JP5850794B2 - 部品搬送装置および部品実装機 - Google Patents

Description

本発明は、部品搬送装置および部品実装機に関する。

一般に、表面実装機などに設けられる部品搬送装置は、基台上に設置された少なくとも一対のＹ方向フレームと、隣り合う一対のＹ方向フレーム間に架け渡されたＸ方向フレームと、このＸ方向フレームに取り付けられたヘッドユニットとを備えて構成されている。Ｘ方向フレームは、Ｙ方向フレームによってＹ方向に移動可能に設けられており、ヘッドユニットは、Ｘ方向フレームによってＸ方向に移動可能に設けられている。

ヘッドユニットの構成として、ロータリーヘッドを設けたものが知られている（例えば、下記特許文献１参照）。ロータリーヘッドは、複数の吸着ノズルが環状に配設されてなるノズル組付ブロックを有し、このノズル組付ブロックがノズル組付ブロック駆動手段によって回転可能とされている。複数の吸着ノズルは、ノズル組付ブロックの回転軸を中心として環状に配置されている。

各吸着ノズルは、ノズル回転駆動手段によって個別に回転可能とされており、ノズル回転駆動手段は、吸着ノズル毎に設けられている。このようなノズル回転駆動手段を備えると、部品の搬送可能エリアをＸ方向に拡張することができる。具体的に説明すると、０°の位置（例えばＹ方向における最も手前側の位置）で部品を吸着した後、ノズル組付ブロックを時計回り方向に９０°回転させて部品を９０°の位置（例えばＸ方向における最も左側の位置）に移動させるとした場合、部品の回転半径だけ部品がＸ方向左側へ移動することになる。このとき、部品は、時計回り方向に９０°回転した姿勢をとることになるため、部品吸着時の姿勢に戻すべくノズル回転駆動手段によって吸着ノズルを反時計回り方向に９０°回転させる。したがって、部品吸着時の姿勢を維持したまま、部品の回転半径だけ部品の搬送可能エリアをＸ方向左側に拡張することができる。

特許第４３６４６９３号公報

しかしながら、各吸着ノズルの設置間隔は、ノズル回転駆動手段が隣の吸着ノズルに干渉しないように設定されているため、各吸着ノズルを近づけて配設することができない。この結果、ノズル組付ブロックに対する吸着ノズルの取付本数を増やすことができず、部品の搬送効率を向上させることができなかった。

本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、部品の搬送可能エリアを拡張した上で、ノズル組付ブロックに対する吸着ノズルの取付本数を増やして部品の搬送効率を向上させることを目的とする。

本発明は、部品供給位置から目標位置まで部品を搬送する部品搬送装置であって、部品を吸着する複数の吸着ノズルが、Ｚ方向に延びる軸線を中心として環状に配設されたノズル組付ブロックと、ノズル組付ブロックを軸線を中心として回転させる回転駆動部と、標準吸着位置で吸着された部品の搬送可能エリアを標準搬送エリアとし、部品の目標位置が標準搬送エリアよりもＸ方向一側に越えていると判断した場合に、標準吸着位置よりもＸ方向一側に位置する吸着ノズルによって部品を吸着し、この部品を吸着した際における吸着ノズルの位置とこの部品を目標位置に載置する際における吸着ノズルの位置とが一致するように制御するコントローラとを備えた構成としたところに特徴を有する。

このような構成によると、目標位置が標準搬送エリアよりもＸ方向一側に超えている場合に、標準吸着位置よりもＸ方向一側に位置する吸着ノズルによって部品を吸着し、部品を吸着した際における吸着ノズルの位置を順次記憶しておく。そして、部品を目標位置に載置する際に、部品を吸着した際における吸着ノズルの位置となるように回転駆動部によって吸着ノズルを回転させる。このようにすると、部品を吸着した際における吸着ノズルの位置とこの部品を目標位置に載置する際における吸着ノズルの位置とを一致させることができる。このため、目標位置が標準搬送エリアよりもＸ方向一側に超えている場合でも、その目標位置に部品を載置することができ、部品の搬送可能エリアを拡張することができる。

また、各吸着ノズルを個別に回転させるノズル回転駆動手段を設けなくてもよいため、各吸着ノズルをできるだけ近づけて配設することができる。このため、ノズル組付ブロックに対する吸着ノズルの取付本数を増やすことができ、部品の搬送効率を向上させることができる。

