基を2以上含む化合物とを併用することがより好ましい。
これら、エポキシ基含有架橋剤のなかでも、脂環構造を有するエポキシ化合物、すなわち、脂環式エポキシ化合物が好ましい。
分子内に2つ以上のアルコキシメチル基、またはメチロール基を含む化合物は、それぞれ単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
これらのなかでも、反応性が高いという点より、N,N,N’,N’,N’’,N’’−ヘキサメトキシメチルメラミンが好ましい。
また、本発明の樹脂組成物は、バインダー樹脂(A)、フェノキシ樹脂(B)及び架橋剤(C)に加えて、光酸発生剤(D)をさらに含有するものであってもよい。光酸発生剤(D)を含有させることで、紫外線や電子線等の放射線の照射により、光酸発生剤(D)が化学反応を引き起こすことで、樹脂組成物により形成される樹脂膜のアルカリ溶解性を変化させることができ、これにより得られる樹脂膜をパターン化可能なものとすることができる。
これらの光酸発生剤(D)は、それぞれ単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
また、本発明の樹脂組成物には、さらに、溶剤が含有されていてもよい。溶剤としては、特に限定されず、樹脂組成物の溶剤として公知のもの、例えばアセトン、メチルエチルケトン、シクロペンタノン、2−ヘキサノン、3−ヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、4−ヘプタノン、2−オクタノン、3−オクタノン、4−オクタノンなどの直鎖のケトン類;n−プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、n−ブチルアルコール、シクロヘキサノールなどのアルコール類;エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、ジオキサンなどのエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルなどのアルコールエーテル類;ギ酸プロピル、ギ酸ブチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、酪酸メチル、酪酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチルなどのエステル類;セロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、プロピルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテートなどのセロソルブエステル類;プロピレングリコール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルなどのプロピレングリコール類;ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテルなどのジエチレングリコール類;γ−ブチロラクトン、γ−バレロラクトン、γ−カプロラクトン、γ−カプリロラクトンなどの飽和γ−ラクトン類;トリクロロエチレンなどのハロゲン化炭化水素類;トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素類;ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、N−メチルアセトアミドなどの極性溶媒などが挙げられる。これらの溶剤は、単独でも2種以上を組み合わせて用いてもよい。溶剤の含有量は、バインダー樹脂(A)100重量部に対して、好ましくは10〜10000重量部、より好ましくは50〜5000重量部、さらに好ましくは100〜1000重量部の範囲である。なお、樹脂組成物に溶剤を含有させる場合には、溶剤は、通常、樹脂膜形成後に除去されることとなる。
混合の方法は特に限定されないが、樹脂組成物を構成する各成分を溶剤に溶解又は分散して得られる溶液又は分散液を混合するのが好ましい。これにより、樹脂組成物は、溶液又は分散液の形態で得られる。
本発明の電子部品は、上述した本発明の樹脂組成物からなる樹脂膜を有する。
潜像パターンを有する樹脂膜に現像液を接触させる方法としては、例えば、パドル法、スプレー法、ディッピング法等の方法が用いられる。現像は、通常、0〜100℃、好ましくは5〜55℃、より好ましくは10〜30℃の範囲で、通常、30〜180秒間の範囲で適宜選択される。
さらに、必要に応じて、樹脂組成物に含有させた光酸発生剤(D)を失活させるために、電子部品全面に、活性放射線を照射することもできる。活性放射線の照射には、上記潜像パターンの形成に例示した方法を利用できる。照射と同時に、又は照射後に樹脂膜を加熱してもよい。加熱方法としては、例えば、電子部品をホットプレートやオーブン内で加熱する方法が挙げられる。温度は、通常、100〜300℃、好ましくは120〜200℃の範囲である。
なお、各特性の定義及び評価方法は、以下のとおりである。
