JP5789971B2 - 有機薄膜太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Description
すなわち、本発明は、透明基板と、上記透明基板上に形成された透明電極層と、上記透明電極層上に形成されたPEDOT/PSSを主成分とする正孔取出層とを有する透明電極基板、および表面に金属層を有する金属電極層と、上記金属電極層上に形成された光電変換層とを有する金属電極基板を調製する調製工程と、上記透明電極基板および上記金属電極基板を、上記正孔取出層と、上記光電変換層とが対向するように配置し、加熱圧着する加熱圧着工程と、を有することを特徴とする有機薄膜太陽電池の製造方法を提供する。
また、本発明における正孔取出層がPEDOT/PSSを主成分としており、一定の温度範囲内で粘着性を発揮できることから、加熱圧着工程における加熱温度を、PEDOT/PSSが粘着性を発揮できる温度範囲内とすることで、上記正孔取出層を粘着層として、上記正孔取出層−上記光電変換層界面での加熱圧着を行うことが可能となる。
以下、本発明の有機薄膜太陽電池の製造方法について詳細に説明する。
図1は、本発明における有機薄膜太陽電池の製造方法の一例を図示した工程図である。
まず、図1(a)に示すように、透明基板1上に、透明電極層2を形成する。さらに、透明電極層2上に、正孔取出層3を形成し、透明電極基板10とする。また、表面に金属層を有する金属電極層4上に電子取出層5を形成する。続いて、電子取出層5上に光電変換層6を形成し、金属電極基板20とする。これらは、それぞれ別工程で調製する。
次に、上記透明電極基板10と上記金属電極基板20とを、上記正孔取出層3および上記光電変換層6が対向するように配置し、加熱するとともに加圧7を行い(図1(b))、図1(c)に示すように接着させる。
さらに、図1(d)に示すように、上記透明基板1の金属電極基板20の形成側と反対側に接着層8が形成され、上記接着層8を介して封止基材9を貼合することにより封止する。これにより有機薄膜太陽電池30を形成する。
上述した従来の積層形成方法は、陽極または陰極基板側から一層ずつ形成、積層していくため、例えば、本発明の有機薄膜太陽電池の場合、透明基板、透明電極層、正孔取出層、光電変換層、電子取出層、金属電極層の6層をそれぞれ形成、積層するため、5工程が必要となる。
一方、塗布法を用いて有機薄膜太陽電池を構成する6層を積層形成した場合について考える。一般的に塗布法では、下層形成後に上層形成用塗工液を塗布する際に、下層の構成成分が溶出する可能性を有する。したがって、6層からなる有機薄膜太陽電池製造する場合、溶出する可能性がより高くなる。そのため、塗工液として使用できる溶媒が限定される等の問題を有する。
例えば、真空成膜法を用いた場合では、従来法と比べて、一つの基板に対する成膜工程数が少ないことから生産に要する時間を短縮することが可能となる。また、塗布法を用いた場合においても、従来法と比べて成膜工程数が少ないため、構成成分の溶出等の可能性はかなり低くなることが期待できるのである。
本発明における調製工程は、透明基板と、上記透明基板上に形成された透明電極層と、上記透明電極層上に形成されたPEDOT/PSSを主成分とする正孔取出層とを有する透明電極基板、および表面に金属層を有する金属電極層と、上記金属電極層上に形成された光電変換層とを有する金属電極基板を調製することを特徴とする工程である。
以下、本工程において調製される透明電極基板および金属電極基板について説明する。
まず、本発明における透明電極基板について説明する。本発明に用いられる透明電極基板は、透明基板と、上記透明基板上に形成された透明電極層と、上記透明電極層上に形成された正孔取出層とを有することを特徴とするものである。
以下、本発明における透明電極基板の各構成について説明する。
まず、本発明における透明基板について説明する。本発明に用いられる透明基板は、上記透明電極層、上記正孔取出層等を支持するものである。
また、上記透明基板は、長尺であることが好ましい。RtoRプロセスによる調製工程および加熱圧着工程を用いた製造が可能となり、生産性を向上させることができるからである。
中でも、上記透明基板が透明樹脂フィルムであることが好ましい。加工性に優れているからである。また、後述する加熱圧着工程に用いられることから、耐熱性を有する材料であることがより好ましい。
