JP5971445B1 - 真円度測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】小型化を図ることができる真円度測定装置を提供する。【解決手段】本発明に係る真円度測定装置１は、ワークＷを載置する載物台１２であって、回転軸の周りに回転可能な載物台１２と、回転軸と平行な方向に沿って移動可能なキャリッジ１６と、キャリッジ１６に支持され、回転軸の径方向に延びる旋回アーム（第１アーム）１８と、旋回アーム１８の先端部に径方向に移動可能に支持され、径方向に延びる径方向移動アーム（第２アーム）２０と、径方向移動アーム２０の先端に固定され、検出器２４を固持する検出器ホルダ２２と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は真円度測定装置に係り、特にテーブル上に回転可能に設置されたワークの表面に測定子先端を接触させ、回転角度に応じた測定子先端の変位を検出器により検出する真円度測定装置に関する。

従来の真円度測定装置は、特許文献１のように回転テーブルに載置された円筒面を有するワークに対して径方向に移動する径方向移動アームを有し、径方向移動アームの先端に検出器ホルダを介して検出器（測定プローブ）が取り付けられる。

ワークの円筒面の真円度、同心度、又は同軸度などの真円度に関する測定を行う際には、径方向移動アームを移動させて検出器の測定子を円筒面に接触させ、ワークを回転テーブルにより回転させながら測定子の変位を検出する。

特許第４１７３５１３号公報

ところで、特許文献１のような真円度測定装置では、径方向移動アームの先端よりも更に先端側に検出器ホルダを介して検出器が配置されている。そのため、検出器と径方向移動アームとの間にスペースがあり、その分、装置が大型化するという欠点がある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、小型化を図ることができる真円度測定装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の一の態様に係る真円度測定装置は、ベースと、ベース上に設けられ、測定対象物を載置する載物台であって、上下方向に沿った回転軸の周りに回転可能な載物台と、ベース上に立設され、上下方向に延びるコラムと、コラムに沿って上下方向に移動可能にコラムに支持されたキャリッジと、載物台の回転軸に向う径方向に沿った旋回軸の周りに旋回可能にキャリッジに支持された旋回アームであって、径方向に垂直な方向に沿って延びる旋回アームと、検出器を固持する検出器ホルダと、旋回アームの先端部に支持された径方向アームであって径方向に延びる径方向アームを介して検出器ホルダを径方向に移動可能に支持する検出器ホルダ支持機構と、を備える。

本態様によれば、円筒状又は円柱状の測定対象物の外径が大きい程、検出器ホルダ（検出器）と旋回アームとの間隔を狭くして測定対象物の外周面の測定を行うことができるため、コラムと載物台との間隔を狭くすることができ、装置の小型化が図れる。

また、旋回アームをコラムに対して載物台側に配置することで、検出器を径方向に移動させる径方向アームをキャリッジに設ける場合と比べて、コラムに対して載物台の反対側に突出する径方向アームの突出量を少なくすることができる。したがって、測定に要する測定スペースを小さくすることができ、測定スペースも含めた装置の大きさを小さくすることができる。

本発明の他の態様に係る真円度測定装置において、検出器ホルダ支持機構は、径方向アームの先端部に検出器ホルダが固定され、径方向アームが径方向に移動可能に旋回アームの先端部に支持された態様とすることができる。

本発明の更に他の態様に係る真円度測定装置において、径方向アームは、径方向に沿って形成されたラックギアを備え、旋回アームは、手動により回転するピニオンギアであって、ラックギアに係合するピニオンギアを備えた態様とすることができる。

本発明の更に他の態様に係る真円度測定装置において、検出器ホルダ支持機構は、径方向アームが旋回アームの先端部に固定され、径方向アームに沿って移動可能に検出器ホルダが支持された態様とすることができる。

