JP6355361B2 - 有機層蒸着装置、及びそれを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、有機層蒸着装置、及びそれを利用した有機発光表示装置の製造方法に関する。

ディスプレイ装置のうち、有機発光ディスプレイ装置は、視野角が広く、コントラストにすぐれるだけではなく、応答速度が速いという長所を有しており、次世代ディスプレイ装置として注目を集めている。

有機発光ディスプレイ装置は、互いに対向した第１電極及び第２電極の間に、発光層及びそれを含む中間層を具備する。そのとき、前記電極及び中間層は、多くの方法で形成されるが、そのうちの１つの方法が独立蒸着方式である。蒸着方法を利用して、有機発光ディスプレイ装置を製作するためには、有機層などが形成される基板面に、形成される有機層などのパターンと同一のパターンを有するファインメタルマスク（ＦＭＭ：Ｆｉｎｅ ｍｅｔａｌ ｍａｓｋ）を密着させ、有機層などの材料を蒸着し、所定パターンの有機層を形成する。

しかし、かようなＦＭＭを利用する方法は、大型のマザーガラス（ｍｏｔｈｅｒ−ｇｌａｓｓ）を使用して、有機発光ディスプレイ装置を大面積化させるには不適であるという課題がある。なぜならば、大面積マスクを使用すれば、自重によって、マスクの反り現象が発生するが、その反り現象によるパターンの歪曲が生じるからである。それは、パターンに高精細を要する最近の傾向とも相反するのである。

さらに、基板とＦＭＭとをアラインさせて密着させ、蒸着を行った後、さらに基板とＦＭＭとを分離させる過程で、相当な時間が必要となり、製造時間が長くかかり、生産効率が低いという問題点が存在した。

前述の背景技術は、発明者が本発明の導出のために保有していたり、あるいは本発明の導出過程で習得した技術情報であり、必ずしも本発明の出願前に一般公衆に公開された公知技術とすることができるものではない。

本発明が解決しようとする課題は、製造が容易であり、大型基板の量産工程に容易に適用され、高精細のパターニングを可能にする有機層蒸着装置、及びそれを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法を提供することである。

本発明の一実施形態による有機層蒸着装置は、基板を固定し、固定された前記基板と共に移動自在に形成された移動部と、前記基板が固定された前記移動部を、第１方向に移動させる第１移送部と、蒸着が完了し、前記基板が分離された前記移動部を、前記第１方向の反対方向に移動させる第２移送部を含む移送部；及び前記移動部に固定された前記基板に、有機層を蒸着する一つ以上の有機層蒸着アセンブリを含む蒸着部；を含み、前記有機層蒸着アセンブリのそれぞれは、蒸着物質を放射する一つ以上の蒸着源；前記蒸着源の一側に配置され、一つ以上の蒸着源ノズルが形成された蒸着源ノズル部；前記蒸着源ノズル部と対向して配置され、いずれか１方向に沿って、複数個のパターニングスリットが配置されるパターニングスリット・シート；前記基板と前記蒸着源との間に配置され、前記蒸着源から蒸発された蒸着物質を遮断する遮断部材；及び前記遮断部材の一側に形成され、前記遮断部材に蒸着された蒸着物質の落下を防止するメッシュ（ｍｅｓｈ）部材；を含み、前記移動部は、前記第１移送部と前記第２移送部との間を循環自在に形成され、前記移動部に固定された基板は、前記第１移送部によって移動される間、前記有機層蒸着アセンブリと所定距離ほど離隔されるように形成されることを特徴とする有機層蒸着装置を提供する。

本発明において、前記遮断部材は、移動自在に形成され、前記蒸着源から蒸発された蒸着物質が、前記基板に蒸着されるのを遮断することができる。

ここで、前記遮断部材は、前記蒸着源と、前記パターニングスリット・シートとの間の空間で移動することができる。

ここで、前記メッシュ部材は、前記遮断部材と結合し、前記遮断部材と共に移動することができる。

本発明において、前記遮断部材は、前記蒸着源の一側に形成され、前記蒸着源から蒸発される前記蒸着物質の経路をガイドすることができる。

ここで、前記遮断部材は、前記蒸着源を取り囲むように形成されてもよい。

ここで、前記メッシュ部材は、前記遮断部材と結合し、前記蒸着源の一側に形成されてもよい。

本発明において、前記有機層蒸着アセンブリは、複数個の蒸着源；及び前記それぞれの蒸着源と前記パターニングスリット・シートとの間の空間で移動自在に形成される複数個の遮断部材；を含んでもよい。

ここで、前記複数個の遮断部材は、独立して、それぞれの蒸着源から蒸発された蒸着物質が、前記基板に蒸着されることを遮断自在に形成されてもよい。

本発明において、前記遮断部材は、前記基板の枠領域を覆うように具備されてもよい。

ここで、前記遮断部材は、前記基板の枠領域を覆った状態で、前記基板と共に移動するように形成されてもよい。

本発明において、前記蒸着源から放射された前記蒸着物質は、前記パターニングスリット・シートを通過し、前記基板上にパターンを形成しながら蒸着されてもよい。

本発明において、前記パターニングスリット・シートは、前記第１方向または前記第２方向のうち少なくともいずれか一方向において、前記基板より小さく形成されてもよい。

本発明において、前記第１移送部と前記第２移送部は、前記蒸着部を通過するとき、前記蒸着部を貫通するように具備されてもよい。

本発明において、前記第１移送部と前記第２移送部は、上下に並んで配置されてもよい。

他の側面による本発明は、基板上に有機層を形成する有機層蒸着装置を利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法において、前記基板が固定された移動部が、チャンバを貫通するように設置された第１移送部を利用して、前記チャンバ内に移送される段階と、前記チャンバ内に配置された有機層蒸着アセンブリと前記基板とが、所定距離ほど離隔された状態で、前記基板が前記有機層蒸着アセンブリに対して相対的に移動しながら、前記有機層蒸着アセンブリから発散された蒸着物質が前記基板に蒸着されて有機層が形成される段階と、前記基板と分離された前記移動部が、チャンバを貫通するように設置された第２移送部を利用して回送される段階と、を含み、前記有機層が形成される段階は、一側にメッシュ部材が結合され、前記有機層蒸着アセンブリから発散された蒸着物質を遮断する遮断部材によって、前記有機層蒸着アセンブリから発散された蒸着物質が遮断される段階と、を含む有機発光ディスプレイ装置の製造方法を提供する。

本発明において、前記有機層蒸着アセンブリは、蒸着物質を放射する蒸着源；前記蒸着源の一側に配置され、一つ以上の蒸着源ノズルが形成された蒸着源ノズル部；及び前記蒸着源ノズル部と対向して配置され、複数個のパターニングスリットが配置されるパターニングスリット・シート；を含み、前記蒸着源から放射された前記蒸着物質は、前記パターニングスリット・シートを通過し、前記基板上にパターンを形成しながら蒸着されてもよい。

本発明において、前記遮断部材は、前記基板と前記蒸着源との間に配置され、前記蒸着源から蒸発された蒸着物質を遮断し、前記メッシュ部材は、前記遮断部材の一側に形成され、前記遮断部材に蒸着された蒸着物質の落下を防止することができる。