次に、本発明における透明電極層について説明する。本発明に用いられる透明電極層は、透明基板上に形成されるものである。本発明における透明電極層は、受光面側の電極となるものであれば特に限定されるものではなく、透明電極であってもよく、また透明電極とパターン状の補助電極とが積層されたものであっても良い。
以下、透明電極および補助電極について説明する。
まず、本発明における透明電極の構成材料としては、導電性および透明性を有するものであれば特に限定されるものではなく、In−Zn−O(IZO)、In−Sn−O(ITO)、ZnO−Al、Zn−Sn−O等を挙げることができる。中でも、後述する金属電極層の構成材料の仕事関数等を考慮して適宜選択することが好ましい。例えば、金属電極層の構成材料を仕事関数の低い金属箔とした場合には、上記透明電極の構成材料は仕事関数の高い材料であることが好ましい。導電性および透明性を有し、かつ仕事関数の高い材料としては、ITOが好ましく用いられる。
なお、上記全光線透過率は、可視光領域において、スガ試験機株式会社製 SMカラーコンピュータ(型番:SM−C)を用いて測定した値である。
シート抵抗が上記範囲より大きいと、発生した電荷を充分に外部回路へ伝達できない可能性があるからである。
上記透明電極の膜厚としては、単層である場合はその膜厚が、複数層からなる場合は総膜厚が、0.1nm〜500nmの範囲内であることが好ましく、中でも1nm〜300nmの範囲内であることがより好ましい。
上記透明電極の膜厚が上記範囲より薄い場合、上記透明電極のシート抵抗が大きくなりすぎ、発生した電荷を充分に外部回路へ伝達できない可能性があり、一方、上記透明電極の膜厚が上記範囲より厚い場合、全光線透過率が低下し、光電変換効率を低下させる可能性がある。
次に、本発明における補助電極について説明する。本発明に用いられる補助電極は、透明基板上にパターン状に形成されるものである。上記補助電極は、通常、上記透明電極よりも抵抗値が低い。
また、フレーム部の線幅は、上記補助電極全体の面積等に応じて適宜選択される。
なお、上記シート抵抗の測地装置および測定方法は、透明電極のシート抵抗測定と同様であるため、ここでの記載は省略する。
上記金属薄膜のパターニング方法としては、所望のパターンに精度良く形成することができる方法であれば特に限定されるものではなく、例えばフォトエッチング法等を挙げることができる。
本発明における正孔取出層について説明する。本発明に用いられる正孔取出層としては、PEDOT/PSSを主成分とすることを特徴とするものである。
また、後述する加熱圧着工程時に、図1(c)に例示するように、正孔取出層3は光電変換層6と接着し、透明電極基板10および金属電極基板20の積層体を形成する。上記2基板の積層体において、正孔取出層3が透明電極層2と光電変換層6との間に形成されることにより、光電変換層6から正孔取出電極である透明電極層2への正孔取出効率が高められるため、光電変換効率を向上させることが可能となる。
そのため、後述する加熱圧着工程における加熱圧着温度を、上記の温度範囲内に設定することで、上記正孔取出層を光電変換層−正孔取出層界面の粘着層とする、すなわち、透明電極基板と金属電極基板とを接着させるために用いることが可能となる。
中でも、110℃〜130℃の範囲内であることがより好ましい。
上記範囲より低い場合、上記粘着層の取り扱いが困難となる可能性がある。一方、上記範囲より高い場合、加熱圧着時の温度を高く設定する必要があり、透明基板に使用しているフィルムが劣化してしまう恐れがあるからである。
中でも、90質量%以上であることがより好ましい。
上記範囲より含有量が少ない場合、上記正孔取出層の粘着性を充分に高めることができなくなる可能性があり、また一方、上記範囲より含有量が多い場合、糖鎖は導電性を有していないため、上記正孔取出層の正孔取出効率が低下する可能性があるからである。
上記正孔取出層形成用塗工液の塗布方法としては、透明電極層上に塗布することができる方法であれば特に限定するものではなく、例えば、スピンコート法、ダイコート法、キャスト法、ディップコート法、バーコート法、ブレードコート法、ロールコート法、スプレーコート法、フレキソ印刷法、グラビア印刷法、オフセット印刷法、スクリーン印刷法、インクジェット法等が挙げられる。