スパッタリング装置を用いて、アルミニウム薄膜が100nmの膜厚で形成されたシリコンウエハ上に、樹脂組成物をスピンコートしたのち、ホットプレートを用いて120℃で2分間加熱し、次いで、窒素雰囲気下、200℃で60分間の条件で硬化させることで、膜厚10μmの樹脂膜を形成することで、積層体を得た。そして、得られた積層体を、所定の大きさに切断した後、アルミニウム薄膜を0.1mol/Lの塩酸水溶液にて溶解させて剥離させ、剥離したフィルムを乾燥させることで樹脂膜を得た。そして、得られた樹脂膜について、粘弾性スペクトロメータ(SIIナノテクノロジー社、DMS6100標準型)を用いて、樹脂膜のガラス転移温度(℃)を測定し、以下の基準にて、耐熱性を評価した。ガラス転移温度が高いほど、耐熱性に優れていると判断できる。
A:ガラス転移温度が160℃以上
B:ガラス転移温度が150℃以上、160℃未満
C:ガラス転移温度が150℃未満
スパッタリング装置を用いて、50nm厚のチタン膜上に、銅を100nmの膜厚で形成されたシリコンウエハ上に、樹脂組成物をスピンコートしたのち、ホットプレートを用いて120℃で2分間加熱し、次いで、窒素雰囲気下、200℃で60分間の条件で硬化させることで、膜厚10μmの樹脂膜を形成することで、積層体を得た。そして、得られた積層体を形成する樹脂膜について、クロスカット試験を行った。具体的には、まず、カッターナイフを用いて、積層体を形成する樹脂膜に1mm×1mmの大きさにて、10×10=100個の碁盤目を形成した。そして、碁盤目部分にセロハンテープを強く圧着して、セロハンテープの端を45°の角度で一気に剥がし、樹脂膜の残存割合(スパッタリング装置を用いて、50nm厚のチタン膜上に、銅を100nmの膜厚で形成されたシリコンウエハ上に残った樹脂膜の割合)を求め、以下の基準にて、基板に対する密着性を評価した。
A:樹脂膜の残存割合が90%以上
B:樹脂膜の残存割合が80%以上、90%未満
C:樹脂膜の残存割合が80%未満
スパッタリング装置を用いて、50nm厚のチタン膜上に、銅を100nmの膜厚で形成されたシリコンウエハ上に、樹脂組成物をスピンコートしたのち、ホットプレートを用いて120℃で2分間加熱し、次いで、窒素雰囲気下、200℃で60分間の条件で硬化させることで、膜厚10μmの樹脂膜を形成することで、積層体を得た。このようにして得られた積層体の樹脂膜上に、スパッタリング法により銅箔膜を形成し、次いで、めっき浴として硫酸銅を含んだ酸性水溶液を用いた電気めっきにより、銅めっき層を厚さ10μmにて形成した後、180℃で60分間加熱処理をすることで、試験片を得た。そして、得られた試験片をはんだ温度260℃のハンダ浴に10秒間浮かべ、室温にて30秒間放置した後に、銅めっき層のふくれの有無を確認する試験を、銅めっき層のふくれが確認されるまで繰り返して行い、以下の基準にしたがって、ハンダ耐熱性を評価した。銅めっき層のふくれが確認されるまでの試験の繰り返し回数が多いほど、ハンダ耐熱性に優れると判断できる。
A:上記試験を10回繰り返し行ったが、10回目の試験後も、銅めっき層のふくれが確認されなかった。
B:銅めっき層のふくれが確認されるまでの試験の繰り返し回数が、8回以上、10回以下であった。
C:銅めっき層のふくれが確認されるまでの試験の繰り返し回数が、8回未満であった。
シリコンウエハ上にパターン状の銅配線を有する熱衝撃用の評価基板の上に、樹脂組成物をスピンコートしたのち、窒素雰囲気下、120℃で2分間加熱して、次いで、200℃で60分間の条件で硬化させることで、膜厚10μmの樹脂膜を形成することで、評価用サンプルを得た。そして、得られた評価用サンプルについて、熱衝撃試験器(タバイエスペックス社製)を用いて、−55℃/30分及び150℃/30分を1サイクルとして、熱衝撃試験を行い、樹脂膜にクラックが発生するまでのサイクル数を確認し、以下の基準にて、耐熱衝撃性を評価した。
A:1000サイクル経過後もクラックの発生なし。
C:1000サイクル到達前にクラックが発生。
<環状オレフィン重合体(A−1)の調製>
N−フェニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシイミド(NBPI)40モル%、及び4−ヒドロキシカルボニルテトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]ドデカ−9−エン(TCDC)60モル%からなる単量体混合物100部、1,5−ヘキサジエン2.0部、(1,3−ジメシチルイミダゾリン−2−イリデン)(トリシクロヘキシルホスフィン)ベンジリデンルテニウムジクロリド(Org.Lett.,第1巻,953頁,1999年 に記載された方法で合成した)0.02部、及びジエチレングリコールエチルメチルエーテル200部を、窒素置換したガラス製耐圧反応器に仕込み、攪拌しつつ80℃にて4時間反応させて重合反応液を得た。
バインダー樹脂(A)として、合成例1で得られた環状オレフィン重合体(A−1)の重合体溶液291部(環状オレフィン重合体(A−1)として100部)、フェノキシ樹脂(B)として、ビスフェノールS骨格含有フェノキシ樹脂(商品名「jER YX8100BH30」、三菱化学社製、水酸基当量308)25部、架橋剤(C)として、エポキシ化ブタンテトラカルボン酸テトラキス(3−シクロヘキセニルメチル)修飾ε−カプロラクトン(商品名「エポリードGT401」、ダイセル化学工業社製、脂肪族環状4官能性のエポキシ樹脂)30部、同じく架橋剤(C)として、長鎖ビスフェノールA型エポキシ樹脂(商品名「EXA−4816」、DIC社製)10部、同じく架橋剤(C)として、N,N,N’,N’,N’’,N’’−ヘキサメトキシメチルメラミン(商品名「ニカラックMW−100LM」、三和ケミカル社製)15部、シランカップリング剤として、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(商品名「Z6040」、東レ・ダウコーニング社製)3部、及び、溶剤として、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル160部を混合し、溶解させた後、孔径0.45μmのポリテトラフルオロエチレン製フィルターでろ過して樹脂組成物を調製した。
