JP6200591B2 - インクジェット塗布用電子デバイス用封止剤及び電子デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
有機薄膜素子を封止する方法としては、従来、内部に吸水剤を設けた封止缶によって封止する方法が一般的であった。しかしながら、封止缶により封止する方法では、電子デバイスを薄型化することが困難となる。そこで、封止缶を使用しない有機薄膜素子の封止方法の開発が進められている。
有機層内への水分の浸入を防止するための方法として、特許文献2には、無機材料膜と樹脂膜とを交互に蒸着する方法が開示されており、特許文献3や特許文献4には、無機材料膜上に樹脂膜を形成する方法が開示されている。
以下に本発明を詳述する。
また、該特定の構造を有するシリコーン化合物は、表面張力が低いため、得られる電子デバイス用封止剤が濡れ広がり性に優れ、インクジェット法により容易に薄膜化することができるものとなる。
上記硬化性樹脂は、上記式(1)で表されるシリコーン化合物を含有する。上記式(1)で表されるシリコーン化合物を含有することにより、本発明の電子デバイス用封止剤は、インクジェット法による塗布に好適な粘度を有し、かつ、装置ダメージを低減することができる。
また、上記式(1)中、nの好ましい上限は10である。上記nが10以下であることにより、インクジェット塗布性及び低アウトガス性により優れるものとなり、かつ、硬化物がより好適な硬さを有するものとなる。上記nのより好ましい上限は5である。
ゴム材料等の膨潤防止性、インクジェット塗布性、低アウトガス性、及び、硬化物の柔軟性(硬さ)の観点から、式(3−1)中のo、式(3−2)中のp、及び、式(3−3)中のqは、それぞれ、1〜6の整数であることが好ましい。
上記その他の硬化性樹脂としては、上記式(1)で表される構造を有さないエポキシ化合物(以下、「その他のエポキシ化合物」ともいう)、上記式(1)で表される構造を有さないオキセタン化合物(以下、「その他のオキセタン化合物」ともいう)、上記式(1)で表される構造を有さない(メタ)アクリル化合物(以下、「その他の(メタ)アクリル化合物」ともいう)、及び、ビニルエーテル化合物からなる群より選択される少なくとも1種が好ましい。
なお、本明細書において上記「(メタ)アクリル」とは、アクリル又はメタクリルを意味し、「(メタ)アクリル化合物」とは、(メタ)アクリロイル基を有する化合物を意味し、「(メタ)アクリロイル」とは、アクリロイル又はメタクリロイルを意味する。
上記脂環式エポキシ樹脂のうち市販されているものとしては、例えば、セロキサイド2000、セロキサイド2021P、セロキサイド2081、セロキサイド3000、セロキサイド8000、サイクロマーM−100(いずれもダイセル社製)、サンソサイザーEPS(新日本理化工業社製)等が挙げられる。
上記脂環式エポキシ樹脂のなかでも、エポキシ基に含まれる以外のエーテル結合、及び、エステル結合を有さないものはアウトガスの発生を抑制する観点から好適である。エポキシ基に含まれる以外のエーテル結合、及び、エステル結合を有さない脂環式エポキシ樹脂のうち市販されているものとしては、例えば、セロキサイド2000、セロキサイド3000、セロキサイド8000等が挙げられる。
これらのその他のエポキシ化合物は、単独で用いられてもよいし、2種以上が組み合わせて用いられてもよい。
これらのその他のオキセタン化合物は、単独で用いられてもよいし、2種以上が組み合わせて用いられてもよい。
これらのその他の(メタ)アクリル化合物は、単独で用いられてもよいし、2種以上が組み合わせて用いられてもよい。
なお、本明細書において上記「(メタ)アクリレート」とは、アクリレート又はメタクリレートを意味する。
これらのビニルエーテル化合物は、単独で用いられてもよいし、2種以上が組み合わせて用いられてもよい。
また、上記その他の硬化性樹脂は、含有しなくてもよいが、上記その他の硬化性樹脂を含有する場合、上記式(1)で表されるシリコーン化合物の含有量は、硬化性樹脂全体100重量部に対して、好ましい上限が90重量部である。上記式(1)で表されるシリコーン化合物の含有量が90重量部以下であることにより、上記その他の硬化性樹脂が接着性を向上させる等の効果をより発揮できる。