本発明によれば、真円度測定装置の小型化を図ることができる。

本発明に係る真円度測定装置の全体構成を示した斜視図 径方向移動アーム及び旋回アームの上端部を示した斜視図 径方向移動アーム及び旋回アームの上端部の径方向に垂直な断面図 ワークの上側外周面に測定子を接触させた様子を示した真円度測定装置の正面図 ワークの上側外周面に測定子を接触させた様子を示した真円度測定装置の斜視図 ワークの上側外周面に測定子を接触させた様子を示した真円度測定装置の正面図 ワークの上側外周面に測定子を接触させた様子を示した真円度測定装置の斜視図 ワークの内周面に測定子を接触させた様子を示した真円度測定装置の正面図 ワークの内周面に測定子を接触させた様子を示した真円度測定装置の斜視図 ワークの下側外周面に測定子を接触させた様子を示した真円度測定装置の正面図 ワークの下側外周面に測定子を接触させた様子を示した真円度測定装置の斜視図 ワークの外周面に測定子を接触させた様子を示した比較例とする周知の真円度測定装置の正面図 ワークの内周面に測定子を接触させた様子を示した比較例とする周知の真円度測定装置の正面図 ワークの外周面に測定子を接触させた様子を示した本実施の形態の真円度測定装置の正面図 図１２のワークの内周面に測定子を接触させた様子を示した本実施の形態の真円度測定装置の正面図 図１２の周知の真円度測定装置における測定スペースと、図１４の本実施の形態の真円度測定装置における測定スペースとを比較した図 検出器ホルダ支持機構の他の実施の形態を示した簡易図 ワークのフランジ部分の上面に測定子を接触させた様子を示した真円度測定装置の正面図 ワークのフランジ部分の上面に測定子を接触させた様子を示した真円度測定装置の斜視図 ワークのフランジ部分の下面に測定子を接触させた様子を示した真円度測定装置の正面図 ワークのフランジ部分の下面に測定子を接触させた様子を示した真円度測定装置の斜視図

以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。

図１は、本発明に係る真円度測定装置の全体構成を示した斜視図である。

同図に示す真円度測定装置１は、下端部に装置全体を支持する台状のベース１０を備え、ベース１０の上面には、上下方向（Ｚ軸方向）に沿った回転軸（θ軸）周り方向に回転可能な載物台１２が設けられる。この載物台１２の上面には、測定対象物となる円柱状又は円筒状のワークＷが載置される。また、ワークＷは、その中心軸が載物台１２の回転軸と同軸上となるように載置される。なお、同図におけるワークＷは、一定の外径と内径とを有する円筒部分ｗａと、円筒部分ｗａの外周面から径方向外側に円環状に突出するフランジ部分ｗｂとを有するワークを例示している。

ベース１０の内部には、載物台１２に連結されるモータ等を備え、載物台１２を回転駆動する不図示の回転駆動部が設けられる。

この回転駆動部により、載物台１２に載置されたワークＷは、載物台１２と共にθ軸周り方向に回転する。

なお、載物台１２は手動により回転するものであってもよい。また、載物台１２は、θ軸に垂直な方向であって、互いに直交する左右方向及び前後方向に対してもつまみの回転操作等によって移動可能なものであってもよい。

ベース１０の上面側には、コラム１４、キャリッジ１６、旋回アーム１８、径方向移動アーム２０、検出器ホルダ２２を有する検出器支持機構１３を介して検出器２４（測定プローブ）が支持される。

検出器２４は、例えば円筒状の検出器本体２４Ａの下端から棒状に延びる測定子２４Ｂ（スタイラス）と、検出器本体２４Ａの内部に設けられ、測定子２４Ｂの変位量を作動トランス等により検出して電気信号として出力する不図示の変位検出部と、を有する。測定子２４Ｂは、一平面内において測定子２４Ｂの軸線がその軸線に直交する方向（変位方向）に変位可能に検出器本体２４Ａに支持されると共に、その変位方向のうちの一方の向き（付勢方向）にバネなどにより付勢される。

検出器支持機構１３について説明すると、ベース１０の上面において載物台１２の右側には、上下方向に沿って延在するコラム１４が立設される。そして、コラム１４には、コラム１４に沿って上下方向に移動可能なキャリッジ１６が支持される。キャリッジ１６は、例えばモータの駆動により上下方向に移動するが、つまみの回転操作等によって手動で移動するものであってもよい。