続いて、本発明における金属電極基板について説明する。本発明に用いられる金属電極基板は、表面に金属層を有する金属電極層と光電変換層とを有することを特徴とするものである。
また、本発明に用いられる金属電極基板は、金属電極層と光電変換層との間に電子取出層を有することが好ましい。
以下、本発明における金属電極基板の各構成について説明する。
本発明における金属電極層について説明する。本発明に用いられる金属電極層は、表面に金属層を有するものである。
金属電極層は、上述した透明電極基板に形成された透明電極層と対向する電極であり、導電性を有するものであれば特に限定されるものではないが、上記金属電極層は電子取出電極であるため電子取出効率の観点から、仕事関数の低いものであることが好ましい。
本発明における金属電極層としては、表面に金属層を有するもの、すなわち、金属が露出している表面を有するものであり、電極として機能できるものであれば特に限定されるものではない。具体的には、金属からなるもの、すなわち、金属層のみからなるものや、表面を金属層で被覆された支持基材等を挙げることができる。
ここで、金属電極層における長尺とは、金属層のみからなるもの、もしくは表面を金属層で被覆された支持基材等が長尺であることを示す。
ここで、金属箔とは、一般的な金属からなるものであり、フレキシブル性を有するものである。また、上記フレキシブル性を有するとは、JIS Z 2248の金属材料曲げ試験方法で、5KNの力をかけたときに曲がることを指す。
また、後述する電子取出層の有無等も考慮して選択されることがより好ましい。例えば、上記金属電極基板が電子取出層を有する場合、光電変換層から金属電極層への電子取出効率は充分に保持される傾向にあるため、金属電極層に用いられる金属箔は任意のものを使用することができる。一方、上記金属電極基板が電子取出層を有していない場合、電子取出効率が低下する場合があることから、仕事関数等を考慮してアルミニウム箔等が好適に用いられる。
本発明においては、中でも、耐熱温度に優れたステンレス箔、チタン箔等が好適に用いられる。
なお、上記金属層に用いられる金属としては、上述した金属箔に使用される金属と同様のものを用いることができる。
また、上記支持基材としては、フレキシブル性を有するものであることが好ましい。上述したようにRtoRプロセスにより好適なものとすることができるからである。
なお、支持基材上に形成される金属層の膜厚としては、支持基材上に安定的に形成可能であれば特に限定されるものではなく、例えば、1μm〜1mmの範囲内であることが好ましい。
膜厚が厚いほど、金属電極層の剛性が高くなり操作性が低下する可能性があり、一方膜厚が薄いほど、フレキシブル性に富んだものとなる。そのため、フレキシブル性を考慮すると、上記膜厚は、10μm〜300μmの範囲内であることが好ましく、30μm〜300μmの範囲内であることがより好ましい。
本発明における電子取出層について説明する。本発明においては、上記金属電極層と後述する光電変換層との間に、電子取出層が形成されることが好ましい。電子取出層は、光電変換層から上記金属電極層への電子の取出が容易に行われるように設けられる層であり、光電変換層から金属電極層への電子取出効率が高められ、光電変換効率を向上させることが可能となるからである。
また、図1(c)に例示するように、透明電極基板および金属電極基板の積層体においては、電子取出層5が形成されることによって、光電変換層6から電子取出電極である金属電極層4への電子取出効率が高められるため、光電変換効率の優れた有機薄膜太陽電池とすることができる。
上記表面粗さが上述の範囲であることにより、上記金属電極層と上記透明電極層とが短絡を生じることをより安定的に防ぐことができるからである。
なお、上記表面粗度Raは、JIS B 0601−1994に規定する方法により求めることができる。
上記膜厚が上述の範囲内であることにより、上記電子取出層にピンホール等の少ないものとすることができるからである。また、金属電極層表面を充分に被覆することが可能だからである。
上記湿式成膜法としては、具体的には、ゾル−ゲル法が挙げられる。また、金属電極層としてチタン箔を用いる場合、陽極酸化法、ナノ分散体液の塗布焼成法等が挙げられる。
ここで、ゾル−ゲル法を用いたTiO2膜の形成方法としては、電子取出層形成用塗工液を塗布し、加水分解、重縮合、それに続く熱処理によってゾルを経て、固化体であるゲルを得る方法である。なお、電子取出層形成用塗工液としては、一般的にTiO2膜形成に使用されるものであれば特に限定されるものではない。