上記重合開始剤としては、光カチオン重合開始剤、熱カチオン重合開始剤、光ラジカル重合開始剤、熱ラジカル重合開始剤が好適に用いられる。
上記アゾ化合物としては、例えば、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、アゾビスイソブチロニトリル等が挙げられる。
上記有機過酸化物としては、例えば、過酸化ベンゾイル、ケトンパーオキサイド、パーオキシケタール、ハイドロパーオキサイド、ジアルキルパーオキサイド、パーオキシエステル、ジアシルパーオキサイド、パーオキシジカーボネート等が挙げられる。
上記ヒドラジド化合物としては、例えば、1,3−ビス(ヒドラジノカルボノエチル−5−イソプロピルヒダントイン)、セバシン酸ジヒドラジド、イソフタル酸ジヒドラジド、アジピン酸ジヒドラジド、マロン酸ジヒドラジド等が挙げられる。
上記イミダゾール誘導体としては、例えば、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、N−(2−(2−メチル−1−イミダゾリル)エチル)尿素、2,4−ジアミノ−6−(2’−メチルイミダゾリル−(1’))−エチル−s−トリアジン、N,N’−ビス(2−メチル−1−イミダゾリルエチル)尿素、N,N’−(2−メチル−1−イミダゾリルエチル)−アジポアミド、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール等が挙げられる。
上記酸無水物としては、例えば、テトラヒドロ無水フタル酸、エチレングリコールビス(アンヒドロトリメリテート)等が挙げられる。
これらの熱硬化剤は、単独で用いられてもよいし、2種以上が組み合わせて用いられてもよい。
上記ポリエーテル化合物としては、例えば、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、クラウンエーテル化合物等が挙げられる。なかでも、クラウンエーテル化合物が好適である。
上記表面改質剤としては、例えば、界面活性剤やレベリング剤等が挙げられる。
上記界面活性剤や上記レベリング剤のうち市販されているものとしては、例えば、BYK−340、BYK−345(いずれもビックケミー・ジャパン社製)、サーフロンS−611(AGCセイミケミカル社製)等が挙げられる。
なお、インクジェットによる塗布時に本発明の電子デバイス用封止剤を加熱し、粘度を低減して塗布しても良い。
上記全光線透過率は、例えば、AUTOMATIC HAZE MATER MODEL TC=III DPK(東京電色社製)等の分光計を用いて測定することができる。
上記紫外線を照射する光源としては、例えば、キセノンランプ、カーボンアークランプ等、従来公知の光源を用いることができる。
上記含水率の測定方法としては、例えば、JIS K 7251に準拠してカールフィッシャー法により求める方法や、JIS K 7209−2に準拠して吸水後の重量増分を求める等の方法が挙げられる。
インクジェット法により、本発明の電子デバイス用封止剤を2枚の基材のうち少なくとも一方に塗布する工程と、塗布した電子デバイス用封止剤を光照射及び/又は加熱により硬化させる工程と、上記2枚の基材を貼り合わせる工程とを有する電子デバイスの製造方法もまた、本発明の1つである。
上記一方の基材が上記積層体の形成されていない基材である場合、他方の基材を貼り合わせた際に、上記積層体を外気から保護できるように上記一方の基材に本発明の電子デバイス用封止剤を塗布すればよい。即ち、他方の基材を貼り合わせた際に上記積層体の位置となる場所に全面的に塗布するか、又は、他方の基材を貼り合わせた際に上記積層体の位置となる場所が完全に収まる形状に、閉じたパターンの封止剤部を形成してもよい。
上記無機材料膜を構成する無機材料としては、従来公知のものを用いることができ、例えば、窒化珪素(SiNx)や酸化珪素(SiOx)等が挙げられる。上記無機材料膜は、1層からなるものであってもよく、複数種の層を積層したものであってもよい。また、上記無機材料膜と本発明の電子デバイス用封止剤からなる樹脂膜とを、交互に繰り返して上記積層体を被覆してもよい。