表1に示す化合物を、表1に示す量使用した以外は、実施例1と同様にして、樹脂組成物を調製し、同様に評価を行った。結果を表1に示す。
表1に示す化合物を、表1に示す量使用した以外は、実施例1と同様にして、樹脂組成物を調製し、同様に評価を行った。結果を表1に示す。
・バインダー樹脂「環状オレフィン重合体(A−1)」;製造例1で得られた環状オレフィン重合体(A−1)
・バインダー樹脂「アクリル重合体(マルカリンカーCMM)」;アクリル重合体(商品名「マルカリンカーCMM」、丸善石油化学社製、p−ヒドロキシスチレンとメチルメタクリレートとの共重合体)
・フェノキシ樹脂「jER YX8100BH30」;ビスフェノールS骨格含有フェノキシ樹脂(商品名「jER YX8100BH30」、三菱化学社製、水酸基当量308)
・フェノキシ樹脂「jER YX6954BH30」;ビスフェノールアセトフェノン骨格含有フェノキシ樹脂(商品名「jER YX6954BH30」、三菱化学社製、水酸基当量325)
・フェノキシ樹脂「jER 1256B40」;ビスフェノールA骨格含有フェノキシ樹脂(商品名「jER 1256B40」、三菱化学社製、水酸基当量284)
・フェノキシ樹脂「フェノトートYP−70」;ビスフェノールA・ビスフェノールF共重合フェノキシ樹脂(商品名「フェノトートYP−70」、新日鉄住金化学社製、水酸基当量270)
・アルコキシメチル基、またはメチロール基を2以上含む化合物「ニカラック MW100LM」;N,N,N’,N’,N’’,N’’−ヘキサメトキシメチルメラミン(商品名「ニカラックMW−100LM」、三和ケミカル社製)
・アルコキシメチル基、またはメチロール基を含む化合物;「TMOM−BP」;3,3’,5,5’−テトラメトキシメチルー4,4’−ビスフェノール(商品名「TMOM−BP」、本州化学工業社製)
・アルコキシメチル基、またはメチロール基を2以上含む化合物「HMOM−TPHAP−GB」;4, 4’,4’ ’−(エチリデン)トリスフェノールなどのヘキサメトキシメチル置換化合物(商品名「HMOM−TPHAP−GB」、本州化学工業社製)
・エポキシ基含有架橋剤「エポリード GT401」;エポキシ化ブタンテトラカルボン酸テトラキス(3−シクロヘキセニルメチル)修飾ε−カプロラクトン(商品名「エポリードGT401」、ダイセル化学工業社製、脂肪族環状4官能性のエポキシ樹脂)
・エポキシ基含有架橋剤「EXA−4816」;長鎖ビスフェノールA型エポキシ樹脂(商品名「EXA−4816」、DIC社製)
・光酸発生剤「TS200」;4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール(1モル)と1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸クロライド(2.0モル)との縮合物(商品名「TS200」、東洋合成株式会社製)
・シランカップリング剤「Z6040」;γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(商品名「Z6040」、東レ・ダウコーニング社製)
・シランカップリング剤「Z6883」;3−フェニルアミノプロピルトリメトキシシラン(商品名「Z6883」、東レ・ダウコーニング社製)
また、水酸基当量が300以上であるフェノキシ樹脂(B)を配合しなかった場合には、得られる樹脂膜は、基板に対する密着性、ハンダ耐熱性、及び耐熱衝撃性に劣るものであった(比較例2)。
Claims (8)
- バインダー樹脂(A)、水酸基当量が300以上であるフェノキシ樹脂(B)、及び架橋剤(C)を含有し、
前記架橋剤(C)が分子内にアルコキシメチル基またはメチロール基を2以上含む化合物であり、
前記樹脂組成物を形成する固形分全体に対する、フィラーの含有量が0重量%である、樹脂組成物。 - 前記架橋剤(C)として、脂環式エポキシ化合物をさらに含有する請求項1に記載の樹脂組成物。
- 光酸発生剤(D)をさらに含有する請求項1または2に記載の樹脂組成物。
- 前記光酸発生剤(D)が、キノンジアジド化合物である請求項3に記載の樹脂組成物。
- 前記バインダー樹脂(A)が、プロトン性極性基を有する環状オレフィン重合体である請求項1〜4のいずれかに記載の樹脂組成物。
- 前記樹脂組成物を形成する固形分全体に対する前記フェノキシ樹脂(B)の含有割合が2〜75重量%である請求項1〜5のいずれかに記載の樹脂組成物。
- 前記フェノキシ樹脂(B)が、ビスフェノール構造を備えるフェノキシ樹脂である請求項1〜6のいずれかに記載の樹脂組成物。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の樹脂組成物からなる樹脂膜を備える電子部品。
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