このキャリッジ１６の上下方向への移動機構により、検出器支持機構１３は、検出器２４を上下方向の位置を変更可能に支持する。

キャリッジ１６には、コラム１４よりも左側（載物台１２側）において旋回アーム１８の一端（基端）が左右方向に沿った旋回軸の周りに旋回可能に連結される。旋回アーム１８は、四角柱状に形成されており、つまみ３０の回転操作によりネジを緩めることで、旋回アーム１８を旋回軸周りに旋回させて、旋回アーム１８の向きを変更することができる。なお、左右方向は、載物台１２の回転軸（θ軸）を中心とする径方向（Ｒ軸方向）、即ち、キャリッジ１６における旋回軸の位置から載物台１２の回転軸に向う方向（及びその反対方向）に相当し、径方向というものとする。

この旋回アーム１８の旋回機構により、検出器支持機構１３は、検出器２４を径方向に沿った旋回軸周りの旋回角度を変更可能に支持する。

旋回アーム１８の先端部には径方向に延びる径方向移動アーム２０が径方向に移動可能に支持される。径方向移動アーム２０は、つまみ３２を回転操作することにより、その回転方向に応じた方向に移動する。

この径方向移動アーム２０の径方向への移動機構により、検出器支持機構１３は、検出器２４の径方向の位置を変更可能に支持する。

径方向移動アーム２０の先端には検出器ホルダ２２が固設され、検出器ホルダ２２にはつまみ３４の回転操作により着脱可能に検出器２４が装着される。検出器ホルダ２２は、検出器２４の先端側（測定子２４Ｂが設けられる側）が旋回アーム１８の旋回軸の軸線上に向う方向となるように、かつ、検出器本体２４Ａの軸線が旋回アーム１８の軸線と平行となるように検出器２４の基端側を固持する。また、検出器ホルダ２２は、検出器２４の取付角度、即ち、検出器本体２４Ａの軸線周りの回転角度を変えて固持することができる。この検出器ホルダ２２における検出器２４の取付角度の調整機構により、測定子２４Ｂの変位方向及び付勢方向を調整することができる。

続いて、径方向移動アーム２０の径方向への移動機構の構成について説明する。

図２は、径方向移動アーム２０及び旋回アーム１８の上端部を示した斜視図であり、図３は、旋回アーム１８の軸線を含む断面であって径方向に垂直な断面を示した断面図である。

これらの図に示すように径方向移動アーム２０は、径方向に沿って延びる四角柱状のアーム本体４０を有する。

アーム本体４０の径方向に沿った側面であって、旋回アーム１８の旋回軸側の側面には、径方向に沿って延びる四角柱状のラック部材４２が固設される。

ラック部材４２の径方向に沿った側面であって、旋回アーム１８の旋回軸側の側面には、後述のピニオンギア６０と歯合するラックギア４４が形成される。

ラック部材４２の径方向に沿った互いに反対向きとなる２つの側面であって、旋回アーム１８の旋回軸周り方向を向く側面の各々には、径方向に沿って延びる四角柱状のレール部材４６Ａ、４６Ｂが固設される。

それらのレール部材４６Ａ、４６Ｂは各々、旋回アーム１８の先端部に係合されて径方向に移動可能に支持される。

旋回アーム１８の先端部は、径方向に沿って形成された溝１８Ａにより二股状に突出する突出部１８Ｂ、１８Ｃを有し、それらの突出部１８Ｂ、１８Ｃに直進ガイド５０、５２が埋設される。直進ガイド５０、５２の各々には径方向に沿ったガイド溝５０Ａ、５２Ａが形成される。

そして、突出部１８Ｂ、１８Ｃの間の溝１８Ａに径方向移動アーム２０のラック部材４２が径方向に移動可能に嵌入されると共に、直進ガイド５０、５２のガイド溝５０Ａ、５２Ａの各々にラック部材４２のレール部材４６Ａ、４６Ｂの各々が径方向に移動可能に嵌入される。

これによって、径方向移動アーム２０が旋回アーム１８の先端部に径方向に移動可能に支持される。

また、旋回アーム１８の先端部の溝１８Ａには、旋回アーム１８の軸線方向及び径方向に垂直な方向に沿って延びる回転部材５４が配置される。突出部１８Ｂ、１８Ｃの各々には回転部材５４が挿入される孔５６Ａ、５６Ｂが形成されると共に、それらの孔５６Ａ、５６Ｂにベアリング５８Ａ、５８Ｂが設けられ、ベアリング５８Ａ、５８Ｂにより回転部材５４が回動自在に支持される。