本発明において、前記遮断部材は、移動自在に形成され、前記蒸着源から蒸発された蒸着物質が、前記基板に蒸着されるのを遮断することができる。

ここで、前記遮断部材は、前記蒸着源と前記パターニングスリット・シートとの間の空間で移動することができる。

ここで、前記メッシュ部材は、前記遮断部材と結合し、前記遮断部材と共に移動することができる。

本発明において、前記遮断部材は、前記蒸着源の一側に形成され、前記蒸着源から蒸発される前記蒸着物質の経路をガイドすることができる。

ここで、前記遮断部材は、前記蒸着源を取り囲むように形成されてもよい。

ここで、前記メッシュ部材は、前記遮断部材と結合し、前記蒸着源の一側に形成されてもよい。

本発明において、前記有機層蒸着アセンブリは、複数個の蒸着源；及び前記それぞれの蒸着源と、前記パターニングスリット・シートとの間の空間で移動自在に形成される複数個の遮断部材；を含んでもよい。

ここで、前記複数個の遮断部材は、独立して、前記それぞれの蒸着源から蒸発された蒸着物質が、前記基板に蒸着されることを遮断自在に形成されてもよい。

本発明において、前記遮断部材は、前記基板の枠領域を覆うように備えられてもよい。

ここで、前記遮断部材は、前記基板の枠領域を覆った状態で、前記基板と共に移動するように形成されてもよい。

本発明の一実施形態に係る有機層蒸着装置を概略的に図示したシステム構成の平面図である。 図１の有機層蒸着装置の蒸着部を概略的に図示したシステム構成の側面図である。 図１の蒸着部を概略的に図示した斜視図である。 図３の蒸着部の概略的な断面図である。 図３の蒸着源、遮断部材及びメッシュ部材の一実施形態を示す図面である。 図３の蒸着源、遮断部材及びメッシュ部材の一実施形態を示す図面である。 図６の遮断部材とメッシュ部材とを詳細に示す図面である。 図３の遮断部材及びメッシュ部材の他の一実施形態を示す図面である。 図３の遮断部材及びメッシュ部材のさらに他の一実施形態を示す図面である。 図３の遮断部材及びメッシュ部材のさらに他の一実施形態を示す図面である。 本発明の一実施形態による有機層蒸着アセンブリを示す図面である。 本発明の有機層蒸着装置を利用して、製造されたアクティブマトリックス型有機発光ディスプレイ装置の断面を図示した図面である。

以下、添付した図面を参照し、本発明の実施形態について、本発明が属する技術分野で当業者が容易に実施することができるように詳細に説明する。本発明は、さまざまに異なる形態で具現され、ここで説明する実施形態に限定されるものではない。

図１は、本発明の一実施形態に係る有機層蒸着装置を概略的に図示したシステム構成の平面図であり、図２は、図１の有機層蒸着装置の蒸着部を概略的に図示したシステム構成の側面図である。

図１及び図２を参照すれば、本発明の一実施形態による有機層蒸着装置１は、蒸着部１００、ローディング部２００、アンローディング部３００及び移送部４００を含む。

ローディング部２００は、第１ラック（ｒａｃｋ）２１２と、導入室２１４と、第１反転室２１８と、バッファ室２１９と、を含んでもよい。

第１ラック２１２には、蒸着が行われる前の基板２が多数積載されており、導入室２１４に具備された導入ロボットは、第１ラック２１２から基板２を取り、第２移送部４２０から移送されてきた移動部４３０に基板２を載せた後、基板２が付着された移動部４３０を第１反転室２１８に移す。

導入室２１４に隣接するように、第１反転室２１８が具備され、第１反転室２１８に位置した第１反転ロボットが移動部４３０を反転させ、移動部４３０を蒸着部１００の第１移送部４１０に装着する。

図１から分かるように、導入室２１４の導入ロボットは、移動部４３０の上面に基板２を載せ、この状態で移動部４３０は、反転室２１８に移送され、反転室２１８の第１反転ロボットが反転室２１８を反転させることにより、蒸着部１００では、基板２が下を向くように位置する。

アンローディング部３００の構成は、前述のローディング部２００の構成と反対に構成される。すなわち、蒸着部１００を経た基板２及び移動部４３０を、第２反転室３２８で、第２反転ロボットが反転させて搬出室３２４に移送し、搬出ロボットが、搬出室３２４から、基板２及び移動部４３０を取り出した後、基板２を移動部４３０で分離し、第２ラック３２２に積載する。基板２と分離された移動部４３０は、第２移送部４２０を介してローディング部２００に回送される。

しかし、本発明は、必ずしもそれに限定されるものではなく、基板２が移動部４３０に最初に固定されるときから、移動部４３０の下面に基板２を固定させ、そのまま蒸着部１００に移送させることもできる。その場合、例えば、第１反転室２１８の第１反転ロボットと、第２反転室３２８の第２反転ロボットとは不要になる。

蒸着部１００は、少なくとも１つの蒸着用チャンバ１０１を具備する。図１及び図２による本発明の一実施形態によれば、前記蒸着部１００は、チャンバ１０１を具備し、該チャンバ１０１内に、複数の有機層蒸着アセンブリ１００−１、１００−２・・・１００−１１が配置される。図１に図示された本発明の一実施形態によれば、前記チャンバ１０１内に、第１有機層蒸着アセンブリ１００−１、第２有機層蒸着アセンブリ１００−２〜第１１有機層蒸着アセンブリ１００−１１の１１個の有機層蒸着アセンブリが設置されているが、その数は、蒸着物質及び蒸着条件によって可変可能である。前記チャンバ１０１は、蒸着が進められる間、真空に維持される。

一方、図１による本発明の一実施形態によれば、前記基板２が固定された移動部４３０は、第１移送部４１０によって、少なくとも蒸着部１００に、望ましくは、前記ローディング部２００、蒸着部１００及びアンローディング部３００に順次移動され、前記アンローディング部３００で、基板２と分離された移動部４３０は、第２移送部４２０によって、ローディング部２００に送り戻される。

前記第１移送部４１０は、前記蒸着部１００を通過するとき、前記チャンバ１０１を貫通するように具備され、前記第２移送部４２０は、基板２が分離された移動部４３０を移送するように具備される。

ここで、本発明の一実施形態による有機層蒸着装置１は、第１移送部４１０と第２移送部４２０とが上下に形成され、第１移送部４１０を通過しながら蒸着を終えた移動部４３０が、アンローディング部３００で基板２と分離された後、その下部に形成された第２移送部４２０を介して、ローディング部２００に回送されるように形成されることにより、空間活用の効率が向上するという効果を得ることができる。

一方、図１の蒸着部１００は、各有機層蒸着アセンブリ１００−１の一側に、蒸着源交替部１９０をさらに含んでもよい。図面には、詳細に図示されていないが、蒸着源交替部１９０は、カセット形式に形成され、それぞれの有機層蒸着アセンブリ１００−１から外部に引き出されるように形成されてもよい。従って、有機層蒸着アセンブリ１００−１の蒸着源１１０（図３）の入れ替えが容易になる。