また、コントローラは、部品の目標位置が標準搬送エリアよりもＸ方向他側に超えていると判断した場合に、標準吸着位置よりもＸ方向他側に位置する吸着ノズルによって部品を吸着し、この部品を吸着した際における吸着ノズルの位置とこの部品を目標位置に載置する際における吸着ノズルの位置とが一致するように制御する構成としてもよい。
このようにすると、目標位置が標準搬送エリアよりもＸ方向他側に超えている場合でも、その目標位置に部品を搬送することができる。

本発明の実施の態様として、以下の構成が好ましい。
複数のノズル組付ブロックがＸ方向に間隔を空けて配設されているものにおいて、コントローラは、部品の目標位置が標準搬送エリアよりもＸ方向一側に超えていると判断した場合に、複数のノズル組付ブロックのうち最もＸ方向一側に位置するノズル組付ブロックを選択して部品を吸着するように制御する構成としてもよい。

同様に、コントローラは、部品の目標位置が標準搬送エリアよりもＸ方向他側に超えていると判断した場合に、最もＸ方向他側に位置するノズル組付ブロックを選択して部品を吸着するように制御する構成としてもよい。
これらの構成によると、複数のノズル組付ブロックが配設されている場合においても、最適なノズル組付ブロックを選択して部品を搬送することができる。

吸着ノズルが最もＹ方向一側に配された位置を標準吸着位置である０°の位置と定義した場合に、コントローラは、部品の目標位置が標準搬送エリアよりもＸ方向一側に越えていると判断した場合に、軸線を中心として回転方向一側に９０°回転させた位置で部品を吸着するように制御する構成としてもよい。

このような構成によると、最もＸ方向一側に位置する吸着ノズルによって部品を搬送することができ、部品の搬送可能エリアをＸ方向一側に最も拡張することができる。また、９０°の位置にある吸着ノズルが軸線を中心として回転方向にずれた場合であっても、Ｘ方向のずれ量を最小限に留めることができる。

同様に、吸着ノズルが最もＹ方向一側に配された位置を標準吸着位置である０°の位置と定義した場合に、コントローラは、部品の目標位置が標準搬送エリアよりもＸ方向他側に越えていると判断した場合に、軸線を中心として回転方向他側に９０°回転させた位置で部品を吸着するように制御する構成としてもよい。

このような構成によると、最もＸ方向他側に位置する吸着ノズルによって部品を搬送することができ、部品の搬送可能エリアをＸ方向他側に最も拡張することができる。また、９０°の位置にある吸着ノズルが軸線を中心として回転方向にずれた場合であっても、Ｘ方向のずれ量を最小限に留めることができる。

また、本発明は、上記の部品搬送装置によって部品を基板の上方に搬送し、吸着ノズルをＺ方向に移動させることによって部品を基板の目標位置に実装する部品実装機に適用してもよい。

本発明によれば、部品の搬送可能エリアを拡張した上で、部品の搬送効率を向上させることができる。

部品実装機の平面図 ロータリーヘッドの底面図 ノズル組付ブロックの側面図 ０°の位置で部品を吸着する様子を示した図 ９０°の位置で部品を吸着する様子を示した図 ０°の位置で部品を吸着した場合における搬送可能エリア（標準搬送エリア）を示した図 ９０°の位置で部品を吸着した場合における搬送可能エリアを示した図 部品実装機の電気的構成を示すブロック図 部品を吸着して実装する手順を示したフローチャート

＜実施形態＞
本発明の実施形態を図１ないし図９の図面を参照しながら説明する。本実施形態における部品実装機１０は、図１に示すように、基台１１上に配置されてプリント基板（以下、「基板」という）Ｂを搬送する一対のコンベア２０と、これら一対のコンベア２０を挟む両側に配置された４つの部品供給部３０と、基台１１の上方に設けられた部品実装用のロータリーヘッド４０とを備えて構成されている。

なお、以下の説明においては図１におけるコンベア２０の基板Ｂの搬送方向をＸ方向として、図示左側（Ｘ方向一側）を下流側とし、図示右側（Ｘ方向他側）を上流側とする。また、図１における各コンベア２０の並び方向をＹ方向とし、図１における紙面と直交する方向をＺ方向とする。