回転部材５４には、径方向移動アーム２０のラック部材４２に形成されたラックギア４４に対向する部分において、ピニオンギア６０が形成されており、そのピニオンギア６０がラックギア４４に歯合される。

また、回転部材５４の一方の端部は、突出部１８Ｂの孔５６Ａを挿通して孔５６Ａから突出され、その突出部分につまみ３２が固定される。

これにより、つまみ３２を回転させることで、回転部材５４を介してピニオンギア６０が回転する。そして、ピニオンギア６０が回転することで、ピニオンギア６０とラックギア４４との係合を介して、径方向移動アーム２０が径方向に移動する。

なお、本実施の形態における径方向移動アーム２０の径方向への移動機構の構成は一例であって任意の構成としてよく、また、径方向移動アーム２０はモータの駆動により径方向に移動するようにしてもよい。旋回アーム１８についても同様にモータの駆動により旋回するようにしてもよい。

以上のように構成された真円度測定装置１の検出器支持機構１３によれば、キャリッジ１６の上下方向への移動機構によりキャリッジ１６を上下方向に移動させることで、キャリッジ１６の上下方向の位置を調整して検出器２４における測定子２４Ｂの先端の上下方向（Ｚ軸方向）の位置を調整することができる。

また、径方向移動アーム２０の径方向への移動機構により径方向移動アーム２０を径方向に移動させることで、径方向移動アーム２０の径方向の位置を調整して測定子２４Ｂの先端の径方向（Ｒ軸方向）の位置を調整することができる。

さらに、旋回アーム１８の旋回機構により旋回アーム１８を旋回軸周り方向に旋回させることで、旋回アーム１８の旋回角度を調整して測定子２４Ｂの軸線の旋回軸周り方向の角度を調整することができる。

なお、旋回アーム１８の旋回軸を、キャリッジ１６に対して、上下方向（Ｚ軸方向）及び径方向（Ｒ軸方向）に垂直な前後方向に移動可能とすることで、測定子２４Ｂの先端の前後方向の位置を調整可能にする形態も採用し得るが、本実施の形態では旋回軸はキャリッジ１６に対して固定されているものとする。

次に、上記真円度測定装置１において、図１に示した円筒部分ｗａとフランジ部分ｗｂとを有するワークＷの各面の真円度等の測定を行う際に検出器支持機構１３により検出器２４の測定子２４Ｂの先端を各面に接触させる方法について説明する。

ワークＷは、ワークＷの中心軸が載物台１２の回転軸（θ軸）と同軸上となるように載物台１２上に載置される。

そして、検出器支持機構１３におけるキャリッジ１６の上下方向の位置、径方向移動アーム２０の径方向の位置、旋回アーム１８の旋回角度、及び、検出器ホルダ２２における検出器２４の取付角度は、測定子２４Ｂの先端が測定対象面に接触するように設定されると共に、測定子２４Ｂの変位方向が測定対象面に垂直な方向で、測定子２４Ｂの付勢方向が測定対象面に向かう方向となるように設定される。

このとき、ワークＷの円筒部分ｗａにおける外周面であってフランジ部分ｗｂよりも上側の外周面（上側外周面）を測定対象面とする場合、図４及び図５に示すように旋回アーム１８は、上下方向（Ｚ軸方向）の上向きとなる旋回角度（０度）に設定される。

また、検出器２４は、測定子２４Ｂの変位方向が径方向となるように、かつ、測定子２４Ｂの付勢方向が旋回アーム１８への向きとは反対向きとなる取付角度で検出器ホルダ２２に固持される。

そして、キャリッジ１６の上下方向の位置と、径方向移動アーム２０の径方向の位置は、測定子２４Ｂの先端が測定対象面であるワークＷの上側外周面に接触する位置に設定される。

これにより、載物台１２の回転によりワークＷを回転させながら検出器２４により検出される測定子２４Ｂの変位量を取得すること等により、ワークＷの上側外周面の真円度等の測定を行うことができる。