上記乾式成膜法としては、蒸着法、スパッタリング法等が挙げられる。
続いて、本発明における光電変換層について説明する。本発明に用いられる光電変換層は、上記透明電極層と上記金属電極層との間に形成されるものである。なお、本発明における光電変換層とは、有機薄膜太陽電池の電荷分離に寄与し、生じた電子および正孔を各々反対方向の電極に向かって輸送する部材をいう。
また、後述する加熱圧着工程時には、図1(c)に例示するように、光電変換層6は正孔取出層3と接着し、透明電極基板10および金属電極基板20の積層体を形成する。上記2基板の積層体内における光電変換層6は、透明基板1側から受光した太陽光による有機薄膜太陽電池の電荷分離に寄与する。さらに、上記電荷分離によって生じた正孔と電子とを各々、正孔取出層3および電子取出層5を介して、正孔取出電極である透明電極層2および電子取出電極である金属電極層4へ輸送する働きを有する。
以下、各態様について説明する。
本発明における光電変換層の第一態様は、電子受容性および電子供与性の両機能を有する単一の層であり、電子受容性材料および電子供与性材料を含有するものである。この光電変換層では、光電変換層内で形成されるpn接合を利用して電荷分離が生じるため、単独で光電変換層として機能する。
導電性高分子はいわゆるπ共役高分子であり、炭素−炭素またはヘテロ原子を含む二重結合または三重結合が、単結合と交互に連なったπ共役系から成り立っており、半導体的性質を示すものである。上記導電性高分子材料は、高分子主鎖内にπ共役が発達しているため主鎖方向への電荷輸送が基本的に有利である。
また、上記導電性高分子の電子伝達機構は、主にπスタッキングによる分子間のホッピング伝導であるため、高分子の主鎖方向のみならず、光電変換層の膜厚方向への電荷輸送も有利である。さらに、上記導電性高分子材料は、導電性高分子材料を溶媒に溶解もしくは分散させた塗工液を用いることで湿式塗工法により容易に成膜可能であるしたがって、大面積の有機薄膜太陽電池を高価な設備を必要とせず、製造工程での低コスト化を可能とする利点を有する。
なお、例えばフェニレンエチニレン−フェニレンビニレン共重合体(Poly[1,4−phenyleneethynylene−1,4−(2,5−dioctadodecyloxyphenylene)−1,4−phenyleneethene−1,2−diyl−1,4−(2,5−dioctadodecyloxyphenylene)ethene−1,2−diyl])の合成方法については、Macromolecules, 35, 3825 (2002) や、Mcromol. Chem. Phys., 202, 2712 (2001) に詳しい。
また、上記電子受容性化合物がドープされる電子供与性の導電性高分子材料としては、上述した電子供与性の導電性高分子材料を挙げることができる。ドープされる電子受容性化合物としては、例えば、FeCl3(III)、AlCl3、AlBr3、AsF6やハロゲン化合物のようなルイス酸を用いることができる。なお、ルイス酸は電子受容体として作用する。
上記膜厚が上記範囲より厚い場合、光電変換層における体積抵抗が高くなる可能性があるからである。一方、上記膜厚が上記範囲より薄い場合、光を充分に吸収できない可能性があるからである。
中でも、光電変換層形成用塗工液の塗布方法は、主に塗布量に応じて厚みを調整することが可能である方法であることが好ましい。主に塗布量に応じて厚みを調整することが可能な方法としては、例えば、ダイコート法、ビードコート法、バーコート法、グラビアコート法、インクジェット法、スクリーン印刷法、オフセット印刷法等の印刷法を挙げることができる。印刷法は有機薄膜太陽電池の大面積化を図るために好適である。
乾燥処理の方法としては、例えば、加熱乾燥、送風乾燥、真空乾燥、赤外線加熱乾燥等、一般的な乾燥方法を用いることができる。
本発明における光電変換層の第二態様は、電子受容性の機能を有する電子受容性層と電子供与性の機能を有する電子供与性層とが積層されたものである。
以下、電子受容性層および電子供与性層について説明する。
本態様に用いられる電子受容性層は、電子受容性の機能を有するものであり、電子受容性材料を含有するものである。