一方、図１には、ローディング部２００、蒸着部１００、アンローディング部３００及び移送部４００で構成された有機層蒸着装置を構成するための一連のセット（ｓｅｔ）が２つ並べられたセットが具備されているように図示されている。すなわち、図１の上側及び下側に全て２つの有機層蒸着装置１が具備されていると理解することができる。その場合、２つの有機層蒸着装置１の間には、パターニングスリット・シート交替部５００がさらに具備されてもよい。すなわち、２つの有機層蒸着装置１間に、パターニングスリット・シート交替部５００を具備し、２つの有機層蒸着装置１がパターニングスリット・シート交替部５００を共同で使用することにより、それぞれの有機層蒸着装置１がパターニングスリット・シート交替部５００を具備する場合に比べ、空間活用の効率性を向上させることができる。

図３は、図１の蒸着部を概略的に図示した斜視図であり、図４は、図３の蒸着部の概略的な断面図である。

まず、図３及び図４を参照すれば、本発明の一実施形態に係る有機層蒸着装置１の蒸着部１００は、一つ以上の有機層蒸着アセンブリ１００−１と、移送部４００とを含む。

以下では、全体的な蒸着部１００の構成について説明する。

チャンバ１０１は、中空ボックス状に形成され、その内部に、一つ以上の有機層蒸着アセンブリ１００−１と、移送部４００とが収容される。これについて、他の側面で説明すれば、地面に固定されるように、フット（ｆｏｏｔ）１０２が形成され、フット１０２上に、下部ハウジング１０３が形成され、下部ハウジング１０３の上部に、上部ハウジング１０４が形成される。そして、チャンバ１０１は、下部ハウジング１０３及び上部ハウジング１０４をいずれも内部に収容するように形成される。そのとき、下部ハウジング１０３とチャンバ１０１との連結部は、密封処理され、チャンバ１０１の内部が外部と完全に遮断される。このように、下部ハウジング１０３と上部ハウジング１０４とが、地面に固定されたフット１０２上に形成されることにより、チャンバ１０１が収縮／膨脹を反復しても、下部ハウジング１０３と上部ハウジング１０４は、固定された位置を維持することができ、従って、下部ハウジング１０３と上部ハウジング１０４とが蒸着部１００内で、一種の基準フレーム（ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ ｆｒａｍｅ）の役割を行うことができる。

一方、上部ハウジング１０４の内部には、有機層蒸着アセンブリ１００−１と、移送部４００の第１移送部４１０とが形成され、下部ハウジング１０３の内部には、移送部４００の第２移送部４２０が形成される。そして、移動部４３０が、第１移送部４１０と第２移送部４２０との間を循環移動しながら、連続的に蒸着が行われる。

以下では、有機層蒸着アセンブリ１００−１の詳細構成について説明する。

それぞれの有機層蒸着アセンブリ１００−１は、蒸着源１１０、蒸着源ノズル部１２０、パターニングスリット・シート１３０、遮断部材１４１、メッシュ（ｍｅｓｈ）部材１４２、第１ステージ１５０、第２ステージ１６０などを含む。ここで、図３及び図４に示す全ての構成は、適切な真空度が維持されるチャンバ１０１内に配置されることが望ましい。それは、蒸着物質の直進性を確保するためである。

かようなチャンバ１０１内には、被蒸着体である基板２が配置される。前記基板２は、平板表示装置用基板にもなるが、多数の平板表示装置を形成することができるマザーガラス（ｍｏｔｈｅｒ ｇｌａｓｓ）のような４０インチ以上の大面積基板が適用されてもよい。

ここで、本発明の一実施形態では、基板２が有機層蒸着アセンブリ１００−１に対して相対的に移動しながら、蒸着が進められることを特徴の一つとする。

詳細には、既存のＦＭＭ蒸着方法では、ＦＭＭ（ｆｉｎｅ ｍｅｔａｌ ｍａｓｋ）サイズが基板サイズと同一に形成されなければならない。従って、基板サイズが増大するほど、ＦＭＭも大型化されなければならず、それにより、ＦＭＭ製作が容易ではなく、ＦＭＭを引張り、精密なパターンにアライン（ａｌｉｇｎ）するのも容易ではないという問題点が存在した。

かような問題点を解決するために、本発明の一実施形態に係る有機層蒸着アセンブリ１００−１は、有機層蒸着アセンブリ１００−１と基板２とが互いに相対的に移動しながら蒸着が行われることを特徴の一つとする。言い換えれば、有機層蒸着アセンブリ１００−１と対向するように配置された基板２が、Ｙ軸方向に沿って移動しながら、連続的に蒸着を行う。すなわち、基板２が図３の矢印Ａ方向に移動しながら、スキャニング（ｓｃａｎｎｉｎｇ）方式で蒸着が行われる。ここで、図面には、基板２がチャンバ１０１内でＹ軸方向に移動しながら蒸着が行われると図示されているが、本発明の思想は、それに制限されるものではなく、基板２は、固定されており、有機層蒸着アセンブリ１００−１自体がＹ軸方向に移動しながら蒸着を行うことも可能である。

従って、本発明の有機層蒸着アセンブリ１００−１では、従来のＦＭＭに比べ、はるかに小さくパターニングスリット・シート１３０を設けることができる。すなわち、本発明の有機層蒸着アセンブリ１００−１の場合、基板２がＹ軸方向に沿って移動しながら連続的に、すなわち、スキャニング方式で蒸着を行うので、パターニングスリット・シート１３０のＸ軸方向及びＹ軸方向の長さのうち少なくとも一方向の長さは、基板２の長さよりはるかに短く形成されてもよいのである。このように、従来のＦＭＭに比べ、はるかに小さくパターニングスリット・シート１３０を設けることができるので、本発明のパターニングスリット・シート１３０は、その製造が容易である。すなわち、パターニングスリット・シート１３０のエッチング作業や、その後の精密引張り作業、溶接作業、移動作業及び洗浄作業など全ての工程で、小サイズのパターニングスリット・シート１３０が、ＦＭＭ蒸着方法に比べて有利である。また、それは、ディスプレイ装置が大型化されるほどさらに有利になる。

このように、有機層蒸着アセンブリ１００−１と基板２とが互いに相対的に移動しながら蒸着が行われるためには、有機層蒸着アセンブリ１００−１と基板２とが一定距離ほど離隔されることが望ましい。これについては、追って詳細に記述する。

一方、チャンバ内で、前記基板２と対向する側には、蒸着物質１１５が、収納及び加熱される蒸着源１１０が配置される。前記蒸着源１１０内に収納されている蒸着物質１１５が気化されることにより、基板２に蒸着が行われる。

詳細には、蒸着源１１０は、その内部に蒸着物質１１５が充填されるルツボ１１１と、ルツボ１１１を加熱させ、ルツボ１１１の内部に充填された蒸着物質１１５を、ルツボ１１１の一側、詳細には、蒸着源ノズル部１２０側に蒸発させるためのヒータ１１２と、を含む。

蒸着源１１０の一側、詳細には、蒸着源１１０から基板２を向く側には、蒸着源ノズル部１２０が配置される。ここで、本発明による有機層蒸着アセンブリは、共通層とパターン層とを蒸着するところにあり、蒸着源ノズルが互いに異なって形成されてもよい。