また、ワークＷの上側外周面を測定対象面とする場合に測定子２４Ｂの先端を上側外周面に接触させる他の方法として、図６及び図７に示すように旋回アーム１８を、前後方向の後向きとなる旋回角度（９０度）に設定し、検出器本体２４Ａの軸線方向が前後方向となるように検出器２４を支持することによっても測定子２４Ｂの先端を上側外周面に接触させることができる。

なお、検出器２４は、測定子２４Ｂの変位方向が径方向となるように、かつ、測定子２４Ｂの付勢方向が旋回アーム１８への向きとは反対向きとなる取付角度で検出器ホルダ２２に固持され、キャリッジ１６の上下方向の位置と、径方向移動アーム２０の径方向の位置は、測定子２４Ｂの先端が測定対象面であるワークＷの上側外周面に接触する位置に設定される。

ワークＷの円筒部分ｗａの内周面を測定対象面とする場合、図８及び図９に示すように旋回アーム１８は、上下方向（Ｚ軸方向）の上向きとなる旋回角度（０度）に設定される。

また、検出器２４は、測定子２４Ｂの変位方向が径方向となるように、かつ、測定子２４Ｂの付勢方向が旋回アーム１８への向きとなる取付角度で検出器ホルダ２２に固持される。

そして、キャリッジ１６の上下方向の位置と、径方向移動アーム２０の径方向の位置は、測定子２４Ｂの先端が測定対象面であるワークＷの内周面に接触する位置に設定される。

これにより、載物台１２の回転によりワークＷを回転させながら検出器２４により検出される測定子２４Ｂの変位量を取得すること等により、ワークＷの内周面の真円度等の測定を行うことができる。

ワークＷの円筒部分ｗａにおける外周面であってフランジ部分ｗｂよりも下側の外周面（下側外周面）を測定対象面とする場合、図１０及び図１１に示すように旋回アーム１８は、前後方向の後向きとなる旋回角度（９０度）に設定される。

また、検出器２４は、測定子２４Ｂの変位方向が径方向となるように、かつ、測定子２４Ｂの付勢方向が旋回アーム１８への向きとは反対向きとなる取付角度で検出器ホルダ２２に固持される。

そして、キャリッジ１６の上下方向の位置と、径方向移動アーム２０の径方向の位置は、測定子２４Ｂの先端が測定対象面であるワークＷの下側外周面に接触する位置に設定される。

これにより、載物台１２の回転によりワークＷを回転させながら検出器２４により検出される測定子２４Ｂの変位量を取得すること等により、ワークＷの下側外周面の真円度等の測定を行うことができる。

以上のように、本実施の形態の検出器支持機構１３によれば、円筒状又は円柱状のワークＷの任意の円筒面に検出器２４の測定子２４Ｂの先端を接触させることができる。特に、上側からでは測定子２４Ｂを接触させることができない円筒面（上記下側外周面）であっても旋回アーム１８の旋回角度を調整することにより測定子２４Ｂの先端を接触させることができる。

なお、真円度測定装置１は、真円度に限らずワーク表面の形状精度に関する他の測定も行うことができ、例えば図１のワークＷのフランジ部分ｗｂの上面及び下面の各々の平面度等も測定することができる。

ワークＷのフランジ部分ｗｂの上面を測定対象面として平面度を測定する場合、図１８及び図１９に示すように旋回アーム１８は、前後方向の後向きとなる旋回角度（９０度）に設定される。

また、検出器２４は、測定子２４Ｂの変位方向が上下方向となるように、かつ、測定子２４Ｂの付勢方向が下向きとなる取付角度で検出器ホルダ２２に固持される。

そして、キャリッジ１６の上下方向の位置と、径方向移動アーム２０の径方向の位置は、測定子２４Ｂの先端が測定対象面であるフランジ部分ｗｂの上面に接触する位置に設定される。

これにより、載物台１２の回転によりワークＷを回転させながら検出器２４により検出される測定子２４Ｂの変位量を取得すること等により、フランジ部分ｗｂの上面の平面度を測定することができる。

ワークＷのフランジ部分ｗｂの下面を測定対象面として平面度を測定する場合、図２０及び図２１に示すように旋回アーム１８は、前後方向の後向きとなる旋回角度（９０度）に設定される。