部品供給部３０は、一対のコンベア２０を挟む両側において２つずつ設けられている。各部品供給部３０には、テープフィーダ等の複数の部品供給装置３１が設けられている。この部品供給装置３１には、複数の電子部品ＥＣが装着されている。また、基台１１上においてＸ方向に隣り合う一対の部品供給部３０の間には、部品カメラ３２が設けられている。この基板カメラ３２は一対設けられ、一対の部品カメラ３２は一対のコンベア２０を挟む両側にそれぞれ配されている。

ロータリーヘッド４０は、部品供給装置３１から電子部品ＥＣをピックアップして基板Ｂ上に装着し得るように、部品供給装置３１の部品供給位置と基板Ｂの目標位置（実装位置）との間を移動可能となっている。具体的には、ロータリーヘッド４０は、Ｘ方向に延びるＸ方向フレーム４２に移動可能に支持され、このＸ方向フレーム４２はその両端部においてＹ方向に延びるＹ方向フレーム４３に移動可能に支持されている。そして、ロータリーヘッド４０は、Ｘ軸モータ４４によりボールねじ軸４５を介してＸ方向の駆動が行われ、Ｘ方向フレーム４２は、Ｙ軸モータ４６によりボールねじ軸４７を介してＹ方向の駆動が行われるようになっている。

ロータリーヘッド４０は、複数の吸着ノズル４１、これらの吸着ノズルが環状に組み付けられた一対のノズル組付ブロック４８、各ノズル組付ブロック４８を回転させるＲ軸モータ（本発明の「回転駆動部」の一例）４９などを備えて構成されている。ノズル組付ブロック４８は、断面円形の柱状とされており、図２に示すように、回転軸Ｐ１を中心として回転可能とされている。各吸着ノズル４１は、回転軸Ｐ１の軸線を中心として環状に配設されている。Ｒ軸モータ４９の回転駆動力は、１つの駆動ベルトＤＢを通して各ノズル組付ブロック４８に同時に伝達されている。Ｒ軸モータ４９の駆動軸にプーリＰが取り付け固定されており、このプーリＰと各ノズル組付ブロック４８を一括して囲むようにして駆動ベルトＤＢが掛け渡されている。

なお、隣り合う一対のノズル組付ブロック４８の間隔は、任意の一対の部品供給装置３１の間隔と一致しており、一対のノズル組付ブロック４８の各吸着ノズル４１によって一対の電子部品ＥＣを同時に吸着することができるようになっている。

各吸着ノズル４１の端部には、図３に示すように、Ｚ軸モータ５０が取り付け固定されている。吸着ノズル４１は、Ｚ軸モータ５０によってＺ方向に移動可能とされている。このため、部品供給装置３１では、吸着ノズル４１を下降させて部品供給位置にある電子部品ＥＣを吸着可能とされている。また、電子部品ＥＣを吸着した後、再び吸着ノズル４１を上昇させて基板Ｂの上方に移動させ、吸着ノズル４１を下降させることで基板Ｂの目標位置に電子部品ＥＣを実装することができる。なお、各吸着ノズル４１を個別に回転させるモータは設けられておらず、各吸着ノズル４１を回転不能であるものの、各吸着ノズル４１をより近づけて配設することができる。

次に、吸着ノズル４１の搬送可能エリアについて図４ないし図７の図面を参照しながら説明する。図４は、標準吸着位置で電子部品ＥＣを吸着する様子を簡素化して示した図である。標準吸着位置とは、図４における図示８本の吸着ノズル４１のうち最もＹ方向一側に配された吸着ノズル４１の位置である。この位置を以下においては０°の位置という。図６の一点鎖線は、０°の位置にある吸着ノズル４１の搬送可能エリアを示したものであって、このエリアを標準搬送エリアＡ１という。

一方、図５は、Ｘ方向一側に位置するノズル組付ブロック４８において、最もＸ方向一側に配された吸着ノズル４１によって電子部品ＥＣを吸着する様子を簡易的に示した図である。最もＸ方向一側に配された吸着ノズル４１は、ノズル組付ブロック４８の回転軸Ｐ１を中心として回転方向一側に９０°回転させた位置に配されている。この位置を以下においては９０°の位置という。図７の太字の一点鎖線は、９０°の位置にある吸着ノズル４１の搬送可能エリアを示したものであって、このエリアを９０°搬送エリアＡ２という。