上記電子デバイス用封止剤を光照射及び/又は加熱により硬化させる工程を、上記2枚の基材を貼り合わせる工程の前に行なう場合、本発明の電子デバイス用封止剤は、光照射及び/又は加熱してから硬化反応が進行して接着ができなくなるまでの可使時間が1分以上であることが好ましい。上記可使時間が1分以上であることにより、2枚の基材を貼り合わせる前の硬化の進行を抑制し、貼り合わせた後の接着強度をより高くすることができる。
これらの光源は、上記光カチオン重合開始剤や上記光ラジカル重合開始剤の吸収波長に合わせて適宜選択される。
上記減圧雰囲気下の真空度の好ましい下限は0.01kPa、好ましい上限は10kPaである。上記減圧雰囲気下の真空度がこの範囲であることにより、真空装置の気密性や真空ポンプの能力から真空状態を達成するのに長い時間を費やすことなく、2枚の基材を貼り合わせる際の本発明の電子デバイス用封止剤中からより効率的に気泡を除去できる。
滴下漏斗、撹拌機、温度計、及び、セプタムを備えた四口フラスコにトルエン20mLを加えた。また、滴下漏斗に3−(アリルオキシ)オキセタン45.7g(0.4mol)と、水素末端トリジメチルシロキサン(Gelest社製、「DMS−03H」)76g(0.15mol)との混合溶液を入れ、滴下漏斗から該混合溶液3mLをフラスコ内のトルエンに滴下し、フラスコ内の温度を80℃に昇温させた。
次いで、注射器を用いてセプタムから触媒としての塩化白金酸六水和物(H2PtCl6・6H2O)のベンゾニトリル溶液(塩化白金酸濃度:0.1重量%)800μLをフラスコ内に添加した。その後、3−(アリルオキシ)オキセタンと水素末端トリジメチルシロキサンとの混合液を滴下漏斗から40分かけて更に滴下した。滴下終了後、フラスコ内を80℃〜85℃で2時間加熱することにより、3−(アリルオキシ)オキセタンと水素末端トリジメチルシロキサンとを反応させた。反応終了後に、減圧蒸留によりトルエン等の揮発性化合物を除去した。このようにして、純度95%の上記式(3−3)中のqが2である化合物を得た。
上記式(1)で表されるシリコーン化合物として、上記式(3−1)中のoが1である化合物(信越化学工業社製、「X−22−163」)100重量部と、光カチオン重合開始剤として、トリス(4−(4−アセチルフェニル)チオフェニル)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート(BASF社製、「IRGACURE290」)1重量部とを、ホモディスパー型撹拌混合機(プライミクス社製、「ホモディスパーL型」)を用い、撹拌速度3000rpmで均一に撹拌混合して、電子デバイス用封止剤を作製した。
上記式(3−1)中のoが1である化合物(信越化学工業社製、「X−22−163」)の配合量を50重量部に変更し、その他の硬化性樹脂として、3,4,3’,4’−ジエポキシビシクロヘキサン(ダイセル社製、「セロキサイド8000」)50重量部を配合したこと以外は、参考例1と同様にして電子デバイス用封止剤を作製した。
その他の硬化性樹脂として、3,4,3’,4’−ジエポキシビシクロヘキサン(ダイセル社製、「セロキサイド8000」)50重量部に代えて、1,2−エポキシ−4−ビニルシクロヘキサン(ダイセル社製、「セロキサイド2000」)50重量部を配合したこと以外は、実施例2と同様にして電子デバイス用封止剤を作製した。
その他の硬化性樹脂として、3,4,3’,4’−ジエポキシビシクロヘキサン(ダイセル社製、「セロキサイド8000」)50重量部に代えて、3−エチル−3(((3−エチルオキセタン−3−イル)メトキシ)メチル)オキセタン(東亞合成社製、「アロンオキセタンOXT−221」)50重量部を配合したこと以外は、実施例2と同様にして電子デバイス用封止剤を作製した。
その他の硬化性樹脂として、3,4,3’,4’−ジエポキシビシクロヘキサン(ダイセル社製、「セロキサイド8000」)50重量部に代えて、3−アリルオキシオキセタン(四日市合成社製、「AL−OX」)50重量部を配合したこと以外は、実施例2と同様にして電子デバイス用封止剤を作製した。