一方、蒸着源１１０と基板２との間には、パターニングスリット・シート１３０がさらに具備される。パターニングスリット・シート１３０は、ほぼ窓枠のような形態に形成されるフレーム１３５をさらに含み、パターニングスリット・シート１３０には、Ｘ軸方向に沿って、複数個のパターニングスリット１３１が形成される。蒸着源１１０内で気化された蒸着物質１１５は、蒸着源ノズル部１２０及びパターニングスリット・シート１３０を通過し、被蒸着体である基板２側に向かう。そのとき、前記パターニングスリット・シート１３０は、従来のＦＭＭ、特にストライプ・タイプ（ｓｔｒｉｐｅ ｔｙｐｅ）のマスクの製造方法と同一の方法であるエッチングを介して製作される。そのとき、蒸着源ノズル１２１の総個数より、パターニングスリット１３１の総個数がさらに多く形成されもする。

ここで、前述の蒸着源１１０及びそれと結合された蒸着源ノズル部１２０と、パターニングスリット・シート１３０とは、互いに一定距離ほど離隔されるように形成される。

前述のように、本発明の一実施形態に係る有機層蒸着アセンブリ１００−１は、基板２に対して相対的に移動しながら、蒸着を行い、このように、有機層蒸着アセンブリ１００−１が、基板２に対して相対的に移動するために、パターニングスリット・シート１３０は、基板２から一定距離ほど離隔されるように形成される。

詳細には、従来のＦＭＭ蒸着方法では、基板に陰影（ｓｈａｄｏｗ）を生じさせないように、基板にマスクを密着させて蒸着工程を進めた。しかし、そのように、基板にマスクを密着させる場合、基板とマスクとの接触による不良問題が発生するという問題点が存在した。また、マスクを、基板に対して移動させることができないので、マスクが基板と同一サイズに形成されなければならない。従って、ディスプレイ装置が大型化されることにより、マスクの大きさも大きくならなければならないが、かような大型マスクを形成するのが容易ではないという問題点が存在した。

かような問題点を解決するために、本発明の一実施形態に係る有機層蒸着アセンブリ１００−１では、パターニングスリット・シート１３０が、被蒸着体である基板２と所定間隔を置いて離隔されるように配置される。

かような本発明によって、マスクを基板より小さく形成した後、マスクを基板に対して移動させながら蒸着を行うことができ、マスク製作が容易になるという効果を得ることができる。また、基板とマスクとの接触による不良を防止するという効果を得ることができる。また、工程で、基板とマスクとを密着させる時間が不要になるので、製造速度が向上するという効果を得ることができる。

次に、上部ハウジング１０４内での各構成要素の具体的な配置は、次の通りである。

まず、上部ハウジング１０４の底部分には、前述の蒸着源１１０及び蒸着源ノズル部１２０が配置される。そして、蒸着源１１０及び蒸着源ノズル部１２０の両側には、載置部１０４−１が突設され、載置部１０４−１上には、第１ステージ１５０、第２ステージ１６０、及び前述のパターニングスリット・シート１３０が順に形成される。

ここで、第１ステージ１５０は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動自在に形成され、パターニングスリット・シート１３０を、Ｘ軸方向及びＹ軸方向にアラインする機能を行う。すなわち、第１ステージ１５０は、複数個のアクチュエータを具備し、上部ハウジング１０４に対して、第１ステージ１５０がＸ軸方向及びＹ軸方向に移動するように形成される。

一方、第２ステージ１６０は、Ｚ軸方向に移動自在に形成され、パターニングスリット・シート１３０を、Ｚ軸方向にアラインする機能を行う。すなわち、第２ステージ１６０は、複数個のアクチュエータを具備し、第１ステージ１５０に対して、第２ステージ１６０がＺ軸方向に移動するように形成される。

一方、第２ステージ１６０上には、パターニングスリット・シート１３０が形成される。このように、パターニングスリット・シート１３０が、第１ステージ１５０及び第２ステージ１６０上に形成され、パターニングスリット・シート１３０が、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に形成されることにより、基板２とパターニングスリット・シート１３０とのアラインを行うことができる。

さらに、上部ハウジング１０４、第１ステージ１５０及び第２ステージ１６０は、蒸着源ノズル１２１を介して排出される蒸着物質が分散しないように、蒸着物質の移動経路をガイドする役割を同時に行うことができる。すなわち、上部ハウジング１０４、第１ステージ１５０及び第２ステージ１６０によって、蒸着物質の経路が密閉され、蒸着物質のＸ軸方向及びＹ軸方向移動を同時にガイドすることもできる。

一方、パターニングスリット・シート１３０と蒸着源１１０との間には、遮断部材１４１及びメッシュ部材１４２がさらに具備される。かような遮断部材１４１は、蒸着源１１０から出てくる蒸着物質１１５を遮断する役割を行うことができる。また、メッシュ部材１４２は、遮断部材１４１の一側に形成され、遮断部材１４１に蒸着された蒸着物質１１５の落下を防止する役割を行う。これについては、図５以下で詳細に説明する。

以下では、被蒸着体である基板２を移送する移送部４００について、詳細に説明する。

図３及び図４を参照すれば、移送部４００は、第１移送部４１０と、第２移送部４２０と、移動部４３０と、を含む。

第１移送部４１０は、有機層蒸着アセンブリ１００−１によって、基板２上に有機層が蒸着されるように、キャリア４３１、及びそれと結合された静電チャック４３２を含む移動部４３０と、移動部４３０に付着されている基板２と、をインライン（ｉｎ−ｌｉｎｅ）で移送する役割を行う。

第２移送部４２０は、蒸着部１００を通過しながら、１回の蒸着が完了した後、アンローディング部３００で基板２が分離された移動部４３０を、ローディング部２００に回送する役割を行う。かような第２移送部４２０は、コイル４２１、ローラガイド４２２及びチャージング・トラック（ｃｈａｒｇｉｎｇ ｔｒａｃｋ）４２３を含む。

移動部４３０は、第１移送部４１０及び第２移送部４２０によって移送されるキャリア４３１と、キャリア４３１の一面上に結合され、基板２が付着される静電チャック４３２と、を含む。

以下では、移送部４００の各構成要素について、さらに詳細に説明する。

まず、移動部４３０のキャリア４３１について詳細に説明する。

キャリア４３１は、本体部４３１ａ、ＬＭＳマグネット（ｌｉｎｅａｒ ｍｏｔｉｏｎ ｓｙｓｔｅｍ ｍａｇｎｅｔ）４３１ｂ、ＣＰＳモジュール（ｃｏｎｔａｃｔｌｅｓｓ ｐｏｗｅｒ ｓｕｐｐｌｙ ｍｏｄｕｌｅ）４３１ｃ、電源部４３１ｄ及びガイド溝４３１ｅを含む。

本体部４３１ａは、キャリア４３１の基底部をなし、鉄のような磁性体から形成されてもよい。かようなキャリア４３１の本体部４３１ａと、磁気浮上ベアリング４３１ｆとの磁気力によって、キャリア４３１がガイド部４１２に対して、一定距離ほど離隔された状態を維持することができる。

本体部４３１ａの両側面には、ガイド溝４３１ｅが形成され、かようなガイド溝４３１ｅ内には、ガイド部４１２のガイド突起が収容される。

本体部４３１ａの進行方向の中心線に沿って、マグネチック・レール４３１ｂが形成されてもよい。本体部４３１ａのマグネチック・レール４３１ｂと、後述するコイル４１１とが結合し、リニアモータを構成することができ、かようなリニアモータによって、キャリア４３１がＡ方向に移送されるのである。