本態様に用いられる電子供与性層は、電子供与性の機能を有するものであり、電子供与性材料を含有するものである。
本発明における上記透明電極基板および上記金属電極基板としては、上述した構成層の他にも、必要に応じて他の構成層を有していても良い。例えば、構成層に応じて、各層間に接着層が形成されても良い。
次に、本発明における加熱圧着工程について説明する。本発明における加熱圧着工程としては、上記透明電極基板および上記金属電極基板を、上記正孔取出層と上記光電変換層とが対向するように配置し、加熱圧着することを特徴とする工程である。
まず、本発明における加熱圧着工程に用いられるRtoR方式について説明する。
一般的に、RtoR方式とは、長尺に形成されたロール状の基板等を走行路上に走行させながら、順次処理を施していく方法である。本発明における加熱圧着工程に用いられるRtoR方式としては、長尺に形成されたロール状の上記透明基板および上記金属電極層に、上述した調製工程によって各々構成層を積層することによって、上記透明電極基板および上記金属電極基板を調製した後、走行路上を走行させながらロール等によって加熱圧着する方式である。
上記温度範囲よりも低い場合、PEDOT/PSSが上記透明電極基板および上記金属電極基板の接着に充分な粘着性を発揮することができない可能性がある。一方、上記温度範囲よりも高い場合、透明電極基板に用いられるフィルム等に劣化を生じる可能性がある。
上記範囲内より低い場合、上記透明電極基板および上記金属電極基板の接着が不十分となる可能性があり、一方、上記範囲内より高い場合、上記2基板の積層体の構造に過度の変化を生じて有機薄膜太陽電池の電池特性が低下する恐れがある。
上記2基板または上記2基板の積層体に封止基材貼合工程を施す前であっても、上記各構成層の特性を低下させる可能性が低いからである。
次に、本発明における加熱圧着工程に用いられる枚葉方式について説明する。本発明に用いられる枚葉方式としては、枚葉状の上記透明基板および上記金属電極層に、上述した調製工程によって各々構成層を積層することによって、上記透明電極基板および上記金属電極基板を調製した後、加熱圧着する方式である。
また、加熱圧着を行う温度範囲についても上述したRtoR方式と同様であるため、ここでの記載は省略する。
上記範囲より短い場合、上記透明電極基板および上記金属電極基板の接着が不十分となる可能性があり、一方、上記範囲より長い場合、上記2基板の積層体の構造が過度に変化して有機薄膜太陽電池の電池特性が低下する可能性がある。
(1)封止基材貼合工程
本発明においては、上述した工程の他に封止基材貼合工程を行うことが好ましい。
以下、本発明における封止基材貼合工程について説明する。
以下、それぞれの態様について説明する。
本発明における封止基材貼合工程の第一態様は、上述した加熱圧着工程を行った後に、封止基材貼合工程を行う態様である。
以下、本態様に用いられる構成材料について説明する。
本態様における接着層について説明する。本実施態様に用いられる接着層は、上述した透明基板の金属電極基板形成側と反対側に形成されることを特徴とするものである。
上記接着剤の塗布方法としては、接着剤の形成位置に応じて適宜選択されるものであり、例えば、バーコード法、ロールコート法、ワイヤーバーコート法等が挙げられる。
本発明における封止基材について説明する。本発明に用いられる封止基材は、上述した接着層上に配置され、上記接着層を介して透明基板上の金属電極基板形成側とは反対側の表面と貼り合わされるものである。
また、封止基材は、樹脂基板上にガスバリア層が形成されたものであっても良い。
本発明の封止基材貼合工程における第二態様は、上述した加熱圧着工程と同時に封止基材貼合工程を行う態様である。
上述した加熱圧着工程時に、上記透明電極基板の透明基板上に接着層を介して封止基材を配置し、加熱圧着により上記透明電極基板および上記金属電極基板と同時に貼り合わせることで、有機薄膜太陽電池素子を形成すると同時に、上記有機薄膜太陽電池の封止を行うことができる。
以下、本態様に用いられる構成材料について説明する。
本態様における接着層の形成位置としては、上記第一態様と同様であるため、ここでの記載は省略する。
本態様における封止基材については、上記第一態様と同様のものを用いることができるため、ここでの記載は省略する。