その他の硬化性樹脂として、3,4,3’,4’−ジエポキシビシクロヘキサン(ダイセル社製、「セロキサイド8000」)50重量部に代えて、シクロヘキサンジメタノールジビニルエーテル(日本カーバイド社製、「CHDVE」)50重量部を配合したこと以外は、実施例2と同様にして電子デバイス用封止剤を作製した。
上記式(1)で表されるシリコーン化合物として、上記式(3−1)中のoが1である化合物(信越化学工業社製、「X−22−163」)50重量部に代えて、上記式(1)中のR1がメチル基、X1及びX2がメチル基、X3が上記式(2−1)で表される基(R2がエチレン基)、mが5、nが3である化合物(信越化学工業社製、「X−22−343」)50重量部を配合したこと以外は、実施例2と同様にして電子デバイス用封止剤を作製した。
その他の硬化性樹脂として、3,4,3’,4’−ジエポキシビシクロヘキサン(ダイセル社製、「セロキサイド8000」)50重量部に代えて、3−エチル−3(((3−エチルオキセタン−3−イル)メトキシ)メチル)オキセタン(東亞合成社製、「アロンオキセタンOXT−221」)50重量部を配合したこと以外は、実施例7と同様にして電子デバイス用封止剤を作製した。
上記式(1)で表されるシリコーン化合物として、上記式(3−1)中のoが1である化合物(信越化学工業社製、「X−22−163」)100重量部に代えて、上記式(3−2)中のpが9である化合物(Gelest社製、「DMS−EC13」)100重量部を配合したこと以外は、参考例1と同様にして電子デバイス用封止剤を作製した。
上記式(3−2)中のpが9である化合物(Gelest社製、「DMS−EC13」)の配合量を50重量部に変更し、その他の硬化性樹脂として、3,4,3’,4’−ジエポキシビシクロヘキサン(ダイセル社製、「セロキサイド8000」)50重量部を配合したこと以外は、参考例9と同様にして電子デバイス用封止剤を作製した。
その他の硬化性樹脂として、3,4,3’,4’−ジエポキシビシクロヘキサン(ダイセル社製、「セロキサイド8000」)50重量部に代えて、3−エチル−3(((3−エチルオキセタン−3−イル)メトキシ)メチル)オキセタン(東亞合成社製、「アロンオキセタンOXT−221」)50重量部を配合したこと以外は、実施例10と同様にして電子デバイス用封止剤を作製した。
光カチオン重合開始剤に代えて、熱カチオン重合開始剤として、ジメチルフェニル(4−メトキシベンジル)アンモニウムヘキサフルオロアンチモネート(King Industries社製、「CXC−1612」)、1重量部を配合したこと以外は、実施例11と同様にして電子デバイス用封止剤を作製した。
上記式(1)で表されるシリコーン化合物として、上記式(3−1)中のoが1である化合物(信越化学工業社製、「X−22−163」)50重量部に代えて、製造例1で得られた上記式(3−3)中のqが2である化合物50重量部を配合したこと以外は、実施例4と同様にして電子デバイス用封止剤を作製した。
上記式(1)で表されるシリコーン化合物として、上記式(1)中のR1がメチル基、X1及びX2が上記式(2−4)で表される基(R2がn−プロピレン基、R5がメチル基)、mが1、nが0である化合物(信越化学工業社製、「X−22−164」)50重量部と、その他の硬化性樹脂として、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート50重量部と、光ラジカル重合開始剤として、ジフェニル(2,4,6−トリメトキシベンゾイル)ホスフィンオキシド(BASF社製、「ルシリンTPO」)2重量部とを、ホモディスパー型撹拌混合機(プライミクス社製、「ホモディスパーL型」)を用い、撹拌速度3000rpmで均一に撹拌混合して、電子デバイス用封止剤を作製した。