本体部４３１ａで、マグネチック・レール４３１ｂの一側には、ＣＰＳモジュール４３１ｃ及び電源部４３１ｄがそれぞれ形成される。電源部４３１ｄは、静電チャック４３２が、基板２をチャッキング（ｃｈｕｃｋｉｎｇ）し、それを維持するように、電源を提供するための一種の充電用バッテリであり、ＣＰＳモジュール４３１ｃは、電源部４３１ｄを充電するための無線充電モジュールである。詳細には、後述する第２移送部４２０に形成されたチャージング・トラック（ｃｈａｒｇｉｎｇ ｔｒａｃｋ）４２３は、インバータ（ｉｎｖｅｒｅｒ）（図示せず）と連結され、キャリア４３１が第２移送部４２０内に移送されるとき、チャージング・トラック４２３とＣＰＳモジュール４３１ｃとの間に磁場が形成され、ＣＰＳモジュール４３１ｃに電力を供給する。そして、ＣＰＳモジュール４３１ｃに供給された電力は、電源部４３１ｄを充電する。

一方、静電チャック４３２は、セラミックスによって具備された本体の内部に、電源が印加される電極が埋め込まれたものであり、該電極に高電圧が印加されることにより、本体の表面に基板２を付着させる。

次に、移動部４３０の駆動について詳細に説明する。

本体部４３１ａのマグネチック・レール４３１ｂとコイル４１１とが結合し、駆動部を構成する。ここで、駆動部は、リニアモータでもある。リニアモータは、従来の摺動案内システムに比べ、摩擦係数が小さく、位置誤差がほぼ発生せず、位置決定度が非常に高い装置である。前述のように、リニアモータは、コイル４１１とマグネチック・レール４３１ｂとによってなり、マグネチック・レール４３１ｂがキャリア４３１上に一列に配置され、コイル４１１は、マグネチック・レール４３１ｂと対向するように、チャンバ１０１内の一側に、多数個が一定間隔で配置される。このように、移動物体であるキャリア４３１に、コイル４１１ではないマグネチック・レール４３１ｂが配置されるので、キャリア４３１に電源を印加せずとも、キャリア４３１の駆動が可能にもなる。ここで、コイル４１１は、ＡＴＭ箱（ａｔｍｏｓｐｈｅｒｅ ｂｏｘ）内に形成され、大気状態で設置され、マグネチック・レール４３１ｂは、キャリア４３１に付着し、真空であるチャンバ１０１内で、キャリア４３１が走行することができる。

一方、本発明の一実施形態による有機層蒸着装置１の有機層蒸着アセンブリ１００−１は、アラインのためのカメラをさらに具備することができる。詳細には、カメラ１７０は、パターニングスリット・シート１３０に形成されたマークと、基板２に形成されたマークとをリアルタイムでアラインすることができる。ここで、カメラ１７０は、蒸着が進行中である真空チャンバ１０１内で、円滑な視野確保が可能なように具備される。このために、カメラ１７０は、カメラ収容部１７１内に形成され、大気状態で設置される。

以下では、本発明の一実施形態による有機層蒸着装置１の遮断部材１４１及びメッシュ部材１４２について、さらに詳細に説明する。

図５及び図６は、図３の蒸着源、遮断部材及びメッシュ部材の一実施形態を示す図面であり、図７は、図６の遮断部材とメッシュ部材とを詳細に示す図面である。

図５、図６及び図７を参照すれば、パターニングスリット・シート１３０と、蒸着源１１０との間には、遮断部材１４１及びメッシュ部材１４２がさらに具備される。かような遮断部材１４１は、蒸着源１１０から出てくる蒸着物質１１５を遮断する役割を行うことができる。また、メッシュ部材１４２は、遮断部材１４１の一側に形成され、遮断部材１４１に蒸着された蒸着物質１１５の落下を防止する役割を行う。

すなわち、本実施形態では、遮断部材１４１が、蒸着源１１０とパターニングスリット・シート１３０との間に配置され、蒸着待機モード時、蒸着物質がパターニングスリット・シート１３０に蒸着されることを防止するメインシャッタ（ｍａｉｎ ｓｈｕｔｔｅｒ）の役割を行うように形成される。

詳細には、有機層蒸着装置１００は、１回稼動を始めれば、有機物のような蒸着物質１１５の変性を防止するために、蒸着源１１０を随時に消したりつけたりせずに、蒸着物質１１５がいずれも消費されるまで、続けて一定の温度を維持しなければならない。かような場合、有機層蒸着装置１００が基板２に蒸着した後、他の基板に蒸着が行われる以前の状態である蒸着待機モード時にも、パターニングスリット・シート１３０を介して、蒸着物質１１５が連続してチャンバ１０１内に放出され、それによって、パターニングスリット・シート１３０に、蒸着物質１１５が累積するので、それを遮断する必要がある。

そのために、チャンバ１０１内部の蒸着源１１０と、パターニングスリット・シート１３０との間に、遮断部材１４１を具備し、蒸着源１１０から出てくる蒸着物質１１５を遮断する役割を行うのである。このように、遮断部材１４１が、蒸着源１１０とパターニングスリット・シート１３０との間に介在されれば、蒸着源１１０から排出された蒸着物質１１５が、パターニングスリット・シート１３０を含め、チャンバ１０１内の他の領域に付着することを最小化させることができる。

図６に図示されているように、基板２が有機層蒸着アセンブリ１００−１を通過しないときには、遮断部材１４１が、蒸着源１１０を覆うことにより、蒸着源１１０から発散された蒸着物質１１５が、パターニングスリット・シート１３０に付着しないようにする。

一方、図５に図示されているように、基板２が有機層蒸着アセンブリ１００−１に入り始めれば、蒸着源１１０を覆っていた遮断部材１４１が移動しながら、蒸着物質１１５の移動経路がオープンされ、蒸着源１１０から発散された蒸着物質１１５が、パターニングスリット・シート１３０を通過して基板２に蒸着される。

そのとき、遮断部材１４１の一面、さらに詳細には、遮断部材１４１で、蒸着源１１０と対向する一面上には、メッシュ部材１４２がさらに形成される。かようなメッシュ部材１４２は、遮断部材１４１に蒸着された蒸着物質１１５の落下を防止する役割を行う。

詳細には、有機層蒸着装置１内で蒸着物質を蒸着する工程中、多量の蒸着物質が遮断部材１４１に蒸着される。そのとき、多量の蒸着物質が蒸着されれば、蒸着物質の重みによって、蒸着物質が落下する現象が発生する。かように落下した蒸着物質は、チャンバ内で、パーティクル、すなわち、不純物として作用し、またかような蒸着物質が蒸着源側に落下すれば、成膜フラックス（ｆｌｕｘ）にも影響を与え、製品の品質を落とすという要因になる。さらに、遮断部材１４１に多くの蒸着物質が蒸着され、落下現象が発生すれば、装備稼動がそれ以上困難になり、装備稼動率と生産能力とを落とすことにもなる。

かような問題点を解決するため、本発明の一実施形態による有機層蒸着装置１は、遮断部材１４１の一面上に、メッシュ部材１４２をさらに形成し、遮断部材１４１に蒸着された蒸着物質１１５の落下を防止することを特徴の一つとする。このように、遮断部材１４１の一面上に、メッシュ部材１４２を結合すれば、細かいシーブ状のメッシュ部材１４２の空隙の間に蒸着物質が蒸着され、またメッシュ部材１４２が、この付着した蒸着物質を取り押さえるので、蒸着物質の落下を防止することができる。

