JP5796275B2 - 分光測定器 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の分光測定器の構成の一例を示す図である。分光測定器100は、光源駆動部10と、光源の発光輝度(発光強度)を、波長に対応させて制御する制御部20と、光源30と、測定光学系40または40’と、受光部50と、測定部60と、を有する。
本実施形態では、分光分析器において、パワー制御部12が、光源30の、測定波長帯域における波長毎の放射輝度の差を抑制するように、光源30に印加する電力を制御する。これによって、分光分析器の光源の波長毎の発光輝度の差(ばらつき)を抑制することができる。よって、分光分析器の測定精度を高めることができる。
本実施形態では、光源の放射輝度のばらつきのみならず、受光素子の分光感度特性を補償するように、光源に与える電力を波長に応じて変化させる。また、さらに、測定光学系の分光特性も補償することも可能である。これによって、波長毎の測定精度を、さらに均一化することもできる。
16 D/A変換器、18 アンプ、20 制御部、
22 メモリー(制御メモリー)、
24 波長対応の発光強度データを含むルックアップテーブル(LUT)、
30 光源、31,31’ レンズ、32,32’ サンプル、
34,34’ 分光部(波長バンドパスフィルター等の分光素子)、
36,36’ 受光素子(フォトダイオードやCCDセンサー等)、50 受光部、
43 補正演算部、45 信号処理部、60 測定部
Claims (5)
- 光源と、
前記光源の駆動電力を制御するパワー制御部を含む光源駆動部と、
前記光源の光が含む波長帯域の中から透過する光の測定波長を選択可能な分光部としてエタロンフィルター、可変波長フィルターのいずれかを含む測定光学系と、
前記測定光学系を通過した、測定対象であるサンプルからの反射光あるいは透過光を受光して電気信号に変換する受光部と、
前記受光部から得られる前記電気信号に基づいて、光の波長に対応した受光強度を測定する測定部と、
を含み、前記パワー制御部は、前記光源の分光特性、前記測定光学系の分光特性および前記受光部の受光感度特性の少なくとも一つに応じて、前記光源に印加する電力を、前記分光部で選択される前記測定波長を前記分光部が変更するごとに変化させ、
前記パワー制御部は、前記測定光学系での前記測定波長毎の分光特性を補償するように、または、前記受光部での前記測定波長毎の受光感度の差を抑制するように、前記光源に印加する電力を制御することを特徴とする分光測定器。 - 光源と、
前記光源の駆動電力を制御するパワー制御部を含む光源駆動部と、
前記光源の波長ごとの発光強度データをテーブル化したルックアップテーブルを記憶している記憶部と、
前記光源の光が含む波長帯域の中から透過する光の測定波長を選択可能な分光部としてエタロンフィルター、可変波長フィルターのいずれかを含む測定光学系と、
前記測定光学系を通過した、測定対象であるサンプルからの反射光あるいは透過光を受光して電気信号に変換する受光部と、
前記受光部から得られる前記電気信号に基づいて、光の波長に対応した受光強度を測定する測定部と、
を含み、前記パワー制御部は、前記光源の分光特性、前記測定光学系の分光特性および前記受光部の受光感度特性の少なくとも一つに応じて、前記光源に印加する電力を、前記記憶部に記憶している前記光源の波長ごとの発光強度データを参照して、前記分光部で選択される前記測定波長を前記分光部が変更するごとに変化させ、
前記パワー制御部は、前記測定光学系での前記測定波長毎の分光特性を補償するように、または、前記受光部での前記測定波長毎の受光感度の差を抑制するように、前記光源に印加する電力を制御することを特徴とする分光測定器。 - 請求項1または請求項2記載の分光測定器であって、
前記パワー制御部は、前記光源からの前記測定波長毎の放射輝度の差を抑制するように、前記光源に印加する電力を制御し、併せて、前記測定光学系での前記測定波長毎の分光特性を補償するように、または、前記受光部での前記測定波長毎の受光感度の差を抑制するように、前記光源に印加する電力を制御することを特徴とする分光測定器。 - 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の分光測定器であって、
前記パワー制御部は、前記光源の放射輝度特性、前記測定光学系の波長毎の分光特性および前記受光部の分光感度特性を総合した分光特性に起因する、測定波長帯域における波長毎の、前記受光部の分光出力のばらつきを抑制するように、前記光源に印加する電力を制御し、
前記パワー制御部は、前記光源からの前記測定波長毎の放射輝度の差を抑制するように、前記光源に印加する電力を制御し、併せて、前記測定光学系での前記測定波長毎の分光特性を補償するように、かつ、前記受光部での前記測定波長毎の受光感度の差を抑制するように、前記光源に印加する電力を制御することを特徴とする分光測定器。 - 請求項1〜請求項4のいずれかに記載の分光測定器であって、
前記光源は、白熱電球、蛍光灯、放電管、固体発光素子のいずれかであることを特徴とする分光測定器。
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