上記式(1)で表されるシリコーン化合物として、上記式(3−2)中のpが1である化合物(Gelest社製、「SIB1092.0」)100重量部と、光カチオン重合開始剤として、トリス(4−(4−アセチルフェニル)チオフェニル)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート(BASF社製、「IRGACURE290」)1重量部とを、ホモディスパー型撹拌混合機(プライミクス社製、「ホモディスパーL型」)を用い、撹拌速度3000rpmで均一に撹拌混合して、電子デバイス用封止剤を作製した。
上記式(3−2)中のpが1である化合物(Gelest社製、「SIB1092.0」)の配合量を50重量部に変更し、その他の硬化性樹脂として、3,4,3’,4’−ジエポキシビシクロヘキサン(ダイセル社製、「セロキサイド8000」)50重量部を配合したこと以外は、参考例15と同様にして電子デバイス用封止剤を作製した。
上記式(3−2)中のpが1である化合物(Gelest社製、「SIB1092.0」)の配合量を40重量部に変更し、3,4,3’,4’−ジエポキシビシクロヘキサン(ダイセル社製、「セロキサイド8000」)の配合量を30重量部に変更し、その他の硬化性樹脂として、更に、3−アリルオキシオキセタン(四日市合成社製、「AL−OX」)20重量部をを配合したこと以外は、実施例16と同様にして電子デバイス用封止剤を作製した。
その他の硬化性樹脂として、3,4,3’,4’−ジエポキシビシクロヘキサン(ダイセル社製、「セロキサイド8000」)50重量部に代えて、1,2−エポキシ−4−ビニルシクロヘキサン(ダイセル社製、「セロキサイド2000」)50重量部を配合したこと以外は、実施例16と同様にして電子デバイス用封止剤を作製した。
その他の硬化性樹脂として、3,4,3’,4’−ジエポキシビシクロヘキサン(ダイセル社製、「セロキサイド8000」)50重量部に代えて、3−エチル−3(((3−エチルオキセタン−3−イル)メトキシ)メチル)オキセタン(東亞合成社製、「アロンオキセタンOXT−221」)50重量部を配合したこと以外は、実施例16と同様にして電子デバイス用封止剤を作製した。
その他の硬化性樹脂として、3,4,3’,4’−ジエポキシビシクロヘキサン(ダイセル社製、「セロキサイド8000」)50重量部に代えて、3−アリルオキシオキセタン(四日市合成社製、「AL−OX」)50重量部を配合したこと以外は、実施例16と同様にして電子デバイス用封止剤を作製した。
その他の硬化性樹脂として、3,4,3’,4’−ジエポキシビシクロヘキサン(ダイセル社製、「セロキサイド8000」)50重量部に代えて、シクロヘキサンジメタノールジビニルエーテル(日本カーバイド社製、「CHDVE」)50重量部を配合したこと以外は、実施例16と同様にして電子デバイス用封止剤を作製した。
上記式(1)で表されるシリコーン化合物を配合せず、その他の硬化性樹脂として、3,4,3’,4’−ジエポキシビシクロヘキサン(ダイセル社製、「セロキサイド8000」)100重量部を配合したこと以外は、参考例1と同様にして電子デバイス用封止剤を作製した。
上記式(1)で表されるシリコーン化合物を配合せず、その他の硬化性樹脂として、3−エチル−3(((3−エチルオキセタン−3−イル)メトキシ)メチル)オキセタン(東亞合成社製、「アロンオキセタンOXT−221」)100重量部を配合したこと以外は、参考例1と同様にして電子デバイス用封止剤を作製した。
上記式(1)で表されるシリコーン化合物を配合せず、その他の硬化性樹脂である3−エチル−3(((3−エチルオキセタン−3−イル)メトキシ)メチル)オキセタン(東亞合成社製、「アロンオキセタンOXT−221」)の配合量を100重量部に変更したこと以外は、実施例11と同様にして電子デバイス用封止剤を作製した。
上記式(1)で表されるシリコーン化合物を配合せず、その他の硬化性樹脂である1,6−ヘキサンジオールジアクリレートの配合量を100重量部に変更したこと以外は、実施例13と同様にして電子デバイス用封止剤を作製した。
実施例及び比較例で得られた各電子デバイス用封止剤について以下の評価を行った。結果を表1、2に示した。
実施例及び比較例で得られた各電子デバイス用封止剤について、E型粘度計(東機産業社製、「VISCOMETER TV−22」)を用いて、25℃、100rpmの条件における粘度を測定した。