また、検出器２４は、測定子２４Ｂの変位方向が上下方向となるように、かつ、測定子２４Ｂの付勢方向が上向きとなる取付角度で検出器ホルダ２２に固持される。

そして、キャリッジ１６の上下方向の位置と、径方向移動アーム２０の径方向の位置は、測定子２４Ｂの先端が測定対象面であるフランジ部分ｗｂの下面に接触する位置に設定される。

これにより、載物台１２の回転によりワークＷを回転させながら検出器２４により検出される測定子２４Ｂの変位量を取得すること等により、フランジ部分ｗｂの下面の平面度を測定することができる。

続いて、本実施の形態の真円度測定装置１における検出器支持機構１３の効果について説明する。

図１２及び図１３は、周知の真円度測定装置１００における検出器支持機構１０２を示した正面図である。なお、これらの図の真円度測定装置１００において本実施の形態の真円度測定装置１と同一又は類似の作用の構成要素には同一符号を付して説明を省略し、相違する構成要素についてのみ説明する。

これらの図の真円度測定装置１００における検出器支持機構１０２では、径方向に沿って延びる径方向移動アーム１０４が径方向に移動可能にキャリッジ１６に支持される。

旋回アーム１８は、径方向移動アーム１０４の先端に径方向に沿った旋回軸の周りに旋回可能に連結される。

また、旋回アーム１８の先端部には、本実施の形態の径方向移動アーム２０の代わりに、径方向に沿って延びる径方向固定アーム１０６の基端部が固定される。検出器ホルダ２２は、径方向固定アーム１０６の先端部に固定される。

このような検出器支持機構１０２において、図１２及び図１３のように断面図で示した円筒状のワークＷの外周面又は内周面を測定対象面として真円度等の測定を行う場合、本実施の形態の検出器支持機構１３と同様に、旋回アーム１８は、上下方向（Ｚ軸方向）の上向きとなる旋回角度（０度）に設定される。

また、検出器２４は、測定子２４Ｂの変位方向が径方向となるように検出器ホルダ２２に固持され、かつ、外周面を測定対象面とする場合には、図１２のように測定子２４Ｂの付勢方向が旋回アーム１８への向きとは反対向きとなるように設定され、内周面を測定対象面とする場合には、図１３のように測定子２４Ｂの付勢方向が旋回アーム１８への向きとは反対向きとなるように設定される。

そして、キャリッジ１６の上下方向の位置と、径方向移動アーム１０４の径方向の位置は、測定子２４Ｂの先端が測定対象面であるワークＷの外周面又は内周面に接触する位置に設定される。

ここで、図１２及び図１３に示すワークＷは、真円度測定装置１００により測定可能な最大外径と最小内径のワークを示しており、ワークＷの外周面に測定子２４Ｂの先端を接触させる際には、図１２のように径方向移動アーム１０４が径方向に移動可能な範囲のうちの載物台１２の回転軸（θ軸）から最も離れた位置に設定される。

ワークＷの内周面に測定子２４Ｂの先端を接触させる際には、図１３のように径方向移動アーム１０４が径方向に移動可能な範囲のうちの載物台１２の回転軸（θ軸）に最も近い位置に設定される。

これに対して、図１４及び図１５は、本実施の形態の真円度測定装置１において、図１２及び図１３と同一の外径及び内径のワークＷを測定可能な最大外径及び最小内径のワークとして設計した場合の検出器支持機構１３を示す。即ち、ワークＷの外周面に測定子２４Ｂの先端を接触させる際には、図１４のように径方向移動アーム２０が径方向に移動可能な範囲のうちの載物台１２の回転軸（θ軸）から最も離れた位置に設定される。

ワークＷの内周面に測定子２４Ｂの先端を接触させる際には、図１５のように径方向移動アーム２０が径方向に移動可能な範囲のうちの載物台１２の回転軸（θ軸）に最も近い位置に設定される。