本発明の有機薄膜太陽電池の製造方法においては、通常、上述した加熱圧着工程後に、加熱圧着された有機薄膜太陽電池素子から熱を逃がす放熱工程を行う。上記放熱工程としては、加熱圧着された有機薄膜太陽電池素子を急冷する急冷工程であっても良く、加熱圧着された有機薄膜太陽電池素子を徐冷する徐冷工程であっても良い。
ステンレス箔(SUS304、150mm×300mm×0.03mm)を2%NaOH水溶液(40℃)中で脱脂後、水洗により洗浄を実施した。洗浄実施後に電子取出層形成用塗工液(ビストレイターH、日本曹達株式会社製)をステンレス箔表面に塗布し、大気下で100℃にて30分間の条件下で加水分解反応を進行させた後、真空炉(500℃、30分間)での焼成を実施し、ステンレス箔表面に電子取出層としてTiO2層を形成した。
触針式表面形状測定器(DEKTAK、アルバック社製)によりTiO2膜厚を測定したところ、0.5μmの膜厚を確認した。
続いて、ポリ(3−ヘキシルチオフェン)(P3HT)と[6,6]−フェニル−C61−酪酸メチルエステル(PCBM)をオルトジクロロベンゼンに分散させ、光電変換層形成用塗工液を調製した。
TiO2層形成後、光電変換層形成用塗工液を大気下でダイコート法により所望の厚みに塗布し、減圧乾燥後、N2下150℃にて15分間の焼成を実施し、金属電極基板を作製した。
PEN基板を脱脂、洗浄後にスパッタ成膜により補助電極用金属層Cr/Cuを形成した。その後、フォトエッチングプロセスを使用し、メッシュ形状の金属補助電極をPEN基板上に形成した。その後、透明電極としてITOを成膜した。ITO膜上にPEDOT/PSS(商品名 Orgacon−S303、AGFA社製)を大気下でダイコート法により塗布した。その後、大気下で150℃にて15分間の焼成を実施し、透明電極基板を作製した。
上述したように作製した金属電極基板および透明電極基板を、光電変換層と正孔取出層が対向するように配置し、ロールラミネーターにより熱プレスを実施して光電変換層と正孔取出層とを接着し、接続し太陽電池素子が完成した。
なお、ロールラミネート条件としては、150℃に加熱し、4kgf/cm2の加重により貼り合わせを行った。
作製後の素子の性能評価を実施し、1SUN照射下にて変換効率2%を確認した。
2 … 透明電極層
2a … 透明電極
2b … 補助電極
3 … 正孔取出層
4 … 金属電極層
5 … 電子取出層
6 … 光電変換層
7 … 圧力
8 … 接着層
9 … 封止基材
10 … 透明電極基板
20 … 金属電極基板
30 … 有機薄膜太陽電池
A … 透明電極層積層工程
B … 正孔取出層積層工程
C … 電子取出層積層工程
D … 光電変換層積層工程
E … 接着層積層工程
F … 封止基材貼合工程
Claims (4)
- 透明基板と、前記透明基板上に形成された透明電極層と、前記透明電極層上に形成されたPEDOT/PSS(ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルホン酸との複合体)のみからなる正孔取出層とを有する透明電極基板、および表面に金属層を有する金属電極層と、前記金属電極層上に形成された光電変換層とを有する金属電極基板を調製する調製工程と、
前記透明電極基板および前記金属電極基板を、前記正孔取出層と、前記光電変換層とが対向するように配置し、加熱圧着する加熱圧着工程と、
を有し、
前記加熱圧着工程の後、前記金属電極基板側の最表層を剥離する剥離工程を有するものではなく、
前記光電変換層が、接着性樹脂を含有するものではないことを特徴とする有機薄膜太陽電池の製造方法。 - 前記透明基板および前記金属電極層が長尺であることを特徴とする請求項1に記載の有機薄膜太陽電池の製造方法。
- 前記金属電極基板が、前記金属電極層と前記光電変換層との間に電子取出層を有しており、前記電子取出層がTiO2膜であることを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載の有機薄膜太陽電池の製造方法。
- 前記透明基板の金属電極基板が圧着される側と反対側に、接着層を介して封止基材が貼り合わされる封止基材貼合工程を有することを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれかに記載の有機薄膜太陽電池の製造方法。
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