実施例及び比較例で得られた各電子デバイス用封止剤を、インクジェット吐出装置(マイクロジェット社製、「NanoPrinter300」)を用いて、80ピコリットルの液滴量にてアルカリ洗浄した無アルカリガラス(旭硝子社製、「AN100」)上に印刷し、10分後に無アルカリガラス上の液滴の直径を測定した。
実施例及び比較例で得られた各電子デバイス用封止剤を、スピンコーターを用いて、無アルカリガラス(旭硝子社製、「AN100」)上に10μmの厚みに塗布し、その後、実施例2〜8、10、11、13、16〜21、参考例1、9、14、15、及び、比較例1、2、4で得られた各電子デバイス用封止剤については、LEDランプを用いて波長365nmの紫外線を3000mJ/cm2照射して、実施例12、比較例3で得られた電子デバイス用封止剤については、100℃で30分間加熱して、電子デバイス用封止剤を硬化させ、樹脂膜を得た。
形成した樹脂膜に対しJIS K 5600−5−6に従い、切込み間隔1mmのクロスカット試験を行った。
クロスカット試験を行った際の、剥がれが5%以下であった場合を「◎」、剥がれが5%を超え35%以下であった場合を「○」、剥がれが35%を超え65%以下であった場合を「△」、剥がれが65%を超えた場合を「×」として接着性を評価した。
エポキシ系接着剤(ニチバン社製、「アラルダイトAR−S30」)約0.15gを硬化させて接着剤片を作製し重量(W1)を測定した。その後、実施例及び比較例で得られた各電子デバイス用封止剤を褐色スクリュー管に入れ、作製した接着剤片を浸漬して蓋をし、60℃で7日間静置した後、接着剤片を取り出し、表面をウエスで拭き取った後、重量(W2)を測定し、下記式により接着剤片の重量変化率を算出した。
重量変化率(%)=((W2−W1)/W1)×100
重量変化率が1%未満であった場合を「◎」、1%以上10%未満であった場合を「○」、10%以上20%未満であった場合を「△」、20%以上であった場合を「×」として接着剤片の膨潤性(装置ダメージ)を評価した。
(有機発光材料層を有する積層体が配置された基板の作製)
ガラス基板(長さ25mm、幅25mm、厚さ0.7mm)にITO電極を1000Åの厚さで成膜したものを基板とした。上記基板をアセトン、アルカリ水溶液、イオン交換水、イソプロピルアルコールにてそれぞれ15分間超音波洗浄した後、煮沸させたイソプロピルアルコールにて10分間洗浄し、更に、UV−オゾンクリーナ(日本レーザー電子社製、「NL−UV253」)にて直前処理を行った。
次に、この基板を真空蒸着装置の基板フォルダに固定し、素焼きの坩堝にN,N’−ジ(1−ナフチル)−N,N’−ジフェニルベンジジン(α−NPD)を200mg、他の異なる素焼き坩堝にトリス(8−ヒドロキシキノリン)アルミニウム(Alq3)を200mg入れ、真空チャンバー内を、1×10−4Paまで減圧した。その後、α−NPDの入った坩堝を加熱し、α−NPDを蒸着速度15Å/sで基板に堆積させ、膜厚600Åの正孔輸送層を成膜した。次いで、Alq3の入った坩堝を加熱し、15Å/sの蒸着速度で膜厚600Åの有機発光材料層を成膜した。その後、正孔輸送層及び有機発光材料層が形成された基板を別の真空蒸着装置に移し、この真空蒸着装置内のタングステン製抵抗加熱ボートにフッ化リチウム200mgを、別のタングステン製ボートにアルミニウム線1.0gを入れた。その後、真空蒸着装置の蒸着器内を2×10−4Paまで減圧してフッ化リチウムを0.2Å/sの蒸着速度で5Å成膜した後、アルミニウムを20Å/sの速度で1000Å成膜した。窒素により蒸着器内を常圧に戻し、10mm×10mmの有機発光材料層を有する積層体が配置された基板を取り出した。
得られた積層体が配置された基板の、該積層体全体を覆うように、13mm×13mmの開口部を有するマスクを設置し、プラズマCVD法にて無機材料膜Aを形成した。
プラズマCVD法は、原料ガスとしてSiH4ガス及び窒素ガスを用い、各々の流量をSiH4ガス10sccm、窒素ガス200sccmとし、RFパワーを10W(周波数2.45GHz)、チャンバー内温度を100℃、チャンバー内圧力を0.9Torrとする条件で行った。