ワークＷの外周面を測定対象面として測定する場合の図１２と図１４とを比較すると、図１２における真円度測定装置１００の検出器支持機構１０２では、径方向移動アーム１０４がコラム１４よりも右側に大きく突出するのに対して、図１４における本実施の形態の真円度測定装置１の検出器支持機構１３では、径方向移動アーム２０がコラム１４の右側にほとんど突出しない。

したがって、図１２の状態を上面側から示した図１６（Ａ）と図１４の状態を上面側から示した図１６（Ｂ）との比較からもわかるように、図１２における周知の真円度測定装置１００が測定に要するスペース（測定スペース１００Ａ）、即ち、真円度測定装置１００の全ての構成要素を含む領域と比べて、本実施の形態の真円度測定装置１の測定スペース１Ａは左右方向に縮小されている。したがって、本実施の形態の真円度測定装置１は小型化が図られる。

また、図１２における真円度測定装置１００の検出器支持機構１０２では、検出器２４（ワークＷの外周面）とコラム１４との間に径方向固定アーム１０６を介在させる空間を設ける必要があるのに対して、図１４における本実施の形態の真円度測定装置１の検出器支持機構１３では、検出器２４と旋回アーム１８との間隔を狭めて検出器２４をコラム１４の近くまで移動させることができる。そのため、図１４における本実施の形態の真円度測定装置１では、径方向固定アーム１０６を介在させる空間を設ける必要がなく、ベース１０の左右方向の大きさも小型化される。

一方、図１３と図１５との比較からわかるように、このように小型化された図１５における本実施の形態の真円度測定装置１においても、図１３における真円度測定装置１００により測定可能な最小内径の内周面を測定することができる。従って、本実施の形態の真円度測定装置１が、図１２及び１３における真円度測定装置１００に対して測定可能な内径の大きさに制限が加わることも生じない。

以上、上記実施の形態では、旋回アーム１８の先端部に支持された径方向に延びるアーム（径方向アーム）を介して検出器ホルダ２２を支持する検出器ホルダ支持機構の構成として、径方向アームの一形態である径方向移動アーム２０の径方向の移動により検出器２４（検出器ホルダ２２）を径方向に移動させる構成とすることで、測定スペース及びベース１０の小型化を図り、真円度測定装置１の小型化を図るものである。これに対して、上記実施の形態の構成に限らず、検出器ホルダ２２を旋回アーム１８に対して径方向に移動可能にした構成であれば上記実施の形態と同様の効果が得られる。

たとえば、径方向アームの一形態として径方向移動アーム２０の代わりに、図１７に示すように径方向に沿って延びる径方向固定アーム１２０の基端部を旋回アーム１８の先端部に固定し、径方向固定アーム１２０に対して検出器ホルダ２２を径方向に移動可能に設けた構成であってもよい。検出器ホルダ２２を径方向に移動させる機構についてはどのような構成でもよく、手動により移動するものであってもよいし、モータの駆動により移動するものであってもよい。

Ｗ…ワーク、１，１００…真円度測定装置、１０…ベース、１２…載物台、１３，１０２…検出器支持機構、１４…コラム、１６…キャリッジ、１８…旋回アーム、２０，１０４…径方向移動アーム、２２…検出器ホルダ、２４…検出器、２４Ａ…検出器本体、２４Ｂ…測定子、１０６…径方向固定アーム

Claims (2)

1. 測定対象物を載置する載物台であって、回転軸の周りに回転可能な載物台と、
   前記回転軸と平行な方向に沿って移動可能なキャリッジと、
   前記キャリッジに支持され、前記回転軸の径方向に垂直な方向に延びる第１アームと、
   前記第１アームの先端部に前記径方向に移動可能に支持され、前記径方向に延びる第２アームと、
   前記第２アームの先端部に固定され、検出器を固持する検出器ホルダと、
   を備える真円度測定装置。
2. 測定対象物を載置する載物台であって、回転軸の周りに回転可能な載物台と、
   前記回転軸と平行な方向に沿って移動可能なキャリッジと、
   前記キャリッジに支持され、前記回転軸の径方向に垂直な方向に延びる第１アームと、
   前記第１アームの先端部に固定され、前記径方向に延びる第２アームと、
   前記第２アームの先端部に前記径方向に移動可能に支持され、検出器を固持する検出器ホルダと、
   を備える真円度測定装置。

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