言い換えると、９０°搬送エリアＡ２は、一対のノズル組付ブロック４８のうちＸ方向一側に位置するノズル組付ブロック４８の９０°の位置にある吸着ノズル４１の搬送可能エリアである。要するに、９０°搬送エリアＡ２は、標準搬送エリアＡ１をＸ方向一側に所定の距離だけ平行移動させたものであり、詳細には吸着ノズル４１から回転軸Ｐ１までの距離だけ標準搬送エリアＡ１をＸ方向一側に平行移動させたものが９０°搬送エリアＡ２となる。

図示はしないものの、一対のノズル組付ブロック４８のうちＸ方向他側に位置するノズル組付ブロック４８において０°の位置から回転方向他側に９０°回転させた位置にある吸着ノズル４１の搬送可能エリアは、標準搬送エリアＡ１からＸ方向他側に所定の距離だけ平行移動させたものであり、詳細には吸着ノズル４１から回転軸Ｐ１までの距離だけ標準搬送エリアＡ１をＸ方向他側に平行移動させたものである。

したがって、標準搬送エリアＡ１を基準として、吸着ノズル４１から回転軸Ｐ１までの距離だけＸ方向両側に搬送可能エリアを拡張することができる。このようにして標準搬送エリアＡ１およびこれからＸ方向両側に拡張された搬送可能なエリアを以下においては拡張搬送エリアという。

続いて、部品実装機１０の演算処理部１００を中心とした電気的構成について図８のブロック図を参照しながら説明する。演算処理部１００には、表示ユニット１１０、実装プログラム記憶手段１２０、データ記憶手段１３０、モータ制御部１４０、外部入出力部１５０、画像処理部１６０が接続されている。なお、演算処理部１００、実装プログラム記憶手段１２０、データ記憶手段１３０、モータ制御部１４０、外部入出力部１５０、および画像処理部１６０によってコントローラＣが構成されている。

実装プログラム記憶手段１２０には、部品実装機１０の実装動作を行うための実装プログラムが記憶されている。この実装プログラムには、基板Ｗのサイズ、基板Ｗのサイズに応じた電子部品ＥＣの標準搬送エリア、電子部品ＥＣの種類、電子部品ＥＣの目標位置などのデータが含まれている。

モータ制御部１４０は、Ｘ軸モータ４４、Ｙ軸モータ４６、Ｚ軸モータ５０、およびＲ軸モータ４９にそれぞれ設けられたエンコーダから信号を受けて、各吸着ノズル４１のＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、および回転方向における移動量を把握することができる。なお、ＣＶ軸モータは、各コンベア２０を駆動させて基板Ｂを搬送するためのモータであり、Ｗ軸モータは、各コンベア２０間の距離を変更するためのモータである。

画像処理部１６０は、基板カメラと部品カメラ３３が接続されている。部品カメラ３３は、吸着ノズル４１の下端に吸着された電子部品ＥＣを下方から撮像した撮像画像に基づいて撮像中心に対する電子部品ＥＣのずれ量を把握することができる。また、基板カメラは、基板Ｂの対角に配された一対のフィデューシャルマークＦＭを撮像するカメラであり、この撮像画像に基づいて画像処理部１６０が撮像中心に対する基板Ｂのずれ量を把握することができる。

本実施形態は以上のような構成であって、次に電子部品ＥＣの実装作業を図９のフローチャートを参照しながら説明する。

まず、基板Ｂの実装プログラムが実行可能な基板データか否かをコントローラＣによって判断する（Ｓ１）。ここでいう実行可能な基板データとは、電子部品ＥＣの搭載座標が拡張搬送エリアの範囲内にあるものをいう。したがって、電子部品ＥＣの搭載座標が拡張搬送エリアの範囲外にあるものが実装プログラムに含まれている場合には（Ｓ１でＮｏ）、エラーと判定され（Ｓ７）、表示ユニット１１０にエラー表示がなされる。一方、電子部品ＥＣの搭載座標が拡張搬送エリアの範囲内である場合には（Ｓ１でＹｅｓ）、実装動作が開始される（Ｓ２）。