実験の結果、メッシュ部材を具備していない場合、約６０〜７０時間の使用後、有機物落下現象が発生したが、メッシュ部材を具備した場合、２５０時間の経過後にも、有機物の落下問題が発生しないと測定された。

かような本発明によって、遮断部材１４１に付着した蒸着物質の落下が防止されることにより、製品の品質が向上し、装備稼動率及び生産性が向上するという効果を得ることができる。

図８は、図５の遮断部材及びメッシュ部材の他の一実施形態を示す図面である。

本実施形態では、遮断部材１４３が、蒸着源１１０とパターニングスリット・シート１３０との間に配置されるが、１つの有機層蒸着アセンブリ１００−１（図１）を構成する３つの蒸着源１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃにそれぞれ具備され、各蒸着源１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ別に蒸着量を制御するのに使用されるソースシャッタ（ｓｏｕｒｃｅ ｓｈｕｔｔｅｒ）の役割を行うように形成される。すなわち、３つの蒸着源１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃの前面に、それぞれ３つの遮断部材１４３ａ、１４３ｂ、１４３ｃが具備され、各蒸着源１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ別に、蒸着物質の遮断を可能にさせ、１つの蒸着源に異常が発生しても、残りの蒸着源で中断なしに蒸着を行うことができるという効果を得ることができる。

ところで、かようなソースシャッタ状の遮断部材１４３は、蒸着源１１０との距離が非常に近いので、蒸着される蒸着物質の量も非常に多く、蒸着物質が容易に落下するという問題が生じることがある。このように、ソースシャッタ状の遮断部材１４３から蒸着物質が落下すれば、蒸着源ノズル１２０を塞ぐことになり、製品の特性を低下させることがある。

かような問題点を解決するため、本実施形態による有機層蒸着装置１は、ソースシャッタ状の遮断部材１４３の一面、さらに詳細には、遮断部材１４３で、蒸着源１１０と対向する一面上には、メッシュ部材１４４をさらに形成し、遮断部材１４３に蒸着された蒸着物質１１５の落下を防止することを特徴の一つとする。すなわち、３つの遮断部材１４３ａ、１４３ｂ、１４３ｃそれぞれの一面に、３つのメッシュ部材１４４ａ、１４４ｂ、１４４ｃが結合する。このように、遮断部材１４３の一面上に、メッシュ部材１４４を結合すれば、細かいシーブ状のメッシュ部材１４４の空隙の間に、蒸着物質が蒸着され、またメッシュ部材１４４が付着した蒸着物質を取り押さえるので、蒸着物質の落下を防止することができる。

図９は、図５の遮断部材及びメッシュ部材のさらに他の一実施形態を示す図面である。

本実施形態では、遮断部材１４７が、蒸着源１１０と、パターニングスリット・シート１３０との間に配置されるが、基板２の非成膜領域に有機物が蒸着されることを防止するためのブラインダ（ｂｌｉｎｄｅｒ）の役割を行うように形成されることを特徴とする。すなわち、遮断部材１４７が、基板２の移動中に、基板２の非成膜領域（すなわち、枠部分）を覆った状態で、基板２と共に移動するように形成され、基板２の非成膜領域が覆われることにより、別途の構造物なしも、簡便に基板２の非成膜領域に有機物が蒸着されることが防止されるという効果を得ることができる。

そして、本実施形態による有機層蒸着装置１は、ソースシャッタ状の遮断部材１４７の一面、さらに詳細には、遮断部材１４７で、蒸着源１１０と対向する一面上には、メッシュ部材１４８をさらに形成し、遮断部材１４７に蒸着された蒸着物質１１５の落下を防止することを特徴の一つとする。このように、遮断部材１４７の一面上に、メッシュ部材１４８を結合すれば、細かいシーブ状のメッシュ部材１４８の空隙の間に、蒸着物質が蒸着され、またメッシュ部材１４８が、付着した蒸着物質を取り押さえるので、蒸着物質の落下を防止することができる。

図１０は、図５の遮断部材及びメッシュ部材のさらに他の一実施形態を示す図面である。

本実施形態では、遮断部材１４５が、蒸着源１１０の一側に、蒸着源１１０を取り囲むように形成され、発散される蒸着物質の角度を調整する角度制限板の形態に形成され、蒸着源１１０から蒸発される蒸着物質の経路をガイドすることを特徴とする。すなわち、遮断部材１４５は、蒸着源１１０から蒸発されていく蒸着物質の発散経路を制限し、蒸着物質の直進性を向上させる役割を行う。蒸着源１１０から蒸発された蒸着物質のうち、垂直に近い角度で進む蒸着物質が、遮断部材１４５と衝突せずに、基板２側に進むのに比べ、蒸着源１１０から蒸発された蒸着物質のうち、一定角度以下で斜めに進む蒸着物質は、遮断部材１４５と衝突して遮断部材１４５に蒸着される。かような遮断部材１４５によって、蒸着物質の直進性が確保される。従って、陰影（ｓｈａｄｏｗ）の発生が大きく低減されるという効果を得ることができる。

ところで、かような角度制限板状の遮断部材１４５は、蒸着源１１０との距離が非常に近いので、蒸着される蒸着物質の量も非常に多く、蒸着物質が容易に落下するという問題が生じることがある。このように、角度制限板状の遮断部材１４５から蒸着物質が落下することになれば、蒸着源ノズル１２０を塞いだり、あるいは昇華される蒸着物質の角度に干渉を発生させるので、昇華フラックス（ｆｌｕｘ）を変化させ、蒸着膜の均一性（ｕｎｉｆｏｒｍｉｔｙ）に影響を与え、製品の特性を低下させることがある。

かような問題点を解決するため、本実施形態による有機層蒸着装置１は、角度制限板状の遮断部材１４５の両側面に、メッシュ部材１４６をさらに形成し、遮断部材１４５に蒸着された蒸着物質１１５の落下を防止することを特徴の一つとする。このように、遮断部材１４５の一面上に、メッシュ部材１４６を結合すれば、細かいシーブ状のメッシュ部材１４６の空隙の間に、蒸着物質が蒸着され、またメッシュ部材１４６が、この付着した蒸着物質を取り押さえるので、蒸着物質の落下を防止することができる。

図１１は、本発明のさらに他の一実施形態による有機層蒸着アセンブリを概略的に図示した斜視図である。

図１１を参照すれば、本発明のさらに他の一実施形態による有機層蒸着アセンブリ９００は、蒸着源９１０、蒸着源ノズル部９２０及びパターニングスリット・シート９５０を含む。また、有機層蒸着アセンブリ９００は、遮断部材９４１及びメッシュ部材９４２をさらに含む。