形成された無機材料膜Aの厚さは、約1μmであった。
得られた基板に対し、実施例及び比較例で得られた各電子デバイス用封止剤を、インクジェット吐出装置(マイクロジェット社製、「NanoPrinter300」)を使用して基板にパターン塗布した。
その後、実施例2〜8、10、11、13、16〜21、参考例1、9、14、15、及び、比較例1、2、4で得られた各電子デバイス用封止剤については、LEDランプを用いて波長365nmの紫外線を3000mJ/cm2照射して、実施例12、比較例3で得られた電子デバイス用封止剤については、100℃で30分間加熱して、電子デバイス用封止剤を硬化させて樹脂保護膜を形成した。
樹脂保護膜を形成した後、該樹脂保護膜の全体を覆うように、12mm×12mmの開口部を有するマスクを設置し、プラズマCVD法にて無機材料膜Bを形成して有機EL表示素子を得た。
プラズマCVD法は、上記「(無機材料膜Aによる被覆)」と同様の条件で行った。
形成された無機材料膜Bの厚さは、約1μmであった。
得られた有機EL表示素子を、温度85℃、湿度85%の環境下で100時間暴露した後、3Vの電圧を印加し、有機EL表示素子の発光状態(ダークスポット及び画素周辺消光の有無)を目視で観察した。ダークスポットや周辺消光が無く均一に発光した場合を「○」、ダークスポットや周辺消光が認められた場合を「△」、非発光部が著しく拡大した場合を「×」として有機EL表示素子の表示性能を評価した。
Claims (5)
- 硬化性樹脂と、重合開始剤及び/又は熱硬化剤とを含有し、インクジェット法による塗布に用いられるインクジェット塗布用電子デバイス用封止剤であって、
前記硬化性樹脂は、下記式(1)で表されるシリコーン化合物を含有し、
前記硬化性樹脂は、下記式(1)で表されるシリコーン化合物以外のその他の硬化性樹脂として、脂環式エポキシ樹脂、3−(アリルオキシ)オキセタン、及び、3−エチル−3(((3−エチルオキセタン−3−イル)メトキシ)メチル)オキセタンからなる群より選択される少なくとも1種を含有し、
E型粘度計を用いて、25℃、100rpmの条件で測定した粘度の上限が80mPa・sである
ことを特徴とするインクジェット塗布用電子デバイス用封止剤。
式(1)中、R1は、炭素数1〜10のアルキル基を表し、X1、X2は、それぞれ独立に、炭素数1〜10のアルキル基、又は、下記式(2−1)、(2−2)、(2−3)、若しくは、(2−4)で表される基を表し、X3は、下記式(2−1)、(2−2)、(2−3)、又は、(2−4)で表される基を表す。mは、0〜100の整数であり、nは、0〜100の整数である。ただし、nが0の場合、X1及びX2のうち少なくとも一方は、下記式(2−1)、(2−2)、(2−3)、又は、(2−4)で表される基を表す。
式(2−1)〜(2−4)中、R2は、結合手又は炭素数1〜6のアルキレン基を表し、式(2−3)中、R3は、水素又は炭素数1〜6のアルキル基を表し、R4は、結合手又はメチレン基を表し、式(2−4)中、R5は、水素又はメチル基を表す。 - 式(1)で表されるシリコーン化合物は、式(1)中のX1、X2、及び、X3のうち少なくともいずれかが式(2−1)、(2−2)、又は、(2−3)で表される基である化合物であることを特徴とする請求項1記載のインクジェット塗布用電子デバイス用封止剤。
- E型粘度計を用いて、25℃、100rpmの条件で測定した粘度の下限が5mPa・sであることを特徴とする請求項1、2又は3記載のインクジェット塗布用電子デバイス用封止剤。
- インクジェット法により、請求項1、2、3又は4記載のインクジェット塗布用電子デバイス用封止剤を2枚の基材のうち少なくとも一方に塗布する工程と、
塗布したインクジェット塗布用電子デバイス用封止剤を光照射及び/又は加熱により硬化させる工程と、
前記2枚の基材を貼り合わせる工程とを有する
ことを特徴とする電子デバイスの製造方法。
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