次に、電子部品ＥＣの搭載座標が０°の位置にある吸着ノズル４１によって実装可能か否かをコントローラＣによって判断する（Ｓ３）。つまり、電子部品ＥＣの搭載座標が標準搬送エリアＡ１の範囲内にあるか否かを判断し、範囲内である場合には（Ｓ３でＹｅｓ）、０°の位置にある吸着ノズル４１によって電子部品ＥＣを吸着し、部品供給位置から基板Ｂの上方へ移動し、吸着ノズル４１を下降させて電子部品ＥＣを基板Ｂの目標位置に載置し実装する（Ｓ５）。一方、電子部品ＥＣの搭載座標が標準搬送エリアＡ１の範囲外である場合には（Ｓ３でＮｏ）、電子部品ＥＣの搭載座標が９０°の位置にある吸着ノズル４１によって実装可能か否かを判断する（Ｓ４）。

ここで、９０°の位置とは、０°の位置から回転方向一側に９０°回転させた位置のみならず、０°の位置から回転方向他側に９０°回転された位置も含む。このため、電子部品ＥＣの目標位置が、標準搬送エリアＡ１よりもＸ方向一側に超えている場合には、コントローラＣが、一対のノズル組付ブロック４８のうち最もＸ方向一側にあるノズル組付ブロック４８を選択した上で、０°の位置から回転方向一側に９０°回転させた位置にある吸着ノズル４１によって電子部品ＥＣを吸着するように制御する。一方、電子部品ＥＣの目標位置が、標準搬送エリアＡ１よりもＸ方向他側に超えている場合には、コントローラＣが、最もＸ方向他側にあるノズル組付ブロック４８を選択した上で、０°の位置から回転方向他側に９０°回転させた位置にある吸着ノズル４１によって電子部品ＥＣを吸着するように制御する。

このように、電子部品ＥＣの搭載座標が標準搬送エリアＡ１の範囲外であって拡張搬送エリアの範囲内である場合には（Ｓ４でＹｅｓ）、９０°の位置にある吸着ノズル４１によって電子部品ＥＣを吸着し、部品供給位置から基板Ｂの上方へ移動し、吸着ノズル４１を下降させて電子部品ＥＣを基板Ｂの目標位置に載置し実装する（Ｓ６）。

一方、電子部品ＥＣの搭載座標が実装不能なエリアの範囲内である場合には（Ｓ４でＮｏ）、エラーと判定され（Ｓ７）、表示ユニット１１０にエラー表示がなされる。ここで、実装不能なエリアの範囲内である場合とは、例えば、複数のロータリーヘッドを搭載した部品実装機において、これから実装しようとするエリアに電子部品ＥＣを搬送したとすると、隣りのロータリーヘッドに衝突してしまうため搬送できないような場合が挙げられる。

以上のように本実施形態によると、９０°の位置にある吸着ノズル４１によって電子部品ＥＣを吸着し、９０°の位置で電子部品ＥＣを基板Ｂに実装するようにしたから、基板Ｂにおける電子部品ＥＣの実装可能エリアをＸ方向両側に拡張することができる。また、各吸着ノズル４１を回転させるモータが不要となり、ノズル組付ブロック４８に対する吸着ノズル４１の取付本数を増やすことができる。したがって、電子部品ＥＣの実装効率を高めることができる。また、９０°の位置にある吸着ノズル４１によって電子部品ＥＣを吸着しているから、吸着ノズル４１がわずかに回転するなどして９０°の位置から回転方向に位置ずれした場合であっても、Ｘ方向の位置ずれを最小限に留めることができる。

＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
（１）上記実施形態では本発明の部品搬送装置を部品実装機に適用したものを例示しているものの、本発明によると、部品の検査を行う部品検査機に適用してもよい。

（２）上記実施形態では９０°の位置にある吸着ノズル４１によって電子部品ＥＣを吸着、実装しているものの、本発明によると、４５°の位置にある吸着ノズル４１によって電子部品ＥＣを吸着、実装してもよい。