ここで、蒸着源９１０は、その内部に、蒸着物質９１５が充填されるルツボ９１１と、ルツボ９１１を加熱させ、ルツボ９１１の内部に充填された蒸着物質９１５を、蒸着源ノズル部９２０側に蒸発させるためのヒータ９１２と、を含む。一方、蒸着源９１０の一側には、蒸着源ノズル部９２０が配置され、蒸着源ノズル部９２０には、Ｙ軸方向に沿って、複数個の蒸着源ノズル９２１が形成される。一方、蒸着源９１０と基板２との間には、パターニングスリット・シート９５０及びフレーム９５５がさらに具備され、パターニングスリット・シート９５０には、Ｘ軸方向に沿って、複数個のパターニングスリット９５１及びスペーサ（図示せず）が形成される。そして、蒸着源９１０及び蒸着源ノズル部９２０と、パターニングスリット・シート９５０とは、連結部材９３５によって結合される。

本実施形態は、蒸着源ノズル部９２０に具備された複数個の蒸着源ノズル９２１の配置について詳細に説明する。

蒸着源９１０の一側、詳細には、蒸着源９１０から基板２に向かう側には、蒸着源ノズル部９２０が配置される。そして、蒸着源ノズル部９２０には、蒸着源ノズル９２１が形成される。蒸着源９１０内で気化された蒸着物質９１５は、かような蒸着源ノズル部９２０を通過し、被蒸着体である基板２側に向かう。その場合、Ｘ軸方向において、蒸着源ノズル９２１が複数個具備されるとするならば、各蒸着源ノズル９２１とパターニングスリット９５１との距離がそれぞれ異なり、そのとき、パターニングスリット９５１と距離が遠い蒸着源ノズル９２１から発散された蒸着物質によって、陰影が発生する。従って、本発明のように、Ｘ軸方向には、蒸着源ノズル９２１が一つだけ存在するように蒸着源ノズル９２１を形成することにより、陰影の発生を大きく減少させることができる。

図１２は、本発明の有機層蒸着装置を利用して製造されたアクティブマトリックス型有機発光ディスプレイ装置の断面を図示したものである。

図１２を参照すれば、前記アクティブマットレス型の有機発光ディスプレイ装置は、基板２上に形成される。前記基板２は、透明な素材、例えば、ガラス材、プラスチック材または金属材から形成される。前記基板２上には、全体的にバッファ層のような絶縁膜５１が形成されている。

前記絶縁膜５１上には、図１２から分かるようなＴＦＴ（ｔｈｉｎ ｆｉｌｍ ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）と、有機発光素子（ＯＬＥＤ）とが形成される。

前記絶縁膜５１の上面には、所定パターンに配列された半導体活性層５２が形成されている。前記半導体活性層５２は、ゲート絶縁膜５３によって埋め込まれている。前記活性層５２は、ｐ型またはｎ型の半導体によって具備される。

前記ゲート絶縁膜５３の上面には、前記活性層５２と対応するところに、ＴＦＴのゲート電極５４が形成される。そして、前記ゲート電極５４を覆うように、層間絶縁膜５５が形成される。前記層間絶縁膜５５が形成された後には、ドライエッチングなどのエッチング工程によって、前記ゲート絶縁膜５３と層間絶縁膜５５とをエッチングし、コンタクトホールを形成し、前記活性層５２の一部を露出させる。

その後、前記層間絶縁膜５５上に、ソース電極５６／ドレイン電極５７が形成されるが、コンタクトホールを介して露出された活性層５２に接触されるように形成される。前記ソース電極５６／ドレイン電極５７を覆うように、保護膜５８が形成され、エッチング工程を介して、前記ドレイン電極５７の一部が露出される。前記保護膜５８上には、保護膜５８の平坦化のために、別途の絶縁膜５９をさらに形成することもできる。

一方、前記有機発光素子（ＯＬＥＤ）は、電流のフローによって、赤色、緑色、青色の光を発光し、所定の画像情報を表示するためのものであり、前記保護膜５８上に、第１電極６１を形成する。前記第１電極６１は、ＴＦＴのドレイン電極５７と電気的に連結される。

そして、前記第１電極６１を覆うように、画素定義膜６０が形成される。該画素定義膜６０に、所定の開口を形成した後、この開口で限定された領域内に、発光層を含む有機層６２を形成する。そして、有機層６２上には、第２電極６３を形成する。

前記画素定義膜６０は、各画素を区画するものであり、有機物によって形成され、第１電極６１が形成されている基板の表面、特に、絶縁膜５９の表面を平坦化する。

前記第１電極６１と第２電極６３は、互いに絶縁されており、発光層を含む有機層６２に、互いに異なる極性の電圧を加えて発光が行われる。

前記発光層を含む有機層６２は、低分子または高分子の有機物が使用されるが、低分子有機物を使用する場合、正孔注入層（ＨＩＬ：ｈｏｌｅ ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ ｌａｙｅｒ）、正孔輸送層（ＨＴＬ：ｈｏｌｅ ｔｒａｎｓｐｏｒｔ ｌａｙｅｒ）、発光層（ＥＭＬ：ｅｍｉｓｓｉｏｎ ｌａｙｅｒ）、電子輸送層（ＥＴＬ：ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｔｒａｎｓｐｏｒｔ ｌａｙｅｒ）、電子注入層（ＥＩＬ：ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ ｌａｙｅｒ）などが単一あるいは複合の構造に積層されて形成されてもよく、使用可能な有機材料も、銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ）、Ｎ，Ｎ−ジ（ナフタレン−１−イル）−Ｎ，Ｎ′−ジフェニル−ベンジジン（ＮＰＢ）、トリス（８−キノリノラト）アルミニウム（Ａｌｑ３）などを含めて多様に適用可能である。

ここで、前記発光層を含む有機層６２は、図１に図示された有機層蒸着装置１（図１）によって蒸着される。すなわち、蒸着物質を放射する蒸着源、蒸着源の一側に配置され、複数個の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部、及び蒸着源ノズル部と対向して配置され、複数個のパターニングスリットが形成されるパターニングスリット・シートを含む有機層蒸着装置が、被蒸着用基板と所定距離ほど離隔されるように配置された後、有機層蒸着装置１（図１）と基板２（図１）とのうちいずれか一方が他方に対して相対的に移動しながら、有機層蒸着装置１（図１）から放射される蒸着物質が、基板２（図１）上に蒸着される。

かような有機発光膜を形成した後には、第２電極６３を、やはり同一の蒸着工程で形成することができる。

一方、前記第１電極６１は、アノード電極の機能を行い、前記第２電極６３は、カソード電極の機能を行うことができるが、それら第１電極６１と第２電極６３との極性が反対になっても差し支えないということは、言うまでもない。そして、第１電極６１は、各画素の領域に対応されるようにパターニングされ、第２電極６３は、全ての画素を覆うように形成される。

前記第１電極６１は、透明電極または反射型電極として具備され、透明電極として使用されるときには、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）、ＺｎＯまたはＩｎ_２Ｏ_３によって具備されてもよく、反射型電極として使用されるときには、Ａｇ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｎｄ、Ｉｒ、Ｃｒ、及びそれらの化合物などで反射層を形成した後、さらにＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯまたはＩｎ_２Ｏ_３で透明電極層を形成することができる。かような第１電極６１は、スパッタリング法などによって成膜された後、フォトリソグラフィ法などによってパターニングされる。