（３）上記実施形態では吸着ノズル４１で電子部品ＥＣを吸着した後、そのまま基板Ｂの目標位置に実装する作業を説明したものの、本実施形態のノズル組付ブロック４８には、８本の吸着ノズル４１が組み付けられているため、吸着作業を連続して行った後、実装作業を連続して行うこともできる。すなわち、９０°の位置にある１本目の吸着ノズル４１で最初の電子部品ＥＣを吸着した際、この電子部品ＥＣと１本目の吸着ノズル４１とを関連付けて記憶しておき、ノズル組付ブロック４８を４５°回転させた後、９０°の位置にある２本目の吸着ノズル４１で次の電子部品ＥＣを吸着する。このように全ての吸着ノズル４１に電子部品ＥＣを順次吸着させた後、基板Ｂに順次実装していく。実装に際しては、Ｒ軸モータ４９によって各電子部品ＥＣに関連付けされた各吸着ノズル４１を９０°の位置に回転させ、吸着ノズル４１を下降させて基板Ｂの目標位置に実装を行う。このようにすれば、ロータリーヘッド４０が部品供給位置と目標位置の間を往復する回数を減らして移動距離を減らすことができるため、９０°の位置で実装を行う場合においても実装効率を高めることができる。

１０…部品実装機（部品搬送装置）
４１…吸着ノズル
４８…ノズル組付ブロック
４９…Ｒ軸モータ（回転駆動部）
Ａ１…標準搬送エリア
Ｂ…基板
Ｃ…コントローラ
ＥＣ…電子部品
Ｐ１…回転軸（軸線）

Claims (7)

1. 部品供給位置から目標位置まで部品を搬送する部品搬送装置であって、
   部品を吸着する複数の吸着ノズルが、Ｚ方向に延びる軸線を中心として環状に配設されたノズル組付ブロックと、
   前記ノズル組付ブロックを前記軸線を中心として回転させる回転駆動部と、
   標準吸着位置で吸着された部品の搬送可能エリアを標準搬送エリアとし、前記部品の目標位置が前記標準搬送エリアよりもＸ方向一側に越えていると判断した場合に、前記標準吸着位置よりも前記Ｘ方向一側に位置する吸着ノズルによって部品を吸着し、この部品を吸着した際における吸着ノズルの位置とこの部品を前記目標位置に載置する際における吸着ノズルの位置とが一致するように制御するコントローラとを備えた部品搬送装置。
2. 前記コントローラは、前記部品の目標位置が前記標準搬送エリアよりもＸ方向他側に超えていると判断した場合に、前記標準吸着位置よりも前記Ｘ方向他側に位置する吸着ノズルによって部品を吸着し、この部品を吸着した際における吸着ノズルの位置とこの部品を前記目標位置に載置する際における吸着ノズルの位置とが一致するように制御することを特徴とする請求項１に記載の部品搬送装置。
3. 複数の前記ノズル組付ブロックがＸ方向に間隔を空けて配設されているものにおいて、前記コントローラは、前記部品の目標位置が前記標準搬送エリアよりもＸ方向一側に超えていると判断した場合に、前記複数のノズル組付ブロックのうち最もＸ方向一側に位置するノズル組付ブロックを選択して部品を吸着するように制御する請求項１または請求項２に記載の部品搬送装置。
4. 前記コントローラは、前記部品の目標位置が前記標準搬送エリアよりもＸ方向他側に超えていると判断した場合に、最もＸ方向他側に位置するノズル組付ブロックを選択して部品を吸着するように制御する請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の部品搬送装置。
5. 前記吸着ノズルが最もＹ方向一側に配された位置を前記標準吸着位置である０°の位置と定義した場合に、前記コントローラは、前記部品の目標位置が前記標準搬送エリアよりもＸ方向一側に越えていると判断した場合に、前記軸線を中心として回転方向一側に９０°回転させた位置で前記部品を吸着するように制御する請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の部品搬送装置。
6. 前記吸着ノズルが最もＹ方向一側に配された位置を前記標準吸着位置である０°の位置と定義した場合に、前記コントローラは、前記部品の目標位置が前記標準搬送エリアよりもＸ方向他側に越えていると判断した場合に、前記軸線を中心として回転方向他側に９０°回転させた位置で前記部品を吸着するように制御する請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の部品搬送装置。
7. 請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の部品搬送装置によって部品を基板の上方に搬送し、吸着ノズルをＺ方向に移動させることによって前記部品を前記基板の目標位置に実装する部品実装機。

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