一方、前記第２電極６３も、透明電極または反射型電極として具備されてもよいが、透明電極として使用されるときには、該第２電極６３がカソード電極として使用されるので、仕事関数が小さい金属、すなわち、Ｌｉ、Ｃａ、ＬｉＦ／Ｃａ、ＬｉＦ／Ａｌ、Ａｌ、Ａｇ、Ｍｇ、及びそれらの化合物が、発光層を含む有機層６２側に向かうように蒸着した後、さらにＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯまたはＩｎ_２Ｏ_３などで、補助電極層やバス電極ラインを形成することができる。そして、反射型電極として使用されるときには、前述のＬｉ、Ｃａ、ＬｉＦ／Ｃａ、ＬｉＦ／Ａｌ、Ａｌ、Ａｇ、Ｍｇ、及びそれらの化合物を全面蒸着して形成する。そのとき、蒸着は、前述の発光層を含む有機層６２の場合と同様の方法で行うことができる。

本発明は、それ以外にも、有機ＴＦＴの有機層または無機膜などの蒸着にも使用することができ、その他、多様な素材の成膜工程に適用可能である。

本明細書では、本発明を限定された実施形態を中心に説明したが、本発明の範囲内で、多様な実施形態が可能である。また説明してはいないが、均等な手段もまた、本発明にそのまま結合されるものであるといえる。従って、本発明の真の保護範囲は、特許請求の範囲によって決まらなければならないのである。

本発明の有機層蒸着装置、及びそれを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法は、例えば、ディスプレイ関連の技術分野に効果的に適用可能である。

１ 有機層蒸着装置、
１００ 蒸着部、
２００ ローディング部、
３００ アンローディング部、
４００ 移送部。

Claims (22)

1. 基板を固定する移動部と、前記基板が固定された前記移動部を第１方向に移動させる第１移送部と、蒸着が完了し、前記基板が分離された前記移動部を、前記第１方向の反対方向に移動させる第２移送部とを含む移送部、および
   一つ以上の有機層蒸着アセンブリを含み、
   前記有機層蒸着アセンブリのそれぞれは、
   一つ以上の蒸着源と、
   前記蒸着源の一側に配置され、一つ以上の蒸着源ノズルが形成された蒸着源ノズル部と、
   前記蒸着源ノズル部と対向して配置され、複数のパターニングスリットが配置されるパターニングスリット・シートと、
   前記移動部と前記蒸着源との間に配置され、前記蒸着源から気化した蒸着物質を遮断する遮断部材と、
   前記遮断部材の一側に形成され、前記遮断部材に蒸着された前記蒸着物質の落下を防止するメッシュ部材とを含み、
   前記移動部は、前記第１移送部と前記第２移送部との間を循環し、かつ、前記第１移送部において前記基板が前記有機層蒸着アセンブリから離隔するように構成され、
   前記遮断部材と前記メッシュ部材は、前記移動部とともに移動することを特徴とする有機層蒸着装置。
2. 前記遮断部材は、前記蒸着源から気化した蒸着物質を遮断して前記基板に蒸着されることを防止することを特徴とする請求項１に記載の有機層蒸着装置。
3. 前記遮断部材は、前記蒸着源と前記パターニングスリット・シートとの間で移動することを特徴とする請求項２に記載の有機層蒸着装置。
4. 前記メッシュ部材は、前記遮断部材と結合されることを特徴とする請求項２または３に記載の有機層蒸着装置。
5. 前記有機層蒸着アセンブリは、
   複数の蒸着源と、
   前記それぞれの蒸着源と前記パターニングスリット・シートとの間で前記移動部とともに移動する複数の遮断部材とを含むことを特徴とする請求項１に記載の有機層蒸着装置。
6. 前記複数の遮断部材は、独立して、それぞれの蒸着源から気化した蒸着物質を遮断して前記基板に蒸着されることを防止することを特徴とする請求項５に記載の有機層蒸着装置。
7. 前記遮断部材は、前記基板の枠領域を覆うことを特徴とする請求項１に記載の有機層蒸着装置。
8. 前記遮断部材は、前記基板の枠領域を覆った状態で、前記基板と共に移動することを特徴とする請求項７に記載の有機層蒸着装置。
9. 前記蒸着源から気化した前記蒸着物質は、前記パターニングスリット・シートを通過し、前記基板上にパターンを形成しながら蒸着されることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の有機層蒸着装置。
10. 前記パターニングスリット・シートは、前記第１方向または前記第１方向に垂直な第２方向のうち少なくともいずれか一方向において、前記基板より小さいことを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の有機層蒸着装置。
11. 前記第１移送部と前記第２移送部は、前記移送部を貫通することを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載の有機層蒸着装置。
12. 前記第１移送部と前記第２移送部は、上下に配置されることを特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載の有機層蒸着装置。
13. 基板が固定された移動部が、チャンバを貫通するように設置された第１移送部に移送される段階と、
    前記チャンバ内に配置された有機層蒸着アセンブリと前記基板とが所定距離離隔された状態で、前記基板が前記有機層蒸着アセンブリに対して相対的に移動しながら、前記有機層蒸着アセンブリから気化した蒸着物質が前記基板に蒸着されて有機層が形成される段階と、
    前記基板と分離された前記移動部が、チャンバを貫通するように設置された第２移送部を通過して回送される段階とを含み、
    前記有機層が形成される段階は、
    一側にメッシュ部材が結合され、前記有機層蒸着アセンブリから気化した蒸着物質を遮断する遮断部材によって、前記有機層蒸着アセンブリから気化した蒸着物質が遮断される段階を含み、
    前記遮断部材と前記メッシュ部材は前記移動部とともに移動される、有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
14. 前記有機層蒸着アセンブリは、
    蒸着物質を気化する蒸着源と、
    前記蒸着源の一側に配置され、一つ以上の蒸着源ノズルが形成された蒸着源ノズル部と、
    前記蒸着源ノズル部と対向して配置され、複数のパターニングスリットが配置されるパターニングスリット・シートとを含み、
    前記蒸着源から気化した前記蒸着物質は、前記パターニングスリット・シートを通過し、前記基板上にパターンを形成しながら蒸着されることを特徴とする請求項１３に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
15. 前記遮断部材は、前記基板と前記蒸着源との間に配置され、前記蒸着源から気化した蒸着物質を遮断し、
    前記メッシュ部材は、前記遮断部材の一側に形成され、前記遮断部材に蒸着された蒸着物質の落下を防止することを特徴とする請求項１４に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
16. 前記遮断部材は、前記蒸着源から気化した蒸着物質を遮断して前記基板に蒸着されることを防止することを特徴とする請求項１４に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
17. 前記遮断部材と前記メッシュ部材は、前記蒸着源と前記パターニングスリット・シートとの間で移動することを特徴とする請求項１６に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
18. 前記メッシュ部材は、前記遮断部材と結合されることを特徴とする請求項１６または１７に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
19. 前記有機層蒸着アセンブリは、
    複数の蒸着源と、
    前記それぞれの蒸着源と前記パターニングスリット・シートとの間で前記移動部とともにする複数の遮断部材とを含む請求項１４に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
20. 前記複数の遮断部材は、独立して、前記それぞれの蒸着源から気化した蒸着物質を遮断して前記基板に蒸着されることを防止することを特徴とする請求項１９に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
21. 前記遮断部材は、前記基板の枠領域を覆うことを特徴とする請求項１４から２０のいずれか１項に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
22. 前記遮断部材は、前記基板の枠領域を覆った状態で、前記基板と共に移動することを特徴とする請求項２１に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。